JP2003338246A

JP2003338246A - プラズマ表示装置およびその製造方法

Info

Publication number: JP2003338246A
Application number: JP2002146538A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Suzuki; 芳男鈴木; Toshiharu Suzuki; 俊治鈴木; Hajime Inoue; 肇井上
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2002-05-21
Filing date: 2002-05-21
Publication date: 2003-11-28

Abstract

(57)【要約】【課題】開口率が高く、消費電力を低減させることが
可能なプラズマ表示装置およびその製造方法を提供す
る。【解決手段】維持電極１２（１２Ｘ，１２Ｙ）は、放
電部１２Ａと配線部１２Ｂからなる。放電部１２Ａは隔
壁１３の側面に設けられ、対向放電を行う対向面を形成
する。配線部１２Ｂは、隔壁１３の内部に水平方向に延
在し、各放電部１２Ａに給電するようになっている。こ
の維持電極１２Ｘ，１２Ｙによる放電では、面放電型よ
りも放電開始電圧が低くなると共に、構造的に対向面間
の容量が低減する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、交流プラズマ放電
を利用して表示を行うプラズマ表示装置、およびその製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma
Display Panel) は、テレビジョン受像機やコンピュー
タ用ディスプレイにおいて、従来広く用いられてきた陰
極線管（ＣＲＴ）では実現が難しいとされる薄型・大画
面化に対応し得るディスプレイとして注目されており、
既に４０インチ以上の大型ディスプレイが製品化されて
いる。

【０００３】図１８は、従来のＡＣ型プラズマ表示装置
の構成を表している。この表示装置は、前面ガラス基板
１０１と背面ガラス基板１０２とが対向配置された構造
を有し、前面ガラス基板１０１上には、一対の維持電極
１０７（１０７Ｘ，１０７Ｙ）が放電ギャップを介して
複数並列するように設けられている。また、その上に
は、維持電極１０７を被覆するように誘電体層１０９，
保護層１１０が順に形成されている。一方、背面ガラス
基板１０２の上には、複数のアドレス電極１０３が維持
電極１０７と直交する方向に配列するように形成されて
いる。アドレス電極１０３の上には誘電体層１０４が形
成され、更にその上に、各アドレス電極１０３毎に空間
を仕切るための隔壁１０５が形成されている。隔壁１０
５の間には、赤（Ｒ;Red），緑（Ｇ;Green）および青
（Ｂ;Blue ）の３原色の蛍光体層１０６が周期的に塗布
形成されている。前面ガラス基板１０１と背面ガラス基
板１０２に挟まれた放電空間は、周縁部において気密封
止され、放電ガスで満たされている。

【０００４】こうしたプラズマ表示装置では、維持電極
１０７Ｘ，１０７Ｙに電圧を印加し、その間で放電させ
ることで発光表示が行われる。すなわち、この放電によ
り放電ガスを励起させ、真空紫外線を発生させると、背
面ガラス基板１０２上の蛍光体１０６が真空紫外線の照
射を受けて各色に発光する。この可視光は、前面ガラス
基板１０１を透過して表示発光色となる。

【０００５】このように、維持電極１０７Ｘ，１０７Ｙ
が同じ基板に形成され、放電が生じる対向面が一平面上
に配置されている構造は、面放電型と呼ばれ、これまで
の装置の主流となってきた。その最大の理由は、面放電
型では、放電が前面ガラス基板１０１の側で起きるため
に、背面ガラス基板１０２側に設けた蛍光体１０６にプ
ラズマ中のイオンが直接衝撃を与えずに済み、劣化が大
幅に改善されることにあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、面放電
では、放電開始電圧が高く、また維持電極１０７Ｘ，１
０７Ｙ間の静電容量の充電に費やされる無効電力が大き
い。したがって、面放電を主放電に用いる従来の装置で
は、消費電力が大きいという問題があった。しかも、デ
ィスプレイの高精細化がますます希求されている昨今で
は、画素ピッチ共に電極ピッチも小さくなる傾向がある
が、これにより線間容量が大きくなるために、無効電力
は今後より増加する傾向にある。このように、無効電力
の低減は一層重要な課題となりつつあり、それを含めた
消費電力全体の低減が、発熱の低減などのためにも必要
とされてきていた。

【０００７】また、面放電型では、表示面側の前面ガラ
ス基板１０１に維持電極１０７を設けるために開口率が
低くなるという問題があった。通常、維持電極１０７
Ｘ，１０７Ｙは、表示面側に位置することからＩＴＯ
（Indium-Tin Oxide）等の透明電極材料で形成されてい
る。しかし、現在用いられている透明電極材料は、どれ
も比較的抵抗が高い。そこで、抵抗低減のため、維持電
極１０７Ｘ，１０７Ｙの側縁には良導性のバス電極１０
８が付設されるようになっているのである。バス電極１
０８は金属で形成するしかなく、これが開口率を低下さ
せる。そのうえ、透明電極といえども光吸収はあるの
で、光が維持電極１０７Ｘ，１０７Ｙを透過する際にい
くばくかの損失が生じ、さらに光取り出し効率を低下さ
せていた。

