JP2003195076A - 補助光導波路を備える光パワー分割器 - Google Patents

補助光導波路を備える光パワー分割器

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JP2003195076A JP2002360401A JP2002360401A JP2003195076A JP 2003195076 A JP2003195076 A JP 2003195076A JP 2002360401 A JP2002360401 A JP 2002360401A JP 2002360401 A JP2002360401 A JP 2002360401A JP 2003195076 A JP2003195076 A JP 2003195076A
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optical
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power splitter
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Heu-Gon Kim
喜坤 金
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Abstract

(57)【要約】 【課題】パワー分割比の均一化を最大にし、チャネル間
の出力差を最小化する光パワー分割器を提供する。 【解決手段】光パワー分割器は、半導体基板と、前記半
導体基板に積層され、波長による多チャネルから構成さ
れた光信号の伝送媒体になり、光信号を受信するための
入力光導波路及びパワー分割された光信号のそれぞれの
部分を出力するための複数の出力光導波路を含むコア
と、このコアを囲むクラッドと、入力光導波路と複数の
出力光導波路との間に連結され、その出力側端面上に現
れる多チャネルのモードプロファイルを均一化するよう
に設定された幅及び長さを有する直線形補助光導波路
と、を含んでなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面光波回路(pla
nar lightwave circuit)に関し、特に、光パワー分割器
(optical power splitter)に関する。
【0002】
【従来の技術】一般的に、平面光波回路は、半導体基
板、半導体基板上に積層されて内部全反射を利用し入力
された光信号を伝播するコア(core)、及びコアを囲むク
ラッド(clad)から構成される。光回路を利用した光学素
子としては、光信号のパワーを分離または結合する光パ
ワー分割器/結合器(optical power splitter/combine
r)、波長によって光信号を構成するチャネルを逆多重化
または多重化する波長分割多重化器/逆多重化器(wavel
ength division multiplexer/demultiplexer)などがあ
る。さらに、光パワー分割器は、大きくY字型光導波路
(Y-branch waveguide)のような2分岐構造、及びスター
カプラ(star coupler)のような多分岐構造に分けられ
る。
【0003】図1は、従来技術によるY字型光導波路の
概略図である。Y字型光導波路は、入力側端面を通して
光信号を受信し、出力側端面115の方に行くにつれて
幅が広くなる入力光導波路110と、入力光導波路11
0の出力側端面115から中心線140を中心にして対
称になるように延長された第1出力光導波路120及び
第2出力光導波路130から構成される。Y字型光導波
路は、平面光波回路であり、半導体基板上に高屈折率の
コア及びコアを囲む低屈折率のクラッドを積層すること
によって形成される。
【0004】Y字型光導波路の入力側端面を通して結合
された光信号は、そのパワーが分割されて第1出力光導
波路120及び第2出力光導波路130を通して出力さ
れる。この時、第1出力光導波路120及び第2出力光
導波路130を通して出力される分岐された光信号のパ
ワーを均一にすること、つまり、Y字型光導波路のパワ
ー分割比を一定にすることが重要である。また、パワー
分割比の均一化は、単一チャネルの光信号だけでなく、
多チャネルの光信号にも要求される。
【0005】図2aは、入力光導波路110の出力側端
