JPS6030298A - 超音波送受波器 - Google Patents
超音波送受波器Info
- Publication number
- JPS6030298A JPS6030298A JP58138935A JP13893583A JPS6030298A JP S6030298 A JPS6030298 A JP S6030298A JP 58138935 A JP58138935 A JP 58138935A JP 13893583 A JP13893583 A JP 13893583A JP S6030298 A JPS6030298 A JP S6030298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- ultrasonic
- matching layer
- acoustic
- acoustic matching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、超音波を利用した測定装置、例えば超音波
流量計、超音波診断装置や非破壊検査装置等に用いられ
る超音波送受波器の改良に関する。
流量計、超音波診断装置や非破壊検査装置等に用いられ
る超音波送受波器の改良に関する。
〈発明の背景〉
この発明の背景を、超音波流量計について、以下図面を
用いて説明する。第1図は、超音波送受波器の構造図で
、1は外部の発信回路(図示せず)よシ発信信号を受け
て超音波を発生する振動子、2は超音波を伝播させろ材
質(例えばアクリル樹脂やエポキシ樹脂等の有機固体)
よシ成る伝播要素(以下「シニー」という)、3は一層
または多層の1/4波長厚の媒質よシ成る音響整合層で
ある。
用いて説明する。第1図は、超音波送受波器の構造図で
、1は外部の発信回路(図示せず)よシ発信信号を受け
て超音波を発生する振動子、2は超音波を伝播させろ材
質(例えばアクリル樹脂やエポキシ樹脂等の有機固体)
よシ成る伝播要素(以下「シニー」という)、3は一層
または多層の1/4波長厚の媒質よシ成る音響整合層で
ある。
第2図は、第1図に示した超音波送受器を、被測定流体
5が流れる管路4に取付けた状態を示したものである。
5が流れる管路4に取付けた状態を示したものである。
超音波流量itは、一般に図示するように、管路4に一
対の超音波送受波器を対向して設置し、これ等一対の超
音波送受波器間で往復する超音波の到達時間差を測定す
ることにより被測定流体5の流量を測定する。
対の超音波送受波器を対向して設置し、これ等一対の超
音波送受波器間で往復する超音波の到達時間差を測定す
ることにより被測定流体5の流量を測定する。
ところで、管路4の肉厚が超音波送受波器から発信され
る超音波の波長と同程度又は波長の数倍程度である場合
には、特定の肉厚を有する管路4において板波(薄い板
状の固体を伝播する波)が生じる。今所定入射角度・所
定周波数の超音波が、管路4に入射した場合を考える。
る超音波の波長と同程度又は波長の数倍程度である場合
には、特定の肉厚を有する管路4において板波(薄い板
状の固体を伝播する波)が生じる。今所定入射角度・所
定周波数の超音波が、管路4に入射した場合を考える。
板波が生じる管路4の肉厚をそれぞれa□l a21
a3とし、このal。
a3とし、このal。
a2.a3のi間付近の管路4の肉厚をす、、 b2.
