JP2003240992A - 導波路素子および導波路デバイス - Google Patents
導波路素子および導波路デバイスInfo
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- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 曲がり導波路の最小曲率半径を十分小さく設
定することができるだけでなく、光ファイバとの接続部
分で光の結合損失が少ない導波路素子および導波路デバ
イスを得ること。 【解決手段】 アレイ導波路格子１０４を構成する基板
１２１上の曲がり導波路の部分１３１、１３２はマルチ
モード動作を行うコア径となっているが、導波路高さお
よび幅と限界曲率半径の関係を適切に組み合せ、高次モ
ードフィルタを構成している。このため、マルチモード
を前提として限界曲率半径を小さく設定しながら高次モ
ードーの光の伝播をカットオフし、シングルモードによ
る光の伝播を実現すると共に、光ファイバ１１１、１１
２との光の結合損失を小さくすることができる。
定することができるだけでなく、光ファイバとの接続部
分で光の結合損失が少ない導波路素子および導波路デバ
イスを得ること。 【解決手段】 アレイ導波路格子１０４を構成する基板
１２１上の曲がり導波路の部分１３１、１３２はマルチ
モード動作を行うコア径となっているが、導波路高さお
よび幅と限界曲率半径の関係を適切に組み合せ、高次モ
ードフィルタを構成している。このため、マルチモード
を前提として限界曲率半径を小さく設定しながら高次モ
ードーの光の伝播をカットオフし、シングルモードによ
る光の伝播を実現すると共に、光ファイバ１１１、１１
２との光の結合損失を小さくすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＡＷＧやマッハツェ
ンダ干渉計等の導波路素子に光ファイバを光学的に接続
してなる導波路デバイスに係り、特にこの光学的な接続
部分での光のロスを減少あるいは防止させるようにした
導波路デバイスに関する。
ンダ干渉計等の導波路素子に光ファイバを光学的に接続
してなる導波路デバイスに係り、特にこの光学的な接続
部分での光のロスを減少あるいは防止させるようにした
導波路デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】インターネットを始めとした通信ネット
ワークが爆発的に普及している。これに伴って、バック
ボーンと呼ばれる基幹伝送系に一層の高速大容量化の要
求が行われるようになっている。大容量化の有効な手法
として、異なった波長の光信号を高密度で多重化するＤ
ＷＤＭ（Dense Wavelength Division Multiplexing：高
密度波長分割多重通信方式）が利用されている。高密度
波長分割多重通信方式では、光を合分波するＡＷＧ（Ar
rayed Waveguide Grating：アレイ導波路格子）等のよ
うに光信号を処理する導波路デバイスが数多く使用され
る。このような導波路デバイスは、光導波路に光ファイ
バを接続して光の入力や出力を行うようになっている。
ワークが爆発的に普及している。これに伴って、バック
ボーンと呼ばれる基幹伝送系に一層の高速大容量化の要
求が行われるようになっている。大容量化の有効な手法
として、異なった波長の光信号を高密度で多重化するＤ
ＷＤＭ（Dense Wavelength Division Multiplexing：高
密度波長分割多重通信方式）が利用されている。高密度
波長分割多重通信方式では、光を合分波するＡＷＧ（Ar
rayed Waveguide Grating：アレイ導波路格子）等のよ
うに光信号を処理する導波路デバイスが数多く使用され
る。このような導波路デバイスは、光導波路に光ファイ
バを接続して光の入力や出力を行うようになっている。
【０００３】光ファイバ通信ではシングルモードファイ
バとマルチモードファイバが使用されている。マルチモ
ードファイバはコア径が大きく、多数の光線の軌跡が存
在する。これに対してシングルモード光ファイバの場合
には、軌跡が１つ（偏波を考慮すると２つ）である。各
モードは異なる伝播速度を持つ。このためマルチモード
ファイバでは、信号のエネルギーが速度の異なる多数の
モードに分散され、受信側で到達時間がばらつくことに
よって信号に歪みが生じる。シングルモードファイバの
場合にはこのようなマルチモード分散が存在せず、高品
位の情報伝送が可能である。このような理由から、長距
離回線には、シングルモードファイバが用いられてい
る。
バとマルチモードファイバが使用されている。マルチモ
ードファイバはコア径が大きく、多数の光線の軌跡が存
在する。これに対してシングルモード光ファイバの場合
には、軌跡が１つ（偏波を考慮すると２つ）である。各
モードは異なる伝播速度を持つ。このためマルチモード
ファイバでは、信号のエネルギーが速度の異なる多数の
モードに分散され、受信側で到達時間がばらつくことに
よって信号に歪みが生じる。シングルモードファイバの
場合にはこのようなマルチモード分散が存在せず、高品
位の情報伝送が可能である。このような理由から、長距
離回線には、シングルモードファイバが用いられてい
る。
【０００４】シングルモードファイバとの適合性が良好
なシングルモード導波路は、光通信システムの高速化、
多波長化が今後ますます進展するに従って重要性が増加
すると考えられている。このようなシングルモード導波
路は、小型で高性能な合分波多重器、変調器、分岐器、
結合器あるいは干渉計等の構成要素として重要な役割を
担っている。
なシングルモード導波路は、光通信システムの高速化、
多波長化が今後ますます進展するに従って重要性が増加
すると考えられている。このようなシングルモード導波
路は、小型で高性能な合分波多重器、変調器、分岐器、
結合器あるいは干渉計等の構成要素として重要な役割を
担っている。
【０００５】ところで、従来からシングルモード導波路
を設計する際には、直線導波路の断面構造に着目して、
各断面で光モードの解析を行って、複数のモードが励振
されないような設計条件を採用していた。光の進行方向
を変化させる曲がり導波路は、導波路デバイスの多機能
化に必要なものである。曲がり導波路は、小さな曲率半
径で曲げるほど短い伝播距離で光路を変換することがで
き、導波路デバイスの小型化に寄与することになる。し
かしながら、曲がり導波路の曲率半径が小さくなるほ
ど、曲がった箇所の外側の部分の光波がより多く放射さ
れてしまい失われてしまうという現象を生じる。これ
は、曲げ損失と呼ばれている。
を設計する際には、直線導波路の断面構造に着目して、
各断面で光モードの解析を行って、複数のモードが励振
されないような設計条件を採用していた。光の進行方向
を変化させる曲がり導波路は、導波路デバイスの多機能
化に必要なものである。曲がり導波路は、小さな曲率半
径で曲げるほど短い伝播距離で光路を変換することがで
き、導波路デバイスの小型化に寄与することになる。し
かしながら、曲がり導波路の曲率半径が小さくなるほ
ど、曲がった箇所の外側の部分の光波がより多く放射さ
れてしまい失われてしまうという現象を生じる。これ
は、曲げ損失と呼ばれている。
【０００６】前記したＡＷＧやマッハツェンダ干渉計は
このような曲がり導波路を必須とする導波路デバイスで
ある。したがって、これらの小型化には曲げ損失との関
係を留意しながら曲がり導波路の曲率半径をできるだけ
小さくする必要がある。
このような曲がり導波路を必須とする導波路デバイスで
ある。したがって、これらの小型化には曲げ損失との関
係を留意しながら曲がり導波路の曲率半径をできるだけ
小さくする必要がある。
【０００７】曲がり導波路の最小曲率半径は、コアとク
ラッドの比屈折率差と相関関係がある。すなわち、比屈
折率差が大きくなるほど最小曲率半径を小さくすること
ができる。曲率半径を５ｍｍ（ミリメートル）以下とす
るためには、比屈折率差を通常の光ファイバに比べて非
常に大きくすると共に、マルチモード励振を防止するた
めに導波路のコア径を小さくする必要がある。
ラッドの比屈折率差と相関関係がある。すなわち、比屈
折率差が大きくなるほど最小曲率半径を小さくすること
ができる。曲率半径を５ｍｍ（ミリメートル）以下とす
るためには、比屈折率差を通常の光ファイバに比べて非
常に大きくすると共に、マルチモード励振を防止するた
めに導波路のコア径を小さくする必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、導波路デバ
イスを構成する導波路のコア径を小さくしてしまうと、
光ファイバとの光学的な接続箇所で導波路のスポットサ
イズが光ファイバのスポットサイズよりも小さくなって