面115を基準にして入力光導波路110のモードプロ
ファイル(mode profile)を波長に応じて示した図であ
り、図2bは、入力光導波路110の出力側端面115
を基準にして第1出力光導波路120及び第2出力光導
波路130のモードプロファイルを波長に応じて示した
図である。
【0006】図2aには、第1チャネルに対する第1モ
ードプロファイル210及び第2チャネルに対する第2
モードプロファイル220が示してある。第1チャネル
は1250nmの波長を有し、第2チャネルは1650
nmの波長を有する。図面通り、短波長に関する第1モ
ードプロファイル210のほうが長波長に関する第2モ
ードプロファイル220よりも鋭い(sharp)形態を示す
ことが分かる。
【0007】図2bには、第1チャネルに対する第3モ
ードプロファイル230及び第2チャネルに対する第4
モードプロファイル240が示してある。図面通り、短
波長に関する第3モードプロファイル230のほうが長
波長に関する第4モードプロファイル240よりも鋭い
形態を示すことが分かる。
【0008】図3aは、第1チャネルに対するY字型光
導波路のモード不一致を説明するための図であり、図3
bは、第2チャネルに対するY字型光導波路のモード不
一致を説明するための図である。
【0009】図3aには、第1チャネルに対する入力光
導波路110の第1モードプロファイル210と、第1
出力光導波路120及び第2出力光導波路130の第3
モードプロファイル230が示してある。図面通り、第
1モードプロファイル210及び第3モードプロファイ
ル230は一致しない。その結果、モード不一致が第1
出力光導波路120及び第2出力光導波路130への分
岐された光信号の出力に発生する。
【0010】図3bには、第2チャネルに対する入力光
導波路110の第2モードプロファイル220と、第1
出力光導波路120及び第2出力光導波路130の第4
モードプロファイル240が示してある。図面通り、第
2モードプロファイル220及び第4モードプロファイ
ル240は一致しない。その結果、モード不一致が第1
出力光導波路120及び第2出力光導波路130への分
岐された光信号の出力に発生する。
【0011】前述したように、第1出力光導波路120
及び第2出力導波路130の出力は類似している。特
に、図1に示すように、Y字型光導波路における第1出
力光導波路120及び第2出力導波路130は、中心線
140を基準にして左右対称の構造を有している。従っ
て、パワー分割比の均一化は問題にならないが、第1出
力光導波路120及び第2出力導波路130間の出力差
はY字型光導波路の性能を低下させる。
【0012】図4は、Y字型光導波路の波長別出力を説
明するための図である。図4には、第1出力光導波路1
20または第2出力光導波路130の波長ごとの出力曲
線250が示してあり、波長が長くなるにつれて出力パ
ワーが減少し、全体変動幅Aも大きくなる。
【0013】図5は、従来技術によるスターカプラの概
略図である。スターカプラは、入力側端面を通して光信
号が入力される入力光導波路310、入力光導波路31
0と連結する楕円形のスラブ光導波路(slab waveguide)
320、及びスラブ光導波路320の出力側端面325
から中心線370を中心にして対称になるように延長し
た第1乃至第4出力光導波路330、340、350、
360から構成される。スターカプラは、平面光波回路
であり、半導体基板上に高屈折率のコア及びコアを囲む
低屈折率のクラッドを積層することによって形成され
る。
【0014】入力光導波路310の入力側端面を通して
結合された光信号は、前記スラブ光導波路320を経由
して第1乃至第4出力光導波路330、340、35
0、360を通して出力される。この時、第1乃至第4
出力光導波路330、340、350、360を通して
出力される分岐された光信号のパワーを均一にするこ
と、つまり、スターカプラのパワー分割比を一定にする
ことが重要である。また、このパワー分割比の均一化
は、単一チャネルの光信号だけでなく、多チャネルの光
信号でも要求される。
【0015】図6aは、スラブ光導波路320の出力側
端面325を基準にして前記スラブ光導波路320のモ
ードプロファイルを波長に応じて示した図であり、図6
bは、スラブ光導波路320の出力側端面325を基準
にして第1乃至第4出力光導波路330、340、35
0、360のモードプロファイルを波長に応じて示した
