JP2003178703A - 平面ディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents
平面ディスプレイ及びその製造方法Info
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- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
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- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
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- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
- H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
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- H01J2201/30469—Carbon nanotubes (CNTs)
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- H—ELECTRICITY
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- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
Abstract
(57)【要約】
【課題】 輝度むらのない一様な輝度が得られる平面デ
ィスプレイを提供する。 【解決手段】 少なくとも一部が透光性を有するフロン
トガラス１０３とこのフロントガラス１０３に対向配置
されたガラス基板１０１とを含みかつ内部が真空排気さ
れた外囲器と、この外囲器内のガラス基板１０１上に配
置された陰極１１０と、この陰極１１０から離間して配
置されたゲート電極１２１と、フロントガラス１０３の
ガラス基板１０１との対向面上に積層配置されたメタル
バック膜１０６および蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１
０５Ｒとを備えた平面ディスプレイにおいて、陰極１１
０をガラス基板１０１面に配置されたメッシュ状金属部
材１１１と、このメッシュ状金属部材１１１のメッシュ
状開口部内に充填されたカーボンナノチューブを含む導
電膜からなる電子放出部１１２から構成する。
ィスプレイを提供する。 【解決手段】 少なくとも一部が透光性を有するフロン
トガラス１０３とこのフロントガラス１０３に対向配置
されたガラス基板１０１とを含みかつ内部が真空排気さ
れた外囲器と、この外囲器内のガラス基板１０１上に配
置された陰極１１０と、この陰極１１０から離間して配
置されたゲート電極１２１と、フロントガラス１０３の
ガラス基板１０１との対向面上に積層配置されたメタル
バック膜１０６および蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１
０５Ｒとを備えた平面ディスプレイにおいて、陰極１１
０をガラス基板１０１面に配置されたメッシュ状金属部
材１１１と、このメッシュ状金属部材１１１のメッシュ
状開口部内に充填されたカーボンナノチューブを含む導
電膜からなる電子放出部１１２から構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電界放出型電子
放出源から放出された電子を蛍光体に衝突させて発光さ
せる平面ディスプレイとその製造方法に関する。
放出源から放出された電子を蛍光体に衝突させて発光さ
せる平面ディスプレイとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＦＥＤ（Field Emission Displa
y）や平型蛍光表示管のような、陰極となる電子放出源
から放出された電子を対向電極に形成された蛍光体から
なる発光部に衝突させて発光させるフラットパネル（平
面）ディスプレイにおいて、電子放出源にカーボンナノ
チューブを用いたものがいろいろと提案されている。こ
のようなカーボンナノチューブを電子放出源とする平面
ディスプレイの１つとして、基板上に形成した陰極配線
層の上にカーボンナノチューブを含むペーストを印刷し
て陰極としたものが提案されている。
y）や平型蛍光表示管のような、陰極となる電子放出源
から放出された電子を対向電極に形成された蛍光体から
なる発光部に衝突させて発光させるフラットパネル（平
面）ディスプレイにおいて、電子放出源にカーボンナノ
チューブを用いたものがいろいろと提案されている。こ
のようなカーボンナノチューブを電子放出源とする平面
ディスプレイの１つとして、基板上に形成した陰極配線
層の上にカーボンナノチューブを含むペーストを印刷し
て陰極としたものが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カーボ
ンナノチューブを含むペーストを印刷して陰極を形成す
る従来の平面ディスプレイでは、印刷で形成される陰極
ごとの厚さがばらついたり、表面にうねりが生じて陰極
が平坦とならないといった問題があった。このため、平
行電界を作用させて電界電子放出を得ようとすると、陰
極間や陰極面内において電界が均一に印加されずに電子
の放出量が不均一となり、輝度むらの原因となってい
た。また、局部的な電子放出が生じて電子放出量が不安
定となり、輝度変動の生じる原因となっていた。この発
明は、前述した課題を解決するためになされたものであ
り、カーボンナノチューブを含むペーストの印刷によっ
て陰極を形成する平面ディスプレイにおいて、輝度むら
のない一様で安定した輝度を実現することを目的とす
る。
ンナノチューブを含むペーストを印刷して陰極を形成す
る従来の平面ディスプレイでは、印刷で形成される陰極
ごとの厚さがばらついたり、表面にうねりが生じて陰極
が平坦とならないといった問題があった。このため、平
行電界を作用させて電界電子放出を得ようとすると、陰
極間や陰極面内において電界が均一に印加されずに電子
の放出量が不均一となり、輝度むらの原因となってい
た。また、局部的な電子放出が生じて電子放出量が不安
定となり、輝度変動の生じる原因となっていた。この発
明は、前述した課題を解決するためになされたものであ
り、カーボンナノチューブを含むペーストの印刷によっ
