JP2003275950A - ワイヤソーからのワーク引抜き方法 - Google Patents
ワイヤソーからのワーク引抜き方法Info
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Abstract
切断したワークをその切断面に著しい悪影響を与えるこ
となく前記ワイヤ群から引抜く。 【解決手段】 ガイドローラ24A,24B,…間に切
断用ワイヤWが巻回されることによりワイヤ群27が形
成され、このワイヤ群27に対してワーク28が切断送
りされるワイヤソーにおいて、そのワイヤ群27から切
断後のワーク28を引抜く方法。ワーク28を切断した
後、その切断時よりもワイヤWの張力を高くした状態で
ワーク28の引抜きを行うことにより、残留スラリに起
因するワーク切断面の損傷等を防ぐ。
Description
り構成されたワイヤ群に対して半導体インゴット等のワ
ークを切込み送りすることにより当該ワークを切断する
ワイヤソーにおいて、その切断後に前記ワイヤ群からワ
ークを引抜く技術に関するものである。
り出す手段等として、ワイヤソーが知られている。この
ワイヤソーでは、例えば特開2001−232550号
公報に示されるように、複数のガイドローラの周囲に切
断用ワイヤが多数回巻かれることによりワイヤ群が形成
されており、その切断用ワイヤが軸方向に高速駆動さ
れ、かつ、スラリ(加工液)が適宜供給されながら前記
ワイヤ群に対してワークが切込み送りされることによ
り、このワークが各ワイヤ位置で同時に切断されるよう
にしたものである。
にその軸方向略全域にわたるスライスベースが固着さ
れ、このスライスベースが保持された状態でワーク全体
が切込み送りされ、前記スライスベースと反対の側から
切断用ワイヤにより切込まれる。そして、当該切断用ワ
イヤが前記スライスベースまで切込んだ後、ワーク送り
方向が逆転することにより、前記ワイヤソー群から切断
済ワークが引抜かれることとなる。
イヤに供給されるスラリは、例えば水に比べて粘度が高
く、切断終了後のワークに残存し易い。従って、この状
態でワークをワイヤ群から引抜くと、当該ワイヤ群から
ワーク切断面がダメージを受けて当該切断面にいわゆる
ソーマークが生じ易く、これによって品質を損ねる結果
を招く。
て取扱いが容易な水溶性スラリの使用が進められている
ため、前記ワーク引抜き時におけるダメージがより顕著
となるおそれがある。すなわち、前記水溶性スラリは油
性スラリに比べて砥粒と液成分とが分離し易いため、切
断終了後のワークから前記液成分が抜けることにより、
高粘度化したスラリがワークに残存し易く、その分ワー
ク切断面へのダメージが大きくなるおそれがある。
構成で、ワイヤソーのワイヤ群により切断したワークを
その切断面に著しい悪影響を与えることなく前記ワイヤ
群から引抜くことを目的とする。
究がなされた結果、ワイヤ群からのワークの引抜き時に
当該ワイヤ群を構成する切断用ワイヤの張力を高くする
ことにより、ワーク切断面への悪影響を抑制する効果が
得られることが判明した。その理由は、次のように推察
される。
は、前述のスラリの粘性やワーク切断面と切断用ワイヤ
との摩擦力により当該切断用ワイヤがワーク引抜き方向
に撓ませられる。そして、その撓み部分の凹み側(例え
ばワイヤが上側に撓む場合にはワイヤの下側)の空間に
スラリが溜まり易く、その撓みが大きいほどスラリの残
留量も大きくなる。従って、ワーク引抜時のワイヤ張力
が高いほど、前記ワイヤの撓みが抑えられ、スラリの残
留量が削減されて、当該スラリによるワーク切断面への
悪影響が抑制するものと考えられる。
と、ガイドローラその他のワイヤソー構成部品に対する
強度的負担が増え、また、これらの弾性変形により切断
精度が低下する不都合が生じる。
ものであり、切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲
に巻回されることによりワイヤ群が形成され、当該切断
用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当該切断用ワイヤ
にスラリが供給されながら前記ワイヤ群に対してワーク
が切込み送りされることにより、このワークが軸方向に
