JP2003337411A - 感光層転写方法および装置 - Google Patents

感光層転写方法および装置

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JP2003337411A JP2002144497A JP2002144497A JP2003337411A JP 2003337411 A JP2003337411 A JP 2003337411A JP 2002144497 A JP2002144497 A JP 2002144497A JP 2002144497 A JP2002144497 A JP 2002144497A JP 2003337411 A JP2003337411 A JP 2003337411A
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Toshiyuki Masuda
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板に熱圧着されたカバーフイルムに起因す
る基板の搬送異常や塵埃の発生を防止する。 【解決手段】 支持体を剥離する前に、ニップローラ5
1、52により隣接する基板18の後端18bと先端1
8aとの間にある支持体35を撓ませ、剥離バー53で
支持体35を撓んだ方向に押し下げて基板18の後端1
8bあるいは先端18aに熱圧着されたカバーフイルム
37と基板18とを剥離させる予備剥離部15を設け
る。基板18の後端18bあるいは先端18aに熱圧着
されたカバーフイルム37が、予備剥離部15で基板1
8から確実に剥離されるので、剥離部16でカバーフイ
ルム37が支持体35と一緒に剥離されずに基板18に
残ることがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光層転写方法お
よび装置に関し、さらに詳しくは、液晶パネル用基板、
プラズマディスプレイ用基板、プリント配線用基板など
に感光層を転写する方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶パネル用のカラーフィルタなどは、
帯状の支持体上に感光層およびカバーフイルムが順に層
設された積層体フイルムをガラス基板に転写し、フォト
リソグラフィ法で各色毎に露光・現像することにより製
造されている。このように感光層を転写する装置には、
特開平7−110575号公報に記載されるように、基
板の転写領域に合わせて感光層およびカバーフイルムを
切断し、この切断されたカバーフイルムを剥離させた
後、一定間隔で供給される基板に積層体フイルムを供給
し、供給された積層体フイルムを基板へ熱圧着した後、
積層体フイルムを基板から連続的に剥離するものがあ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような装置では、熱圧着時に溶融した感光層が、感光層
およびカバーフイルムの切断部から基板側に浸透するこ
とによって、隣接する基板後端と先端との間にあるカバ
ーフイルムが、基板後端あるいは先端に熱圧着されてし
まうことがある。このようなことが起こると、積層体フ
イルムを基板から剥離する際に、熱圧着されたカバーフ
イルムが支持体と一緒に剥離されずに基板に残ってしま
い、剥離の後工程で搬送部材に引っ掛かかって基板が傾
き、落下・破損するなどの搬送異常を引き起す。また、
熱圧着されたカバーフイルムが剥離後に基板から脱落す
ることもある。この場合は脱落したカバーフイルムが、
基板搬送の妨げとなったり、塵や埃の原因ともなる。
【0004】本発明は、基板に熱圧着されたカバーフイ
ルムに起因する基板の搬送異常や塵埃の発生を防止し、
より生産効率を高めることができる感光層転写方法およ
び装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、帯状の支持体上に感光層およびカバーフ
イルムが順に層設された積層体フイルムを用い、前記感
光層を基板の転写領域に転写する感光層転写方法におい
て、前記基板を一定間隔で供給する基板供給工程と、前
記転写領域に合わせて前記感光層およびカバーフイルム
を切断し、この切断された前記転写領域のカバーフイル