【０００８】また、維持電極１０７に対してさらにバス
電極１０８を付設することは、製造工程が増加すること
であり、さらに両者が異質な材料であるために、その界
面で剥離が発生する可能性が高かった。このように従来
では、維持電極１０７に対しては、電極構造上また製造
工程上でも改善する余地があった。

【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、開口率が高く、消費電力を低減させ
ることが可能なプラズマ表示装置およびその製造方法を
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマ表示装
置は、一対の基板の間の領域に形成され、これらの基板
面に平行な方向に放電を生ずるための対向面を有してい
る一対の維持電極を備えているものである。

【００１１】本発明のプラズマ表示装置の第１の製造方
法は、本発明のプラズマ表示装置を製造する方法であっ
て、基板の一方の基板面上に隔壁を形成し、隔壁の側面
に、維持電極の対向面を形成するものである。

【００１２】本発明のプラズマ表示装置の第２の製造方
法は、本発明のプラズマ表示装置を製造する方法であっ
て、基板の一方の基板面上に隔壁を形成する工程と、隔
壁の上面に溝を形成する工程と、この溝に埋め込むよう
にして維持電極を形成する工程とを含むものである。

【００１３】本発明のプラズマ表示装置およびその製造
方法では、一対の維持電極は、対向面が基板面に平行な
方向に放電を生ずるように形成される。特に、プラズマ
表示装置の第１の製造方法では、維持電極の対向面が隔
壁側面に形成され、第２の製造方法では、維持電極全体
が隔壁内部に形成される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００１５】〔第１の実施の形態〕図１は、本発明の第
１の実施の形態に係るプラズマ表示装置の要部を示す構
成図であり、図２は、そのＩ−Ｉ断面図である。ただ
し、図１の方は背面ガラス基板２１側の構造を示してい
る。このプラズマ表示装置は、背面ガラス基板１１，前
面ガラス基板２１（以下では単に基板と記す）が放電空
間を介して対向配置して構成されており、放電空間にＨ
ｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒの希ガスのうち１種類以上
からなる放電ガスを封入するように周縁部にて気密封止
されている。また、各画素に対応する放電セルは、維持
電極１２Ｘ，１２Ｙおよびアドレス電極１６の３電極で
構成されている。

【００１６】このプラズマ表示装置では、発光表示のた
めの放電を行う一対の維持電極１２（１２Ｘ，１２Ｙ）
が、互いの対向面を、背面ガラス基板１１，前面ガラス
基板２１（以下では、単に基板と記す）の間の領域に、
これらの基板面に平行な方向に放電を生ずるように設け
られている。すなわち、各維持電極１２は、隔壁１３の
側面に設けた放電部１２Ａによって放電対向面が形成さ
れている。

【００１７】この放電用の対向面は、できるだけ広いほ
うが好ましい。従来の面放電型では、維持電極の放電対
向面の大きさには画素ピッチによる制限があるが、これ
に対し、本実施の形態では、放電部１２Ａは隔壁１３の
側面に設けられることから、対向面の面積は大きくな
る。この放電部１２Ａの面積は、画素ピッチには関係な
く、隔壁１３の高さに応じて拡大される。なお、放電部
１２Ａは、必ずしも隔壁１３の側面全体に設けられずと
もよく、蛍光体１７の形成位置などを考慮して所定部分
に適宜に設けられていてよい。維持電極１２Ｘ，１２Ｙ
の放電部１２Ａがそれぞれ隔壁１３の側面に設けられる
ことによる利点としては、その他に、放電ギャップがセ
ル寸法程度にまで広げられ、その静電容量が大幅に低減
されることが挙げられる。

【００１８】また、これら放電部１２Ａにおける放電
は、基板１１，２１に平行方向の対向放電となる。すな
わち、対向面がほぼ平行に配置されていることから、こ
の維持電極１２Ｘ，１２Ｙによる放電では、面放電型よ
りも放電開始電圧が低くなると共に、構造的に対向面間
の容量が低減する。

【００１９】ただし、ここでは、アドレス電極１６もま
た隔壁１３を利用して形成されるために、隔壁１３は格
子状（いわゆるワッフル型）となっている。したがっ
て、放電部１２Ａは、隔壁１３によって区画された放電
セルの一つ一つ、つまり各画素に独立に設けられてい
る。そこで、維持電極１２には、各放電部１２Ａに給電
するための配線部１２Ｂが必要となる。配線部１２Ｂ
は、従来のストライプ状の維持電極と同様に水平方向に
画素を貫くように設けられると共に、その配線経路上に
配置されている放電部１２Ａと接合して電気的接続がな
されるように設けられる。ここでは、配線部１２Ｂの位
置を隔壁１３の内部としており、対をなす維持電極１２
の対向面が互いに平坦となるようにしている。