並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーにおい
て、前記ワークの切断後、その切断時よりも前記ワイヤ
群を構成する切断用ワイヤの張力を高めた状態で当該ワ
イヤ群からワークを引抜くものである。
用ワイヤの張力を比較的低く抑えてワイヤソー構成部品
の強度的負担や弾性変形を抑えながら、ワーク引抜き時
には切断用ワイヤの張力を高めることによってワーク切
断面への悪影響を抑えることができる。
イヤの引張強度やワイヤソー構成要素の強度、剛性等に
応じて適宜設定すればよい。一般には、ワイヤソーで適
用されるワイヤ張力範囲は25N〜28Nであり、その
場合には、引抜き時のワイヤ張力を30N〜40N程度
に設定することにより、ワイヤの切断やワイヤソー構成
要素の強度的負担等を抑えながら引抜き時におけるワイ
ヤ切断面保護の効果を享受することができる。
ドローラの周囲に巻回されることによりワイヤ群が形成
されるとともに、当該切断用ワイヤを軸方向に駆動する
ワイヤ駆動手段と、前記切断用ワイヤが軸方向に駆動さ
れ、かつ、当該切断用ワイヤにスラリが供給される状態
で前記ワイヤ群に対してワークを切込み送りすることに
より当該ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断
する切込み送り手段とを備えたワイヤソーにおいて、前
記ワイヤ群に対してワークを切込み送りすることにより
当該ワークを切断した後、逆方向にワークを移動させる
ことにより当該ワークを前記ワイヤ群から引抜くように
前記切込み送り手段を作動させる切込み送り制御手段
と、前記ワークの引抜き時に当該ワークの切断時よりも
前記ワイヤ群を構成する切断用ワイヤの張力を上昇させ
る張力制御手段とを備えたものである。
手段は、例えば、前記切断用ワイヤを前記ガイドローラ
に向けて繰り出すワイヤ繰出し手段と、前記ガイドロー
ラから前記切断用ワイヤを巻き取るワイヤ巻取り手段と
を含み、前記張力制御手段は、前記ワークの引抜き時に
前記ワークの切断時よりも前記ワイヤ張力が高くなるよ
うに前記ワイヤ巻取り手段の巻取り駆動力及び前記ワイ
ヤ繰出し手段による繰出し駆動力を調節するものが、好
適である。
巻取り駆動力を調節するだけの簡単な構成でワーク引抜
き時にのみワイヤ張力を高めることができる。
かるワイヤソーの全体構成を示したものである。
・巻取り装置10A,10B、ガイドプーリ12A,1
2B、ガイドプーリ14A,14B、ガイドプーリ16
A,16B、ワイヤ張力付与装置18A,18B、ガイ
ドプーリ22A,22B、及び4つのガイドローラ24
A,24B,26A,26Bを備えている。ガイドロー
ラ24A,24Bは互いに同じ高さ位置に配され、ガイ
ドローラ26A,26Bはそれぞれガイドローラ24
A,24Bの下方の位置に配されており、ガイドローラ
26Aが駆動モータ25によって回転駆動されるように
なっている。
Bは、切断用のワイヤWが巻かれるボビン9A,9B
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ11A,11
Bとを備えている。
ボビン9Aから繰り出されたワイヤWは、ガイドプーリ
12A,14A,16A、ワイヤ張力付与装置18Aの
プーリ20A、及びガイドプーリ22Aの順に掛けら
れ、さらにガイドローラ24A,24B,26B,26
Aの外周面に形成されたガイド溝に嵌め込まれながらこ
れらガイドローラの外側に多数回巻回された後、ガイド
プーリ22B、ワイヤ張力付与装置18Bのプーリ20
B、ガイドプーリ16B,14B,12Bの順に掛けら
れ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置10Bのボビン9
Bに巻き取られている。そして、駆動モータ25による
ガイドローラ26Aの回転駆動方向と、各ボビン駆動モ
ータ11A,11Bによるボビン9A,9Bの回転駆動
方向が正逆に切換えられることにより、ワイヤWがボビ
ン9Aから繰り出されてボビン9Bに巻き取られる状態
と、ワイヤWがボビン9Bから繰り出されてボビン9A
に巻き取られる状態とに切換えられるようになってい
る。
イドローラ24A,24Bの間に多数本のワイヤWが互
