JP2003264121A - Multilayer ceramic capacitor and its manufacturing method - Google Patents
Multilayer ceramic capacitor and its manufacturing methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器、通
信機器などに利用される積層セラミックコンデンサおよ
びその製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated ceramic capacitor used in various electronic devices, communication devices, etc., and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の積層セラミックコンデンサは図２
に示すようにセラミック製の誘電体内に誘電体層を介し
て複数の内部電極２が設けられ、この内部電極２は誘電
体層５の厚み方向において交互に誘電体層５の端面に引
き出されている。そして、一組の外部端面電極４に接続
されているという構成になっている。この製造方法とし
ては例えば、誘電体層のグリーンシートを作製する第１
工程と、このグリーンシートの表面に内部電極を形成す
る第２工程と、この内部電極を設けたグリーンシートを
積層する第３工程と、この積層体を切断・焼成する第４
工程と、この焼成体の一組の端面に外部端面電極を形成
する第５工程から構成されるものである。2. Description of the Related Art A conventional monolithic ceramic capacitor is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, a plurality of internal electrodes 2 are provided in a ceramic dielectric body via dielectric layers, and the internal electrodes 2 are alternately drawn out to the end surface of the dielectric layer 5 in the thickness direction of the dielectric layer 5. There is. Then, it is configured to be connected to a set of external end face electrodes 4. As this manufacturing method, for example, a first method of manufacturing a green sheet of a dielectric layer
Steps, a second step of forming internal electrodes on the surface of the green sheet, a third step of stacking the green sheets provided with the internal electrodes, and a fourth step of cutting and firing the stacked body.
And a fifth step of forming external end face electrodes on a pair of end faces of this fired body.
【０００３】上記誘電体層５の材料としてはアルミナを
主成分としたガラスセラミック等が用いられるが、近年
の高容量化の要望に応えるため上記材料よりも誘電率の
高い材料が検討されてきた。As a material for the dielectric layer 5, a glass ceramic or the like containing alumina as a main component is used, and a material having a higher dielectric constant than the above materials has been studied in order to meet the recent demand for higher capacity. .
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ここで上記積層セラミ
ックコンデンサの構成において誘電体層５の誘電率を上
げるにしたがい次の問題点が顕著となってくる。Here, as the dielectric constant of the dielectric layer 5 is increased in the structure of the above-mentioned laminated ceramic capacitor, the following problems become remarkable.
【０００５】すなわち、誘電率の高い誘電体層５が外部
端面電極４と接しているために外部端面電極４間に発生
する容量結合が、特に、高周波における電気特性の低下
を引き起こすという問題点があった。That is, since the dielectric layer 5 having a high dielectric constant is in contact with the external end face electrode 4, the capacitive coupling generated between the external end face electrodes 4 causes a decrease in electrical characteristics especially at high frequencies. there were.
【０００６】また、誘電率の高い誘電体層５であるので
その厚みのばらつきが積層セラミックコンデンサとして
の容量ばらつきに大きく影響してしまうという問題点が
あった。Further, since it is the dielectric layer 5 having a high dielectric constant, there is a problem that the variation in the thickness thereof greatly affects the variation in the capacitance of the laminated ceramic capacitor.
【０００７】そこで本発明は、高周波における電気特性
が向上し、容量のばらつきが低減した積層セラミックコ
ンデンサを提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a monolithic ceramic capacitor having improved electric characteristics at high frequencies and reduced variation in capacitance.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載の発明は、特に、内部電極に
挟まれた誘電体のみが高誘電体層であることを特徴とす
る積層セラミックコンデンサであり、高誘電体層と外部
端面電極が非接触なので、端面電極間の容量結合を低減
できるという作用を有する。In order to achieve this object, the invention according to claim 1 of the present invention is characterized in that only the dielectric material sandwiched between the internal electrodes is a high dielectric material layer. In this case, since the high dielectric layer and the external end face electrodes are not in contact with each other, there is an effect that capacitive coupling between the end face electrodes can be reduced.
【０００９】本発明の請求項２に記載の発明は、高誘電
体層の厚みばらつきが２０％以下である請求項１に記載
の積層セラミックコンデンサであり、容量ばらつきが低
減できるという作用を有する。The invention according to claim 2 of the present invention is the monolithic ceramic capacitor according to claim 1 in which the thickness variation of the high dielectric layer is 20% or less, and has an effect of reducing the capacitance variation.
