JP4697780B2 - テープ剥離装置 - Google Patents

Description

本発明は、テープ剥離装置に関し、より特定的には、被貼付材の表面の一部をマスキングするために貼り付けられたテープを剥離するテープ剥離装置に関する。

従来、基板等に塗布液を塗布する基板塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する基板塗布装置が用いられる。この基板塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。ここで、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料としては、大別して低分子系材料および高分子系材料の２つがあり、ノズル塗布する基板塗布装置では一般的に高分子系材料が用いられる。

上記基板塗布装置は、塗布液をポンプで所定の圧力に増圧してノズルから吐出しつつ、ノズルを基板上でスキャンすることによって基板に塗布液を塗布するものである。ノズルで塗布する方法は、インクジェットで塗布液を塗布する方法に比べて高速で塗布液を塗布することができるというメリットがある。しかし、ノズルで塗布液を塗布する方法では、塗布液の吐出制御の応答性は高くないことから、塗布液の吐出をオンオフで制御することが困難である。したがって、基板上でノズルをスキャンさせている間に塗布液の吐出をオンオフして制御することは難しいので、スキャン中に塗布の必要な領域のみを選択して塗布液を塗布することはできない。そのため、ノズル塗布を行う場合には、基板における塗布が不要な領域にも塗布液を塗布した後で、塗布が不要な領域に塗布された塗布液を除去しなければならない。

例えば、基板の四方の端部は、塗布不要領域となる。また、１枚の基板から複数枚の有機ＥＬ表示装置を作成する場合には、塗布不要領域を基板に格子状に形成する必要がある。つまり、基板の端以外の部分についても塗布不要領域を形成する必要がある。ノズル塗布を行う場合において、基板の格子状の塗布不要領域から塗布液を除去する方法としては、塗布不要領域にマスキングテープを貼り付けてマスクする方法がある。

ここで、マスキングテープを貼り付けて塗布不要領域を形成した場合、塗布処理後に貼り付けたマスキングテープを基板から剥がさなければならない。この作業を容易にするために、マスキングテープの一端を狭持しやすいように予めマスキングテープを基板に貼り付けておくことがある。例えば、マスキングテープの一端を基板からはみ出して貼り付けておく。そして、マスキングテープを基板から剥離する際には、当該はみ出した一端を狭持して基板に貼り付けられたマスキングテープを引上げることによって剥離する。これによって、マスキングテープを基板から容易に剥離することができる。なお、マスキングテープの剥離処理では、作業者が自ら行う人的な作業や、マスキングテープを狭持する機構を有する剥離装置によって行う機械的な作業がある。

また、マスキングテープを基板から剥離する他の方法としては、マスキングテープが貼り付けられた基板に樹脂溶液を塗布し、樹脂溶液を硬化させた後、樹脂溶液とともにマスキングテープを基板から剥離する方法も考えられている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−４２９２１号公報

しかしながら、基板に貼り付けられたマスキングテープ上には、塗布処理後に塗布液が付着している。また、基板に塗布された塗布液の硬化を促進する処理が施されることによって、マスキングテープ上の塗布液も硬化が進行している。したがって、従来の剥離方法では、マスキングテープを剥離する際にマスキングテープ上に付着した塗布物等が細かく破壊されて遊離し、基板上に飛散する恐れがある。例えば、マスキングテープの一端を狭持して基板から引上げて剥離する場合、マスキングテープが変形したり、塗布物が付着したマスキングテープの上面が下向きになったりする。その結果、マスキングテープ上面から遊離した塗布物等がパーティクルとして基板上に落下して付着し、基板の品質低下の原因となる。

なお、上記特許文献１の方法は、耐サンドブラストとしてマスキングテープを用いる場合には有効である。しかし、耐塗布液としてマスキングテープを用いる場合には、基板の塗布面にも樹脂溶液が付着し、基板上の塗布物が剥離されたり破壊されたりするので、耐塗布液として用いるマスキングテープに上記特許文献１の方法を適用することはできない。

それ故に、本発明の目的は、被貼付材に貼り付けられたテープ上に付着した塗布物等が当該被貼付材上に落下することを防止しながら、当該テープを被貼付材から剥離するテープ剥離装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、基板の上面に貼り付けられ、前記基板に塗布液を塗布する際に上面に塗布液が付着したマスキングテープを剥離するマスキングテープ剥離装置である。
上記マスキングテープ剥離装置は、マスキングテープ剥離機構および第１の吸引機構を備える。上記マスキングテープ剥離機構は、上記マスキングテープを上記基板の上面から剥離する。上記第１の吸引機構は、上記マスキングテープ剥離機構が上記マスキングテープを剥離する際、上記マスキングテープ剥離機構によって上記基板から剥離した上記マスキングテープの部位と上記基板の上面に貼り付いている上記マスキングテープの部位との剥離境界近傍にあり、かつ、破壊されて遊離する塗布物のパーティクルを含む気体を吸引する。

第２の発明は、上記第１の発明において、上記第１の吸引機構は、上記マスキングテープ剥離機構によって上記基板から剥がされたマスキングテープの粘着面側から上記剥離境界近傍に向けた吸気口を含む。

第３の発明は、上記第１の発明において、上記第１の吸引機構は、上記マスキングテープ剥離機構によって上記基板から剥がされたマスキングテープの反粘着面側から上記剥離境界近傍に向けた吸気口を含む。