b3とすると、第3図に示すような超音波透過特性と
なる。図から明らかなように、板波が生じるa□、a2
゜a3の肉厚では、透過音(受信波)電圧は大きく、b
工、b2.b3の肉厚では透過音(受信波)電圧は小さ
くなる。図の破線は、管路4の肉厚が増大することによ
り透過音(受信波)電圧が小さくなることを表わしたも
のである。
b3とすると、第3図に示すような超音波透過特性と
なる。図から明らかなように、板波が生じるa□、a2
゜a3の肉厚では、透過音(受信波)電圧は大きく、b
工、b2.b3の肉厚では透過音(受信波)電圧は小さ
くなる。図の破線は、管路4の肉厚が増大することによ
り透過音(受信波)電圧が小さくなることを表わしたも
のである。
即ち、板波の励起がうまく行なわれない肉厚を有する管
路4においては、超音波送受波器から発信された超音波
は被測定流体5まで伝達しにくい。
路4においては、超音波送受波器から発信された超音波
は被測定流体5まで伝達しにくい。
つまシこのような肉厚を有する管路4においては、超音
波は管路4の管壁通過の際に急激に減衰し、最悪の場合
には流量測定が不可能となる。しかし実験の結果、管路
4の肉厚に左右されることのない超音波送受波器は、音
響整合層3として理想的な音響インピーダンス(ρC:
ρ=密度、C=音速)を有する物質を使用し広帯域化を
図ることによシ実現できることが判明した。即ち周波数
帯域を広くすることによシ各周波数において離散的に生
じる板波を連続的に発生させ、第3図b□、b2.b3
に示すような望ましくない状態の発生を防ぐことができ
る。
波は管路4の管壁通過の際に急激に減衰し、最悪の場合
には流量測定が不可能となる。しかし実験の結果、管路
4の肉厚に左右されることのない超音波送受波器は、音
響整合層3として理想的な音響インピーダンス(ρC:
ρ=密度、C=音速)を有する物質を使用し広帯域化を
図ることによシ実現できることが判明した。即ち周波数
帯域を広くすることによシ各周波数において離散的に生
じる板波を連続的に発生させ、第3図b□、b2.b3
に示すような望ましくない状態の発生を防ぐことができ
る。
ここに理想的な音響インピーダンスは、振動子1の音響
インピーダンスを21とし、シ3.−2の音響インピー
ダンスを22とすれば、音響整合層3の最適音響インピ
ーダンス2゜は z。−5T可 (1) よ請求めることができ、その結果厚さは1/4波長厚と
なることが知られている。
インピーダンスを21とし、シ3.−2の音響インピー
ダンスを22とすれば、音響整合層3の最適音響インピ
ーダンス2゜は z。−5T可 (1) よ請求めることができ、その結果厚さは1/4波長厚と
なることが知られている。
しかし現実には期待通シの音響インピーダンスを有する
物質を見い出すことは容易ではない。例えば音響整合層
を一層とし、超音波振動子材質をpZT (P =鉛(
Pb)+z=ジルコニウム(Zr ) +T=チタン(
T1)の酸化物粉末をち密に焼結した多結晶体〕とする
と音響整合層の理想的な音響インピーダンスの値ρCは
最適音響インピーダンスの計算式よシ4〜9 x 10
” kg/m? S程度となる。しかしながらこのよう
な値を有し、かつ実用に耐える物質は単体では存在し彦
い。
物質を見い出すことは容易ではない。例えば音響整合層
を一層とし、超音波振動子材質をpZT (P =鉛(
Pb)+z=ジルコニウム(Zr ) +T=チタン(
T1)の酸化物粉末をち密に焼結した多結晶体〕とする
と音響整合層の理想的な音響インピーダンスの値ρCは
最適音響インピーダンスの計算式よシ4〜9 x 10
” kg/m? S程度となる。しかしながらこのよう
な値を有し、かつ実用に耐える物質は単体では存在し彦
い。
そこで一般的にはタングステン粉末等の金属粉末をエポ
キシ樹脂等の母材樹脂に添加して平板状に固化して使用
するが、このようにして製作した音響整合層3は、任意
の音響インピーダンスzoを得ることが出来るものの、
次のような問題点がある。
キシ樹脂等の母材樹脂に添加して平板状に固化して使用
するが、このようにして製作した音響整合層3は、任意
の音響インピーダンスzoを得ることが出来るものの、
次のような問題点がある。
■製作価格が高い。
■金属粉末を添加した事による品質の均一化が困難であ
る。
る。
■音速が母材よりも小さくなるために、MHz単位の高
周波においては、音響整合層3の厚さが極めて薄くなシ
、強度的に不十分となり取扱いも難しくなる。
周波においては、音響整合層3の厚さが極めて薄くなシ
、強度的に不十分となり取扱いも難しくなる。
■熱膨張率が振動子と大きく異なるため、接着後温度が
大きく変化すると剥離が生ずる。
大きく変化すると剥離が生ずる。
■温度変化によシ音速が大きく変化するので、結果的に
厚さが174波長厚からずれることになシ、感度や送受
信波形も変化する。
厚さが174波長厚からずれることになシ、感度や送受
信波形も変化する。
等である。
く本発明の目的〉