しまう。この結果、この箇所での光の結合損失が大きく
なるという問題が発生する。
イスを構成する導波路のコア径を小さくしてしまうと、
光ファイバとの光学的な接続箇所で導波路のスポットサ
イズが光ファイバのスポットサイズよりも小さくなって
しまう。この結果、この箇所での光の結合損失が大きく
なるという問題が発生する。
【０００９】導波路の比屈折率差を光ファイバのそれよ
りも大きくした状態でこのような問題の発生を避けよう
とすると、光ファイバとの接続部で導波路のコアのスポ
ット径を次第に変化させて接続部分で両者のスポット径
をほぼ一致させるという手法を採る必要がある。ところ
が、このようにすると、スポット径を次第に変化させる
領域を導波路側に新たに設けることになる。これによ
り、導波路部分が大型化するという新たな問題が発生す
る。
りも大きくした状態でこのような問題の発生を避けよう
とすると、光ファイバとの接続部で導波路のコアのスポ
ット径を次第に変化させて接続部分で両者のスポット径
をほぼ一致させるという手法を採る必要がある。ところ
が、このようにすると、スポット径を次第に変化させる
領域を導波路側に新たに設けることになる。これによ
り、導波路部分が大型化するという新たな問題が発生す
る。
【００１０】図６は、この問題を図解したものである。
この図に示す導波路デバイス２０１は、曲がり導波路２
０２を備えた導波路素子２０３と、その両接続部２０
４、２０５に光学的に接続する光ファイバ２０６、２０
７によって構成されている。曲がり導波路２０２はシン
グルモードなので、そのコアのスポット径はマルチモー
ドであると仮定した場合と比べると小さい。したがっ
て、光ファイバ２０６、２０７のスポット径と接続箇所
においてスポット径をほぼ一致させるための接続部２０
４、２０５の光軸方向の長さａ、ｂを比較的長くとる必
要がある。すなわち、曲がり導波路２０２のこの方向の
長さｃに長さａ、ｂを加えたものが導波路素子２０３の
一辺の長さとして最低限必要となり、長さａ、ｂの分だ
け導波路素子２０３が大型化してしまう。
この図に示す導波路デバイス２０１は、曲がり導波路２
０２を備えた導波路素子２０３と、その両接続部２０
４、２０５に光学的に接続する光ファイバ２０６、２０
７によって構成されている。曲がり導波路２０２はシン
グルモードなので、そのコアのスポット径はマルチモー
ドであると仮定した場合と比べると小さい。したがっ
て、光ファイバ２０６、２０７のスポット径と接続箇所
においてスポット径をほぼ一致させるための接続部２０
４、２０５の光軸方向の長さａ、ｂを比較的長くとる必
要がある。すなわち、曲がり導波路２０２のこの方向の
長さｃに長さａ、ｂを加えたものが導波路素子２０３の
一辺の長さとして最低限必要となり、長さａ、ｂの分だ
け導波路素子２０３が大型化してしまう。
【００１１】そこで本発明の目的は、曲がり導波路を有
する導波路素子および導波路デバイスにおいて、小型
で、かつ光ファイバとの接続部分で光の結合損失が少な
い導波路素子および導波路デバイスを提供することにあ
る。
する導波路素子および導波路デバイスにおいて、小型
で、かつ光ファイバとの接続部分で光の結合損失が少な
い導波路素子および導波路デバイスを提供することにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の導
波路素子では、マルチモードが励振されるスポット径の
コアにより構成されており、高次モードの伝播が抑制さ
れる曲率半径を有する曲がり導波路を具備することを特
徴としている。
波路素子では、マルチモードが励振されるスポット径の
コアにより構成されており、高次モードの伝播が抑制さ
れる曲率半径を有する曲がり導波路を具備することを特
徴としている。
【００１３】すなわち請求項１記載の発明では、マルチ
モード励振を行うスポット径のコアで構成された導波路
が、高次モードの伝播が抑制される曲率半径を有する曲
がり導波路を備えており、この曲がり導波路で高次モー
ドの光の伝播をカットオフさせ、シングルモードの導波
路と同様の挙動を採らせるようにしている。よって、コ
ア径をシングルモード励振しか行われないスポット径の
コアよりも大きくすることができ、導波路素子の比屈折
率差を大きくした場合においても、それに伴ってコアの
大きさを小さくする必要がないため、スポット径の違い
によるシングルモード光ファイバとの結合損失を少なく
することが可能となる。さらに、比屈折率差を大きくし
た場合には、曲がり導波路の限界曲率半径を小さくする
ことができるため、導波路素子の小型化を行うことが可
能となる。
モード励振を行うスポット径のコアで構成された導波路
が、高次モードの伝播が抑制される曲率半径を有する曲
がり導波路を備えており、この曲がり導波路で高次モー
ドの光の伝播をカットオフさせ、シングルモードの導波
路と同様の挙動を採らせるようにしている。よって、コ
ア径をシングルモード励振しか行われないスポット径の
コアよりも大きくすることができ、導波路素子の比屈折
率差を大きくした場合においても、それに伴ってコアの
大きさを小さくする必要がないため、スポット径の違い
によるシングルモード光ファイバとの結合損失を少なく
することが可能となる。さらに、比屈折率差を大きくし
た場合には、曲がり導波路の限界曲率半径を小さくする
ことができるため、導波路素子の小型化を行うことが可
能となる。
【００１４】請求項２記載の発明では、（イ）シングル
モード光ファイバと、（ロ）このシングルモード光ファ
イバのコアのスポット径とほぼ等しく、かつマルチモー
ドが励振されるスポット径のコアを有しシングルモード
光ファイバと光学的に接続される光ファイバ接続部と、
高次モードの伝播が抑制される曲率半径を有する曲がり
導波路部とを備える導波路素子とを導波路デバイスに具
備させる。
モード光ファイバと、（ロ）このシングルモード光ファ
イバのコアのスポット径とほぼ等しく、かつマルチモー
ドが励振されるスポット径のコアを有しシングルモード
光ファイバと光学的に接続される光ファイバ接続部と、
高次モードの伝播が抑制される曲率半径を有する曲がり
導波路部とを備える導波路素子とを導波路デバイスに具
備させる。
【００１５】すなわち請求項２記載の発明では、導波路
デバイスを、シングルモード光ファイバと、導波路素子
とで構成し、このうちの導波路素子は、シングルモード
光ファイバのコアのスポット径とほぼ等しく、かつマル
チモードが励振されるスポット径のコアを有する光ファ
イバ接続部を有すると共に、高次モードの伝播が抑制さ
れる曲率半径を有する曲がり導波路部とを備えることを
特徴としている。よって、シングルモード光ファイバと
の結合損失を少なくすることが可能となり、曲がり導波
路の限界曲率半径を小さくすることができるため、導波
路デバイスの小型化を行うことが可能となる。
デバイスを、シングルモード光ファイバと、導波路素子
とで構成し、このうちの導波路素子は、シングルモード
光ファイバのコアのスポット径とほぼ等しく、かつマル
チモードが励振されるスポット径のコアを有する光ファ
イバ接続部を有すると共に、高次モードの伝播が抑制さ
れる曲率半径を有する曲がり導波路部とを備えることを
特徴としている。よって、シングルモード光ファイバと
の結合損失を少なくすることが可能となり、曲がり導波
路の限界曲率半径を小さくすることができるため、導波
路デバイスの小型化を行うことが可能となる。
【００１６】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
導波路デバイスで、導波路素子のコアとクラッドの比屈
折率差が、シングルモード光ファイバにおけるこれらの
コアとクラッドの比屈折率差よりも高いことを特徴とし
ている。
導波路デバイスで、導波路素子のコアとクラッドの比屈
折率差が、シングルモード光ファイバにおけるこれらの
コアとクラッドの比屈折率差よりも高いことを特徴とし
ている。
【００１７】すなわち請求項３記載の発明では、導波路
素子のコアとクラッドの比屈折率差が、シングルモード
光ファイバにおけるこれらのコアとクラッドの比屈折率
差よりも高いことで曲がり導波路の小型化を図ることが
できる。
素子のコアとクラッドの比屈折率差が、シングルモード
光ファイバにおけるこれらのコアとクラッドの比屈折率
差よりも高いことで曲がり導波路の小型化を図ることが
できる。
【００１８】請求項４記載の発明では、請求項３記載の
導波路デバイスで、比屈折率差が０．６５％よりも高い
ことを特徴としている。
導波路デバイスで、比屈折率差が０．６５％よりも高い
ことを特徴としている。
【００１９】すなわち、請求項４記載の発明では導波路
素子のコアとクラッドの比屈折率差として、通常のシン
グルモード光ファイバの比屈折率差とほぼ同じかこれよ
りも高い値の一例を示している。たとえば比屈折率差が
