JP2003158165A - 搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法 - Google Patents
搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法Info
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- JP2003158165A JP2003158165A JP2001357585A JP2001357585A JP2003158165A JP 2003158165 A JP2003158165 A JP 2003158165A JP 2001357585 A JP2001357585 A JP 2001357585A JP 2001357585 A JP2001357585 A JP 2001357585A JP 2003158165 A JP2003158165 A JP 2003158165A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被搬送物を効率よく搬送できるとともに、簡
単な構造でありながら剛性の高い搬送装置、この搬送装
置によりウェハやガラス基板などのワークを搬送元位置
とこのワークに処理を施す搬送先位置との間で搬送する
ワーク搬送装置、およびこの搬送装置の制御方法を提供
する。 【解決手段】 基台13に、水平軸H1を中心として回
動自在に上腕2a,2bを連結し、この上腕2a,2b
に、水平軸H2を中心として回動自在に前腕3a,3b
を連結し、この前腕3a,3bに、水平軸H3を中心と
して回動自在に、被搬送物1を載置する載置部42,4
3を備えるハンド部材4を連結し、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4をそれぞれ回動
させる回動手段5a(51a〜62a),5bと、を備
えて搬送装置11を構成し、ハンド部材4の載置部4
2,43の上面が常に水平となるようにする。
単な構造でありながら剛性の高い搬送装置、この搬送装
置によりウェハやガラス基板などのワークを搬送元位置
とこのワークに処理を施す搬送先位置との間で搬送する
ワーク搬送装置、およびこの搬送装置の制御方法を提供
する。 【解決手段】 基台13に、水平軸H1を中心として回
動自在に上腕2a,2bを連結し、この上腕2a,2b
に、水平軸H2を中心として回動自在に前腕3a,3b
を連結し、この前腕3a,3bに、水平軸H3を中心と
して回動自在に、被搬送物1を載置する載置部42,4
3を備えるハンド部材4を連結し、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4をそれぞれ回動
させる回動手段5a(51a〜62a),5bと、を備
えて搬送装置11を構成し、ハンド部材4の載置部4
2,43の上面が常に水平となるようにする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被搬送物を搬送す
る搬送装置、特に半導体製造ラインに組み込まれ、ウェ
ハやガラス基板などのワークを、搬送元位置(カセット
キャリアなど)とこのワークに処理を施すなどする搬送
先位置(プロセスチャンバ)との間で搬送するワーク搬
送装置、および搬送装置の制御方法に関する。
る搬送装置、特に半導体製造ラインに組み込まれ、ウェ
ハやガラス基板などのワークを、搬送元位置(カセット
キャリアなど)とこのワークに処理を施すなどする搬送
先位置(プロセスチャンバ)との間で搬送するワーク搬
送装置、および搬送装置の制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ウェハやガラス基板などのワークを搬送
する搬送装置の従来の代表的な例として、例えば図5に
示すような搬送装置が挙げられる。この搬送装置111
は、いわゆるダブルアーム式の搬送装置であり、基台1
01と、基台101の上方に並んで配された2つのリン
ク体102,102とを備える。各リンク体102,1
02は、基台101の内部に配設された駆動装置107
によって、元部121を中心に水平面上を回転する上腕
103と、上腕103の先端部131に延設され上腕1
03の回転に従い、元部141を中心に水平面上を回転
する前腕104と、前腕104の先端部142に延設さ
れ上腕103、前腕104の回転に従い、元部151を
中心に水平面上を回転するハンド105とを備える。
する搬送装置の従来の代表的な例として、例えば図5に
示すような搬送装置が挙げられる。この搬送装置111
は、いわゆるダブルアーム式の搬送装置であり、基台1
01と、基台101の上方に並んで配された2つのリン
ク体102,102とを備える。各リンク体102,1
02は、基台101の内部に配設された駆動装置107
によって、元部121を中心に水平面上を回転する上腕
103と、上腕103の先端部131に延設され上腕1
