JP2003338246A - Plasma display device and its manufacturing method - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display device and its manufacturing method wherein the aperture rate is high and power consumption reduction is possible. <P>SOLUTION: Maintenance electrodes 12 (12X, 12Y) are composed of a discharge part 12A and a wiring part 12B. The discharge part 12A is installed at the side face of a barrier rib 13, and the wiring part 12B extendedly exists in the interior of the barrier rib 13 in the horizontal direction and is made to supply current to the respective discharge part 12A. By the discharge by these maintenance electrodes 12X, 12Y, the discharge start voltage becomes lower than that of face discharge type, and the capacitance between opposed faces is structurally reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、交流プラズマ放電
を利用して表示を行うプラズマ表示装置、およびその製
造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display device for displaying by utilizing AC plasma discharge, and a manufacturing method thereof.

【０００２】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma
Display Panel) は、テレビジョン受像機やコンピュー
タ用ディスプレイにおいて、従来広く用いられてきた陰
極線管（ＣＲＴ）では実現が難しいとされる薄型・大画
面化に対応し得るディスプレイとして注目されており、
既に４０インチ以上の大型ディスプレイが製品化されて
いる。2. Description of the Related Art Plasma display (PDP: Plasma)
The Display Panel) is attracting attention as a display capable of supporting a thin and large screen, which is difficult to be realized by a cathode ray tube (CRT) which has been widely used in a television receiver or a computer display.
Large displays of 40 inches or more have already been commercialized.

【０００３】図１８は、従来のＡＣ型プラズマ表示装置
の構成を表している。この表示装置は、前面ガラス基板
１０１と背面ガラス基板１０２とが対向配置された構造
を有し、前面ガラス基板１０１上には、一対の維持電極
１０７（１０７Ｘ，１０７Ｙ）が放電ギャップを介して
複数並列するように設けられている。また、その上に
は、維持電極１０７を被覆するように誘電体層１０９，
保護層１１０が順に形成されている。一方、背面ガラス
基板１０２の上には、複数のアドレス電極１０３が維持
電極１０７と直交する方向に配列するように形成されて
いる。アドレス電極１０３の上には誘電体層１０４が形
成され、更にその上に、各アドレス電極１０３毎に空間
を仕切るための隔壁１０５が形成されている。隔壁１０
５の間には、赤（Ｒ;Red），緑（Ｇ;Green）および青
（Ｂ;Blue ）の３原色の蛍光体層１０６が周期的に塗布
形成されている。前面ガラス基板１０１と背面ガラス基
板１０２に挟まれた放電空間は、周縁部において気密封
止され、放電ガスで満たされている。FIG. 18 shows the configuration of a conventional AC type plasma display device. This display device has a structure in which a front glass substrate 101 and a rear glass substrate 102 are arranged to face each other, and a plurality of sustain electrodes 107 (107X, 107Y) are provided on the front glass substrate 101 via a discharge gap. It is provided in parallel. In addition, a dielectric layer 109, which covers the sustain electrodes 107, is formed thereon.
The protective layer 110 is sequentially formed. On the other hand, a plurality of address electrodes 103 are formed on the rear glass substrate 102 so as to be arranged in a direction orthogonal to the sustain electrodes 107. A dielectric layer 104 is formed on the address electrode 103, and a partition wall 105 for partitioning a space for each address electrode 103 is further formed thereon. Partition wall 10
In between 5, phosphor layers 106 of three primary colors of red (R; Red), green (G; Green) and blue (B; Blue) are periodically formed by coating. The discharge space sandwiched between the front glass substrate 101 and the rear glass substrate 102 is hermetically sealed at the peripheral edge and filled with discharge gas.

【０００４】こうしたプラズマ表示装置では、維持電極
１０７Ｘ，１０７Ｙに電圧を印加し、その間で放電させ
ることで発光表示が行われる。すなわち、この放電によ
り放電ガスを励起させ、真空紫外線を発生させると、背
面ガラス基板１０２上の蛍光体１０６が真空紫外線の照
射を受けて各色に発光する。この可視光は、前面ガラス
基板１０１を透過して表示発光色となる。In such a plasma display device, light emitting display is performed by applying a voltage to the sustain electrodes 107X and 107Y and discharging between them. That is, when the discharge gas is excited by this discharge to generate vacuum ultraviolet rays, the phosphors 106 on the rear glass substrate 102 are irradiated with the vacuum ultraviolet rays and emit light of each color. This visible light passes through the front glass substrate 101 and becomes a display emission color.

【０００５】このように、維持電極１０７Ｘ，１０７Ｙ
が同じ基板に形成され、放電が生じる対向面が一平面上
に配置されている構造は、面放電型と呼ばれ、これまで
の装置の主流となってきた。その最大の理由は、面放電
型では、放電が前面ガラス基板１０１の側で起きるため
に、背面ガラス基板１０２側に設けた蛍光体１０６にプ
ラズマ中のイオンが直接衝撃を与えずに済み、劣化が大
幅に改善されることにあった。In this way, the sustain electrodes 107X and 107Y
The structure in which the electrodes are formed on the same substrate and the opposing surfaces where the discharge is generated are arranged on one plane is called a surface discharge type, and has been the mainstream of the devices so far. The main reason for this is that in the surface discharge type, since discharge occurs on the side of the front glass substrate 101, the ions in the plasma do not directly impact the phosphor 106 provided on the side of the rear glass substrate 102, and the deterioration occurs. Was to be greatly improved.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、面放電
では、放電開始電圧が高く、また維持電極１０７Ｘ，１
０７Ｙ間の静電容量の充電に費やされる無効電力が大き
い。したがって、面放電を主放電に用いる従来の装置で
は、消費電力が大きいという問題があった。しかも、デ
ィスプレイの高精細化がますます希求されている昨今で
は、画素ピッチ共に電極ピッチも小さくなる傾向がある
が、これにより線間容量が大きくなるために、無効電力
は今後より増加する傾向にある。このように、無効電力
の低減は一層重要な課題となりつつあり、それを含めた
消費電力全体の低減が、発熱の低減などのためにも必要
とされてきていた。However, in the surface discharge, the discharge starting voltage is high and the sustain electrodes 107X, 1
The reactive power consumed for charging the electrostatic capacitance between 07Y is large. Therefore, the conventional device using surface discharge for the main discharge has a problem of high power consumption. Moreover, with the recent demand for higher definition displays, there is a tendency for the electrode pitch as well as the pixel pitch to become smaller, but this increases the line capacitance, which tends to increase the reactive power. is there. As described above, the reduction of the reactive power is becoming an even more important issue, and the reduction of the total power consumption including the reduction has been required for the reduction of heat generation.

【０００７】また、面放電型では、表示面側の前面ガラ
ス基板１０１に維持電極１０７を設けるために開口率が
低くなるという問題があった。通常、維持電極１０７
Ｘ，１０７Ｙは、表示面側に位置することからＩＴＯ
（Indium-Tin Oxide）等の透明電極材料で形成されてい
る。しかし、現在用いられている透明電極材料は、どれ
も比較的抵抗が高い。そこで、抵抗低減のため、維持電
極１０７Ｘ，１０７Ｙの側縁には良導性のバス電極１０
８が付設されるようになっているのである。バス電極１
０８は金属で形成するしかなく、これが開口率を低下さ
せる。そのうえ、透明電極といえども光吸収はあるの
で、光が維持電極１０７Ｘ，１０７Ｙを透過する際にい
くばくかの損失が生じ、さらに光取り出し効率を低下さ
せていた。Further, in the surface discharge type, there is a problem that the aperture ratio becomes low because the sustain electrode 107 is provided on the front glass substrate 101 on the display surface side. Usually, the sustain electrode 107
Since X and 107Y are located on the display surface side, they are ITO
It is made of a transparent electrode material such as (Indium-Tin Oxide). However, all currently used transparent electrode materials have relatively high resistance. Therefore, in order to reduce resistance, the bus electrodes 10 having good conductivity are provided on the side edges of the sustain electrodes 107X and 107Y.
8 is attached. Bus electrode 1
08 is only formed of metal, which reduces the aperture ratio. In addition, since the transparent electrode also absorbs light, some loss occurs when light passes through the sustain electrodes 107X and 107Y, further lowering the light extraction efficiency.

【０００８】また、維持電極１０７に対してさらにバス
電極１０８を付設することは、製造工程が増加すること
であり、さらに両者が異質な材料であるために、その界
面で剥離が発生する可能性が高かった。このように従来
では、維持電極１０７に対しては、電極構造上また製造
工程上でも改善する余地があった。Further, providing the bus electrode 108 with respect to the sustain electrode 107 increases the number of manufacturing processes, and since both are different materials, peeling may occur at the interface. Was high. As described above, conventionally, there is room for improvement in the sustain electrode 107 in terms of the electrode structure and the manufacturing process.

【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、開口率が高く、消費電力を低減させ
ることが可能なプラズマ表示装置およびその製造方法を
提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a plasma display device having a high aperture ratio and capable of reducing power consumption, and a manufacturing method thereof.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマ表示装
置は、一対の基板の間の領域に形成され、これらの基板
面に平行な方向に放電を生ずるための対向面を有してい
る一対の維持電極を備えているものである。A plasma display device according to the present invention is a pair of substrates which are formed in a region between a pair of substrates and have opposing surfaces for generating a discharge in a direction parallel to the surfaces of these substrates. It is provided with the sustain electrodes of.

【００１１】本発明のプラズマ表示装置の第１の製造方
法は、本発明のプラズマ表示装置を製造する方法であっ
て、基板の一方の基板面上に隔壁を形成し、隔壁の側面
に、維持電極の対向面を形成するものである。A first method for manufacturing a plasma display device according to the present invention is a method for manufacturing a plasma display device according to the present invention, in which a partition wall is formed on one surface of a substrate and a partition wall is formed on the side surface of the partition wall. It forms the facing surface of the electrode.

【００１２】本発明のプラズマ表示装置の第２の製造方
法は、本発明のプラズマ表示装置を製造する方法であっ
て、基板の一方の基板面上に隔壁を形成する工程と、隔
壁の上面に溝を形成する工程と、この溝に埋め込むよう
にして維持電極を形成する工程とを含むものである。A second method of manufacturing the plasma display device of the present invention is a method of manufacturing the plasma display device of the present invention, which comprises a step of forming a partition wall on one substrate surface of the substrate and an upper surface of the partition wall. It includes a step of forming a groove and a step of forming a sustain electrode so as to be embedded in the groove.

【００１３】本発明のプラズマ表示装置およびその製造
方法では、一対の維持電極は、対向面が基板面に平行な
方向に放電を生ずるように形成される。特に、プラズマ
表示装置の第１の製造方法では、維持電極の対向面が隔
壁側面に形成され、第２の製造方法では、維持電極全体
が隔壁内部に形成される。In the plasma display device and the method of manufacturing the same according to the present invention, the pair of sustain electrodes are formed so that the opposing surfaces generate discharge in a direction parallel to the substrate surface. Particularly, in the first manufacturing method of the plasma display device, the facing surface of the sustain electrode is formed on the side surface of the partition wall, and in the second manufacturing method, the entire sustain electrode is formed inside the partition wall.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【００１５】〔第１の実施の形態〕図１は、本発明の第
１の実施の形態に係るプラズマ表示装置の要部を示す構
成図であり、図２は、そのＩ−Ｉ断面図である。ただ
し、図１の方は背面ガラス基板２１側の構造を示してい
る。このプラズマ表示装置は、背面ガラス基板１１，前
面ガラス基板２１（以下では単に基板と記す）が放電空
間を介して対向配置して構成されており、放電空間にＨ
ｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒの希ガスのうち１種類以上
からなる放電ガスを封入するように周縁部にて気密封止
されている。また、各画素に対応する放電セルは、維持
電極１２Ｘ，１２Ｙおよびアドレス電極１６の３電極で
構成されている。[First Embodiment] FIG. 1 is a configuration diagram showing a main part of a plasma display device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line I-I thereof. is there. However, FIG. 1 shows the structure on the rear glass substrate 21 side. In this plasma display device, a rear glass substrate 11 and a front glass substrate 21 (hereinafter simply referred to as “substrate”) are arranged so as to face each other with a discharge space therebetween.
The periphery is hermetically sealed so that a discharge gas composed of one or more kinds of rare gases such as e, Ne, Ar, Xe, and Kr is sealed. The discharge cell corresponding to each pixel is composed of three electrodes of sustain electrodes 12X and 12Y and address electrode 16.

【００１６】このプラズマ表示装置では、発光表示のた
めの放電を行う一対の維持電極１２（１２Ｘ，１２Ｙ）
が、互いの対向面を、背面ガラス基板１１，前面ガラス
基板２１（以下では、単に基板と記す）の間の領域に、
これらの基板面に平行な方向に放電を生ずるように設け
られている。すなわち、各維持電極１２は、隔壁１３の
側面に設けた放電部１２Ａによって放電対向面が形成さ
れている。In this plasma display device, a pair of sustain electrodes 12 (12X, 12Y) for performing discharge for light emission display.
However, the surfaces facing each other are formed in a region between the rear glass substrate 11 and the front glass substrate 21 (hereinafter, simply referred to as a substrate),
It is provided so as to generate a discharge in a direction parallel to these substrate surfaces. That is, each sustain electrode 12 has a discharge facing surface formed by the discharge portion 12A provided on the side surface of the partition wall 13.

【００１７】この放電用の対向面は、できるだけ広いほ
うが好ましい。従来の面放電型では、維持電極の放電対
向面の大きさには画素ピッチによる制限があるが、これ
に対し、本実施の形態では、放電部１２Ａは隔壁１３の
側面に設けられることから、対向面の面積は大きくな
る。この放電部１２Ａの面積は、画素ピッチには関係な
く、隔壁１３の高さに応じて拡大される。なお、放電部
１２Ａは、必ずしも隔壁１３の側面全体に設けられずと
もよく、蛍光体１７の形成位置などを考慮して所定部分
に適宜に設けられていてよい。維持電極１２Ｘ，１２Ｙ
の放電部１２Ａがそれぞれ隔壁１３の側面に設けられる
ことによる利点としては、その他に、放電ギャップがセ
ル寸法程度にまで広げられ、その静電容量が大幅に低減
されることが挙げられる。It is preferable that the facing surface for discharge be as wide as possible. In the conventional surface discharge type, the size of the discharge facing surface of the sustain electrode is limited by the pixel pitch, whereas in the present embodiment, the discharge portion 12A is provided on the side surface of the partition wall 13, The area of the facing surface becomes large. The area of the discharge part 12A is enlarged according to the height of the barrier ribs 13 regardless of the pixel pitch. In addition, the discharge part 12A does not necessarily have to be provided on the entire side surface of the partition wall 13, and may be appropriately provided at a predetermined portion in consideration of the formation position of the phosphor 17 and the like. Sustain electrodes 12X, 12Y
Another advantage of the discharge portions 12A being provided on the side surfaces of the barrier ribs 13 is that the discharge gap is expanded to about the cell size, and the capacitance thereof is significantly reduced.

【００１８】また、これら放電部１２Ａにおける放電
は、基板１１，２１に平行方向の対向放電となる。すな
わち、対向面がほぼ平行に配置されていることから、こ
の維持電極１２Ｘ，１２Ｙによる放電では、面放電型よ
りも放電開始電圧が低くなると共に、構造的に対向面間
の容量が低減する。The discharges in these discharge parts 12A are opposed discharges parallel to the substrates 11 and 21. That is, since the facing surfaces are arranged substantially parallel to each other, the discharge by the sustain electrodes 12X and 12Y has a lower discharge starting voltage than that of the surface discharge type and structurally reduces the capacitance between the facing surfaces.

【００１９】ただし、ここでは、アドレス電極１６もま
た隔壁１３を利用して形成されるために、隔壁１３は格
子状（いわゆるワッフル型）となっている。したがっ
て、放電部１２Ａは、隔壁１３によって区画された放電
セルの一つ一つ、つまり各画素に独立に設けられてい
る。そこで、維持電極１２には、各放電部１２Ａに給電
するための配線部１２Ｂが必要となる。配線部１２Ｂ
は、従来のストライプ状の維持電極と同様に水平方向に
画素を貫くように設けられると共に、その配線経路上に
配置されている放電部１２Ａと接合して電気的接続がな
されるように設けられる。ここでは、配線部１２Ｂの位
置を隔壁１３の内部としており、対をなす維持電極１２
の対向面が互いに平坦となるようにしている。However, here, since the address electrode 16 is also formed by utilizing the partition wall 13, the partition wall 13 has a lattice shape (so-called waffle type). Therefore, the discharge part 12A is provided for each of the discharge cells partitioned by the barrier ribs 13, that is, for each pixel independently. Therefore, the sustain electrode 12 needs the wiring portion 12B for supplying power to each discharge portion 12A. Wiring part 12B
Is provided so as to penetrate the pixel in the horizontal direction similarly to the conventional striped sustain electrode, and is provided so as to be electrically connected to the discharge portion 12A arranged on the wiring path thereof. . Here, the position of the wiring portion 12B is set inside the partition wall 13, and the pair of sustain electrodes 12 is formed.
The opposing surfaces of are made flat with each other.

【００２０】なお、そのような構成とするには、配線部
１２Ｂを放電部１２Ａ以外の領域に配し、かつ、両者が
接合されるように設けねばならないが、そのためには隔
壁１３の内部のほか、例えば、配線部１２Ｂを基板１１
もしくは基板２１の面上に設けることによっても実現で
きる。この配線部１２Ｂは、側面にて放電部１２Ａと接
合されるため、側面の面積は大きいほうがよい。したが
って、ある程度の厚みでもって形成するものとし、流れ
る電流に応じて断面積を決めればよい。In order to have such a structure, the wiring portion 12B must be arranged in a region other than the discharge portion 12A and provided so as to be joined to each other. In addition, for example, the wiring portion 12B is connected to the substrate 11
Alternatively, it can be realized by providing it on the surface of the substrate 21. Since the wiring portion 12B is joined to the discharge portion 12A on the side surface, the side surface area is preferably large. Therefore, it may be formed with a certain thickness, and the cross-sectional area may be determined according to the flowing current.

【００２１】このような維持電極１２では、放電部１２
Ａが隔壁１３の側面、配線部１２Ｂが隔壁１３の内部に
設けられているため、表示面側（基板２１側）から見て
画素領域に占めるのは、せいぜい放電部１２Ａの厚み分
位しかない。そのため、この装置では、表示面側に発光
を遮るものがなく、光を効率よく外へ取り出すことがで
きる。また、この維持電極１２は、放電部１２Ａ，配線
部１２Ｂ共に表示面側から見えない位置に配されている
ので、金属で形成することが可能となる。よって、維持
電極１２は、従来のようにバス電極を付設する必要がな
くなり、それに付随する製造上の問題を考慮することも
なくなる。なお、維持電極１２のうち、放電セル内に露
出する放電部１２Ａは、放電時の電荷蓄積と劣化防止の
ために誘電体層１４，保護層１５により被覆される。In such a sustain electrode 12, the discharge part 12
Since A is a side surface of the partition wall 13 and the wiring portion 12B is provided inside the partition wall 13, the pixel area as viewed from the display surface side (the substrate 21 side) occupies at most the thickness portion of the discharge portion 12A. . Therefore, in this device, there is nothing blocking the light emission on the display surface side, and the light can be efficiently extracted to the outside. Further, since the sustain electrode 12 is disposed at a position where both the discharge part 12A and the wiring part 12B cannot be seen from the display surface side, it can be formed of metal. Therefore, it is not necessary to attach the bus electrode to the sustain electrode 12 as in the conventional case, and the manufacturing problem associated therewith is not considered. The discharge part 12A of the sustain electrode 12 exposed in the discharge cell is covered with a dielectric layer 14 and a protective layer 15 to prevent charge accumulation and deterioration during discharge.

【００２２】一方、アドレス電極１６は、維持電極１２
Ｙとの間でアドレス放電を行うことによって画素をアド
レスすることが可能なように、維持電極１２Ｙの配線部
１２Ｂと直交方向に配される。このアドレス電極１６
は、従来のように基板１１と隔壁１３の間に延在するよ
うに設けることもできる。しかし、ここでは、アドレス
電極１６は、隔壁１３の上面に、隔壁１３に沿って延在
するように設けられている。よって、アドレス電極１６
もまた、維持電極１２同様に表示面側から見えることは
ない。On the other hand, the address electrode 16 is the sustain electrode 12
The sustain electrodes 12Y are arranged in a direction orthogonal to the wiring portion 12B so that the pixels can be addressed by performing address discharge with Y. This address electrode 16
Can be provided so as to extend between the substrate 11 and the partition wall 13 as in the related art. However, here, the address electrode 16 is provided on the upper surface of the partition wall 13 so as to extend along the partition wall 13. Therefore, the address electrode 16
Also, like the sustain electrode 12, it cannot be seen from the display surface side.

【００２３】さらに、このアドレス電極１６は、一対の
維持電極１２のうち維持電極１２Ｙの方に向かって突出
するような分岐部１６Ａを有している。これにより、ア
ドレス電極１６は、維持電極１２のうち維持電極１２Ｙ
の方により近接することになり、維持電極１２Ｙとの間
で選択的にアドレス放電を起こしやすくなる。分岐部１
６Ａは、より維持電極１２Ｙとの間で放電しやすいよう
に、できるだけ維持電極１２Ｙとの対向面が広く、でき
るだけ維持電極１２Ｙに近い方がよい。Further, the address electrode 16 has a branch portion 16A projecting toward the sustain electrode 12Y of the pair of sustain electrodes 12. As a result, the address electrode 16 becomes the sustain electrode 12Y of the sustain electrodes 12.
Since it becomes closer, the address discharge is likely to occur selectively between the sustain electrodes 12Y. Branch 1
6A has a surface facing the sustain electrode 12Y that is as wide as possible and that is as close to the sustain electrode 12Y as possible so that discharge with the sustain electrode 12Y is easier.

【００２４】蛍光体１７は、基板１１上、つまり各放電
セルの底部に設けられている。ここでは、蛍光体１７
を、隔壁１３の側面まで形成して維持電極１２，アドレ
ス電極１６の分岐部１６Ａに部分的に重なるようにした
が、放電による劣化を防ぐために電極１２、１６の放電
領域に重ならないように配置することも可能である。例
えば、蛍光体１７を表示面側の基板２１上に設けるよう
にするとよい。The phosphor 17 is provided on the substrate 11, that is, at the bottom of each discharge cell. Here, the phosphor 17
Are formed up to the side surface of the partition wall 13 so as to partially overlap the sustain electrode 12 and the branch portion 16A of the address electrode 16. However, in order to prevent deterioration due to discharge, they are arranged so as not to overlap the discharge region of the electrodes 12 and 16. It is also possible to do so. For example, the phosphor 17 may be provided on the substrate 21 on the display surface side.

【００２５】なお、以上に説明した各構成要素は、ほぼ
従来と同様の材料を用いて形成される。基板１１，２１
には、高歪点ガラスやソーダライムガラス等が用いられ
る。維持電極１２，アドレス電極１６としては、例えば
金属のなかでも良導体であるＡｇが好適に用いられるほ
か、Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，ＭｏまたはＣｒなども用いるこ
とができる。The constituent elements described above are formed using substantially the same materials as conventional ones. Boards 11, 21
For this, high strain point glass, soda lime glass, or the like is used. For the sustain electrodes 12 and the address electrodes 16, for example, Ag, which is a good conductor among metals, is preferably used, and Al, Ni, Cu, Mo, Cr, or the like can also be used.

【００２６】また、隔壁１３には、低融点ガラスを主成
分とするガラスペーストが用いられる。これは、低融点
ガラス粉末に、フィラー，バインダー樹脂および溶媒を
加えたもので、低融点ガラス粉末としては、軟化点が３
００〜６００℃，粒径が２０μｍ以下のもの、例えばＰ
ｂＯ−Ｂ2 Ｏ2 −ＳｉＯ2 系ガラスなどを用いることが
できる。フィラーとしては、酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ3 ）
やチタニア（ＴｉＯ2），アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ），酸
化銅（ＣｕＯ）を用いることができる。バインダー樹脂
としては、主としてエチルセルロースやアクリル系の樹
脂等を用いることができる。誘電体層１４には二酸化珪
素（ＳｉＯ2 ）が、保護層１５には酸化マグネシウム
（ＭｇＯ）がそれぞれ用いられる。蛍光体１７には、公
知の材料を３原色の各色に応じて用いることができる。Further, for the partition wall 13, a glass paste containing a low melting point glass as a main component is used. This is a low melting point glass powder to which a filler, a binder resin and a solvent are added, and the softening point of the low melting point glass powder is 3
Those having a particle size of 20 μm or less, such as P
bO-B2 O2-SiO2 based glass or the like can be used. As filler, chromium oxide (Cr2 O3)
Alternatively, titania (TiO2), alumina (Al2 O3), and copper oxide (CuO) can be used. As the binder resin, ethyl cellulose, an acrylic resin or the like can be mainly used. Silicon dioxide (SiO2) is used for the dielectric layer 14, and magnesium oxide (MgO) is used for the protective layer 15. A known material can be used for the phosphor 17 according to each of the three primary colors.

【００２７】次に、このプラズマ表示装置の製造方法に
ついて説明する。Next, a method of manufacturing this plasma display device will be described.

【００２８】まず、図３（（Ａ）は平面図、（Ｂ）はそ
のＩ−Ｉ断面図）に示したように、基板１１を用意し、
その上に維持電極１２の配線部１２Ｂを形成する。配線
部１２Ｂは、例えば、Ａｇなどの電極材料を感光性銀ペ
ーストとフォトリソグラフィーによる方法や真空蒸着法
などによって成膜し、隔壁１３の形成領域の外縁に展延
するようにパターニングすることで形成される。次い
で、配線部１２Ｂの上から基板１１の全面にガラスペー
ストを塗布し、リブペースト層３１を形成する。First, as shown in FIG. 3 ((A) is a plan view and (B) is its I-I cross-sectional view), a substrate 11 is prepared,
The wiring portion 12B of the sustain electrode 12 is formed thereon. The wiring portion 12B is formed, for example, by forming an electrode material such as Ag with a photosensitive silver paste by a method such as a photolithography method or a vacuum evaporation method, and patterning the electrode material so as to extend to the outer edge of the formation region of the partition wall 13. To be done. Next, glass paste is applied to the entire surface of the substrate 11 from above the wiring portion 12B to form the rib paste layer 31.

【００２９】次に、図４（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、リブペースト層３１をサンドブラストあるいはエッ
チングなどの方法により格子状にパターニングし、焼成
して、隔壁１３を形成する。Next, as shown in FIGS. 4A and 4B, the rib paste layer 31 is patterned into a grid pattern by a method such as sandblasting or etching, and baked to form the partition wall 13.

【００３０】次に、図５（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、隔壁１３の上から基板１１の全面に電極層３２を形
成する。電極層３２は、めっきあるいは表面反応による
ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）などにより、Ａ
ｇ等を下地様に成膜することで形成される。Next, as shown in FIGS. 5A and 5B, an electrode layer 32 is formed on the entire surface of the substrate 11 from above the partition wall 13. The electrode layer 32 is formed by plating or CVD (Chemical Vapor Deposition) by a surface reaction.
It is formed by depositing g or the like on a base.

【００３１】次に、図６（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、隔壁１３の上面のうち、先に形成されている配線部
１２Ｂと直交方向の領域のみをフォトレジスト層３３で
覆い、例えばリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）
あるいはイオンミリングなどの異方性の高い方法で電極
層３２にエッチングを施す。これにより、電極層３２
は、隔壁１３の側壁面、およびフォトレジスト層３３で
覆われた隔壁１３の上面にのみ選択的に残される。この
うち、隔壁１３の上面にあるのが、アドレス電極１６と
なる。Next, as shown in FIGS. 6A and 6B, the photoresist layer 33 covers only the region of the upper surface of the partition wall 13 in the direction orthogonal to the previously formed wiring portion 12B. , Eg reactive ion etching (RIE)
Alternatively, the electrode layer 32 is etched by a highly anisotropic method such as ion milling. Thereby, the electrode layer 32
Are selectively left only on the side wall surface of the partition wall 13 and the upper surface of the partition wall 13 covered with the photoresist layer 33. Of these, the address electrode 16 is on the upper surface of the partition wall 13.

【００３２】次に、図７（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、さらにフォトレジスト層３４，３５により、隔壁１
３の側面のうち配線部１２Ｂが形成されている側（図で
はセルの長辺に対応）と、アドレス電極１６に接してい
る側（図ではセルの短辺の一方に対応）とを覆い、再度
エッチングを行う。ただし、この工程では、プラズマエ
ッチングなどの等方性エッチングを行う。なお、フォト
レジスト層３５は、隣接する長辺側の隔壁１３の所定の
一方により近い位置（図では左側）に付設する。Next, as shown in FIGS. 7A and 7B, the partition wall 1 is further formed by the photoresist layers 34 and 35.
Of the side surfaces of the wiring 3, the side on which the wiring portion 12B is formed (corresponding to the long side of the cell in the figure) and the side in contact with the address electrode 16 (corresponding to one of the short sides of the cell in the figure), Etch again. However, in this step, isotropic etching such as plasma etching is performed. The photoresist layer 35 is provided at a position (left side in the figure) closer to a predetermined one of the adjacent long side partition walls 13.

【００３３】これにより、図８（Ａ），（Ｂ）に示した
ように、配線部１２Ｂが形成されている隔壁１３の側面
には、フォトレジスト層３４で覆われていた電極層３２
が残され、放電部１２Ａとなる。放電部１２Ａは、配線
部１２Ｂに接するように形成され、維持電極１２の全体
が出来上がる。また同時に、アドレス電極１６側の隔壁
１３の側面には、フォトレジスト層３５で覆われていた
電極層３２が残され、分岐部１６Ａとなる。分岐部１６
Ａは、維持電極１２のうち図の左側の方、すなわちアド
レス放電を行う維持電極１２Ｙの方により近くなるよう
に形成される。As a result, as shown in FIGS. 8A and 8B, the electrode layer 32 covered with the photoresist layer 34 is formed on the side surface of the partition wall 13 on which the wiring portion 12B is formed.
Are left and become the discharge part 12A. The discharge part 12A is formed in contact with the wiring part 12B, and the entire sustain electrode 12 is completed. At the same time, the electrode layer 32 covered with the photoresist layer 35 is left on the side surface of the partition wall 13 on the side of the address electrode 16 to form the branch portion 16A. Branching part 16
A is formed so as to be closer to the left side of the sustain electrode 12 in the figure, that is, the sustain electrode 12Y that performs the address discharge.

【００３４】その後、例えば、基板１１の全面にＬＰＣ
ＶＤによりＳｉＯ2 からなる誘電体層１４を形成し、こ
の誘電体層１４の表面に、電子ビーム蒸着によりＭｇＯ
からなる保護層１５を形成する。さらに、隔壁１３の
間、各セルの底部に蛍光体スラリーを印刷することによ
り、蛍光体１７を形成する。After that, for example, the LPC is formed on the entire surface of the substrate 11.
A dielectric layer 14 made of SiO2 is formed by VD, and MgO is formed on the surface of the dielectric layer 14 by electron beam evaporation.
A protective layer 15 made of is formed. Further, the phosphor 17 is formed by printing the phosphor slurry on the bottom of each cell between the partition walls 13.

【００３５】次に、基板２１を用意し、これを基板１１
に貼り合わせる。例えば、スクリーン印刷により基板１
１の周縁部に低融点ガラスからなるシール層を形成して
おき、これに基板２１を合わせ、焼成してシール層を硬
化させる。その際、各構成要素がすべて基板１１上に形
成されているので、基板１１と基板２１の位置合わせは
簡単に行うことができる。Next, a substrate 21 is prepared, and this is used as the substrate 11.
Pasted on. For example, the substrate 1 is formed by screen printing.
A seal layer made of low-melting glass is formed on the peripheral edge of the substrate 1, and the substrate 21 is attached to this and baked to cure the seal layer. At this time, since all the constituent elements are formed on the substrate 11, the substrate 11 and the substrate 21 can be easily aligned with each other.

【００３６】最後に、２つの基板１１，２１の間に設け
られ、隔壁１３によって区切られた放電空間に対し、排
気と放電ガスの封入を行う。これにより、本実施の形態
のプラズマ表示装置が完成する。Finally, the discharge space provided between the two substrates 11 and 21 and partitioned by the partition wall 13 is evacuated and filled with discharge gas. As a result, the plasma display device of the present embodiment is completed.

【００３７】このプラズマ表示装置は、例えば、通常の
３電極を用いる駆動法によって従来の装置と同様に動作
させることができる。データ消去方式の場合で説明する
と、まず、全ての維持電極１２Ｘ、１２Ｙに電圧を印加
し、互いの放電部１２Ａの間で予備放電を行い、全ての
セルの保護層１５上に電荷（壁電荷）を一様に形成す
る。次に、発光させない画素に対応する維持電極１２
Ｙ，アドレス電極１６に電圧を印加し、アドレス放電を
行う。ここでは、アドレス電極１６の分岐部１６Ａは、
維持電極１２Ｘの放電部１２Ａよりも維持電極１２Ｙの
放電部１２Ａに近接しているため、アドレス放電が生じ
やすくなっている。このようにして、発光させない画素
のセルから選択的に壁電荷が消去され、結果的に、発光
させる画素位置にのみ壁電荷が残ることで表示画素の選
択が行われる。This plasma display device can be operated in the same manner as the conventional device by a driving method using a normal three electrodes. Explaining the case of the data erasing method, first, a voltage is applied to all the sustain electrodes 12X and 12Y to perform preliminary discharge between the discharge parts 12A, and charges (wall charges) on the protective layer 15 of all cells. ) Is uniformly formed. Next, the sustain electrodes 12 corresponding to the pixels that do not emit light.
A voltage is applied to the Y and address electrodes 16 to perform address discharge. Here, the branch portion 16A of the address electrode 16 is
Since the discharge portion 12A of the sustain electrode 12Y is closer to the discharge portion 12A of the sustain electrode 12X, the address discharge is more likely to occur. In this way, the wall charges are selectively erased from the cells of the pixels that do not emit light, and as a result, the wall charges remain only at the pixel positions that emit light, so that display pixels are selected.

【００３８】次に、維持電極１２Ｘ，１２Ｙに交流パル
スを印加すると、壁電荷が残っているセルではパルス電
圧に壁電荷の電圧が重畳され、維持電極１２Ｘ，１２Ｙ
の放電部１２Ａの間で放電開始電圧に達し、放電が生じ
る（維持放電）。この対となる放電部１２Ａは放電面が
対向しているため、従来よりも放電開始電圧が低く、放
電の効率もよい。よって、印加パルスの電圧を低くする
ことが可能である。また、放電部１２Ａの間の容量がよ
り小さくなっているので、その充電に費やす無効電力が
少なくなる。Next, when an AC pulse is applied to the sustain electrodes 12X and 12Y, the wall charge voltage is superimposed on the pulse voltage in the cells where the wall charges remain, and the sustain electrodes 12X and 12Y are applied.
The discharge start voltage is reached between the discharge parts 12A, and discharge occurs (sustain discharge). Since the discharge surfaces of the discharge parts 12A forming a pair are opposed to each other, the discharge starting voltage is lower than that in the prior art and the discharge efficiency is good. Therefore, the voltage of the applied pulse can be lowered. Further, since the capacity between the discharging parts 12A is smaller, the reactive power consumed for charging the same is reduced.

【００３９】この維持放電では、放電ガスが放つ紫外線
が蛍光体１７に照射されると、蛍光体１７が発光し、こ
のセルが点灯する。よって、所定の期間だけ放電状態を
持続させて、発光表示を行う。ここでは、維持電極１２
の放電部１２Ａ，配線部１２Ｂが共に表示面側から見え
ない位置に配されているので、表示面側に発光を遮るも
のがなく、光が効率よく外へ取り出される。In this sustain discharge, when the fluorescent substance 17 is irradiated with the ultraviolet rays emitted from the discharge gas, the fluorescent substance 17 emits light, and this cell is turned on. Therefore, the discharge state is maintained for a predetermined period to perform light emission display. Here, the sustain electrode 12
Since both the discharge part 12A and the wiring part 12B are disposed at positions that cannot be seen from the display surface side, there is nothing that blocks light emission on the display surface side, and light is efficiently extracted to the outside.

【００４０】このように本実施の形態によれば、主放電
を発生させる一対の維持電極１２が、放電部１２Ａによ
って放電対向面を隔壁１３の側面に有するようにしたの
で、対向面の面積を大きくすることができ、放電効率の
向上が見込める。また、放電ギャップが拡がることで対
向面間の容量を小さくでき、無効電力を低減することが
できる。さらに、セルの開口率を向上させることができ
ると共に、遮光しない位置に設けられる維持電極１２自
体は、高抵抗の透明電極とする必要がなくなり、金属で
形成することができるという効果がある。As described above, according to the present embodiment, the pair of sustain electrodes 12 for generating the main discharge have the discharge facing surfaces on the side surfaces of the barrier ribs 13 by the discharge portion 12A. It can be increased, and the discharge efficiency can be expected to improve. Further, since the discharge gap is widened, the capacitance between the facing surfaces can be reduced, and the reactive power can be reduced. Further, the aperture ratio of the cell can be improved, and the sustain electrode 12 itself provided at the position where light is not shielded does not need to be a high-resistance transparent electrode, and can be formed of metal.

【００４１】また、この一対の維持電極１２は対向放電
を行うようにしたので、従来の面放電と比べて、放電開
始電圧を低下させることができ、また構造的な理由で対
向面間の容量を小さくすることができる。よって、駆動
電圧を低くして電力消費を抑えると共に無効電力を低減
することができる。Further, since the pair of sustain electrodes 12 are configured to perform the opposed discharge, the discharge start voltage can be lowered as compared with the conventional surface discharge, and the capacitance between the opposed surfaces can be reduced for the structural reason. Can be made smaller. Therefore, it is possible to reduce the driving voltage to suppress the power consumption and reduce the reactive power.

【００４２】〔変形例〕図９は、上記第１の実施の形態
の変形例に係るプラズマ表示装置の要部構成を示す表示
面側からみた平面図である。なお、ここでは、各構成要
素は第１の実施の形態に対応させて説明するようにし、
対応する構成要素と同一の符号を付している。[Modification] FIG. 9 is a plan view showing the configuration of the main part of the plasma display device according to the modification of the first embodiment, viewed from the display surface side. In addition, here, each component will be described in correspondence with the first embodiment,
The same reference numerals are given to the corresponding components.

【００４３】本変形例では、各放電セルは隔壁１３によ
って三角形状に構成されている。各セルの隔壁１３の３
面のうち２面には、その側面に維持電極１２の放電部１
２Ａがそれぞれ設けられている。これら放電部１２Ａ
は、位置や形状を調整することで最近接距離を最適化す
ることができ、放電電圧を制御することができる。ま
た、この場合の配線部１２Ｂは、各放電部１２Ａに接合
されるように隔壁１３の側縁に沿って蛇行するように設
けられている。また、アドレス電極１６は、残された隔
壁１３の１面に沿うように隔壁１３の上部に設けられて
おり、維持電極１２Ｙの方に近接する位置に分岐部１６
Ａが付設される。In this modification, each discharge cell is formed by the partition wall 13 into a triangular shape. 3 of partition 13 of each cell
The discharge part 1 of the sustain electrode 12 is provided on two of the two sides.
2A are provided respectively. These discharge parts 12A
By adjusting the position and shape, the closest distance can be optimized and the discharge voltage can be controlled. In addition, the wiring portion 12B in this case is provided so as to meander along the side edge of the partition wall 13 so as to be joined to each discharge portion 12A. The address electrode 16 is provided on the partition 13 along one surface of the remaining partition 13 and is located at a position close to the sustain electrode 12Y.
A is attached.

【００４４】なお、このプラズマ表示装置は、基本的に
第１の実施の形態と同様の３電極構造となっているため
に、各部を第１の実施の形態と同様に製造することがで
き、同様に、従来の方法で駆動することができる。よっ
て、本変形例は、放電部１２Ａを隔壁１３の側面に設け
るようにした点では、第１の実施の形態と同様の効果を
奏する。また、各画素が三角形状となることで、見かけ
上の解像度が向上するという効果を有する。Since this plasma display device basically has the same three-electrode structure as in the first embodiment, each part can be manufactured in the same manner as in the first embodiment. It can likewise be driven in a conventional manner. Therefore, the present modification has the same effect as that of the first embodiment in that the discharge part 12A is provided on the side surface of the partition wall 13. In addition, the triangular shape of each pixel has an effect of improving the apparent resolution.

【００４５】〔第２の実施の形態〕図１０は、第２の実
施の形態に係るプラズマ表示装置の要部構成を示す構成
図であり、図１１は、そのＩＩ−ＩＩ断面図である。こ
こでは、維持電極４２は一方向に延在し、それ自体の側
面４２Ａが放電対向面となっている。また、維持電極４
２，アドレス電極４６は共に、格子状の隔壁１３の内部
に設けられている。これらの点を除けば、本実施の形態
は上記第１の実施の形態と同様であり、同一の構成要素
には同一の符号を付して説明を適宜省略する。[Second Embodiment] FIG. 10 is a configuration diagram showing a main configuration of a plasma display device according to a second embodiment, and FIG. 11 is a II-II sectional view thereof. Here, the sustain electrode 42 extends in one direction, and the side surface 42A of itself is a discharge facing surface. In addition, the sustain electrode 4
2. Both the address electrodes 46 are provided inside the lattice-shaped partition wall 13. Except for these points, the present embodiment is the same as the first embodiment, and the same components are designated by the same reference numerals and the description thereof will be appropriately omitted.

【００４６】ここでは、対をなす維持電極４２（４２
Ｘ，４２Ｙ）のそれぞれが、一セルの対向する隔壁１３
の内に設けられている。これにより、放電ギャップがセ
ル寸法程度にまで広げられ、その静電容量が大幅に低減
される。また、維持電極４２は、側面４２によって基板
１１、２１に平行な方向に対向放電を生ずるようになっ
ている。よって、第１の実施の形態と同様に、放電開始
電圧が低減される。なお、その側面４２は、第１の実施
の形態では放電部１２Ａに相当する部位であるから、で
きるだけ広くとれる方が望ましい。しかし、幅よりも厚
み方向の寸法が大きくなるほど維持電極４２の作製は難
しくなるので、それらの兼ね合いによって実際の寸法を
決めればよい。Here, a pair of sustain electrodes 42 (42
X, 42Y) are each a partition wall 13 facing each other.
It is provided inside. As a result, the discharge gap is widened to about the cell size, and the electrostatic capacitance is greatly reduced. Further, the sustain electrode 42 is adapted to generate an opposing discharge in a direction parallel to the substrates 11 and 21 by the side surface 42. Therefore, the discharge starting voltage is reduced as in the first embodiment. Since the side surface 42 is a portion corresponding to the discharge portion 12A in the first embodiment, it is preferable that the side surface 42 be as wide as possible. However, as the dimension in the thickness direction becomes larger than the width, it becomes more difficult to manufacture the sustain electrode 42. Therefore, the actual dimension may be determined in consideration of these factors.

【００４７】また、ここでは、隔壁１３の内部において
アドレス電極４６が維持電極４２に高架するようになっ
ているので、維持電極４２は隔壁１３の下部に位置す
る。よって、蛍光体１７は、基板１１の底面に設けられ
ていてもよいが、放電による劣化を防止する意味では、
基板２１側に設けて維持電極４２から離して配置する方
がよい。このように、維持電極４２，アドレス電極４６
が共に隔壁１３の内部に設けられているために、表示面
側（基板２１側）から見て画素領域には遮光するものが
ない。そのため、この装置では、光取り出し効率が高く
なっている。In this case, since the address electrode 46 is elevated above the sustain electrode 42 inside the partition wall 13, the sustain electrode 42 is located below the partition wall 13. Therefore, the phosphor 17 may be provided on the bottom surface of the substrate 11, but in the sense of preventing deterioration due to discharge,
It is better to provide it on the substrate 21 side and dispose it apart from the sustain electrode 42. In this way, the sustain electrodes 42 and the address electrodes 46 are
Since they are both provided inside the partition wall 13, there is nothing that blocks light in the pixel region when viewed from the display surface side (substrate 21 side). Therefore, in this device, the light extraction efficiency is high.

【００４８】次に、このプラズマ表示装置の製造方法に
ついて説明する。Next, a method of manufacturing this plasma display device will be described.

【００４９】まず、図１２（Ａ）に示したように、基板
１１の上にガラスペーストを塗布して第１の隔壁層５１
を形成する。この第１の隔壁層５１の厚みは、維持電極
４２の高さに相当する。次に、図１２（Ｂ）に示したよ
うに、第１の隔壁層５１の維持電極４２の形成位置に、
基板１１に達する深さまでエッチングを行い、第１の溝
５２を形成する。次に、図１２（Ｃ）に示したように、
第１の溝５２を埋めるようにＡｇ等の金属からなる電極
材料５３をペースト印刷やめっき、ＣＶＤ等により成膜
し、第１の溝５２の中だけに電極材料５３が残されるよ
うにエッチバックを行う。これにより、維持電極４２が
形成される。First, as shown in FIG. 12A, a glass paste is applied on the substrate 11 to form the first partition layer 51.
To form. The thickness of the first partition wall layer 51 corresponds to the height of the sustain electrode 42. Next, as shown in FIG. 12B, at the position where the sustain electrode 42 of the first partition layer 51 is formed,
Etching is performed to a depth reaching the substrate 11 to form the first groove 52. Next, as shown in FIG.
An electrode material 53 made of a metal such as Ag is deposited to fill the first groove 52 by paste printing, plating, CVD or the like, and is etched back so that the electrode material 53 is left only in the first groove 52. I do. As a result, the sustain electrode 42 is formed.

【００５０】次に、図１２（Ｄ）に示したように、第１
の隔壁層５１と維持電極４２の上に、さらにガラスペー
ストを塗布して第２の隔壁層５４を形成する。このと
き、第２の隔壁層５４の厚みは、アドレス電極４６の高
さよりも大きな値となるようにしておく。次に、図１３
（（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＩＩ−ＩＩ断面図）に示し
たように、第２の隔壁層５４のアドレス電極４６の形成
位置に、その高さ分の深さでエッチングを行い、第２の
溝５５を形成する。次に、図１４に示したように、第２
の溝５５を埋めるようにＡｇ等の金属からなる電極材料
５６をペースト印刷やめっき、ＣＶＤ等により成膜し、
さらに、第２の溝５５の中だけに電極材料５６が残され
るようにエッチバックを行う。これにより、アドレス電
極４６が形成される。Next, as shown in FIG. 12D, the first
A glass paste is further applied on the barrier rib layer 51 and the sustain electrode 42 to form a second barrier rib layer 54. At this time, the thickness of the second partition layer 54 is set to be larger than the height of the address electrode 46. Next, FIG.
As shown in ((A) is a plan view and (B) is a sectional view taken along line II-II), etching is performed at a position corresponding to the height of the address electrode 46 on the second partition layer 54. , The second groove 55 is formed. Next, as shown in FIG.
An electrode material 56 made of a metal such as Ag is formed by paste printing, plating, CVD or the like so as to fill the groove 55 of
Further, etching back is performed so that the electrode material 56 is left only in the second groove 55. As a result, the address electrode 46 is formed.

【００５１】次に、図１５（Ａ），（Ｂ）に示したよう
に、隔壁１３の形成領域にフォトレジスト層５７を形成
し、その上からサンドブラスト等によりエッチングを施
す。そののち、フォトレジスト層５７を除去する。これ
により、図１０，図１１のように維持電極４２とアドレ
ス電極４６を内部に有する格子状の隔壁１３が形成され
る。Next, as shown in FIGS. 15A and 15B, a photoresist layer 57 is formed in the region where the partition wall 13 is formed, and etching is performed on the photoresist layer 57 by sandblasting or the like. After that, the photoresist layer 57 is removed. As a result, the grid-shaped partition wall 13 having the sustain electrodes 42 and the address electrodes 46 therein is formed as shown in FIGS.

【００５２】続いて、この隔壁１３の側面に誘電体層１
４や保護層１５を適宜に形成し、蛍光体１７を各セルの
底部、もしくは基板２１の各セルの表示領域に蛍光体ペ
ーストを塗布することで形成する。こうして各構成要素
が形成された基板１１，２１を貼り合わせ、本実施の形
態のプラズマ表示装置が出来上がる。Subsequently, the dielectric layer 1 is formed on the side surface of the partition wall 13.
4 and the protective layer 15 are appropriately formed, and the phosphor 17 is formed by applying the phosphor paste to the bottom of each cell or the display area of each cell of the substrate 21. In this way, the substrates 11 and 21 on which the respective constituent elements are formed are attached to each other to complete the plasma display device of the present embodiment.

【００５３】このように本実施の形態によれば、主放電
を発生させる一対の維持電極４２を隔壁１３の内部に設
けるようにしたので、放電ギャップが拡がることで対向
面間の容量を小さくでき、無効電力を低減することがで
きる。さらに、セルの開口率を向上させることができる
と共に、遮光しない位置に設けられる維持電極４２自体
は、低抵抗の透明電極とする必要がなくなり、金属で形
成することができる。As described above, according to the present embodiment, the pair of sustain electrodes 42 for generating the main discharge is provided inside the partition wall 13, so that the discharge gap is widened and the capacitance between the facing surfaces can be reduced. The reactive power can be reduced. Furthermore, the aperture ratio of the cell can be improved, and the sustain electrode 42 itself provided at the position where light is not shielded does not need to be a low-resistance transparent electrode, and can be formed of metal.

【００５４】また、この一対の維持電極４２は対向放電
を行うようにしたので、第１の実施の形態と同様に、駆
動電圧を低くして電力消費を抑えると共に負荷容量を小
さくして無効電力を低減することができる。Further, since the pair of sustain electrodes 42 are configured to perform the opposite discharge, as in the first embodiment, the driving voltage is lowered to suppress the power consumption and the load capacity is reduced to reduce the reactive power. Can be reduced.

【００５５】〔第３の実施の形態〕図１６は、第３の実
施の形態に係るプラズマ表示装置の要部構成を示す構成
図である。このプラズマ表示装置では、維持電極６５が
ストライプ状の隔壁６４の側面に設けられている。すな
わち、背面ガラス基板６１の上に、並列するようにアド
レス電極６２が設けられ、その上を誘電体層６３が覆っ
ている。さらにその上には、隔壁６４がアドレス電極６
２と直交するように設けられており、その側面に維持電
極６５がストライプ状に展延するように付設されてい
る。また、この維持電極６５の表面は誘電体層６６，保
護層６７により覆われており、隔壁６４と隔壁６４の間
には蛍光体６８が設けられている。[Third Embodiment] FIG. 16 is a configuration diagram showing a main configuration of a plasma display device according to a third embodiment. In this plasma display device, the sustain electrode 65 is provided on the side surface of the stripe-shaped partition wall 64. That is, the address electrodes 62 are provided in parallel on the back glass substrate 61, and the dielectric layers 63 cover the address electrodes 62. Further, a partition wall 64 is provided on the address electrode 6
It is provided so as to be orthogonal to 2, and a sustain electrode 65 is attached to the side surface so as to extend in a stripe shape. The surface of the sustain electrode 65 is covered with a dielectric layer 66 and a protective layer 67, and a phosphor 68 is provided between the partition walls 64.

【００５６】ここでは、各セルの一対の維持電極６５
は、隔壁６４の側面に設けられることで、対向する基板
６１，７１の面に平行な方向に対向放電を生じるように
なっている。よって、本実施の形態におけるプラズマ表
示装置の作用・効果は、第１の実施の形態と同様であ
る。また、このプラズマ表示装置の電極もやはり３電極
構造となっているので、第１の実施の形態と同様、通常
の３電極を用いる駆動法によって従来の装置と同様に動
作させることができる。Here, a pair of sustain electrodes 65 of each cell is used.
Is provided on the side surface of the partition wall 64, so that an opposing discharge is generated in a direction parallel to the surfaces of the opposing substrates 61 and 71. Therefore, the operation and effect of the plasma display device according to the present embodiment is similar to that of the first embodiment. Further, since the electrodes of this plasma display device also have the three-electrode structure, they can be operated in the same manner as the conventional device by the driving method using the ordinary three electrodes as in the first embodiment.

【００５７】なお、この装置は、隔壁６４がストライプ
状であることから、上記第１および第２の実施の形態よ
りも簡素な構造であり、より容易に製造することができ
る。その製造は、例えば次のようにして行うことができ
る。Since the partition wall 64 has a stripe shape, this device has a simpler structure than the first and second embodiments and can be more easily manufactured. The production can be performed as follows, for example.