図である。
【0016】図6aには、第1チャネルに対する第1モ
ードプロファイル410及び第2チャネルに対する第2
モードプロファイル420が示してある。第1チャネル
は1250nmの波長を有し、第2チャネルは1650
nmの波長を有する。図面通り、短波長に対する第1モ
ードプロファイル410のほうが長波長に対する第2モ
ードプロファイル420よりも鋭い形態を示すことが分
かる。
【0017】図6bには、第1チャネルに対する第3モ
ードプロファイル430及び第2チャネルに対する第4
モードプロファイル440が示してある。図面通り、短
波長に対する第3モードプロファイル430のほうが長
波長に対する第4モードプロファイル440よりも鋭い
形態を示すことが分かる。
【0018】図7aは第1チャネルに対するスターカプ
ラのモード不一致を説明するための図であり、図7bは
第2チャネルに対するスターカプラのモード不一致を説
明するための図である。
【0019】図7aには、第1チャネルに対するスラブ
光導波路320の第1モードプロファイル410、及び
第1乃至第4出力光導波路330、340、350、3
60の第3モードプロファイル430が示してある。図
面通り、第1モードプロファイル410及び第3モード
プロファイル430は一致しない。その結果、モード不
一致が第1乃至第4出力光導波路330、340、35
0、360への分岐された光信号の出力に発生する。
【0020】図7bには、第2チャネルに対するスラブ
光導波路320の第2モードプロファイル420、及び
第1乃至第4出力光導波路330、340、350、3
60の第4モードプロファイル440が示してある。図
面通り、第2モードプロファイル420及び第4モード
プロファイル440は一致しない。その結果、モード不
一致が第1乃至第4出力光導波路330、340、35
0、360への分岐された光信号の出力に発生する。
【0021】前述したように、第1出力光導波路330
及び第4出力光導波路360の出力は類似しており、ま
た、第2出力光導波路340及び第3出力光導波路35
0の出力も類似している。つまり、図5に示すように、
中心線370を基準にして左右対称の構造を有するスタ
ーカプラは、第1出力光導波路330及び第4出力導波
路360の出力を類似させ、また、第2出力光導波路3
40及び第3出力光導波路350の出力も類似させる。
【0022】従って、前述したY字型光導波路とは異な
って、パワー分割比の不均一化及びチャネル間の出力差
が問題になり、このパワー分割比の不均一化及びチャネ
ル間の深刻な出力差がスターカプラの性能を低下させる
原因になる。
【0023】図8は、スターカプラの波長別出力を説明
するための図である。図8には、第1出力光導波路33
0または第4出力光導波路360の第1波長別出力曲線
450、及び前記第2出力光導波路340または第3出
力光導波路350の第2波長別出力曲線460が示して
ある。第1波長別出力曲線450は、長波長になるにつ
れてその出力パワーが徐々に増加し、第2波長別出力曲
線460は、長波長になるにつれてその出力パワーが徐
々に減少する。さらに、第1波長別出力曲線450及び
第2波長別出力曲線460の全体変動幅Bが非常に大き
い。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】上記問題点を解決する
ための本発明の目的は、パワー分割比の均一化を最大化
し、チャネル間の出力差を最小化する光パワー分割器を
提供することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るための本発明による光パワー分割器は、半導体基板
と、該半導体基板に積層されて波長による多チャネルか
ら構成された光信号の伝送媒体になるコアと、該コアを
囲むクラッドと、を備えている。コアは、光信号を受信
するための入力光導波路、及びパワー分割された光信号
のそれぞれの部分(チャネル)を出力するための複数の
出力光導波路を含む。光パワー分割器は、入力光導波路
と複数の出力光導波路との間に連結され、その出力側端
面上に現れる多チャネルのモードプロファイル(例え
ば、光信号のそれぞれの部分)を均一化するように設定
された幅及び長さを有する直線形補助光導波路をさらに
含む。
【0026】すなわち、本発明では光パワー分割器にお
いて、多チャネルの光信号を受信する入力光導波路と、