て陰極を形成する平面ディスプレイにおいて、輝度むら
のない一様で安定した輝度を実現することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明に係る平面ディスプレイは、少なくとも
一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロントガ
ラスに対向配置された基板とを含みかつ内部が真空排気
された外囲器と、この外囲器内の基板上に配置された陰
極と、この陰極から離間して配置されたゲート電極と、
フロントガラスの基板との対向面上に積層配置された陽
極および蛍光体層とを備えた平面ディスプレイにおい
て、この発明は、陰極が基板面に配置されたメッシュ状
の金属部材と、この金属部材のメッシュ状開口部内に充
填されたカーボンナノチューブを含む充填材とからなる
ことによって特徴づけられる。
ために、本発明に係る平面ディスプレイは、少なくとも
一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロントガ
ラスに対向配置された基板とを含みかつ内部が真空排気
された外囲器と、この外囲器内の基板上に配置された陰
極と、この陰極から離間して配置されたゲート電極と、
フロントガラスの基板との対向面上に積層配置された陽
極および蛍光体層とを備えた平面ディスプレイにおい
て、この発明は、陰極が基板面に配置されたメッシュ状
の金属部材と、この金属部材のメッシュ状開口部内に充
填されたカーボンナノチューブを含む充填材とからなる
ことによって特徴づけられる。
【０００５】前述した平面ディスプレイの一構成例は、
ゲート電極が金属部材上に載置された絶縁スペーサに支
持されている。また、前述した平面ディスプレイの別の
構成例は、陰極が帯状で互いに平行に複数配置されてお
り、ゲート電極が帯状で陰極の配置方向と直交する方向
に複数配置されている。これらの場合、ゲート電極は、
絶縁スペーサの頂部に配置した導電膜で構成してもよい
し、メッシュ状開口部内に充填されたカーボンナノチュ
ーブを含む充填材の上方に配置され、絶縁スペーサで支
持されたメッシュ状の金属部材で構成してもよい。
ゲート電極が金属部材上に載置された絶縁スペーサに支
持されている。また、前述した平面ディスプレイの別の
構成例は、陰極が帯状で互いに平行に複数配置されてお
り、ゲート電極が帯状で陰極の配置方向と直交する方向
に複数配置されている。これらの場合、ゲート電極は、
絶縁スペーサの頂部に配置した導電膜で構成してもよい
し、メッシュ状開口部内に充填されたカーボンナノチュ
ーブを含む充填材の上方に配置され、絶縁スペーサで支
持されたメッシュ状の金属部材で構成してもよい。
【０００６】また、本発明にかかる平面ディスプレイの
製造方法は、前述した平面ディスプレイの製造方法にお
いて、陰極の形成工程が、基板面にメッシュ状の金属部
材を密着配置する工程と、この金属部材のメッシュ状開
口部内にカーボンナノチューブを含む充填材を充填する
工程とを有することによって特徴づけられる。この場
合、陰極の形成工程の一構成例は、金属部材のメッシュ
状開口部内にカーボンナノチューブを含む充填材を充填
する工程において、金属部材上にメッシュ状開口部に対
応する印刷パターンを有する印刷スクリーンを密着させ
た状態でカーボンナノチューブを含む充填材を印刷す
る。
製造方法は、前述した平面ディスプレイの製造方法にお
いて、陰極の形成工程が、基板面にメッシュ状の金属部
材を密着配置する工程と、この金属部材のメッシュ状開
口部内にカーボンナノチューブを含む充填材を充填する
工程とを有することによって特徴づけられる。この場
合、陰極の形成工程の一構成例は、金属部材のメッシュ
状開口部内にカーボンナノチューブを含む充填材を充填
する工程において、金属部材上にメッシュ状開口部に対
応する印刷パターンを有する印刷スクリーンを密着させ
た状態でカーボンナノチューブを含む充填材を印刷す
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に図を用いて本発明の実施の
形態を説明する。本実施の形態にかかる平面ディスプレ
イは、平面視略矩形のガラス基板と、このガラス基板に
対向配置される平面視略矩形の透明なフロントガラス
と、これらの周縁部に配置された枠状のスペーサガラス
とからなる外囲器を有する。この場合、ガラス基板とフ
ロントガラスは、周縁部において枠状のスペーサガラス
を介して対向配置され、低融点のフリットガラスでそれ
ぞれスペーサガラスに接着されて外囲器を構成してお
り、外囲器は１０-5Ｐａ台の真空度に保持されている。
ここで、外囲器を構成するガラス基板、フロントガラス
及びスペーサガラスは、低アルカリソーダガラスを用い
ており、ガラス基板とフロントガラスは厚さ１〜２ｍｍ
の板ガラスを使用している。
形態を説明する。本実施の形態にかかる平面ディスプレ
イは、平面視略矩形のガラス基板と、このガラス基板に
対向配置される平面視略矩形の透明なフロントガラス
と、これらの周縁部に配置された枠状のスペーサガラス
とからなる外囲器を有する。この場合、ガラス基板とフ
ロントガラスは、周縁部において枠状のスペーサガラス
を介して対向配置され、低融点のフリットガラスでそれ
ぞれスペーサガラスに接着されて外囲器を構成してお
り、外囲器は１０-5Ｐａ台の真空度に保持されている。
ここで、外囲器を構成するガラス基板、フロントガラス
及びスペーサガラスは、低アルカリソーダガラスを用い
ており、ガラス基板とフロントガラスは厚さ１〜２ｍｍ
の板ガラスを使用している。
【０００８】図１は本発明の実施の形態にかかる平面デ
ィスプレイを示す構成図であり、同図において（ａ）は
画素の構成を示す部分斜視断面図、（ｂ）は陰極の詳細
を示す拡大断面図である。また、図２は電極の構成を示
す部分断面図であり、図１の矢印Ａの示す方向から見た
図である。これらの図において、ガラス基板１０１の一
方の面に複数の基板リブ１０２が互いに平行に所定間隔
で垂設されており、ガラス基板１０１上の基板リブ１０
２に挟まれた領域に陰極１１０が基板リブ１０２と同じ
高さで帯状に配置されている。基板リブ１０２は、低融
点のフリットガラスを含む絶縁ペーストを所定の高さに
なるまでガラス基板１０１上に繰り返しスクリーン印刷
した後、焼成して形成した矩形断面の絶縁体で構成され
ている。
ィスプレイを示す構成図であり、同図において（ａ）は
画素の構成を示す部分斜視断面図、（ｂ）は陰極の詳細
を示す拡大断面図である。また、図２は電極の構成を示
す部分断面図であり、図１の矢印Ａの示す方向から見た