第４の発明は、上記第１の発明において、上記マスキングテープ剥離装置は、筐体および第２の吸引機構を、さらに備える。上記筐体は、上記マスキングテープ剥離機構および上記第１の吸引機構をその内部に配置する。第２の吸引機構は、上記マスキングテープ剥離機構が上記マスキングテープを剥離する際、上記筐体内部の気体を吸引する。

第５の発明は、上記第１の発明において、上記マスキングテープ剥離装置は、上記第１の吸引機構の吸引動作を制御する制御部を、さらに備える。上記制御部は、上記マスキングテープ剥離機構による上記基板の上面に貼り付けられた上記マスキングテープを剥離する動作が完了して所定時間経過後に上記記第１の吸引機構の吸引動作を停止する。

上記第１の発明によれば、上記マスキングテープを剥離する際に上記マスキングテープ上に付着したパーティクルとして遊離するが、第１の吸引機構によって剥離処理時に発生するパーティクルを吸引するため、上記パーティクルが上記基板上に落下して付着することを防止することができる。

上記第２の発明によれば、上記第１の吸引機構は、上記マスキングテープを剥離する際に上記マスキングテープの粘着面側に発生するパーティクルを直接的に吸引できるため、当該粘着面側の吸引効率が向上する。

上記第３の発明によれば、上記第１の吸引機構は、上記マスキングテープを剥離する際に上記マスキングテープの反粘着面上で細かく破壊される塗布物等のパーティクルを直接的に吸引できるため、反粘着面側の吸引効率が向上する。

上記第４の発明によれば、上記マスキングテープ剥離機構を含む筐体内部で発生するパーティクルが上記基板上に落下することを防止することができる。

上記第５の発明によれば、上記マスキングテープ剥離動作が終了した後、上記第１の吸引機構による吸引が所定時間継続されるため、上記マスキングテープ剥離装置自体をクリーンに保つことができ、結果的に上記マスキングテープ剥離装置に投入される上記基板へのパーティクル付着を防止することができる。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るテープ剥離装置について説明する。図１Ａ〜図１Ｃは、当該テープ剥離装置を示す図である。図１Ａはテープ剥離装置の上面図であり、図１Ｂはテープ剥離装置の側面図であり、図１Ｃはテープ剥離装置の正面図である。なお、図１Ａ〜図１Ｃに示すテープ剥離装置は、塗布液を塗布する前の基板上面にマスキングテープを貼り付ける貼付機能も備えており、塗布液が塗布された基板上面からマスキングテープを剥離するものである。

図１Ａ〜図１Ｃにおいて、テープ剥離装置は、テーブル１、テーブル移動機構２、第１レール３、貼付ユニット４、剥離ユニット５、ユニット移動機構６、第２レール７、支持部材８、負圧ポンプ９１、負圧源９２、および配管９３を備える。また、テープ剥離装置は、各構成部の動作を制御する制御部（図示せず）を備えている。なお、制御部は、後述する吸引動作の開始および停止についての制御も行う。マスキングテープの貼付および剥離を行う被貼付材となる基板は、テーブル１の上面（載置面）に載置される。テーブル１の載置面は、図示ＸＹ平面と平行である。テーブル１は、その下面がテーブル移動機構２の上部に固設される。テーブル移動機構２は、Ｘ軸方向に延設された第１レール３上に設置され、第１レール３に沿って滑動可能である。これによって、テーブル移動機構２は、テーブル１をＸ軸方向に平行移動させることができる。また、テーブル移動機構２は、テーブル１の中心である図示Ｚ軸を中心に回動可能であり、当該Ｚ軸を中心にテーブル１を回動させることができる。

一方、支持部材８は、テーブル１の移動可能空間の上方で２本の第２レール７を支持する。各第２レール７は、Ｙ軸方向に延設される。支持部材８および２本の第２レール７からなる組は、２組設けられる。ユニット移動機構６は、第２レール７に沿って滑動可能なように２組の第２レール７間に架設される。これによって、ユニット移動機構６は、Ｙ軸方向に平行移動することが可能である。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、ユニット移動機構６に固設される。図１Ａ〜図１Ｃでは、ユニット移動機構６に対してＹ軸負方向側に貼付ユニット４が固着され、ユニット移動機構６に対してＹ軸正方向側に剥離ユニット５が固設される。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、それらの下面がテーブル１の上面よりも高い位置（Ｚ軸に関して正方向の位置）に配置される。これらによって、ユニット移動機構６は、テーブル１の移動可能空間の上方において貼付ユニット４および剥離ユニット５をＹ軸方向に移動させることが可能である。

また、負圧ポンプ９１は、貼付ユニット４および剥離ユニット５の間に固設される。負圧ポンプ９１は、後述する吸引部９４および９５に負圧を供給する。なお、負圧ポンプ９１と吸引部９４および９５との間には、それぞれ吸引する気体内に含まれるパーティクルを捕集するためのフィルタ（図示せず）が設けられる。負圧源９２は、配管９３を介して貼付ユニット４および剥離ユニット５の内部に負圧を供給する。例えば、負圧源９２は、テープ剥離装置に備え付けられた負圧ポンプやテープ剥離装置とは別の装置から供給される負圧源（設置場所から供給される工場排気や別体の負圧ポンプ等）で構成される。配管９３は、負圧源９２と貼付ユニット４および剥離ユニット５それぞれの筐体上部とを接続するように配設されている。なお、配管９３は、貼付ユニット４および剥離ユニット５のＹ軸方向移動に応じて、伸縮自在に構成されている。また、負圧源９２と配管９３との間には、吸引する気体内に含まれるパーティクルを捕集するためのフィルタ（図示せず）が設けられる。なお、負圧ポンプ９１も負圧を発生させるものであればポンプに限られるものではない。