【００２０】なお、そのような構成とするには、配線部
１２Ｂを放電部１２Ａ以外の領域に配し、かつ、両者が
接合されるように設けねばならないが、そのためには隔
壁１３の内部のほか、例えば、配線部１２Ｂを基板１１
もしくは基板２１の面上に設けることによっても実現で
きる。この配線部１２Ｂは、側面にて放電部１２Ａと接
合されるため、側面の面積は大きいほうがよい。したが
って、ある程度の厚みでもって形成するものとし、流れ
る電流に応じて断面積を決めればよい。

【００２１】このような維持電極１２では、放電部１２
Ａが隔壁１３の側面、配線部１２Ｂが隔壁１３の内部に
設けられているため、表示面側（基板２１側）から見て
画素領域に占めるのは、せいぜい放電部１２Ａの厚み分
位しかない。そのため、この装置では、表示面側に発光
を遮るものがなく、光を効率よく外へ取り出すことがで
きる。また、この維持電極１２は、放電部１２Ａ，配線
部１２Ｂ共に表示面側から見えない位置に配されている
ので、金属で形成することが可能となる。よって、維持
電極１２は、従来のようにバス電極を付設する必要がな
くなり、それに付随する製造上の問題を考慮することも
なくなる。なお、維持電極１２のうち、放電セル内に露
出する放電部１２Ａは、放電時の電荷蓄積と劣化防止の
ために誘電体層１４，保護層１５により被覆される。

【００２２】一方、アドレス電極１６は、維持電極１２
Ｙとの間でアドレス放電を行うことによって画素をアド
レスすることが可能なように、維持電極１２Ｙの配線部
１２Ｂと直交方向に配される。このアドレス電極１６
は、従来のように基板１１と隔壁１３の間に延在するよ
うに設けることもできる。しかし、ここでは、アドレス
電極１６は、隔壁１３の上面に、隔壁１３に沿って延在
するように設けられている。よって、アドレス電極１６
もまた、維持電極１２同様に表示面側から見えることは
ない。

【００２３】さらに、このアドレス電極１６は、一対の
維持電極１２のうち維持電極１２Ｙの方に向かって突出
するような分岐部１６Ａを有している。これにより、ア
ドレス電極１６は、維持電極１２のうち維持電極１２Ｙ
の方により近接することになり、維持電極１２Ｙとの間
で選択的にアドレス放電を起こしやすくなる。分岐部１
６Ａは、より維持電極１２Ｙとの間で放電しやすいよう
に、できるだけ維持電極１２Ｙとの対向面が広く、でき
るだけ維持電極１２Ｙに近い方がよい。

【００２４】蛍光体１７は、基板１１上、つまり各放電
セルの底部に設けられている。ここでは、蛍光体１７
を、隔壁１３の側面まで形成して維持電極１２，アドレ
ス電極１６の分岐部１６Ａに部分的に重なるようにした
が、放電による劣化を防ぐために電極１２、１６の放電
領域に重ならないように配置することも可能である。例
えば、蛍光体１７を表示面側の基板２１上に設けるよう
にするとよい。

【００２５】なお、以上に説明した各構成要素は、ほぼ
従来と同様の材料を用いて形成される。基板１１，２１
には、高歪点ガラスやソーダライムガラス等が用いられ
る。維持電極１２，アドレス電極１６としては、例えば
金属のなかでも良導体であるＡｇが好適に用いられるほ
か、Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，ＭｏまたはＣｒなども用いるこ
とができる。

【００２６】また、隔壁１３には、低融点ガラスを主成
分とするガラスペーストが用いられる。これは、低融点
ガラス粉末に、フィラー，バインダー樹脂および溶媒を
加えたもので、低融点ガラス粉末としては、軟化点が３
００〜６００℃，粒径が２０μｍ以下のもの、例えばＰ
ｂＯ−Ｂ2 Ｏ2 −ＳｉＯ2 系ガラスなどを用いることが
できる。フィラーとしては、酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ3 ）
やチタニア（ＴｉＯ2），アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ），酸
化銅（ＣｕＯ）を用いることができる。バインダー樹脂
としては、主としてエチルセルロースやアクリル系の樹
脂等を用いることができる。誘電体層１４には二酸化珪
素（ＳｉＯ2 ）が、保護層１５には酸化マグネシウム
（ＭｇＯ）がそれぞれ用いられる。蛍光体１７には、公
知の材料を３原色の各色に応じて用いることができる。

【００２７】次に、このプラズマ表示装置の製造方法に
ついて説明する。

【００２８】まず、図３（（Ａ）は平面図、（Ｂ）はそ
のＩ−Ｉ断面図）に示したように、基板１１を用意し、
その上に維持電極１２の配線部１２Ｂを形成する。配線
部１２Ｂは、例えば、Ａｇなどの電極材料を感光性銀ペ
ーストとフォトリソグラフィーによる方法や真空蒸着法
などによって成膜し、隔壁１３の形成領域の外縁に展延
するようにパターニングすることで形成される。次い
で、配線部１２Ｂの上から基板１１の全面にガラスペー
ストを塗布し、リブペースト層３１を形成する。

