JP2003297573A - 有機el素子を含む表示装置及びその製造方法 - Google Patents

有機el素子を含む表示装置及びその製造方法

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JP2003297573A JP2002103899A JP2002103899A JP2003297573A JP 2003297573 A JP2003297573 A JP 2003297573A JP 2002103899 A JP2002103899 A JP 2002103899A JP 2002103899 A JP2002103899 A JP 2002103899A JP 2003297573 A JP2003297573 A JP 2003297573A
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Kenichi Nagayama
健一 永山
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 限られた面積の画素に、大なる静電容量を設
け、且つ画素の開口率が高い有機EL表示装置を提供す
る。 【解決手段】 本発明による画像表示装置は、複数の有
機EL素子を含む画像表示装置であって、前記有機EL
素子の各々と積層された複数のコンデンサ素子を含み、
前記コンデンサの各々が1対の透明電極と前記1対の透
明電極の間に挟まれる透明な誘電体層とからなり、前記
有機EL素子の一方の電極を前記透明電極の1つが兼ね
ている。大なる面積を必要とするコンデンサを有機エレ
クトロルミネッセンス素子と重ねることにより、有機エ
レクトロルミネッセンス素子に割り当てられる面積が限
定されないので、開口率が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネッセンス(有機ELと称する)素子表示装置及びそ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】マトリックス状に配置された複数の有機E
L素子を含む表示装置の駆動回路中に、駆動データを保
持するためのデータ保持コンデンサを含むものが知られ
ている(特開2001−142427号等)。かかるデ
ータ保持コンデンサは、通常大なる静電容量を必要とす
る。また、当該データ保持コンデンサは有機EL素子毎
に設ける必要がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、画像表
示装置のパネルの面積が限られているので、大なる静電
容量のデータ保持コンデンサを有機EL素子に隣接して
設けると、当該データ保持コンデンサの占有面積によっ
て有機EL素子に割り当てられる面積が限られる故、表
示装置の開口率が低下するという問題がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明による画像表示装
置は、複数の有機EL素子を含む画像表示装置であっ
て、前記有機EL素子の各々と積層された複数のコンデ
ンサ素子を含み、前記コンデンサの各々が1対の透明電
極と前記1対の透明電極の間に挟まれる透明な誘電体層
とからなり、前記有機EL素子の一方の電極を前記透明
電極の1つが兼ねている、ことを特徴とする。
【0005】また、本発明による画像表示装置の製造方
法は、透明基板上に複数の有機EL素子と複数のコンデ
ンサ素子とが形成された画像表示装置の製造方法であっ
て、前記透明基板上に第1透明電極層を形成する第1工
程と、前記第1透明電極層上に誘電体層を形成する第2
工程と、前記誘電体層上に第2透明電極層を形成する第
3工程と、前記第2透明電極層上に有機EL発光素子層
を形成する第4工程と、前記有機EL発光素子層上に発
光素子陰極層を形成する第5工程と、を含むことを特徴
とする。
【0006】上記した本発明による画像表示装置におい
ては、データ保持コンデンサを有機EL素子に重ねて配
置する故、データ保持コンデンサの占有面積によって有
機EL素子に割り当てられる面積が限定されることがな
いので、開口率を向上せしめることが可能となる。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を、添付図面を参
照しつつ詳細に説明する。図1に示す如く、本発明によ
る有機EL表示装置の1つの画素に対応する発光部1
は、データ保持用コンデンサ10及び有機EL素子11
を含んでいる。コンデンサ10及び有機EL素子11
