JP2003348681A5 - - Google Patents

Description

本発明の第７態様によれば、上記音響整合層の面積は、上記板状部材の面積の１００〜１１０％である第１〜６のいずれか１つの態様に記載の超音波振動子を提供する。

Claims (9)

1. 被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられて超音波を送受信する一対の超音波振動子と、前記一方の超音波振動子を主共振モードと２次共振モードによる駆動を行う手段と、上記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、上記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
   前記超音波振動子は、板状部材（３）と、上記板状部材の一方の面に接着層（３０）を介して設置した音響整合層（４）と、上記板状部材の上記音響整合層が設けられた面と反対側の面に接合層（３１）を介して設置した圧電体（６）とを備え、上記音響整合層の設置面積は、上記圧電体が上記板状部材と接合される接合面積以上、あるいは上記圧電体が上記板状部材を介して上記音響整合層に対向する面積以上である超音波流量計。
2. 被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられて超音波を送受信する一対の超音波振動子と、前記一方の超音波振動子を主共振モードと２次共振モードによる駆動を行う手段と、上記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、上記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
   前記超音波振動子は、板状部材（３）と、上記板状部材の一方の面に接着層（３０）を介して設置した音響整合層（４）と、上記板状部材の上記音響整合層が設けられた面と反対側の面に接合層（３１）を介して設置した圧電体（６）とを備え、上記板状部材の上記音響整合層に対する対向面積は、上記板状部材と上記音響整合層とが上記接着層を介して接合される接合面積以上、あるいは上記音響整合層が上記板状部材に対向する対向面積以上である超音波流量計。
3. 被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられて超音波を送受信する一対の超音波振動子と、前記一方の超音波振動子を主共振モードと２次共振モードによる駆動を行う手段と、上記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、上記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
   前記超音波振動子は、板状部材（３）と、上記板状部材の一方の面に接着層（３０）を介して設置した音響整合層（４）と、上記板状部材の上記音響整合層が設けられた面と反対側の面に接合層（３１）を介して設置した圧電体（６）とを備え、上記板状部材の上記圧電体に対する対向面積は、上記接着層を介して上記板状部材と上記圧電体が接合される接合面積以上、あるいは上記板状部材と上記圧電体が対向する対向面積以上である超音波流量計。
4. 被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられて超音波を送受信する一対の超音波振動子と、前記一方の超音波振動子を主共振モードと２次共振モードによる駆動を行う手段と、上記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、上記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
   前記超音波振動子は、板状部材（３）と、上記板状部材の一方の面に接着層（３０）を介して設置した音響整合層（４）と、上記板状部材の上記音響整合層が設けられた面と反対側の面に接合層（３１）を介して設置した圧電体（６）とを備え、上記音響整合層の対向面積は上記圧電体が上記板状部材と接合される面の接合面積以上、あるいは上記圧電体が上記板状部材を介して上記音響整合層に対向する対向面積以上、かつ上記板状部材の対向面積は上記板状部材と上記音響整合層が上記接着層を介して接合される接合面積以上、あるいは上記音響整合層が上記板状部材に対向する対向面積以上である超音波流量計。
5. 被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられて超音波を送受信する一対の超音波振動子と、前記一方の超音波振動子を主共振モードと２次共振モードによる駆動を行う手段と、上記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、上記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
   前記超音波振動子は、板状部材（３）と、上記板状部材の一方の面に接着層（３０）を介して設置した音響整合層（４）と、上記板状部材の上記音響整合層が設けられた面と反対側の面に接合層（３１）を介して設置した圧電体（６）とを備え、上記接着層の対向面積は上記圧電体が上記板状部材と接合される接合面の接合面積以上、あるいは上記圧電体が上記接着層に対向する対向面積以上である超音波流量計。
6. 被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられて超音波を送受信する一対の超音波振動子と、前記一方の超音波振動子を主共振モードと２次共振モードによる駆動を行う手段と、上記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、上記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
   前記超音波振動子は、板状部材（３）と、上記板状部材の一方の面に接着層（３０）を介して設置した音響整合層（４）と、上記板状部材の上記音響整合層が設けられた面と反対側の面に接合層（３１）を介して設置した圧電体（６）とを備え、上記接着層の対向面積は上記音響整合層が上記板状部材と接合する接合面積以上、あるいは上記音響整合層が上記接着層に対向する対向面積以上である超音波流量計。
7. 上記音響整合層の面積は、上記板状部材の面積の１００〜１１０％である請求項１〜６のいずれか１つに記載の超音波流量計。
8. 上記一対の超音波振動子（１７，１８）は大略同一形状であり、インピーダンスの周波数が２００ＫＨｚ〜７５０ＫＨｚの使用範囲である請求項１〜７のいずれか１つに記載の超音波流量計。
9. 上記一対の超音波振動子（１７，１８）は大略同一形状であり、インピーダンスの周波数が２００ＫＨｚ〜７５０ＫＨｚの使用範囲において、上記一対の超音波振動子のインピーダンスの周波数特性相関係数は０．８０以上である請求項８に記載の超音波流量計。