光信号のそれぞれの部分を出力する複数の出力光導波路
と、入力光導波路に連結された入力端及び複数の出力光
導波路に連結された出力端を有し、出力端上に現れるそ
れぞれの光信号のモードプロファイルを均一化するよう
に設定された幅及び長さを有する直線形補助光導波路
と、を備えることを特徴とする光パワー分割器を提供す
る。
【0027】この光パワー分割器は半導体基板上に形成
され、該半導体基板上に積層されて光信号の伝送媒体に
なるコアを有するとよい。補助光導波路の入力端は、該
入力端に連結された入力光導波路部分よりも広い幅を有
するとよく、また、補助光導波路の長さは、予め設定さ
れた幅に対して、その出力端上に現れる多チャネルのモ
ードプロファイルを最大均一化するように設定されると
好ましい。
【0028】また、光パワー分割器において、多チャネ
ルから構成された光信号を受信する入力側端面から出力
側端面の方に行くにつれて幅が広くなる入力光導波路
と、入力光導波路の出力側端面から中心線を基準にして
対称になるように延長された第1及び第2出力光導波路
と、入力光導波路と第1及び第2出力光導波路との間に
連結され、その出力側端面上に現れる多チャネルのモー
ドプロファイルを均一化するように設定された幅及び長
さを有する直線形補助光導波路と、を備えることを特徴
とする光パワー分割器も提供する。
【0029】この光パワー分割器における補助光導波路
の入力側端面の幅は、入力光導波路の出力側端面の幅よ
り広いと好ましく、補助光導波路の長さは、予め設定さ
れた幅に対して、補助光導波路の出力側端面上に現れる
多チャネルのモードプロファイルを最大均一化するよう
に設定されるとなおよい。
【0030】さらに、本発明では光パワー分割器におい
て、入力側端面を通して波長に従って多チャネルから構
成された光信号を受信する入力光導波路と、楕円形のス
ラブ光導波路と、スラブ光導波路の出力側端面から中心
線を基準にして対称になるように延長された複数の出力
光導波路と、入力光導波路とスラブ光導波路との間に連
結され、入力光導波路の幅より広い幅及び予め設定され
た長さを有する直線形補助光導波路と、を備えることを
特徴とする光パワー分割器をも提案する。
【0031】この光パワー分割器における補助光導波路
の長さは、予め設定された幅に対して補助光導波路の出
力側端面上に現れる多チャネルのモードプロファイルを
最大均一化するように設定されると好ましい。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、本発明に従う好適な実施形
態について添付図を参照しつつ詳細に説明する。下記の
説明において、本発明の要旨のみを明確にする目的で、
関連した公知機能または構成に関する具体的な説明は省
略する。
【0033】図9は、本発明の好適な一実施形態による
光パワー分割器のスプリッタである。図9には、入力光
導波路510、補助光導波路520、第1出力光導波路
530及び第2出力光導波路540を含むY字型光導波
路が示してある。
【0034】入力光導波路510は、入力側端面を通し
て光信号を受信し、出力側端面515の方に行くほど幅
が広くなる。
【0035】補助光導波路520は、入力光導波路51
0と第1出力光導波路530及び第2出力光導波路54
0との間に連結され、入力光導波路510の幅より広い
幅C及び所定の長さDを有する。
【0036】第1出力光導波路530及び第2出力光導
波路540は、補助光導波路520の出力側端面525
から中心線550を中心にして対称になるように延長さ
れる。
【0037】Y字型光導波路は、平面光波回路であり、
半導体基板上に高屈折率のコア及びコアを囲む低屈折率
のクラッドを積層することによって形成される。
【0038】入力光導波路510の入力側端面を通して
結合された光信号の最大モードフィールド直径(maximum
mode field diameter)は、補助光導波路520を通過
しながら拡張し、補助光導波路520の長手方向に沿っ
て光信号のローカルモードフィールド直径(local mode
field diameter)及び位相(phase)が継続して変化する。
この時、モードフィールド直径とは、補助光導波路52
0上の任意の位置における光信号に対するモードプロフ
ァイルの幅を称する。補助光導波路520は、その出力
側端面525を基準にしてモードプロファイルを均一化
するように設定された長さを有する。第1出力光導波路
