JP2003286992A - Turbo molecular pump and method of adjusting pump - Google Patents
Turbo molecular pump and method of adjusting pumpInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
及びその調整方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a turbo molecular pump and a method for adjusting the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ターボ分子ポンプは、半導体製造装置を
真空引きする場合などに広く使用されている。図４はタ
ーボ分子ポンプの概略構造を示している。2. Description of the Related Art Turbo molecular pumps are widely used for vacuuming semiconductor manufacturing equipment. FIG. 4 shows a schematic structure of a turbo molecular pump.
【０００３】このターボ分子ポンプＰは、ケーシング１
内部に各種部品が備えられた構成となっており、このケ
ーシング１においては、その上半部１ａに吸気口１ｃ、
下半部１ｂに排気口１ｄがそれぞれ形成されている。ケ
ーシング１内部においては、上部に軸流段部ＰＡ、下部
にねじ溝段部ＰＢが設けられている。軸流段部ＰＡは主
として後述する多段に設けられた動翼（ロータ翼）５お
よび静翼（ステータ翼）３とにより構成され、ねじ溝段
部ＰＢは、ロータ４に螺旋状のねじ溝１３を形成したね
じ溝ロータ部１４及びケーシング１内部に固定されたシ
ールリング１５とにより構成されている。The turbo molecular pump P has a casing 1
The casing 1 is provided with various parts, and in the casing 1, the upper half 1a has an intake port 1c,
An exhaust port 1d is formed in each of the lower half portions 1b. Inside the casing 1, an axial flow step portion PA is provided at the upper portion and a thread groove step portion PB is provided at the lower portion. The axial flow step portion PA is mainly composed of moving blades (rotor blades) 5 and stator blades (stator blades) 3 which will be described later in multiple stages, and the thread groove step portion PB is provided in the rotor 4 with a spiral thread groove 13. And a seal ring 15 fixed inside the casing 1.
【０００４】より具体的に説明すると、ロータ室２には
ロータ４が配設されている。ロータ４は、鉛直に立設さ
れたロータシャフト４ａと、当該ロータシャフト４ａの
周囲に放射状に配置された動翼５とを備えた構成となっ
ている。また、ケーシング上半部１ａの内周には静翼３
が固定されている。More specifically, a rotor 4 is arranged in the rotor chamber 2. The rotor 4 is configured to include a rotor shaft 4a that is vertically erected, and rotor blades 5 that are radially arranged around the rotor shaft 4a. In addition, the stationary blades 3 are provided on the inner periphery of the upper half 1a of the casing.
Is fixed.
【０００５】ロータ４には、動翼５の下方にねじ溝１３
が形成されたねじ溝ロータ部１４が形成されている。ね
じ溝ロータ部１４には、ケーシング１内周に固定された
シールリング１５と対向する面にねじ溝１３が形成され
ており、ねじ溝１３の山部とシールリング１５内周との
間にわずかな隙間が形成されている。The rotor 4 has a thread groove 13 below the rotor blade 5.
The thread groove rotor portion 14 in which is formed is formed. A thread groove 13 is formed on the surface of the thread groove rotor portion 14 that faces the seal ring 15 fixed to the inner circumference of the casing 1. The thread groove 13 is slightly formed between the crest portion of the thread groove 13 and the inner circumference of the seal ring 15. Clear gaps are formed.
【０００６】ロータシャフト４ａの下端部には、スラス
トディスク６が設けられている。このスラストディスク
６の上下面には、これに対向した形でスラスト磁気軸受
８が設けられている。また、ロータシャフト４ａとケー
シング１との対向面における上方及び下方には、ロータ
駆動用モータ１１の上下に位置させて、それぞれラジア
ル磁気軸受７ａ、７ｂが設けられている。さらに、ロー
タシャフト４ａ上端部にはラジアル用上部保護軸受とし
てボールベアリング９が設けられ、同下端ネック部には
ラジアル及びスラスト用下部保護軸受としてボールベア
リング１０が設けられている。A thrust disk 6 is provided at the lower end of the rotor shaft 4a. Thrust magnetic bearings 8 are provided on the upper and lower surfaces of the thrust disk 6 so as to face the thrust disk 6. Radial magnetic bearings 7a and 7b are provided above and below the facing surface of the rotor shaft 4a and the casing 1 above and below the rotor driving motor 11, respectively. Further, a ball bearing 9 is provided as an upper protective bearing for radial on the upper end of the rotor shaft 4a, and a ball bearing 10 is provided as a lower protective bearing for radial and thrust on the lower neck.
【０００７】真空排気の際には、モータ１１を駆動して
ロータ４を回転させると、ロータ４の回転により動翼５
と静翼３との間で第１の圧縮が行われたあと、ねじ溝段
部ＰＢのねじ溝１３によって第２の圧縮が行われ、排気
口１ｄ方向へ流れて真空排気される。When the motor 11 is driven to rotate the rotor 4 during evacuation, the rotor 4 rotates to move the rotor blades 5.
After the first compression is performed between the stationary blade 3 and the stationary blade 3, the second compression is performed by the thread groove 13 of the thread groove step portion PB, and the second compression flow is performed in the direction of the exhaust port 1d for vacuum exhaust.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ターボ分子
ポンプのロータ４（特に動翼５）の材料には、一般的に
アルミニウム合金が採用されており、動翼５は、使用条
件や運転時間などによってその進行度合は違うが、時間
の経過に従って径方向にひずんでくる。この変形をクリ
ープひずみと言い、この変形が大きくなると、やがて動
翼５とケーシング１側の静止壁（特にシールリング１
５）との隙間が許容値以下になり、所期の性能を発揮で
きなくなって寿命となる。最悪の場合、動翼５がシール
リング１５に接触することで寿命となる。動翼５と静止
壁との隙間の一番狭い部分が、図５に示す、ねじ溝ロー
タ部１４とシールリング１５の内壁（静止壁）１５ａと
の間である。従って、この隙間を管理することがターボ
分子ポンプにとっては非常に重要である。By the way, an aluminum alloy is generally adopted as a material of the rotor 4 (particularly, the moving blade 5) of the turbo molecular pump. Depending on the progress, it will distort in the radial direction as time passes. This deformation is called creep strain, and when this deformation becomes large, the moving blade 5 and the stationary wall on the casing 1 side (especially the seal ring 1)
The gap with 5) becomes less than the allowable value, and the desired performance cannot be achieved, resulting in the end of life. In the worst case, the moving blade 5 comes into contact with the seal ring 15 to reach the end of its life. The narrowest part of the gap between the moving blade 5 and the stationary wall is between the thread groove rotor portion 14 and the inner wall (stationary wall) 15a of the seal ring 15 shown in FIG. Therefore, it is very important for the turbo molecular pump to manage this gap.