03の回転に従い、元部141を中心に水平面上を回転
する前腕104と、前腕104の先端部142に延設さ
れ上腕103、前腕104の回転に従い、元部151を
中心に水平面上を回転するハンド105とを備える。
【0003】前腕104およびハンド105は、上腕1
03および前腕104の内部に配設されたプーリ(図示
せず)とタイミングベルト(図示せず)によって駆動さ
れる。各リンク体102は、モータ107が回転すると
上腕103、前腕104およびハンド105が各々回転
し、ハンド105が水平面上を直線移動できるよう構成
されている。また、ハンド105には、被搬送物である
板状のワークを真空吸着するための吸着孔(図示せず)
が形成されており、この吸着孔と基台101の内部の真
空装置(図示せず)とを接続するための配管(図示せ
ず)が上腕103、前腕104およびハンド105の内
部に設けられている。さらに、いずれか一方のリンク体
102には、ワークとの衝突を回避するための干渉防止
部材としてのコ字状部材106が設けられている。その
ほか、基台101の内部には、2つのリンク体102,
102および2つのモータ107,107を一体として
基台101の中央部の鉛直軸を中心として回転させるた
めの駆動装置108と、2つのリンク体102,10
2、2つのモータ107,107および駆動装置108
を一体として鉛直方向に上下動させるための駆動装置
(図示せず)が配設されている。
03および前腕104の内部に配設されたプーリ(図示
せず)とタイミングベルト(図示せず)によって駆動さ
れる。各リンク体102は、モータ107が回転すると
上腕103、前腕104およびハンド105が各々回転
し、ハンド105が水平面上を直線移動できるよう構成
されている。また、ハンド105には、被搬送物である
板状のワークを真空吸着するための吸着孔(図示せず)
が形成されており、この吸着孔と基台101の内部の真
空装置(図示せず)とを接続するための配管(図示せ
ず)が上腕103、前腕104およびハンド105の内
部に設けられている。さらに、いずれか一方のリンク体
102には、ワークとの衝突を回避するための干渉防止
部材としてのコ字状部材106が設けられている。その
ほか、基台101の内部には、2つのリンク体102,
102および2つのモータ107,107を一体として
基台101の中央部の鉛直軸を中心として回転させるた
めの駆動装置108と、2つのリンク体102,10
2、2つのモータ107,107および駆動装置108
を一体として鉛直方向に上下動させるための駆動装置
(図示せず)が配設されている。
【0004】この搬送装置111では、搬送効率を上げ
るために、二つのリンク体102,102が備えられて
いるが、このリンク体102がそれぞれ水平に動く構造
であるため、搬送装置111の最小回転半径が大きくな
ってしまうとともに、先端のハンド105に被搬送物が
載置されるリンク体102の剛性を確保するため、装置
が大型のものとなってしまう欠点があった。また、この
ように搬送装置が大型になると、この搬送装置を備える
半導体などの製造装置の大型化を招き、さらに、この製
造装置が設置されるクリーンルームの面積を大きくする
必要も生じて、製造される半導体などのコストを上げる
要因となっていた。
るために、二つのリンク体102,102が備えられて
いるが、このリンク体102がそれぞれ水平に動く構造
であるため、搬送装置111の最小回転半径が大きくな
ってしまうとともに、先端のハンド105に被搬送物が
載置されるリンク体102の剛性を確保するため、装置
が大型のものとなってしまう欠点があった。また、この
ように搬送装置が大型になると、この搬送装置を備える
半導体などの製造装置の大型化を招き、さらに、この製
造装置が設置されるクリーンルームの面積を大きくする
必要も生じて、製造される半導体などのコストを上げる
要因となっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、被搬
送物を効率よく搬送できるとともに、簡単な構造であり
ながら剛性の高い搬送装置、この搬送装置によりウェハ
やガラス基板などのワークを搬送元位置(カセットキャ
リアなど)とこのワークに処理を施す搬送先位置(プロ
セスチャンバ)との間で搬送するワーク搬送装置、およ
びこの搬送装置の制御方法を提供することである。
送物を効率よく搬送できるとともに、簡単な構造であり
ながら剛性の高い搬送装置、この搬送装置によりウェハ
やガラス基板などのワークを搬送元位置(カセットキャ
リアなど)とこのワークに処理を施す搬送先位置(プロ
セスチャンバ)との間で搬送するワーク搬送装置、およ
びこの搬送装置の制御方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1に記載の発明である搬送装置(半導体搬送
装置)11(12)は、例えば図1、図2(または図
4)に示すように、基台13(14)と、上腕基端部2
1a,21bとこの上腕基端部21a,21bから所定