０．７５％となるような場合である。
素子のコアとクラッドの比屈折率差として、通常のシン
グルモード光ファイバの比屈折率差とほぼ同じかこれよ
りも高い値の一例を示している。たとえば比屈折率差が
０．７５％となるような場合である。
【００２０】請求項５記載の発明では、請求項２記載の
導波路デバイスで、導波路素子のマルチモード励振を行
うコアのスポット径は、光ファイバ接続部以外はシング
ルモード光ファイバのコアのスポット径と異なってお
り、光ファイバ接続部では導波路素子のコアのスポット
径が連続的に変化していることを特徴としている。
導波路デバイスで、導波路素子のマルチモード励振を行
うコアのスポット径は、光ファイバ接続部以外はシング
ルモード光ファイバのコアのスポット径と異なってお
り、光ファイバ接続部では導波路素子のコアのスポット
径が連続的に変化していることを特徴としている。
【００２１】すなわち請求項５記載の発明では、導波路
素子とこれと接続される光ファイバの両者のコアのスポ
ット径が異なる場合、これらの接続部ではスポット径を
ほぼ一致させ、光ファイバ接続部では導波路素子のコア
のスポット径が連続的に変化することにしている。これ
により、接続部分での光の結合損失を少なくすることが
できる。また、導波路素子の曲がり導波路はマルチモー
ドとなっているので、図６に示したシングルモードと異
なりコアのスポット径を比較的大きくすることができ
る。したがって、両接続部の光軸方向の長さもこれに応
じて短くすることができ、導波路素子の小型化に寄与す
る。
素子とこれと接続される光ファイバの両者のコアのスポ
ット径が異なる場合、これらの接続部ではスポット径を
ほぼ一致させ、光ファイバ接続部では導波路素子のコア
のスポット径が連続的に変化することにしている。これ
により、接続部分での光の結合損失を少なくすることが
できる。また、導波路素子の曲がり導波路はマルチモー
ドとなっているので、図６に示したシングルモードと異
なりコアのスポット径を比較的大きくすることができ
る。したがって、両接続部の光軸方向の長さもこれに応
じて短くすることができ、導波路素子の小型化に寄与す
る。
【００２２】請求項６記載の発明では、請求項５記載の
導波路デバイスで、曲がり導波路と直線形状を有する直
線導波路との境界部分には光軸と垂直方向に所定のずれ
が設定されていることを特徴とする
導波路デバイスで、曲がり導波路と直線形状を有する直
線導波路との境界部分には光軸と垂直方向に所定のずれ
が設定されていることを特徴とする
【００２３】すなわち請求項６記載の発明では、導波路
素子の曲がり導波路と直線形状を有する直線導波路との
境界部分には光軸と垂直方向に所定のずれが設定される
ことで、曲がり導波路の部分での光の損失を減少させて
いる。
素子の曲がり導波路と直線形状を有する直線導波路との
境界部分には光軸と垂直方向に所定のずれが設定される
ことで、曲がり導波路の部分での光の損失を減少させて
いる。
【００２４】請求項７記載の発明では、請求項５記載の
導波路デバイスで、曲がり導波路は連続的にその曲率を
変化させていることを特徴としている。
導波路デバイスで、曲がり導波路は連続的にその曲率を
変化させていることを特徴としている。
【００２５】すなわち請求項７記載の発明では、曲がり
導波路が連続的にその曲率を変化させている場合を扱っ
ている。たとえばサインカーブやコサインカーブがこれ
らに該当する。連続的に変化させているので、直線状の
導波路との接続箇所での損失が少ない。なお、曲がり導
波路はその曲率が一定しているものであってもよい。円
弧の一部を構成するものがその例である。
導波路が連続的にその曲率を変化させている場合を扱っ
ている。たとえばサインカーブやコサインカーブがこれ
らに該当する。連続的に変化させているので、直線状の
導波路との接続箇所での損失が少ない。なお、曲がり導
波路はその曲率が一定しているものであってもよい。円
弧の一部を構成するものがその例である。
【００２６】請求項８記載の発明では、請求項５記載の
導波路デバイスで、曲がり導波路は高次モードの伝播を
阻止する高次モードフィルタを構成していることを特徴
としている。
導波路デバイスで、曲がり導波路は高次モードの伝播を
阻止する高次モードフィルタを構成していることを特徴
としている。
【００２７】すなわち請求項８記載の発明では、曲がり
導波路が高次モードの伝播を阻止する高次モードフィル
タとしての機能を備えているものを扱っている。このよ
うな曲がり導波路が存在することで、導波路素子をシン
グルモードで扱うことができる。
導波路が高次モードの伝播を阻止する高次モードフィル
タとしての機能を備えているものを扱っている。このよ
うな曲がり導波路が存在することで、導波路素子をシン
グルモードで扱うことができる。
【００２８】請求項９記載の発明では、請求項１記載の
導波路素子で、曲がり導波路の最も小さい半径としての
限界曲率半径は、０次モードの光を透過しかつ１次以上
のモードの光をカットオフする領域における最小半径で
あることを特徴としている。
導波路素子で、曲がり導波路の最も小さい半径としての
限界曲率半径は、０次モードの光を透過しかつ１次以上
のモードの光をカットオフする領域における最小半径で
あることを特徴としている。
【００２９】すなわち請求項９記載の発明では、導波路
素子における曲がり導波路の限界曲率半径を設定する際
には、０次モードの光を透過しかつ１次以上のモードの
光をカットオフする領域における最小半径とすることで
曲がり導波路のサイズを最も小さくすることができ、導
波路素子の小型化に寄与することになる。
素子における曲がり導波路の限界曲率半径を設定する際
には、０次モードの光を透過しかつ１次以上のモードの
光をカットオフする領域における最小半径とすることで
曲がり導波路のサイズを最も小さくすることができ、導
波路素子の小型化に寄与することになる。
【００３０】請求項１０記載の発明では、請求項５記載
の導波路デバイスで、曲がり導波路の最も小さい半径と
しての限界曲率半径は、０次モードの光を透過しかつ１
次以上のモードの光をカットオフする領域における最小
半径であることを特徴としている。
の導波路デバイスで、曲がり導波路の最も小さい半径と
しての限界曲率半径は、０次モードの光を透過しかつ１
次以上のモードの光をカットオフする領域における最小
半径であることを特徴としている。
【００３１】すなわち請求項１０記載の発明では、導波
路デバイスの導波路素子における曲がり導波路の限界曲
率半径を設定する際には、０次モードの光を透過しかつ
１次以上のモードの光をカットオフする領域における最
小半径とすることで曲がり導波路のサイズを最も小さく
することができ、導波路デバイスの小型化に寄与するこ
とになる。
路デバイスの導波路素子における曲がり導波路の限界曲
率半径を設定する際には、０次モードの光を透過しかつ
１次以上のモードの光をカットオフする領域における最
小半径とすることで曲がり導波路のサイズを最も小さく
することができ、導波路デバイスの小型化に寄与するこ
とになる。
【００３２】請求項１１記載の発明では、請求項５記載
の導波路デバイスで、導波路素子はアレイ状導波路であ
ることを特徴としている。
の導波路デバイスで、導波路素子はアレイ状導波路であ
ることを特徴としている。
【００３３】すなわち請求項１１記載の発明では、曲が
り導波路を有する導波路デバイスの導波路素子の一例と
してアレイ状導波路を挙げている。
り導波路を有する導波路デバイスの導波路素子の一例と
してアレイ状導波路を挙げている。
【００３４】請求項１２記載の発明では、請求項５記載
の導波路デバイスで、導波路素子はマッハツェンダ干渉
計であることを特徴としている。
の導波路デバイスで、導波路素子はマッハツェンダ干渉
計であることを特徴としている。
【００３５】すなわち請求項１２記載の発明では、曲が
り導波路を有する導波路デバイスの導波路素子の一例と
してマッハツェンダ干渉計を挙げている。
り導波路を有する導波路デバイスの導波路素子の一例と
してマッハツェンダ干渉計を挙げている。
【００３６】
【００３７】
【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【００３８】図１は本発明の一実施例における導波路デ
バイスとしてのアレイ導波路格子モジュールの要部を表
わしたものである。このアレイ導波路格子モジュール１
０１は、箱状のケース１０２とその底部に配置されたペ
ルチェ素子からなる発熱あるいは冷却を行う温度制御素
子１０３と、アレイ導波路格子１０４とこれらの間に介
在する金属板１０５から構成されている。金属板１０５
は温度制御素子１０３の温度制御領域を拡大するために
温度制御素子１０３の接触サイズよりも大きなものが使