次に、図２を参照して、貼付ユニット４の構造について説明する。なお、図２は、貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図で、図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。

図２において、貼付ユニット４は、筐体１０、供給リール１１、回収リール１２、ガイドローラ１３〜１５、可動ローラ１６、調整ローラ１７、テープ分離部材１８、エアシリンダ１９、可動部材２０、切断部２１、および吸引部９４を備える。貼付ユニット４は、テーブル１に載置された基板上面にマスキングテープＴａを貼り付けるものである。

筐体１０は、その上面に配管９３が配設されている。そして、筐体１０内部の気体が配管９３を介して負圧源９２へ吸引されている。筐体１０の内部には、供給リール１１、回収リール１２、ガイドローラ１３〜１５、可動ローラ１６、調整ローラ１７、テープ分離部材１８、エアシリンダ１９、可動部材２０、切断部２１、および吸引部９４が設置されている。

供給リール１１、回収リール１２、各ガイドローラ１３〜１５、および調整ローラ１７は、筐体１０等によってそれら回転軸がそれぞれ定置して支持される。マスキングテープＴａは、供給リール１１に巻き付けられて収納されている。なお、本実施形態では、供給リール１１は、マスキングテープＴａの粘着面をベーステープＴｂの一方主面に張り合わせて１本のテープＴａ＋Ｔｂを構成し、当該張り合わされたテープＴａ＋Ｔｂを巻付けて収納している。つまり、供給リール１１に巻き付けられているテープＴａ＋Ｔｂは、マスキングテープＴａとベーステープＴｂとの２層からなる構成である。テープＴａ＋Ｔｂは、供給リール１１から引き出されてガイドローラ１３〜１５の外周面を経由して、テープＴａ＋Ｔｂを構成するベーステープＴｂの他方主面がテープ分離部材１８と当接するように案内される。

テープ分離部材１８は、その先端部が筐体１０の下面に形成された開口部１０Ｗに露出するように固設される。切断部２１は、マスキングテープＴａを切断するための切断刃２２を有している。切断部２１は、制御部（図示せず）の指示に応じて、テープ分離部材１８の上記先端部まで案内される前のテープＴａ＋Ｔｂに対して、マスキングテープＴａのみを切断する。そして、テープ分離部材１８と当接するテープＴａ＋Ｔｂは、上記先端部でＶ字状に迂回し、調整ローラ１７を経由して回収リール１２まで案内される。調整ローラ１７は、テープＴａ＋Ｔｂを挟持する１対の挟持ローラからなり、その一方が上記制御部の制御で回転する駆動ローラであり、他方が駆動ローラに追従する従動ローラである。

切断部２１がテープＴａ＋ＴｂのマスキングテープＴａのみ切断した場合、テープ分離部材１８の上記先端部でマスキングテープＴａが当該切断箇所からベーステープＴｂから剥離する。そして、剥離したマスキングテープＴａは、粘着面を下にして開口部１０Ｗから突出する。一方、マスキングテープＴａから剥離されたベーステープＴｂは、テープ分離部材１８の上記先端部でＶ字状に迂回し、調整ローラ１７を経由して回収リール１２まで案内される。この場合、ベーステープＴｂのみが回収リール１２に巻付けられて回収されることになる。

可動ローラ１６は、テープ分離部材１８の上記先端部近傍に配置される。可動部材２０は、その一端で可動ローラ１６の回転軸を支持する。可動部材２０の他端は、上記制御部の制御に応じて伸縮動作を行うエアシリンダ１９に接続される。可動部材２０は、筐体１０等に固定された支点２３を中心に回動可能に支持される。これらのエアシリンダ１９および可動部材２０によって、エアシリンダ１９の伸縮動作に応じて可動ローラ１６を上下方向（図２に示す両方向矢印参照。正確には、支点２３を中心とした円弧方向となる方向）に移動させることができる。なお、可動ローラ１６は、筐体１０の下面よりも下方に開口部１０Ｗから突出する位置まで移動可能である。

吸引部９４は、その吸引口を可動ローラ１６およびテープ分離部材１８の先端部が配置されている空間に向けて固設される。そして、吸引部９４は、吸引口が向けられた空間付近の気体を負圧ポンプ９１へ吸引する。

次に、図３を参照して、剥離ユニット５の構造について説明する。なお、図３は、剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図で、貼付ユニット４と同様に図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。

図３において、剥離ユニット５は、筐体３０、供給リール３１、回収リール３２、ガイドローラ３３〜３５、調整ローラ３６、可動ローラ３７、エアシリンダ３８、可動部材３９、および吸引部９５を備える。剥離ユニット５は、基板上面に貼り付けられたマスキングテープＴａに剥離テープＴｃを貼り付けて、当該マスキングテープＴａを基板から剥離するものである。なお、本発明のテープ剥離機構は、供給リール３１、回収リール３２、ガイドローラ３３〜３５、調整ローラ３６、可動ローラ３７、エアシリンダ３８、および可動部材３９に相当する。