530及び第2出力光導波路540は、補助光導波路5
20の出力側端面525を通して入力された光信号をパ
ワー分割し、その分割した光信号を出力する。
【0039】図10は、Y字型光導波路の波長別出力を
説明するための図である。図10には、補助光導波路5
20の長さが‘0’である場合の第1出力光導波路53
0または第2出力光導波路540の第1波長別出力曲線
610、及び補助光導波路520の長さが225μmで
ある場合の第1出力光導波路530または第2出力光導
波路540の第2波長別出力曲線620が示してある。
この時、補助光導波路520の幅は、12.5μmであ
り、補助光導波路520の長さが‘0’である場合は、
Y字型光導波路が図1に示すような構造を有することを
意味する。
【0040】第1波長別出力曲線610は、長波長にな
るにつれてその出力が徐々に減少し、その全体変動幅E
が相対的に大きいことが分かる。第2波長別出力曲線6
20は均一化されており、その全体変動幅Fが相対的に
小さいことが分かる。
【0041】図11は、本発明の好適な他の実施形態に
よる光パワー分割器の概略図である。図11は、入力側
端面を通して光信号が入力される入力光導波路710、
補助光導波路720、スラブ光導波路730、及び第1
乃至第4出力光導波路740、750、760、770
から構成されるスターカプラを示す。
【0042】補助光導波路720は、入力光導波路71
0とスラブ光導波路730との間に連結され、入力光導
波路710の幅より大きい幅G及び所定の長さHを有す
る。
【0043】楕円形のスラブ光導波路730は、補助光
導波路720と連結され、第1乃至第4出力光導波路7
40、750、760、770は、スラブ光導波路73
0の出力側端面735から中心線780を中心にして対
称になるように延設される。
【0044】スターカプラは、平面光波回路であり、半
導体基板上に高屈折率のコア及びコアを囲む低屈折率の
クラッドを積層することによって形成される。
【0045】入力光導波路710の入力側端面を通して
結合された光信号の最大モードフィールド直径は、補助
光導波路720を通過しながら拡張し、補助光導波路7
20の長手方向に沿って光信号のローカルモードフィー
ルド直径及び位相が継続して変化する。補助光導波路7
20は、その出力側端面725を基準にしてモードプロ
ファイルを均一化するように設定された長さを有する。
次に、光信号は、スラブ光導波路730を経由して第1
乃至第4出力光導波路740、750、760、770
を通して出力される。
【0046】図12乃至図15は、補助光導波路720
の幅Gまたは長さHの変化によるスターカプラの出力変
化を説明するための図である。
【0047】図12は、補助光導波路720の幅が9μ
mである場合を示し、第1チャネルに対する第1出力光
導波路740の第1長さ別出力曲線814及び第2出力
光導波路750の第2長さ別出力曲線818、第2チャ
ネルに対する第1出力光導波路740の第3長さ別出力
曲線824及び第2出力光導波路750の第4長さ別出
力曲線828、第3チャネルに対する第1出力光導波路
740の第5長さ別出力曲線834及び第2出力光導波
路750の第6長さ別出力曲線838が示してある。こ
の時、第1チャネルは1250nmの波長を有し、第2
チャネルは1450nmの波長を有し、第3チャネルは
1650nmの波長を有する。また、第1乃至第6長さ
別出力曲線814、818、824、828、834、
838は、所定の収束領域(converging region)Iを有
する。
【0048】図13は、補助光導波路720の幅が10
μmである場合を示し、第1チャネルに対する第1出力
光導波路740の第1長さ別出力曲線844及び第2出
力光導波路750の第2長さ別出力曲線848、第2チ
ャネルに対する第1出力光導波路740の第3長さ別出
力曲線854及び第2出力光導波路750の第4長さ別
出力曲線858、第3チャネルに対する第1出力光導波
路740の第5長さ別出力曲線864及び第2出力光導
波路750の第6長さ別出力曲線868が示してある。
この時、第1チャネルは1250nmの波長を有し、第
2チャネルは1450nmの波長を有し、第3チャネル
は1650nmの波長を有する。また、第1乃至第6長
さ別出力曲線844、848、854、858、86
4、868は、所定の収束領域Jを有する。
【0049】図14は、補助光導波路720の幅が11