距離2aL,2bLだけ離れた上腕先端部22a,22
bとを備えて形成され、前記基台13(14)と前記上
腕基端部21a,21bとを貫通する水平軸H1を中心
として回動自在に、前記基台13(14)に連結された
上腕部材2a,2bと、前腕基端部31a,31bとこ
の前腕基端部31a,31bから所定距離3aL,3b
Lだけ離れた前腕先端部32a,32bとを備えて形成
され、前記上腕先端部22a,22bと前記前腕基端部
31a,31bとを貫通する水平軸H2を中心として回
動自在に、前記上腕部材2a,2bに連結された前腕部
材3a,3bと、手首部41とこの手首部41に取り付
けられ被搬送物(ウェハ)1(1a,1b)を載置する
載置部42,43とを備えて構成され、前記前腕先端部
32a,32bと前記手首部41とを貫通する水平軸H
3を中心として回動自在に、前記前腕部材3a,3bに
連結されたハンド部材4と、前記上腕部材2a,2bを
前記基台1に対して、前記前腕部材3a,3bを前記上
腕部材に2a,2b対して、また前記ハンド部材4を前
記前腕部材3a,3bに対して、それぞれ回動させる回
動手段5a(51a〜62a),5bと、が備えられ、
前記回動手段5a,5bは、前記載置部42,43の上
面が常に水平となるように、前記上腕部材2a,2b、
前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれを回動さ
せるように構成されていることを特徴とする。
め、請求項1に記載の発明である搬送装置(半導体搬送
装置)11(12)は、例えば図1、図2(または図
4)に示すように、基台13(14)と、上腕基端部2
1a,21bとこの上腕基端部21a,21bから所定
距離2aL,2bLだけ離れた上腕先端部22a,22
bとを備えて形成され、前記基台13(14)と前記上
腕基端部21a,21bとを貫通する水平軸H1を中心
として回動自在に、前記基台13(14)に連結された
上腕部材2a,2bと、前腕基端部31a,31bとこ
の前腕基端部31a,31bから所定距離3aL,3b
Lだけ離れた前腕先端部32a,32bとを備えて形成
され、前記上腕先端部22a,22bと前記前腕基端部
31a,31bとを貫通する水平軸H2を中心として回
動自在に、前記上腕部材2a,2bに連結された前腕部
材3a,3bと、手首部41とこの手首部41に取り付
けられ被搬送物(ウェハ)1(1a,1b)を載置する
載置部42,43とを備えて構成され、前記前腕先端部
32a,32bと前記手首部41とを貫通する水平軸H
3を中心として回動自在に、前記前腕部材3a,3bに
連結されたハンド部材4と、前記上腕部材2a,2bを
前記基台1に対して、前記前腕部材3a,3bを前記上
腕部材に2a,2b対して、また前記ハンド部材4を前
記前腕部材3a,3bに対して、それぞれ回動させる回
動手段5a(51a〜62a),5bと、が備えられ、
前記回動手段5a,5bは、前記載置部42,43の上
面が常に水平となるように、前記上腕部材2a,2b、
前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれを回動さ
せるように構成されていることを特徴とする。
【0007】ここで、上記回動手段は、単一の駆動源に
よって、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕
部材に対して、またハンド部材を前腕部材に対して回動
させるように構成されていてもよい。また上記回動手段
は、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕部材
に対して、またハンド部材を前腕部材に対して、それぞ
れ個別の駆動源で回動させ、これら各駆動源の動作のタ
イミングを制御装置により制御するように構成されてい
てもよい。
よって、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕
部材に対して、またハンド部材を前腕部材に対して回動
させるように構成されていてもよい。また上記回動手段
は、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕部材
に対して、またハンド部材を前腕部材に対して、それぞ
れ個別の駆動源で回動させ、これら各駆動源の動作のタ
イミングを制御装置により制御するように構成されてい
てもよい。
【0008】請求項1に記載の発明によれば、載置部の
上面が常に水平となるように、前記上腕部材、前腕部
材、ハンド部材のそれぞれが回動されるので、この載置
部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。また、上
腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で
回転するので、搬送装置が動作するときに占有する水平
面積が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するた
