JP2004029836A - 多重レーザ光発生素子 - Google Patents

多重レーザ光発生素子 Download PDF

Info

Publication number
JP2004029836A
JP2004029836A JP2003207435A JP2003207435A JP2004029836A JP 2004029836 A JP2004029836 A JP 2004029836A JP 2003207435 A JP2003207435 A JP 2003207435A JP 2003207435 A JP2003207435 A JP 2003207435A JP 2004029836 A JP2004029836 A JP 2004029836A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
light
laser light
emitting element
light emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003207435A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryohei Tanuma
田沼 良平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Holdings Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Holdings Ltd filed Critical Fuji Electric Holdings Ltd
Priority to JP2003207435A priority Critical patent/JP2004029836A/ja
Publication of JP2004029836A publication Critical patent/JP2004029836A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

【課題】ビーム品質の低下を伴わない多重レーザ光発生素子を提供する。
【解決手段】第1の異方性一軸結晶と第2の異方性一軸結晶を交互に重ねて構成される光学素子であり、光線入射側からn番目の前記第1結晶(31,32,33)における異常光源の移動距離が1/2n−1 に比例し、前記第2結晶(34,35)はその波数ベクトルを含む主断面が前記第1結晶における波数ベクトルを含む主断面と45°の角度を成す1/4波長板であることを特徴とする。
【選択図】    図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光を複数のビームに分割する多重レーザ光発生素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザ装置は高強度のコヒーレン卜光を発生し、その応用は情報伝達計測、加工、医学など、多岐にわたっている。これらの中でレーザ光を複数の光線に分割することによリ多大の効果を奏する場合がある。例えば、加工分野ではレーザ光を分割することによリ、多点加工を能率よく実行できる場合が多いし、情報分野では、レーザ光を多数の光ファイバーに入力するためにはレーザ光を分割する必要が出てくる。
【0003】
レーザ光を分割するためには、これまで回折格子が広く用いられてきた。回折格子は光の透過あるいは反射部分に微細な周期パターンを形成したもので、特定の方向にのみ光を散乱する性質を利用して、単一レーザ光を複数のビームに分割することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、回折格子は便利な反面、微細な加工が要求されるため、製造にあたっては、特殊な製造装置と技術が必要となる。また本質的な問題として、ビーム品質低下が避けられないという解決すべき課題がある。
【0005】
例えば、回折格子の直径をD、光の波長をλとした場合、各分割ビームの回折角θには、
【0006】
【数1】
Figure 2004029836
【0007】
で表される幅δθが発生する。また、入射レーザ光の波長幅がδλである場合、
【0008】
【数2】
Figure 2004029836
【0009】
による拡がりも新たに発生する。ここで、mは回折の次数、bは格子定数である。これらの幅が分割前のレーザ光のビーム拡がり角θに対して十分に小さいかどうかが問題で、場合によってはδθが無視できない場合も発生する。上式(1),(2)から分かる通り、δθを小さくするためにはDおよびbが大きいことが重要であり、したがって、ビーム径の大きな光に対して、大口径の回折格子を用いる場合は問題は少ないが、逆の場合はδθが大きくなって満足な性能が期待できない。
【0010】
本発明の目的は、上述のような従来技術の課題を解決して、構造が簡単で、かつビーム品質の低下を伴わない多重レーザ光発生素子を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、第1の異方性一軸結晶と第2の異方性一軸結晶を交互に重ねて構成される光学素子であり、光線入射側からn番目の前記第1結晶における異常光源の移動距離が1/2n−1 に比例し、前記第2結晶はその波数ベクトルを含む主断面が前記第1結晶における波数ベクトルを含む主断面と45°の角度を成す1/4波長板であることを特徴とする多重レーザ光発生素子により達成される。
【0012】