は、透明基板2の上にコンデンサ10、有機EL素子1
1の順に配置されている。
【0008】コンデンサ10は、透明基板2の上に設け
られた第1透明電極層3と、第1透明電極層3の上に設
けられた透明な誘電体層4と、誘電体層4の上に設けら
れた第2透明電極層5とからなっている。第1透明電極
層3及び第2透明電極層5は、例えばITO、酸化ス
ズ、IZO等の金属酸化物又はAu、Pt、Pd等の金
属の半透明膜からなる透明電極材料である。誘電体層4
は、例えばAl23等の金属酸化物、SiN等の金属窒
化物、金属弗化物、若しくは絶縁性のポリマー等からな
る。第1透明電極層3、第2透明電極層5及び誘電体層
4は、可視光に対して高透過率であることが好ましく、
当該透過率は10%以上、より好ましくは50%以上で
ある。なぜならば、有機EL素子11から発した光を透
過させるためである。
【0009】有機EL素子11は、第2透明電極層5の
上に、積層されている。有機EL素子11は、ホール注
入機能層6、発光機能層7、電子注入機能層8、発光素
子陰極層9の順に積層されて形成されている。コンデン
サ10の一方の第2透明電極層5が有機EL素子11の
陽極となっている。ホール注入機能層6及び電子注入機
能層8は、発光機能層7の発光効率を向上せしめる機能
を有する材料からなる単層又は複数層である。ホール注
入機能層6は、例えば、第2透明電極層5からホール注
入層、ホール輸送層を積層してなる。電子注入機能層8
は、例えば、発光機能層7から電子輸送層、電子注入層
を積層してなる。なお、発光機能層7の発光効率が高い
場合は、ホール注入機能層6及び電子注入機能層8を必
ずしも設ける必要はない。
【0010】図2は、本出願人による特願第2002−
25645号において開示された有機EL表示装置の回
路構成を示している。この回路においては、1つの画素
に対応する発光部1に、コンデンサ10、有機EL素子
11及びダイオード12が設けられている。かかる有機
EL表示装置は、発光後の有機EL素子に逆バイアスを
印加することが可能であり、これによって有機EL素子
の劣化を制御する。ダイオード12のアノード電極は電
源及びスイッチS1を備えた駆動ライン13に接続さ
れ、カソード電極は有機EL素子11の陽極及びコンデ
ンサ10の一端に接続されている。有機EL素子の陰極
はスイッチS2を備えた走査ライン14に接続され、コ
ンデンサの他端はスイッチS3を備えた逆バイアスライ
ン15に接続されている。有機EL素子の駆動は、上記
スイッチS1〜3の切替操作を行うことによる。
【0011】有機EL素子の発光は、スイッチS1をオ
フ、スイッチS2をアース電位側、スイッチS3をアー
ス電位側に切り替ることにより実施される。有機EL素
子を所定時間発光させた後、スイッチS1をオン、スイ
ッチS2を電位Vcc側、スイッチS3を電位Vcc側
に切り替ることにより、有機EL素子の容量成分及びコ
ンデンサの蓄電電荷により発光維持が維持される。
【0012】またスイッチS1をオン、スイッチS2を
電位Vcc側、スイッチS3をアース電位側に切り替る
ことにより、有機EL素子に逆バイアスを印加すること
が可能となる。このような逆バイアス印加状態により、
有機EL素子11にはリフレシュ作用が与えられる。図
2に示す有機EL表示装置に本発明を適用した場合の構
成例が、図3に示されている。
【0013】図3から明らかなように、有機EL表示装
置の1つの画素に対応する発光部は、透明基板2の上に
並置された発光素子部102、ダイオード部104、及
び接続部106からなっている。上記構成の発光部が、
透明基板上に所望の数だけ、例えばマトリックス状に配
置されて、有機EL表示装置の表示部を構成している。
【0014】発光素子部102において、第1透明電極
層3と第2透明電極層5が誘電体層4を介して対向して
データ保持用コンデンサを形成している。第1透明電極
3は、透明基板2上に設けられた逆バイアスライン15
に接続されている。第2透明電極層5の上に、ホール注
入機能層6、発光機能層7、電子注入機能層8、発光素
子陰極層9が順に積層されて有機EL素子を形成してい
る。従って、有機EL素子の陽極とコンデンサの一方の
電極は共通であり、第2透明電極層5が共通電極とな
る。なお、発光機能層7の発光効率が高い場合は、ホー
ル注入機能層6及び電子注入機能層8を設ける必要はな
い。
【0015】ダイオード部104においては、誘電体層
4の上に、駆動ライン13に接続されたアノード電極層
19、P型半導体層21、N型半導体層22、カソード
電極層23が順に積層されてダイオードを形成してい