【００２９】次に、図４（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、リブペースト層３１をサンドブラストあるいはエッ
チングなどの方法により格子状にパターニングし、焼成
して、隔壁１３を形成する。

【００３０】次に、図５（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、隔壁１３の上から基板１１の全面に電極層３２を形
成する。電極層３２は、めっきあるいは表面反応による
ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）などにより、Ａ
ｇ等を下地様に成膜することで形成される。

【００３１】次に、図６（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、隔壁１３の上面のうち、先に形成されている配線部
１２Ｂと直交方向の領域のみをフォトレジスト層３３で
覆い、例えばリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）
あるいはイオンミリングなどの異方性の高い方法で電極
層３２にエッチングを施す。これにより、電極層３２
は、隔壁１３の側壁面、およびフォトレジスト層３３で
覆われた隔壁１３の上面にのみ選択的に残される。この
うち、隔壁１３の上面にあるのが、アドレス電極１６と
なる。

【００３２】次に、図７（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、さらにフォトレジスト層３４，３５により、隔壁１
３の側面のうち配線部１２Ｂが形成されている側（図で
はセルの長辺に対応）と、アドレス電極１６に接してい
る側（図ではセルの短辺の一方に対応）とを覆い、再度
エッチングを行う。ただし、この工程では、プラズマエ
ッチングなどの等方性エッチングを行う。なお、フォト
レジスト層３５は、隣接する長辺側の隔壁１３の所定の
一方により近い位置（図では左側）に付設する。

【００３３】これにより、図８（Ａ），（Ｂ）に示した
ように、配線部１２Ｂが形成されている隔壁１３の側面
には、フォトレジスト層３４で覆われていた電極層３２
が残され、放電部１２Ａとなる。放電部１２Ａは、配線
部１２Ｂに接するように形成され、維持電極１２の全体
が出来上がる。また同時に、アドレス電極１６側の隔壁
１３の側面には、フォトレジスト層３５で覆われていた
電極層３２が残され、分岐部１６Ａとなる。分岐部１６
Ａは、維持電極１２のうち図の左側の方、すなわちアド
レス放電を行う維持電極１２Ｙの方により近くなるよう
に形成される。

【００３４】その後、例えば、基板１１の全面にＬＰＣ
ＶＤによりＳｉＯ2 からなる誘電体層１４を形成し、こ
の誘電体層１４の表面に、電子ビーム蒸着によりＭｇＯ
からなる保護層１５を形成する。さらに、隔壁１３の
間、各セルの底部に蛍光体スラリーを印刷することによ
り、蛍光体１７を形成する。

【００３５】次に、基板２１を用意し、これを基板１１
に貼り合わせる。例えば、スクリーン印刷により基板１
１の周縁部に低融点ガラスからなるシール層を形成して
おき、これに基板２１を合わせ、焼成してシール層を硬
化させる。その際、各構成要素がすべて基板１１上に形
成されているので、基板１１と基板２１の位置合わせは
簡単に行うことができる。

【００３６】最後に、２つの基板１１，２１の間に設け
られ、隔壁１３によって区切られた放電空間に対し、排
気と放電ガスの封入を行う。これにより、本実施の形態
のプラズマ表示装置が完成する。

【００３７】このプラズマ表示装置は、例えば、通常の
３電極を用いる駆動法によって従来の装置と同様に動作
させることができる。データ消去方式の場合で説明する
と、まず、全ての維持電極１２Ｘ、１２Ｙに電圧を印加
し、互いの放電部１２Ａの間で予備放電を行い、全ての
セルの保護層１５上に電荷（壁電荷）を一様に形成す
る。次に、発光させない画素に対応する維持電極１２
Ｙ，アドレス電極１６に電圧を印加し、アドレス放電を
行う。ここでは、アドレス電極１６の分岐部１６Ａは、
維持電極１２Ｘの放電部１２Ａよりも維持電極１２Ｙの
放電部１２Ａに近接しているため、アドレス放電が生じ
やすくなっている。このようにして、発光させない画素
のセルから選択的に壁電荷が消去され、結果的に、発光
させる画素位置にのみ壁電荷が残ることで表示画素の選
択が行われる。

【００３８】次に、維持電極１２Ｘ，１２Ｙに交流パル
スを印加すると、壁電荷が残っているセルではパルス電
圧に壁電荷の電圧が重畳され、維持電極１２Ｘ，１２Ｙ
の放電部１２Ａの間で放電開始電圧に達し、放電が生じ
る（維持放電）。この対となる放電部１２Ａは放電面が
対向しているため、従来よりも放電開始電圧が低く、放
電の効率もよい。よって、印加パルスの電圧を低くする
ことが可能である。また、放電部１２Ａの間の容量がよ
り小さくなっているので、その充電に費やす無効電力が
少なくなる。