めに必要な空間が小さくて済む。また、搬送装置の基台
が、その設置面に対して回動可能に取り付けられている
場合に、搬送装置の回転半径を小さくすることができ
る。
上面が常に水平となるように、前記上腕部材、前腕部
材、ハンド部材のそれぞれが回動されるので、この載置
部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。また、上
腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で
回転するので、搬送装置が動作するときに占有する水平
面積が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するた
めに必要な空間が小さくて済む。また、搬送装置の基台
が、その設置面に対して回動可能に取り付けられている
場合に、搬送装置の回転半径を小さくすることができ
る。
【0009】請求項2に記載の発明である搬送装置11
(12)は、例えば図1、図2(または図4)に示すよ
うに、基台13(14)と、上腕基端部21a,21b
とこの上腕基端部21a,21bから所定距離2aL,
2bLだけ離れた上腕先端部22a,22bとを備えて
形成され、前記基台13(14)と前記上腕基端部21
a,21bとを貫通する水平軸H1を中心として回動自
在に、前記基台13(14)の両側に連結された一対の
上腕部材2a,2bと、前腕基端部とこの前腕基端部か
ら所定距離3aL,3bLだけ離れた前腕先端部とを備
えて形成され、前記各上腕部材の各上腕先端部と前記前
腕基端部とを貫通する水平軸H2を中心として回動自在
に、前記各上腕部材にそれぞれ連結された一対の前腕部
材3a,3bと、手首部41とこの手首部41に取り付
けられ被搬送物1(1a,1b)を載置する載置部4
2,43とを備えて構成され、前記各前腕先端部21
a,21bと前記手首部41とを貫通する水平軸H3を
中心として回動自在に、前記両前腕部材3a,3bに連
結された一のハンド部材4と、前記各上腕部材2a,2
bを前記基台1に対して、前記各前腕部材3a,3bを
前記各上腕部材2a,2bに対して、また前記一のハン
ド部材4を前記両前腕部材3a,3bに対して、それぞ
れ回動させる回動手段5a(51a〜62b),5b
と、が備えられ、前記回動手段5a,5bは、前記載置
部42,43の上面が常に水平となるように、前記上腕
部材2a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の
それぞれを回動させることを特徴とする。
(12)は、例えば図1、図2(または図4)に示すよ
うに、基台13(14)と、上腕基端部21a,21b
とこの上腕基端部21a,21bから所定距離2aL,
2bLだけ離れた上腕先端部22a,22bとを備えて
形成され、前記基台13(14)と前記上腕基端部21
a,21bとを貫通する水平軸H1を中心として回動自
在に、前記基台13(14)の両側に連結された一対の
上腕部材2a,2bと、前腕基端部とこの前腕基端部か
ら所定距離3aL,3bLだけ離れた前腕先端部とを備
えて形成され、前記各上腕部材の各上腕先端部と前記前
腕基端部とを貫通する水平軸H2を中心として回動自在
に、前記各上腕部材にそれぞれ連結された一対の前腕部
材3a,3bと、手首部41とこの手首部41に取り付
けられ被搬送物1(1a,1b)を載置する載置部4
2,43とを備えて構成され、前記各前腕先端部21
a,21bと前記手首部41とを貫通する水平軸H3を
中心として回動自在に、前記両前腕部材3a,3bに連
結された一のハンド部材4と、前記各上腕部材2a,2
bを前記基台1に対して、前記各前腕部材3a,3bを
前記各上腕部材2a,2bに対して、また前記一のハン
ド部材4を前記両前腕部材3a,3bに対して、それぞ
れ回動させる回動手段5a(51a〜62b),5b
と、が備えられ、前記回動手段5a,5bは、前記載置
部42,43の上面が常に水平となるように、前記上腕
部材2a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の
それぞれを回動させることを特徴とする。
【0010】請求項2に記載の発明によれば、上腕部
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で回転
するので、搬送装置が動作するときに占有する水平面積
が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するために
必要な空間が小さくて済む。また、一のハンド部材が前
腕部材の双方に連結されているので、上腕部材、前腕部
材、ハンド部材から構成されるアーム機構の剛性が高ま
る。これにより、上腕部材や前腕部材の長さを大きくし
て、被搬送物の搬送距離を長くすることができる。ま
た、アーム機構の剛性が高められると、アーム機構を高
速に動作させたり、また停止位置の精度を高めたりする