この発明の目的は、上述の問題点を解決するためKなさ
れたものであり、安価に製造することが出来、しかも管
路4の肉厚に影響されることのない超音波送受波器を提
供することにある。
れたものであり、安価に製造することが出来、しかも管
路4の肉厚に影響されることのない超音波送受波器を提
供することにある。
〈本発明の実施例〉
以下この発明の具体的実施例を図面を用いて説明する。
シェー2の音響インピーダンスをZ2 # 3 x 1
06kg/m −8、振動子1の音響インピーダンスを
21#30 x 106kg/m2・Sとすると、音響
整合層3の理想的な音響インピーダンス2゜は、 2 Zo:(6,5−9,5)xlOkg/m −3(2)
となる。しかしこのような音響インピーダンス2゜を有
する単体の音響整合層3は見出すことが出来ない。
06kg/m −8、振動子1の音響インピーダンスを
21#30 x 106kg/m2・Sとすると、音響
整合層3の理想的な音響インピーダンス2゜は、 2 Zo:(6,5−9,5)xlOkg/m −3(2)
となる。しかしこのような音響インピーダンス2゜を有
する単体の音響整合層3は見出すことが出来ない。
よって、第2図に示す管路4の肉厚に影響されない特性
を有する送受波器を実現させる音響整合層3は、前述の
方法とは異なる方法でめる必要がある。
を有する送受波器を実現させる音響整合層3は、前述の
方法とは異なる方法でめる必要がある。
具体的にはこの発明における音響整合層3の音響インピ
ーダンス2゜の値を、振動子1の音響インピーダンスz
1とシB、−2の音響インピーダンスz2の幾何平均よ
シも大きな値を有するようにする。
ーダンス2゜の値を、振動子1の音響インピーダンスz
1とシB、−2の音響インピーダンスz2の幾何平均よ
シも大きな値を有するようにする。
即ち、
zo > m (3)
なる関係を有するようにする。この関係を満足するよう
な材質としては、ガラス等安価なものが多数存在子る。
な材質としては、ガラス等安価なものが多数存在子る。
又その厚さdは、超音波の1波長をλで表わすと、実験
的K d−λx(−!l−±0.07) (4)とすれば良い
ことが判明した。
的K d−λx(−!l−±0.07) (4)とすれば良い
ことが判明した。
第4図は、振動子2の中心周波数f。をI Mllzと
し、音響整合層3の材質を例えば硼珪酸ガラス〔(ρ=
2,23xlO3:l(g/m” # c = 56
00 m/s ) 、 厚さ1>λ/4 ”= L4
rrrm )とした場合の、周波数f/foに対する送
受波電圧レベルの関係を表わしたものである。
し、音響整合層3の材質を例えば硼珪酸ガラス〔(ρ=
2,23xlO3:l(g/m” # c = 56
00 m/s ) 、 厚さ1>λ/4 ”= L4
rrrm )とした場合の、周波数f/foに対する送
受波電圧レベルの関係を表わしたものである。
図におけるfl、f2の値が、第3図に示した特性にお
いて相補的な特性を示すよりにする。即ち周波数flc
よシ板波が励起される管路4の肉厚a□、a2゜a3の
中間の厚さb□、b2.b3付近で周波数f2にょシ板
波が励起されるように、それぞれ翼車周波数fIIf2
の値を選定することで、第5図に示すように、大幅に超
音波透過特性を改善することができる。
いて相補的な特性を示すよりにする。即ち周波数flc
よシ板波が励起される管路4の肉厚a□、a2゜a3の
中間の厚さb□、b2.b3付近で周波数f2にょシ板
波が励起されるように、それぞれ翼車周波数fIIf2
の値を選定することで、第5図に示すように、大幅に超
音波透過特性を改善することができる。
即ち第3図に比べて透過曲線のうねりが大幅に減少し、
管路4の肉厚に影響されなくなる。これは送受波器の特
性が広く平坦な周波数特性でなくて、第5図に示すよう
な翼車特性であってもfl”2の値を選定すればf成分
とf2成分が相補的に働き、超音波透過特性を改善する
ことが出来ることがわかる。即ち、(3)式の関係を有
し、厚さ會がほぼ174波長厚であるような音響整合層
5は、一般のガラス等によシ容易に作シ出すことができ
る。従って従来問題とされていた管路4の肉厚の影響を
この発明によシ解決でき、適用範囲の広い超音波送受波
器を安価に製作することができる。
管路4の肉厚に影響されなくなる。これは送受波器の特
性が広く平坦な周波数特性でなくて、第5図に示すよう
な翼車特性であってもfl”2の値を選定すればf成分
とf2成分が相補的に働き、超音波透過特性を改善する
ことが出来ることがわかる。即ち、(3)式の関係を有
し、厚さ會がほぼ174波長厚であるような音響整合層
5は、一般のガラス等によシ容易に作シ出すことができ
る。従って従来問題とされていた管路4の肉厚の影響を
この発明によシ解決でき、適用範囲の広い超音波送受波
器を安価に製作することができる。
ところで上記実施例では第3図に示すような管路4の肉
厚が問題となる場合について述べたが、非破壊検査等に