筐体３０は、その上面に配管９３が配設されている。そして、筐体３０内部の気体が配管９３を介して負圧源９２へ吸引されている。筐体３０の内部には、供給リール３１、回収リール３２、ガイドローラ３３〜３５、調整ローラ３６、可動ローラ３７、エアシリンダ３８、可動部材３９、および吸引部９５が設置されている。なお、本発明の第２の吸引機構は、負圧源９２および配管９３に相当する。

供給リール３１、回収リール３２、各ガイドローラ３３〜３５、および調整ローラ３６は、筐体３０等によってそれら回転軸がそれぞれ定置して支持される。剥離テープＴｃは、供給リール３１に巻き付けられて収納されている。剥離テープＴｃは、供給リール１１に巻き付けられて収納されたマスキングテープＴａとは異なり、他のテープに貼り合わされていない１層の構成である。剥離テープＴｃは、供給リール３１から引き出されてガイドローラ３３および３４の外周面を経由して、その反粘着面が可動ローラ３７の外周面と当接するように案内される。

可動ローラ３７は、筐体３０の下面に形成された開口部３０Ｗ付近に配置される。可動部材３９は、その一端で可動ローラ３７の回転軸を支持する。可動部材３９の他端は、上記制御部の制御に応じて伸縮動作を行うエアシリンダ３８に接続される。可動部材３９は、筐体３０等に固定された支点４０を中心に回動可能に支持される。これらのエアシリンダ３８および可動部材３９によって、エアシリンダ３８の伸縮動作に応じて可動ローラ３７を上下方向（図３に示す両方向矢印参照。正確には、支点４０を中心とした円弧方向となる方向）に移動させることができる。なお、可動ローラ３７は、筐体３０の下面よりも下方に開口部３０Ｗから突出した位置まで移動することが可能である。

可動ローラ３７の外周面と当接する剥離テープＴｃは、当該可動ローラ３７の外周面に沿って迂回し、ガイドローラ３５の外周面および調整ローラ３６を経由して回収リール３２まで案内される。調整ローラ３６は、剥離テープＴｃを挟持する１対の挟持ローラからなり、その一方が上記制御部の制御で回転する駆動ローラであり、他方が駆動ローラに追従する従動ローラである。

後述するテープ剥離装置の動作によって、可動ローラ３７の外周面と当接する剥離テープＴｃの粘着面と基板上面に貼り付けられたマスキングテープＴａの反粘着面とが当接した場合、当該マスキングテープＴａが剥離テープＴｃの粘着面と接着する。そして、接着したマスキングテープＴａは、基板上面から引き剥がされて剥離テープＴｂと共にガイドローラ３５へ案内される（図３では、テープＴａ＋Ｔｃで示す）。この場合、剥離テープＴｂと共に基板から剥離したマスキングテープＴａも回収リール３２に巻付けられて回収されることになる。

吸引部９５は、剥離対象となったマスキングテープＴａに対して、基板Ｐの上面から剥離している部位と基板Ｐの上面に貼り付いている部位との境界近傍（剥離境界近傍）に吸引口を向けて固設される。具体的には、吸引部９５は、その吸引口を可動ローラ３７が配置されている空間に向けて固設される。そして、吸引部９５は、吸引口が向けられた空間付近の気体を負圧ポンプ９１へ吸引する。なお、本発明の第１の吸引機構は、負圧ポンプ９１および吸引部９５に相当する。

次に、上述したテープ剥離装置が、有機ＥＬ表示装置の製造工程において用いられる場合を例としてテープ剥離装置の動作を説明する。有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板（ガラス基板）に対して正孔輸送材料や有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。この塗布液が基板上面の塗布不要領域に塗布されることを防止するために、テープ剥離装置が基板上面にマスキングテープＴａを貼り付ける。さらに、テープ剥離装置は、塗布液の塗布が完了した後に基板上面からマスキングテープＴａを剥離する。つまり、テープ剥離装置は、マスキングテープＴａを基板に貼り付ける工程（貼付工程）および塗布後の基板上面からマスキングテープＴａを剥離する工程（剥離工程）において用いられる。

まず、図４〜図６を用いて、有機ＥＬ表示装置の製造工程の概要を説明する。図４は、マスキングテープＴａが貼り付けられた基板Ｐを示す図である。なお、図５は、マスキングテープＴａが貼り付けられた基板Ｐの上面に塗布液を塗布した状態を示す図である。図６は、マスキングテープＴａが塗布後の基板Ｐ上面から剥離された基板Ｐを示す図である。

図４において、貼付工程においては、２本のマスキングテープＴａが基板Ｐの一方主面に貼り付けられる。１本のマスキングテープＴａは、略長方形の主面を有する基板Ｐの一辺から所定長さ離れた位置に当該一辺と平行（図４における左右方向）に貼り付けられる。もう１本のマスキングテープＴａは、上記一辺に対向する辺から所定長さ離れた位置に当該対向する辺と平行に貼り付けられる。