ことができる。
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で回転
するので、搬送装置が動作するときに占有する水平面積
が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するために
必要な空間が小さくて済む。また、一のハンド部材が前
腕部材の双方に連結されているので、上腕部材、前腕部
材、ハンド部材から構成されるアーム機構の剛性が高ま
る。これにより、上腕部材や前腕部材の長さを大きくし
て、被搬送物の搬送距離を長くすることができる。ま
た、アーム機構の剛性が高められると、アーム機構を高
速に動作させたり、また停止位置の精度を高めたりする
ことができる。
【0011】請求項3に記載の発明は、例えば図4に示
すように、請求項1または2に記載の搬送装置12にお
いて、前記上腕部材2a,2b、前腕部材3a,3b、
ハンド部材4を回動させる回動手段5a(51a〜62
a),5bが、単一の駆動源7により動作するように構
成されていることを特徴とする。
すように、請求項1または2に記載の搬送装置12にお
いて、前記上腕部材2a,2b、前腕部材3a,3b、
ハンド部材4を回動させる回動手段5a(51a〜62
a),5bが、単一の駆動源7により動作するように構
成されていることを特徴とする。
【0012】請求項3に記載の発明によれば、請求項1
または2に記載の発明と同様の効果が得られるととも
に、上腕部材、前腕部材、ハンド部材を回動させる回動
手段が、単一の駆動源により動作するように構成されて
いるので、搬送装置の構造を簡単にできる。
または2に記載の発明と同様の効果が得られるととも
に、上腕部材、前腕部材、ハンド部材を回動させる回動
手段が、単一の駆動源により動作するように構成されて
いるので、搬送装置の構造を簡単にできる。
【0013】請求項4に記載の発明は、請求項1〜3の
いずれかに記載の搬送装置11(12)において、前記
回動手段5a,5bは、前記上腕部材2a,2bの前記
基台1に対する回動角と、前記前腕部材3a,3bの前
記上腕部材2a,2bに対する回動角と、前記ハンド部
材4の前記前腕部材3a,3bに対する回動角との比が
1:(−2):1となるように、前記上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれを回
動させることを特徴とする。
いずれかに記載の搬送装置11(12)において、前記
回動手段5a,5bは、前記上腕部材2a,2bの前記
基台1に対する回動角と、前記前腕部材3a,3bの前
記上腕部材2a,2bに対する回動角と、前記ハンド部
材4の前記前腕部材3a,3bに対する回動角との比が
1:(−2):1となるように、前記上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれを回
動させることを特徴とする。
【0014】請求項4に記載の発明によれば、請求項1
〜3のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、回動手段が、上腕部材の基台に対する回動角
と、前腕部材の上腕部材に対する回動角と、ハンド部材
の前腕部材に対する回動角との比が1:(−2):1と
なるように、上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞ
れを回動させるので、これら上腕部材、前腕部材、ハン
ド部材が回動しても、ハンド部材の鉛直面内における角
度が一定に保たれる。したがって、このハンド部材に取
り付けられた載置部の角度も一定に保たれ、この載置部
に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
〜3のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、回動手段が、上腕部材の基台に対する回動角
と、前腕部材の上腕部材に対する回動角と、ハンド部材
の前腕部材に対する回動角との比が1:(−2):1と
なるように、上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞ
れを回動させるので、これら上腕部材、前腕部材、ハン
ド部材が回動しても、ハンド部材の鉛直面内における角
度が一定に保たれる。したがって、このハンド部材に取
り付けられた載置部の角度も一定に保たれ、この載置部
に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
【0015】請求項5に記載の発明は、例えば図2(ま
たは図4)に示すように、請求項4に記載の搬送装置1
1(12)において、前記上腕部材2a,2bの上腕基
端部21a,21bと上腕先端部22a,22bとの間
の距離2aL,2bLと、前記前腕部材3a,3bの前
腕基端部31a,31bと前腕先端部32a,32bと
の間の距離3aL,3bLとが、互いに等しく設定され