用いられる超音波探触子では、短かくて鋭いパルスの実
現が第1に望まれることが多い。この場合の音響整合層
の厚さについて以下に述べる。
厚が問題となる場合について述べたが、非破壊検査等に
用いられる超音波探触子では、短かくて鋭いパルスの実
現が第1に望まれることが多い。この場合の音響整合層
の厚さについて以下に述べる。
前記(3)式の関係を有する音響整合層5を用い、この
音響整合層3の厚さを変化させると第6図に示す送受信
波形及び第7図と第8図に示すような特性となる。第6
図(振動子1の中心周波数は1MHzである)(イ)は
J/4厚(t = 1.4mm/IMHz )のガラス
を挿入した場合、同図(ロ)はλ/4厚以下(1=0.
9 mm/I MHz )のガラスを挿入した場合、同
図(ハ)はガラスを挿入しない場合の受信波形である。
音響整合層3の厚さを変化させると第6図に示す送受信
波形及び第7図と第8図に示すような特性となる。第6
図(振動子1の中心周波数は1MHzである)(イ)は
J/4厚(t = 1.4mm/IMHz )のガラス
を挿入した場合、同図(ロ)はλ/4厚以下(1=0.
9 mm/I MHz )のガラスを挿入した場合、同
図(ハ)はガラスを挿入しない場合の受信波形である。
これ等を比較すると、(ロ)の波形は(イ)と(→の波
形に比べてパルス幅が小さく受信波の振幅が大きいこと
がわかる。
形に比べてパルス幅が小さく受信波の振幅が大きいこと
がわかる。
第7図は、音響整合層3の音響インピーダンスを変化さ
せた場合、即ち厚さや媒質を変化させた場合の周波数応
答である。図において、特性8は送受信波形が上記第6
図ぐうの場合、即ち音響整合層5を挿入しない場合であ
シ、周波数帯域は非常に狭い。特性すは従来技術で述べ
た理想的音響インピーダンスを有する音響整合層3を挿
入した場合であゃ、周波数帯域はaに比べて広い。特性
Cは送受信波形が第6図0)の音響整合層3を挿入した
場合であり、周波数帯域はbK比べてさらに広くはなっ
ているが平坦ではなく、その結果送受信波形は第6図0
)に示したように歪んだものとなっている。
せた場合、即ち厚さや媒質を変化させた場合の周波数応
答である。図において、特性8は送受信波形が上記第6
図ぐうの場合、即ち音響整合層5を挿入しない場合であ
シ、周波数帯域は非常に狭い。特性すは従来技術で述べ
た理想的音響インピーダンスを有する音響整合層3を挿
入した場合であゃ、周波数帯域はaに比べて広い。特性
Cは送受信波形が第6図0)の音響整合層3を挿入した
場合であり、周波数帯域はbK比べてさらに広くはなっ
ているが平坦ではなく、その結果送受信波形は第6図0
)に示したように歪んだものとなっている。
第8図は、第7図の特性Cをさらに分析したものである
。即ち、音響整合層3の厚さを、λ/4厚前後前後化さ
せた場合の周波数応答特性である。
。即ち、音響整合層3の厚さを、λ/4厚前後前後化さ
せた場合の周波数応答特性である。
特性Wは音響整合層3の厚さをス/4厚以上とした場合
、特性Xはλ/4厚とした場合、特性Yはλ/4厚以下
とした場合である。この特性を見ると、音響整合層3の
厚さをλ/4厚以下とした場合に、単車特性が得られこ
の時に、第6図←)に示すような歪みのない良好なパル
ス応答特性が得られることがわかる。
、特性Xはλ/4厚とした場合、特性Yはλ/4厚以下
とした場合である。この特性を見ると、音響整合層3の
厚さをλ/4厚以下とした場合に、単車特性が得られこ
の時に、第6図←)に示すような歪みのない良好なパル
ス応答特性が得られることがわかる。
ところで、この特性Yを得るための、音響整合層3の最
適な厚さtは、次のようにしてめることができる。
適な厚さtは、次のようにしてめることができる。
今音響インピーダンスの値を、2□−30x 1062
6 2 kg/m−8、Z2=3x10 kg/m、S 、Zo
−6,5−9,5x 2 :LOkg/m−8とする。Zoを音響整合層3の材質
密度ρで割り、この結果を音響整合層3の仮の音速Cと
みなし、その値よ、9tをめると、 t=λ/4− Zo/4ρfo(5) となる。但しf。は振動子1の中心周波数とする。
6 2 kg/m−8、Z2=3x10 kg/m、S 、Zo
−6,5−9,5x 2 :LOkg/m−8とする。Zoを音響整合層3の材質
密度ρで割り、この結果を音響整合層3の仮の音速Cと
みなし、その値よ、9tをめると、 t=λ/4− Zo/4ρfo(5) となる。但しf。は振動子1の中心周波数とする。
今、例えば音響整合層3の密度ρを2.23 x 10
3kg/m とし、撮動子1の中心周波数f。をI M
Hz とすれば、音響整合層3の最適厚さtは、おおよ
そ0.73〜1・07 mm となる。即ち音響整合層
3の音響インピーダンス2゜が理想値よシ大きな値であ
っても、厚さtを(5)式によってめれば、即ちその厚
さをλ/4厚よシ薄くすれば良好な特性を有するパルス
を得ることができる。
3kg/m とし、撮動子1の中心周波数f。をI M