図である。これらの図において、ガラス基板１０１の一
方の面に複数の基板リブ１０２が互いに平行に所定間隔
で垂設されており、ガラス基板１０１上の基板リブ１０
２に挟まれた領域に陰極１１０が基板リブ１０２と同じ
高さで帯状に配置されている。基板リブ１０２は、低融
点のフリットガラスを含む絶縁ペーストを所定の高さに
なるまでガラス基板１０１上に繰り返しスクリーン印刷
した後、焼成して形成した矩形断面の絶縁体で構成され
ている。
【０００９】また、陰極１１０は、メッシュ状金属部材
１１１と、メッシュ状金属部材１１１のメッシュ状開口
部内に形成された電子放出部１１２とから構成されてい
る。電子放出部１１２は、図１（ｂ）に示すように、メ
ッシュ状開口部内及びメッシュ状開口部間での厚さがほ
ぼ均一で、かつ表面がメッシュ状開口部から突出しない
ように形成されている。電子放出部１１２とゲート電極
となる導電膜１２１との間隔を絶縁スペーサ１２０の厚
さのみで規定できるようにするため、基板リブ１０２の
高さは、メッシュ状金属部材１１１と同じか又は低く構
成されている。なお、基板リブ１０２の高さは、隣接す
るメッシュ状金属部材１１１間で放電が発生するのを防
止するため、メッシュ状金属部材１１１と同じか低くと
も０．０５ｍｍ低い程度とすることが望ましい。この実
施の形態では、幅を０．０５ｍｍとし、前述したよう
に、メッシュ状金属部材１１１と基板リブ１０２の高さ
が等しくなるように構成している。また、基板リブ１０
２間を１〜２ｍｍピッチとしている。
１１１と、メッシュ状金属部材１１１のメッシュ状開口
部内に形成された電子放出部１１２とから構成されてい
る。電子放出部１１２は、図１（ｂ）に示すように、メ
ッシュ状開口部内及びメッシュ状開口部間での厚さがほ
ぼ均一で、かつ表面がメッシュ状開口部から突出しない
ように形成されている。電子放出部１１２とゲート電極
となる導電膜１２１との間隔を絶縁スペーサ１２０の厚
さのみで規定できるようにするため、基板リブ１０２の
高さは、メッシュ状金属部材１１１と同じか又は低く構
成されている。なお、基板リブ１０２の高さは、隣接す
るメッシュ状金属部材１１１間で放電が発生するのを防
止するため、メッシュ状金属部材１１１と同じか低くと
も０．０５ｍｍ低い程度とすることが望ましい。この実
施の形態では、幅を０．０５ｍｍとし、前述したよう
に、メッシュ状金属部材１１１と基板リブ１０２の高さ
が等しくなるように構成している。また、基板リブ１０
２間を１〜２ｍｍピッチとしている。
【００１０】また、ガラス基板１０１に対向して配置さ
れる透明なフロントガラス１０３のガラス基板１０１に
対向する面には、基板リブ１０２および陰極１１０と直
交する方向に所定間隔で複数の前面リブ１０４が垂設さ
れている。フロントガラス１０３の前面リブ１０４に挟
まれた領域には蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５Ｒ
が帯状に配置されており、これらの蛍光体膜のガラス基
板１０１に対向する面には陽極となるメタルバック膜１
０６が形成されている。前面リブ１０４は、低融点のフ
リットガラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるま
でフロントガラス１０３内面の所定位置に繰り返しスク
リーン印刷した後、焼成して形成した矩形断面の絶縁体
で構成されている。
れる透明なフロントガラス１０３のガラス基板１０１に
対向する面には、基板リブ１０２および陰極１１０と直
交する方向に所定間隔で複数の前面リブ１０４が垂設さ
れている。フロントガラス１０３の前面リブ１０４に挟
まれた領域には蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５Ｒ
が帯状に配置されており、これらの蛍光体膜のガラス基
板１０１に対向する面には陽極となるメタルバック膜１
０６が形成されている。前面リブ１０４は、低融点のフ
リットガラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるま
でフロントガラス１０３内面の所定位置に繰り返しスク
リーン印刷した後、焼成して形成した矩形断面の絶縁体
で構成されている。
【００１１】蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５Ｒ
は、所定の発光色を有する蛍光体で構成されており、フ
ロントガラス１０３の内面に各色の蛍光体ペーストをス
トライプ状にスクリーン印刷した後、焼成して蛍光体膜
に形成したものである。この場合、蛍光体膜には、赤
（Ｒ）に用いる赤色発光蛍光体を用いた赤色発光蛍光体
膜１０５Ｒ、緑（Ｇ）に用いる緑色発光蛍光体を用いた
緑色発光蛍光体膜１０５Ｇ及び青（Ｂ）に用いる青色発
光蛍光体を用いた青色発光蛍光体膜１０５Ｂがあり、こ
れらの蛍光体膜は前面リブ１０４に挟まれて、赤色発光
蛍光体膜１０５Ｒ、緑色発光蛍光体膜１０５Ｇ、青色発
光蛍光体膜１０５Ｂの順番で所定数が配置されている。
は、所定の発光色を有する蛍光体で構成されており、フ
ロントガラス１０３の内面に各色の蛍光体ペーストをス
トライプ状にスクリーン印刷した後、焼成して蛍光体膜
に形成したものである。この場合、蛍光体膜には、赤
（Ｒ）に用いる赤色発光蛍光体を用いた赤色発光蛍光体
膜１０５Ｒ、緑（Ｇ）に用いる緑色発光蛍光体を用いた
緑色発光蛍光体膜１０５Ｇ及び青（Ｂ）に用いる青色発
光蛍光体を用いた青色発光蛍光体膜１０５Ｂがあり、こ
れらの蛍光体膜は前面リブ１０４に挟まれて、赤色発光
蛍光体膜１０５Ｒ、緑色発光蛍光体膜１０５Ｇ、青色発
光蛍光体膜１０５Ｂの順番で所定数が配置されている。
【００１２】赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に用いる各
蛍光体膜１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂにはブラウン管
等で一般的に使用されている、４〜１０ＫＶの高電圧で
加速した電子を衝突させることで発光する周知の酸化物
蛍光体や硫化物蛍光体を用いることができる。ここで
は、カラー表示用に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三
原色を発光するため３種類の蛍光体膜を用いたが、これ
に限られるものではなく、モノクロ表示用に１種類の蛍
光体膜を用いるようにしてもよい。メタルバック膜１０
６は、厚さ０．１μｍ程度のアルミニウム薄膜から構成
されており、周知の蒸着法を用いて蛍光体膜の表面に形