ていることを特徴とする。
たは図4)に示すように、請求項4に記載の搬送装置1
1(12)において、前記上腕部材2a,2bの上腕基
端部21a,21bと上腕先端部22a,22bとの間
の距離2aL,2bLと、前記前腕部材3a,3bの前
腕基端部31a,31bと前腕先端部32a,32bと
の間の距離3aL,3bLとが、互いに等しく設定され
ていることを特徴とする。
【0016】請求項5に記載の発明によれば、請求項4
に記載の発明と同様の効果が得られるとともに、上腕部
材の上腕基端部と上腕先端部との間の距離と、前腕部材
の前腕基端部と前腕先端部との間の距離とが、互いに等
しく設定されているので、回動手段によって、上腕部
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが、上腕部材の基
台に対する回動角と、前腕部材の上腕部材に対する回動
角と、ハンド部材の前腕部材に対する回動角との比が
1:(−2):1となるように回動されても、ハンド部
材の高さが一定に保たれる。したがって、このハンド部
材に取り付けられた載置部の高さも一定に保たれ、この
載置部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
に記載の発明と同様の効果が得られるとともに、上腕部
材の上腕基端部と上腕先端部との間の距離と、前腕部材
の前腕基端部と前腕先端部との間の距離とが、互いに等
しく設定されているので、回動手段によって、上腕部
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが、上腕部材の基
台に対する回動角と、前腕部材の上腕部材に対する回動
角と、ハンド部材の前腕部材に対する回動角との比が
1:(−2):1となるように回動されても、ハンド部
材の高さが一定に保たれる。したがって、このハンド部
材に取り付けられた載置部の高さも一定に保たれ、この
載置部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
【0017】請求項6に記載の発明は、例えば図1、図
2(または図4)に示すように、請求項1〜5のいずれ
かに記載の搬送装置11(12)において、水平方向に
長尺に形成され、この長さ方向の中央と前記ハンド部材
4とを貫通する鉛直軸V1を中心として回動自在に前記
ハンド部材4に取り付けられた載置部本体44の、長さ
方向の両端部に、それぞれ前記載置部42,43が設け
られ、前記載置部本体44を前記ハンド部材4に対して
回動させる載置部回動手段(モータ)45が備えられて
いることを特徴とする。
2(または図4)に示すように、請求項1〜5のいずれ
かに記載の搬送装置11(12)において、水平方向に
長尺に形成され、この長さ方向の中央と前記ハンド部材
4とを貫通する鉛直軸V1を中心として回動自在に前記
ハンド部材4に取り付けられた載置部本体44の、長さ
方向の両端部に、それぞれ前記載置部42,43が設け
られ、前記載置部本体44を前記ハンド部材4に対して
回動させる載置部回動手段(モータ)45が備えられて
いることを特徴とする。
【0018】請求項6に記載の発明によれば、請求項1
〜5のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中
央とハンド部材とを貫通する鉛直軸を中心として回動自
在にハンド部材に取り付けられた載置部本体の、長さ方
向の両端部に、それぞれ載置部が設けられ、載置部本体
をハンド部材に対して回動させる載置部回動手段が備え
られているので、載置部本体の両端部に設けられた各載
置部にそれぞれ被搬送物を載置し、この載置部本体をハ
ンド部材に対して回動させることで、被搬送物の搬送を
効率的に行うことができる。
〜5のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中
央とハンド部材とを貫通する鉛直軸を中心として回動自
在にハンド部材に取り付けられた載置部本体の、長さ方
向の両端部に、それぞれ載置部が設けられ、載置部本体
をハンド部材に対して回動させる載置部回動手段が備え
られているので、載置部本体の両端部に設けられた各載
置部にそれぞれ被搬送物を載置し、この載置部本体をハ
ンド部材に対して回動させることで、被搬送物の搬送を
効率的に行うことができる。
【0019】請求項7に記載の発明であるワーク搬送装
置(半導体搬送装置)は、例えば図3に示すように、請
求項1〜6のいずれかに記載の搬送装置11(12)に
より、搬送元位置(カセットキャリア)P1にある前記
被搬送物である平板状のワーク(ウェハ)1(1a,1
b)を、このワークに所定の処理を施すための搬送先位
置(プロセスチャンバ)P2に搬送し、また、前記搬送
先位置P2で前記処理が施されたワークを、前記搬送元
位置P1に搬送することを特徴とする。
置(半導体搬送装置)は、例えば図3に示すように、請
求項1〜6のいずれかに記載の搬送装置11(12)に
より、搬送元位置(カセットキャリア)P1にある前記