【００３９】この維持放電では、放電ガスが放つ紫外線
が蛍光体１７に照射されると、蛍光体１７が発光し、こ
のセルが点灯する。よって、所定の期間だけ放電状態を
持続させて、発光表示を行う。ここでは、維持電極１２
の放電部１２Ａ，配線部１２Ｂが共に表示面側から見え
ない位置に配されているので、表示面側に発光を遮るも
のがなく、光が効率よく外へ取り出される。

【００４０】このように本実施の形態によれば、主放電
を発生させる一対の維持電極１２が、放電部１２Ａによ
って放電対向面を隔壁１３の側面に有するようにしたの
で、対向面の面積を大きくすることができ、放電効率の
向上が見込める。また、放電ギャップが拡がることで対
向面間の容量を小さくでき、無効電力を低減することが
できる。さらに、セルの開口率を向上させることができ
ると共に、遮光しない位置に設けられる維持電極１２自
体は、高抵抗の透明電極とする必要がなくなり、金属で
形成することができるという効果がある。

【００４１】また、この一対の維持電極１２は対向放電
を行うようにしたので、従来の面放電と比べて、放電開
始電圧を低下させることができ、また構造的な理由で対
向面間の容量を小さくすることができる。よって、駆動
電圧を低くして電力消費を抑えると共に無効電力を低減
することができる。

【００４２】〔変形例〕図９は、上記第１の実施の形態
の変形例に係るプラズマ表示装置の要部構成を示す表示
面側からみた平面図である。なお、ここでは、各構成要
素は第１の実施の形態に対応させて説明するようにし、
対応する構成要素と同一の符号を付している。

【００４３】本変形例では、各放電セルは隔壁１３によ
って三角形状に構成されている。各セルの隔壁１３の３
面のうち２面には、その側面に維持電極１２の放電部１
２Ａがそれぞれ設けられている。これら放電部１２Ａ
は、位置や形状を調整することで最近接距離を最適化す
ることができ、放電電圧を制御することができる。ま
た、この場合の配線部１２Ｂは、各放電部１２Ａに接合
されるように隔壁１３の側縁に沿って蛇行するように設
けられている。また、アドレス電極１６は、残された隔
壁１３の１面に沿うように隔壁１３の上部に設けられて
おり、維持電極１２Ｙの方に近接する位置に分岐部１６
Ａが付設される。

【００４４】なお、このプラズマ表示装置は、基本的に
第１の実施の形態と同様の３電極構造となっているため
に、各部を第１の実施の形態と同様に製造することがで
き、同様に、従来の方法で駆動することができる。よっ
て、本変形例は、放電部１２Ａを隔壁１３の側面に設け
るようにした点では、第１の実施の形態と同様の効果を
奏する。また、各画素が三角形状となることで、見かけ
上の解像度が向上するという効果を有する。

【００４５】〔第２の実施の形態〕図１０は、第２の実
施の形態に係るプラズマ表示装置の要部構成を示す構成
図であり、図１１は、そのＩＩ−ＩＩ断面図である。こ
こでは、維持電極４２は一方向に延在し、それ自体の側
面４２Ａが放電対向面となっている。また、維持電極４
２，アドレス電極４６は共に、格子状の隔壁１３の内部
に設けられている。これらの点を除けば、本実施の形態
は上記第１の実施の形態と同様であり、同一の構成要素
には同一の符号を付して説明を適宜省略する。

【００４６】ここでは、対をなす維持電極４２（４２
Ｘ，４２Ｙ）のそれぞれが、一セルの対向する隔壁１３
の内に設けられている。これにより、放電ギャップがセ
ル寸法程度にまで広げられ、その静電容量が大幅に低減
される。また、維持電極４２は、側面４２によって基板
１１、２１に平行な方向に対向放電を生ずるようになっ
ている。よって、第１の実施の形態と同様に、放電開始
電圧が低減される。なお、その側面４２は、第１の実施
の形態では放電部１２Ａに相当する部位であるから、で
きるだけ広くとれる方が望ましい。しかし、幅よりも厚
み方向の寸法が大きくなるほど維持電極４２の作製は難
しくなるので、それらの兼ね合いによって実際の寸法を
決めればよい。

【００４７】また、ここでは、隔壁１３の内部において
アドレス電極４６が維持電極４２に高架するようになっ
ているので、維持電極４２は隔壁１３の下部に位置す
る。よって、蛍光体１７は、基板１１の底面に設けられ
ていてもよいが、放電による劣化を防止する意味では、
基板２１側に設けて維持電極４２から離して配置する方
がよい。このように、維持電極４２，アドレス電極４６
が共に隔壁１３の内部に設けられているために、表示面
側（基板２１側）から見て画素領域には遮光するものが
ない。そのため、この装置では、光取り出し効率が高く
なっている。