用されている。金属板１０５には温度センサ１０６が配
置されている。この温度検出出力は、温度制御回路１０
８に入力されて温度制御素子１０３の温度制御が行われ
るようになっている。
バイスとしてのアレイ導波路格子モジュールの要部を表
わしたものである。このアレイ導波路格子モジュール１
０１は、箱状のケース１０２とその底部に配置されたペ
ルチェ素子からなる発熱あるいは冷却を行う温度制御素
子１０３と、アレイ導波路格子１０４とこれらの間に介
在する金属板１０５から構成されている。金属板１０５
は温度制御素子１０３の温度制御領域を拡大するために
温度制御素子１０３の接触サイズよりも大きなものが使
用されている。金属板１０５には温度センサ１０６が配
置されている。この温度検出出力は、温度制御回路１０
８に入力されて温度制御素子１０３の温度制御が行われ
るようになっている。
【００３９】アレイ導波路格子１０４の両側部には光フ
ァイバ１１１、１１２の一端がそれぞれ接続されてい
る。このうちの光ファイバ１１１の図示しない他端は図
示しない光源に接続されており、他の光ファイバ１１２
の同じく図示しない他端は分波後の信号光を処理する図
示しない回路部分に接続されるようになっている。
ァイバ１１１、１１２の一端がそれぞれ接続されてい
る。このうちの光ファイバ１１１の図示しない他端は図
示しない光源に接続されており、他の光ファイバ１１２
の同じく図示しない他端は分波後の信号光を処理する図
示しない回路部分に接続されるようになっている。
【００４０】図２は、図１に示したアレイ導波路格子モ
ジュールのアレイ導波路格子の部分を表わしたものであ
る。このアレイ導波路格子１０４を構成する基板１２１
上には１または複数の第１のチャネル導波路１２２と、
複数の第２のチャネル導波路１２３と、異なった曲率で
それぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ１２
４と、第１のチャネル導波路１２２とチャネル導波路ア
レイ１２４を接続する第１の扇形スラブ導波路１２５
と、チャネル導波路アレイ１２４と第２のチャネル導波
路１２３を接続する第２の扇形スラブ導波路１２６とが
配置されている。
ジュールのアレイ導波路格子の部分を表わしたものであ
る。このアレイ導波路格子１０４を構成する基板１２１
上には１または複数の第１のチャネル導波路１２２と、
複数の第２のチャネル導波路１２３と、異なった曲率で
それぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ１２
４と、第１のチャネル導波路１２２とチャネル導波路ア
レイ１２４を接続する第１の扇形スラブ導波路１２５
と、チャネル導波路アレイ１２４と第２のチャネル導波
路１２３を接続する第２の扇形スラブ導波路１２６とが
配置されている。
【００４１】第１のチャネル導波路１２２から入射した
波長λ1、λ2、……λnの多重信号光は、第１の扇形ス
ラブ導波路１２５によってその進路を広げられ、チャネ
ル導波路アレイ１２４に入射する。チャネル導波路アレ
イ１２４では、これを構成する各アレイ導波路の間に一
定の光路長差（導波路長差）ΔＬが設けられており、光
路長が順次長く、あるいは短くなるように設定されてい
る。したがって、それぞれのアレイ導波路を導波する光
には一定間隔ずつの位相差が付けられて第２の扇形スラ
ブ導波路１２６に到達するようになっている。実際には
波長分散があるので、波長によってその等位相面が傾
く。この結果、波長によって第２の扇形スラブ導波路１
２６と複数の導波路から成る第２のチャネル導波路１２
３の界面上の異なった位置に光が結像（集光）する。波
長に対応したそれぞれの位置に第２のチャネル導波路１
２３が配置されているので、第２のチャネル導波路１２
３からは任意の波長成分λ1、λ2、……λnを個別に取
り出すことが可能になる。
波長λ1、λ2、……λnの多重信号光は、第１の扇形ス
ラブ導波路１２５によってその進路を広げられ、チャネ
ル導波路アレイ１２４に入射する。チャネル導波路アレ
イ１２４では、これを構成する各アレイ導波路の間に一
定の光路長差（導波路長差）ΔＬが設けられており、光
路長が順次長く、あるいは短くなるように設定されてい
る。したがって、それぞれのアレイ導波路を導波する光
には一定間隔ずつの位相差が付けられて第２の扇形スラ
ブ導波路１２６に到達するようになっている。実際には
波長分散があるので、波長によってその等位相面が傾
く。この結果、波長によって第２の扇形スラブ導波路１
２６と複数の導波路から成る第２のチャネル導波路１２
３の界面上の異なった位置に光が結像（集光）する。波
長に対応したそれぞれの位置に第２のチャネル導波路１
２３が配置されているので、第２のチャネル導波路１２
３からは任意の波長成分λ1、λ2、……λnを個別に取
り出すことが可能になる。
【００４２】ここで本実施例のアレイ導波路格子１０４
は、基板１２１として半導体（シリコン）基板を使用し
ている。もちろん、基板１２１は半導体に限るものでは
ない。本実施例の基板１２１は半導体基板等の上面に下
層クラッド層として、リン、ゲルマニウム、チタン、ボ
ロン、フッ素などを添加した石英系の材料を用い、火炎
堆積法、常圧ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化
学気相成長）法、スパッタ法、スピンコート法、電子ビ
ーム蒸着法等の手法を使用して、数十μｍ（ミクロンメ
ータ）の厚さで堆積させている。この上に、下層のクラ
ッド層よりも屈折率が高くなるように添加物を含ませた
石英の光導波路形状のコア層を３〜８μｍ程度堆積させ
て作製する。
は、基板１２１として半導体（シリコン）基板を使用し
ている。もちろん、基板１２１は半導体に限るものでは
ない。本実施例の基板１２１は半導体基板等の上面に下
層クラッド層として、リン、ゲルマニウム、チタン、ボ
ロン、フッ素などを添加した石英系の材料を用い、火炎
堆積法、常圧ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化
学気相成長）法、スパッタ法、スピンコート法、電子ビ
ーム蒸着法等の手法を使用して、数十μｍ（ミクロンメ
ータ）の厚さで堆積させている。この上に、下層のクラ
ッド層よりも屈折率が高くなるように添加物を含ませた
石英の光導波路形状のコア層を３〜８μｍ程度堆積させ
て作製する。
【００４３】コア層の回路作製にはフォトリソグラフィ
を使用し、微細領域を適切なマスク材から転写する。続
いて反応性イオンエッチング（ＲＩＥ：Reactive Ion E
tching）装置や反応性イオンビームエッチング（ＲＩＢ
Ｅ：Reactive Ion Beam Etching）装置等のドライエッ
チング法によって不要領域を除去する。最後に、再び屈
折率をコア層よりも低く設定した前記した石英材料を使
用して、厚さ数十μｍの上層クラッド層を堆積するよう
になっている。
を使用し、微細領域を適切なマスク材から転写する。続
いて反応性イオンエッチング（ＲＩＥ：Reactive Ion E
tching）装置や反応性イオンビームエッチング（ＲＩＢ
Ｅ：Reactive Ion Beam Etching）装置等のドライエッ
チング法によって不要領域を除去する。最後に、再び屈
折率をコア層よりも低く設定した前記した石英材料を使
用して、厚さ数十μｍの上層クラッド層を堆積するよう
になっている。
【００４４】ところで、図１に示した本実施例のアレイ
導波路格子モジュール１０１は、光ファイバ１１１、１
１２が共にシングルモードファイバであり、図２に示し
たアレイ導波路格子１０４の第１および第２のチャネル
導波路１２２、１２３ならびにチャネル導波路アレイ１
２４は共にマルチモード動作を行う導波路として構成さ
れている。そして、光ファイバ１１１の図示しないコア
と第１のチャネル導波路１２２のコアのスポットサイズ
は等しくなっており、光ファイバ１１２の図示しないコ
アと第２のチャネル導波路１２３のコアのスポットサイ
ズも等しくなっている。このため、これら光ファイバ１
１１、１１２と基板１２１の光学的な接続部分で光の損
失はほとんど生じないようになっている。
導波路格子モジュール１０１は、光ファイバ１１１、１
１２が共にシングルモードファイバであり、図２に示し
たアレイ導波路格子１０４の第１および第２のチャネル
導波路１２２、１２３ならびにチャネル導波路アレイ１
２４は共にマルチモード動作を行う導波路として構成さ
れている。そして、光ファイバ１１１の図示しないコア
と第１のチャネル導波路１２２のコアのスポットサイズ
は等しくなっており、光ファイバ１１２の図示しないコ
アと第２のチャネル導波路１２３のコアのスポットサイ
ズも等しくなっている。このため、これら光ファイバ１