【００１０】本発明の請求項３に記載される発明は、低
誘電体のグリーンシートを作製する第１工程と、第１工
程で得られたグリーンシートの表面に内部電極を形成す
る第２工程と、前記内部電極の、次工程で内部電極を形
成する表面に高誘電体層を形成する第３工程と、少なく
とも前記高誘電体層の表面に内部電極を形成する第４工
程と、第４工程で得られたグリーンシートと第１工程で
得られたグリーンシートを順次積層する第５工程と、第
５工程で得られた積層体を切断・焼成する第６工程と、
第６工程で得られた積層体の端面に内部電極と電気的導
通を有する外部端面電極を形成する第７工程で少なくと
も構成された積層セラミックコンデンサの製造方法であ
り、高誘電体層と外部端面電極が非接触なので、外部端
面電極間の容量結合を低減できるという作用を有する。The invention described in claim 3 of the present invention is the first step of producing a low dielectric green sheet, and the second step of forming internal electrodes on the surface of the green sheet obtained in the first step. A third step of forming a high dielectric layer on the surface of the internal electrode where the internal electrode will be formed in the next step; a fourth step of forming an internal electrode on at least the surface of the high dielectric layer; A fifth step of sequentially laminating the green sheet obtained in the step and the green sheet obtained in the first step, and a sixth step of cutting and firing the laminated body obtained in the fifth step,
A multilayer ceramic capacitor manufacturing method comprising at least a seventh step of forming an external end surface electrode having electrical continuity with an internal electrode on the end surface of the multilayer body obtained in the sixth step, the high dielectric layer and the external end surface. Since the electrodes are not in contact with each other, there is an effect that capacitive coupling between the external end face electrodes can be reduced.
【００１１】本発明の請求項４に記載される発明は、低
誘電体のグリーンシートを作製する第１工程と、第１工
程で得られたグリーンシートの表面に内部電極を形成す
る第２工程と、第２工程で得られたグリーンシートをプ
レスする第３工程と、前記内部電極の、次工程で内部電
極を形成する表面に高誘電体層を形成する第４工程と、
第４工程で得られたグリーンシートをプレスする第５工
程と、少なくとも前記高誘電体層の表面に内部電極を形
成する第６工程と、第６工程で得られたグリーンシート
と第１工程で得られたグリーンシートを順次積層する第
７工程と、第７工程で得られた積層体を切断・焼成する
第８工程と、第８工程で得られた積層体の端面に前記内
部電極と電気的導通を有する外部端面電極を形成する第
９工程で少なくとも構成された積層セラミックコンデン
サの製造方法であり、プレスすることにより高誘電体層
の厚みばらつきが低減でき、その結果容量ばらつきが低
減できるという作用を有する。According to a fourth aspect of the present invention, the first step of producing a low dielectric green sheet and the second step of forming internal electrodes on the surface of the green sheet obtained in the first step A third step of pressing the green sheet obtained in the second step, and a fourth step of forming a high dielectric layer on the surface of the internal electrode where the internal electrode will be formed in the next step,
The fifth step of pressing the green sheet obtained in the fourth step, the sixth step of forming internal electrodes on at least the surface of the high dielectric layer, the green sheet obtained in the sixth step and the first step A seventh step of sequentially laminating the obtained green sheets, an eighth step of cutting and firing the laminated body obtained in the seventh step, and the internal electrodes and the electric electrodes on the end faces of the laminated body obtained in the eighth step. It is a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor including at least a ninth step of forming an external end face electrode having electrical continuity, wherein pressing can reduce thickness variation of the high dielectric layer, resulting in reduction of capacitance variation. Have an effect.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の積層セラミックコ
ンデンサおよびその製造方法について一実施の形態およ
び図面を用いて説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A monolithic ceramic capacitor and a method for manufacturing the same of the present invention will be described below with reference to an embodiment and drawings.
