JP2003225879A - 板材搬送用吸着パッド構造 - Google Patents
板材搬送用吸着パッド構造Info
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- JP2003225879A JP2003225879A JP2002027413A JP2002027413A JP2003225879A JP 2003225879 A JP2003225879 A JP 2003225879A JP 2002027413 A JP2002027413 A JP 2002027413A JP 2002027413 A JP2002027413 A JP 2002027413A JP 2003225879 A JP2003225879 A JP 2003225879A
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- suction
- adsorption
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ディスク基板等の板材の真空吸着手段に用いら
れる吸着パッド構造において、基板に当接する吸着Ｖリ
ングの取り換えが容易で、耐真空リーク性に優れた構造
を提供する。 【解決手段】弾性材からなるラッパ状の吸着Ｖリング２
の根元部外周に段差部２１を設け、当該吸着Ｖリング２
を取り付けるハンド側ベース部材１に、当該吸着Ｖリン
グ装着凹部１２及びこの凹部の底部に吸着Ｖリング先端
突出孔１４を設け、上記吸着Ｖリング段差部２１が当該
吸着Ｖリング装着凹部１２の底部に当接シールするよう
に吸着Ｖリング２を挿入し、その裏面から押さえブラケ
ット３を介して着脱自在の蓋体５にて密閉し、この吸着
Ｖリング装着凹部１２をエアー吸引手段に連通させた。
れる吸着パッド構造において、基板に当接する吸着Ｖリ
ングの取り換えが容易で、耐真空リーク性に優れた構造
を提供する。 【解決手段】弾性材からなるラッパ状の吸着Ｖリング２
の根元部外周に段差部２１を設け、当該吸着Ｖリング２
を取り付けるハンド側ベース部材１に、当該吸着Ｖリン
グ装着凹部１２及びこの凹部の底部に吸着Ｖリング先端
突出孔１４を設け、上記吸着Ｖリング段差部２１が当該
吸着Ｖリング装着凹部１２の底部に当接シールするよう
に吸着Ｖリング２を挿入し、その裏面から押さえブラケ
ット３を介して着脱自在の蓋体５にて密閉し、この吸着
Ｖリング装着凹部１２をエアー吸引手段に連通させた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク基板やガ
ラス基板等の板材を真空吸着搬送するのに用いられる吸
着パッドの構造に関する。
ラス基板等の板材を真空吸着搬送するのに用いられる吸
着パッドの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ディスク基板等の薄い板材をメカニカル
的にハンドリングするのは困難なので、ゴム等の弾性材
で成形されたラッパ状の吸着Ｖリングを押圧し、内部を
真空ポンプ等にて吸引してハンドリングする真空吸着方
法が広く採用されている。その吸着部の従来の構造例を
図７に示す。ハンド部分のベース部１０１に、真空ポン
プ等の吸引手段に連通した真空穴１１４を設けて、その
先にラッパ状の吸着Ｖリング１０２を接着剤１０３等に
て取り付けていた。
的にハンドリングするのは困難なので、ゴム等の弾性材
で成形されたラッパ状の吸着Ｖリングを押圧し、内部を
真空ポンプ等にて吸引してハンドリングする真空吸着方
法が広く採用されている。その吸着部の従来の構造例を
図７に示す。ハンド部分のベース部１０１に、真空ポン
プ等の吸引手段に連通した真空穴１１４を設けて、その
先にラッパ状の吸着Ｖリング１０２を接着剤１０３等に
て取り付けていた。
【０００３】しかし、この接着シール部分１０３に切削
油等の溶解性のある液体等がかかると接着部分がはがれ
やすくなり、真空がリークする不具合があった。また、
ゴム等弾性材からなる吸着Ｖリング１０２は、繰り返し
使用により劣化した場合に、接着剤等にて固着されてい
ると交換修理が大変であった。
油等の溶解性のある液体等がかかると接着部分がはがれ
やすくなり、真空がリークする不具合があった。また、
ゴム等弾性材からなる吸着Ｖリング１０２は、繰り返し
使用により劣化した場合に、接着剤等にて固着されてい
ると交換修理が大変であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術における技術的課題に鑑みて、ディスク基板等の板材
の真空吸着手段に用いられる吸着パッド構造において、