図５において、基板Ｐにおける領域Ａは、塗布液が塗布された領域である。図５に示すように、塗布工程においては、マスキングテープＴａが貼り付けられた基板Ｐの上面に塗布液が塗布される。塗布方法としては、例えば所定の方向に往復移動しながら塗布液を基板Ｐ上面に向けて吐出するノズルを用いて、基板Ｐを当該往復移動方向に対して垂直方向に順次所定ピッチで水平移動させる方法が考えられる。図５では、基板Ｐの上面のマスキングテープＴａを貼り付けた方向に対して垂直な方向（図５における上下方向）のストライプ状に塗布液が塗布されるものとする。なお、塗布液が塗布された基板Ｐは、予備加熱されることによって、所望の状態に塗布液が硬化するように処理されることがある。

図６において、図５に示した領域Ａに塗布液が塗布された基板ＰからマスキングテープＴａを剥離すると、領域Ｅで分割された３つの領域Ａ１〜Ａ３が形成される。剥離工程においては、塗布液が塗布された後の基板Ｐの上面からテープ剥離装置によってマスキングテープＴａが剥離される。図６に示すように、領域Ａ１と領域Ａ２との間の基板Ｐの上面領域Ｅは、マスキングテープＴａが貼り付けられていた領域であるので、塗布液が付着していない。領域Ａ２と領域Ａ３との間の領域Ｅについても、領域Ａ１と領域Ａ２との間の基板Ｐの上面領域Ｅと同様に塗布液が付着していない。本実施形態においては、以上のようにマスキングテープＴａを用いることによって、塗布不要な基板Ｐの上面領域に塗布液が付着することを防止する。なお、図６において一点鎖線で示す領域Ｅは、１枚の有機ＥＬ表示装置として用いられる領域であり、領域Ｅの外側の領域は切断されて破棄される。

ここで、有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板Ｐに対して正孔輸送材料や赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。図７に示すように具体的な製造工程の順序は、基板Ｐの上面にバンク（壁）を形成した後、テープ剥離装置を用いて各塗布液の塗布工程毎に貼付工程および剥離工程が行われる。例えば、赤色の有機ＥＬ材料を基板Ｐに塗布する際は、塗布工程前にマスキングテープＴａが貼り付けられ、塗布工程後に基板Ｐが予備加熱されてマスキングテープＴａを剥離して、ベーク処理が行われる。そして、他の塗布液を塗布する前に再度新たなマスキングテープＴａが基板Ｐに貼り付けられる。

次に、図１Ａ〜図１Ｃおよび図８Ａ〜図８Ｃを参照して、上述したテープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付ける詳細な動作を説明する。なお、図８Ａ〜図８Ｃは、筐体１０の開口部１０Ｗ付近の様子を示す模式図であり、テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付ける動作を段階別に示している。なお、図８Ａ〜図８Ｃにおいては、図面を見やすくする目的で筐体１０、エアシリンダ１９、および可動部材２０の記載を省略している。

まず、テープ剥離装置の動作開始前にテーブル１の上面に基板Ｐが載置される。この初期状態において、テーブル１は、例えば図１Ａに示す位置のように２つの支持部材８の間の外側に配置され、テーブル移動機構２の回動動作によって基板ＰにマスキングテープＴａを貼り付ける方向が調整される。また、初期状態における貼付ユニット４は、２つの支持部材８の間にテーブル１が位置した場合に、テーブル１の直上空間となり、かつテープル１に載置された基板ＰにマスキングテープＴａを貼り付ける位置となるようにＹ軸方向に移動する。そして、負圧ポンプ９１および負圧源９２が駆動し、吸引部９４および配管９３から吸引が開始される。

このような初期状態から、テーブル１のＸ軸方向への水平移動が開始される。テーブル１は、貼付ユニット４に近づく方向（図１ＡではＸ軸方向）に移動する。さらに、貼付ユニット４の供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７がテープＴａ＋Ｔｂを案内する方向に回転駆動を開始する（図２参照）。これによって、供給リール１１から供給されるテープＴａ＋Ｔｂがテープ分離部材１８の先端部へ案内されるとともに、回収リール１２にテープＴａ＋Ｔｂが巻き取られて回収される。なお、供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７によるテープＴａ＋Ｔｂの送り速度は、テーブル１のＸ軸方向への水平移動速度と等しくなるように設定される。

図８Ａにおいて、テーブル１に載置された基板Ｐが貼付ユニット４直下の所定位置に達すると、切断部２１がマスキングテープＴａを切断する。具体的には、切断部２１は、切断刃２２をベーステープＴｂに貼り合わされたマスキングテープＴａの反粘着面へ向けて突出させ、マスキングテープＴａのみに食い込ませることによってマスキングテープＴａのみを切断する。ここで、ガイドローラ１５からテープ分離部材１８へ案内されるテープＴａ＋Ｔｂは、マスキングテープＴａおよびベーステープＴｂの２層からなる。切断刃２２は、案内されるテープＴａ＋Ｔｂに対してマスキングテープＴａのみを切断する深さまで食い込むように調整されている。したがって、切断部２１によってマスキングテープＴａは切断されるが、ベーステープＴｂは切断されない。

マスキングテープＴａが切断部２１によって切断された後、テープＴａ＋Ｔｂがさらに送られると、マスキングテープＴａの切断位置がテープ分離部材１８の先端部に到達する。テープ分離部材１８の先端部ではベーステープＴｂがＶ字状に迂回するので、上記切断位置（始端）からマスキングテープＴａがベーステープＴｂから剥離する。これによって、マスキングテープＴａがテープ分離部材１８の先端部から剥離して貼付ユニット４の下方向に突出する。