成される。
蛍光体膜１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂにはブラウン管
等で一般的に使用されている、４〜１０ＫＶの高電圧で
加速した電子を衝突させることで発光する周知の酸化物
蛍光体や硫化物蛍光体を用いることができる。ここで
は、カラー表示用に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三
原色を発光するため３種類の蛍光体膜を用いたが、これ
に限られるものではなく、モノクロ表示用に１種類の蛍
光体膜を用いるようにしてもよい。メタルバック膜１０
６は、厚さ０．１μｍ程度のアルミニウム薄膜から構成
されており、周知の蒸着法を用いて蛍光体膜の表面に形
成される。
【００１３】また、ガラス基板１０１上の基板リブ１０
２および陰極１１０とフロントガラス１０３の前面リブ
１０４との間には断面矩形の絶縁スペーサ１２０が設け
られている。絶縁スペーサ１２０は、電子通過用のスリ
ットを所定ピッチで設けた厚さ０．３ｍｍのアルミナ基
板で構成されており、スリットの開口はレーザ光を使用
している。なお、絶縁スペーサ１２０は、アルミナ基板
に限られるものではなく、他のセラミック基板やガラス
基板を用いてもよい。また、絶縁スペーサ１２０の厚さ
やスリット幅を必要に応じて変えてよいことは言うまで
もない。絶縁スペーサ１２０は、前面リブ１０４と１対
１に対応し、かつ対応する前面リブ１０４と中心線が一
致するように配置されている。
２および陰極１１０とフロントガラス１０３の前面リブ
１０４との間には断面矩形の絶縁スペーサ１２０が設け
られている。絶縁スペーサ１２０は、電子通過用のスリ
ットを所定ピッチで設けた厚さ０．３ｍｍのアルミナ基
板で構成されており、スリットの開口はレーザ光を使用
している。なお、絶縁スペーサ１２０は、アルミナ基板
に限られるものではなく、他のセラミック基板やガラス
基板を用いてもよい。また、絶縁スペーサ１２０の厚さ
やスリット幅を必要に応じて変えてよいことは言うまで
もない。絶縁スペーサ１２０は、前面リブ１０４と１対
１に対応し、かつ対応する前面リブ１０４と中心線が一
致するように配置されている。
【００１４】この絶縁スペーサ１２０は、前面リブ１０
４とメッシュ状金属部材１１１に挟まれており、大気圧
により押しつけられて固定されている。また、この絶縁
スペーサ１２０は、前面リブ１０４よりも広い幅を有
し、前面リブ１０４を介してフロントガラス１０３を支
持するとともにゲート電極１２１を陰極１１０から離間
して支持するものである。本実施の形態においては、前
面リブ１０４の端面よりも広く構成された絶縁スペーサ
１２０の前面リブ１０４と接する面上の前面リブ１０４
が接する領域の外側に、帯状のゲート電極１２１が形成
されている。
４とメッシュ状金属部材１１１に挟まれており、大気圧
により押しつけられて固定されている。また、この絶縁
スペーサ１２０は、前面リブ１０４よりも広い幅を有
し、前面リブ１０４を介してフロントガラス１０３を支
持するとともにゲート電極１２１を陰極１１０から離間
して支持するものである。本実施の形態においては、前
面リブ１０４の端面よりも広く構成された絶縁スペーサ
１２０の前面リブ１０４と接する面上の前面リブ１０４
が接する領域の外側に、帯状のゲート電極１２１が形成
されている。
【００１５】この場合、前面リブ１０４は、ゲート電極
１２１とメタルバック膜１０６の間が２．０〜４．０ｍ
ｍとなる高さを有するように形成され、リブ間隔は基板
リブ１０２と同じピッチに設定されている。なお、前面
リブ１０４は、これに限られるものではなく、前面リブ
１０４の幅は隣接するメタルバック膜１０６間やゲート
電極１２１間で絶縁破壊が起こらず、かつ大気圧を支え
られる程度であればよく、高さはメタルバック膜１０６
に印加する陽極電圧に合わせて変更してもよい。また、
リブ間隔も必要に応じて変更してもよい。
１２１とメタルバック膜１０６の間が２．０〜４．０ｍ
ｍとなる高さを有するように形成され、リブ間隔は基板
リブ１０２と同じピッチに設定されている。なお、前面
リブ１０４は、これに限られるものではなく、前面リブ
１０４の幅は隣接するメタルバック膜１０６間やゲート
電極１２１間で絶縁破壊が起こらず、かつ大気圧を支え
られる程度であればよく、高さはメタルバック膜１０６
に印加する陽極電圧に合わせて変更してもよい。また、
リブ間隔も必要に応じて変更してもよい。
【００１６】ゲート電極１２１は、絶縁スペーサ１２０
の前面リブ１０４と接する面の前面リブ１０４が接する
領域の外側に配置された帯状の導電膜から構成されてい
る。この導電膜は、絶縁スペーサ１２０上に１０μｍ程
度の厚さとなるように銀あるいはカーボンを導電材料と
して含んだ導電性ペーストをストライプ状にスクリーン
印刷した後、焼成することにより形成される。なお、こ
の実施の形態では、絶縁スペーサ１２０上に設けた帯状
の導電膜でゲート電極１２１を構成したが、ゲート電極
１２１は、これに限られるものではない。例えば、梯子
状やメッシュ状の金属薄板を蛍光体膜１０５Ｂ，１０５
Ｇ，１０５Ｒに対向して配置し、電子放出部１１２から
離間するように絶縁スペーサ１２０で支持するようにし
てもよい。
の前面リブ１０４と接する面の前面リブ１０４が接する
領域の外側に配置された帯状の導電膜から構成されてい
る。この導電膜は、絶縁スペーサ１２０上に１０μｍ程
度の厚さとなるように銀あるいはカーボンを導電材料と
して含んだ導電性ペーストをストライプ状にスクリーン
印刷した後、焼成することにより形成される。なお、こ
の実施の形態では、絶縁スペーサ１２０上に設けた帯状
の導電膜でゲート電極１２１を構成したが、ゲート電極
１２１は、これに限られるものではない。例えば、梯子
状やメッシュ状の金属薄板を蛍光体膜１０５Ｂ，１０５
Ｇ，１０５Ｒに対向して配置し、電子放出部１１２から
離間するように絶縁スペーサ１２０で支持するようにし
てもよい。
【００１７】このような構成において、各メッシュ状金
属部材１１１は、外囲器を貫通して外部へ突出してお
り、外部から陰極電圧を供給する陰極用リードを兼ねて
いる。各ゲート電極１２１は、外囲器を貫通するゲート
電極用リード（図示せず）と個々に接続されており、外
部から各ゲート電極１２１にそれぞれ制御用の所定電圧
が印加可能に構成されている。メタルバック膜１０６
は、外囲器を貫通する１つの陽極用リード（図示せず）
に接続されており、外部からメタルバック膜１０６に電
子加速用の陽極電圧が印加可能に構成されている。