る。アノード電極層19は、第2透明電極層5と同じ材
料から形成され得る。駆動ライン13は、低抵抗の材料
であって、Al、Ag、Au等の金属単体若しくはそれ
らを含む合金からなる。なお、P型半導体層21、N型
半導体層22は、有機材料によって形成しても良い。こ
の場合、P型半導体層21をホール注入機能層6と同一
の材料とし、N型半導体層22を電子注入機能層8と同
一材料としても良い。
【0016】接続部106において、カソード電極層2
3と第2透明電極層5とが、絶縁層20に設けられた接
続開口112を介して接続導電層17に共に電気的に接
続されている。第2透明電極層5がインジウム錫酸化物
(ITO)でありカソード電極層23がAlである場
合、両者を直接接触させた場合に電気化学反応を生じて
電気的接続が断たれるおそれがある。しかしながら、上
記の接続形態を取ることにより当該反応は生じない故、
電気的接続の信頼性が向上する。なお、第2透明電極層
5とカソード電極層23が反応を生じない場合は、接続
導電層17を設ける必要は無く、これらを直接接続して
も良い。
【0017】発光素子部102、ダイオード部104及
び接続部106は、絶縁層24に埋設されている。絶縁
層24には発光素子陰極層9上に開口25が設けられ、
この開口25を介して走査ライン14が発光素子陰極層
9に接続しつつ絶縁層24の上に伸びている。図4に示
す本発明の有機EL表示装置は、絶縁層20上に突出す
る逆テーパ状の隔壁26を有する他は、図3の装置と同
様な構成である。隔壁26は、感光性樹脂、特にネガタ
イプのフォトポリマが好ましい。陰極形成の前に予め当
該隔壁を作成しておくことにより、この陰極隔壁がシャ
ドーマスクとして作用する故、陰極の形成が容易とな
る。
【0018】図5は、図3の有機EL表示装置を基板上
に実装した場合の構成例を示している。すなわち、有機
EL表示装置の1つの画素に対応する部分において、駆
動ライン13及び走査ライン14が交差している。走査
ライン14の下方には発光素子部102が設けられれお
り、発光素子陰極層9が開口25を介して走査ライン1
4と接続している。
【0019】発光素子部102に隣接してダイオード部
104と接続部106とが並置されている。次に、図6
(a)〜(i)に示す工程に従って、図5に示した有機
EL素子表示装置の発光部の製造工程を説明する。図6
(a)に示す如く、透明基板上に、低抵抗材料からなる
逆バイアスライン15を形成する。
【0020】続いて、図6(b)に示す如く、ITO等
の金属酸化物又はAu等の金属の透明電極材料を用いた
第1透明電極層3が、逆バイアスライン15に接続され
るように所定のパターンに形成される。第1透明電極層
3は、可視光の透過率が高いことが好ましい。なお、第
1透明電極層3の抵抗率が十分に低い場合、逆バイアス
ライン15の形成は省略しても良い。この場合におい
て、第1透明電極層3は、逆バイアスライン15のパタ
ーンを含む形状にパターンされる。
【0021】図6(c)に示す如く、逆バイアスライン
15及び第1透明電極層3を覆うように、誘電体層4が
形成される。図6(d)に示す如く、低抵抗材料からな
る駆動ライン13がダイオード部を含む所定の位置に作
成される。このとき、接続部に有機EL素子及びコンデ
ンサとダイオードとを接続する接続導電層17も同時に
作成する。
【0022】図6(e)に示す如く、第2透明電極層5
が接続導電層17に接続されるように発光素子部に作成
され、同時にアノード電極層19が、ダイオード部に形
成される。なお、ダイオード部にアノード電極層19は
必ずしも設ける必要はない。この場合において、図6
(e)に示す如き上記工程は、第2透明電極層5のみを
形成する。
【0023】また、アノード電極層19の抵抗率が十分
に低い場合、前述の駆動ライン13の形成は省略しても
よい。この場合において、図6(d)に示す如き上述の
工程において接続導電層17のみを形成し、図6(e)
に示す如き工程において、駆動ライン13に対応するパ
ターンと第2透明電極層5に対応するパターンを形成す
る。
【0024】図6(f)に示す如く、第2透明電極層、
アノード電極層及び接続導電層の端部におけるショート
を防止するように、絶縁層20が形成される。絶縁層2
0は、発光素子部102、ダイオード部104及び接続
部106に各々開口108、110、112を有するよ
うに形成される。開口108の大きさは、有機EL素子
の大きさに対応する。開口110の大きさは、ダイオー
ドの大きさに対応する。接続開口112は、接続導電層
17に接続する為のスルーホールとして作用する。絶縁