【０００９】本発明は、上記事情を考慮し、ロータと静
止壁との隙間を調整できるようにすることで、寿命の長
期化を図れるようにした、ターボ分子ポンプ及びその調
整方法を提供することを目的とする。In view of the above circumstances, the present invention provides a turbo-molecular pump and a method of adjusting the turbo-molecular pump, in which the clearance between the rotor and the stationary wall can be adjusted to prolong the life of the turbo molecular pump. With the goal.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明のターボ
分子ポンプは、ケーシング側の静止壁に対し所定の隙間
を確保した状態でロータを配置し、該ロータを高速回転
させることにより真空排気するターボ分子ポンプにおい
て、前記ロータと静止壁との間の隙間をケーシング外部
から調整する隙間調整手段を設けたことを特徴とする。According to another aspect of the present invention, there is provided a turbo molecular pump, wherein a rotor is arranged in a state where a predetermined gap is secured with respect to a stationary wall on a casing side, and the rotor is rotated at a high speed to perform vacuum exhaust. In the turbo molecular pump described above, a gap adjusting means for adjusting the gap between the rotor and the stationary wall from the outside of the casing is provided.
【００１１】このターボ分子ポンプでは、ケーシング外
部からの操作で、ロータの変形によって狭くなったロー
タと静止壁間の隙間を広げることができる。従って、隙
間を適正に保つことができて、ロータの変形による静止
壁との接触事故を回避することができ、ターボ分子ポン
プの寿命を延ばすことができる。In this turbo molecular pump, the gap between the rotor and the stationary wall, which is narrowed by the deformation of the rotor, can be widened by an operation from the outside of the casing. Therefore, the gap can be properly maintained, contact accident with the stationary wall due to deformation of the rotor can be avoided, and the life of the turbo molecular pump can be extended.
【００１２】請求項２の発明のターボ分子ポンプは、請
求項１において、前記ケーシング内に、ロータ翼とステ
ータ翼よりなる軸流段部と、ねじ溝ロータ部とそれに対
向するシールリングよりなるねじ溝段部とが設けられて
おり、前記隙間が、前記ねじ溝ロータ部とシールリング
間の隙間であることを特徴とする。A turbo molecular pump according to a second aspect of the present invention is the turbo molecular pump according to the first aspect, wherein the casing includes an axial flow step portion including a rotor blade and a stator blade, a screw groove including a rotor portion and a seal ring facing the screw groove rotor portion. A groove step portion is provided, and the gap is a gap between the thread groove rotor portion and the seal ring.
【００１３】このターボ分子ポンプでは、一番隙間の狭
い部分を管理することで、請求項１の発明の作用を有効
に発揮させることができる。In this turbo-molecular pump, the action of the invention of claim 1 can be effectively exerted by controlling the portion having the narrowest gap.
【００１４】請求項３の発明のターボ分子ポンプは、ガ
スの吸気口と排気口を有するケーシング内に、吸気口側
から排気口側に向けて順番に、ロータ翼とステータ翼よ
りなる軸流段部と、ねじ溝ロータ部とそれに対向するシ
ールリングよりなるねじ溝段部とが設けられ、ねじ溝ロ
ータ部とシールリング間に所定の隙間が確保されたター
ボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝ロータ部とシールリ
ングの前記隙間を介して対向する部分の径を、それぞれ
軸方向一方側から他方側に向かうに従い漸減させると共
に、ねじ溝ロータ部とシールリングを軸方向に相対移動
可能としたことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in a turbo molecular pump, an axial flow stage composed of rotor blades and stator blades is arranged in order from the intake port side to the exhaust port side in a casing having a gas intake port and an exhaust port. Section, a thread groove rotor section and a thread groove step section composed of a seal ring facing the thread groove rotor section, and a predetermined gap is secured between the thread groove rotor section and the seal ring. The diameters of the portions of the seal ring and the seal ring that face each other across the gap are gradually reduced from one side toward the other side in the axial direction, and the thread groove rotor portion and the seal ring are relatively movable in the axial direction. And
【００１５】このターボ分子ポンプでは、ねじ溝ロータ
部とシールリングの互いに対向する部分の径を、軸方向
一方側から他方側に向かうに従い漸減するように構成し
ているので、ねじ溝ロータ部とシールリングを軸方向に
相対移動することによって、ねじ溝ロータ部とシールリ
ング間の隙間の大きさを調整することができる。従っ
て、ねじ溝ロータ部のひずみが大きくなって前記隙間が
狭くなった場合に、ねじ溝ロータ部とシールリングを軸
方向に相対移動することにより、隙間を広げることがで
き、ロータ翼の変形によるシールリングとの接触事故を
回避することができ、ターボ分子ポンプの寿命を延ばす
ことができる。In this turbo molecular pump, since the diameters of the thread groove rotor portion and the seal ring facing each other are gradually reduced from one side in the axial direction to the other side, the thread groove rotor portion By relatively moving the seal ring in the axial direction, the size of the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring can be adjusted. Therefore, when the strain of the thread groove rotor portion becomes large and the gap becomes narrow, the gap can be widened by relatively moving the thread groove rotor portion and the seal ring in the axial direction, and the rotor blade is deformed. Accidental contact with the seal ring can be avoided and the life of the turbo molecular pump can be extended.
【００１６】なお、隙間の調整は、ケーシング外部から
シールリングを軸方向移動させることで行ってもよい
し、ケーシング内にシールリングの移動操作手段を内蔵
しておき、その移動操作手段を操作して行ってもよい。
さらに、ポンプを分解してシム調整等により行ってもよ
い。また、径を漸減する方法としては、対向する部分を
テーパ状に形成したり、段差を付けて階段状に形成した
り、テーパと階段を合わせた形にしたり、湾曲状に形成
したりすることができる。The clearance may be adjusted by axially moving the seal ring from the outside of the casing. Alternatively, the seal ring moving operation means may be incorporated in the casing and the moving operation means may be operated. You may go.
Further, the pump may be disassembled and shim adjustment may be performed. Further, as a method of gradually decreasing the diameter, forming the facing portion in a tapered shape, forming a step with a step, forming a shape in which the taper and the step are combined, or forming a curved shape You can
【００１７】請求項４の発明のターボ分子ポンプは、請
求項３において、前記シールリングを軸方向移動可能に
ケーシングに組み込むと共に、該シールリングを軸方向
に移動させることで前記隙間を調整する移動機構を設け
たことを特徴とする。A turbo molecular pump according to a fourth aspect of the present invention is the turbo molecular pump according to the third aspect, wherein the seal ring is incorporated in the casing so as to be movable in the axial direction, and the seal ring is moved in the axial direction to adjust the gap. It is characterized by having a mechanism.