属部材１１１は、外囲器を貫通して外部へ突出してお
り、外部から陰極電圧を供給する陰極用リードを兼ねて
いる。各ゲート電極１２１は、外囲器を貫通するゲート
電極用リード（図示せず）と個々に接続されており、外
部から各ゲート電極１２１にそれぞれ制御用の所定電圧
が印加可能に構成されている。メタルバック膜１０６
は、外囲器を貫通する１つの陽極用リード（図示せず）
に接続されており、外部からメタルバック膜１０６に電
子加速用の陽極電圧が印加可能に構成されている。
【００１８】陰極１１０を構成するメッシュ状金属部材
１１１は、正六角形の網目を有するメッシュ状の金属薄
板であり、例えば、厚さ０．１〜０．１５ｍｍのステン
レス板をエッチング加工し、開口部の形状が正六角形
で、開口径（対辺間の距離）が０．１〜１．０ｍｍの貫
通孔を網目状に設けたものである。なお、メッシュ状金
属部材１１１の開口部の形状は正六角形に限られるもの
ではない。例えば、メッシュ状金属部材１１１を四角形
の貫通孔が一定間隔で設けられた梯子状としてもよい。
また、開口部の形状を三角形や四角形などの多角形やこ
れら多角形の角を丸めたもの、あるいは円形やだ円形な
どとしてもよい。
１１１は、正六角形の網目を有するメッシュ状の金属薄
板であり、例えば、厚さ０．１〜０．１５ｍｍのステン
レス板をエッチング加工し、開口部の形状が正六角形
で、開口径（対辺間の距離）が０．１〜１．０ｍｍの貫
通孔を網目状に設けたものである。なお、メッシュ状金
属部材１１１の開口部の形状は正六角形に限られるもの
ではない。例えば、メッシュ状金属部材１１１を四角形
の貫通孔が一定間隔で設けられた梯子状としてもよい。
また、開口部の形状を三角形や四角形などの多角形やこ
れら多角形の角を丸めたもの、あるいは円形やだ円形な
どとしてもよい。
【００１９】電子放出部１１２は、高電界により電子を
放出する電界放出型電子放出源であり、メッシュ状金属
部材１１１の開口部に充填された導電膜と、導電膜から
露出した多数のカーボンナノチューブによって構成され
ており、それぞれのカーボンナノチューブが電子放出源
として動作する。カーボンナノチューブは、グラファイ
トの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先端部に五員環が
形成された構造をしており、その直径は４〜５０ｎｍと
微小のため、１００Ｖ程度の電界を印加することにより
電子を電界放出させることができる。なお、カーボンナ
ノチューブには単層のものと、複数のグラファイトの層
が入れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が
円筒状に閉じた同軸多層構造となっているものとがある
が、どちらを用いてもよい。また、構造が乱れて欠陥を
もつ中空のグラファイトチューブやチューブ内に炭素が
詰まったグラファイトチューブを用いてもよい。
放出する電界放出型電子放出源であり、メッシュ状金属
部材１１１の開口部に充填された導電膜と、導電膜から
露出した多数のカーボンナノチューブによって構成され
ており、それぞれのカーボンナノチューブが電子放出源
として動作する。カーボンナノチューブは、グラファイ
トの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先端部に五員環が
形成された構造をしており、その直径は４〜５０ｎｍと
微小のため、１００Ｖ程度の電界を印加することにより
電子を電界放出させることができる。なお、カーボンナ
ノチューブには単層のものと、複数のグラファイトの層
が入れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が
円筒状に閉じた同軸多層構造となっているものとがある
が、どちらを用いてもよい。また、構造が乱れて欠陥を
もつ中空のグラファイトチューブやチューブ内に炭素が
詰まったグラファイトチューブを用いてもよい。
【００２０】この実施の形態の平面ディスプレイは、こ
のように構成したので、陰極１１０とゲート電極１２１
との間に、ゲート電極１２１側が正の電位となるように
電位差を設けることにより、ゲート電極１２１と陰極１
１０が交差した部分にある電子放出部１１２のカーボン
ナノチューブに電界が集中し、高電界となったカーボン
ナノチューブの先端から電子が放出される。このため、
メタルバック膜１０６に正電圧（加速電圧）が印加され
ていると、電子放出部１１２から放出された電子がメタ
ルバック膜１０６に向かって加速され、さらにメタルバ
ック膜１０６を透過して蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，
１０５Ｒに衝突して蛍光体膜が発光させられる。
のように構成したので、陰極１１０とゲート電極１２１
との間に、ゲート電極１２１側が正の電位となるように
電位差を設けることにより、ゲート電極１２１と陰極１
１０が交差した部分にある電子放出部１１２のカーボン
ナノチューブに電界が集中し、高電界となったカーボン
ナノチューブの先端から電子が放出される。このため、
メタルバック膜１０６に正電圧（加速電圧）が印加され
ていると、電子放出部１１２から放出された電子がメタ
ルバック膜１０６に向かって加速され、さらにメタルバ
ック膜１０６を透過して蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，
１０５Ｒに衝突して蛍光体膜が発光させられる。
【００２１】よって、例えば、ゲート電極１２１を行方
向に所定数設け、陰極１１０を列方向に所定数設けて、
メタルバック膜１４１に正電圧（加速電圧）を印加した
状態で、１行目のゲート電極１２１に所定の正電圧を印
加しておいて、陰極１１０に１列目から所定列目まで発
光させるアドレスで所定の負電圧が印加されるように順
次走査し、これを１行目から所定行目のゲート電極１２
１まで行うことにより、ドットマトリクス表示すること
ができる。この場合、電圧を印加しない陰極１１０とゲ
ート電極１２１は０Ｖにしておくか、ゲート電極１２１
に陰極１１０に対して数Ｖ程度の負のバイアス電圧を印
加して表示アドレス以外の電子放出部１１２より電子が
放出されないようにしておく。
向に所定数設け、陰極１１０を列方向に所定数設けて、
メタルバック膜１４１に正電圧（加速電圧）を印加した
状態で、１行目のゲート電極１２１に所定の正電圧を印
加しておいて、陰極１１０に１列目から所定列目まで発
光させるアドレスで所定の負電圧が印加されるように順
次走査し、これを１行目から所定行目のゲート電極１２
１まで行うことにより、ドットマトリクス表示すること