いに平行な状態で張られることによりワイヤ群27が形
成され、かつ、そのワイヤWが軸方向に往復駆動される
ようになっている。
は、揺動アーム19A,19Bの先端に前記プーリ20
A,20Bがそれぞれ取付けられ、かつ、図略のばねに
よって各プーリ20A,20Bが下向き(すなわち切断
用ワイヤWに張力を与える向き)に付勢されている。従
って、プーリ20A,20Bの位置が高いほどワイヤW
に高い張力が加えられていることになる。
ーク(例えば半導体インゴット)28を切込み方向及び
その逆方向に移動させる(図例では昇降させる)切込み
送り装置30が設けられている。この切込み送り装置3
0は、ワーク保持部32と、ワーク送りモータ34とを
備えている。
域にわたって図略のスライスベースが貼着され、そのス
ライスベース側が前記ワーク保持部32に保持される。
このワーク保持部32は、前記ワーク28をその軸方向
とワイヤ群27の幅方向(ワイヤ並び方向)とが合致す
る向きで保持する。ワーク送りモータ34は、図略のボ
ールネジとの組み合わせにより、前記ワーク保持部32
とワーク28とを一体に昇降させ、当該ワーク28を前
記ワイヤ群27に対して切込み送りする。
は4本に限られるものではなく、2本以上のガイドロー
ラの周囲に切断用ワイヤWが巻回され、かつ、そのうち
の2つのガイドローラの間に形成されたワイヤ群に対し
てワークが切込み送りされるものについて広く本発明の
適用が可能である。
離れた位置(ワイヤ軸方向に離れた位置)には、加工用
砥粒を含む加工液(スラリ)を供給するためのスラリ供
給部材36A,36Bが設けられている。これらのスラ
リ供給部材36A,36Bは、ホッパー状をなし、前記
ワイヤ群27に対してその幅方向全域にわたり上方から
スラリを流下させ、前記ワイヤ群27を構成する各ワイ
ヤWの表面に付着させるものである。このようなスラリ
供給を伴いながら、ワイヤ群27に対してワーク28が
下向きに切込み送りされることにより、このワーク28
がその軸方向に並ぶ多数の個所で同時切断され、これに
より多数枚のウェハが同時に切り出される。
類は特に問わないが、水溶性スラリは油性スラリに比べ
て取扱いが容易であり、しかも、前述のように砥粒と液
成分とが分離して液成分が抜けることにより高粘度化し
てワーク切断面に付着し易い傾向があるため、本発明に
はより有効である。この水溶性スラリとしては、例え
ば、グリコール及び水を主成分として界面活性剤、消泡
剤、粘度調整剤等が微量添加されたものが好適である。
0Bのボビン駆動モータ11A,11B及び切込み送り
装置30のワーク送りモータ34には、制御装置40が
接続されている。この制御装置40は、前記ボビン駆動
モータ11A,11Bの駆動トルク及び駆動速度を制御
するワイヤ駆動制御手段としての機能と、前記ワーク送
りモータ34を作動させてワイヤ群27に対するワーク
28の切込み送り及びワイヤ群27からのワーク28の
引抜き動作を制御する切込み制御手段としての機能を併
有するとともに、後述のようにボビン駆動モータ11
A,11Bの駆動トルク及び駆動速度を調節してワイヤ
張力を変化させる張力制御手段としての機能も有してい
る。
御動作について説明する。
A,11B及びメインモータ25を作動させて切断用ワ
イヤWの駆動を行わせる。ここで、ワイヤWがボビン9
Aから繰り出されてボビン9Bに巻き取られる向きに各
モータを作動させた場合には、ワイヤ繰出し・巻取り装
置10Aがワイヤ繰出し手段、ワイヤ繰出し・巻取り装
置10Bがワイヤ巻取り手段として機能し、逆にワイヤ
Wがボビン9Bから繰り出されてボビン9Aに巻き取ら
れる向きに各モータを作動させた場合には、ワイヤ繰出
し・巻取り装置10Bがワイヤ繰出し手段、ワイヤ繰出
し・巻取り装置10Aがワイヤ巻取り手段として機能す
る。
のみ駆動される場合にも適用可能であることはいうまで
もない。
スラリ供給装置36A,36BによるワイヤWへのスラ
リ供給とが行われた状態で、制御装置40は切込み送り
モータ34を作動させ、ワーク保持部32及びワーク2
8を一体に下降させて当該ワーク28をワイヤ群27に
対して切込み送りさせる。このとき、制御装置40は、
ワイヤ群27における切断用ワイヤWの張力が第1の目