可動ローラ１６は、マスキングテープＴａの始端がテープ分離部材１８の先端部から下方に突出したタイミングで、エアシリンダ１９の伸縮動作によって下方（Ｙ軸負方向）に移動する（図８Ｂの状態）。この動作によって、可動ローラ１６の外周面とマスキングテープＴａの反粘着面とが当接し、マスキングテープＴａがさらに下方に押し下げられる。そして、その外周面にマスキングテープＴａの反粘着面を当接させた状態で可動ローラ１６が直下に位置する基板Ｐの上面付近まで移動することによって、マスキングテープＴａの粘着面が基板Ｐの上面と当接する。これによって、マスキングテープＴａの始端付近が基板Ｐに貼り付けられる。マスキングテープＴａの始端付近が基板Ｐに貼り付けられると、可動ローラ１６は上方に移動して元の位置に戻る。

また、可動ローラ１６が上下方向に移動している間も、テーブル１の水平移動動作およびテープＴａ＋Ｔｂの送り動作は継続されている。したがって、マスキングテープＴａが基板Ｐの上面に貼り付けられると、続いて供給されるマスキングテープＴａが基板Ｐの上面に順次貼り付けられていく（図８Ｃの状態）。一方、マスキングテープＴａを切断してから所定長さのテープＴａ＋Ｔｂが送られると、切断部２１が再度マスキングテープＴａのみを切断する。なお、この所定長さは、基板Ｐに貼り付けるマスキングテープＴａの長さである。切断部２１による再度の切断が行われた後、テープＴａ＋Ｔｂがさらに送られることによって再度切断された切断位置（終端）までマスキングテープＴａが基板Ｐに貼り付けられる。なお、可動ローラ１６を再度上下方向に移動させることによって、マスキングテープＴａの終端付近を基板Ｐに強制的に当接させるようにしてもよい。また、マスキングテープＴａの貼り付け動作中、マスキングテープＴａを介して可動ローラ１６を基板Ｐに押し付けたままとしてもよい。以上の動作によって、１本のマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付ける処理が完了する。そして、貼り付ける処理が完了してテープＴａ＋Ｔｂの送り駆動を停止して所定時間経過後、吸引部９４および配管９３からの吸引を停止する。

このように、テープ剥離装置は、搭載されたテープ貼り付け機構を用いてＸ軸方向に沿ってマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付けることができる。なお、マスキングテープＴａの始端を貼り付けるＸ軸方向の位置は、マスキングテープＴａを切断するタイミングを調整することによって任意の位置に設定することができる。一方、マスキングテープＴａを貼り付けるＹ軸方向の位置は、ユニット移動機構６によって貼付ユニット４をＹ軸方向に予め移動させることによって任意の位置に設定することができる。ここで、貼付ユニット４の筐体１０内部でテープＴａ＋Ｔｂが送られたり、ベーステープＴｂからマスキングテープＴａが剥離されたりすることによって、筐体１０内部でパーティクルが発生することがある。しかしながら、マスキングテープＴａを貼り付ける際、可動ローラ１６およびテープ分離部材１８の先端部が配置されている開口部１０Ｗ近傍の空間の気体が吸引部９４によって吸引されている。また、筐体１０内部の気体は、配管９３を介して吸引されている。したがって、基板ＰにマスキングテープＴａを貼り付ける動作において、上記パーティクルが基板Ｐ上に落下することを防止することができる。

次に、図１Ａ〜図１Ｃおよび図９Ａ〜図９Ｄを参照して、上述したテープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する詳細な動作を説明する。なお、図９Ａ〜図９Ｄは、筐体３０の開口部３０Ｗ付近の様子を示す模式図であり、テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する動作を段階別に示している。なお、図９Ａ〜図９Ｄにおいては、図面を見やすくする目的で筐体３０、エアシリンダ３８、および可動部材３９の記載を省略している。

まず、テープ剥離装置の動作開始前にテーブル１の上面に塗布液が塗布された基板Ｐが載置される。剥離工程におけるテーブル１の初期位置は、貼付工程と同様、２つの支持部材８の間の外側に配置され、テーブル移動機構２の回動動作によって剥離対象となるマスキングテープＴａがＸ軸方向を向くように調整される。また、初期状態における剥離ユニット５は、２つの支持部材８の間にテーブル１が位置した場合に、テーブル１の直上空間となり、かつ剥離対象となるマスキングテープＴａの延長線上に可動ローラ３７が位置するようにＹ軸方向に移動する。換言すれば、基板Ｐから剥離対象となったマスキングテープＴａの位置と可動ローラ３７の位置とがＹ軸方向に関して同じになるように剥離ユニット５が配置される。そして、負圧ポンプ９１および負圧源９２が駆動し、吸引部９５および配管９３から吸引が開始される。

このような初期状態から、テーブル１のＸ軸方向への水平移動が開始される。テーブル１は、剥離ユニット５に近づく方向（図１ＡではＸ軸方向）に移動する。さらに、剥離ユニット５の供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６が剥離テープＴｃを案内する方向に回転駆動を開始する（図３参照）。これによって、供給リール３１から供給される剥離テープＴｂが可動ローラ３７の外周部とその反粘着面が当接する位置に案内されるとともに、回収リール３２に剥離テープＴｃが巻き取られて回収される。なお、供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６による剥離テープＴｃの送り速度は、テーブル１のＸ軸方向への水平移動速度と等しくなるように設定される。