【００４８】次に、このプラズマ表示装置の製造方法に
ついて説明する。

【００４９】まず、図１２（Ａ）に示したように、基板
１１の上にガラスペーストを塗布して第１の隔壁層５１
を形成する。この第１の隔壁層５１の厚みは、維持電極
４２の高さに相当する。次に、図１２（Ｂ）に示したよ
うに、第１の隔壁層５１の維持電極４２の形成位置に、
基板１１に達する深さまでエッチングを行い、第１の溝
５２を形成する。次に、図１２（Ｃ）に示したように、
第１の溝５２を埋めるようにＡｇ等の金属からなる電極
材料５３をペースト印刷やめっき、ＣＶＤ等により成膜
し、第１の溝５２の中だけに電極材料５３が残されるよ
うにエッチバックを行う。これにより、維持電極４２が
形成される。

【００５０】次に、図１２（Ｄ）に示したように、第１
の隔壁層５１と維持電極４２の上に、さらにガラスペー
ストを塗布して第２の隔壁層５４を形成する。このと
き、第２の隔壁層５４の厚みは、アドレス電極４６の高
さよりも大きな値となるようにしておく。次に、図１３
（（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＩＩ−ＩＩ断面図）に示し
たように、第２の隔壁層５４のアドレス電極４６の形成
位置に、その高さ分の深さでエッチングを行い、第２の
溝５５を形成する。次に、図１４に示したように、第２
の溝５５を埋めるようにＡｇ等の金属からなる電極材料
５６をペースト印刷やめっき、ＣＶＤ等により成膜し、
さらに、第２の溝５５の中だけに電極材料５６が残され
るようにエッチバックを行う。これにより、アドレス電
極４６が形成される。

【００５１】次に、図１５（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、隔壁１３の形成領域にフォトレジスト層５７を形成
し、その上からサンドブラスト等によりエッチングを施
す。そののち、フォトレジスト層５７を除去する。これ
により、図１０，図１１のように維持電極４２とアドレ
ス電極４６を内部に有する格子状の隔壁１３が形成され
る。

【００５２】続いて、この隔壁１３の側面に誘電体層１
４や保護層１５を適宜に形成し、蛍光体１７を各セルの
底部、もしくは基板２１の各セルの表示領域に蛍光体ペ
ーストを塗布することで形成する。こうして各構成要素
が形成された基板１１，２１を貼り合わせ、本実施の形
態のプラズマ表示装置が出来上がる。

【００５３】このように本実施の形態によれば、主放電
を発生させる一対の維持電極４２を隔壁１３の内部に設
けるようにしたので、放電ギャップが拡がることで対向
面間の容量を小さくでき、無効電力を低減することがで
きる。さらに、セルの開口率を向上させることができる
と共に、遮光しない位置に設けられる維持電極４２自体
は、低抵抗の透明電極とする必要がなくなり、金属で形
成することができる。

【００５４】また、この一対の維持電極４２は対向放電
を行うようにしたので、第１の実施の形態と同様に、駆
動電圧を低くして電力消費を抑えると共に負荷容量を小
さくして無効電力を低減することができる。

【００５５】〔第３の実施の形態〕図１６は、第３の実
施の形態に係るプラズマ表示装置の要部構成を示す構成
図である。このプラズマ表示装置では、維持電極６５が
ストライプ状の隔壁６４の側面に設けられている。すな
わち、背面ガラス基板６１の上に、並列するようにアド
レス電極６２が設けられ、その上を誘電体層６３が覆っ
ている。さらにその上には、隔壁６４がアドレス電極６
２と直交するように設けられており、その側面に維持電
極６５がストライプ状に展延するように付設されてい
る。また、この維持電極６５の表面は誘電体層６６，保
護層６７により覆われており、隔壁６４と隔壁６４の間
には蛍光体６８が設けられている。

【００５６】ここでは、各セルの一対の維持電極６５
は、隔壁６４の側面に設けられることで、対向する基板
６１，７１の面に平行な方向に対向放電を生じるように
なっている。よって、本実施の形態におけるプラズマ表
示装置の作用・効果は、第１の実施の形態と同様であ
る。また、このプラズマ表示装置の電極もやはり３電極
構造となっているので、第１の実施の形態と同様、通常
の３電極を用いる駆動法によって従来の装置と同様に動
作させることができる。

【００５７】なお、この装置は、隔壁６４がストライプ
状であることから、上記第１および第２の実施の形態よ
りも簡素な構造であり、より容易に製造することができ
る。その製造は、例えば次のようにして行うことができ
る。