ができる。この場合、電圧を印加しない陰極１１０とゲ
ート電極１２１は０Ｖにしておくか、ゲート電極１２１
に陰極１１０に対して数Ｖ程度の負のバイアス電圧を印
加して表示アドレス以外の電子放出部１１２より電子が
放出されないようにしておく。
【００２２】また、陰極１１０に印加する電圧を０Ｖと
正電圧とし、発光させる場合は０Ｖととし、発光させな
い場合は正電圧とするようにしてもよい。この場合、ゲ
ート電極１２１は、アクティブな行を正電圧に保ち、他
の行を０Ｖ又は数Ｖ程度の負のバイアス電圧を印加し
て、表示アドレス以外の電子放出部１１２より電子が放
出されないようにしておく。この実施の形態では、メタ
ルバック膜１０６に印加する電圧を６ＫＶ、ゲート電極
１２１に印加する電圧を５００Ｖと０Ｖ、基板電極１２
１に印加する電圧を５００Ｖと０Ｖとした。この場合、
負電圧を用いないので負電圧電源が不要となり、コスト
低減の効果が得られる。
正電圧とし、発光させる場合は０Ｖととし、発光させな
い場合は正電圧とするようにしてもよい。この場合、ゲ
ート電極１２１は、アクティブな行を正電圧に保ち、他
の行を０Ｖ又は数Ｖ程度の負のバイアス電圧を印加し
て、表示アドレス以外の電子放出部１１２より電子が放
出されないようにしておく。この実施の形態では、メタ
ルバック膜１０６に印加する電圧を６ＫＶ、ゲート電極
１２１に印加する電圧を５００Ｖと０Ｖ、基板電極１２
１に印加する電圧を５００Ｖと０Ｖとした。この場合、
負電圧を用いないので負電圧電源が不要となり、コスト
低減の効果が得られる。
【００２３】次に、ガラス基板１０１上に陰極１１０を
形成する工程を中心に本実施の形態に係る平面ディスプ
レイの製造方法について説明する。 ［陰極の形成］最初に、図３（ａ）に示すように、ガラ
ス基板１０１上に所定間隔で基板リブ１０２を形成す
る。この場合、基板リブ１０２は、低融点のフリットガ
ラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでガラス
基板１０１上に繰り返しスクリーン印刷した後、焼成し
て形成する。
形成する工程を中心に本実施の形態に係る平面ディスプ
レイの製造方法について説明する。 ［陰極の形成］最初に、図３（ａ）に示すように、ガラ
ス基板１０１上に所定間隔で基板リブ１０２を形成す
る。この場合、基板リブ１０２は、低融点のフリットガ
ラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでガラス
基板１０１上に繰り返しスクリーン印刷した後、焼成し
て形成する。
【００２４】次に、図３（ｂ）に示すように、基板リブ
１０２間にガラス基板１０１と密着させて前述したメッ
シュ状金属部材１１１を配置した後、図３（ｃ）に示す
ように、メッシュ状金属部材１１１に印刷スクリーン１
１５を密着させた状態とし、スクリーン印刷によってカ
ーボンナノチューブを含む導電性ペースト１１６をメッ
シュ状金属部材１１１のメッシュ状開口部に充填する。
この場合、印刷スクリーン１１５は、メッシュ状金属部
材１１１のメッシュ状開口部に１対１で対応する印刷パ
ターン１１７を有する。この印刷パターン１１７は、メ
ッシュ状開口部の形状に相似した平面形状で、メッシュ
状開口部と同じか又は所定の割合で縮小した大きさとな
るように構成されている。
１０２間にガラス基板１０１と密着させて前述したメッ
シュ状金属部材１１１を配置した後、図３（ｃ）に示す
ように、メッシュ状金属部材１１１に印刷スクリーン１
１５を密着させた状態とし、スクリーン印刷によってカ
ーボンナノチューブを含む導電性ペースト１１６をメッ
シュ状金属部材１１１のメッシュ状開口部に充填する。
この場合、印刷スクリーン１１５は、メッシュ状金属部
材１１１のメッシュ状開口部に１対１で対応する印刷パ
ターン１１７を有する。この印刷パターン１１７は、メ
ッシュ状開口部の形状に相似した平面形状で、メッシュ
状開口部と同じか又は所定の割合で縮小した大きさとな
るように構成されている。
【００２５】また、カーボンナノチューブを含む導電性
ペーストは、カーボンナノチューブを主成分とする長さ
数１０μｍの針形状のバンドル（柱状グラファイト）と
銀ペースト（導電性を有する粘性溶液）とを１：１の混
合比で混練したものを用いる。ここで、銀ペーストは、
粒径１μｍ程度の銀粒子（金属粒子）が粒径１μｍ程度
のガラス粒子とともに、樹脂を溶剤に溶解した粘性のあ
るビヒクルに分散されている流動性を有するペーストで
ある。また、ビヒクルとしては、分解および揮発性のよ
い材料を用い、例えば、大気空気中で３００〜４００℃
程度で加熱することで除去できるものである。また、ガ
ラス粒子は、３００〜４００℃程度で溶融するものを用
いる。
ペーストは、カーボンナノチューブを主成分とする長さ
数１０μｍの針形状のバンドル（柱状グラファイト）と
銀ペースト（導電性を有する粘性溶液）とを１：１の混
合比で混練したものを用いる。ここで、銀ペーストは、
粒径１μｍ程度の銀粒子（金属粒子）が粒径１μｍ程度
のガラス粒子とともに、樹脂を溶剤に溶解した粘性のあ
るビヒクルに分散されている流動性を有するペーストで
ある。また、ビヒクルとしては、分解および揮発性のよ
い材料を用い、例えば、大気空気中で３００〜４００℃
程度で加熱することで除去できるものである。また、ガ
ラス粒子は、３００〜４００℃程度で溶融するものを用
いる。
【００２６】次に、印刷スクリーン１１５を取り除き、
例えば、４５０℃程度に所定時間加熱することでメッシ
ュ状開口部に充填されたカーボンナノチューブを含む導
電性ペーストを焼成する。これにより、メッシュ状開口
部内にバンドルを含む導電膜が形成される。この導電膜
は、開口径が０．１〜１．０ｍｍ程度の狭い空間で形成
されるため、焼成時の加熱によりガラス粒子が溶融した
際に表面にうねりが生じることがなく、表面が均一に平
坦化される。このため、厚さのばらつきが少なく平坦な
導電膜が得られる。
例えば、４５０℃程度に所定時間加熱することでメッシ
ュ状開口部に充填されたカーボンナノチューブを含む導
電性ペーストを焼成する。これにより、メッシュ状開口
部内にバンドルを含む導電膜が形成される。この導電膜
は、開口径が０．１〜１．０ｍｍ程度の狭い空間で形成
されるため、焼成時の加熱によりガラス粒子が溶融した
際に表面にうねりが生じることがなく、表面が均一に平
坦化される。このため、厚さのばらつきが少なく平坦な
導電膜が得られる。
【００２７】次に、導電膜の表面にレーザ光を照射し、
表面の銀粒子やバインダーを選択的に蒸発させて除去す
ることによってバンドルを露出させるとともに、バンド