Hz とすれば、音響整合層3の最適厚さtは、おおよ
そ0.73〜1・07 mm となる。即ち音響整合層
3の音響インピーダンス2゜が理想値よシ大きな値であ
っても、厚さtを(5)式によってめれば、即ちその厚
さをλ/4厚よシ薄くすれば良好な特性を有するパルス
を得ることができる。
尚この発明の実施例において伝播要素2を斜角形のシュ
ーである有機固体として説明してきたが、これに限定さ
れるものではなり0例えば第9図に示すような水浸探傷
用探触子では水2aになる訳で、この場合でも上記した
結論はそのまま用いることができる。
ーである有機固体として説明してきたが、これに限定さ
れるものではなり0例えば第9図に示すような水浸探傷
用探触子では水2aになる訳で、この場合でも上記した
結論はそのまま用いることができる。
〈本発明の効果〉
この発明によって、例えば超音波流量計等のように管路
の肉厚が影響してくる場合には、その影響を打消すよう
な特性の超音波を発生し、又例えば非破壊検査装置や超
音波診断装置等の短かいパルスを必要とするものにおい
ては帯域幅の広い特性の超音波を発生する超音波送受波
器を容易に実現することができる。その効果は、 ■安価で容易に入手可能な材質を音響整合層として使用
できるので製品の価格低減がはかれる。
の肉厚が影響してくる場合には、その影響を打消すよう
な特性の超音波を発生し、又例えば非破壊検査装置や超
音波診断装置等の短かいパルスを必要とするものにおい
ては帯域幅の広い特性の超音波を発生する超音波送受波
器を容易に実現することができる。その効果は、 ■安価で容易に入手可能な材質を音響整合層として使用
できるので製品の価格低減がはかれる。
■音響整合層の材質の選択範囲が広がるので、いろいろ
の目的や条件に対応することが可能となった。従って高
品質で高信頼性を有する製品を実現することができる。
の目的や条件に対応することが可能となった。従って高
品質で高信頼性を有する製品を実現することができる。
ことにガラス、セラミックあるいはそれ等の合成物を使
用した場合は、広い温度範囲に渡って、音速が変化せず
特性も安定なため、一定した性能を有する製品を製作す
ることができる。
用した場合は、広い温度範囲に渡って、音速が変化せず
特性も安定なため、一定した性能を有する製品を製作す
ることができる。
〈本発明の応用〉
上記した以外に、この発明は板波探傷(板波を用いて探
傷する方法)に用いる探触子にも応用できる。この場合
(特に第4図)、複数の板波の励起が可能となるので、
より効果的な結果を得ることができる。
傷する方法)に用いる探触子にも応用できる。この場合
(特に第4図)、複数の板波の励起が可能となるので、
より効果的な結果を得ることができる。
以上説明したように広い範囲に渡ってこの発明の超音波
送受波器は利用できるので、工業上極めて有用な技術で
ある。
送受波器は利用できるので、工業上極めて有用な技術で
ある。
第1図は一般的な超音波送受波器の構造図であシ、第2
図は第1図の超音波送受波器を管路Km付けた図であシ
、第3図は管路の肉厚と透過音電圧との関係を示す図で
あり、第4図乃至第8図は本発明を説明するための特性
図であシ、第9図は第1図以外の超音波送受波器の構造
である。 1・・・振動子、2.21・・・伝播要素(シー−1水
)、3・・・音響整合層、4・・・管路、5・・・被測
定体。 M1図 管路の肉、厚(mml 革4図 爪5図 管外の肉1mm1 M6図 (イ) −(1 −ゝゝさ21
図は第1図の超音波送受波器を管路Km付けた図であシ
、第3図は管路の肉厚と透過音電圧との関係を示す図で
あり、第4図乃至第8図は本発明を説明するための特性
図であシ、第9図は第1図以外の超音波送受波器の構造
である。 1・・・振動子、2.21・・・伝播要素(シー−1水
)、3・・・音響整合層、4・・・管路、5・・・被測
定体。 M1図 管路の肉、厚(mml 革4図 爪5図 管外の肉1mm1 M6図 (イ) −(1 −ゝゝさ21
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 外部信号によシ超音波を発生する振動子の超音波振動を
音響整合層を介して伝播要素に印加するようにした超音
波送受波器において、 上記音響整合層を 囚厚さは、上記超音波のほぼ1/4波長厚又は174波
長厚より薄いものとし、 ω)音響インピーダンス2゜は、上記振動子の音響イン
ピーダンスを2□とし、上記伝播要素の音響インピーダ