【００５８】まず、図１７（Ａ）に示したように、基板
６１を用意し、その上にＡｇなどの電極材料をＣＶＤや
真空蒸着などによって成膜し、所定形状にパターニング
することでアドレス電極６２を形成する。その上に、例
えばＳｉＯ2 をＣＶＤまたは印刷により成膜し、誘電体
層６３を形成する。さらにその上にガラスペーストをス
クリーン印刷したのちサンドブラストにより整形し、こ
れを焼成することによりストライプ状の隔壁６４を形成
する。

【００５９】次に、図１７（Ｂ）に示したように、隔壁
６４の上から基板６１の全面に電極層８１を形成する。
電極層７８は、Ａｇを用いるならばめっきで成膜し、Ａ
ｌ等を用いるのであれば、表面反応を利用したＣＶＤに
より成膜することで、下地様に形成される。

【００６０】次に、図１７（Ｃ）に示したように、例え
ばＲＩＥあるいはイオンミリングなどの異方性の高い方
法で電極層８１にエッチングを施す。これにより、電極
層８１は、隔壁６４の側壁面にのみ選択的に残され、維
持電極６５となる。

【００６１】次に、図１７（Ｄ）に示したように、基板
６１の全面に、例えばＣＶＤによりＳｉＯ2 からなる誘
電体層６６を形成し、この誘電体層６６の表面に、電子
ビーム蒸着によりＭｇＯからなる保護層６７を形成す
る。さらに、隔壁６４の間、各セルの底部に蛍光体スラ
リーを印刷することにより、蛍光体６８を形成する。

【００６２】次に、基板７１を用意し、これを基板６１
に貼り合わせる。その際、各構成要素がすべて基板６１
上に形成されているので、位置合わせを簡単に行うこと
ができる。最後に、基板６１，７１の間に放電ガスの封
入を行うと、プラズマ表示装置が完成する。

【００６３】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず種々の変形実施が可能である。例えば、第１ないし
第３の実施の形態では、維持電極もアドレス電極もそれ
ぞれ実施の形態によって形状や配置が異なった構成とし
たが、可能な範囲で維持電極とアドレス電極の組み合わ
せを変更することが可能である。また、本発明では、主
放電を行う維持電極が、基板面に水平な方向に対向放電
を行うように配置されていればよいので、それ以外の構
成要素、例えば誘電体層，保護層または蛍光体などの位
置や形成領域は特に限定されない。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るプラズ
マ表示装置によれば、一対の基板の間の領域に形成さ
れ、これらの基板面に平行な方向に放電を生ずるための
対向面を有している一対の維持電極を備えるようにした
ので、維持電極の対向面間の容量を小さくすることがで
きる。よって、無効電力を低下させ、電力消費を低減す
ることが可能となる。

【００６５】特に、請求項３または請求項４に記載のプ
ラズマ表示装置、および、本発明のプラズマ表示装置の
製造方法によれば、対向する維持電極を隔壁の側面また
は内部に設けるようにしたので、開口率を向上させるこ
とができ、高効率に発光表示を行うことが可能となる。
また、維持電極自体は、高抵抗の透明電極とする必要が
なくなり、金属で形成することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るプラズマ表示
装置の構成を示す斜視図である。