基板に当接する吸着Ｖリングの取り換えが容易で、耐真
空リーク性に優れた構造の提供を目的とする。
術における技術的課題に鑑みて、ディスク基板等の板材
の真空吸着手段に用いられる吸着パッド構造において、
基板に当接する吸着Ｖリングの取り換えが容易で、耐真
空リーク性に優れた構造の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
吸着Ｖリング装着部のシール性を確保しつつ、容易にこ
の吸着Ｖリングの取り換え交換がしやすい構造の提供を
目的に、弾性材からなるラッパ状の吸着Ｖリングの根元
部外周に段差部を設け、当該吸着Ｖリングを取り付ける
ハンド側ベース部材に、当該吸着Ｖリング装着凹部及び
この凹部の底部に吸着Ｖリング先端突出孔を設け、上記
吸着Ｖリング段差部が当該吸着Ｖリング装着凹部の底部
に当接シールするように吸着Ｖリングを挿入し、その裏
面から押さえブラケットを介して着脱自在の蓋体にて密
閉し、この吸着Ｖリング装着凹部をエアー吸引手段に連
通させた。
吸着Ｖリング装着部のシール性を確保しつつ、容易にこ
の吸着Ｖリングの取り換え交換がしやすい構造の提供を
目的に、弾性材からなるラッパ状の吸着Ｖリングの根元
部外周に段差部を設け、当該吸着Ｖリングを取り付ける
ハンド側ベース部材に、当該吸着Ｖリング装着凹部及び
この凹部の底部に吸着Ｖリング先端突出孔を設け、上記
吸着Ｖリング段差部が当該吸着Ｖリング装着凹部の底部
に当接シールするように吸着Ｖリングを挿入し、その裏
面から押さえブラケットを介して着脱自在の蓋体にて密
閉し、この吸着Ｖリング装着凹部をエアー吸引手段に連
通させた。
【０００６】請求項２記載の発明は、ディスク基板と吸
着Ｖリングの当たり面や、他の部分からエアーが多少リ
ークしても急激に真空吸着性が落ちないように吸着Ｖリ
ング装着凹部に真空溜まり用の空間部を設けたものであ
る。
着Ｖリングの当たり面や、他の部分からエアーが多少リ
ークしても急激に真空吸着性が落ちないように吸着Ｖリ
ング装着凹部に真空溜まり用の空間部を設けたものであ
る。
【０００７】請求項３記載の発明は、押さえブラケット
を略円筒状の形状にし、側部に連通孔を設けたものであ
る。これにより、吸着Ｖリング根元段差部を裏側から押
圧シールしやすく、かつ、側部に設けた連通孔からエア
ー吸引しやすくなるように作用する。
を略円筒状の形状にし、側部に連通孔を設けたものであ
る。これにより、吸着Ｖリング根元段差部を裏側から押
圧シールしやすく、かつ、側部に設けた連通孔からエア
ー吸引しやすくなるように作用する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の望ましい実施の形態を以
下、図面に基づいて説明する。図６に吸着搬送装置のハ
ンド部を示し、このベース部１に３個の吸着Ｖリング装
着凹部１２を同心円状に配置した例を示す。吸着Ｖリン
グ２をこの吸着Ｖリング装着凹部１２に挿入し、次に押
さえブラケット３を挿入する。同心円上に配置した３ヶ
所にこれらの吸着Ｖリング及び押さえブラケットを挿入
後に、その上からパッキン材４を装着し、さらに蓋体５
にて密閉し、ボルト６にて締結する。即ち、パッキン材
４及び蓋体５には、所定の取り付け孔４１、５１が設け
られ、それぞれの取り付け孔を介してボルト６にてベー
ス部材の取り付け孔１５に着脱自在に取り付けられてい
る。
下、図面に基づいて説明する。図６に吸着搬送装置のハ
ンド部を示し、このベース部１に３個の吸着Ｖリング装
着凹部１２を同心円状に配置した例を示す。吸着Ｖリン
グ２をこの吸着Ｖリング装着凹部１２に挿入し、次に押
さえブラケット３を挿入する。同心円上に配置した３ヶ
所にこれらの吸着Ｖリング及び押さえブラケットを挿入
後に、その上からパッキン材４を装着し、さらに蓋体５
にて密閉し、ボルト６にて締結する。即ち、パッキン材
４及び蓋体５には、所定の取り付け孔４１、５１が設け
られ、それぞれの取り付け孔を介してボルト６にてベー
ス部材の取り付け孔１５に着脱自在に取り付けられてい
る。
【０００９】ベース部１の平面図を図２（イ）に示し、
側面図を図２（ロ）に示す。それぞれの吸着Ｖリング装
着凹部１２は、真空溜まり用空間部１３にて連結されて
いて、エアー吸引口１４が図示を省略した真空ポンプ等
の吸引手段に連通している。
側面図を図２（ロ）に示す。それぞれの吸着Ｖリング装
着凹部１２は、真空溜まり用空間部１３にて連結されて
いて、エアー吸引口１４が図示を省略した真空ポンプ等
の吸引手段に連通している。
【００１０】この吸着Ｖリング装着凹部は、その断面図
を図３に示すように、凹部の底部１１に吸着Ｖリングの
先端部が突出する吸着Ｖリング先端突出孔１４が設けら