１１、１１２と基板１２１の光学的な接続部分で光の損
失はほとんど生じないようになっている。
【００４５】また、第１および第２のチャネル導波路１
２２、１２３における曲がり導波路の部分１３１、１３
２ならびにチャネル導波路アレイ１２４の部分では、マ
ルチモード励振されてきた信号光に対して高次モードは
クラッドに抜ける曲率半径となっている。この曲率半径
は、０次モードについてコア内に留まることが可能な小
さな値となっている。したがって、これらの曲がり導波
路等の部分１３１、１３２、１２４は、コアプロファイ
ルとしてマルチモードでありながら、シングルモードと
して機能している。
２２、１２３における曲がり導波路の部分１３１、１３
２ならびにチャネル導波路アレイ１２４の部分では、マ
ルチモード励振されてきた信号光に対して高次モードは
クラッドに抜ける曲率半径となっている。この曲率半径
は、０次モードについてコア内に留まることが可能な小
さな値となっている。したがって、これらの曲がり導波
路等の部分１３１、１３２、１２４は、コアプロファイ
ルとしてマルチモードでありながら、シングルモードと
して機能している。
【００４６】すなわち本実施例のアレイ導波路格子モジ
ュール１０１では、そのアレイ導波路格子１０４の設計
について、その直線導波路の部分について高次モードが
立ち上がる条件を使用すると共に、曲がり導波路の箇所
で高次モードをカットオフさせるようにしている。この
結果、アレイ導波路格子１０４については結果的に高次
モードが伝達されないことになる。以下、これについて
詳しい説明を行う。
ュール１０１では、そのアレイ導波路格子１０４の設計
について、その直線導波路の部分について高次モードが
立ち上がる条件を使用すると共に、曲がり導波路の箇所
で高次モードをカットオフさせるようにしている。この
結果、アレイ導波路格子１０４については結果的に高次
モードが伝達されないことになる。以下、これについて
詳しい説明を行う。
【００４７】曲がり導波路における光損失Ｌossは次の
（１）式で近似できることが知られている。 Ｌoss＝（Ａ1×ｅｘｐ（−Ａ2×Ｒ）＋Ａ4）×Ｒ＋Ａ3 ……（１）
（１）式で近似できることが知られている。 Ｌoss＝（Ａ1×ｅｘｐ（−Ａ2×Ｒ）＋Ａ4）×Ｒ＋Ａ3 ……（１）
【００４８】ただし、半径Ｒは曲がり導波路の曲げ半径
であり、標識Ａ1およびＡ2はＶパラメータに依存する定
数である。また、標識Ａ3は導波路の散乱吸収損であ
り、固有の値をとる。標識Ａ4は曲がりに比例する損失
増加を表わしており、一般には無視できる値である。標
識Ａ2は光損失Ｌossを決める際に重要な意味を持ってい
る。標識Ａ2は次の（２）式で表わすことができる。
であり、標識Ａ1およびＡ2はＶパラメータに依存する定
数である。また、標識Ａ3は導波路の散乱吸収損であ
り、固有の値をとる。標識Ａ4は曲がりに比例する損失
増加を表わしており、一般には無視できる値である。標
識Ａ2は光損失Ｌossを決める際に重要な意味を持ってい
る。標識Ａ2は次の（２）式で表わすことができる。
【００４９】
【数１】
【００５０】ただし、この（２）式で屈折率ｎcoreはコ
アの屈折率を示している。また、屈折率Ｎeffはモード
の等価屈折率を示しており、屈折率ｎcladはクラッドの
屈折率を示している。更に波数ｋ0は真空中の波数を表
わしている。
アの屈折率を示している。また、屈折率Ｎeffはモード
の等価屈折率を示しており、屈折率ｎcladはクラッドの
屈折率を示している。更に波数ｋ0は真空中の波数を表
わしている。
【００５１】（２）式で表わされた標識Ａ2に曲がり導
波路の曲げ半径Ｒを掛け合わせた値Ａ2Ｒを調整するこ
とで、曲がり導波路の損失を変えることができる。すな
わち実験によると、値Ａ2Ｒが“１０”以上の場合のモ
ードでは、曲げ時の損失が少ない。また、値Ａ2Ｒが
“１”前後の値をとる場合のモードでは、曲げ時の損失
が大きく、光のカットオフ（遮断）が行われることが判
明した。
波路の曲げ半径Ｒを掛け合わせた値Ａ2Ｒを調整するこ
とで、曲がり導波路の損失を変えることができる。すな
わち実験によると、値Ａ2Ｒが“１０”以上の場合のモ
ードでは、曲げ時の損失が少ない。また、値Ａ2Ｒが
“１”前後の値をとる場合のモードでは、曲げ時の損失
が大きく、光のカットオフ（遮断）が行われることが判
明した。
【００５２】図３は、この値Ａ2Ｒに注目して、アレイ
導波路格子１０４を構成する導波路をその高さと幅が等
しい方形導波路と仮定し、シングルモードとしての０次
モード（基底モード）について損失が小さく（値Ａ2Ｒ
が基準値として１１．５）、１次モードをカットオフ
（値Ａ2Ｒが基準値として１．２８）するときの、導波
路の高さとその場合の曲率半径をプロットしたものであ
る。
導波路格子１０４を構成する導波路をその高さと幅が等
しい方形導波路と仮定し、シングルモードとしての０次
モード（基底モード）について損失が小さく（値Ａ2Ｒ
が基準値として１１．５）、１次モードをカットオフ
（値Ａ2Ｒが基準値として１．２８）するときの、導波
路の高さとその場合の曲率半径をプロットしたものであ
る。
【００５３】図４はこの図３の読み方を説明するため
に、シンプルな形でその一例を示したものである。この
図で縦軸は限界曲率半径ＲLを表わしている。この縦軸
で上の方ほど半径が大きくなる。横軸は導波路が方形で
あると仮定した場合の導波路高さを表わしている。実線
で示した曲線１４１は、０次モードにおける値Ａ2Ｒが
１１．５の場合を示している。したがって、値Ａ2Ｒが
１１．５以上となる曲線１４１よりも図で上側の領域１
４２では０次モードの光が曲がり導波路を透過すること
になる。
に、シンプルな形でその一例を示したものである。この
図で縦軸は限界曲率半径ＲLを表わしている。この縦軸
で上の方ほど半径が大きくなる。横軸は導波路が方形で
あると仮定した場合の導波路高さを表わしている。実線
で示した曲線１４１は、０次モードにおける値Ａ2Ｒが
１１．５の場合を示している。したがって、値Ａ2Ｒが
１１．５以上となる曲線１４１よりも図で上側の領域１
４２では０次モードの光が曲がり導波路を透過すること
になる。
【００５４】一方、破線で示した曲線１４３は１次モー
ドにおける値Ａ2Ｒが１．２８の場合を示している。し
たがって、値Ａ2Ｒが１．２８未満となる曲線１４３よ
りも図で下側の領域１４４で１次モードの光が曲がり導
波路でカットオフされることになる。
ドにおける値Ａ2Ｒが１．２８の場合を示している。し
たがって、値Ａ2Ｒが１．２８未満となる曲線１４３よ
りも図で下側の領域１４４で１次モードの光が曲がり導
波路でカットオフされることになる。
【００５５】本実施例では、図２に示した基板１２１に
形成された導波路自体はマルチモード励振を行うスポッ
ト径のコアのものとし、曲がり導波路の部分で０次モー
ド以外のモード（１次モード、２次モード、３次モード
等の高次モード）の光をカットオフさせることで、結果
的にアレイ導波路格子１０４がシングルモードの信号を
伝送するようにしている。
形成された導波路自体はマルチモード励振を行うスポッ
ト径のコアのものとし、曲がり導波路の部分で０次モー
ド以外のモード（１次モード、２次モード、３次モード
等の高次モード）の光をカットオフさせることで、結果
的にアレイ導波路格子１０４がシングルモードの信号を
伝送するようにしている。
【００５６】図４で曲線１４１よりも図で上の領域１４
２では０次モードが透過するので、曲がり導波路はこれ
以上の領域である必要がある。そして、同時に曲線１４
３よりも図で下側の領域１４４であることを満足すれ
ば、１次モード等の高次モードの光を遮断することがで
きる。したがって、両曲線１４１、１４３の交点１４５
よりも上で、これらの曲線１４１、１４３によって挟ま
れた領域１４６では０次モードの光のみが透過し、高次
モードの光が遮断されることになる。本実施例では、こ
のような条件を満たす曲がり導波路が高次モードの光を
フィルタリングする機能を備えているため、曲がり高次
モードフィルタと呼ぶことにする。
２では０次モードが透過するので、曲がり導波路はこれ
以上の領域である必要がある。そして、同時に曲線１４
３よりも図で下側の領域１４４であることを満足すれ
ば、１次モード等の高次モードの光を遮断することがで
きる。したがって、両曲線１４１、１４３の交点１４５
よりも上で、これらの曲線１４１、１４３によって挟ま
れた領域１４６では０次モードの光のみが透過し、高次
モードの光が遮断されることになる。本実施例では、こ
のような条件を満たす曲がり導波路が高次モードの光を
フィルタリングする機能を備えているため、曲がり高次
モードフィルタと呼ぶことにする。
【００５７】曲がり高次モードフィルタは図４で領域１
４６の範囲内で作製することができる。本実施例ではア