【００５８】まず、図１７（Ａ）に示したように、基板
６１を用意し、その上にＡｇなどの電極材料をＣＶＤや
真空蒸着などによって成膜し、所定形状にパターニング
することでアドレス電極６２を形成する。その上に、例
えばＳｉＯ2 をＣＶＤまたは印刷により成膜し、誘電体
層６３を形成する。さらにその上にガラスペーストをス
クリーン印刷したのちサンドブラストにより整形し、こ
れを焼成することによりストライプ状の隔壁６４を形成
する。First, as shown in FIG. 17A, a substrate 61 is prepared, an electrode material such as Ag is formed on the substrate 61 by CVD or vacuum evaporation, and patterned into a predetermined shape to form an address electrode. 62 is formed. Then, for example, SiO2 is deposited by CVD or printing to form the dielectric layer 63. Further, a glass paste is screen-printed thereon, shaped by sandblasting, and fired to form stripe-shaped partition walls 64.

【００５９】次に、図１７（Ｂ）に示したように、隔壁
６４の上から基板６１の全面に電極層８１を形成する。
電極層７８は、Ａｇを用いるならばめっきで成膜し、Ａ
ｌ等を用いるのであれば、表面反応を利用したＣＶＤに
より成膜することで、下地様に形成される。Next, as shown in FIG. 17B, an electrode layer 81 is formed on the entire surface of the substrate 61 from above the partition wall 64.
If Ag is used, the electrode layer 78 is formed by plating.
If 1 or the like is used, it is formed like a base by forming a film by CVD utilizing surface reaction.

【００６０】次に、図１７（Ｃ）に示したように、例え
ばＲＩＥあるいはイオンミリングなどの異方性の高い方
法で電極層８１にエッチングを施す。これにより、電極
層８１は、隔壁６４の側壁面にのみ選択的に残され、維
持電極６５となる。Next, as shown in FIG. 17C, the electrode layer 81 is etched by a highly anisotropic method such as RIE or ion milling. As a result, the electrode layer 81 is selectively left only on the side wall surface of the partition wall 64 and becomes the sustain electrode 65.

【００６１】次に、図１７（Ｄ）に示したように、基板
６１の全面に、例えばＣＶＤによりＳｉＯ2 からなる誘
電体層６６を形成し、この誘電体層６６の表面に、電子
ビーム蒸着によりＭｇＯからなる保護層６７を形成す
る。さらに、隔壁６４の間、各セルの底部に蛍光体スラ
リーを印刷することにより、蛍光体６８を形成する。Next, as shown in FIG. 17D, a dielectric layer 66 made of SiO 2 is formed on the entire surface of the substrate 61 by, for example, CVD, and the surface of the dielectric layer 66 is subjected to electron beam evaporation. A protective layer 67 made of MgO is formed. Further, a phosphor 68 is formed by printing phosphor slurry on the bottom of each cell between the partition walls 64.

【００６２】次に、基板７１を用意し、これを基板６１
に貼り合わせる。その際、各構成要素がすべて基板６１
上に形成されているので、位置合わせを簡単に行うこと
ができる。最後に、基板６１，７１の間に放電ガスの封
入を行うと、プラズマ表示装置が完成する。Next, a substrate 71 is prepared, and this is used as the substrate 61.
Pasted on. At that time, all components are all on the substrate 61.
Since it is formed on the top, alignment can be easily performed. Finally, by filling the discharge gas between the substrates 61 and 71, the plasma display device is completed.

【００６３】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず種々の変形実施が可能である。例えば、第１ないし
第３の実施の形態では、維持電極もアドレス電極もそれ
ぞれ実施の形態によって形状や配置が異なった構成とし
たが、可能な範囲で維持電極とアドレス電極の組み合わ
せを変更することが可能である。また、本発明では、主
放電を行う維持電極が、基板面に水平な方向に対向放電
を行うように配置されていればよいので、それ以外の構
成要素、例えば誘電体層，保護層または蛍光体などの位
置や形成領域は特に限定されない。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in the first to third embodiments, the shape and arrangement of the sustain electrodes and the address electrodes are different depending on the embodiment, but the combination of the sustain electrodes and the address electrodes may be changed within a possible range. Is possible. Further, in the present invention, since the sustain electrodes that perform the main discharge may be arranged so as to perform the counter discharge in the direction horizontal to the substrate surface, other components such as the dielectric layer, the protective layer, or the fluorescent layer may be used. The position of the body or the like and the formation region are not particularly limited.

【００６４】[0064]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るプラズ
マ表示装置によれば、一対の基板の間の領域に形成さ
れ、これらの基板面に平行な方向に放電を生ずるための
対向面を有している一対の維持電極を備えるようにした
ので、維持電極の対向面間の容量を小さくすることがで
きる。よって、無効電力を低下させ、電力消費を低減す
ることが可能となる。As described above, according to the plasma display device of the present invention, the plasma display device has the opposing surfaces formed in the region between the pair of substrates and for generating the discharge in the direction parallel to the surfaces of these substrates. Since the pair of sustain electrodes is provided, the capacitance between the opposing surfaces of the sustain electrodes can be reduced. Therefore, it is possible to reduce reactive power and power consumption.

【００６５】特に、請求項３または請求項４に記載のプ
ラズマ表示装置、および、本発明のプラズマ表示装置の
製造方法によれば、対向する維持電極を隔壁の側面また
は内部に設けるようにしたので、開口率を向上させるこ
とができ、高効率に発光表示を行うことが可能となる。
また、維持電極自体は、高抵抗の透明電極とする必要が
なくなり、金属で形成することが可能となる。Particularly, according to the plasma display device of the third or fourth aspect and the method of manufacturing the plasma display device of the present invention, the opposing sustain electrodes are provided on the side surface or inside the partition wall. In addition, the aperture ratio can be improved, and light emission display can be performed with high efficiency.
Further, the sustain electrode itself does not need to be a high-resistance transparent electrode, and can be made of metal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るプラズマ表示
装置の構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a plasma display device according to a first embodiment of the present invention.

【図２】図１に示したプラズマ表示装置の断面図であ
る。2 is a cross-sectional view of the plasma display device shown in FIG.

【図３】図１に示したプラズマ表示装置の製造方法を説
明するための工程図である。3A to 3D are process drawings for explaining a method of manufacturing the plasma display device shown in FIG.

【図４】図３に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 4 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG.

【図５】図４に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 5 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG.

【図６】図５に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 6 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG. 5;

【図７】図６に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 7 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG.

【図８】図７に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 8 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG. 7.

【図９】図１に示したプラズマ表示装置の変形例に係る
装置の要部構成図である。9 is a main part configuration diagram of an apparatus according to a modification of the plasma display device shown in FIG.

【図１０】本発明の第２の実施の形態に係るプラズマ表
示装置の構成を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a configuration of a plasma display device according to a second embodiment of the present invention.

【図１１】図１０に示したプラズマ表示装置の断面図で
ある。11 is a cross-sectional view of the plasma display device shown in FIG.

【図１２】図１０に示したプラズマ表示装置の製造方法
を説明するための工程図である。12 is a process chart for explaining the manufacturing method of the plasma display device shown in FIG.

【図１３】図１２に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 13 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG. 12.

【図１４】図１３に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 14 is a process diagram showing the manufacturing process following FIG.

【図１５】図１４に続く製造工程を示す工程図である。FIG. 15 is a process drawing showing the manufacturing process following FIG.

【図１６】本発明の第３の実施の形態に係るプラズマ表
示装置の構成を示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of a plasma display device according to a third embodiment of the present invention.

【図１７】図１６に示したプラズマ表示装置の製造方法
を説明するための工程図である。FIG. 17 is a process drawing for explaining the manufacturing method of the plasma display device shown in FIG.

【図１８】従来の面放電型プラズマ表示装置の構成を示
す斜視図である。FIG. 18 is a perspective view showing a configuration of a conventional surface discharge plasma display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１，６１…前面ガラス基板、１２，４２，６５…維持
電極、１２Ａ…放電部、１２Ｂ…配線部、１３，６４…
隔壁、１４，６３，６６…誘電体層、１５，６７…保護
層、１６，４６，６２…アドレス電極、１６Ａ…分岐
部、１７，６８…蛍光体、２１、７１…背面ガラス基
板。11, 61 ... Front glass substrate, 12, 42, 65 ... Sustaining electrodes, 12A ... Discharge part, 12B ... Wiring part, 13, 64 ...
Partition walls, 14, 63, 66 ... Dielectric layer, 15, 67 ... Protective layer, 16, 46, 62 ... Address electrode, 16A ... Branch portion, 17, 68 ... Phosphor, 21, 71 ... Rear glass substrate.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 肇 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5C040 FA01 FA04 GB06 GB12 GB20 GC02 GC13 GF03 GF12 LA05 MA03 MA10 MA12    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Hajime Inoue             6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni             -Inside the corporation F-term (reference) 5C040 FA01 FA04 GB06 GB12 GB20                       GC02 GC13 GF03 GF12 LA05                       MA03 MA10 MA12