ンスをz2としたとき、 zo>小「り なる関係を満足するようにした超音波送受波器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58138935A JPS6030298A (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 超音波送受波器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58138935A JPS6030298A (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 超音波送受波器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1055713A Division JPH01280217A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 超音波流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6030298A true JPS6030298A (ja) | 1985-02-15 |
JPH0418520B2 JPH0418520B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=15233579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58138935A Granted JPS6030298A (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 超音波送受波器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6030298A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2615958A1 (fr) * | 1987-05-29 | 1988-12-02 | Radarson | Procedes et dispositifs pour augmenter la portee d'un capteur de distance constitue par un transducteur electro-acoustique place dans un gaz |
JP2002188946A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波センサ |
EP1615203A1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-01-11 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Ultrasonic transducer system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS586461A (ja) * | 1981-07-04 | 1983-01-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
-
1983
- 1983-07-29 JP JP58138935A patent/JPS6030298A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS586461A (ja) * | 1981-07-04 | 1983-01-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2615958A1 (fr) * | 1987-05-29 | 1988-12-02 | Radarson | Procedes et dispositifs pour augmenter la portee d'un capteur de distance constitue par un transducteur electro-acoustique place dans un gaz |
JP2002188946A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波センサ |
EP1615203A1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-01-11 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Ultrasonic transducer system |
WO2006004408A1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-01-12 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Ultrasonic transducer system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0418520B2 (ja) | 1992-03-27 |
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