JP2003193995A - ターボ分子ポンプ及びその動翼への雌ねじ穴加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 動翼の雌ねじ穴におけるメッキ加工不良に起
因する応力腐食割れが防止可能なターボ分子ポンプと、
その動翼への雌ねじ穴加工方法との提供を課題とする。 【解決手段】 動翼に形成する雌ねじ穴３２ｂを貫通孔
とする構成／方法を採用した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置等の真空排気ポンプとして用いられるターボ分子ポ
ンプと、このターボ分子ポンプの動翼への雌ねじ穴加工
方法とに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造は、光学的処理や化学的処
理などの様々な工程を経てなされるものである。光学的
処理の代表的処理例としては、例えばウェハ面への回路
パターン焼き付けを行う露光処理が挙げられ、また化学
的処理の代表的処理例としては、例えばウェハ面に薄膜
を形成する表面処理、エッチング処理、洗浄処理等が挙
げられる。前記表面処理においては、今や半導体製造に
おいて必須となった製造技術としてＣＶＤ（Chemical V
apor Deposition）技術がある。このＣＶＤは、ウェハ
等の基板上に対して原料ガスを供給し、この基板上での
ガスの吸着及び化学反応を経て、該基板上に薄膜を形成
する技術である。この技術は、半導体高集積化を実現さ
せるためには欠くことのできないものとなっている。

【０００３】前記ＣＶＤの中でも、減圧ＣＶＤ及びプラ
ズマＣＶＤ等は真空雰囲気で行われ、真空排気装置が必
要である。この真空排気装置では、大気圧からの多段階
排気を可能とするロータリポンプ、ディフュージョンポ
ンプ、ターボ分子ポンプなど、複数のポンプを組み合わ
せた構成が一般的に用いられている。

【０００４】前記ターボ分子ポンプの一例を、図６の斜
視図に示す。同図に示すように、ターボ分子ポンプは、
分割ケーシング１ａ，１ｂからなるケーシング１内に、
各種部品を収めた構成となっている。分割ケーシング１
ａには吸気口１ｃが形成され、また分割ケーシング１ｂ
には排気口１ｄが形成されている。

【０００５】ケーシング１内部のロータ室２には、ロー
タ４が配設されている。このロータ４は、ロータシャフ
ト４ａと、該ロータシャフト４ａの一端部の周囲に放射
状に配置固定された動翼５とを備えた構成となってい
る。また、分割ケーシング１ｂ側には静翼３が固定され
ている。ロータ４は、例えば90,000rpm（1,500回転／
秒）で高速回転する部材であることから、一般的には軽
量かつ応力強度の高いアルミニウム合金などがその素材
として好適に用いられる。

【０００６】前記ロータシャフト４ａの、前記一端側と
は反対側の他端部には、スラスト磁気ディスク６が固定
されている。このスラスト磁気ディスク６に対応して、
その表面及び裏面を間に挟み込むようにスラスト磁気軸
受８が配置されている。このスラスト磁気軸受８は、電
力供給を受けた場合に、スラスト磁気ディスク６を保持
することにより、ロータ４の軸線方向位置を保持する磁
気軸受である。

【０００７】また、ロータシャフト４ａは、分割ケーシ
ング１ｂの内部に固定された一対のラジアル磁気軸受７
ａ，７ｂの内部に、保持されるようになっている。これ
らラジアル磁気軸受７ａ，７ｂは、電力供給を受けた場
合に、ロータシャフト４ａをその軸中心位置に保持する
磁気軸受である。さらに、ロータシャフト４ａの両端に
保護軸受としてボールベアリング９，１０が設けられて
いる。さらに、ロータシャフト４ａは、ボールベアリン
グ９，１０間に位置して分割ケーシング１ｂ内に固定さ
れたロータ駆動用モータ１１（モータ）の内部に挿通さ
れており、このロータ駆動用モータ１１によってその軸
線回りに回転駆動されるようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このターボ
分子ポンプは、塩素やフッ素などの腐食性ガスの排気処
理に用いられる場合があるため、ガスを圧縮する前記動
翼４には、耐腐食性を持たせるためのメッキ加工処理が
表面に施されている。前記腐食性ガスは、たとえ僅かで
もメッキのない個所を見つけてそこを腐食させるため、
例えば図７に示すような、雌ねじ穴５ａの内部に至る細
部まで、漏れなく良好なメッキ加工処理が施されている
必要がある。同図の雌ねじ穴５ａは、動翼５に対し、ロ
ータシャフト４ａの回転軸線ＣＬ回りに等角度間隔をお
いて複数形成された雌ねじ穴であり、その底部は行き止
まりとなっている。そして、これら雌ねじ穴５ａには、
動翼５の軸バランスを調整するための軸バランス調整ビ
ス５ｂがそれぞれ螺着されるようになっている。