ル表面のカーボンナノチューブ以外の炭素成分である炭
素の多面体粒子を選択的に除去することによってカーボ
ンナノチューブだけが均一に露出した状態とする。これ
により、図３（ｄ）に示すように、ガラス基板１０１上
に多数のカーボンナノチューブによって構成された電子
放出部１１２を有する陰極１１０が形成される。
表面の銀粒子やバインダーを選択的に蒸発させて除去す
ることによってバンドルを露出させるとともに、バンド
ル表面のカーボンナノチューブ以外の炭素成分である炭
素の多面体粒子を選択的に除去することによってカーボ
ンナノチューブだけが均一に露出した状態とする。これ
により、図３（ｄ）に示すように、ガラス基板１０１上
に多数のカーボンナノチューブによって構成された電子
放出部１１２を有する陰極１１０が形成される。
【００２８】［平面ディスプレイの組立］まず、フロン
トガラス１０３に蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５
Ｒとメタルバック膜１０６と前面リブ１０４とを前述し
た方法で形成する。また、アルミナ基板に前述した方法
でスリットを設けて絶縁スペーサ１２０を形成するとと
もに、前述した方法でゲート電極１２１を形成する。次
に、図４で示すように、陰極１１０を形成したガラス基
板１０１に、ゲート電極１２１を形成した絶縁スペーサ
１２０を、ゲート電極１２１を上方に向けて載置する。
このとき、絶縁スペーサ１２０は、ゲート電極１２１が
陰極１１０と直交するように配置する。
トガラス１０３に蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５
Ｒとメタルバック膜１０６と前面リブ１０４とを前述し
た方法で形成する。また、アルミナ基板に前述した方法
でスリットを設けて絶縁スペーサ１２０を形成するとと
もに、前述した方法でゲート電極１２１を形成する。次
に、図４で示すように、陰極１１０を形成したガラス基
板１０１に、ゲート電極１２１を形成した絶縁スペーサ
１２０を、ゲート電極１２１を上方に向けて載置する。
このとき、絶縁スペーサ１２０は、ゲート電極１２１が
陰極１１０と直交するように配置する。
【００２９】次に、ガラス基板１０１の周辺に枠状のス
ペーサガラス（図示せず）を載置した後、スペーサガラ
ス上に蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５Ｒとメタル
バック膜１０６と前面リブ１０４とを形成したフロント
ガラス１０３を載置する。このとき、フロントガラス１
０３は、個々の前面リブ１０４の端面が個々の絶縁スペ
ーサ１２０上の帯状のゲート電極１２１に挟まれた領域
と接するように配置する。次に、ガラス基板１０１とフ
ロントガラス１０３とスペーサガラスとを低融点のフリ
ットガラスにより接着固定し、外囲器を形成する。次
に、スペーサガラスに設けられた排気口を真空ポンプに
接続して外囲器内を所定の圧力まで真空排気した後、排
気口を封着する。
ペーサガラス（図示せず）を載置した後、スペーサガラ
ス上に蛍光体膜１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５Ｒとメタル
バック膜１０６と前面リブ１０４とを形成したフロント
ガラス１０３を載置する。このとき、フロントガラス１
０３は、個々の前面リブ１０４の端面が個々の絶縁スペ
ーサ１２０上の帯状のゲート電極１２１に挟まれた領域
と接するように配置する。次に、ガラス基板１０１とフ
ロントガラス１０３とスペーサガラスとを低融点のフリ
ットガラスにより接着固定し、外囲器を形成する。次
に、スペーサガラスに設けられた排気口を真空ポンプに
接続して外囲器内を所定の圧力まで真空排気した後、排
気口を封着する。
【００３０】この実施の形態では、導電膜の表面にレー
ザ光を照射してカーボンナノチューブを露出させたが、
カーボンナノチューブを露出させる方法は、レーザ光照
射に限られるものではない。例えば、プラズマを用いた
選択的なドライエッチングを用いるようにしてもよい。
また、カーボンナノチューブを含む導電性ペーストに銀
ペーストを用いるようにしたが、これに限るものではな
く、他の導電性ペーストを用いるようにしてもよい。例
えば、銀と銅の合金からなる粒子をもちいた導電性ペー
ストを用いるようにしてもよい。また、導電性ポリマー
を用いるようにしてもよい。また、外囲器を構成する基
板にガラス基板を用いたが、これに限られるものではな
く、例えばセラミック基板などを用いてもよい。
ザ光を照射してカーボンナノチューブを露出させたが、
カーボンナノチューブを露出させる方法は、レーザ光照
射に限られるものではない。例えば、プラズマを用いた
選択的なドライエッチングを用いるようにしてもよい。
また、カーボンナノチューブを含む導電性ペーストに銀
ペーストを用いるようにしたが、これに限るものではな
く、他の導電性ペーストを用いるようにしてもよい。例
えば、銀と銅の合金からなる粒子をもちいた導電性ペー
ストを用いるようにしてもよい。また、導電性ポリマー
を用いるようにしてもよい。また、外囲器を構成する基
板にガラス基板を用いたが、これに限られるものではな
く、例えばセラミック基板などを用いてもよい。
【００３１】この実施の形態の平面ディスプレイの製造
方法によれば、電子放出源となるカーボンナノチューブ
を含む導電膜を均一な厚さに加工されるメッシュ状金属
部材１１１のメッシュ状開口部内に形成するため、導電
膜が平坦化されるとともに、膜厚が均一になるので、カ
ーボンナノチューブに印加される電界が均一になり、電
界放出電子が場所によらず同程度に放出される。このた
め、均一な電界電子放出が得られるので、画素によらず
一様な輝度が得られる平面ディスプレイの製造が可能と
なる。
方法によれば、電子放出源となるカーボンナノチューブ
を含む導電膜を均一な厚さに加工されるメッシュ状金属
部材１１１のメッシュ状開口部内に形成するため、導電
膜が平坦化されるとともに、膜厚が均一になるので、カ
ーボンナノチューブに印加される電界が均一になり、電
界放出電子が場所によらず同程度に放出される。このた
め、均一な電界電子放出が得られるので、画素によらず
一様な輝度が得られる平面ディスプレイの製造が可能と
なる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、少な
くとも一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロ
ントガラスに対向配置された基板とを含みかつ内部が真
