JP2003225879A - 板材搬送用吸着パッド構造 - Google Patents
板材搬送用吸着パッド構造Info
- Publication number
- JP2003225879A JP2003225879A JP2002027413A JP2002027413A JP2003225879A JP 2003225879 A JP2003225879 A JP 2003225879A JP 2002027413 A JP2002027413 A JP 2002027413A JP 2002027413 A JP2002027413 A JP 2002027413A JP 2003225879 A JP2003225879 A JP 2003225879A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- suction
- adsorption
- recess
- pad structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
れる吸着パッド構造において、基板に当接する吸着Vリ
ングの取り換えが容易で、耐真空リーク性に優れた構造
を提供する。 【解決手段】弾性材からなるラッパ状の吸着Vリング2
の根元部外周に段差部21を設け、当該吸着Vリング2
を取り付けるハンド側ベース部材1に、当該吸着Vリン
グ装着凹部12及びこの凹部の底部に吸着Vリング先端
突出孔14を設け、上記吸着Vリング段差部21が当該
吸着Vリング装着凹部12の底部に当接シールするよう
に吸着Vリング2を挿入し、その裏面から押さえブラケ
ット3を介して着脱自在の蓋体5にて密閉し、この吸着
Vリング装着凹部12をエアー吸引手段に連通させた。
Description
ラス基板等の板材を真空吸着搬送するのに用いられる吸
着パッドの構造に関する。
的にハンドリングするのは困難なので、ゴム等の弾性材
で成形されたラッパ状の吸着Vリングを押圧し、内部を
真空ポンプ等にて吸引してハンドリングする真空吸着方
法が広く採用されている。その吸着部の従来の構造例を
図7に示す。ハンド部分のベース部101に、真空ポン
プ等の吸引手段に連通した真空穴114を設けて、その
先にラッパ状の吸着Vリング102を接着剤103等に
て取り付けていた。
油等の溶解性のある液体等がかかると接着部分がはがれ
やすくなり、真空がリークする不具合があった。また、
ゴム等弾性材からなる吸着Vリング102は、繰り返し
使用により劣化した場合に、接着剤等にて固着されてい
ると交換修理が大変であった。
術における技術的課題に鑑みて、ディスク基板等の板材
の真空吸着手段に用いられる吸着パッド構造において、
基板に当接する吸着Vリングの取り換えが容易で、耐真
空リーク性に優れた構造の提供を目的とする。
吸着Vリング装着部のシール性を確保しつつ、容易にこ
の吸着Vリングの取り換え交換がしやすい構造の提供を
目的に、弾性材からなるラッパ状の吸着Vリングの根元
部外周に段差部を設け、当該吸着Vリングを取り付ける
ハンド側ベース部材に、当該吸着Vリング装着凹部及び
この凹部の底部に吸着Vリング先端突出孔を設け、上記
吸着Vリング段差部が当該吸着Vリング装着凹部の底部
に当接シールするように吸着Vリングを挿入し、その裏
面から押さえブラケットを介して着脱自在の蓋体にて密
閉し、この吸着Vリング装着凹部をエアー吸引手段に連
通させた。
着Vリングの当たり面や、他の部分からエアーが多少リ
ークしても急激に真空吸着性が落ちないように吸着Vリ
ング装着凹部に真空溜まり用の空間部を設けたものであ
る。
を略円筒状の形状にし、側部に連通孔を設けたものであ
る。これにより、吸着Vリング根元段差部を裏側から押
圧シールしやすく、かつ、側部に設けた連通孔からエア
ー吸引しやすくなるように作用する。
下、図面に基づいて説明する。図6に吸着搬送装置のハ
ンド部を示し、このベース部1に3個の吸着Vリング装
着凹部12を同心円状に配置した例を示す。吸着Vリン
グ2をこの吸着Vリング装着凹部12に挿入し、次に押
さえブラケット3を挿入する。同心円上に配置した3ヶ
所にこれらの吸着Vリング及び押さえブラケットを挿入
後に、その上からパッキン材4を装着し、さらに蓋体5
にて密閉し、ボルト6にて締結する。即ち、パッキン材
4及び蓋体5には、所定の取り付け孔41、51が設け
られ、それぞれの取り付け孔を介してボルト6にてベー
ス部材の取り付け孔15に着脱自在に取り付けられてい
る。
側面図を図2(ロ)に示す。それぞれの吸着Vリング装
着凹部12は、真空溜まり用空間部13にて連結されて
いて、エアー吸引口14が図示を省略した真空ポンプ等
の吸引手段に連通している。
を図3に示すように、凹部の底部11に吸着Vリングの
先端部が突出する吸着Vリング先端突出孔14が設けら
れている。この凹部に吸着Vリング2及び押さえブラケ
ット3等を装着した状態の断面図を図1に示す。なお、
吸着Vリングの外観斜視図を図4に、押さえブラケット
の外観斜視図を図5にそれぞれ示す。吸着Vリング2の
根元には、外周段差部21が形成され、この部分がベー
ス部材1の吸着Vリング装着凹部12の底部11に当接
する。この裏面(図1にて上)から押さえブラケット3
の端面にて吸着Vリングの段差部21を押圧するように
なっている。押さえブラケット3は、略円筒形状になっ
ていて、両端部のフランジ部33にて吸着Vリングをパ
ッキン材4を介して蓋体5にて確実にシールできるよう
になっている。その一方、押さえブラケットの内部32
から側面に向かって連通孔31が設けられているので、
吸着Vリング2の吸引口23を通じて基板との吸着部を
真空にすることができる。
円上に3ヶ配設した例で説明したが、配置個数や配置形
状は、吸着する基板の形状や大きさにより選定されるも
のであり、任意に変更が可能である。
材に吸着Vリング装着凹部を設けて、押さえブラケット
を介して蓋体で締結シールできるようにしたので、吸着
Vリングの取り換えが容易になるとともに、押さえブラ
ケットを円筒状にしたので吸着Vリングのシール面を確
実に押圧シールすることができる。また、押さえブラケ
ットを円筒形状にしつつ、側部に連通孔を設けて隣接す
る吸着部と真空溜まり空間にて連結したので、それぞれ
の吸着部を同時的に作動させることができるとともに、
耐リーク性が向上する。
示す。
Claims (3)
- 【請求項1】弾性材からなるラッパ状の吸着Vリングの
根元部外周に段差部を設け、当該吸着Vリングを取り付
けるハンド側ベース部材に、当該吸着Vリング装着凹部
及びこの凹部の底部に吸着Vリング先端突出孔を設け、
上記吸着Vリング段差部が当該吸着Vリング装着凹部の
底部に当接シールするように吸着Vリングを挿入し、そ
の裏面から押さえブラケットを介して着脱自在の蓋体に
て密閉し、この吸着Vリング装着凹部をエアー吸引手段
に連通させたことを特徴とする板材搬送用吸着パッド構
造。 - 【請求項2】吸着Vリング装着凹部に、真空溜まり用の
空間部を設けた請求項1記載の板材搬送用吸着パッド構
造。 - 【請求項3】押さえブラケットを略円筒状に形成し、側
部に連通孔を設けた請求項1又は請求項2記載の板材搬