図９Ａにおいて、初期状態からテーブル１が水平移動することによって、基板Ｐに貼り付けられたマスキングテープＴａの始端が可動ローラ３７の直下位置に達すると、可動ローラ３７がエアシリンダ３８の伸縮動作によって下方に移動する。ここで、可動ローラ３７の外周面には剥離テープＴｃの反粘着面が当接しており、剥離テープＴｃは、当該可動ローラ３７の外周面に沿って上方へ迂回しており、上記伸縮動作に応じて剥離テープＴｃも下方に移動する。やがて、可動ローラ３７が基板Ｐの上面付近まで移動することによって、剥離テープＴｃの粘着面がマスキングテープＴａの始端付近の反粘着面に当接する（図９Ｂの状態）。

剥離テープＴｃがマスキングテープＴａと当接すると、可動ローラ３７が上方に移動して元の位置に戻る。このとき、マスキングテープＴａの始端付近が剥離テープＴｃの粘着面に接着されているので、マスキングテープＴａの始端が基板Ｐの上面から引上げられて剥離する（図９Ｃの状態）。そして、剥離テープＴｃと接着したマスキングテープＴａは、基板Ｐ上面から引き剥がされて剥離テープＴｂと共にガイドローラ３５へ案内される。

また、可動ローラ３７が上下方向に移動している間も、テーブル１の水平移動動作および剥離テープＴｃの送り動作は継続されている。したがって、マスキングテープＴａの始端付近が剥離テープＴｃに貼り付けられると、マスキングテープＴａが続いて供給される剥離テープＴｃに順次貼り付けられていく（図９Ｄの状態）。その後もテーブル１の水平移動動作および剥離テープＴｃの送り動作は継続されるので、マスキングテープＴａは終端まで剥離テープＴｃに貼り付けられて基板Ｐの上面から剥離する。剥離テープＴｃの粘着面に貼り付けられたマスキングテープＴａは、剥離テープＴｃの送り動作によって筐体３０の内部に回収され、ガイドローラ３５および調整ローラ３６を経由して回収リール３２に回収される。以上の動作によって、剥離対象となった１本のマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する処理が完了する。

また、剥離ユニット５がマスキングテープＴａを基板Ｐから剥離する処理を行っている間、吸引部９５が可動ローラ３７付近を吸引し続けている。図３および図９Ａ〜図９Ｄに示した例では、剥離された直後のマスキングテープＴａの粘着面側に吸引部９５の吸引口を向けて配置されている。したがって、吸引部９５は、剥離処理時に破壊されて遊離する塗布物等のパーティクルを吸引することができる。そして、剥離する処理が完了し剥離テープＴｃの送り駆動を停止して所定時間経過後、吸引部９５および配管９３からの吸引を停止する。

このように、テープ剥離装置は、基板Ｐの上面のＸ軸方向に沿って貼り付けられたマスキングテープＴａを剥離することができる。なお、剥離対象となるマスキングテープＴａの始端のＸ軸方向位置は、可動ローラ３７を下降させるタイミングを調整することによって任意の位置に設定することができる。一方、剥離対象となるマスキングテープＴａのＹ軸方向位置は、ユニット移動機構６によって剥離ユニット５をＹ軸方向に予め移動させることによって任意の位置に設定することができる。

ここで、基板Ｐの上面に貼り付けられたマスキングテープＴａ上には、塗布処理後に塗布液が付着している。また、基板Ｐに塗布された塗布液の硬化が、ある程度進行していることもある。したがって、マスキングテープＴａを剥離する際にマスキングテープＴａ上に付着した塗布物等が細かく破壊されてパーティクルとして遊離する。しかしながら、吸引部９５から剥離処理時に発生するパーティクルを吸引することによって、パーティクルが基板Ｐ上に落下して付着することを防止することができる。また、剥離ユニット５の筐体３０内部で剥離テープＴｃや当該剥離テープＴｃと共に貼り付けられた使用後のマスキングテープＴａが送られることによって、筐体３０内部でパーティクルが発生することがある。しかしながら、マスキングテープＴａを剥離する際、筐体３０内部の気体は、配管９３を介して吸引されている。したがって、基板ＰにマスキングテープＴａを剥離する動作において、筐体３０内部で発生するパーティクルが基板Ｐ上に落下することを防止することができる。

なお、上述した説明では、吸引部９５の吸引口を剥離された直後のマスキングテープＴａの粘着面側に向けて配置しているが、吸引部９５を配置する場所はこの位置に限定されない。例えば、図１０に示すように、吸引部９５の吸引口を剥離された直後のマスキングテープＴａの反粘着面側に向けて配置してもかまわない。この場合、吸引部９５は、剥離する際にマスキングテープＴａの反粘着面上で細かく破壊される塗布物等のパーティクルを直接的に吸引できるため、吸引効率が向上する。また、剥離対象となったマスキングテープＴａに対して、基板Ｐの上面から剥離している部位と基板Ｐの上面に貼り付いている部位との剥離境界近傍に吸引口を向けて配置していれば、他の位置に吸引部９５を固設してもかまわない。吸引部９５の吸引口を剥離された直後のマスキングテープＴａ付近に向けて配置していれば、基板Ｐから剥離される位置付近に発生するパーティクルを除去することができる。さらに、複数の吸引部９５を固設して、それぞれの吸引口を剥離された直後のマスキングテープＴａに向けて配置してもかまわない。