れている。この凹部に吸着Ｖリング２及び押さえブラケ
ット３等を装着した状態の断面図を図１に示す。なお、
吸着Ｖリングの外観斜視図を図４に、押さえブラケット
の外観斜視図を図５にそれぞれ示す。吸着Ｖリング２の
根元には、外周段差部２１が形成され、この部分がベー
ス部材１の吸着Ｖリング装着凹部１２の底部１１に当接
する。この裏面（図１にて上）から押さえブラケット３
の端面にて吸着Ｖリングの段差部２１を押圧するように
なっている。押さえブラケット３は、略円筒形状になっ
ていて、両端部のフランジ部３３にて吸着Ｖリングをパ
ッキン材４を介して蓋体５にて確実にシールできるよう
になっている。その一方、押さえブラケットの内部３２
から側面に向かって連通孔３１が設けられているので、
吸着Ｖリング２の吸引口２３を通じて基板との吸着部を
真空にすることができる。
を図３に示すように、凹部の底部１１に吸着Ｖリングの
先端部が突出する吸着Ｖリング先端突出孔１４が設けら
れている。この凹部に吸着Ｖリング２及び押さえブラケ
ット３等を装着した状態の断面図を図１に示す。なお、
吸着Ｖリングの外観斜視図を図４に、押さえブラケット
の外観斜視図を図５にそれぞれ示す。吸着Ｖリング２の
根元には、外周段差部２１が形成され、この部分がベー
ス部材１の吸着Ｖリング装着凹部１２の底部１１に当接
する。この裏面（図１にて上）から押さえブラケット３
の端面にて吸着Ｖリングの段差部２１を押圧するように
なっている。押さえブラケット３は、略円筒形状になっ
ていて、両端部のフランジ部３３にて吸着Ｖリングをパ
ッキン材４を介して蓋体５にて確実にシールできるよう
になっている。その一方、押さえブラケットの内部３２
から側面に向かって連通孔３１が設けられているので、
吸着Ｖリング２の吸引口２３を通じて基板との吸着部を
真空にすることができる。
【００１１】なお、本発明の実施の形態を吸着部を同心
円上に３ヶ配設した例で説明したが、配置個数や配置形
状は、吸着する基板の形状や大きさにより選定されるも
のであり、任意に変更が可能である。
円上に３ヶ配設した例で説明したが、配置個数や配置形
状は、吸着する基板の形状や大きさにより選定されるも
のであり、任意に変更が可能である。
【００１２】
【発明の効果】本発明においては、ハンド部のベース部
材に吸着Ｖリング装着凹部を設けて、押さえブラケット
を介して蓋体で締結シールできるようにしたので、吸着
Ｖリングの取り換えが容易になるとともに、押さえブラ
ケットを円筒状にしたので吸着Ｖリングのシール面を確
実に押圧シールすることができる。また、押さえブラケ
ットを円筒形状にしつつ、側部に連通孔を設けて隣接す
る吸着部と真空溜まり空間にて連結したので、それぞれ
の吸着部を同時的に作動させることができるとともに、
耐リーク性が向上する。
材に吸着Ｖリング装着凹部を設けて、押さえブラケット
を介して蓋体で締結シールできるようにしたので、吸着
Ｖリングの取り換えが容易になるとともに、押さえブラ
ケットを円筒状にしたので吸着Ｖリングのシール面を確
実に押圧シールすることができる。また、押さえブラケ
ットを円筒形状にしつつ、側部に連通孔を設けて隣接す
る吸着部と真空溜まり空間にて連結したので、それぞれ
の吸着部を同時的に作動させることができるとともに、
耐リーク性が向上する。
【図１】本発明に係る吸着部の断面図を示す。
【図２】ベース部材への吸着部配置図を示す。
【図３】吸着部である吸着Ｖリング装着凹部の断面図を
示す。
示す。
【図４】吸着Ｖリングを示す。
【図５】押さえブラケットを示す。
【図６】吸着部の組付け状態を示す。
【図７】従来の吸着部の構造例を示す。
１ ハンド側ベース部材
１１ 吸着Ｖリング装着凹部の底部
１２ 吸着Ｖリング装着凹部
１３ 真空溜まり用空間部
１４ 吸着Ｖリング先端突出孔
１５ ベース部材の取り付け孔
２ 吸着Ｖリング
２１ 吸着Ｖリングの段差部
２２ 吸着Ｖリング先端部
２３ 吸着Ｖリング内部
３ 押さえブラケット
３１ 押さえブラケット連通孔
３２ 押さえブラケット内部
２３ 押さえブラケットフランジ部
４ パッキン材
４１ パッキン材の取り付け孔
５ 蓋体
５１ 蓋体の取り付け孔
６ ボルト
Claims (3)
- 【請求項１】弾性材からなるラッパ状の吸着Ｖリングの
根元部外周に段差部を設け、当該吸着Ｖリングを取り付
けるハンド側ベース部材に、当該吸着Ｖリング装着凹部
及びこの凹部の底部に吸着Ｖリング先端突出孔を設け、
上記吸着Ｖリング段差部が当該吸着Ｖリング装着凹部の
底部に当接シールするように吸着Ｖリングを挿入し、そ
の裏面から押さえブラケットを介して着脱自在の蓋体に
て密閉し、この吸着Ｖリング装着凹部をエアー吸引手段