ムのみを剥離させるフイルム前処理工程と、前記フイル
ム前処理工程でカバーフイルムが剥離された前記積層体
フイルムを前記基板供給工程からの基板に、前記カバー
フイルムが剥離された感光層領域と前記転写領域とを一
致させて供給し、前記感光層領域を前記転写領域に熱圧
着する熱圧着工程と、前記熱圧着工程で積層体フイルム
が熱圧着された各基板の間で、積層体フイルムを基板か
ら剥離する方向に押し出して、少なくともカバーフイル
ムと基板とを剥離する予備剥離工程と、前記積層体フイ
ルムを基板から剥離する剥離工程とを備えたことを特徴
とする。なお、前記剥離工程の後に、前記基板後端また
は先端に残ったカバーフイルムを除去する除去工程を備
えていてもよい。
【0006】また、本発明は、帯状の支持体上に感光層
およびカバーフイルムが順に層設された積層体フイルム
を用い、前記感光層を基板の転写領域に転写する感光層
転写装置において、前記基板を一定間隔で供給する基板
供給手段と、前記転写領域に合わせて前記感光層および
カバーフイルムを切断し、この切断された前記転写領域
のカバーフイルムのみを剥離させるフイルム前処理手段
と、前記フイルム前処理手段によりカバーフイルムが剥
離された前記積層体フイルムを前記基板供給手段からの
基板に、前記カバーフイルムが剥離された感光層領域と
前記転写領域とを一致させて供給し、前記感光層領域を
前記転写領域に熱圧着する熱圧着手段と、前記熱圧着手
段により積層体フイルムが熱圧着された各基板の間で、
積層体フイルムを基板から剥離する方向に押し出して、
少なくともカバーフイルムと基板とを剥離する予備剥離
手段と、前記積層体フイルムを基板から剥離する剥離手
段とを備えたことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】図1に、本発明の感光層転写装置
の構成を示す。感光層転写装置2は、基板供給部10、
予備加熱部11、熱圧着部12、フイルム前処理部1
3、冷却部14、予備剥離部15、剥離部16、および
基板取り出し部17から構成される。図2に示すよう
に、感光層転写装置2は、透明なガラスからなる基板1
8の周縁部を除いた転写領域19に感光層36(図4参
照)を転写する。基板18は、基板供給手段としての基
板供給部10のロボットハンド20によって、一定間隔
で転写領域19を下側に向けた状態で予備加熱部11に
供給される。
【0008】予備加熱部11は、基板搬送装置21と、
ヒータ22、23とから構成される。図3に示すよう
に、基板搬送装置21は、エアー浮上プレート24と送
りローラ25とからなる。エアー浮上プレート24は、
基板18の転写面(転写領域19が設けられた面)側に
対面するように配置されており、転写面に向けてクリー
ンなエアーを吹き出して、基板18を浮上させる。
【0009】送りローラ25は、浮上した基板18の転
写面の両側縁部に接触し、回転することで基板18を熱
圧着部12へ向けて搬送する。基板18の転写面の両側
縁部には感光層36は転写されず、送りローラ25の周
面が感光層36に接触することはない。この送りローラ
25はつば付きローラから構成されており、つば25a
が基板18のガイドとして機能し、基板18の幅方向を
位置決めする。なお、送りローラ25に基板18を挟持
するためのニップローラを設けてもよく、送りローラ2
5の代わりにベルトや斜め吹き出しエアーにより基板1
8を搬送してもよい。また、つば付きローラを用いる代
わりに、基板18の両側縁に接触して回転するガイドロ
ーラを設けてもよい。さらに、浮上による基板18の上
側面(転写面と反対側の面)への押し付け力が充分なら
ば、上側面に接触する送りローラを設け、この送りロー
ラで基板18を搬送してもよい。
【0010】ヒータ22、23は、基板搬送装置21の
基板18の搬送路を挟むように上下に複数個配置されて
おり、基板18を例えば50〜110℃の温度に加熱す
る。ヒータ22、23としては、遠赤外線ヒータ、ニク
ロム線ヒータ、熱風ヒータ、および光加熱などを利用す
ることができる。予備加熱部11で加熱された基板18
は、送りローラ25により熱圧着部12に送り出され
る。
【0011】熱圧着手段としての熱圧着部12は、ラミ
ロール対31とバックアップローラ32とから構成され