【００１３】まず、本発明の一実施の形態における積層
セラミックコンデンサの製造方法について示す。第１工
程として、フォルステライト粉末にガラス粉末、酸化銅
粉末を配合した粉末に酢酸ブチル、ブタノール、ブチラ
ール樹脂、可塑剤を混合して得られたスラリーからドク
ターブレード法を用いて低誘電体１のグリーンシートを
作製する。第２工程として、第１工程で得られたグリー
ンシートに銀ペーストを印刷、乾燥して内部電極２を形
成する。次に第３工程として、第２工程で得られたグリ
ーンシートをプレスする。次に第４工程として、第３工
程で得られたグリーンシートにチタン酸バリウム系ペー
ストを印刷、乾燥して高誘電体層３を形成する。次に第
５工程として、第４工程で得られたグリーンシートをプ
レスする。第５工程で得られたグリーンシートに銀ペー
ストを印刷、乾燥して内部電極２を形成する。第７工程
として、第６工程で得られたグリーンシートに第１工程
で得られたグリーンシートを順次積層してコンデンサを
形成する。次に第８工程として、第７工程で得られた積
層体を個片に切断後、９００℃で焼成する。次に第９工
程として、第８工程で得られた積層体の端面に前記内部
電極と電気的導通を有する外部端面電極４を形成する。First, a method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention will be described. In the first step, a slurry obtained by mixing forsterite powder with glass powder and copper oxide powder with butyl acetate, butanol, butyral resin, and a plasticizer was used to prepare a low dielectric substance 1 using a doctor blade method. Make a green sheet. As a second step, the silver paste is printed on the green sheet obtained in the first step and dried to form the internal electrodes 2. Next, as the third step, the green sheet obtained in the second step is pressed. Next, as a fourth step, a barium titanate-based paste is printed on the green sheet obtained in the third step and dried to form the high dielectric layer 3. Next, as a fifth step, the green sheet obtained in the fourth step is pressed. The silver paste is printed on the green sheet obtained in the fifth step and dried to form the internal electrodes 2. As a seventh step, the green sheet obtained in the first step is sequentially laminated on the green sheet obtained in the sixth step to form a capacitor. Next, as an eighth step, the laminated body obtained in the seventh step is cut into individual pieces and baked at 900 ° C. Next, as a ninth step, the outer end surface electrode 4 having electrical continuity with the internal electrode is formed on the end surface of the laminated body obtained in the eighth step.
【００１４】以上の製造方法により一実施の形態による
積層セラミックコンデンサを作製した。A monolithic ceramic capacitor according to one embodiment was manufactured by the above manufacturing method.
【００１５】得られた積層セラミックコンデンサは、図
１に示すように、フォルステライトを主成分とした低誘
電体１と銀を主成分とした内部電極２とチタン酸バリウ
ムを主成分とした高誘電体層３と銀を主成分とした内部
電極２を交互に積層した積層型のセラミックコンデンサ
と、銀を主成分とした外部端面電極４という構造を有す
る。As shown in FIG. 1, the obtained monolithic ceramic capacitor comprises a low dielectric substance 1 containing forsterite as a main component, an internal electrode 2 containing silver as a main component, and a high dielectric component containing barium titanate as a main component. It has a structure of a laminated ceramic capacitor in which body layers 3 and internal electrodes 2 containing silver as a main component are alternately laminated, and an external end face electrode 4 containing silver as a main component.
【００１６】次に比較例として、上記製造方法において
チタン酸バリウム系ペーストや、Ａｇペーストを印刷、
乾燥後のプレス工程を省いた方法に本実施の形態と同じ
容量の積層セラミックコンデンサを作製した。これらの
積層セラミックコンデンサの伝送特性を図３に比較して
示す。Next, as a comparative example, a barium titanate-based paste or an Ag paste was printed in the above manufacturing method,
A laminated ceramic capacitor having the same capacity as that of the present embodiment was produced by a method omitting the pressing step after drying. The transmission characteristics of these monolithic ceramic capacitors are shown in comparison with FIG.
【００１７】図３によれば、本実施の形態の方が高周波
において伝送特性が優れていることがわかる。また、こ
れらの積層セラミックコンデンサの厚みばらつき、容量
ばらつきを（表１）に比較して示す。なお、サンプル数
は各１０個であり、容量値はその平均値を示した。It can be seen from FIG. 3 that the transmission characteristic of this embodiment is better at high frequencies. Further, variations in thickness and capacitance of these monolithic ceramic capacitors are shown in comparison with (Table 1). The number of samples was 10, and the capacitance value was the average value.