【００１８】このターボ分子ポンプでは、移動機構によ
ってシールリングを軸方向移動させることにより、簡単
にねじ溝ロータ部とシールリング間の隙間を調整するこ
とができる。その場合、シールリングの軸方向移動が可
能であれば、移動機構の設置場所は、ケーシングの内部
であっても外部であってもよい。In this turbo molecular pump, the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring can be easily adjusted by axially moving the seal ring by the moving mechanism. In this case, the moving mechanism may be installed inside or outside the casing as long as the seal ring can be moved in the axial direction.
【００１９】請求項５の発明のターボ分子ポンプは、請
求項４において、前記シールリングにシール機構を介し
てケーシング外部に突出する軸部材を連結すると共に、
ケーシング外部に前記移動機構として、前記軸部材を回
転操作または軸方向移動操作することで前記シールリン
グを軸方向移動させる操作手段を設けたことを特徴とす
る。A turbo molecular pump according to a fifth aspect of the present invention is the turbo molecular pump according to the fourth aspect, wherein a shaft member protruding outside the casing is connected to the seal ring via a seal mechanism.
Operating means for axially moving the seal ring by rotating or axially moving the shaft member is provided outside the casing as the moving mechanism.
【００２０】このターボ分子ポンプでは、シールリング
を軸部材を介してケーシング外部から軸方向移動させる
ことができる。その際、軸部材のケーシング貫通部はシ
ール機構によりシールされている。In this turbo molecular pump, the seal ring can be axially moved from the outside of the casing via the shaft member. At that time, the casing penetrating portion of the shaft member is sealed by the sealing mechanism.
【００２１】請求項６の発明のターボ分子ポンプは、請
求項３〜５のいずれかにおいて、前記シールリングを移
動させるタイミングを計るために、前記ねじ溝ロータ部
とシールリング間の隙間の減少を直接または間接に検出
する検出手段を設けたことを特徴とする。A turbo molecular pump according to a sixth aspect of the present invention is the turbo molecular pump according to any one of the third to fifth aspects, wherein the clearance between the thread groove rotor portion and the seal ring is reduced in order to measure the timing of moving the seal ring. It is characterized in that a detection means for directly or indirectly detecting is provided.
【００２２】このターボ分子ポンプでは、ねじ溝ロータ
部とシールリング間の隙間が減少した際の適切なタイミ
ングで、隙間調整を行うことができる。In this turbo molecular pump, the clearance can be adjusted at an appropriate timing when the clearance between the thread groove rotor portion and the seal ring is reduced.
【００２３】請求項７の発明のターボ分子ポンプは、請
求項６において、前記検出手段として、ねじ溝ロータ部
とシールリング間の隙間を直接計測するギャップセンサ
を設けたことを特徴とする。A turbo molecular pump according to a seventh aspect of the present invention is characterized in that, in the sixth aspect, a gap sensor for directly measuring the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is provided as the detecting means.
【００２４】このターボ分子ポンプでは、ギャップセン
サにより直接隙間を検出するようにしたので、最適なタ
イミングで隙間調整することができる。In this turbo molecular pump, since the gap is directly detected by the gap sensor, the gap can be adjusted at the optimum timing.
【００２５】請求項８の発明のターボ分子ポンプの調整
方法は、ガスの吸気口と排気口を有するケーシング内
に、吸気口側から排気口側に向けて順番に、ロータ翼と
ステータ翼よりなる軸流段部と、ねじ溝ロータ部とそれ
に対向するシールリングよりなるねじ溝段部とが設けら
れ、ねじ溝ロータ部とシールリング間に所定の隙間が確
保されたターボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝ロータ
部とシールリングの前記隙間を介して対向する部分の径
を、それぞれ軸方向一方側から他方側に向かうに従い漸
減させ、シールリングを軸方向に相対移動させることに
より、前記ねじ溝ロータ部とシールリング間の隙間を調
整することを特徴とする。。In the method for adjusting a turbo molecular pump according to the eighth aspect of the present invention, a rotor blade and a stator blade are arranged in order from the intake port side to the exhaust port side in a casing having a gas intake port and a gas exhaust port. A turbo molecular pump in which an axial flow step portion, a thread groove step portion including a thread groove rotor portion and a seal ring facing the thread groove rotor portion are provided, and a predetermined gap is secured between the thread groove rotor portion and the seal ring, The diameters of the portions of the groove rotor portion and the seal ring that face each other across the gap are gradually reduced from one side toward the other side in the axial direction, and the seal ring is relatively moved in the axial direction, whereby the thread groove rotor portion is formed. The feature is that the gap between the seal ring and the seal ring is adjusted. .
【００２６】このターボ分子ポンプの調整方法では、ね
じ溝ロータ部とシールリングの互いに対向する部分の径
を、軸方向一方側から他方側に向かうに従い漸減するよ
うに構成し、ねじ溝ロータ部とシールリングを軸方向に
相対移動させることにより、ねじ溝ロータ部とシールリ
ング間の隙間を調整するので、ねじ溝ロータ部のひずみ
が大きくなって前記隙間が狭くなった場合に、隙間を広
げることができ、ロータ翼の変形によるシールリングと
の接触事故を回避することができ、ターボ分子ポンプの
寿命を延ばすことができる。In this turbo molecular pump adjusting method, the diameters of the thread groove rotor portion and the seal ring, which are opposed to each other, are gradually reduced from one side in the axial direction to the other side. Since the clearance between the thread groove rotor part and the seal ring is adjusted by moving the seal ring in the axial direction relatively, widen the clearance when the distortion of the thread groove rotor part becomes large and the clearance becomes narrow. Therefore, it is possible to avoid a contact accident with the seal ring due to the deformation of the rotor blade, and it is possible to extend the life of the turbo molecular pump.
【００２７】請求項９の発明のターボ分子ポンプの調整
方法は、請求項８において、前記ねじ溝ロータ部とシー
ルリング間の隙間をギャップセンサで計測し、該ギャッ
プセンサの検出結果に基づいてシールリングを軸方向に
相対移動させることにより、ねじ溝ロータ部とシールリ
ング間の隙間を調整することを特徴とする。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a method of adjusting a turbo molecular pump according to the eighth aspect, wherein the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is measured by a gap sensor and the seal is detected based on the detection result of the gap sensor. It is characterized in that the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is adjusted by moving the ring relatively in the axial direction.