レイ導波路格子１０４の小型化の要請から、曲がり導波
路の曲率半径はできるだけ短いことが望ましい。したが
って、限界曲率半径ＲLは領域１４６でかつ縦軸の下の
方に位置するものほど好ましいことになる。すなわち、
このような理想的な場所は、図４で交点１４５の付近で
領域１４６に含まれる領域、たとえば領域１４７がこれ
に該当することになる。このような領域１４７では限界
曲率半径ＲLが可能な限り小さくなり、これに応じてコ
ア径がその限度で大きくなっている。
４６の範囲内で作製することができる。本実施例ではア
レイ導波路格子１０４の小型化の要請から、曲がり導波
路の曲率半径はできるだけ短いことが望ましい。したが
って、限界曲率半径ＲLは領域１４６でかつ縦軸の下の
方に位置するものほど好ましいことになる。すなわち、
このような理想的な場所は、図４で交点１４５の付近で
領域１４６に含まれる領域、たとえば領域１４７がこれ
に該当することになる。このような領域１４７では限界
曲率半径ＲLが可能な限り小さくなり、これに応じてコ
ア径がその限度で大きくなっている。
【００５８】図３では、０次モードと１次モードのそれ
ぞれについて透過あるいはカットオフのそれぞれの程度
に応じた特性曲線を示している。この図で０次モードに
ついては値Ａ2Ｒが１１．５を基準としている。この値
以上では、０次モード（基底モード）についてカットオ
フされない。一方、１次モードについては値Ａ2Ｒが
１．２８を基準にしている。この値以下では１次モード
がカットオフされる。図中のパラメータは、比屈折率差
である。
ぞれについて透過あるいはカットオフのそれぞれの程度
に応じた特性曲線を示している。この図で０次モードに
ついては値Ａ2Ｒが１１．５を基準としている。この値
以上では、０次モード（基底モード）についてカットオ
フされない。一方、１次モードについては値Ａ2Ｒが
１．２８を基準にしている。この値以下では１次モード
がカットオフされる。図中のパラメータは、比屈折率差
である。
【００５９】したがって、この図３を使用すると、図４
で説明したように０次モードの曲線よりも上で、かつ１
次モードの曲線よりも下の領域であれば、曲がり導波路
でシングルモード動作が行われることが分かる。これは
先に説明した曲がり高次モードフィルタである。
で説明したように０次モードの曲線よりも上で、かつ１
次モードの曲線よりも下の領域であれば、曲がり導波路
でシングルモード動作が行われることが分かる。これは
先に説明した曲がり高次モードフィルタである。
【００６０】ところで、高次モードフィルタが機能する
このような動作領域で、同様の比屈折率差で同一の断面
形状の直線導波路が同様にシングルモード動作を保証さ
れるわけではない。直線導波路でマルチモードとなる設
計で導波路を作成する際に、導波路回路の各部分が全領
域にわたって滑らかに接続されていると、光ファイバか
ら０次モードの光が励振され伝播する際に擾乱が発生し
ない。このような条件では、モード間の結合が発生せ
ず、コア径が大きくマルチモードとなりうる導波路でも
０次モードで導波させることが可能である。もちろん、
このような導波路設計を行った場合でも、光ファイバと
導波路が接続する箇所で微妙な軸ずれがあると、これに
より高次モードが励振される。この高次モードは、導波
路内部で望まないモードの競合や干渉を生じさせ、導波
路デバイスあるいはこれを使用した光システムの光学特
性を劣化させることになる。
このような動作領域で、同様の比屈折率差で同一の断面
形状の直線導波路が同様にシングルモード動作を保証さ
れるわけではない。直線導波路でマルチモードとなる設
計で導波路を作成する際に、導波路回路の各部分が全領
域にわたって滑らかに接続されていると、光ファイバか
ら０次モードの光が励振され伝播する際に擾乱が発生し
ない。このような条件では、モード間の結合が発生せ
ず、コア径が大きくマルチモードとなりうる導波路でも
０次モードで導波させることが可能である。もちろん、
このような導波路設計を行った場合でも、光ファイバと
導波路が接続する箇所で微妙な軸ずれがあると、これに
より高次モードが励振される。この高次モードは、導波
路内部で望まないモードの競合や干渉を生じさせ、導波
路デバイスあるいはこれを使用した光システムの光学特
性を劣化させることになる。
【００６１】しかしながら、導波路回路の一部に曲がり
高次モードフィルタが存在すれば、その場所で高次モー
ドの光についてカットされる。本実施例の導波路デバイ
スとしのアレイ導波路格子モジュール１０１（図１）
は、この現象を利用して、曲がり高次モードフィルタを
挿入することで、アレイ導波路格子１０４内で高次モー
ドの光が励振伝播することを防止している。導波路素子
の基板端面の近傍に曲がり高次モードフィルタを配置す
れば、光ファイバと導波路の軸ずれによる高次モードの
損失感度を増加させることができ、同様に導波路デバイ
スの光学特性の劣化を防ぐことができる。
高次モードフィルタが存在すれば、その場所で高次モー
ドの光についてカットされる。本実施例の導波路デバイ
スとしのアレイ導波路格子モジュール１０１（図１）
は、この現象を利用して、曲がり高次モードフィルタを
挿入することで、アレイ導波路格子１０４内で高次モー
ドの光が励振伝播することを防止している。導波路素子
の基板端面の近傍に曲がり高次モードフィルタを配置す
れば、光ファイバと導波路の軸ずれによる高次モードの
損失感度を増加させることができ、同様に導波路デバイ
スの光学特性の劣化を防ぐことができる。
【００６２】図３に示した各矢印は、それぞれの条件下
で設計上好ましい限界曲率半径ＲLとなる箇所を示して
いる。この図でも明らかなように限界曲率半径ＲLがシ
ングルモードの導波路を前提とした従来では不可能とさ
れた４ｍｍ付近の値にまで達していることは注目される
べきことである。
で設計上好ましい限界曲率半径ＲLとなる箇所を示して
いる。この図でも明らかなように限界曲率半径ＲLがシ
ングルモードの導波路を前提とした従来では不可能とさ
れた４ｍｍ付近の値にまで達していることは注目される
べきことである。
【００６３】図５は、導波路素子とこれに接続される光
ファイバのコア径の違いによる結合損失特性の一例を表
わしたものである。この図で縦軸は例えば図１における
光ファイバ１１１に対して第１のチャネル導波路１２２
のコア径を各種設定した場合の結合損失を示しており、
横軸は導波路側のコア径を示している。この場合にもコ
アは高さと幅が等しい方形導波路と仮定している。図３
にそれぞれ矢印で示したコア径の場合に、結合損失は
０．２ｄＢ（デシベル）以下となり、損失が小さいこと
が分かる。
ファイバのコア径の違いによる結合損失特性の一例を表
わしたものである。この図で縦軸は例えば図１における
光ファイバ１１１に対して第１のチャネル導波路１２２
のコア径を各種設定した場合の結合損失を示しており、
横軸は導波路側のコア径を示している。この場合にもコ
アは高さと幅が等しい方形導波路と仮定している。図３
にそれぞれ矢印で示したコア径の場合に、結合損失は
０．２ｄＢ（デシベル）以下となり、損失が小さいこと
が分かる。
【００６４】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、導波路素子が、マルチモードが励振されるス
ポット径のコアにより構成されており、高次モードの伝
播が抑制される曲率半径を有する曲がり導波路を備えて
いるので、シングルモードの導波路を備える場合と比べ
るとコアのスポットサイズを変える部分を不要とした
り、あるいは光軸方向におけるこの部分の長さを短くす
ることができ、素子自体のサイズの小型化を図ることが
できる。
によれば、導波路素子が、マルチモードが励振されるス
ポット径のコアにより構成されており、高次モードの伝
播が抑制される曲率半径を有する曲がり導波路を備えて
いるので、シングルモードの導波路を備える場合と比べ
るとコアのスポットサイズを変える部分を不要とした
り、あるいは光軸方向におけるこの部分の長さを短くす
ることができ、素子自体のサイズの小型化を図ることが
できる。
【００６５】また、請求項２記載の発明によれば、導波
路素子とシングルモード光ファイバの２つのコアのスポ
ット径がほぼ等しいので、これらの接続部分で光のロス
を減少あるいは防止させることができる。また、高次モ
ードの伝播が抑制される曲率半径を有する曲がり導波路
部を備えているので、マルチモード励振を抑制すること
ができる。
路素子とシングルモード光ファイバの２つのコアのスポ
ット径がほぼ等しいので、これらの接続部分で光のロス
を減少あるいは防止させることができる。また、高次モ
ードの伝播が抑制される曲率半径を有する曲がり導波路
部を備えているので、マルチモード励振を抑制すること
ができる。
【００６６】更に請求項３または請求項４記載の発明に