μmである場合を示し、第1チャネルに対する第1出力
光導波路740の第1長さ別出力曲線874及び第2出
力光導波路750の第2長さ別出力曲線878、第2チ
ャネルに対する第1出力光導波路740の第3長さ別出
力曲線884及び第2出力光導波路750の第4長さ別
出力曲線888、第3チャネルに対する第1出力光導波
路740の第5長さ別出力曲線894及び第2出力光導
波路750の第6長さ別出力曲線898が示してある。
この時、第1チャネルは1250nmの波長を有し、第
2チャネルは1450nmの波長を有し、第3チャネル
は1650nmの波長を有する。また、第1乃至第6長
さ別出力曲線874、878、884、888、89
4、898は、所定の収束領域Kを有する。
【0050】図15は、補助光導波路720の幅が12
μmである場合を示し、第1チャネルに対する第1出力
光導波路740の第1長さ別出力曲線914及び第2出
力光導波路750の第2長さ別出力曲線918、第2チ
ャネルに対する第1出力光導波路740の第3長さ別出
力曲線924及び第2出力光導波路750の第4長さ別
出力曲線928、第3チャネルに対する第1出力光導波
路740の第5長さ別出力曲線934及び第2出力光導
波路750の第6長さ別出力曲線938が示してある。
この時、第1チャネルは1250nmの波長を有し、第
2チャネルは1450nmの波長を有し、第3チャネル
は1650nmの波長を有する。また、第1乃至第6長
さ別出力曲線914、918、924、928、93
4、938は、所定の収束領域Lを有する。
【0051】このように補助光導波路720の幅及び長
さを最適に選択することによって、スターカプラのパワ
ー分割比の均一化を最大化し、チャネル間の出力差を最
小化することができるようになる。
【0052】図16は、スターカプラの波長別出力を説
明するための図である。図16には、補助光導波路72
0が‘0’の長さを有する場合の第1出力光導波路74
0に対する第1波長別出力曲線940及び第2出力光導
波路750に対する第2波長別出力曲線950、補助光
導波路720が11μmの幅と255μmの長さを有す
る場合の第1出力光導波路740に対する第3波長別出
力曲線960及び第2出力光導波路750に対する第4
波長別出力曲線970が示してある。この時、補助光導
波路720の長さが‘0’である場合は、スターカプラ
が図5に示すような構造を有することを意味する。
【0053】図16に示すように、第1波長別出力曲線
940は長波長になるにつれてその出力パワーが徐々に
増加する反面、第2波長別出力曲線950は長波長にな
るにつれてその出力パワーが徐々に減少する。また、第
3波長別出力曲線960及び第4波長別出力曲線970
は、均一化される。従って、第3波長別出力曲線960
及び第4波長別出力曲線970の全体変動幅Nは第1波
長別出力曲線940及び第2波長別出力曲線950の全
体変動幅Mに比べて非常に小さい。
【0054】前述の如く、本発明の詳細な説明では具体
的な一実施形態を参照して詳細に説明してきたが、本発
明の範囲は上記一実施形態によって限られるべきではな
く、本発明の範囲内で様々な変形が可能であるというこ
とは、当該技術分野における通常の知識を持つ者には明
らかである。
【0055】
【発明の効果】前述してきたように、本発明による補助
光導波路を備える光パワー分割器は、最適の幅及び長さ
を有する補助光導波路を入力光導波路と複数の出力光導
波路との間に介在させることによって、パワー分割比の
均一化を最大化し、チャネル間の出力差を最小化するこ
とができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術によるY字型光導波路の概略図。
【図2】 図1に示すY字型光導波路のモードプロファ
イルを説明するための図。
【図3】 図1に示すY字型光導波路のモード不一致を
説明するための図。
【図4】 Y字型光導波路の波長別出力を説明するため
の図。
【図5】 従来技術によるスターカプラの概略図。
【図6】 図5に示すスターカプラのモードプロファイ
ルを説明するための図。
【図7】 図5に示すスターカプラのモード不一致を説
明するための図。
【図8】 スターカプラの波長別出力を説明するための
図。
【図9】 本発明の好適な一実施形態による光パワー分
割器の概略図。
【図10】 Y字型光導波路の波長別出力を説明するた
めの図。