【００２８】このターボ分子ポンプの調整方法では、ね
じ溝ロータ部とシールリング間の隙間が減少した際の最
適なタイミングで、隙間調整を行うことができる。According to this turbo molecular pump adjusting method, the clearance can be adjusted at an optimum timing when the clearance between the thread groove rotor portion and the seal ring is reduced.
【００２９】請求項１０の発明のターボ分子ポンプの調
整方法は、請求項８において、前記吸気口の圧力の変動
を検出し、その検出結果に基づいてシールリングを軸方
向に相対移動させることにより、ねじ溝ロータ部とシー
ルリング間の隙間を調整することを特徴とする。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a method for adjusting a turbo molecular pump according to the eighth aspect, wherein the variation of the pressure at the intake port is detected, and the seal ring is relatively moved in the axial direction based on the detection result. The gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is adjusted.
【００３０】このターボ分子ポンプの調整方法では、吸
気口の圧力の変動により、ねじ溝ロータ部とシールリン
グ間の隙間が減少したことを検出することができる。従
って、適切なタイミングで、隙間調整を行うことができ
る。In this method of adjusting the turbo molecular pump, it is possible to detect that the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring has decreased due to the fluctuation of the pressure at the intake port. Therefore, the gap can be adjusted at an appropriate timing.
【００３１】請求項１１の発明のターボ分子ポンプの調
整方法は、請求項８において、ターボ分子ポンプの運転
時間と使用条件とに基づいて調整タイミングを決め、そ
の決めたタイミングでシールリングを軸方向に相対移動
させることにより、ねじ溝ロータ部とシールリング間の
隙間を調整することを特徴とする。According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided a method of adjusting a turbo molecular pump according to the eighth aspect, in which an adjustment timing is determined based on an operating time of the turbo molecular pump and operating conditions, and the seal ring is axially moved at the determined timing. It is characterized in that the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is adjusted by moving the screw groove relative to the seal groove.
【００３２】このターボ分子ポンプの調整方法では、経
験的に、ねじ溝ロータ部とシールリング間の隙間が減少
したことを判断するので、特別な計測を行うことなく、
簡単に適切なタイミングで隙間調整を行うことができ
る。In this method of adjusting the turbo molecular pump, it is empirically determined that the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring has been reduced, so that no special measurement is required.
The gap can be easily adjusted at an appropriate timing.
【００３３】[0033]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は実施形態のターボ分子ポンプ
の要部概略断面図である。このターボ分子ポンプの全体
構成は、図４のものと同じであり、ガスの吸気口と排気
口を有するケーシング内に、吸気口側から排気口側に向
けて順番に、ロータ翼（動翼）とステータ翼（静翼）よ
りなる軸流段部と、ねじ溝ロータ部とそれに対向するシ
ールリングよりなるねじ溝段部とを設け、ねじ溝ロータ
部とシールリング間に所定の隙間を確保したものであ
る。以下においては、実施形態のターボ分子ポンプを構
成するに当たって特に改良した部品については、図４と
違う符号を付して説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view of a main part of a turbo molecular pump according to an embodiment. The entire structure of this turbo-molecular pump is the same as that of FIG. 4, and a rotor blade (moving blade) is arranged in order from the intake port side to the exhaust port side in a casing having a gas intake port and an exhaust port. And a stator blade (stator blade), an axial flow step portion, and a thread groove rotor portion and a thread groove step portion formed of a seal ring facing the thread groove rotor portion are provided to secure a predetermined gap between the screw groove rotor portion and the seal ring. It is a thing. In the following, parts that have been particularly improved in constructing the turbo-molecular pump of the embodiment will be described with reference numerals different from those in FIG.
【００３４】本実施形態のターボ分子ポンプの特徴は、
図１に要部のみを拡大して示すように、ねじ溝段部ＰＢ
を構成するねじ溝ロータ部２４とシールリング２５の、
互いに所定の隙間Ｈを介して対向する部分、つまり、ね
じ溝ロータ部２４の外周面２３ｂとシールリング２５の
内壁２５ａとを、それらの径がそれぞれ軸方向上側から
下側に向かうに従い漸減するようにテーパ状に形成し、
その上で、シールリング２５を軸方向（矢印Ａ方向）に
移動可能にケーシング２１に組み付けた点にある。な
お、ねじ溝ロータ部２４の外周面２３ｂにはねじ溝２３
が形成されているので、実際の外周面はねじ山２３ａの
頂面が相当する。The characteristics of the turbo molecular pump of this embodiment are as follows.
As shown in FIG. 1 in which only the main part is enlarged, the thread groove step portion PB
Of the thread groove rotor portion 24 and the seal ring 25 that constitute
Portions facing each other with a predetermined gap H, that is, the outer peripheral surface 23b of the thread groove rotor portion 24 and the inner wall 25a of the seal ring 25 are gradually reduced in diameter as they go from the upper side to the lower side in the axial direction. Taper shape,
In addition, the seal ring 25 is attached to the casing 21 so as to be movable in the axial direction (direction of arrow A). The screw groove 23 is formed on the outer peripheral surface 23b of the screw groove rotor portion 24.
Is formed, the top surface of the screw thread 23a corresponds to the actual outer peripheral surface.
【００３５】前記シールリング２５を軸方向に動かす
と、シールリング２５とねじ溝ロータ部２４の径方向の
対向面がテーパ状に形成されているので、両者間の隙間
Ｈを調整することができる。例えば、シールリング２５
を下側に移動すると隙間Ｈを広げることができ、上側に
移動すると隙間Ｈを狭めることができる。そこで、この
ターボ分子ポンプにおいては、その隙間を調整する手段
として、シールリング２５の下側に回り込んだケーシン
グ２１のフランジ壁２１ａに、ボルト（軸部材及び移動
機構に相当）３１を取り付けている。このボルト３１
は、ケーシング２１の円周方向に適当な間隔で複数本設
けられており、ケーシング２１のフランジ壁２１ａに設
けた挿通孔２１ｂから、ケーシング２１内に先端側の軸
部３１ａを挿入させ、頭部３１ｂをケーシング２１外に
出している。挿通孔２１ｂとボルト軸部３１ａとの間に
は、ケーシング２１の内外をシールするシール機構３２
が設けられている。When the seal ring 25 is moved in the axial direction, the radial opposing surfaces of the seal ring 25 and the thread groove rotor portion 24 are formed in a tapered shape, so that the gap H between them can be adjusted. . For example, the seal ring 25
The gap H can be widened by moving the lower side, and the gap H can be narrowed by moving the upper side. Therefore, in this turbo molecular pump, a bolt (corresponding to a shaft member and a moving mechanism) 31 is attached to the flange wall 21a of the casing 21 that wraps around the lower side of the seal ring 25 as a means for adjusting the gap. . This bolt 31
Are provided at appropriate intervals in the circumferential direction of the casing 21, and the shaft portion 31a on the front end side is inserted into the casing 21 through the insertion hole 21b provided in the flange wall 21a of the casing 21. 31b is exposed to the outside of the casing 21. A seal mechanism 32 for sealing the inside and outside of the casing 21 is provided between the insertion hole 21b and the bolt shaft portion 31a.
Is provided.
【００３６】また、このボルト３１は、ケーシング２１
内に挿入した軸部３１ａの先端を、シールリング２５の
下端に回転可能且つ軸方向移動不能に連結しており、軸
部３１ｂの途中を、ケーシング２１に固定したナット部
材３５にねじ合わせている。従って、ボルト３１を矢印
Ｂのように回転操作すると、ねじのリード作用によりボ
ルト３１が軸方向に移動し、それによりボルト３１に連
結されたシールリング２５が軸方向を移動させることが
できる。The bolt 31 is used for the casing 21.
The tip of the shaft portion 31a inserted therein is connected to the lower end of the seal ring 25 so as to be rotatable and immovable in the axial direction, and the middle of the shaft portion 31b is screwed to the nut member 35 fixed to the casing 21. . Therefore, when the bolt 31 is rotated as shown by arrow B, the bolt 31 moves in the axial direction by the lead action of the screw, whereby the seal ring 25 connected to the bolt 31 can move in the axial direction.
【００３７】次に作用を説明する。このターボ分子ポン
プでは、ねじ溝ロータ部２４とシールリング２５の互い
に対向する部分をテーパ状に形成し、ボルト３１の操作
によってシールリングを軸方向に移動させることによ
り、ねじ溝ロータ部２４とシールリング２５との間の隙
間Ｈを調整できるようにしているので、運転時間の経過
や運転条件などによってねじ溝ロータ部２４のひずみが
大きくなって前記隙間Ｈが狭くなった場合に、隙間Ｈを
適正値に広げることができる。従って、動翼５の変形に
よるシールリング２５との接触事故を回避することがで
き、ターボ分子ポンプの寿命を延ばすことができる。Next, the operation will be described. In this turbo molecular pump, portions of the thread groove rotor portion 24 and the seal ring 25 facing each other are formed in a taper shape, and the seal ring is moved in the axial direction by the operation of the bolt 31, whereby the thread groove rotor portion 24 and the seal ring 25 are sealed. Since the gap H between the ring 25 and the ring 25 can be adjusted, when the strain of the thread groove rotor portion 24 becomes large and the gap H becomes narrow due to the passage of operating time or operating conditions, the gap H becomes smaller. It can be expanded to an appropriate value. Therefore, a contact accident with the seal ring 25 due to the deformation of the moving blade 5 can be avoided, and the life of the turbo molecular pump can be extended.
【００３８】また、接触回避できることから、動翼５温
度の上昇限界を引き上げることができ、結果的にガス負
荷量の増加が可能になる。また、ポンプ使用開始の初期
の段階でのクリープひずみの大きい耐高温材料を動翼材
料として使用することが可能になるため、使用温度範囲
の拡大が可能になり、その点からも最大ガス負荷量の増
大が図れる。また、動翼５の変形の問題にばかりでな
く、動翼５に対する反応生成物の堆積によって隙間が狭
くなる現象にも対応でき、メンテナンス周期を延ばすこ
とができるし、固形物の付着による接触事故も回避する
ことができる。さらに、ねじ溝ロータ部２４とシールリ
ング２５間の隙間の管理がケーシング２１外部から可能
であることから、ポンプ性能の調整もできるし、隙間Ｈ
を最適に調整することで、高性能な状態を長く維持する
こともできる。Further, since contact can be avoided, the temperature rise limit of the moving blade 5 can be raised, and as a result, the gas load amount can be increased. Also, since it is possible to use high-temperature resistant material with large creep strain at the initial stage of pump use as a blade material, it is possible to expand the operating temperature range, and from that point also the maximum gas load amount can be increased. Can be increased. Further, not only the problem of the deformation of the moving blade 5 but also the phenomenon that the clearance is narrowed due to the accumulation of the reaction product on the moving blade 5, the maintenance cycle can be extended, and the contact accident due to the adhesion of the solid matter Can also be avoided. Furthermore, since the clearance between the thread groove rotor portion 24 and the seal ring 25 can be controlled from outside the casing 21, the pump performance can be adjusted and the clearance H can be adjusted.
By optimally adjusting, it is possible to maintain a high performance state for a long time.
【００３９】なお、前記ボルト３１を回す操作は、手動
で行ってもよいが、モータ等で行ってもよい。モータで
行う場合、ギヤとサーボモータを組み合わせることで、
調整作業が正確にできるようになる。The operation of rotating the bolt 31 may be performed manually, but may be performed by a motor or the like. When using a motor, by combining the gear and servo motor,
The adjustment work can be done accurately.
【００４０】また、シールリング２５を軸方向に移動さ
せる方法として、シールリング２５の下面にネジ孔を設
け、軸部材として、頭部をケーシング２１外に出したボ
ルトを使用し、ボルトの先端をシールリングのネジ孔に
ねじ込むと共に、ボルトをケーシングに対し軸方向移動
不能且つ回転可能に組み付ける構造を採用することもで
きる。その場合は、軸方向に移動不能に保持されたボル
トを回すと、それにネジ結合されたシールリング（これ
は回転しないことから）を軸方向に移動させることがで
きる。As a method of moving the seal ring 25 in the axial direction, a screw hole is provided on the lower surface of the seal ring 25, and a bolt whose head is outside the casing 21 is used as the shaft member. It is also possible to employ a structure in which the bolt is screwed into the screw hole of the seal ring, and the bolt is attached to the casing so as to be immovable in the axial direction and rotatable. In that case, turning a bolt, which is held immovably in the axial direction, allows the sealing ring, which is screwed to it (since it does not rotate), to be moved in the axial direction.
【００４１】また、回転操作によらずに、直接シールリ
ングに連結した軸部材を、シリンダ機構等により軸方向
にスライドさせることでも、シールリングを移動させる
ことができる。Further, the seal ring can be moved by sliding the shaft member directly connected to the seal ring in the axial direction by a cylinder mechanism or the like instead of rotating the seal ring.
【００４２】また、シールリング２５の移動により隙間
調整するタイミングを計るために、ねじ溝ロータ部２４
とシールリング２５間の隙間Ｈを、渦電流式等のギャッ
プセンサで計測し、そのデータに基づいてシールリング
２５の移動制御を行ってもよいし、ポンプの吸気口の圧
力変動から前記隙間Ｈの減少を間接的に推定して、シー
ルリング２５の移動制御を行ってもよい。また、ポンプ
の運転時間と使用条件とに基づいて経験的に隙間調整の
タイミングを決めてもよい。Further, in order to measure the timing for adjusting the clearance by moving the seal ring 25, the thread groove rotor portion 24
The gap H between the seal ring 25 and the seal ring 25 may be measured by a gap sensor such as an eddy current type, and the movement of the seal ring 25 may be controlled based on the data. May be indirectly estimated to control the movement of the seal ring 25. Further, the timing of the gap adjustment may be empirically determined based on the operating time of the pump and the usage conditions.
【００４３】また、上記実施形態では、前記隙間調整の
ためのシールリング２５の移動を、ケーシング２１の外
部からボルト３１を回すことで行えるようにした場合を
説明したが、ケーシング２１内にシールリング２５の移
動操作手段を内蔵しておき、その移動操作手段を操作し
て行ってもよいし、ポンプを分解してシム調整等の方法
で行ってもよい。In the above embodiment, the seal ring 25 for adjusting the clearance is moved by rotating the bolt 31 from the outside of the casing 21. However, the seal ring is provided in the casing 21. 25 moving operation means may be built in and the moving operation means may be operated, or the pump may be disassembled to perform shim adjustment or the like.
【００４４】また、上記実施形態では、隙間調整をシー
ルリング２５の軸方向移動で行う場合についてのみ述べ
たが、動翼５側を軸方向移動することでも隙間調整を行
うことができる。Further, in the above embodiment, only the case where the clearance adjustment is performed by the axial movement of the seal ring 25 has been described, but the clearance adjustment can also be performed by axially moving the moving blade 5 side.
【００４５】また、テーパを付ける方向は逆でもよい
し、図２に示すように途中に段差４１を設けて径方向の
対向面を階段状に形成してもよい。また、テーパと併用
しないでも、径が漸減するよう階段状にするだけでもよ
い。また、図３に示すように母線が直線的なテーパの代
わりに、母線が凸曲線状の湾曲状テーパ面として形成し
てもよい。Further, the taper direction may be reversed, or a step 41 may be provided in the middle to form the radial facing surfaces in a stepwise manner as shown in FIG. Further, it may not be used in combination with the taper, but may be formed in a step shape so that the diameter is gradually reduced. Further, as shown in FIG. 3, the generatrix may be formed as a curved tapered surface having a convex curve, instead of the linear taper.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、ケーシング外部からの操作により、ロータの変
形によって狭くなったロータと静止壁間の隙間を広げる
ことができる。従って、隙間を適正に保つことができ
て、ロータの変形による静止壁との接触事故を回避する
ことができ、ターボ分子ポンプの寿命を延ばすことがで
きる。また、接触回避できることから、ロータ温度の上
昇限界を引き上げることができ、ガス負荷量の増加が可
能になる。また、ポンプ使用開始の初期の段階でのクリ
ープひずみの大きい耐高温材料を使用することが可能に
なり、耐高温材料の使用により、使用温度範囲の拡大が
可能になって、最大ガス負荷量を増やすことができる。
また、本発明は、反応生成物の堆積によって隙間が狭く
なる現象にも対応でき、メンテナンス周期を延ばすこと
ができるし、固形物の付着による接触事故も回避するこ
とができる。さらに、ロータと静止壁間の隙間の管理が
可能であるから、ポンプ性能の調整もできるし、隙間を
最適に調整することで、高性能な状態を維持することも
できる。As described above, according to the first aspect of the invention, the gap between the rotor and the stationary wall, which is narrowed due to the deformation of the rotor, can be widened by the operation from the outside of the casing. Therefore, the gap can be properly maintained, contact accident with the stationary wall due to deformation of the rotor can be avoided, and the life of the turbo molecular pump can be extended. Further, since the contact can be avoided, it is possible to raise the limit of increase in the rotor temperature and increase the gas load amount. In addition, it becomes possible to use high temperature resistant materials with large creep strain in the initial stage of pump use, and by using high temperature resistant materials, it is possible to expand the operating temperature range and increase the maximum gas load. You can increase.
Further, the present invention can cope with the phenomenon that the gap is narrowed due to the accumulation of the reaction product, the maintenance cycle can be extended, and the contact accident due to the adhesion of solid matter can be avoided. Furthermore, since the clearance between the rotor and the stationary wall can be controlled, the pump performance can be adjusted, and the optimum performance of the clearance can be maintained.
【００４７】請求項２の発明によれば、一番隙間の狭い
部分を管理するようにしたので、請求項１の効果を有効
に奏することができる。According to the second aspect of the invention, since the portion with the narrowest gap is managed, the effect of the first aspect can be effectively exhibited.
【００４８】請求項３の発明によれば、ロータ翼の変形
によって狭くなったねじ溝ロータ部とシールリング間の
隙間を広げることができる。従って、一番狭いねじ溝ロ
ータ部とシールリング間の隙間を適正に保つことができ
て、ロータの変形によるシールリングとの接触事故を回
避することができ、ターボ分子ポンプの寿命を延ばすこ
とができる。また、接触回避できることから、ロータ翼
温度の上昇限界を引き上げることができ、ガス負荷量の
増加が可能になる。また、ポンプ使用開始の初期の段階
でのクリープひずみの大きい耐高温材料をロータ翼の材
料として使用することが可能になり、耐高温材料の使用
により、使用温度範囲の拡大が可能になって、最大ガス
負荷量を増やすことができる。また、本発明は、反応生
成物の堆積によって隙間が狭くなる現象にも対応でき、
メンテナンス周期を延ばすことができるし、固形物の付
着による接触事故も回避することができる。さらに、ね
じ溝ロータ部とシールリング間の隙間の管理が可能であ
るから、ポンプ性能の調整もできるし、隙間を最適に調
整することで、高性能な状態を維持することもできる。According to the third aspect of the invention, it is possible to widen the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring which are narrowed by the deformation of the rotor blade. Therefore, the clearance between the narrowest thread groove rotor part and the seal ring can be appropriately maintained, contact accidents with the seal ring due to deformation of the rotor can be avoided, and the life of the turbo molecular pump can be extended. it can. Further, since contact can be avoided, it is possible to raise the limit of increase in rotor blade temperature and increase the gas load amount. In addition, it becomes possible to use a high temperature resistant material with large creep strain in the initial stage of pump use as a material for the rotor blade, and by using a high temperature resistant material, it is possible to expand the operating temperature range, The maximum gas load can be increased. Further, the present invention can cope with the phenomenon that the gap becomes narrow due to the accumulation of reaction products,
The maintenance cycle can be extended, and contact accidents due to the adherence of solid matter can be avoided. Furthermore, since the clearance between the thread groove rotor portion and the seal ring can be controlled, the pump performance can be adjusted, and the optimum performance of the clearance can be maintained.