【０００９】上述のように、腐食性ガスの浸入による応
力腐食割れを防止するためには、各雌ねじ穴５ａそれぞ
れのねじ山においても漏れなく良好なメッキ加工が得ら
れていることが必要であるものの、図７に示すように、
深底のビス穴では、メッキ加工処理時にメッキが奥まで
行き届かず、母材からのメッキの剥離を生じる場合があ
る。このメッキ剥離は、雌ねじ穴５ａのねじ底部におい
て特に発生しやすい傾向にある。このようなメッキの剥
がれが生じると、腐食性ガスによる母材の腐食がここか
ら始まり、ここを基点として動翼５の応力腐食割れを生
じる恐れがある。なお、このメッキ不良による腐食の問
題は、前記雌ねじ穴５ａに限らず、その他のねじ穴にお
いても同様の問題を引き起こす恐れがあり、確実な対策
案が切望されていた。

【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、動翼の雌ねじ穴におけるメッキ加工不良に起因
する応力腐食割れが防止可能なターボ分子ポンプと、そ
の動翼への雌ねじ穴加工方法との提供を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために以下の手段を採用した。すなわち、請求項
１に記載のターボ分子ポンプは、軸バランス調整ビスな
どの雄ねじが螺着される雌ねじ穴を有するとともに、耐
腐食性のメッキ加工処理が施された動翼を有するターボ
分子ポンプにおいて、前記雌ねじ穴が、貫通孔とされて
いることを特徴とする。上記請求項１に記載のターボ分
子ポンプによれば、例え深い雌ねじ穴であっても、雌ね
じ穴全面にメッキ液が行き渡るようになるので、母材に
対して高い密着性を有するメッキ膜を形成することがで
きる。

【００１２】請求項２に記載のターボ分子ポンプは、軸
バランス調整ビスなどの雄ねじが螺着される雌ねじ穴を
有するとともに、耐腐食性のメッキ加工処理が施された
動翼を有するターボ分子ポンプにおいて、前記雌ねじ穴
が、該雌ねじ穴の深さ寸法をｈ（ｍｍ）、谷径寸法をｄ
（ｍｍ）とした場合に、ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．７）
ｄの関係を満たしていることを特徴とする。上記請求項
２に記載のターボ分子ポンプによれば、例え深底の雌ね
じ穴であっても、雌ねじ穴全面にメッキ液を行き渡らせ
るのに十分な穴径を確保することができるので、母材に
対して高い密着性を有するメッキ膜を形成させることが
できる。しかも、本発明は、雌ねじ穴を貫通孔として形
成することが困難な個所にも、柔軟に対応することがで
きる。

【００１３】請求項３に記載のターボ分子ポンプは、耐
腐食性のメッキ加工処理が施され、導入した流体を圧縮
する動翼と、該動翼が端部に固定されるロータシャフト
とを有し、前記動翼が、前記流体を前記ロータシャフト
の回転軸線方向に送りながら圧縮する軸流段部と、該軸
流段部から導入された前記流体を前記回転軸線回りに螺
旋状に形成されたねじ溝流路に送りながら更に圧縮する
ねじ溝段部とを有し、前記ねじ溝段部が、前記ねじ溝流
路を複数形成する複数のねじ溝流路形成部を備えたター
ボ分子ポンプにおいて、前記各ねじ溝流路形成部のう
ち、前記軸流段部と別部品とされているものが、前記ロ
ータシャフト側に形成された貫通孔状の雌ねじ穴にねじ
固定されていることを特徴とする。上記請求項３に記載
のターボ分子ポンプによれば、ロータシャフトを介し
て、前記別部品を軸流段部に固定することができるの
で、この固定のための雌ねじ穴を動翼側に形成する必要
がない。したがって、動翼における雌ねじ穴のメッキ不
良を生じる恐れがない。

【００１４】請求項４に記載のターボ分子ポンプは、請
求項１又は請求項２に記載のターボ分子ポンプにおい
て、前記動翼が、取り込んだ流体をその回転軸線方向に
送りながら圧縮する軸流段部と、該軸流段部から導入さ
れた前記流体を前記回転軸線回りに螺旋状に形成された
ねじ溝流路に送りながら更に圧縮するねじ溝段部とを有
し、前記ねじ溝段部が、前記ねじ溝流路を複数形成する
複数のねじ溝流路形成部を備え、前記各ねじ溝流路形成
部のうち、前記軸流段部と別部品とされているものが、
前記ロータシャフト側に形成された貫通孔状の雌ねじ穴
にねじ固定されていることを特徴とする。上記請求項４
に記載のターボ分子ポンプによれば、ロータシャフトを
介して、前記別部品を軸流段部に固定することができる
ので、この固定のための雌ねじ穴を動翼側に形成する必
要がない。したがって、動翼における雌ねじ穴のメッキ
不良を生じる恐れがない。

【００１５】請求項５に記載のターボ分子ポンプの動翼
への雌ねじ穴加工方法は、耐腐食性のメッキ加工処理が
施された動翼を有するターボ分子ポンプで、前記動翼に
雌ねじ穴を加工する方法において、前記雌ねじ穴を、貫
通孔として形成することを特徴とする。上記請求項５に
記載のターボ分子ポンプの動翼への雌ねじ穴加工方法に
よれば、例え深い雌ねじ穴であっても、雌ねじ穴全面に
メッキ液を行き渡らせることができるので、母材に対し
て高い密着性を有するメッキ膜を形成させることができ
るようになる。

【００１６】請求項６に記載のターボ分子ポンプの動翼
への雌ねじ穴加工方法は、耐腐食性のメッキ加工処理が
施された動翼を有するターボ分子ポンプで、前記動翼に
雌ねじ穴を加工する方法において、前記雌ねじ穴を、該
雌ねじ穴の深さ寸法をｈ（ｍｍ）、谷径寸法をｄ（ｍ
ｍ）とした場合に、ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．７）ｄの
関係を満たすように形成することを特徴とする。上記請
求項６に記載のターボ分子ポンプの動翼への雌ねじ穴加
工方法によれば、例え深底の雌ねじ穴であっても、雌ね
じ穴全面にメッキ液を行き渡らせるのに十分な穴径を確
保することができるので、母材に対して高い密着性を有
するメッキ膜を形成させることができる。しかも、本発
明は、雌ねじ穴を貫通孔として形成することが困難な個
所にも、柔軟に対応することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明のターボ分子ポンプ及びそ
の動翼への雌ねじ穴加工方法の各実施形態についての説
明を、図面を参照しながら以下に行うが、本発明がこれ
らのみに限定解釈されるものでないことはもちろんであ
る。なお、各実施形態の説明においては、従来のターボ
分子ポンプとの相違点を中心に説明するものとし、その
他については、従来のターボ分子ポンプと同様であると
して説明を省略する（従来と同一構成要素には、同一符
号を付し、その説明を省略する）。各実施形態のターボ
分子ポンプは、例えば、半導体製造に用いられるＣＶＤ
装置（図示せず）などに、ロータリポンプやディフュー
ジョンポンプ等とともに排気系の一部として装備され、
チャンバ内の排気に利用される装置である。

【００１８】まず、図１及び図２を参照しながら、本発
明の第１実施形態の説明を以下に行う。ここで、図１
は、本実施形態のターボ分子ポンプの動翼周辺部分を示
す縦断面図である。また、図２は、同ターボ分子ポンプ
の動翼の要部を示す図であって、図１のＢ部拡大図であ
る。

【００１９】本実施形態のターボ分子ポンプは、その動
翼の構造が特に特徴的となっているので、この動翼に新
たな符号３０を与え、これを中心として説明を行うもの
とする。動翼３０は、導入した流体（例えば腐食性を有
する排気ガス。以下、排気ガスｇと称する）を圧縮する
部品であり、ロータシャフト４ａの上端側に対し、複数
本の止めねじ３１によって同軸固定されている。そし
て、その外表面の全面には、耐腐食性のメッキ加工処理
が施されている。さらに、この動翼３０は、排気ガスｇ
をロータシャフト４ａの回転軸線方向（図１の紙面下方
向）に向かって送りながら圧縮する軸流段部３２と、該
軸流段部３２から導入された排気ガスｇを、回転軸線Ｃ
Ｌ回りに螺旋状に形成されたねじ溝流路３３ａに送りな
がら更に圧縮するねじ溝段部３３とを備えた２段圧縮構
造となっている。

【００２０】軸流段部３２は、軸線ＣＬを中心として放
射状に形成された複数枚の羽根３２ａを多段に備えてお
り、ロータシャフト４ａと共に回転することで、図１の
矢印ｆ１に示す方向に排気ガスｇを圧縮しながら送り出
すものとなっている。ねじ溝段部３３は、下部ケーシン
グ１ｂ側に取り付けられた螺旋流路形成部材１ｂ１，１
ｂ２との間に螺旋流路を形成するものであり、前記軸流
段部３２と一体かつ同軸に構成されている。そして、こ
のねじ溝段部３３は、ロータシャフト４ａと共に回転す
ることで、そのねじ溝流路３３ａ内を排気ガスが更に圧
縮を受けながら矢印２方向に送り出され、前記排気口１
ｄ（図６参照）から排出されるようになっている。

【００２１】動翼３０の軸流段部３２には、動翼３０の
軸バランスを調整するための軸バランス調整ビス３４
（図２では図示を省略している。）をそれぞれ螺着させ
るための雌ねじ穴３２ｂが複数形成されている。これら
雌ねじ穴３２ｂは、動翼３０に対し、ロータシャフト４
ａの回転軸線ＣＬ回りに等角度間隔をおいて複数形成さ
れた雌ねじ穴であり、底部のない貫通孔である点が特に
特徴的となっている。すなわち、軸流段部３２には、そ
の回転軸線ＣＬ周囲に形成された凹部空間ｅに向かって
径方向内側に張り出すフランジ３２ｃが形成されてお
り、その厚み方向に貫通する孔として、各雌ねじ穴３２
ｂが形成されている。

【００２２】このように、各雌ねじ穴３２ｂを貫通孔と
することにより、例え深い雌ねじ穴であっても、動翼３
０のメッキ加工処理時に、メッキ液が各雌ねじ穴３２ｂ
の全面に良好に行き渡るので、母材に対して高い密着性
を有するメッキ膜を形成することができるようになる。
これにより、動翼３０の母材を腐食性ガスである排気ガ
スより確実に覆うことができるようになるので、動翼３
０の各雌ねじ穴３２ｂにおけるメッキ加工不良に起因す
る応力腐食割れが防止可能となる。

【００２３】次に、図３を参照しながら本発明の第２実
施形態の説明を以下に行う。なお、図３は、上記第１実
施形態で説明した図２に相当する拡大図である。本実施
形態は、上記第１実施形態に比較して、前記各雌ねじ穴
３２ｂの構造が異なっているので、この相違点を中心に
説明を行うものとする。すなわち、同図に示すように、
本実施形態の各雌ねじ穴（以下、前記各雌ねじ穴３２ｂ
と区別するために新たに符号３２ｂ１を与えて説明す
る）は、有底となっている。ここまでは、従来と同様で
あるが、本実施形態の各雌ねじ穴３２ｂ１は、これら雌
ねじ穴３２ｂ１の深さ寸法をｈ（ｍｍ）、谷径寸法をｄ
（ｍｍ）とした場合に、ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．７）
ｄの関係を満たすように形成されている。

【００２４】すなわち、 ・例えばｄ＝３（ｍｍ）の場合にはｈ≦３．３（ｍ
ｍ）、 ・例えばｄ＝４（ｍｍ）の場合にはｈ≦４．９（ｍ
ｍ）、 ・例えばｄ＝５（ｍｍ）の場合にはｈ≦６．８（ｍ
ｍ）、 ・例えばｄ＝６（ｍｍ）の場合にはｈ≦９．０（ｍ
ｍ）、 を満たすように、深さ寸法ｈの長さが制限されている。
この制限よりも深く雌ねじ穴を形成した場合には、従来
の技術において説明したメッキ不良に起因する応力腐食
割れの問題を生じる恐れがある。しかしながら、本実施
形態では、許される雌ねじ深さ寸法を定量的に規定し、
これに基づいて各雌ねじ穴３２ｂ１が形成されているの
で、このような問題を生じないようになっている。

【００２５】すなわち、例え深底の雌ねじ穴３２ｂ１で
あっても、雌ねじ穴３２ｂ１の全面にメッキ液を行き渡
らせるのに十分な穴径を確保することができるので（換
言すれば、ねじ穴深さが深すぎないようにすることがで
きるので）、母材に対して高い密着性を有するメッキ膜
を形成させることができる。しかも、本実施形態は、雌
ねじ穴を貫通孔として形成することが困難な個所にも、
柔軟に対応することができるものとなっている。したが
って、動翼３０の各雌ねじ穴３２ｂ１におけるメッキ加
工不良に起因する応力腐食割れが防止可能となる。

【００２６】次に、図４及び図５を参照しながら本発明
の第３実施形態の説明を以下に行う。なお、図４は、本
実施形態のターボ分子ポンプの動翼周辺部分を示す縦断
面図である。また、図５は、同ターボ分子ポンプの動翼
の要部を示す図であって、図４のＣ部拡大図である。本
実施形態は、上記第１実施形態に比較して、前記ねじ溝
段部３３及びロータシャフト４ａの構造が異なっている
ので、この相違点を中心に説明を行うものとする。

【００２７】すなわち、同図に示すように、本実施形態
のねじ溝段部（以下、前記各雌ねじ溝段部３３と区別す
るために新たに符号４３を与えて説明する）は、ねじ溝
流路を複数（本実施形態では３つ）形成する複数（本実
施形態では２つ）のねじ溝流路形成部４３ａ，４３ｂを
備えており、これらねじ溝流路形成部４３ａ，４３ｂの
うち、前記軸流段部３２と別部品とされている方のねじ
溝流路形成部４３ｂが、ロータシャフト（以下、前記ロ
ータシャフト４ａと区別するために新たに符号５４ａを
与えて説明する）側に形成された貫通孔状の雌ねじ穴５
４ａ１に対し、複数本の雄ねじ５５でねじ固定された構
成となっている。

【００２８】すなわち、ロータシャフト５４ａの上端側
には、ねじ溝流路形成部４３ｂを固定するためのフラン
ジ５４ａ２が形成されており、このフランジ５４ａ２に
は、回転軸線ＣＬを中心として互いに等角度間隔をおい
て各雌ねじ穴５４ａ１が形成されている。そして、これ
ら雌ねじ穴５４ａ１より先端が突出しないように、雄ね
じ５５が螺着されている。

【００２９】軸流段部３２へのねじ溝流路形成部４３ｂ
の固定方法としては、ロータシャフト５４ａのフランジ
５４ａ２を介さずに、直接固定する方法も考えられる
が、この場合には、図５の仮想線に示すように、有底の
雌ねじ穴を動翼３０に加工しなければならなくなる。す
ると、従来の技術において説明したメッキ不良に起因す
る応力腐食割れの問題を生じる恐れがある。しかしなが
ら、本実施形態では、動翼３０に雌ねじ穴を形成する必
要がなく、メッキ不良を防止する点で好ましい理由は、
上記第１実施形態で説明した通りである。

【００３０】以上説明の本実施形態のターボ分子ポンプ
によれば、動翼３０における雌ねじ穴のメッキ不良を生
じる恐れがない。このように、例え動翼３０側に雌ねじ
穴が加工しにくい場合であっても、ロータシャフト５４
ａ側に貫通孔状の雌ねじ穴５４ａ１を形成することで対
処可能となる。したがって、動翼の雌ねじ穴におけるメ
ッキ加工不良に起因する応力腐食割れが防止可能とな
る。

【００３１】なお、上記第１実施形態及び第２実施形態
では、本発明を、軸バランス調整ビス３４が螺着される
雌ねじ穴３２ｂに対して適用するものとしたが、これに
限らず、その他の雌ねじ穴に適用しても良いことは勿論
である。同様に、上記第３実施形態では、本発明を、ね
じ溝流路形成部４３ｂの固定に適用する場合を例に説明
したが、これに限らず、その他の部材を動翼に固定する
場合に適用しても良いことは勿論である。

【００３２】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載のターボ分子ポ
ンプは、その動翼に形成する雌ねじ穴を貫通孔とする構
成を採用した。この構成によれば、例え深い雌ねじ穴で
あっても、雌ねじ穴全面にメッキ液が行き渡るようにな
るので、母材に対して高い密着性を有するメッキ膜を形
成することができ、動翼の母材を腐食性ガスより確実に
覆うことができるようになる。したがって、動翼の雌ね
じ穴におけるメッキ加工不良に起因する応力腐食割れが
防止可能となる。

【００３３】本発明の請求項２に記載のターボ分子ポン
プは、その動翼に形成する雌ねじ穴が、該雌ねじ穴の深
さ寸法をｈ（ｍｍ）、谷径寸法をｄ（ｍｍ）とした場合
に、ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．７）ｄの関係を満たすよ
うにする構成を採用した。この構成によれば、例え深底
の雌ねじ穴であっても、雌ねじ穴全面にメッキ液を行き
渡らせるのに十分な穴径を確保することができるので、
母材に対して高い密着性を有するメッキ膜を形成させる
ことができ、動翼の母材を腐食性ガスより確実に覆うこ
とができるようになる。したがって、動翼の雌ねじ穴に
おけるメッキ加工不良に起因する応力腐食割れが防止可
能となる。

【００３４】本発明の請求項３に記載のターボ分子ポン
プは、そのねじ溝段部の各ねじ溝流路形成部のうち、軸
流段部と別部品とされているものを、ロータシャフト側
に形成された貫通孔状の雌ねじ穴にねじ固定する構成を
採用した。この構成によれば、動翼側に雌ねじ穴を形成
せずに済むので、動翼の雌ねじ穴におけるメッキ加工不
良に起因する応力腐食割れが防止可能となる。

【００３５】本発明の請求項４に記載のターボ分子ポン
プは、請求項１又は請求項２に記載のターボ分子ポンプ
において、そのねじ溝段部の各ねじ溝流路形成部のう
ち、軸流段部と別部品とされているものを、ロータシャ
フト側に形成された貫通孔状の雌ねじ穴にねじ固定する
構成を採用した。この構成によれば、動翼側に雌ねじ穴
を形成せずに済むので、動翼の雌ねじ穴におけるメッキ
加工不良に起因する応力腐食割れが防止可能となる。

【００３６】本発明の請求項５に記載のターボ分子ポン
プの動翼への雌ねじ穴加工方法は、動翼に形成する雌ね
じ穴を貫通孔とする方法を採用した。この方法によれ
ば、例え深い雌ねじ穴であっても、雌ねじ穴全面にメッ
キ液を行き渡らせることができるので、母材に対して高
い密着性を有するメッキ膜を形成することができ、動翼
の母材を腐食性ガスより確実に覆うことができるように
なる。したがって、動翼の雌ねじ穴におけるメッキ加工
不良に起因する応力腐食割れが防止可能となる。

【００３７】本発明の請求項６に記載のターボ分子ポン
プの動翼への雌ねじ穴加工方法は、動翼に形成する雌ね
じ穴を、該雌ねじ穴の深さ寸法をｈ（ｍｍ）、谷径寸法
をｄ（ｍｍ）とした場合に、ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．
７）ｄの関係を満たすように形成する方法を採用した。
この方法によれば、例え深底の雌ねじ穴であっても、雌
ねじ穴全面にメッキ液を行き渡らせるのに十分な穴径を
確保することができるので、母材に対して高い密着性を
有するメッキ膜を形成させることができ、動翼の母材を
腐食性ガスより確実に覆うことができるようになる。し
たがって、動翼の雌ねじ穴におけるメッキ加工不良に起
因する応力腐食割れが防止可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のターボ分子ポンプの第１実施形態を
示す図であって、動翼周辺部分を示す縦断面図である。

【図２】 同ターボ分子ポンプの動翼の要部を示す図で
あって、図１のＢ部拡大図である。

【図３】 本発明のターボ分子ポンプの第２実施形態を
示す図であって、図２に相当する拡大図である。

【図４】 本発明のターボ分子ポンプの第３実施形態を
示す図であって、動翼周辺部分を示す縦断面図である。

【図５】 同ターボ分子ポンプの動翼の要部を示す図で
あって、図４のＣ部拡大図である。

【図６】 従来のターボ分子ポンプを示す斜視断面図で
ある。

【図７】 同ターボ分子ポンプの動翼周辺部分を示す縦
断面図である。

【図８】 同ターボ分子ポンプの一部を示す図であっ
て、図７のＡ部拡大図である。

【符号の説明】

４ａ・・・ロータシャフト ３０・・・動翼 ３２・・・軸流段部 ３２ｂ，３２ｂ１・・・雌ねじ穴 ３３・・・ねじ溝段部 ３３ａ・・・ねじ溝流路 ３４・・・軸バランス調整ビス，雄ねじ ４３ａ，４３ｂ・・・ねじ溝流路形成部 ５４ａ１・・・貫通孔状の雌ねじ穴

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸バランス調整ビスなどの雄ねじが螺
   着される雌ねじ穴を有するとともに、耐腐食性のメッキ
   加工処理が施された動翼を有するターボ分子ポンプにお
   いて、 前記雌ねじ穴は、貫通孔とされていることを特徴とする
   ターボ分子ポンプ。
2. 【請求項２】 軸バランス調整ビスなどの雄ねじが螺
   着される雌ねじ穴を有するとともに、耐腐食性のメッキ
   加工処理が施された動翼を有するターボ分子ポンプにお
   いて、 前記雌ねじ穴は、該雌ねじ穴の深さ寸法をｈ（ｍｍ）、
   谷径寸法をｄ（ｍｍ）とした場合に、 ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．７）ｄ の関係を満たしていることを特徴とするターボ分子ポン
   プ。
3. 【請求項３】 耐腐食性のメッキ加工処理が施され、
   導入した流体を圧縮する動翼と、該動翼が端部に固定さ
   れるロータシャフトとを有し、 前記動翼が、前記流体を前記ロータシャフトの回転軸線
   方向に送りながら圧縮する軸流段部と、該軸流段部から
   導入された前記流体を前記回転軸線回りに螺旋状に形成
   されたねじ溝流路に送りながら更に圧縮するねじ溝段部
   とを有し、 前記ねじ溝段部が、前記ねじ溝流路を複数形成する複数
   のねじ溝流路形成部を備えたターボ分子ポンプにおい
   て、 前記各ねじ溝流路形成部のうち、前記軸流段部と別部品
   とされているものが、前記ロータシャフト側に形成され
   た貫通孔状の雌ねじ穴にねじ固定されていることを特徴
   とするターボ分子ポンプ。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２に記載のターボ
   分子ポンプにおいて、 前記動翼が、取り込んだ流体をその回転軸線方向に送り
   ながら圧縮する軸流段部と、該軸流段部から導入された
   前記流体を前記回転軸線回りに螺旋状に形成されたねじ
   溝流路に送りながら更に圧縮するねじ溝段部とを有し、 前記ねじ溝段部が、前記ねじ溝流路を複数形成する複数
   のねじ溝流路形成部を備え、 前記各ねじ溝流路形成部のうち、前記軸流段部と別部品
   とされているものが、前記ロータシャフト側に形成され
   た貫通孔状の雌ねじ穴にねじ固定されていることを特徴
   とするターボ分子ポンプ。
5. 【請求項５】 耐腐食性のメッキ加工処理が施された
   動翼を有するターボ分子ポンプで、前記動翼に雌ねじ穴
   を加工する方法において、 前記雌ねじ穴を、貫通孔として形成することを特徴とす
   るターボ分子ポンプの動翼への雌ねじ穴加工方法。
6. 【請求項６】 耐腐食性のメッキ加工処理が施された
   動翼を有するターボ分子ポンプで、前記動翼に雌ねじ穴
   を加工する方法において、 前記雌ねじ穴を、該雌ねじ穴の深さ寸法をｈ（ｍｍ）、
   谷径寸法をｄ（ｍｍ）とした場合に、 ｈ≦（０．４ｄ／３＋０．７）ｄ の関係を満たすように形成することを特徴とするターボ
   分子ポンプの動翼への雌ねじ穴加工方法。