【図２】図１に示したプラズマ表示装置の断面図であ
る。

【図３】図１に示したプラズマ表示装置の製造方法を説
明するための工程図である。

【図４】図３に続く製造工程を示す工程図である。

【図５】図４に続く製造工程を示す工程図である。

【図６】図５に続く製造工程を示す工程図である。

【図７】図６に続く製造工程を示す工程図である。

【図８】図７に続く製造工程を示す工程図である。

【図９】図１に示したプラズマ表示装置の変形例に係る
装置の要部構成図である。

【図１０】本発明の第２の実施の形態に係るプラズマ表
示装置の構成を示す斜視図である。

【図１１】図１０に示したプラズマ表示装置の断面図で
ある。

【図１２】図１０に示したプラズマ表示装置の製造方法
を説明するための工程図である。

【図１３】図１２に続く製造工程を示す工程図である。

【図１４】図１３に続く製造工程を示す工程図である。

【図１５】図１４に続く製造工程を示す工程図である。

【図１６】本発明の第３の実施の形態に係るプラズマ表
示装置の構成を示す斜視図である。

【図１７】図１６に示したプラズマ表示装置の製造方法
を説明するための工程図である。

【図１８】従来の面放電型プラズマ表示装置の構成を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１１，６１…前面ガラス基板、１２，４２，６５…維持
電極、１２Ａ…放電部、１２Ｂ…配線部、１３，６４…
隔壁、１４，６３，６６…誘電体層、１５，６７…保護
層、１６，４６，６２…アドレス電極、１６Ａ…分岐
部、１７，６８…蛍光体、２１、７１…背面ガラス基
板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者井上肇東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内Ｆターム(参考） 5C040 FA01 FA04 GB06 GB12 GB20 GC02 GC13 GF03 GF12 LA05 MA03 MA10 MA12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】放電空間を挟んで互いの基板面が対向す
るように配置された一対の基板と、前記放電空間を複数の発光領域に区画する隔壁と、前記一対の基板の間の領域に形成され、これらの基板面
に平行な方向に放電を生ずるための対向面を有している
一対の維持電極とを備えたことを特徴とするプラズマ表
示装置。
【請求項２】前記維持電極の対向面は、前記隔壁の側
面に設けられていることを特徴とする請求項１記載のプ
ラズマ表示装置。
【請求項３】前記維持電極の対向面は、前記隔壁の内
部に設けられていることを特徴とする請求項１記載のプ
ラズマ表示装置。
【請求項４】前記維持電極は、前記対向面を有する放
電部と、この放電部に給電するために前記隔壁の形成領
域に延在するように設けられている配線部とから構成さ
れていることを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示
装置。
【請求項５】前記維持電極は金属からなることを特徴
とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】前記隔壁の形成領域に、隔壁に沿って延
在するアドレス電極が設けられていることを特徴とする
請求項１記載のプラズマ表示装置。
【請求項７】前記アドレス電極は、前記発光領域のそ
れぞれにおいて前記一対の維持電極のうちの一方に向け
て突出する分岐部を有していることを特徴とする請求項
６記載のプラズマ表示装置。
【請求項８】前記発光領域は前記隔壁により三角形状
に構成され、隔壁の３面のうち２面の側面または内部
に、前記一対の維持電極の対向面がそれぞれ１つずつ設
けられていることを特徴とする請求項１記載のプラズマ
表示装置。
【請求項９】放電空間を挟んで互いの基板面が対向す
るように配置された一対の基板と、前記放電空間を複数
の発光領域に区画する隔壁と、前記一対の基板の間の領
域に形成され、これらの基板面に平行な方向に放電を生
ずるための対向面を有している一対の維持電極とを備え
たプラズマ表示装置の製造方法であって、前記基板の一方の基板面上に隔壁を形成し、前記放電空間を挟んで対向する隔壁それぞれの側面に、
前記維持電極の対向面を有する放電部を形成することを
特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１０】前記維持電極のうち前記放電部に給電
するための配線部を、前記隔壁の形成領域に延在すると
共に前記放電部に接するように形成することを特徴とす
る請求項９記載のプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１１】前記アドレス電極を、前記隔壁の形成
領域に形成することを特徴とする請求項９記載のプラズ
マ表示装置の製造方法。
【請求項１２】前記隔壁を形成する前に、前記基板の
上にアドレス電極を形成することを特徴とする請求項１
１記載のプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１３】前記アドレス電極を前記隔壁の上面に
形成することを特徴とする請求項１１記載のプラズマ表
示装置の製造方法。
【請求項１４】前記隔壁の全面に電極層を形成し、こ
れを所定形状に加工することにより、前記維持電極と前
記アドレス電極を同時に形成することを特徴とする請求
項１１記載のプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１５】前記アドレス電極に、前記発光領域の
それぞれにおいて前記一対の維持電極のうちの一方に向
けて突出する分岐部を付設することを特徴とする請求項
１１記載のプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１６】前記分岐部を前記隔壁の側面に形成す
ることを特徴とする請求項１５記載のプラズマ表示装置
の製造方法。
【請求項１７】前記隔壁を三角形状に形成し、その３
面のうち２面の側面に、前記維持電極の対向面をそれぞ
れ１つずつ形成することを特徴とする請求項９記載のプ
ラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１８】放電空間を挟んで互いの基板面が対向
するように配置された一対の基板と、前記放電空間を複
数の発光領域に区画する隔壁と、前記一対の基板の間の
領域に形成され、これらの基板面に平行な方向に放電を
生ずるための対向面を有している一対の維持電極とを備
えたプラズマ表示装置の製造方法であって、前記基板の一方の面上に第１の隔壁を形成する工程と、前記第１の隔壁の上面に、第１の溝を形成する工程と、前記第１の溝に埋め込むようにして維持電極を形成する
工程とを含むことを特徴とするプラズマ表示装置の製造
方法。
【請求項１９】前記第１の隔壁を形成する前に、前記基板面上にアドレス電極を形成することを特徴とす
る請求項１８記載のプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項２０】前記アドレス電極を前記第１の隔壁の
形成領域に形成することを特徴とする請求項１９記載の
プラズマ表示装置の製造方法。
【請求項２１】前記維持電極の形成ののち、前記第１の隔壁の上面に、さらに第２の隔壁を形成する
ことを特徴とする請求項１８記載のプラズマ表示装置の
製造方法。
【請求項２２】前記第２の隔壁の上面に第２の溝を形
成し、前記第２の溝に埋め込むようにしてアドレス電極
を形成することを特徴とする請求項２１記載のプラズマ
表示装置の製造方法。
【請求項２３】前記第２の隔壁の上面にアドレス電極
を形成することを特徴とする請求項２１記載のプラズマ
表示装置の製造方法。