空排気された外囲器と、この外囲器内の基板上に配置さ
れた陰極と、この陰極から離間して配置されたゲート電
極と、フロントガラスの基板との対向面上に積層配置さ
れた陽極および蛍光体層とを備えた平面ディスプレイに
おいて、陰極が基板面に密着配置されたメッシュ状の金
属部材と、この金属部材のメッシュ状開口部内に充填さ
れたカーボンナノチューブを含む充填材とから構成され
るので、電子放出源となる個々のカーボンナノチューブ
に印加される電界が均一になり、均一な電界電子放出が
得られるので、輝度むらのない一様で安定した輝度を実
現することが可能となる。
くとも一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロ
ントガラスに対向配置された基板とを含みかつ内部が真
空排気された外囲器と、この外囲器内の基板上に配置さ
れた陰極と、この陰極から離間して配置されたゲート電
極と、フロントガラスの基板との対向面上に積層配置さ
れた陽極および蛍光体層とを備えた平面ディスプレイに
おいて、陰極が基板面に密着配置されたメッシュ状の金
属部材と、この金属部材のメッシュ状開口部内に充填さ
れたカーボンナノチューブを含む充填材とから構成され
るので、電子放出源となる個々のカーボンナノチューブ
に印加される電界が均一になり、均一な電界電子放出が
得られるので、輝度むらのない一様で安定した輝度を実
現することが可能となる。
【００３３】また、この発明にかかる平面ディスプレイ
の製造方法は、陰極の形成工程が基板面にメッシュ状の
金属部材を密着配置する工程と、この金属部材のメッシ
ュ状開口部内にカーボンナノチューブを含む充填材を充
填する工程とを有するため、電子放出源となるカーボン
ナノチューブを含む充填材の表面を平坦化することがで
きるとともに、厚さを均一化できる。このため、この製
造方法によれば、個々のカーボンナノチューブに印加さ
れる電界が均一化され、均一な電界電子放出が得られる
陰極を製造できるので、輝度むらのない一様で安定した
輝度の平面ディスプレイを製造することができる。
の製造方法は、陰極の形成工程が基板面にメッシュ状の
金属部材を密着配置する工程と、この金属部材のメッシ
ュ状開口部内にカーボンナノチューブを含む充填材を充
填する工程とを有するため、電子放出源となるカーボン
ナノチューブを含む充填材の表面を平坦化することがで
きるとともに、厚さを均一化できる。このため、この製
造方法によれば、個々のカーボンナノチューブに印加さ
れる電界が均一化され、均一な電界電子放出が得られる
陰極を製造できるので、輝度むらのない一様で安定した
輝度の平面ディスプレイを製造することができる。
【図１】 本発明の実施の形態にかかる平面ディスプレ
イを示す構成図である。
イを示す構成図である。
【図２】 図１における電極の構成を示す部分断面図で
ある。
ある。
【図３】 ガラス基板上に陰極を形成する工程を示す説
明図である。
明図である。
【図４】 実施の形態にかかる平面ディスプレイの組立
図である。
図である。
１０１…ガラス基板、１０２…基板リブ、１０３…フロ
ントガラス、１０４…前面リブ、１０５Ｂ…青色発光蛍
光体膜、１０５Ｇ…緑色発光蛍光体膜、１０５Ｒ…赤色
発光蛍光体膜、１０６…メタルバック膜、１１０…陰
極、１１１…メッシュ状金属部材、１１２…電子放出
部、１１５…印刷スクリーン、１１６…カーボンナノチ
ューブを含む導電性ペースト、１１７…印刷パターン、
１２０…絶縁スペーサ、１２１…ゲート電極。
ントガラス、１０４…前面リブ、１０５Ｂ…青色発光蛍
光体膜、１０５Ｇ…緑色発光蛍光体膜、１０５Ｒ…赤色
発光蛍光体膜、１０６…メタルバック膜、１１０…陰
極、１１１…メッシュ状金属部材、１１２…電子放出
部、１１５…印刷スクリーン、１１６…カーボンナノチ
ューブを含む導電性ペースト、１１７…印刷パターン、
１２０…絶縁スペーサ、１２１…ゲート電極。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5C031 DD17 DD19
5C036 EE02 EE14 EF01 EF06 EF09
EG12 EG15 EH01 EH02 EH08
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも一部が透光性を有するフロン
トガラスとこのフロントガラスに対向配置された基板と
を含みかつ内部が真空排気された外囲器と、この外囲器
内の前記基板上に配置された陰極と、この陰極から離間
して配置されたゲート電極と、前記フロントガラスの前
記基板との対向面上に積層配置された陽極および蛍光体
層とを備えた平面ディスプレイにおいて、 前記陰極は、 前記基板面に配置されたメッシュ状の金属部材と、 この金属部材のメッシュ状開口部内に充填されたカーボ
ンナノチューブを含む充填材とからなることを特徴とす
る平面ディスプレイ。 - 【請求項２】 請求項１記載の平面ディスプレイにおい
て、 前記ゲート電極は、 前記金属部材上に載置された絶縁スペーサに支持されて
いることを特徴とする平面ディスプレイ。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の平面ディ
スプレイにおいて、 前記陰極は、帯状で互いに平行に複数配置されており、 前記ゲート電極は、帯状で前記陰極の配置方向と直交す
る方向に複数配置されていることを特徴とする平面ディ
スプレイ。 - 【請求項４】 少なくとも一部が透光性を有するフロン
トガラスとこのフロントガラスに対向配置された基板と
を含みかつ内部が真空排気された外囲器と、この外囲器
内の前記基板上に配置された陰極と、この陰極から離間
して配置されたゲート電極と、前記フロントガラスの前
記基板との対向面上に積層配置された陽極および蛍光体
層とを備えた平面ディスプレイの製造方法において、 前記陰極の形成工程は、 前記基板面にメッシュ状の金属部材を密着配置する工程
と、 この金属部材のメッシュ状開口部内にカーボンナノチュ
ーブを含む充填材を充填する工程とを有することを特徴
とする平面ディスプレイの製造方法。 - 【請求項５】 請求項４記載の平面ディスプレイの製造
方法において、 金属部材のメッシュ状開口部内にカーボンナノチューブ
を含む充填材を充填する工程は、前記金属部材上に前記
メッシュ状開口部に対応する印刷パターンを有する印刷
スクリーンを密着させた状態でカーボンナノチューブを
含む充填材を印刷することを特徴とする平面ディスプレ
イの製造方法。
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