層は、Al23、SiO2等の金属酸化物、SiN等の
金属窒化物、金属弗化物、若しくは絶縁性のポリマー等
からなる。
【0025】図6(g)に示す如く、少なくとも電子又
は正孔の注入により発光する有機EL発光素子層50
が、発光素子部102において形成される。有機EL発
光素子層50は、発光機能層7のみとしても良いが、ホ
ール注入機能層6、発光機能層7、電子注入機能層8の
順に積層して設けても良い。図6(h)に示す如く、ダ
イオード層60が、ダイオード部においてP型半導体層
21、N型半導体層22の順に積層されて形成される。
【0026】なお、P型半導体層21、N型半導体層2
2からなるダイオード層60は、有機材料からなること
としても良い。P型半導体層21をホール注入機能層6
と同一の材料とし、N型半導体層22を電子注入機能層
8と同一材料とした場合、有機EL発光素子層50の積
層工程とダイオード層60の積層工程を共通にすること
ができる。つまり、P型半導体層21及びホール注入機
能層6を各々アノード電極層19及び第2透明電極層5
の上に同一工程で設けることができる。また発光機能層
7をホール注入機能層6上に設けた後に、N型半導体層
22及び電子注入機能層8を各々P型半導体層21及び
発光機能層7上に設けることができる。
【0027】図6(i)に示す如く、接続部に設けられ
た接続開口112とダイオード層60を接続するカソー
ド電極層23が形成され、同時に発光素子陰極層9が形
成される。最後に、発光素子陰極層9上に開口25が設
けられた絶縁層24を形成し、この開口25を介して発
光素子陰極層9に接続される走査ライン14が設けられ
る。
【0028】このようにして、透明基板上にダイオー
ド、有機EL素子が重ねて設けられ、有機EL素子及び
コンデンサとダイオードが接続開口112に設けられた
接続導電層17を介して接続される。なお、ダイオード
の陰極と第2透明電極が接触することにより電気化学反
応が発生しない場合は、接続導電層17を設けることな
く、直接接続する形態としても良い。この場合、例えば
図6(d)に示す如き工程において接続導電層17は形
成されず、図6(e)に示す如き工程において第2透明
電極が接続部を含むパターンに形成される。
【0029】上記した本発明の製造方法によれば、フォ
トリソグラフィ工程が必要なパターン配線及び絶縁層の
形成を工程の前段(図6(a)〜(f))にて行ない、
フォトリソグラフィ工程により材料変質が生じる有機材
料を後段(図6(g)〜(i))において処理可能とな
る。従って、有機材料にダメージを与えることなく表示
パネルの製造も容易になる。
【0030】図4の有機EL素子表示装置の発光部の製
造方法においては、図6(f)に示す如き絶縁層の形成
の後に、ダイオード及び有機EL素子の陰極パターンに
対応する形状に隔壁を形成する。隔壁は、ネガタイプの
ポリマをスピンコート等の方法により塗布した後に、陰
極パターンに対応するフォトマスクを用いて露光後現像
することにより形成される。
【0031】隔壁形成後は、前述した有機EL素子及び
ダイオードの形成を行い、陰極の形成を行う。当該隔壁
がマスクとして作用する故に、表示部1に陰極金属を蒸
着することで、陰極のパターンが形成される。
【0032】
【発明の効果】このように、本発明によれば、大なる容
量のコンデンサを有機EL素子に重ねて配置可能となる
ため、開口率を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による有機EL発光部を示す断面図であ
る。
【図2】有機EL素子、ダイオード及びコンデンサを含
む発光部及びこの駆動回路である。
【図3】図2に示す回路を基板上に構成した有機EL発
光部の断面図である。
【図4】図3に示す有機EL発光部の変形例を示す断面
図である。
【図5】図3に示す有機EL発光部の実装例を示す平面
図である。
【図6】図5に示す有機EL発光部の実装例の製造工程
を順に示す平面図である。
【符号の説明】
1 発光部 2 透明基板 3 第1透明電極層 4 誘電体層 5 第2透明電極層 9 発光素子陰極層 10 コンデンサ 11 有機EL素子 12 ダイオード 13 駆動ライン 14 走査ライン 15 逆バイアスライン 17 接続導電層 23 カソード電極層 24 絶縁層 25 開口 26 隔壁 102 発光素子部 104 ダイオード部 106 接続部 112 接続開口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05B 33/10 H05B 33/10 33/12 33/12 B 33/26 33/26 Z Fターム(参考) 3K007 AB02 AB17 CB01 CC00 DB03 EA00 GA00 5C094 AA07 AA45 BA01 BA11 BA27 CA19 DA13 DA15 DB04 EA04 EA05 EB02 FA02 FB01 FB16 FB19 HA08 HA10 5G435 AA03 BB05 CC09 HH13 HH14 HH16 HH20 KK05 LL06 LL07 LL08