【図11】 本発明の好適な他の実施形態による光パワ
ー分割器の概略図。
【図12】 図11に示す補助光導波路の幅を9μmと
し、その長さを変化させた場合のスターカプラ出力変化
を説明するための図。
【図13】 図11に示す補助光導波路の幅を10μm
とし、その長さを変化させた場合のスターカプラ出力変
化を説明するための図。
【図14】 図11に示す補助光導波路の幅を11μm
とし、その長さを変化させた場合のスターカプラ出力変
化を説明するための図。
【図15】 図11に示す補助光導波路の幅を12μm
とし、その長さを変化させた場合のスターカプラ出力変
化を説明するための図。
【図16】 スターカプラの波長別出力を説明するため
の図。
【符号の説明】
510 入力光導波路 520 補助光導波路 530 第1出力光導波路 540 第2出力光導波路 710 入力光導波路 720 補助光導波路 730 スラブ光導波路 740 第1出力光導波路 750 第2出力光導波路 760 第3出力光導波路 770 第4出力光導波路

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光パワー分割器において、 多チャネルの光信号を受信する入力光導波路と、 前記光信号のそれぞれの部分を出力する複数の出力光導
    波路と、 前記入力光導波路に連結された入力端及び前記複数の出
    力光導波路に連結された出力端を有し、前記出力端上に
    現れるそれぞれの前記光信号のモードプロファイルを均
    一化するように設定された幅及び長さを有する直線形補
    助光導波路と、を備えることを特徴とする光パワー分割
    器。
  2. 【請求項2】 前記光パワー分割器は半導体基板上に形
    成され、該半導体基板上に積層されて光信号の伝送媒体
    になるコアを有する請求項1記載の光パワー分割器。
  3. 【請求項3】 前記補助光導波路の入力端は、該入力端
    に連結された前記入力光導波路部分よりも広い幅を有す
    る請求項1記載の光パワー分割器。
  4. 【請求項4】 前記補助光導波路の長さは、予め設定さ
    れた幅に対して、その出力端上に現れる多チャネルのモ
    ードプロファイルを最大均一化するように設定される請
    求項1又は請求項3記載の光パワー分割器。
  5. 【請求項5】 光パワー分割器において、 多チャネルから構成された光信号を受信する入力側端面
    から出力側端面の方に行くにつれて幅が広くなる入力光
    導波路と、 前記入力光導波路の出力側端面から中心線を基準にして
    対称になるように延長された第1及び第2出力光導波路
    と、 前記入力光導波路と前記第1及び第2出力光導波路との
    間に連結され、その出力側端面上に現れる前記多チャネ
    ルのモードプロファイルを均一化するように設定された
    幅及び長さを有する直線形補助光導波路と、を備えるこ
    とを特徴とする光パワー分割器。
  6. 【請求項6】 前記補助光導波路の入力側端面の幅は、
    前記入力光導波路の出力側端面の幅より広い請求項5記
    載の光パワー分割器。
  7. 【請求項7】 前記補助光導波路の長さは、予め設定さ
    れた幅に対して、前記補助光導波路の出力側端面上に現
    れる前記多チャネルのモードプロファイルを最大均一化
    するように設定される請求項5又は請求項6記載の光パ
    ワー分割器。
  8. 【請求項8】 光パワー分割器において、 入力側端面を通して波長による多チャネルから構成され
    た光信号を受信する入力光導波路と、 楕円形のスラブ光導波路と、 前記スラブ光導波路の出力側端面から中心線を基準にし
    て対称になるように延長された複数の出力光導波路と、 前記入力光導波路と前記スラブ光導波路との間に連結さ
    れ、前記入力光導波路の幅より広い幅及び予め設定され
    た長さを有する直線形補助光導波路と、を備えることを
    特徴とする光パワー分割器。
  9. 【請求項9】 前記補助光導波路の長さは、予め設定さ
    れた幅に対して前記補助光導波路の出力側端面上に現れ
    る前記多チャネルのモードプロファイルを最大均一化す
    るように設定される請求項8記載の光パワー分割器。
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