よれば、導波路素子のコアとクラッドの比屈折率差が、
シングルモード光ファイバにおけるこれらのコアとクラ
ッドの比屈折率差よりも高いので、曲がり導波路の小型
化を図ることができる。
よれば、導波路素子のコアとクラッドの比屈折率差が、
シングルモード光ファイバにおけるこれらのコアとクラ
ッドの比屈折率差よりも高いので、曲がり導波路の小型
化を図ることができる。
【００６７】また、請求項５記載の発明では、導波路素
子とこれと接続される光ファイバの両者のコアのスポッ
ト径が異なる場合、これらの接続部ではスポット径をほ
ぼ一致させると共に、光ファイバ接続部では導波路素子
のコアのスポット径が連続的に変化させているので、接
続部分での光の結合損失を少なくすることができる。ま
た、導波路素子の曲がり導波路はマルチモードとなって
いるので、シングルモードと異なりコアのスポット径を
比較的大きくすることができる。したがって、両接続部
の光軸方向の長さもこれに応じて短くすることができ、
導波路素子の小型化に寄与することになる。
子とこれと接続される光ファイバの両者のコアのスポッ
ト径が異なる場合、これらの接続部ではスポット径をほ
ぼ一致させると共に、光ファイバ接続部では導波路素子
のコアのスポット径が連続的に変化させているので、接
続部分での光の結合損失を少なくすることができる。ま
た、導波路素子の曲がり導波路はマルチモードとなって
いるので、シングルモードと異なりコアのスポット径を
比較的大きくすることができる。したがって、両接続部
の光軸方向の長さもこれに応じて短くすることができ、
導波路素子の小型化に寄与することになる。
【００６８】更に請求項６記載の発明によれば、導波路
素子の曲がり導波路と直線形状を有する直線導波路との
境界部分に光軸と垂直方向に所定のずれを設定したの
で、曲がり導波路の部分での光の進路を補正し、光の損
失を減少することができる。
素子の曲がり導波路と直線形状を有する直線導波路との
境界部分に光軸と垂直方向に所定のずれを設定したの
で、曲がり導波路の部分での光の進路を補正し、光の損
失を減少することができる。
【００６９】また、請求項９記載の発明では、導波路素
子における曲がり導波路の限界曲率半径を設定する際に
は、０次モードの光を透過しかつ１次以上のモードの光
をカットオフする領域における最小半径としたので、曲
がり導波路のサイズを最も小さくすることができ、導波
路素子の小型化に寄与することになる。
子における曲がり導波路の限界曲率半径を設定する際に
は、０次モードの光を透過しかつ１次以上のモードの光
をカットオフする領域における最小半径としたので、曲
がり導波路のサイズを最も小さくすることができ、導波
路素子の小型化に寄与することになる。
【図１】本発明の一実施例における導波路デバイスとし
のアレイ導波路格子モジュールの要部を表わした断面図
である。
のアレイ導波路格子モジュールの要部を表わした断面図
である。
【図２】図１に示したアレイ導波路格子モジュールのア
レイ導波路格子の部分を表わした平面図である。
レイ導波路格子の部分を表わした平面図である。
【図３】本実施例で用いられるアレイ導波路格子と同等
の曲がり導波路における導波路高さと限界曲率半径の関
係を示す特性図である。
の曲がり導波路における導波路高さと限界曲率半径の関
係を示す特性図である。
【図４】導波路高さと限界曲率半径の関係を単純化して
示した説明図である。
示した説明図である。
【図５】導波路素子とこれに接続される光ファイバのコ
ア径の違いによる結合損失特性を示した特性図である。
ア径の違いによる結合損失特性を示した特性図である。
【図６】従来の導波路デバイスで光ファイバ接続部のス
ポット径を一致させるためにスポット径を連続的に変化
させた場合の問題を示した説明図である。
ポット径を一致させるためにスポット径を連続的に変化
させた場合の問題を示した説明図である。
１０１ アレイ導波路格子モジュール（導波路デバイ
ス） １０４ アレイ導波路格子（導波路素子） １１１、１１２ 光ファイバ １２１ 基板 １２２ 第１のチャネル導波路 １２３ 第２のチャネル導波路 １２４ チャネル導波路アレイ １３１、１３２ 曲がり導波路の部分 １４１、１４３ 曲線 １４２ 上側の領域 １４４ 下側の領域 １４７ 領域 ＲL 限界曲率半径
ス） １０４ アレイ導波路格子（導波路素子） １１１、１１２ 光ファイバ １２１ 基板 １２２ 第１のチャネル導波路 １２３ 第２のチャネル導波路 １２４ チャネル導波路アレイ １３１、１３２ 曲がり導波路の部分 １４１、１４３ 曲線 １４２ 上側の領域 １４４ 下側の領域 １４７ 領域 ＲL 限界曲率半径
Claims (12)
- 【請求項１】 マルチモードが励振されるスポット径の
コアにより構成されており、高次モードの伝播が抑制さ
れる曲率半径を有する曲がり導波路を具備することを特
徴とする導波路素子。 - 【請求項２】 シングルモード光ファイバと、 このシングルモード光ファイバのコアのスポット径とほ
ぼ等しく、かつマルチモードが励振されるスポット径の
コアを有し前記シングルモード光ファイバと光学的に接
続される光ファイバ接続部と、高次モードの伝播が抑制
される曲率半径を有する曲がり導波路部とを備える導波
路素子とを具備することを特徴とする導波路デバイス。 - 【請求項３】 前記導波路素子のコアとクラッドの比屈
折率差が、前記シングルモード光ファイバにおけるこれ
らのコアとクラッドの比屈折率差よりも高いことを特徴
とする請求項２記載の導波路デバイス。 - 【請求項４】 前記比屈折率差が０．６５％よりも高い
ことを特徴とする請求項３記載の導波路デバイス。 - 【請求項５】 前記導波路素子の前記マルチモード励振
を行うコアのスポット径は、前記光ファイバ接続部以外
は前記シングルモード光ファイバのコアのスポット径と
異なっており、前記光ファイバ接続部では導波路素子の
コアのスポット径が連続的に変化していることを特徴と
する請求項２記載の導波路デバイス。 - 【請求項６】 前記曲がり導波路と直線形状を有する直
線導波路との境界部分には光軸と垂直方向に所定のずれ
が設定されていることを特徴とする請求項５記載の導波
路デバイス。 - 【請求項７】 前記曲がり導波路は連続的にその曲率を
変化させていることを特徴とする請求項５記載の導波路
デバイス。 - 【請求項８】 前記曲がり導波路は高次モードの伝播を
阻止する高次モードフィルタを構成していることを特徴
とする請求項５記載の導波路デバイス。 - 【請求項９】 前記曲がり導波路の最も小さい半径とし
ての限界曲率半径は、０次モードの光を透過しかつ１次
以上のモードの光をカットオフする領域における最小半
径であることを特徴とする請求項１記載の導波路素子。 - 【請求項１０】 前記曲がり導波路の最も小さい半径と
しての限界曲率半径は、０次モードの光を透過しかつ１
次以上のモードの光をカットオフする領域における最小
半径であることを特徴とする請求項５記載の導波路デバ
イス。 - 【請求項１１】 前記導波路素子はアレイ状導波路であ
ることを特徴とする請求項５記載の導波路デバイス。 - 【請求項１２】 前記導波路素子はマッハツェンダ干渉
計であることを特徴とする請求項５記載の導波路デバイ
ス。
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|---|---|---|---|
| JP2002046324A JP3818169B2 (ja) | 2002-02-22 | 2002-02-22 | 導波路デバイス |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002046324A JP3818169B2 (ja) | 2002-02-22 | 2002-02-22 | 導波路デバイス |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|
| JP2002046324A Expired - Fee Related JP3818169B2 (ja) | 2002-02-22 | 2002-02-22 | 導波路デバイス |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008108422A1 (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-12 | Nec Corporation | 光導波路モジュール |
| CN102360098A (zh) * | 2011-11-01 | 2012-02-22 | 浙江富春江光电科技股份有限公司 | Plc分路器及其封装方法 |
| JP2014095780A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光増幅装置 |