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 放電空間を挟んで互いの基板面が対向す
るように配置された一対の基板と、 前記放電空間を複数の発光領域に区画する隔壁と、 前記一対の基板の間の領域に形成され、これらの基板面
に平行な方向に放電を生ずるための対向面を有している
一対の維持電極とを備えたことを特徴とするプラズマ表
示装置。1. A pair of substrates arranged such that their substrate surfaces face each other across a discharge space, partition walls partitioning the discharge space into a plurality of light emitting regions, and a region between the pair of substrates. A plasma display device comprising: a pair of sustain electrodes that are formed and have opposing surfaces for generating discharge in a direction parallel to these substrate surfaces. 【請求項２】 前記維持電極の対向面は、前記隔壁の側
面に設けられていることを特徴とする請求項１記載のプ
ラズマ表示装置。2. The plasma display device according to claim 1, wherein the facing surface of the sustain electrode is provided on a side surface of the partition wall. 【請求項３】 前記維持電極の対向面は、前記隔壁の内
部に設けられていることを特徴とする請求項１記載のプ
ラズマ表示装置。3. The plasma display device according to claim 1, wherein the facing surface of the sustain electrode is provided inside the partition wall. 【請求項４】 前記維持電極は、前記対向面を有する放
電部と、この放電部に給電するために前記隔壁の形成領
域に延在するように設けられている配線部とから構成さ
れていることを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示
装置。4. The sustain electrode comprises a discharge part having the facing surface, and a wiring part provided so as to extend in a region where the barrier ribs are formed in order to supply power to the discharge part. The plasma display device according to claim 1, wherein the plasma display device is a plasma display device. 【請求項５】 前記維持電極は金属からなることを特徴
とする請求項１記載のプラズマ表示装置。5. The plasma display device as claimed in claim 1, wherein the sustain electrode is made of metal. 【請求項６】 前記隔壁の形成領域に、隔壁に沿って延
在するアドレス電極が設けられていることを特徴とする
請求項１記載のプラズマ表示装置。6. The plasma display device according to claim 1, wherein an address electrode extending along the partition is provided in the partition forming region. 【請求項７】 前記アドレス電極は、前記発光領域のそ
れぞれにおいて前記一対の維持電極のうちの一方に向け
て突出する分岐部を有していることを特徴とする請求項
６記載のプラズマ表示装置。7. The plasma display device according to claim 6, wherein the address electrode has a branch portion protruding toward one of the pair of sustain electrodes in each of the light emitting regions. . 【請求項８】 前記発光領域は前記隔壁により三角形状
に構成され、隔壁の３面のうち２面の側面または内部
に、前記一対の維持電極の対向面がそれぞれ１つずつ設
けられていることを特徴とする請求項１記載のプラズマ
表示装置。8. The light emitting region is formed in a triangular shape by the partition walls, and one of the facing surfaces of the pair of sustain electrodes is provided on each of two side surfaces or inside of the three surfaces of the partition wall. The plasma display device according to claim 1, wherein: 【請求項９】 放電空間を挟んで互いの基板面が対向す
るように配置された一対の基板と、前記放電空間を複数
の発光領域に区画する隔壁と、前記一対の基板の間の領
域に形成され、これらの基板面に平行な方向に放電を生
ずるための対向面を有している一対の維持電極とを備え
たプラズマ表示装置の製造方法であって、 前記基板の一方の基板面上に隔壁を形成し、 前記放電空間を挟んで対向する隔壁それぞれの側面に、
前記維持電極の対向面を有する放電部を形成することを
特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。9. A pair of substrates arranged such that their substrate surfaces face each other across the discharge space, partition walls partitioning the discharge space into a plurality of light emitting regions, and a region between the pair of substrates. A method of manufacturing a plasma display device, comprising: a pair of sustain electrodes having opposing surfaces for generating discharge in a direction parallel to the surface of the substrate, the method comprising: Barrier ribs are formed on the side surfaces of the barrier ribs that face each other across the discharge space,
A method of manufacturing a plasma display device, comprising forming a discharge part having a surface facing the sustain electrode. 【請求項１０】 前記維持電極のうち前記放電部に給電
するための配線部を、前記隔壁の形成領域に延在すると
共に前記放電部に接するように形成することを特徴とす
る請求項９記載のプラズマ表示装置の製造方法。10. The wiring part for supplying power to the discharge part of the sustain electrode is formed so as to extend to a region where the partition wall is formed and to be in contact with the discharge part. Of manufacturing plasma display device of. 【請求項１１】 前記アドレス電極を、前記隔壁の形成
領域に形成することを特徴とする請求項９記載のプラズ
マ表示装置の製造方法。11. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 9, wherein the address electrode is formed in a region where the partition wall is formed. 【請求項１２】 前記隔壁を形成する前に、前記基板の
上にアドレス電極を形成することを特徴とする請求項１
１記載のプラズマ表示装置の製造方法。12. The address electrode is formed on the substrate before the partition wall is formed.
1. The method for manufacturing a plasma display device according to 1. 【請求項１３】 前記アドレス電極を前記隔壁の上面に
形成することを特徴とする請求項１１記載のプラズマ表
示装置の製造方法。13. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 11, wherein the address electrode is formed on an upper surface of the partition wall. 【請求項１４】 前記隔壁の全面に電極層を形成し、こ
れを所定形状に加工することにより、前記維持電極と前
記アドレス電極を同時に形成することを特徴とする請求
項１１記載のプラズマ表示装置の製造方法。14. The plasma display device according to claim 11, wherein an electrode layer is formed on the entire surface of the partition wall, and the sustain electrode and the address electrode are simultaneously formed by processing the electrode layer into a predetermined shape. Manufacturing method. 【請求項１５】 前記アドレス電極に、前記発光領域の
それぞれにおいて前記一対の維持電極のうちの一方に向
けて突出する分岐部を付設することを特徴とする請求項
１１記載のプラズマ表示装置の製造方法。15. The plasma display device according to claim 11, wherein the address electrode is provided with a branch portion protruding toward one of the pair of sustain electrodes in each of the light emitting regions. Method. 【請求項１６】 前記分岐部を前記隔壁の側面に形成す
ることを特徴とする請求項１５記載のプラズマ表示装置
の製造方法。16. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 15, wherein the branch portion is formed on a side surface of the partition wall. 【請求項１７】 前記隔壁を三角形状に形成し、その３
面のうち２面の側面に、前記維持電極の対向面をそれぞ
れ１つずつ形成することを特徴とする請求項９記載のプ
ラズマ表示装置の製造方法。17. The partition wall is formed in a triangular shape, and part 3
10. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 9, wherein one of the facing surfaces of the sustain electrode is formed on each of two side surfaces. 【請求項１８】 放電空間を挟んで互いの基板面が対向
するように配置された一対の基板と、前記放電空間を複
数の発光領域に区画する隔壁と、前記一対の基板の間の
領域に形成され、これらの基板面に平行な方向に放電を
生ずるための対向面を有している一対の維持電極とを備
えたプラズマ表示装置の製造方法であって、 前記基板の一方の面上に第１の隔壁を形成する工程と、 前記第１の隔壁の上面に、第１の溝を形成する工程と、 前記第１の溝に埋め込むようにして維持電極を形成する
工程とを含むことを特徴とするプラズマ表示装置の製造
方法。18. A pair of substrates arranged such that their substrate surfaces face each other across the discharge space, partition walls partitioning the discharge space into a plurality of light emitting regions, and a region between the pair of substrates. A method of manufacturing a plasma display device, comprising: a pair of sustain electrodes having opposing surfaces for generating a discharge in a direction parallel to the surfaces of these substrates, the method comprising: A step of forming a first partition, a step of forming a first groove on the upper surface of the first partition, and a step of forming a sustain electrode so as to be embedded in the first groove. A method of manufacturing a characteristic plasma display device. 【請求項１９】 前記第１の隔壁を形成する前に、 前記基板面上にアドレス電極を形成することを特徴とす
る請求項１８記載のプラズマ表示装置の製造方法。19. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 18, wherein an address electrode is formed on the surface of the substrate before forming the first partition. 【請求項２０】 前記アドレス電極を前記第１の隔壁の
形成領域に形成することを特徴とする請求項１９記載の
プラズマ表示装置の製造方法。20. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 19, wherein the address electrode is formed in a formation region of the first partition. 【請求項２１】 前記維持電極の形成ののち、 前記第１の隔壁の上面に、さらに第２の隔壁を形成する
ことを特徴とする請求項１８記載のプラズマ表示装置の
製造方法。21. The method of claim 18, further comprising forming a second partition on the upper surface of the first partition after forming the sustain electrode. 【請求項２２】 前記第２の隔壁の上面に第２の溝を形
成し、前記第２の溝に埋め込むようにしてアドレス電極
を形成することを特徴とする請求項２１記載のプラズマ
表示装置の製造方法。22. The plasma display device of claim 21, wherein a second groove is formed on an upper surface of the second partition, and an address electrode is formed so as to be embedded in the second groove. Production method. 【請求項２３】 前記第２の隔壁の上面にアドレス電極
を形成することを特徴とする請求項２１記載のプラズマ
表示装置の製造方法。23. The method of manufacturing a plasma display device according to claim 21, wherein an address electrode is formed on an upper surface of the second partition.