請求項1の発明による光学素子では、入射光は1段目の第1結晶で複屈折により振動方向が互いに直交する2本の偏光に分割され、それに続く第2結晶でそのいずれもが円偏光に変換される。2段目の第1結晶により再び複屈折により2分割されて4本のビームとなる。これを繰り返すことにより最終的に間隔δ1/2n−1 のn本の平行ビームを発生する。ここで、δ1 は1段目の第1結晶により分割されたビーム間の距離である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0014】
【実施例】
図1は本発明の実施形態である多重レーザ発生素子の構成を示す。本実施形態は、一例として、第1結晶に方解石、第2結晶に水晶を用い、これらの結晶の入出射研磨面同士をいわゆるオプティカルコンタク卜の状態で重ねたものである。入射光は直線偏光が望ましいが、円偏光、あるいは偏光面がランダムに変化する光であってもよい。本実施形態では一例として、波長λ=532nmの直線偏光を入射するものとする。
【0015】
図1中、31、32、33は第1結晶、34、35は第2結晶である。そして、図1に示すように、第1結晶31、第2結晶34、第1結晶32、第2結晶35、第1結晶33の順に連結して形成する。また、第1結晶の波数ベクトル(方向は常光の伝播方向に一致する)を含む主断面の方向を0°、第2結晶の波数ベクトルを含む主断面の方向を45°とする。図1の上部の実線は、素子を左から眺めた場合のこれらの主断面の方向を示している。図1の下部の両向き矢印は各部分の直線偏光の振動方向、円は円偏光を表している。
【0016】
入射光は振動方向を45°にセッ卜して第1結晶31に入射する。この入射光は第1結晶31内で振動方向90°の常光と振動方向0°の異常光として伝播し、この結晶内を進むにつれて常光と異常光の両者は複屈折により分離する。この分離角ρは、
【0017】
【数3】
ρ=arctan〔(n/ntan θc 〕−θc    (3)
【0018】
で表される。ここでnとnはそれぞれ常光と異常光の屈折率、θc は光軸に対する常光伝播方向の角度である。λ=532nmにおける方解石の常光に対する屈折率nは1.662、異常光に対する屈折率nは1.488である。上式(3)にこれらの値を代入して計算すると、分離角ρはθc =42°で最大となり、このときρ=6.32°であることがわかる。
【0019】
小さな結晶で効率よく光を分割するために、本実施形態では、第1結晶31への垂直入射でθ=42°となるように、この結晶が加工・研磨されている。第1結晶31(32、33も同様)の厚みt1 
【0020】
【数4】
1 =δ/tan ρ  (4)
【0021】
により計算する。ここで、δは異常光のシフ卜量である。本実施形態では第1段のδを4mmとするため、t1 =36mmとしている。
【0022】
第1結晶31を出た2本の平行ビームはλ/4板としての第2結晶34に入射する。このλ/4板は直線偏光を常光と異常光に分割し、常光と異常光の両者の位相差をπ/2の奇数倍とするものである。また、こ場合はθc =90°とすることにより、δ=0となる。λ/4板34を出た光の振動方向は円運動をするため、これを円偏光と呼ぶ。第1結晶31を出た光は振動方向は0°と90°の直線偏光であるから、これら直線偏光を常光と異常光に分割するために、第2結晶34の主断面の方向は45°とする。λ/4板34(35も同様)の厚みtは、
【0023】
【数5】
Figure 2004029836
【0024】
により計算する。ここで、kは0および正の整数である。
【0025】
本実施形態では上式(4)に、λ=0.532×10−3mmおよび水晶の屈折率として、n =l.5462、n=I.5553を代入し、k=50とすることにより、t=1.48mmとした。
【0026】
第2結晶34で2分割された平行ビームは、円偏光となって2段目の第1結晶32に入射する。円偏光は振動方向が回転するため、結晶32に入射すると等しく常光と異常光に分割され、各ビームが2つに分離して、4本の平行ビームが発生する。2段目の異常光のシフ卜量(すなわち、ビーム間隔)δを1段目のδの1/2とするために、2段目の第1結晶32の厚みはt1 =36/2=18mmとしている。2段目の第1結晶33から出た4本の直線偏光ビームは2段目の第2結晶35により同様に円偏光に変換される。
【0027】
3段目は厚みt1 =36/4=9mmの第1結晶33のみであり、2段目の第2結晶35から出た平行ビームは、第3段目の第1結晶33でさらに2分割されて、最終的にδ=1mmの8本の平行ビームが発生する。
【0028】
本実施形態では異常光のシフ卜量δを調節するために、第1結晶の厚みt1 を1段毎に1/2としたが、この方法ではδが小さくなるにつれてt1 が小さくなりすぎて製作が困離な場合がある。その場合はt の代わりにθc を変えることによりδを調節することも可能である(上式(3)、(4)を参照)。また、nとnの差が小さい例えば水晶を第1結晶として用いることも可能である。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、構造が簡単で、かつビーム品質の低下を伴わないレーザ光分割装置に組み込むに好適な多重レーザ光発光素子を提供することができ、とくに、実施の形態で述べたようなδの小さな分割光の発生に適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態である多重レーザ発生素子の概略を示す構成図である。
【符号の説明】
31,32,33・・・ 第1結晶
34,35・・・第2結晶