に連通させたことを特徴とする板材搬送用吸着パッド構
造。 - 【請求項２】吸着Ｖリング装着凹部に、真空溜まり用の
空間部を設けた請求項１記載の板材搬送用吸着パッド構
造。 - 【請求項３】押さえブラケットを略円筒状に形成し、側
部に連通孔を設けた請求項１又は請求項２記載の板材搬
送用吸着パッド構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002027413A JP3906089B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 板材搬送用吸着パッド構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002027413A JP3906089B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 板材搬送用吸着パッド構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003225879A true JP2003225879A (ja) | 2003-08-12 |
| JP3906089B2 JP3906089B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=27748944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002027413A Expired - Fee Related JP3906089B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 板材搬送用吸着パッド構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3906089B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101021980B1 (ko) | 2008-10-16 | 2011-03-17 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치, 이를 갖는 기판 처리 장치 및 이를 이용한기판 이송 방법 |
| JP2016042500A (ja) * | 2014-08-14 | 2016-03-31 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
| JP2020516065A (ja) * | 2017-03-31 | 2020-05-28 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | シリコンウェーハ吸着装置、シリコンウェーハ搬送装置、シリコンウェーハ搬送システム、及び搬送方法 |
-
2002
- 2002-02-04 JP JP2002027413A patent/JP3906089B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101021980B1 (ko) | 2008-10-16 | 2011-03-17 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치, 이를 갖는 기판 처리 장치 및 이를 이용한기판 이송 방법 |
| JP2016042500A (ja) * | 2014-08-14 | 2016-03-31 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
| JP2020516065A (ja) * | 2017-03-31 | 2020-05-28 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | シリコンウェーハ吸着装置、シリコンウェーハ搬送装置、シリコンウェーハ搬送システム、及び搬送方法 |
| US11309209B2 (en) | 2017-03-31 | 2022-04-19 | Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | Wafer holder and wafer transfer apparatus, system and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3906089B2 (ja) | 2007-04-18 |
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