【００４９】請求項４の発明によれば、移動機構によっ
てシールリングを軸方向移動させることで、簡単にねじ
溝ロータ部とシールリング間の隙間調整ができる。According to the fourth aspect of the invention, the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring can be easily adjusted by axially moving the seal ring by the moving mechanism.
【００５０】請求項５の発明によれば、ケーシング外部
から前記の隙間を調整することができる。According to the fifth aspect of the invention, the gap can be adjusted from the outside of the casing.
【００５１】請求項６の発明によれば、適切なタイミン
グで前記の隙間を調整することができる。According to the invention of claim 6, the gap can be adjusted at an appropriate timing.
【００５２】請求項７の発明によれば、ギャップセンサ
で直接隙間を検出するので、最適なタイミングで前記の
隙間を調整することができる。According to the seventh aspect of the invention, since the gap sensor directly detects the gap, it is possible to adjust the gap at an optimum timing.
【００５３】請求項８の発明によれば、ロータ翼の変形
によって狭くなったねじ溝ロータ部とシールリング間の
隙間を広げることで、一番狭いねじ溝ロータ部とシール
リング間の隙間を適正に保つことができ、ロータの変形
によるシールリングとの接触事故を回避することができ
て、ターボ分子ポンプの寿命を延ばすことができる。ま
た、接触回避できることから、ロータ翼温度の上昇限界
を引き上げることができ、ガス負荷量の増加が可能にな
る。また、ポンプ使用開始の初期の段階でのクリープひ
ずみの大きい耐高温材料をロータ翼の材料として使用す
ることが可能になり、耐高温材料の使用により、使用温
度範囲の拡大が可能になって、最大ガス負荷量を増やす
ことができる。また、本発明は、反応生成物の堆積によ
って隙間が狭くなる現象にも対応でき、メンテナンス周
期を延ばすことができるし、固形物の付着による接触事
故も回避することができる。さらに、ねじ溝ロータ部と
シールリング間の隙間の管理が可能であるから、ポンプ
性能の調整もできるし、隙間を最適に調整することで、
高性能な状態を維持することもできる。According to the invention of claim 8, the gap between the screw groove rotor portion and the seal ring narrowed due to the deformation of the rotor blade is widened, so that the narrowest gap between the screw groove rotor portion and the seal ring is properly adjusted. Therefore, it is possible to prevent contact accidents with the seal ring due to deformation of the rotor, and to extend the life of the turbo molecular pump. Further, since contact can be avoided, it is possible to raise the limit of increase in rotor blade temperature and increase the gas load amount. In addition, it becomes possible to use a high temperature resistant material with large creep strain in the initial stage of pump use as a material for the rotor blade, and by using a high temperature resistant material, it is possible to expand the operating temperature range, The maximum gas load can be increased. Further, the present invention can cope with the phenomenon that the gap is narrowed due to the accumulation of the reaction product, the maintenance cycle can be extended, and the contact accident due to the adhesion of solid matter can be avoided. Furthermore, since it is possible to manage the gap between the thread groove rotor part and the seal ring, the pump performance can be adjusted, and by adjusting the gap optimally,
It can also maintain high performance.
【００５４】請求項９の発明によれば、適切なタイミン
グで隙間調整できる。According to the invention of claim 9, the gap can be adjusted at an appropriate timing.
【００５５】請求項１０の発明によれば、吸気口の圧力
の変動を利用して適切なタイミングで隙間調整できる。According to the tenth aspect of the invention, the gap can be adjusted at an appropriate timing by utilizing the fluctuation of the pressure of the intake port.
【００５６】請求項１１の発明によれば、経験的な判断
により、特別な計測を行うことなく適切なタイミングで
隙間調整できる。According to the eleventh aspect of the invention, the gap can be adjusted at an appropriate timing by empirical judgment without performing special measurement.
【図１】 本発明の実施形態の要部概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a main part of an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の他の実施形態の要部概略断面図であ
る。FIG. 2 is a schematic sectional view of a main part of another embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の更に他の実施形態の要部概略断面図
である。FIG. 3 is a schematic sectional view of a main part of still another embodiment of the present invention.
【図４】 従来のターボ分子ポンプの概略構成を示す断
面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a schematic configuration of a conventional turbo molecular pump.
【図５】 図４のターボ分子ポンプの要部概略断面図で
ある。5 is a schematic cross-sectional view of a main part of the turbo molecular pump of FIG.
Ｐ ターボ分子ポンプ ＰＡ 軸流段部 ＰＢ ねじ溝段部 Ｈ 隙間 ５ 動翼（ロータ翼） １，２１ ケーシング １４，２４ ねじ溝ロータ部 １５，２５ シールリング ３１ ボルト（軸部材、移動機構） ３２ シール機構 P turbo molecular pump PA axial flow step PB thread groove step H gap 5 Moving blade (rotor blade) 1,21 casing 14,24 Thread groove rotor part 15,25 seal ring 31 bolts (shaft member, moving mechanism) 32 seal mechanism
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H022 AA01 BA02 CA32 CA48 CA50 CA56 DA08 DA09 3H031 DA01 DA02 DA07 EA08 EA12 EA14 EA15 EA16 FA01 FA31 FA32 3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08 BB11 CC04 DD05 DD26 DD28 DD30 EE09 EE13 EE15 EE18Continued front page F-term (reference) 3H022 AA01 BA02 CA32 CA48 CA50 CA56 DA08 DA09 3H031 DA01 DA02 DA07 EA08 EA12 EA14 EA15 EA16 FA01 FA31 FA32 3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08 BB11 CC04 DD05 DD26 DD28 DD30 EE09 EE13 EE15 EE18
Claims (11)
を確保した状態でロータを配置し、該ロータを高速回転
させることにより真空排気するターボ分子ポンプにおい
て、 前記ロータと静止壁との間の隙間をケーシング外部から
調整する隙間調整手段を設けたことを特徴とするターボ
分子ポンプ。1. A turbo molecular pump in which a rotor is arranged in a state where a predetermined gap is secured with respect to a stationary wall on the casing side, and the rotor is rotated at a high speed to evacuate the rotor. A turbo molecular pump comprising a gap adjusting means for adjusting the gap from the outside of the casing.