| KR20220008606A (ko) * | 2020-07-14 | 2022-01-21 | 서울시립대학교 산학협력단 | 마하-젠더 간섭계 및 이를 이용한 센서 |
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|---|---|---|---|---|
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| CN100383583C (zh) * | 2005-11-30 | 2008-04-23 | 中国科学院半导体研究所 | 采用损耗微调波导实现阵列波导光栅通道均匀性的方法 |
| JP5275634B2 (ja) * | 2008-01-17 | 2013-08-28 | 古河電気工業株式会社 | 光集積素子および光集積素子の製造方法 |
| US20100284645A1 (en) * | 2009-05-07 | 2010-11-11 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Semiconductor thermooptic phase shifter |
| US9372310B1 (en) | 2014-12-19 | 2016-06-21 | Gooch And Housego Plc | Free space fibre-to-fibre coupling using optical fibres below cut-off |
| PL229961B1 (pl) | 2016-04-21 | 2018-09-28 | Polskie Centrum Fotoniki I Swiatlowodow | Urządzenie do selektywnego zwiększania strat modów wyższych rzędów |
| US11309619B2 (en) | 2016-09-23 | 2022-04-19 | Intel Corporation | Waveguide coupling systems and methods |
| US10566672B2 (en) | 2016-09-27 | 2020-02-18 | Intel Corporation | Waveguide connector with tapered slot launcher |
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| US11394094B2 (en) | 2016-09-30 | 2022-07-19 | Intel Corporation | Waveguide connector having a curved array of waveguides configured to connect a package to excitation elements |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH03248107A (ja) | 1990-02-27 | 1991-11-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 石英系導波路型光回路部品の製造方法 |
| JP2859375B2 (ja) | 1990-05-28 | 1999-02-17 | 日本電信電話株式会社 | 導波型光スターカプラ |
| JP2804363B2 (ja) | 1990-09-25 | 1998-09-24 | 日本電信電話株式会社 | 光方向性結合器 |
| JPH05323138A (ja) | 1992-05-18 | 1993-12-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 積層型光導波回路 |
| US5719976A (en) | 1995-10-24 | 1998-02-17 | Lucent Technologies, Inc. | Optimized waveguide structure |
| JP3970350B2 (ja) | 1996-02-23 | 2007-09-05 | 株式会社フジクラ | 光分岐デバイス |
| JP2858656B2 (ja) * | 1997-02-14 | 1999-02-17 | 日立電線株式会社 | 光波長合分波器 |
| FI103619B (fi) * | 1997-05-26 | 1999-07-30 | Nokia Telecommunications Oy | Optinen multipleksointi ja demultipleksointi |
| JPH1152158A (ja) | 1997-08-07 | 1999-02-26 | Hitachi Cable Ltd | 導波路型光回路 |
| US6069990A (en) * | 1997-11-27 | 2000-05-30 | Hitachi Cable Ltd. | Optical wavelength multiplexer/demultiplexer |
| FR2772144B1 (fr) * | 1997-12-08 | 2000-02-25 | France Telecom | Dispositif d'echange de signaux optiques a travers une fibre optique |
| JPH11248949A (ja) | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Hitachi Cable Ltd | 光波長合分波器 |
| DE19815404A1 (de) * | 1998-04-06 | 1999-10-14 | Siemens Ag | Anordnung zur räumlichen Trennung und/oder Zusammenführung optischer Wellenlängenkanäle |
| JP2001235645A (ja) | 2000-02-25 | 2001-08-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光導波回路 |
| EP1219983B1 (en) * | 2000-12-22 | 2008-09-17 | Nippon Telegraph and Telephone Corporation | Polarization independent optical waveguide circuit |
| US6810167B2 (en) * | 2001-10-29 | 2004-10-26 | Fujitsu Limited | Wavelength division demultiplexing apparatus |
-
2002
- 2002-02-22 JP JP2002046324A patent/JP3818169B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-02-21 US US10/370,115 patent/US7106929B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008108422A1 (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-12 | Nec Corporation | 光導波路モジュール |
| CN102360098A (zh) * | 2011-11-01 | 2012-02-22 | 浙江富春江光电科技股份有限公司 | Plc分路器及其封装方法 |
| JP2014095780A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光増幅装置 |
| KR20220008606A (ko) * | 2020-07-14 | 2022-01-21 | 서울시립대학교 산학협력단 | 마하-젠더 간섭계 및 이를 이용한 센서 |
| KR102490915B1 (ko) | 2020-07-14 | 2023-01-20 | 서울시립대학교 산학협력단 | 마하-젠더 간섭계 및 이를 이용한 센서 |
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|---|---|
| US20030169965A1 (en) | 2003-09-11 |
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