ている。ラミロール対31は、上下方向に配置されたラ
ミロール31a、31bから構成される。これらラミロ
ール31a、31b、およびバックアップローラ32に
はヒータが内蔵されている。ラミロール対31は、基板
18と積層体フイルム33とを挟持して搬送することに
より、基板18へ積層体フイルム33を熱圧着して貼り
付ける。バックアップローラ32は、ラミロール31
a、31bに接触して従動回転し、ラミロール31a、
31bの撓みを抑えて、均一な力による熱圧着を可能に
する。基板搬送装置21と熱圧着部12との間には、前
述のエアー浮上プレート24と同じ構成のエアー浮上プ
レート34が設けられている。このエアー浮上プレート
34は基板18を水平に保ち、ラミロール対31へ基板
18を投入する際に、基板18の中央部が撓んで先端が
下がり、下側のラミロール31aと衝突することを防止
する。
【0012】図4に示すように、積層体フイルム33
は、支持体35に図示しない補助層、中間層などを介し
て感光層36およびカバーフイルム37が順に層設され
ており、支持体35の他方の面には図示しない帯電防止
層などが層設されている。
【0013】フイルム前処理手段としてのフイルム前処
理部13は、積層体フイルムロール38の取付軸38
a、ハーフカッタ39、カバーフイルム剥離部40、バ
ックテンションローラ41などから構成される。このフ
イルム前処理部13は、積層体フイルムロール38から
カバーフイルム37を剥がして、感光層36を上に向け
た状態で積層体フイルム33をラミロール対31に供給
する。
【0014】ハーフカッタ39は、基板18の転写領域
19に合わせて、積層体フイルム33をハーフカットす
る。このハーフカットでは、カバーフイルム37、感光
層36が切断され、支持体35は切断されない。
【0015】カバーフイルム剥離部40は、基板18へ
の貼付面となるハーフカットされた部分のカバーフイル
ム37を積層体フイルム33から剥離する。このカバー
フイルム剥離部40は、粘着テープロール40aから引
き出された粘着テープ40bを、押さえローラ40cに
よりカバーフイルム37へ貼り付け、このカバーフイル
ム37が貼り付いた粘着テープ40bをテープ巻取り軸
40dに巻き取って回収する。なお、隣接する基板18
の後端18bと先端18aとの間に位置することになる
積層体フイルム33に対しては、その部分のカバーフイ
ルム37が剥離されずに残される(図5参照)。
【0016】熱圧着部12では、ハーフカッタ39によ
るハーフカット線が所定の位置を通過すると、基板搬送
装置21に送り込み開始信号を送出する。これにより、
基板18とハーフカット線との位置合わせが行われた状
態で、基板18に積層体フイルム33の感光層36が転
写される。このとき、支持体35も基板18の移動に伴
いラミロール対31の送り方向下流側に送られる。
【0017】冷却部14は、冷却風吹き出しボード42
と、搬送ローラ43とから構成される。冷却風吹き出し
ボード42は、HEPAフィルタを通過したクリーンな
冷却風を基板18に向けて吹き出し、搬送ローラ43で
搬送される基板18の温度をほぼ室温(30℃以下)に
冷却する。
【0018】図5に示すように、予備剥離手段としての
予備剥離部15は、2対のニップローラ51、52と、
剥離バー53とから構成される。この予備剥離部15
は、ニップローラ51、52により隣接する基板18の
後端18bと先端18aとの間にある支持体35を下側
に撓ませ、剥離バー53で支持体35を撓んだ方向に押
し下げて、基板18の後端18bあるいは先端18aに
熱圧着されたカバーフイルム37と基板18とを剥離さ
せる。
【0019】ニップローラ51、52は、基板18の搬
送方向に移動自在となっている。また、ニップローラ5
1、52の上側ローラ51a、52aは、上下方向に移
動自在となっている。上側ローラ51a、52aは、隣
接する基板18の後端18bと先端18aとが所定の位
置に到達したときに、位置センサなどからの駆動信号に
よって図6に示す下降位置に下降して、基板18を下側
ローラ51b、52bとの間で挟持する。ニップローラ
51、52が基板18を挟持する位置は、剥離バー53
で支持体35を押し下げてカバーフイルム37を剥離す