【００１８】[0018]
【表１】 [Table 1]
【００１９】（表１）によれば、本実施の形態の厚みば
らつき、容量ばらつきが、比較例に比べて、低減してい
ることがわかる。From Table 1, it can be seen that the thickness variation and the capacitance variation of this embodiment are reduced as compared with the comparative example.
【００２０】なお、以上の説明では、低誘電体の材料と
してフォルステライトを用いたが他にアルミナなどを主
成分としたガラスセラミックスや、ＮｉＺｎＣｕ系フェ
ライト、ＣｕＺｎ系フェライトなどを用いても同様な効
果が得られる。In the above description, forsterite was used as the low dielectric material, but the same effect can be obtained by using glass ceramics containing alumina as a main component, NiZnCu-based ferrite, CuZn-based ferrite, or the like. Is obtained.
【００２１】また、高誘電体層３の材料として酸化チタ
ンなどの他の高誘電体材料を用いても同様な効果が得ら
れる。The same effect can be obtained by using another high dielectric material such as titanium oxide as the material of the high dielectric layer 3.
【００２２】また、内部電極２の主成分として銅、ニッ
ケルなどの他の金属を用いても同様な効果が得られる。The same effect can be obtained by using another metal such as copper or nickel as the main component of the internal electrode 2.
【００２３】また、外部端面電極４を他の金属の組合せ
で形成しても同様な効果が得られる。The same effect can be obtained by forming the external end face electrode 4 with a combination of other metals.
【００２４】また、高誘電体層３もしくは内部電極２の
形成方法として転写などの他の工法としても同様な効果
が得られる。The same effect can be obtained by using another method such as transfer as the method of forming the high dielectric layer 3 or the internal electrode 2.
【００２５】また、焼成温度は、使用する材料の焼結温
度に依存して適用される。The firing temperature is applied depending on the sintering temperature of the material used.
【００２６】また、第３工程のプレスする工法の代わり
に、低誘電体１のグリーンシートの高誘電体層３を印刷
する部分を印刷前に凹めた後印刷するという工法など、
他の工法としても同様な効果が得られる。Further, instead of the pressing method of the third step, a method of denting the portion of the green sheet of the low dielectric material 1 where the high dielectric layer 3 is printed before printing and then printing
Similar effects can be obtained with other construction methods.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上の様に本発明は、複数のセラミック
誘電体層と、前記複数のセラミック誘電体層の間にその
取出部の配置が交互になるように配設された内部電極
と、前記取出部と電気的導通を有する外部端面電極を具
備する積層セラミックコンデンサであって、対向する前
記内部電極に挟まれた誘電体のみが高誘電体層であるこ
とを特徴とする積層セラミックコンデンサであり、内部
電極に挟まれた誘電体のみが高誘電体層であることによ
り高誘電体層と外部端面電極が非接触とすることがで
き、その結果端面電極間の容量結合を低減できるという
作用を有するものである。As described above, according to the present invention, a plurality of ceramic dielectric layers and internal electrodes arranged so that the lead-out portions are alternately arranged between the plurality of ceramic dielectric layers, A monolithic ceramic capacitor comprising an external end face electrode having electrical continuity with the extraction portion, wherein the dielectric sandwiched between the opposing internal electrodes is a high dielectric layer. Since the high dielectric layer is the only dielectric material sandwiched between the internal electrodes, the high dielectric layer and the external end face electrodes can be in non-contact with each other, and as a result, the capacitive coupling between the end face electrodes can be reduced. Is to have.
【図１】本発明の一実施の形態による積層セラミックコ
ンデンサの断面図FIG. 1 is a sectional view of a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来の積層セラミックコンデンサの断面図FIG. 2 is a sectional view of a conventional monolithic ceramic capacitor.
【図３】本発明の一実施の形態および比較例の伝送特性
図FIG. 3 is a transmission characteristic diagram of an embodiment of the present invention and a comparative example.