標圧力となるように、具体的にはワイヤ張力付与装置1
8Aにおけるプーリ20Aが目標高さ位置に位置するよ
うに、ボビン9Bの回転駆動力すなわちワイヤ巻取り駆
動力と、ボビン9Aの回転駆動力すなわちワイヤ繰出し
駆動力の調節を行う。
れ、ワイヤ群27がワーク28の上面のスライスベース
にまで至った時点で制御装置40は切込み送りを停止さ
せ、さらに切込み送りモータ34を逆転させてワーク2
8をワイヤ群27から上方に引抜く。その際、ボビン9
Bの回転駆動力(すなわち巻取り駆動力)を高くし、か
つ、ボビン9Aの回転駆動力(すなわち繰出し駆動力)
を低くして(あるいはボビン9Aの回転駆動力を低くす
るのみで)、ボビン9B,9Aの駆動力差を拡大し、そ
の拡大によりワイヤ張力を切断時よりも高くする。これ
により、ワーク引抜き時におけるワイヤ群27でのワイ
ヤWの撓み(図例では上方への撓み)が抑制され、ひい
てはワーク切断面におけるスラリの残留量が削減され
て、当該残留スラリによるワーク切断面への悪影響(例
えばソーマークの発生)が有効に抑止される。
は前記のものに限られない。例えば、図1に示すワイヤ
張力付与装置18A,18Bの揺動アーム19A,19
Bを積極的に駆動してワイヤ張力を増減させるようにし
てもよい。
表に示す。
速度を適宜変化させて引抜き後のワーク切断面の状態を
調べた。その結果を次の表2に示す。
イヤ張力を高めることによってワーク切断面はより良好
に維持されることとなる。
ワークの引抜き時にワーク切断時よりもワイヤ張力を高
くするようにしたものであるので、簡単な構成で、ワイ
ヤソーのワイヤ群により切断したワークをその切断面に
著しい悪影響を与えることなく前記ワイヤ群から引抜く
ことができる効果がある。
構成図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 切断用ワイヤが複数のガイドローラの周
囲に巻回されることによりワイヤ群が形成され、当該切
断用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当該切断用ワイ
ヤにスラリが供給されながら前記ワイヤ群に対してワー
クが切込み送りされることにより、このワークが軸方向
に並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーにおい
て、前記ワークの切断後、その切断時よりも前記ワイヤ
群を構成する切断用ワイヤの張力を高めた状態で当該ワ
イヤ群からワークを引抜くことを特徴とするワイヤソー
からのワーク引抜き方法。 - 【請求項2】 切断用ワイヤが複数のガイドローラの周
囲に巻回されることによりワイヤ群が形成されるととも
に、当該切断用ワイヤを軸方向に駆動するワイヤ駆動手
段と、前記切断用ワイヤが軸方向に駆動され、かつ、当
該切断用ワイヤにスラリが供給される状態で前記ワイヤ
群に対してワークを切込み送りすることにより当該ワー
クを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断する切込み送
り手段とを備えたワイヤソーにおいて、前記ワイヤ群に
対してワークを切込み送りすることにより当該ワークを
切断した後、逆方向にワークを移動させることにより当
該ワークを前記ワイヤ群から引抜くように前記切込み送
り手段を作動させる切込み送り制御手段と、前記ワーク
の引抜き時に当該ワークの切断時よりも前記ワイヤ群を
構成する切断用ワイヤの張力を上昇させる張力制御手段
とを備えたことを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項3】 請求項2記載のワイヤソーにおいて、前
記ワイヤ駆動手段は、前記切断用ワイヤを前記ガイドロ
ーラに向けて繰り出すワイヤ繰出し手段と、前記ガイド
ローラから前記切断用ワイヤを巻き取るワイヤ巻取り手
段とを含み、前記張力制御手段は、前記ワークの引抜き
時に前記ワークの切断時よりも前記ワイヤ張力が高くな
るように前記ワイヤ巻取り手段の巻取り駆動力及び前記
ワイヤ繰出し手段による繰出し駆動力を調節することを
特徴とするワイヤソー。
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