る際に、基板18に熱圧着された感光層36が剥離され
ることがないように、隣接する基板18の後端18bと
先端18aにあるハーフカット位置よりも僅かに基板1
8の中央部に寄るように設定されている。
【0020】下側ローラ51b、52bは、駆動源の無
い回転自在なフリーローラ、または熱圧着時の基板18
の搬送速度と同速度で回転するローラからなる。なお、
基板18および感光層36への塵埃の付着を防ぐため
に、基板18と支持体35の搬送口をスリット状に形成
した除塵ボックスを設け、この除塵ボックスにこれらの
ニップローラ51と52とを収納してもよいし、予備剥
離部15の近傍に塵埃吸引用ノズルを設けてもよい。
【0021】ニップローラ51、52は、隣接する基板
18の後端18bと先端18aとが所定の位置に到達す
ると同時に、熱圧着時の基板18の搬送速度と同速度で
搬送方向下流側に移動し、上側ローラ51a、52aが
下降して基板18を挟持する。その後、支持体35の搬
送方向に衝撃が加わらないように、回転速度を徐々に緩
めながらニップローラ51、52の回転がロックされ
る。
【0022】ニップローラ51は、回転がロックされた
まま熱圧着時の基板18の搬送速度と同速度で下流側に
移動する。一方、ニップローラ52は、下流側の剥離部
16に衝撃および速度外乱を加えないように移動速度が
減速される。これに伴いニップローラ51と52との間
隔が狭まり、図6に示すように支持体35が下側に撓み
だす。なお、支持体35を撓ませる方法としては、上記
のようにニップローラ52の移動速度を減速させるほか
に、ニップローラ52の回転を逆転させてもよい。
【0023】支持体35が撓んだ後、剥離バー53が下
降して、基板18と支持体35とのなす角が、所定の剥
離角θになるまで支持体35を押し下げる。剥離バー5
3の押し下げ速度は、押し下げによる衝撃を基板18に
できるだけ加えないように設定されている。このよう
に、基板18の後端18bあるいは先端18aに熱圧着
されたカバーフイルム37が、基板18から確実に剥離
されるので、剥離部16でカバーフイルム37が支持体
35と一緒に剥離されずに基板18に残ることがない。
ここで剥離角θは、より剥離しやすい45°以上に設定
され、ニップローラ51、52の径も剥離角θが45°
以上になるように小さく設定される。なお、支持体35
を押し下げる方法としては、押し付けローラやエアー吹
き出しノズルを用いてもよい。また、支持体35をカバ
ーフイルム37側から押し下げるのではなく、支持体3
5側から吸着バーなどで引き寄せてもよい。さらに、剥
離角θは45°以上であればよいが、剥離を容易にする
ために可能な限り大きく設定することが好ましい。
【0024】剥離角θで支持体35を押し下げた後、剥
離バー53は元の待機位置に戻る。これと同時にニップ
ローラ52の移動速度が増速され、支持体35の撓みが
吸収される。支持体35の撓みが完全に解消されたとこ
ろで、上側ローラ51a、52aが上昇して元の待機位
置に戻り、基板18の挟持が解除される。なお、予備剥
離部15におけるこれら一連の動作は、他の工程の支障
とならないように行われる。
【0025】剥離バー53の先端形状は、支持体35を
押し下げる際に基板18へ加わる力が均等になるように
形成され、例えば図7(A)に示すように凸型両テーパ
ー状となっている。なお、剥離バー53の先端形状は、
上記の凸型両テーパー状のほかに、(B)直線状、
(C)片側テーパー状、(D)凹型両テーパー状、
(E)凸型円弧状、(F)凹型円弧状であってもよい。
【0026】図1において、剥離手段としての剥離部1
6は、剥離ローラ54およびベースフイルム巻取り機構
55から構成されており、基板18から支持体35を連
続的に剥離し、この支持体35を回収軸55aにロール
状に巻き取る。回収軸55aは図示しない巻取りモータ
によって回転駆動される。この巻取りモータはトルク制
御されており、ラミロール対31以降の支持体35の張
力を一定に保持して、支持体35に撓みが発生しないよ
うにしている。
【0027】剥離部16の下流側には、エアー浮上プレ
ート56からなる基板取り出し部17が設けられてい
る。このエアー浮上プレート56は、予備加熱部11の
エアー浮上プレート24と同様に構成されている。基板