また、上述した説明では、基板Ｐを載置するテーブル１をＸ軸方向へ移動させながらマスキングテープＴａの貼付および剥離処理を行っているが、基板Ｐを固定して貼付ユニット４および剥離ユニット５自体を上述とは逆のＸ軸負方向へ移動させてもかまわない。貼付ユニット４および剥離ユニット５と基板Ｐとの少なくとも一方が相対的にＸ軸方向に移動すれば、同様の効果が得られることは言うまでもない。

また、上述した実施形態では、有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、塗布液を基板に塗布する際にマスキングテープを用いる装置であれば、本発明は他の塗布液を用いる製造装置にも適用できる。例えば、プラズマディスプレイ用の蛍光材料、レジスト液、ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液等を塗布するときにマスキングテープでマスクする基板から、マスキングテープを剥離する装置に適用することができる。

本発明に係るテープ剥離装置は、被貼付材に貼り付けられたテープ上に付着した塗布物等が当該被貼付材上に落下することを防止しながら、当該テープを被貼付材から剥離することができ、塗布液を塗布する際にマスキングテープ等でマスクされた基板から当該マスキングテープを剥離する装置等として有用である。

本発明の一実施形態に係るテープ剥離装置の上面図 本発明の一実施形態に係るテープ剥離装置の側面図 本発明の一実施形態に係るテープ剥離装置の正面図 図１Ａ〜図１Ｃの貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図 図１Ａ〜図１Ｃの剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図 マスキングテープＴａが貼り付けられた基板Ｐを示す図 マスキングテープＴａが貼り付けられた基板Ｐの上面に塗布液を塗布した状態を示す図 マスキングテープＴａが塗布後の基板Ｐ上面から剥離された基板Ｐを示す図 有機ＥＬ表示装置を製造する製造工程の順序を示す図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付ける第１段階の動作における筐体１０の開口部１０Ｗ付近の様子を示す模式図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付ける第２段階の動作における筐体１０の開口部１０Ｗ付近の様子を示す模式図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面に貼り付ける第３段階の動作における筐体１０の開口部１０Ｗ付近の様子を示す模式図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する第１段階の動作における筐体３０の開口部３０Ｗ付近の様子を示す模式図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する第２段階の動作における筐体３０の開口部３０Ｗ付近の様子を示す模式図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する第３段階の動作における筐体３０の開口部３０Ｗ付近の様子を示す模式図 テープ剥離装置がマスキングテープＴａを基板Ｐの上面から剥離する第４段階の動作における筐体３０の開口部３０Ｗ付近の様子を示す模式図 吸引部９５の吸引口を剥離された直後のマスキングテープＴａの反粘着面側に向けて配置した例を示す図

符号の説明

１…テーブル
２…テーブル移動機構
３…第１レール
４…貼付ユニット
５…剥離ユニット
６…ユニット移動機構
７…第２レール
８…支持部材
１０、３０…筐体
１１、３１…供給リール
１２、３２…回収リール
１３〜１５、３３〜３５…ガイドローラ
１６、３７…可動ローラ
１７、３６…調整ローラ
１８…テープ分離部材
１９、３８…エアシリンダ
２０、３９…可動部材
２１…切断部
２２…切断刃
２３、４０…支点
９１…負圧ポンプ
９２…負圧源
９３…配管
９４、９５…吸引部

Claims (5)

1. 基板の上面に貼り付けられ、前記基板に塗布液を塗布する際に上面に塗布液が付着したマスキングテープを剥離するマスキングテープ剥離装置であって、
   前記マスキングテープを前記基板の上面から剥離するマスキングテープ剥離機構と、
   前記マスキングテープ剥離機構が前記マスキングテープを剥離する際、前記マスキングテープ剥離機構によって前記基板から剥離した前記マスキングテープの部位と前記基板の上面に貼り付いている前記マスキングテープの部位との剥離境界近傍にあり、かつ、前記マスキングテープの剥離時に破壊されて遊離する塗布物のパーティクルを含む気体を吸引する第１の吸引機構とを備える、マスキングテープ剥離装置。
2. 前記第１の吸引機構は、前記マスキングテープ剥離機構によって前記基板から剥がされた前記マスキングテープの粘着面側から前記剥離境界近傍に向けた吸気口を含む、請求項１に記載のマスキングテープ剥離装置。
3. 前記第１の吸引機構は、前記マスキングテープ剥離機構によって前記基板から剥がされた前記マスキングテープの反粘着面側から前記剥離境界近傍に向けた吸気口を含む、請求項１に記載のマスキングテープ剥離装置。
4. 前記マスキングテープ剥離装置は、
   前記マスキングテープ剥離機構および前記第１の吸引機構をその内部に配置する筐体と、
   前記マスキングテープ剥離機構が前記マスキングテープを剥離する際、前記筐体内部の気体を吸引する第２の吸引機構とを、さらに備える、請求項１に記載のマスキングテープ剥離装置。
5. 前記マスキングテープ剥離装置は、前記第１の吸引機構の吸引動作を制御する制御部を、さらに備え、
   前記制御部は、前記マスキングテープ剥離機構による前記基板の上面に貼り付けられた前記マスキングテープを剥離する動作が完了して所定時間経過後に前記第１の吸引機構の吸引動作を停止することを特徴とする、請求項１に記載のマスキングテープ剥離装置。

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