タ翼よりなる軸流段部と、ねじ溝ロータ部とそれに対向
するシールリングよりなるねじ溝段部とが設けられてお
り、前記隙間が、前記ねじ溝ロータ部とシールリング間
の隙間であることを特徴とする請求項１記載のターボ分
子ポンプ。2. The casing is provided with an axial flow step portion including a rotor blade and a stator blade, and a screw groove step portion including a screw groove rotor portion and a seal ring facing the screw groove rotor portion, and the gap is provided. The turbo molecular pump according to claim 1, wherein a gap is provided between the thread groove rotor portion and the seal ring.
グ内に、前記吸気口側から排気口側に向けて順番に、ロ
ータ翼とステータ翼よりなる軸流段部と、ねじ溝ロータ
部とそれに対向するシールリングよりなるねじ溝段部と
が設けられ、前記ねじ溝ロータ部とシールリング間に所
定の隙間が確保されたターボ分子ポンプにおいて、 前記ねじ溝ロータ部とシールリングの前記隙間を介して
対向する部分の径を、それぞれ軸方向一方側から他方側
に向かうに従い漸減させると共に、ねじ溝ロータ部とシ
ールリングを軸方向に相対移動可能としたことを特徴と
するターボ分子ポンプ。3. A casing having a gas intake port and a gas exhaust port, and in order from the intake port side to the exhaust port side, an axial flow step portion including rotor blades and stator blades, and a thread groove rotor portion. In a turbo molecular pump in which a thread groove step portion composed of a seal ring facing it is provided and a predetermined gap is secured between the thread groove rotor portion and the seal ring, the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is A turbo molecular pump characterized in that the diameters of the portions facing each other are gradually reduced from one side in the axial direction toward the other side, and the thread groove rotor portion and the seal ring are relatively movable in the axial direction.
ーシングに組み込むと共に、該シールリングを軸方向に
移動させることで前記隙間を調整する移動機構を設けた
ことを特徴とする請求項３記載のターボ分子ポンプ。4. The seal ring according to claim 3, wherein the seal ring is incorporated in the casing so as to be movable in the axial direction, and a moving mechanism for adjusting the gap by moving the seal ring in the axial direction is provided. Turbo molecular pump.
ケーシング外部に突出する軸部材を連結すると共に、ケ
ーシング外部に前記移動機構として、前記軸部材を回転
操作または軸方向移動操作することで前記シールリング
を軸方向移動させる操作手段を設けたことを特徴とする
請求項４記載のターボ分子ポンプ。5. The seal is formed by connecting a shaft member protruding to the outside of the casing to the seal ring via a seal mechanism, and rotating or axially moving the shaft member as the moving mechanism outside the casing. The turbo molecular pump according to claim 4, further comprising an operating means for axially moving the ring.
グを計るために、前記ねじ溝ロータ部とシールリング間
の隙間の減少を直接または間接に検出する検出手段を設
けたことを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の
ターボ分子ポンプ。6. A detection means for directly or indirectly detecting a decrease in the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring in order to measure the timing of moving the seal ring. The turbo molecular pump according to any one of items 1 to 5.
シールリング間の隙間を直接計測するギャップセンサを
設けたことを特徴とする請求項６に記載のターボ分子ポ
ンプ。7. The turbo-molecular pump according to claim 6, wherein a gap sensor for directly measuring a gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is provided as the detection means.
グ内に、前記吸気口側から排気口側に向けて順番に、ロ
ータ翼とステータ翼よりなる軸流段部と、ねじ溝ロータ
部とそれに対向するシールリングよりなるねじ溝段部と
が設けられ、前記ねじ溝ロータ部とシールリング間に所
定の隙間が確保されたターボ分子ポンプにおいて、 前記ねじ溝ロータ部とシールリングの前記隙間を介して
対向する部分の径を、それぞれ軸方向一方側から他方側
に向かうに従い漸減させ、シールリングを軸方向に相対
移動させることにより、前記ねじ溝ロータ部とシールリ
ング間の隙間を調整することを特徴とするターボ分子ポ
ンプの調整方法。8. A casing having a gas intake port and a gas exhaust port, and in order from the intake port side to the exhaust port side, an axial flow step portion including rotor blades and stator blades, and a thread groove rotor portion. In a turbo molecular pump in which a thread groove step portion composed of a seal ring facing it is provided and a predetermined gap is secured between the thread groove rotor portion and the seal ring, the gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is The diameters of the portions facing each other are gradually reduced from one side toward the other side in the axial direction, and the seal ring is relatively moved in the axial direction to adjust the clearance between the thread groove rotor portion and the seal ring. A method for adjusting a turbo molecular pump, characterized by:
隙間をギャップセンサで計測し、該ギャップセンサの検
出結果に基づいてシールリングを軸方向に相対移動させ
ることにより、ねじ溝ロータ部とシールリング間の隙間
を調整することを特徴とする請求項８記載のターボ分子
ポンプの調整方法。9. The gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is measured by a gap sensor, and the seal ring is relatively moved in the axial direction based on the detection result of the gap sensor, whereby the thread groove rotor portion and the seal ring are sealed. 9. The method of adjusting a turbo molecular pump according to claim 8, wherein the gap between the rings is adjusted.
の検出結果に基づいてシールリングを軸方向に相対移動
させることにより、ねじ溝ロータ部とシールリング間の
隙間を調整することを特徴とする請求項８記載のターボ
分子ポンプの調整方法。10. The gap between the thread groove rotor portion and the seal ring is adjusted by detecting a change in the pressure of the intake port and moving the seal ring relatively in the axial direction based on the detection result. The method for adjusting a turbo molecular pump according to claim 8.
件とに基づいて調整タイミングを決め、その決めたタイ
ミングでシールリングを軸方向に相対移動させることに
より、ねじ溝ロータ部とシールリング間の隙間を調整す
ることを特徴とする請求項８記載のターボ分子ポンプの
調整方法。11. The clearance between the thread groove rotor portion and the seal ring is determined by determining the adjustment timing based on the operating time of the turbo molecular pump and the operating conditions, and relatively moving the seal ring in the axial direction at the determined timing. 9. The method for adjusting a turbo molecular pump according to claim 8, wherein
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