１ 低誘電体 ２ 内部電極 ３ 高誘電体層 ４ 外部端面電極 ５ 誘電体層 1 Low dielectric 2 internal electrodes 3 High dielectric layer 4 External end face electrode 5 Dielectric layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 犬塚 敦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5E082 AB03 BC14 BC38 FF13 FG06 FG26 FG54 GG10 JJ03 JJ23 LL01 LL02 LL03 MM22 MM24 PP09 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Atsushi Inuzuka 1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric Sangyo Co., Ltd. F term (reference) 5E082 AB03 BC14 BC38 FF13 FG06 FG26 FG54 GG10 JJ03 JJ23 LL01 LL02 LL03 MM22 MM24 PP09
Claims (4)
のセラミック誘電体層の間にその取出部の配置が交互に
なるように配設された内部電極と、前記取出部と電気的
導通を有する外部端面電極を具備する積層セラミックコ
ンデンサであって、対向する前記内部電極に挟まれた誘
電体のみが高誘電体層であることを特徴とする積層セラ
ミックコンデンサ。1. A plurality of ceramic dielectric layers, an internal electrode arranged between the plurality of ceramic dielectric layers such that the lead-out portions are arranged alternately, and an electrical connection with the lead-out portions. A monolithic ceramic capacitor comprising an external end face electrode having the above, wherein only the dielectric material sandwiched between the opposing internal electrodes is a high dielectric layer.
である請求項１に記載の積層セラミックコンデンサ。2. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the thickness variation of the high dielectric layer is 20% or less.
１工程と、第１工程で得られたグリーンシートの表面に
内部電極を形成する第２工程と、前記内部電極の、次工
程で内部電極を形成する表面に高誘電体層を形成する第
３工程と、少なくとも前記高誘電体層の表面に内部電極
を形成する第４工程と、第４工程で得られたグリーンシ
ートと第１工程で得られたグリーンシートを順次積層す
る第５工程と、第５工程で得られた積層体を切断・焼成
する第６工程と、第６工程で得られた積層体の端面に前
記内部電極と電気的導通を有する外部端面電極を形成す
る第７工程で少なくとも構成された積層セラミックコン
デンサの製造方法。3. A first step of producing a low dielectric green sheet, a second step of forming an internal electrode on the surface of the green sheet obtained in the first step, and an internal step in the next step of the internal electrode. Third step of forming a high dielectric layer on the surface on which electrodes are formed, fourth step of forming internal electrodes on at least the surface of the high dielectric layer, green sheet obtained in the fourth step, and first step A fifth step of sequentially laminating the green sheets obtained in step 5, a sixth step of cutting and firing the laminated body obtained in the fifth step, and the internal electrode on the end face of the laminated body obtained in the sixth step. A method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor including at least the seventh step of forming an external end face electrode having electrical continuity.
１工程と、第１工程で得られたグリーンシートの表面に
内部電極を形成する第２工程と、第２工程で得られたグ
リーンシートをプレスする第３工程と、前記内部電極
の、次工程で内部電極を形成する表面に高誘電体層を形
成する第４工程と、第４工程で得られたグリーンシート
をプレスする第５工程と、少なくとも前記高誘電体層の
表面に内部電極を形成する第６工程と、第６工程で得ら
れたグリーンシートと第１工程で得られたグリーンシー
トを順次積層する第７工程と、第７工程で得られた積層
体を切断・焼成する第８工程と、第８工程で得られた積
層体の端面に前記内部電極と電気的導通を有する外部端
面電極を形成する第９工程で少なくとも構成された積層
セラミックコンデンサの製造方法。4. A first step of producing a low dielectric green sheet, a second step of forming internal electrodes on the surface of the green sheet obtained in the first step, and a green sheet obtained in the second step. Pressing step, a fourth step of forming a high dielectric layer on the surface of the internal electrode where the internal electrode will be formed in the next step, and a fifth step of pressing the green sheet obtained in the fourth step. A sixth step of forming an internal electrode on at least the surface of the high dielectric layer, a seventh step of sequentially laminating the green sheet obtained in the sixth step and the green sheet obtained in the first step, At least in the eighth step of cutting and firing the laminate obtained in step 7, and in the ninth step of forming an external end face electrode electrically connected to the internal electrode on the end face of the laminate obtained in the eighth step. Configured monolithic ceramic capacitor Manufacturing method.
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|---|---|---|---|---|
| JP2015226026A (en) * | 2014-05-29 | 2015-12-14 | 太陽誘電株式会社 | Multilayer ceramic capacitor |
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2002
- 2002-03-12 JP JP2002066455A patent/JP2003264121A/en active Pending
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