Claims (1)

  1. 第1の異方性一軸結晶と第2の異方性一軸結晶を交互に重ねて構成される光学素子であって、光線入射側からn番目の前記第1結晶における異常光源の移動距離が1/2n−1 に比例し、前記第2結晶はその波数ベクトルを含む主断面が前記第1結晶における波数ベクトルを含む主断面と45°の角度を成す1/4波長板であることを特徴とする多重レーザ光発生素子。
JP2003207435A 2003-08-13 2003-08-13 多重レーザ光発生素子 Pending JP2004029836A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003207435A JP2004029836A (ja) 2003-08-13 2003-08-13 多重レーザ光発生素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003207435A JP2004029836A (ja) 2003-08-13 2003-08-13 多重レーザ光発生素子

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15952997A Division JPH118427A (ja) 1997-06-17 1997-06-17 多重レーザ光発生装置および多重レーザ光発生素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004029836A true JP2004029836A (ja) 2004-01-29

Family

ID=31185518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003207435A Pending JP2004029836A (ja) 2003-08-13 2003-08-13 多重レーザ光発生素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004029836A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4309419B2 (ja) 異方性音響光学変調器を利用した光ビーム発生システム及び方法
WO2016194018A1 (ja) 照明装置及び計測装置
US6813399B2 (en) Optical device
KR20170037884A (ko) 브래그 액정 편광 격자
CN113341569A (zh) 一种偏振复用衍射波导大视场角度成像***及方法
WO2016194019A1 (ja) 干渉縞投影装置及び計測装置
JP2005172844A (ja) ワイヤグリッド偏光子
JP2000028966A5 (ja)
JP4866251B2 (ja) 光束分岐素子および光束干渉光学系および光束干渉露光装置
JP2007128080A (ja) 異方性音響光学変調器を利用した光ビーム発生システム及び方法
US10007041B2 (en) Optical depolarizer
WO2018167975A1 (ja) レーザ発振装置
WO2015180380A1 (zh) 可调光衰减器
JP6719763B2 (ja) 高速光スイッチングエンジン
JP2020534569A5 (ja)
US20020041574A1 (en) Multiplexing and / or demultiplexing apparatus
JP2004029836A (ja) 多重レーザ光発生素子
Kim et al. A compact holographic recording setup for tuning pitch using polarizing prisms
JP2006323104A (ja) 可干渉性低減光学素子およびこれを用いた光源装置
JP2006243370A (ja) 干渉露光装置
JP3842660B2 (ja) 光デバイス
JP2017083719A (ja) 偏光素子およびそれを有する投射型画像表示装置
JP2006513443A (ja) リターデーション・プレート
JP3879246B2 (ja) 偏光光学素子
JP2004226599A (ja) 偏光分離合成装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Effective date: 20040706

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02