送用吸着パッド構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002027413A JP3906089B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 板材搬送用吸着パッド構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002027413A JP3906089B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 板材搬送用吸着パッド構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003225879A true JP2003225879A (ja) | 2003-08-12 |
JP3906089B2 JP3906089B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=27748944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002027413A Expired - Fee Related JP3906089B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 板材搬送用吸着パッド構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3906089B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101021980B1 (ko) | 2008-10-16 | 2011-03-17 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치, 이를 갖는 기판 처리 장치 및 이를 이용한기판 이송 방법 |
JP2016042500A (ja) * | 2014-08-14 | 2016-03-31 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
JP2020516065A (ja) * | 2017-03-31 | 2020-05-28 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント(グループ)カンパニー リミティド | シリコンウェーハ吸着装置、シリコンウェーハ搬送装置、シリコンウェーハ搬送システム、及び搬送方法 |
-
2002
- 2002-02-04 JP JP2002027413A patent/JP3906089B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101021980B1 (ko) | 2008-10-16 | 2011-03-17 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치, 이를 갖는 기판 처리 장치 및 이를 이용한기판 이송 방법 |
JP2016042500A (ja) * | 2014-08-14 | 2016-03-31 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
JP2020516065A (ja) * | 2017-03-31 | 2020-05-28 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント(グループ)カンパニー リミティド | シリコンウェーハ吸着装置、シリコンウェーハ搬送装置、シリコンウェーハ搬送システム、及び搬送方法 |
US11309209B2 (en) | 2017-03-31 | 2022-04-19 | Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | Wafer holder and wafer transfer apparatus, system and method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3906089B2 (ja) | 2007-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008545588A (ja) | 保管バッグを真空化するための装置および方法 | |
WO2001072472A3 (en) | Carrier head with a flexible membrane having parts made with different elastomers | |
JP2003227839A (ja) | マルチウェル装置 | |
KR20160108112A (ko) | 흡착판 | |
JP2008074565A (ja) | 板状物の吸着方法及び吸着パッド | |
JP2011094715A (ja) | 吸盤装置 | |
JP2003225879A (ja) | 板材搬送用吸着パッド構造 | |
US20150113915A1 (en) | Food vessel packing apparatus | |
JP2005026377A (ja) | 真空テープ貼付装置及び方法 | |
CN211989438U (zh) | 点胶治具、旋转治具平台及点胶设备 | |
CN111068981A (zh) | 点胶治具、旋转治具平台及点胶设备 | |
JP2002184835A (ja) | 吸着パッド | |
JPH09181156A (ja) | 真空チャック | |
JPS62287639A (ja) | 薄板回路基板における感圧性粘着テ−プの貼着方法 | |
JPH07267410A (ja) | 吸着パッド | |
CN213263218U (zh) | 一种用于玻璃切割机自动贴标***的吸盘机构 | |
JP3215221U (ja) | キャリアボードに載置するフレキシブル基板の剥離装置の剥離組立体 | |
JP2009106449A (ja) | 電気掃除機及びこれに用いる集塵袋 | |
JPH0911172A (ja) | バキュームカップ | |
CN217355182U (zh) | 一种盘形吸盘骨架 | |
CN213662290U (zh) | Ai云资源录播主机 | |
CN217627562U (zh) | 用于血肽口服液的灌装模组及灌装机 | |
CN215847730U (zh) | 一种真空吸附治具 | |
CN212463657U (zh) | 一种印制板吸附限位装置 | |
JP2002346962A (ja) | 真空吸着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3906089 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130119 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160119 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |