JP2003188323A - Graphite sheet and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子・電
気機器における発熱部品の放熱に好適なグラファイトシ
ート及びその製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a graphite sheet suitable for dissipating heat from heat-generating components in electronic and electric equipment, and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピューターなどの各種の電子・電気
機器に搭載されている半導体素子や、その他の発熱部品
などの冷却の問題が注目されている。2. Description of the Related Art The problem of cooling semiconductor elements mounted on various electronic and electric devices such as computers and other heat-generating components has been drawing attention.
【０００３】このような冷却すべき部品の冷却方法とし
ては、それが搭載される機器筐体にファンを取り付け、
その機器筐体を冷却する方法や、その冷却する部品にヒ
ートパイプやヒートスプレッダー、ヒートシンクやフィ
ンなどの熱伝導体を取り付け、その素子からの熱を外部
に運ぶことで冷却する方法等が一般的である。As a method of cooling such a component to be cooled, a fan is attached to a device housing in which it is mounted,
Generally, a method of cooling the equipment housing, a method of attaching a heat conductor such as a heat pipe, a heat spreader, a heat sink or a fin to the parts to be cooled, and carrying the heat from the element to the outside to cool it. Is.
【０００４】冷却すべき部品に取り付ける熱伝導材料と
しては、アルミニウム板や銅板などが挙げられる。そし
て、この場合、アルミニウムや銅板の一部、またはヒー
トパイプに発熱部品を取り付け、更に、その板の部分を
フィンやファンを用いて外部に放熱する。Examples of the heat conductive material attached to the parts to be cooled include aluminum plates and copper plates. Then, in this case, a heat-generating component is attached to a part of the aluminum or copper plate or the heat pipe, and further, the part of the plate is radiated to the outside by using a fin or a fan.
【０００５】ところで、近年は半導体素子等の発熱部品
が搭載される各機器が小型化され、また、その部材の発
熱量が大きくなる傾向がある。しかし筐体が小型化する
ため、フィンやヒートシンク及びファンなどの部品を挿
入するスペースが制限されてきている。By the way, in recent years, there has been a tendency that each device in which a heat-generating component such as a semiconductor element is mounted is downsized, and the amount of heat generated by the member is increased. However, as the housing becomes smaller, the space for inserting components such as fins, heat sinks and fans has been limited.
【０００６】そこで近年は、熱伝導体（ヒートコンダク
タ）として、熱伝導性に優れるグラファイトシートが有
力視されている。グラファイトシートはカーボンが層状
構造をとっており、グラファイトシートの面内の熱伝導
率が６００から８００Ｗ／ｍＫと銅やアルミニウムなど
の金属より高く、かつ密度が１ｇ／ｃｍ3程度と軽い上
に、高い電気伝導性を持つ材料である。また、シートの
厚さを薄くでき、フレキシブルなために狭い場所や、隙
間をぬって取り回す必要のある場所のヒートコンダクタ
材として期待される。Therefore, in recent years, a graphite sheet, which is excellent in heat conductivity, has been regarded as a promising heat conductor. Carbon has a layered structure in the graphite sheet, and the in-plane thermal conductivity of the graphite sheet is 600 to 800 W / mK, which is higher than that of metals such as copper and aluminum, and the density is about 1 g / cm 3 and light. It is a material with high electrical conductivity. Further, since the thickness of the sheet can be made thin and it is flexible, it is expected as a heat conductor material in a narrow place or a place where it is necessary to squeeze through a gap and be routed.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラフ
ァイトシートをヒートコンダクタとして用いても、最後
は大気中に放熱しなければならず、別途作製したフィン
を筐体につけるスペースがないことや、フィンとヒート
コンダクタの熱抵抗が問題となっていた。However, even if a graphite sheet is used as a heat conductor, it must radiate heat into the atmosphere at the end, and there is no space for attaching a separately manufactured fin to the housing, and The thermal resistance of the heat conductor was a problem.
【０００８】そこで本発明の目的は、熱抵抗がなく小型
で、多機能を具備したグラファイトシート及びその製造
方法を提供することにある。It is therefore an object of the present invention to provide a graphite sheet having no heat resistance, a small size, and multiple functions, and a method for manufacturing the same.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、グラフ
ァイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱
伝導部とが形成されたグラファイトシート（以下、本発
明のグラファイトシートと称する。）に係るものであ
る。That is, the present invention is a graphite sheet in which a graphite sheet main body is provided with a heat-dissipating portion consisting of an uneven portion and a plate-like heat conducting portion (hereinafter referred to as the graphite sheet of the present invention. .).
【００１０】本発明のグラファイトシートによれば、グ
ラファイトシート本体に凹凸部からなる放熱部と板状の
熱伝導部とが形成されているので、この凹凸部によって
放熱部の表面積が増大し、放熱部と熱伝導部とが同一の
グラファイトシート上に一体形成され、放熱と熱伝導と
の両機能を具備することができる。従って、高熱伝導性
のグラファイトシートにより伝導された熱が、同一の本
体に形成された凹凸部から直接放熱されるため、高効率
な熱伝達及び放熱が可能になり、その結果、同一シート
上を小さい熱抵抗で熱伝導されるために、発熱体からの
熱を効率良く放熱部へ伝達でき、しかも高熱伝導性のた
めに放熱部を小型化しても外部への放熱効率が向上する
ことから、小型化が可能になって、制限されたスペース
への取付けが可能になる。According to the graphite sheet of the present invention, the graphite sheet main body is provided with the heat dissipating portion composed of the uneven portion and the plate-shaped heat conducting portion. The part and the heat conducting part are integrally formed on the same graphite sheet, and can have both functions of heat dissipation and heat conduction. Therefore, the heat conducted by the graphite sheet having high thermal conductivity is radiated directly from the uneven portion formed on the same main body, which enables highly efficient heat transfer and heat radiation. Since the heat is conducted with a small thermal resistance, the heat from the heating element can be efficiently transferred to the heat radiating section, and the heat radiating efficiency to the outside is improved even if the heat radiating section is miniaturized due to the high thermal conductivity. It can be miniaturized and can be installed in a limited space.
【００１１】また、本発明は、グラファイトシート本体
に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とを形成す
る工程を有する、グラファイトシートの製造方法（以
下、本発明の製造方法と称する。）に係るものである。Further, the present invention is a method for manufacturing a graphite sheet (hereinafter referred to as a manufacturing method of the present invention), which has a step of forming a heat radiating portion composed of an uneven portion and a plate-shaped heat conducting portion on a graphite sheet main body. .).
【００１２】本発明の製造方法によれば、上記した本発
明のグラファイトシートと同様にグラファイトシートが
形成されるので、本発明のグラファイトシートと同様な
効果が奏せられる、再現性の良いグラファイトシートの
製造方法を提供することができる。According to the production method of the present invention, a graphite sheet is formed in the same manner as the above-mentioned graphite sheet of the present invention. Therefore, the same effect as the graphite sheet of the present invention can be obtained, and the graphite sheet of good reproducibility is obtained. Can be provided.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below.
【００１４】上記した本発明のグラファイトシート及び
製造方法においては、前記熱伝導部に発熱体が配される
グラファイトシートとして使用されるのが望ましく、こ
のため、前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シ
ートが設けられているのが、グラファイトシートの補強
と柔軟性を持たせる点で望ましい。In the above-described graphite sheet and manufacturing method of the present invention, it is desirable to use as a graphite sheet in which a heating element is arranged in the heat conducting portion, and therefore, at least one surface of the heat conducting portion is used. It is desirable to provide a polymer sheet in order to reinforce the graphite sheet and provide flexibility.
【００１５】そして、前記高分子シートが、ポリイミ
ド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタ
レート又はシリコーンゴムにより形成されていること
が、グラファイトシートを絶縁し、高分子シートの可撓
性によってグラファイトシートを保護できる点で望まし
い。The polymer sheet made of polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate or silicone rubber can insulate the graphite sheet and protect the graphite sheet by the flexibility of the polymer sheet. Is desirable.
【００１６】更に、前記高分子シートに、高熱伝導性材
料を含有させることが、高分子シートに熱伝導性を持た
せ、発熱体の熱を効率良くグラファイトシートに伝導で
きる点で望ましい。Further, it is desirable that the polymer sheet contains a high thermal conductive material because the polymer sheet has thermal conductivity and the heat of the heating element can be efficiently conducted to the graphite sheet.
【００１７】この場合、前記放熱部及び前記熱伝導部の
少なくとも一方の面がダイヤモンドライクカーボンで被
覆されていてもよい。これによりグラファイトシートの
補強と共に、発熱体からグラファイトシートへの熱伝導
も良く、グラファイトシートからの粉落ちを防止できる
点で望ましい。In this case, at least one surface of the heat radiating portion and the heat conducting portion may be coated with diamond-like carbon. This is desirable in that not only the graphite sheet is reinforced, but also the heat conduction from the heating element to the graphite sheet is good, and the powder falling from the graphite sheet can be prevented.
【００１８】そして、前記熱伝導部の少なくとも一方の
面に前記高分子シートが被着され、前記グラファイトシ
ート上に発熱体が接合されることがグラファイトシート
と発熱体間を絶縁すると共に、高分子シートに付加され
た熱伝導性によって発熱体からグラファイトシートへ熱
伝導できる点で望ましい。The polymer sheet is adhered to at least one surface of the heat conducting portion, and the heating element is bonded onto the graphite sheet so that the graphite sheet and the heating element are insulated from each other. It is desirable in that it can conduct heat from the heating element to the graphite sheet due to the thermal conductivity added to the sheet.
【００１９】また、前記熱伝導部に被着された前記高分
子シートに欠除部が形成され、この欠除部において絶縁
性の熱伝導性接着材を介して発熱体が前記グラファイト
シート本体に接合されていてもよく、これにより、発熱
体の熱が直にグラファイトシートに伝導され、熱伝導効
率が高められる点で望ましい。A cutout portion is formed in the polymer sheet adhered to the heat conductive portion, and a heating element is attached to the graphite sheet main body through an insulating heat conductive adhesive in the cutout portion. They may be joined together, which is desirable in that the heat of the heating element is directly conducted to the graphite sheet, and the heat conduction efficiency is enhanced.
【００２０】更に、前記発熱体が熱伝導性接着材によっ
て前記熱伝導部に接合されることが、発熱体の接着性を
高めると共に、接合部の熱伝導を高める点で望ましい。Further, it is desirable that the heat generating element is joined to the heat conducting portion with a heat conductive adhesive in order to enhance the adhesiveness of the heat generating element and enhance the heat conduction of the joint portion.
【００２１】また、前記凹凸部がエンボッシングにより
形成されていることが凹凸部を精度良く形成できる点で
望ましい。Further, it is desirable that the concavo-convex portion is formed by embossing because the concavo-convex portion can be accurately formed.
【００２２】この場合、前記グラファイトシート本体を
加熱処理しながら加工して少なくとも前記熱伝導部を形
成し、凹凸部も加熱処理しながらエンボッシングするこ
とが、加工を容易にできる点で望ましい。In this case, it is preferable that at least the heat conducting portion is formed by processing the graphite sheet main body while heat-treating, and embossing is also performed while the uneven portion is heat-treating from the viewpoint of easy processing.
【００２３】更に、前記熱伝導部を曲げ加工する場合や
エンボッシング時は、前記加熱処理を室温から１００℃
の温度で行うのが加工性が高められる点で望ましい。Further, when the heat conducting portion is bent or embossed, the heat treatment is performed from room temperature to 100 ° C.
It is desirable to carry out at the above temperature because the workability is improved.
【００２４】以下、本発明の好ましい実施の形態を具体
的に説明する。The preferred embodiments of the present invention will be specifically described below.
【００２５】本発明のグラファイトシートは、例えば、
厚みが０．０５〜０．５ｍｍに圧延されたグラファイト
シートの一部分にエンボッシング（以下、エンボス加工
と称することがある。）を行ない、表面積を増やすこと
により小型のフィンとしての機能を持たせ、残りの部材
にヒートスプレッダーもしくはヒートコンダクタの役割
を負わせることにより、フィンとヒートコンダクタが一
体成形された放熱部品である。図１〜図３にその基本的
なグラファイトシートの形状を示す。The graphite sheet of the present invention is, for example,
Embossing (hereinafter sometimes referred to as embossing) is performed on a part of the graphite sheet rolled to a thickness of 0.05 to 0.5 mm to increase the surface area, thereby providing a function as a small fin, and leaving the rest. A heat spreader or a heat conductor is added to the above member to form a fin and a heat conductor, which are integrally formed. 1 to 3 show the basic shape of the graphite sheet.
【００２６】但し、グラファイトシート本体１の厚さ
が、０．０５ｍｍ未満であれば、薄すぎるために、グラ
ファイトシート本体１の強度が低下し、シート化が難し
くなり、また面方向への熱伝導が不均一になり易い。グ
ラファイトシート本体１の厚さが、０．５ｍｍを超える
と、グラファイトシート本体１の機械的強度は増すが熱
伝導性が損なわれると共に、制約された場所への設置性
が妨げられる。However, if the thickness of the graphite sheet main body 1 is less than 0.05 mm, the strength of the graphite sheet main body 1 is reduced because it is too thin, making it difficult to form a sheet, and heat conduction in the plane direction. Is likely to be uneven. When the thickness of the graphite sheet main body 1 exceeds 0.5 mm, the mechanical strength of the graphite sheet main body 1 increases, but the thermal conductivity is impaired, and the installability in a restricted place is hindered.
【００２７】即ち、図１は、グラファイトシート本体１
に、板状の熱伝導部２と横方向に溝４ａが複数形成され
た放熱部３が設けられ、発熱体取付け部６上に発熱体が
配される。従って、発熱体の熱は熱伝導部２に伝導さ
れ、これと一体の放熱部３へ運ばれて放熱され、溝４ａ
と平行な空気の流れ７によって効率的に放熱部３が冷却
される。That is, FIG. 1 shows a graphite sheet body 1
Is provided with a plate-shaped heat conducting portion 2 and a heat radiating portion 3 having a plurality of grooves 4a formed in the lateral direction, and the heating element is arranged on the heating element mounting portion 6. Therefore, the heat of the heating element is conducted to the heat conducting portion 2 and is carried to the heat radiating portion 3 which is integrated with the heat conducting portion 2 to be radiated, and the groove 4a.
The heat radiation portion 3 is efficiently cooled by the air flow 7 parallel to the heat radiation portion 3.
【００２８】図２は、図１と同様なグラファイトシート
本体１に、放熱部３の溝４ａを縦方向に形成したもので
あり、この場合も、冷却するための空気の流れも溝４ａ
に平行な方向がよい。また、図３は、図１と同様なグラ
ファイトシート本体１に、放熱部３が上記した溝４ａと
異なるブラインド孔４ｂを設けて形成される。この場合
の冷却のための空気の流れ方向７はいずれの方向でもよ
く、空気が孔内に巻き込まれることによりフィンとして
機能すると共に、強度が高い利点を有している。FIG. 2 shows a graphite sheet main body 1 similar to that shown in FIG. 1, in which a groove 4a of a heat radiating portion 3 is formed in the vertical direction. In this case as well, the flow of air for cooling is the groove 4a.
The direction parallel to is good. Further, FIG. 3 is formed by providing the graphite sheet main body 1 similar to that of FIG. 1 with the heat radiating portion 3 provided with a blind hole 4b different from the groove 4a described above. In this case, the flow direction 7 of the air for cooling may be any direction, and the air has the advantage that it functions as a fin by being caught in the holes and has high strength.
【００２９】上記した基本的な形状は、圧延によってシ
ート加工後にエンボス加工によって形成される。そし
て、これらのグラファイトシート本体１の寸法は、図１
に示すように、長さＬが１０ｃｍ、幅Ｗが４ｃｍ、厚さ
Ｔが０．２ｍｍのグラファイトシートの一部（長さ３ｃ
ｍ）を放熱部３として室温から１００℃の低温でエンボ
ス加工を行う。The above-mentioned basic shape is formed by embossing after sheet processing by rolling. The dimensions of these graphite sheet bodies 1 are shown in FIG.
As shown in, a part of a graphite sheet having a length L of 10 cm, a width W of 4 cm and a thickness T of 0.2 mm (length 3 c
m) is used as the heat radiating portion 3, and embossing is performed at a low temperature of 100 ° C.
【００３０】そして、図４に放熱部３の拡大概略断面図
として示すように、溝４ａ（又はブラインド孔４ｂ）の
幅Ｗ1と深さＤとのアスペクト比は１：１０（０．１ｍ
ｍ：１．０ｍｍ）、溝４ａの幅Ｗ1と溝間の距離Ｗ2との
比が１：１（０．１ｍｍ：０．１ｍｍ）に形成される。
しかし、これらの比はこのサイズに限定されるものでは
ない。Then, as shown in FIG. 4 as an enlarged schematic sectional view of the heat radiating portion 3, the aspect ratio of the width W 1 and the depth D of the groove 4a (or the blind hole 4b) is 1:10 (0.1 m).
m: 1.0 mm), and the ratio of the width W 1 of the groove 4a to the distance W 2 between the grooves is 1: 1 (0.1 mm: 0.1 mm).
However, these ratios are not limited to this size.
【００３１】上記したグラファイトシート本体１の熱伝
導部２と放熱部３のエンボス加工の形状は、用途に応じ
て図１〜図３など、どの構造をとってもよい。このよう
に同一部材上に熱伝導部２と放熱部３を一体形成するこ
とにより、従来、熱伝導部と放熱部が異なる部材を用い
ていたために生じていた両者間の熱抵抗を大幅に低下さ
せることができる。The heat conducting portion 2 and the heat radiating portion 3 of the graphite sheet body 1 may be embossed in any structure as shown in FIGS. By integrally forming the heat conducting portion 2 and the heat radiating portion 3 on the same member in this way, the thermal resistance between them, which has been conventionally caused by using different members for the heat conducting portion and the heat radiating portion, is greatly reduced. Can be made.
【００３２】しかし、グラファイトシート本体１は、図
５に示すようにカーボンが層構造をなしたものであり、
面内方向（ａ−ｂ方向）の分子の結合は強固であるが、
面方向と直交する方向のｃ1〜ｃ2〜ｃ3間は分子間力に
よって結合されているため、結合力は弱く、面内方向に
はずれ易い。従って、圧延によって形成したグラファイ
トシート本体１にエンボス加工することにより、その一
部分に放熱部３を凹凸に形成して表面積を増大させると
共に、エンボス加工時の押圧により分子が緻密になり、
厚みが１０％程減少するもののグラファイトシートの強
度が向上する。However, the graphite sheet body 1 has a layered structure of carbon as shown in FIG.
Although the bond of molecules in the in-plane direction (ab direction) is strong,
Since the c 1 to c 2 to c 3 in the direction orthogonal to the plane direction are bonded by the intermolecular force, the bonding force is weak and easily shifts in the in-plane direction. Therefore, by embossing the graphite sheet body 1 formed by rolling, the heat dissipating portion 3 is unevenly formed on a part of the graphite sheet main body 1 to increase the surface area, and the molecule becomes dense due to the pressure during embossing,
Although the thickness is reduced by about 10%, the strength of the graphite sheet is improved.
【００３３】また、既述したように、グラファイトシー
トは材質的に脆いので、グラファイトシート本体１の絶
縁のためなど、必要に応じてシートの熱伝導部２の少な
くとも片面をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、
ポリエチレンナフタレート、ポリイミドなどの高分子シ
ート又はシリコーンなどの樹脂材でラミネートすること
により、グラファイトシートを補強し、柔軟性を持たせ
ることができる。As described above, since the graphite sheet is fragile in material, at least one surface of the heat conducting portion 2 of the sheet is made of PET (polyethylene terephthalate), for insulation of the graphite sheet main body 1, and the like.
By laminating with a polymer sheet such as polyethylene naphthalate or polyimide or a resin material such as silicone, the graphite sheet can be reinforced to have flexibility.
【００３４】更に、上記高分子シートに高熱伝導性のフ
ィラー（金属粉など）を含有させておくことにより、絶
縁性のある高分子シートに熱伝導性が付加されるため、
発熱体の熱のグラファイトシートへの伝導効率を高める
ことができる。Further, by incorporating a filler (metal powder or the like) having high thermal conductivity into the polymer sheet, thermal conductivity is added to the polymer sheet having an insulating property.
It is possible to improve the efficiency of conduction of heat of the heating element to the graphite sheet.
【００３５】また、グラファイトシート本体１の表面
に、例えば、スパッタリングによりダイヤモンドライク
カーボン（ＤＬＣ）を薄くコーティング（厚さ１０μｍ
以下）しておけば、ダイヤモンドライクカーボンは硬
く、熱伝導率も良いためにシートの強度も向上し、発熱
体からグラファイトシートへの熱伝導性も良くなり、シ
ートからの粉落ちを防ぐことができる。The surface of the graphite sheet body 1 is thinly coated with diamond-like carbon (DLC) by sputtering (thickness: 10 μm).
If the following), diamond-like carbon is hard and has good thermal conductivity, the strength of the sheet is also improved, the thermal conductivity from the heating element to the graphite sheet is also improved, and it is possible to prevent powder falling from the sheet. it can.
【００３６】実施の形態１
図６は本実施の形態を示す概略断面図であり、上記した
図１のような構造のグラファイトシート本体１の熱伝導
部２の一方の面に、ＰＥＴ等からなる高分子シート８を
ラミネートし、この上に発熱体１１が熱伝導性接着材９
を介して接合されたグラファイトシート１０Ａを示す。 Embodiment 1 FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing this embodiment. One surface of the heat conducting portion 2 of the graphite sheet body 1 having the structure as shown in FIG. 1 is made of PET or the like. The polymer sheet 8 is laminated, and the heating element 11 is laminated on the heat conductive adhesive 9
1 shows a graphite sheet 10A joined together by way of.
【００３７】この高分子シート８は、上記のようにして
熱伝導性を持たせたものであり、これによりグラファイ
トシート本体１が補強されて柔軟性を帯びると共に、発
熱体１１とグラファイトシート本体１との間が電気的に
絶縁される。但し、この高分子シート８でラミネートす
る面はこれに限るものではない。The polymer sheet 8 is provided with thermal conductivity as described above, whereby the graphite sheet body 1 is reinforced to be flexible, and the heating element 11 and the graphite sheet body 1 are provided. And is electrically insulated. However, the surface to be laminated with the polymer sheet 8 is not limited to this.
【００３８】即ち、図６は、グラファイトシート本体１
の上面に高分子シート８がラミネートされ、その上方に
発熱体１１が配されているが、高分子シート８を反対側
の面にもラミネートしてグラファイトシート本体１の両
面に配してもよく、また、高分子シート８を図６とは反
対側のみに設けることもできる。しかし、高分子シート
８を図６とは反対側のみに設ける場合は、発熱体１１と
グラファイトシート本体１との間に絶縁性のある熱伝導
性接着材等を配し、双方を接合することが必要である。That is, FIG. 6 shows a graphite sheet body 1
The polymer sheet 8 is laminated on the upper surface of the and the heating element 11 is arranged above the polymer sheet 8. However, the polymer sheet 8 may be laminated on the opposite surface and arranged on both surfaces of the graphite sheet body 1. Alternatively, the polymer sheet 8 may be provided only on the side opposite to that shown in FIG. However, when the polymer sheet 8 is provided only on the side opposite to that shown in FIG. 6, an insulating heat conductive adhesive or the like is placed between the heating element 11 and the graphite sheet body 1 to bond them together. is necessary.
【００３９】このような構成により、放熱して冷却すべ
き半導体素子等の発熱体１１の熱が、熱伝導性接着材９
から高分子シート８を経て、グラファイトシート本体１
の熱伝導部２へ伝導され、熱伝導部２と一体に形成され
た放熱部３から大気中に放熱される。With such a structure, the heat of the heating element 11 such as a semiconductor element to be dissipated and cooled is generated by the heat conductive adhesive material 9.
From the polymer sheet 8 to the graphite sheet body 1
Is conducted to the heat conducting portion 2 and is radiated to the atmosphere from the heat radiating portion 3 formed integrally with the heat conducting portion 2.
【００４０】このように、本実施の形態のグラファイト
シート１０Ａは、冷却すべき発熱体１１をこのグラファ
イトシート１０Ａに接合して放熱する放熱用部品であ
り、このグラファイトシート１０Ａを筐体に結合して筐
体内部で放熱したり、グラファイトシート１０Ａの放熱
部３を筐体の外部へ配置するなど、様々な放熱形態に使
用される。As described above, the graphite sheet 10A of the present embodiment is a heat radiating component for joining the heating element 11 to be cooled to the graphite sheet 10A to radiate heat, and the graphite sheet 10A is joined to the housing. It is used in various heat dissipation forms such as radiating heat inside the housing and disposing the heat dissipation portion 3 of the graphite sheet 10A outside the housing.
【００４１】従って、放熱部３からの放熱と同時に、グ
ラファイトシート１０Ａの熱伝導部２からも機器の筐体
に熱を直接逃がす場合には、絶縁性無機物や金属粉が充
填された電気絶縁性を持つ熱伝導性接着剤や、１００ミ
クロン以下の厚さを持つ熱伝導性テープを用いて筐体と
グラファイトシート本体１を接着してもよい。Therefore, when heat is directly radiated from the heat conducting portion 2 of the graphite sheet 10A to the housing of the equipment at the same time as radiating heat from the heat radiating portion 3, an electrically insulating material filled with an insulating inorganic material or metal powder is used. The housing and the graphite sheet main body 1 may be bonded to each other using a heat conductive adhesive having a thickness of 100 μm or a heat conductive tape having a thickness of 100 μm or less.
【００４２】また、発熱体１１とグラファイトシート１
０Ａの熱伝導部２との密着性を高めるには、それらの間
に高熱伝導率を持つ絶縁性無機物や金属粉が充填された
電気絶縁性を持つ熱伝導性接着剤を塗布して接着した
り、グリースや放熱シート又は相変化（フェーズチェン
ジ）材等を用いてもよい。上記した用途及び接着方法や
接着剤は後述する他の実施の形態も同様。Further, the heating element 11 and the graphite sheet 1
In order to improve the adhesiveness with the heat conducting portion 2 of 0A, a heat conducting adhesive having an electrically insulating property filled with an insulating inorganic material having a high heat conductivity or a metal powder is applied and bonded between them. Alternatively, grease, a heat radiation sheet, a phase change material or the like may be used. The above-mentioned applications, bonding methods, and adhesives are the same in other embodiments described later.
【００４３】実施の形態２
図７は、本実施の形態を示す概略断面図であり、図１の
ような構造のグラファイトシート本体１の一方の面に、
スパッタリングによりＤＬＣ５を用いて被覆したグラフ
ァイトシート１０Ｂであり、この熱伝導部２の上方に発
熱体１１が熱伝導性接着材９を介して接合されている。
そして、この例も上記実施の形態１の場合と同様に、グ
ラファイトシート本体１の両面又は反対側の面のみを被
覆することができる。 Embodiment 2 FIG. 7 is a schematic sectional view showing the present embodiment, in which one surface of the graphite sheet main body 1 having the structure as shown in FIG.
This is a graphite sheet 10B coated with a DLC 5 by sputtering, and a heating element 11 is bonded above the heat conducting portion 2 via a heat conductive adhesive material 9.
Also in this example, as in the case of the first embodiment, both surfaces of the graphite sheet body 1 or only the opposite surface can be covered.
【００４４】このような構成により、硬いＤＬＣ５によ
る被覆によって補強されるため、グラファイトシート本
体１の強度が向上すると共に、熱伝導性が妨げられるこ
ともなく、シートからの粉落ちが防がれながら、図１と
同様な放熱性能を発揮することができる。With such a structure, since the graphite sheet body 1 is reinforced by the coating with the hard DLC 5, the strength of the graphite sheet main body 1 is improved, the thermal conductivity is not hindered, and the powder falling from the sheet is prevented. The same heat dissipation performance as in FIG. 1 can be exhibited.
【００４５】実施の形態３
図８は、本実施の形態を示す概略斜視図であり、図１の
ような構造のグラファイトシート本体の熱伝導部２の一
方の面に、高分子シート８をラミネートし、この高分子
シート８の一部分が欠除されたグラファイトシート１０
Ｃである。 Embodiment 3 FIG. 8 is a schematic perspective view showing the present embodiment, in which a polymer sheet 8 is laminated on one surface of a heat conducting portion 2 of a graphite sheet body having a structure as shown in FIG. Then, the graphite sheet 10 in which a part of the polymer sheet 8 is removed
It is C.
【００４６】図示の如く、このグラファイトシート１０
Ｃは、発熱体１１が接合される部分の高分子シート８の
一部分が欠除された欠除部１２が形成され、この欠除部
１２に熱伝導性接着材９を介して発熱体１１が接合され
る。従って、発熱体１１の位置決めが容易であり、接合
した発熱体１１の熱は、密着性と熱伝導性の優れた熱伝
導性接着材９を介して直にグラファイトシート１０Ｃに
接合されるため、熱伝導性が向上するという利点があ
る。そして、これも上記した実施の形態１と同様に、高
分子シート８をグラファイトシート本体１の両面又は図
８とは反対側面のみに設けることができる。As shown, this graphite sheet 10
In C, a cutout portion 12 is formed by removing a part of the polymer sheet 8 at a portion to which the heating element 11 is joined, and the heating element 11 is connected to the cutout portion 12 via a heat conductive adhesive 9. To be joined. Therefore, positioning of the heating element 11 is easy, and the heat of the bonded heating element 11 is directly bonded to the graphite sheet 10C via the heat conductive adhesive 9 having excellent adhesion and heat conductivity. There is an advantage that the thermal conductivity is improved. As in Embodiment 1 described above, the polymer sheet 8 can be provided on both surfaces of the graphite sheet body 1 or on the side surface opposite to that shown in FIG.
【００４７】図９は変形例の一例を示す概略断面図であ
り、図１のような構造のグラファイトシート本体１にお
いて、放熱部３の溝４ａを放熱部３の両面に設けたグラ
ファイトシートを示し、実施の形態１と同様に、発熱体
１１は熱伝導部２の一方の面にラミネートした高分子シ
ート８の上方に、熱伝導性接着材９を介して接合され
る。FIG. 9 is a schematic sectional view showing an example of a modified example. In the graphite sheet body 1 having the structure as shown in FIG. 1, the graphite sheet in which the grooves 4a of the heat radiating portion 3 are provided on both surfaces of the heat radiating portion 3 is shown. Similarly to the first embodiment, the heating element 11 is bonded to the upper side of the polymer sheet 8 laminated on one surface of the heat conducting portion 2 via the heat conductive adhesive material 9.
【００４８】従って、上記した各実施の形態と同様に放
熱部３に運ばれた熱は、放熱部３の両面に設けた溝４ａ
で形成された凹凸によって、放熱効率を高めて放熱する
ことができる。Therefore, as in each of the above-described embodiments, the heat carried to the heat radiating portion 3 is applied to the groove 4a provided on both surfaces of the heat radiating portion 3.
Due to the unevenness formed by, the heat dissipation efficiency can be improved and the heat can be dissipated.
【００４９】図１０は、他の変形例を示す概略断面図で
あり、放熱部３をグラファイトシート本体１の中央部に
設け、上記例（図９）と同様にシートの両面に溝４ａを
形成し、グラファイトシート本体１の両端部を熱伝導部
２とし、この両端部に発熱体１１を配するようにしたも
のである。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing another modification, in which the heat radiating portion 3 is provided in the central portion of the graphite sheet main body 1 and the grooves 4a are formed on both sides of the sheet as in the above example (FIG. 9). Then, both ends of the graphite sheet main body 1 are used as the heat conducting parts 2, and the heating elements 11 are arranged at the both ends.
【００５０】従って、発熱体１１は、双方の熱伝導部２
の一方の面にラミネートした高分子シート８の上方に熱
伝導性接着材９を介して接合することができ、これら発
熱体１１の熱は放熱効率の高い放熱部３で放熱される。
そして、図示の如くこの場合、グラファイトシート本体
１は、両端部の熱伝導部２の端部を支持体１４で支持で
きるので、グラファイトシート本体１の応力が軽減され
るため、本体の厚みを薄く形成でき、その結果、グラフ
ァイトシートの熱伝導性を更に高めることができる。Therefore, the heating element 11 has the heat conducting portions 2 of both sides.
The heat can be bonded to the upper side of the polymer sheet 8 laminated on one surface via the heat conductive adhesive 9, and the heat of these heat generating elements 11 is radiated by the heat radiating portion 3 having high heat radiating efficiency.
Further, as shown in the figure, in this case, since the graphite sheet body 1 can support the ends of the heat conducting portions 2 at both ends by the supports 14, the stress of the graphite sheet body 1 is reduced, and the thickness of the body is reduced. It can be formed, and as a result, the thermal conductivity of the graphite sheet can be further enhanced.
【００５１】図１１は、他の変形例を示す概略断面図で
あり、グラファイトシート本体１の両端部において、互
いに反対側面に溝４ａを設けて放熱部を形成し、それぞ
れの溝４ａとは反対側の面に高分子シート８をラミネー
トし、そこに発熱体１１が熱伝導性接着材９を介してグ
ラファイトシート本体１上に配設されたものである。つ
まり、この場合、グラファイトシート本体の両端部にお
いて、一方の面側が熱伝導部２となり、その反対面側が
放熱部３として形成される。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing another modified example. At both ends of the graphite sheet main body 1, grooves 4a are provided on opposite side surfaces to form a heat radiating portion, which is opposite to each groove 4a. The polymer sheet 8 is laminated on the side surface, and the heating element 11 is disposed on the graphite sheet main body 1 via a heat conductive adhesive material 9. That is, in this case, at both end portions of the graphite sheet main body, one surface side is the heat conducting portion 2 and the opposite surface side is the heat radiating portion 3.
【００５２】従って、各発熱体１１の熱は、熱伝導性接
着材９及び高分子シート８を経てグラファイトシート本
体１へ伝導され、発熱体１１の接合面の反対側面の放熱
部３へ最短距離を熱伝導して放熱することができる。Therefore, the heat of each heating element 11 is conducted to the graphite sheet main body 1 via the heat conductive adhesive 9 and the polymer sheet 8 and the shortest distance to the heat radiating portion 3 on the side opposite to the joint surface of the heating element 11. Can be conducted to radiate heat.
【００５３】図１２は、他の変形例を示す概略断面図で
あり、グラファイトシート本体１に折り曲げ加工を施
し、筐体等の内面角等にグラファイトシートを配する例
である。FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing another modified example, which is an example in which the graphite sheet main body 1 is subjected to a bending process and the graphite sheet is arranged on the inner surface corner of the casing or the like.
【００５４】即ち、グラファイトシート本体１を例えば
筐体に沿って９０度に曲げた構造が必要な場合、これま
ではシートを曲げることにより折れ、粉が落ち、かつそ
の部分で熱伝達が悪くなることが多かったが、グラファ
イトシート本体１を前もって室温から１００℃の低温で
熱処理しながら加工することにより、折り目の破断を防
ぐことができる。これにより、グラファイトシート本体
１の熱伝導部２を筐体１５の内角部に両面テープ１６で
接着し、かつ放熱部３のみを筐体１５の外側に配置する
ことも可能になる。なおグラファイトシートの強度を上
げるためや絶縁のために、高分子シート８でラミネート
し、補強してもよい。また、高分子シート８をラミネー
ト後に曲げ加工してもよく、これにより曲げ部の割れ等
を防ぐことができる。That is, when a structure in which the graphite sheet main body 1 is bent at 90 degrees along the housing is required, the sheet is bent by bending until now, powder is dropped, and heat transfer is deteriorated at that portion. In many cases, it is possible to prevent the crease from breaking by processing the graphite sheet body 1 in advance while heat-treating it at a low temperature from room temperature to 100 ° C. This makes it possible to bond the heat conducting portion 2 of the graphite sheet main body 1 to the inner corner portion of the housing 15 with the double-sided tape 16 and arrange only the heat radiating portion 3 outside the housing 15. The graphite sheet may be laminated and reinforced with a polymer sheet 8 in order to increase the strength and insulation. Further, the polymer sheet 8 may be bent after being laminated, whereby cracks and the like at the bent portion can be prevented.
【００５５】図１３は、更に他の変形例を示す概略斜視
図であり、図１２の例がコ型に曲げ加工したのに対し、
Ｚ型に曲げ加工した例である。FIG. 13 is a schematic perspective view showing still another modified example, whereas the example of FIG. 12 is bent into a U shape.
This is an example of bending into a Z shape.
【００５６】この曲げ加工は図１２の場合と同様にして
実施することができる。そして、発熱体１１の接合部の
みの高分子シート８を、上記した実施の形態３と同様に
欠除して欠除部１２を設け、この欠除部１２において、
発熱体１１を絶縁性のある熱伝導性接着材９を介してグ
ラファイトシート本体１に接合してもよい。そしてこの
グラファイトシートを筐体内の支持板１４等に両面テー
プ１６等で接着し、図１２の場合と同様に使用すること
ができる。This bending process can be carried out in the same manner as in the case of FIG. Then, the polymer sheet 8 having only the joint portion of the heating element 11 is cut out in the same manner as in the above-described third embodiment to provide the cutout portion 12. In the cutout portion 12,
The heating element 11 may be bonded to the graphite sheet body 1 via the heat conductive adhesive 9 having an insulating property. Then, this graphite sheet can be used in the same manner as in the case of FIG. 12 by adhering it to the support plate 14 or the like in the housing with the double-sided tape 16 or the like.
【００５７】上記した各実施の形態及び変形例によれ
ば、グラファイトシート本体１の一部分に溝４ａ又はブ
ラインド孔４ｂを設けて放熱部３を形成し、残りの部分
を板状の熱伝導部２とすることにより、熱伝導部２と放
熱部３とが同一部材上に一体に形成され、換言すれば、
１枚のグラファイトシートがヒートコンダクタとフィン
として機能する。しかも、高熱伝導性のフィラーを含有
させた高分子シート８でグラファイトシート本体１の少
なくとも一方の面をラミネートすることにより、グラフ
ァイトシートに柔軟性を持たせて補強すると共に、絶縁
性のある高分子シート８に熱伝導性が付加される、また
ＤＬＣ５で少なくとも一方の面を被覆することにより補
強される。そしていずれも、熱伝導部２上に配される発
熱体１１の熱が熱伝導性良くグラファイトシートに伝わ
り、同一部材上で熱伝導部２の反対側に形成された放熱
部３から高効率で放熱することができ、フィンやヒート
シンクなどを設置するスペースのない小型の電気・電子
機器等の放熱に効果的に用いることができる。According to each of the above-described embodiments and modifications, the groove 4a or the blind hole 4b is provided in a part of the graphite sheet main body 1 to form the heat dissipation part 3, and the remaining part is a plate-shaped heat conduction part 2. As a result, the heat conducting portion 2 and the heat radiating portion 3 are integrally formed on the same member, in other words,
One graphite sheet functions as a heat conductor and a fin. Moreover, by laminating at least one surface of the graphite sheet main body 1 with the polymer sheet 8 containing a filler having high thermal conductivity, the graphite sheet is provided with flexibility and is reinforced, and at the same time, an insulating polymer is used. Thermal conductivity is added to the sheet 8 and is reinforced by coating at least one side with DLC 5. In each case, the heat of the heating element 11 arranged on the heat conducting section 2 is transferred to the graphite sheet with good heat conductivity, and the heat radiating section 3 formed on the opposite side of the heat conducting section 2 on the same member is highly efficient. It can dissipate heat, and can be effectively used for dissipating heat in small electric and electronic devices that do not have a space for installing fins and heat sinks.
【００５８】上記した各実施の形態及び変形例は、本発
明の技術的思想に基づいて変形することが可能である。The above-described embodiments and modifications can be modified based on the technical idea of the present invention.
【００５９】例えば、凹凸部の形状は実施の形態等に示
した溝４ａ又はブラインド孔４ｂ以外の形状（鋸刃型
等）であってもよく、ラミネート材も実施の形態以外の
適宜の材料を使用してもよい。For example, the concavo-convex portion may have a shape (saw blade shape, etc.) other than the groove 4a or the blind hole 4b shown in the embodiment and the like, and the laminate material may be made of an appropriate material other than the embodiment. May be used.
【００６０】また、グラファイトシート本体１の形状、
寸法等も実施の形態等に限定するものでもなく、適宜で
あってよい。Further, the shape of the graphite sheet body 1,
The dimensions and the like are not limited to those in the embodiment, and may be appropriate.
【００６１】[0061]
【発明の作用効果】上述した如く、本発明のグラファイ
トシート及びその製造方法は、凹凸部によって放熱部の
表面積が増大し、放熱部と熱伝導部とが同一のグラファ
イトシート上に一体形成され、放熱と熱伝導との両機能
を具備することができる。従って、高熱伝導性のグラフ
ァイトシートにより伝導された熱が、同一の本体に形成
された凹凸部から直接放熱されるため、高効率な熱伝達
及び放熱が可能になり、その結果、同一シート上を小さ
な熱抵抗で熱伝導されるために、発熱体からの熱を効率
良く放熱部へ伝達でき、しかも高熱伝導性のために放熱
部を小型化しても外部への放熱効果が向上することか
ら、小型化が可能になって、制限されたスペースへの取
付けが可能になる。As described above, according to the graphite sheet and the method for manufacturing the same of the present invention, the surface area of the heat radiating portion is increased by the uneven portion, and the heat radiating portion and the heat conducting portion are integrally formed on the same graphite sheet, Both functions of heat dissipation and heat conduction can be provided. Therefore, the heat conducted by the graphite sheet having high thermal conductivity is radiated directly from the uneven portion formed on the same main body, which enables highly efficient heat transfer and heat radiation. Since the heat is conducted with a small thermal resistance, the heat from the heating element can be efficiently transmitted to the heat radiating portion, and the heat radiating effect to the outside is improved even if the heat radiating portion is miniaturized due to the high heat conductivity. It can be miniaturized and can be installed in a limited space.
【図１】本発明のグラファイトシート本体の基本的な形
状を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a basic shape of a graphite sheet main body of the present invention.
【図２】同、グラファイトシート本体の基本的な他の形
状を示す概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing another basic shape of the graphite sheet main body.
【図３】同、グラファイトシート本体の基本的な更に他
の形状を示す概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing still another basic shape of the graphite sheet main body.
【図４】同、グラファイトシートの放熱部の拡大概略断
面図である。FIG. 4 is an enlarged schematic cross-sectional view of a heat dissipation part of the graphite sheet.
【図５】同、グラファイトシートの層構造を示す概略図
である。FIG. 5 is a schematic view showing a layer structure of the graphite sheet.
【図６】同、実施の形態１によるグラファイトシートを
示す概略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the graphite sheet according to the first embodiment.
【図７】同、実施の形態２によるグラファイトシートを
示す概略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing the graphite sheet according to the second embodiment.
【図８】同、実施の形態３によるグラファイトシートを
示す概略断面図である。FIG. 8 is a schematic sectional view showing a graphite sheet according to the third embodiment.
【図９】同、グラファイトシートの変形例を示す概略断
面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a modified example of the graphite sheet.
【図１０】同、グラファイトシートの他の変形例を示す
概略断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing another modified example of the graphite sheet.
【図１１】同、グラファイトシートの他の変形例を示す
概略断面図である。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing another modification of the graphite sheet.
【図１２】同、グラファイトシートの他の変形例を示す
概略断面図である。FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing another modified example of the graphite sheet.
【図１３】同、グラファイトシートの更に他の変形例を
示す概略断面図である。FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing still another modified example of the graphite sheet.
１…グラファイトシート本体、２…熱伝導部、３…放熱
部、４ａ…溝、４ｂ…ブラインド孔、５…ＤＬＣ（ダイ
ヤモンドライクカーボン）、６…発熱体取付け部、７…
空気の流れ、８…高分子シート、９…接着材、１０Ａ、
１０Ｂ、１０Ｃ…グラファイトシート、１１…発熱体、
１２…欠除部、１４…支持板、１５…筐体、１６…両面
テープ、ｃ１〜ｃ３…カーボン層、Ｌ…長さ、Ｗ…幅、
Ｔ…厚さDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Graphite sheet main body, 2 ... Heat conduction part, 3 ... Heat dissipation part, 4a ... Groove, 4b ... Blind hole, 5 ... DLC (diamond-like carbon), 6 ... Heating element mounting part, 7 ...
Air flow, 8 ... Polymer sheet, 9 ... Adhesive material, 10A,
10B, 10C ... Graphite sheet, 11 ... Heating element,
12 ... lacking part, 14 ... support plate 15 ... housing, 16 ... double-sided tape, c 1 to c 3 ... carbon layer, L ... length, W ... width,
T ... thickness
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮井 清一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 木村 景一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 萩原 実 東京都調布市入間町２丁目18番79 (72)発明者 大貫 俊雄 東京都練馬区羽沢３丁目29番６号 大成ラ ミネーター株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AD11A AD11C AK01B AK42B AK49B AK52B AL09B AT00B BA03 BA07 CA23B DD01A GB41 JD16 JJ01 JJ01B 5E322 AA01 FA04 FA06 5F036 AA01 BA04 BA26 BB05 BB21 BC05 BC23 BD11 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Seiichi Miyai 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni -Inside the corporation (72) Inventor Keiichi Kimura 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni -Inside the corporation (72) Inventor Minoru Hagiwara 2-1879 Iruma-cho, Chofu-shi, Tokyo (72) Inventor Toshio Onuki 3-29-6 Hazawa, Nerima-ku, Tokyo Taisei la Within Minator Co., Ltd. F term (reference) 4F100 AD11A AD11C AK01B AK42B AK49B AK52B AL09B AT00B BA03 BA07 CA23B DD01A GB41 JD16 JJ01 JJ01B 5E322 AA01 FA04 FA06 5F036 AA01 BA04 BA26 BB05 BB21 BC05 BC23 BD11
Claims (23)
なる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されたグラファイ
トシート。1. A graphite sheet in which a graphite sheet body is provided with a heat-dissipating portion composed of an uneven portion and a plate-shaped heat conducting portion.
項１に記載したグラファイトシート。2. The graphite sheet according to claim 1, wherein a heating element is arranged in the heat conducting portion.
分子シートが設けられている、請求項１に記載したグラ
ファイトシート。3. The graphite sheet according to claim 1, wherein a polymer sheet is provided on at least one surface of the heat conducting portion.
エチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又
はシリコーンゴムからなる、請求項３に記載したグラフ
ァイトシート。4. The graphite sheet according to claim 3, wherein the polymer sheet is made of polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate or silicone rubber.
有している、請求項４に記載したグラファイトシート。5. The graphite sheet according to claim 4, wherein the polymer sheet contains a material having high thermal conductivity.
も一方の面がダイヤモンドライクカーボンで被覆されて
いる、請求項１に記載したグラファイトシート。6. The graphite sheet according to claim 1, wherein at least one surface of the heat dissipation portion and the heat conduction portion is covered with diamond-like carbon.
記高分子シートが被着され、前記グラファイトシート上
に発熱体が接合される、請求項３又は５に記載したグラ
ファイトシート。7. The graphite sheet according to claim 3, wherein the polymer sheet is attached to at least one surface of the heat conducting portion, and a heating element is bonded onto the graphite sheet.
ートに欠除部が形成され、この欠除部において発熱体が
前記グラファイトシート本体に接合されている、請求項
３に記載したグラファイトシート。8. The method according to claim 3, wherein a cutout portion is formed in the polymer sheet adhered to the heat conducting portion, and a heating element is bonded to the graphite sheet main body at the cutout portion. Graphite sheet.
記熱伝導部に接合される、請求項２、７又は８に記載し
たグラファイトシート。9. The graphite sheet according to claim 2, 7 or 8, wherein the heating element is bonded to the heat conducting portion with a heat conductive adhesive.
成されている、請求項１に記載したグラファイトシー
ト。10. The graphite sheet according to claim 1, wherein the uneven portion is formed by embossing.
らなる放熱部と板状の熱伝導部とを形成する工程を有す
る、グラファイトシートの製造方法。11. A method for manufacturing a graphite sheet, which comprises a step of forming a heat radiating portion composed of an uneven portion and a plate-shaped heat conducting portion on a graphite sheet main body.
成する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製
造方法。12. The method for manufacturing a graphite sheet according to claim 11, wherein the uneven portion is formed by embossing.
理しながら加工して少なくとも前記熱電導部を形成す
る、請求項１２に記載したグラファイトシートの製造方
法。13. The method for producing a graphite sheet according to claim 12, wherein at least the thermoconductive portion is formed by processing the graphite sheet main body while performing heat treatment.
１３に記載したグラファイトシートの製造方法。14. The method for manufacturing a graphite sheet according to claim 13, wherein the heat conducting portion is bent.
度で行う、請求項１３又は１４に記載したグラファイト
シートの製造方法。15. The method for producing a graphite sheet according to claim 13, wherein the heat treatment is performed at a temperature of room temperature to 100 ° C.
項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。16. The method for producing a graphite sheet according to claim 11, wherein a heating element is arranged in the heat conducting portion.
高分子シートを設ける、請求項１１に記載したグラファ
イトシートの製造方法。17. The method for producing a graphite sheet according to claim 11, wherein a polymer sheet is provided on at least one surface of the heat conducting portion.
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート
又はシリコーンゴムを用いる、請求項１７に記載したグ
ラファイトシートの製造方法。18. The method for producing a graphite sheet according to claim 17, wherein polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate or silicone rubber is used for the polymer sheet.
を含有させる、請求項１８に記載したグラファイトシー
トの製造方法。19. The method for producing a graphite sheet according to claim 18, wherein the polymer sheet contains a high thermal conductive material.
とも一方の面をダイヤモンドライクカーボンで被覆す
る、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方
法。20. The method for producing a graphite sheet according to claim 11, wherein at least one surface of the heat dissipation portion and the heat conduction portion is coated with diamond-like carbon.
前記高分子シートを被着し、前記グラファイトシート上
に発熱体を接合する、請求項１７又は１９に記載したグ
ラファイトシートの製造方法。21. The method for producing a graphite sheet according to claim 17, wherein the polymer sheet is attached to at least one surface of the heat conducting portion, and a heating element is bonded onto the graphite sheet.
ートに欠除部を形成し、この欠除部において発熱体を前
記グラファイトシート本体に接合する、請求項１７に記
載したグラファイトシートの製造方法。22. The graphite sheet according to claim 17, wherein a cutout portion is formed in the polymer sheet adhered to the heat conducting portion, and a heating element is bonded to the graphite sheet body at the cutout portion. Production method.
前記熱伝導部に接合する、請求項１６、２１又は２２に
記載したグラファイトシートの製造方法。23. The method of manufacturing a graphite sheet according to claim 16, wherein the heating element is bonded to the heat conducting portion with a heat conductive adhesive.
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