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の有機EL素子を含む画像表示装置
    であって、 前記有機EL素子の各々と積層された複数のコンデンサ
    素子を含み、 前記コンデンサ素子の各々が1対の透明電極と前記1対
    の透明電極の間に挟まれる透明な誘電体層とからなり、 前記有機EL素子の一方の電極を前記透明電極の1つが
    兼ねている、 ことを特徴とする画像表示装置。
  2. 【請求項2】 前記コンデンサ素子が主面上に設けら
    れ、前記有機EL素子が前記コンデンサの上に積層され
    ていることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。
  3. 【請求項3】 前記コンデンサ素子の1つと前記有機E
    L素子の1つとが略同一の面積に亘って延在しているこ
    とを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。
  4. 【請求項4】 前記有機EL素子の各々に直列に接続さ
    れる複数のダイオード素子を有し、前記ダイオード素子
    の各々が前記有機EL素子の各々に隣接して設けられて
    いることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。
  5. 【請求項5】 前記有機EL素子の各々と前記ダイオー
    ドの各々との間に隔壁が設けられていることを特徴とす
    る請求項4記載の画像表示装置。
  6. 【請求項6】 前記有機EL素子の一方の電極を兼ねる
    前記透明電極の1つに前記ダイオードのカソードが接続
    されていることを特徴とする請求項4記載の画像表示装
    置。
  7. 【請求項7】 前記ダイオードが有機材料層からなるこ
    とを特徴とする請求項4記載の画像表示装置。
  8. 【請求項8】 透明基板上に複数の有機EL素子と複数
    のコンデンサ素子とが形成された画像表示装置の製造方
    法であって、 前記透明基板上に第1透明電極層を形成する第1工程
    と、 前記第1透明電極層上に誘電体層を形成する第2工程
    と、 前記誘電体層上に第2透明電極層を形成する第3工程
    と、 前記第2透明電極層上に有機EL発光素子層を形成する
    第4工程と、 前記有機EL発光素子層上に発光素子陰極層を形成する
    第5工程と、を含むことを特徴とする画像表示装置の製
    造方法。
  9. 【請求項9】 前記第4工程は、前記有機EL発光素子
    層を、 前記第2透明電極上にホール注入機能層を形成する第6
    工程と、 前記ホール注入機能層上に発光機能層を形成する第7工
    程と、 前記発光機能層上に電子注入機能層を形成する第8工程
    と、からなることを特徴とする請求項8記載の画像表示
    装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記第3工程において、前記第2透明
    電極層の近傍にアノード電極層を設け、 前記第6工程において前記アノード電極層上にP型半導
    体層を積層し、 前記第8工程において前記P型半導体層上にN型半導体
    層を積層し、 前記第5工程において前記N型半導体層と前記第2透明
    電極層とを接続するカソード電極層を形成して、ダイオ
    ード素子を形成する工程を含むことを特徴とする請求項
    9記載の画像表示装置の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記第3工程と前記第4工程の間にお
    いて、前記有機エレクトロルミネッセンス素子の各々と
    前記ダイオード素子の各々との間に隔壁を設ける工程を
    更に含むことを特徴とする請求項10記載の画像表示装
    置の製造方法。
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