取り出し部17から送り出された基板18は、図示しな
いロボットハンドによってその上側面を吸着されて取り
出される。
【0028】図8および図9に、本発明の別の実施形態
に係る感光層転写装置の要部概略図を示す。この実施形
態では、剥離部16の後に、基板18の後端18bある
いは先端18aに熱圧着されたカバーフイルム37を取
り除く除去部61、71が設けられている。なお、その
他の構成は上記実施形態と同様であるので、図示および
説明を省略する。
【0029】図8に示す除去部61は、吸引ノズル62
によりカバーフイルム37を基板18から取り除く。こ
の吸引ノズル62は、基板18の幅方向に帯状に伸びた
吸引口62aを有している。吸引口62aは、テフロン
(R)などの表面が滑らかな素材からなり、カバーフイ
ルム37がスムーズに吸引されるような形状となってい
る。カバーフイルム37を吸引する際には、より剥離し
やすい基板18の両側縁部から吸引をはじめ、中央部に
向かって吸引する。なお、吸引する際に基板18が下方
に引き寄せられるので、基板搬送に影響を与えないため
に、基板18の両端を保持する支持コールを設けたり、
吸引する角度を斜めにするなどしてもよい。また、カバ
ーフイルム37を取り除くのに十分な時間を確保するた
め、吸引ノズル62を基板18と合わせて移動させても
よい。但し、この場合は、移動させるタイミングを計る
ために位置センサを設ける必要がある。
【0030】図9に示す除去部71は、上記実施形態の
カバーフイルム剥離部40と同様の構成を有するカバー
フイルム剥離部72により、カバーフイルム37を基板
18から取り除く。このカバーフイルム剥離部72は、
粘着テープロール72aから引き出された粘着テープ7
2bを、押さえローラ72cによりカバーフイルム37
へ貼り付け、このカバーフイルム37が貼り付いた粘着
テープ72bを、連続的あるいは所定のタイミングでテ
ープ巻取り軸72dに巻き取って回収する。なお、カバ
ーフイルム剥離部72は、少なくとも基板18の中央部
に1セットあればよいが、確実にカバーフイルム37を
除去するために、基板18の幅方向に数セット設置する
ことが好ましい。
【0031】この実施形態の場合、剥離部16の直後
に、カバーフイルム37が基板18に残っているかどう
かを自動的に監視するカメラを設け、このカメラでカバ
ーフイルム37が基板18に残っていると確認されたと
きのみ除去部61、71を作動させるようにしてもよ
い。このようにすると、効率的にカバーフイルム37を
取り除くことができる。
【0032】なお、上記実施形態では、基板18の転写
領域19を下側にして感光層36の転写を行っている
が、転写領域19を上側にした場合も本発明を適用する
ことができる。また、基板18の材質は、上記のように
ガラスに限定されず、金属や樹脂など他の素材で形成さ
れたものでもよい。
【0033】
【発明の効果】以上のように、本発明の感光層転写方法
および装置によれば、熱圧着工程で積層体フイルムが熱
圧着された各基板の間で、積層体フイルムを基板から剥
離する方向に押し出して、少なくともカバーフイルムと
基板とを剥離する予備剥離工程および予備剥離手段を備
えているので、基板に熱圧着されたカバーフイルムによ
る基板の搬送異常や塵埃の発生を防止することができ
る。したがって、装置の生産効率をより高めることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の感光層転写装置の構成を示す図であ
る。
【図2】基板の感光層転写領域を示す平面図である。
【図3】基板搬送装置の概略を示す図である。
【図4】積層体フイルムの構成を示す断面図である。
【図5】予備剥離部の概略を示す図である。
【図6】剥離バーで支持体を撓んだ方向に押し下げた状
態を示す図である。
【図7】剥離バーの先端形状の例を示す図であり、
(A)は凸型両テーパー状、(B)は直線状、(C)は
片側テーパー状、(D)は凹型両テーパー状、(E)は
凸型円弧状、(F)は凹型円弧状をそれぞれ示す。
【図8】本発明の別の実施形態を示す図である。
【図9】本発明のさらに別の実施形態を示す図である。
【符号の説明】
2 感光層転写装置 10 基板供給部(基板供給手段) 12 熱圧着部(熱圧着手段) 13 フイルム前処理部(フイルム前処理手段) 15 予備剥離部(予備剥離手段) 16 剥離部(剥離手段) 18 基板 19 転写領域 31 ラミロール対 33 積層体フイルム 35 支持体 36 感光層 37 カバーフイルム 39 ハーフカッタ 40、72 カバーフイルム剥離部 51、52 ニップローラ 53 剥離バー 61、71 除去部 62 吸引ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/06 H05K 3/06 J 5F031 (72)発明者 金城 和明 静岡県富士宮市大中里200番地 富士写真 フイルム株式会社内 (72)発明者 増田 敏幸 静岡県富士宮市大中里200番地 富士写真 フイルム株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AB11 AB15 EA08 4D075 AC43 AC74 BB01X BB01Z BB05Y BB08X BB22Y BB23Y CA47 DA06 DB13 DC24 EA45 4F040 AA02 AA14 AB06 AC01 BA06 CA02 CA11 CA20 4F100 AK01C AK18 AR00B AT00A AT00C AT00D BA01 BA02 BA03 BA04 BA07 BA10A BA10B BA10C BA10D EJ17 EJ42 GB43 JL14C JN17B 5E339 AD00 CF01 DD05 5F031 CA05 DA15 FA02 FA07 GA53 GA62 HA78 MA38

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 帯状の支持体上に感光層およびカバーフ
    イルムが順に層設された積層体フイルムを用い、前記感
    光層を基板の転写領域に転写する感光層転写方法におい
    て、 前記基板を一定間隔で供給する基板供給工程と、 前記転写領域に合わせて前記感光層およびカバーフイル
    ムを切断し、この切断された前記転写領域のカバーフイ
    ルムのみを剥離させるフイルム前処理工程と、 前記フイルム前処理工程でカバーフイルムが剥離された
    前記積層体フイルムを前記基板供給工程からの基板に、
    前記カバーフイルムが剥離された感光層領域と前記転写
    領域とを一致させて供給し、前記感光層領域を前記転写
    領域に熱圧着する熱圧着工程と、 前記熱圧着工程で積層体フイルムが熱圧着された各基板
    の間で、積層体フイルムを基板から剥離する方向に押し
    出して、少なくともカバーフイルムと基板とを剥離する
    予備剥離工程と、 前記積層体フイルムを基板から剥離する剥離工程とを備
    えたことを特徴とする感光層転写方法。
  2. 【請求項2】 前記剥離工程の後に、前記基板後端また
    は先端に残ったカバーフイルムを除去する除去工程を備
    えたことを特徴とする請求項1に記載の感光層転写方
    法。
  3. 【請求項3】 帯状の支持体上に感光層およびカバーフ
    イルムが順に層設された積層体フイルムを用い、前記感
    光層を基板の転写領域に転写する感光層転写装置におい
    て、 前記基板を一定間隔で供給する基板供給手段と、 前記転写領域に合わせて前記感光層およびカバーフイル
    ムを切断し、この切断された前記転写領域のカバーフイ
    ルムのみを剥離させるフイルム前処理手段と、 前記フイルム前処理手段によりカバーフイルムが剥離さ
    れた前記積層体フイルムを前記基板供給手段からの基板
    に、前記カバーフイルムが剥離された感光層領域と前記
    転写領域とを一致させて供給し、前記感光層領域を前記
    転写領域に熱圧着する熱圧着手段と、 前記熱圧着手段により積層体フイルムが熱圧着された各
    基板の間で、積層体フイルムを基板から剥離する方向に
    押し出して、少なくともカバーフイルムと基板とを剥離
    する予備剥離手段と、 前記積層体フイルムを基板から剥離する剥離手段とを備
    えたことを特徴とする感光層転写装置。
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