被搬送物である平板状のワーク(ウェハ)1(1a,1
b)を、このワークに所定の処理を施すための搬送先位
置(プロセスチャンバ)P2に搬送し、また、前記搬送
先位置P2で前記処理が施されたワークを、前記搬送元
位置P1に搬送することを特徴とする。
【0020】請求項7に記載の発明によれば、請求項1
〜6のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られる。
特に、請求項6に記載の搬送装置によって基板を搬送す
る場合には、一の基板に処理が施された後、この基板を
搬送先位置から取り出し、次に処理を施そうとする基板
をこの搬送先位置にセットするまでの所要時間を大幅に
短縮することができる。
〜6のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られる。
特に、請求項6に記載の搬送装置によって基板を搬送す
る場合には、一の基板に処理が施された後、この基板を
搬送先位置から取り出し、次に処理を施そうとする基板
をこの搬送先位置にセットするまでの所要時間を大幅に
短縮することができる。
【0021】請求項8に記載の発明は、例えば図1、図
2(または図4)に示すように、基台13(14)と、
上腕基端部21a,21bとこの上腕基端部21a,2
1bから所定距離2aL,2bLだけ離れた上腕先端部
22a,22bとを備えて形成され、前記基台13(1
4)と前記上腕基端部21a,21bとを貫通する水平
軸H1を中心として回動自在に、前記基台13(14)
に連結された上腕部材2a,2bと、前腕基端部31
a,31bとこの前腕基端部31a,31bから所定距
離だけ離れた前腕先端部32a,32bとを備えて形成
され、前記上腕先端部22a,22bと前記前腕基端部
31a,31bとを貫通する水平軸を中心として回動自
在に、前記上腕部材2a,2bに連結された前腕部材3
a,3bと、手首部41とこの手首部41に取り付けら
れ被搬送物(ワーク)1(1a,1b)を載置する載置
部42,43とを備えて構成され、前記前腕先端部32
a,32bと前記手首部41とを貫通する水平軸を中心
として回動自在に、前記前腕部材3a,3bに連結され
たハンド部材4と、前記上腕部材2a,2bを前記基台
1に対して、前記前腕部材3a,3bを前記上腕部材に
2a,2b対して、また前記ハンド部材4を前記前腕部
材3a,3bに対して、それぞれ回動させる回動手段5
a,5bと、が備えられた搬送装置11(12)の制御
方法であって、前記回動手段5a,5bで、前記載置部
42,43の上面が常に水平となるように、前記上腕部
材2a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそ
れぞれを回動させることを特徴とする。
2(または図4)に示すように、基台13(14)と、
上腕基端部21a,21bとこの上腕基端部21a,2
1bから所定距離2aL,2bLだけ離れた上腕先端部
22a,22bとを備えて形成され、前記基台13(1
4)と前記上腕基端部21a,21bとを貫通する水平
軸H1を中心として回動自在に、前記基台13(14)
に連結された上腕部材2a,2bと、前腕基端部31
a,31bとこの前腕基端部31a,31bから所定距
離だけ離れた前腕先端部32a,32bとを備えて形成
され、前記上腕先端部22a,22bと前記前腕基端部
31a,31bとを貫通する水平軸を中心として回動自
在に、前記上腕部材2a,2bに連結された前腕部材3
a,3bと、手首部41とこの手首部41に取り付けら
れ被搬送物(ワーク)1(1a,1b)を載置する載置
部42,43とを備えて構成され、前記前腕先端部32
a,32bと前記手首部41とを貫通する水平軸を中心
として回動自在に、前記前腕部材3a,3bに連結され
たハンド部材4と、前記上腕部材2a,2bを前記基台
1に対して、前記前腕部材3a,3bを前記上腕部材に
2a,2b対して、また前記ハンド部材4を前記前腕部
材3a,3bに対して、それぞれ回動させる回動手段5
a,5bと、が備えられた搬送装置11(12)の制御
方法であって、前記回動手段5a,5bで、前記載置部
42,43の上面が常に水平となるように、前記上腕部
材2a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそ
れぞれを回動させることを特徴とする。
【0022】ここで、上記回動手段は、単一の駆動源に
よって、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕
部材に対して、またハンド部材を前腕部材に対して回動
させるように構成されていてもよい。また上記回動手段
は、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕部材
に対して、またハンド部材を前腕部材に対して、それぞ
れ個別の駆動源で回動させ、これら各駆動源の動作のタ
イミングを制御装置により制御するように構成されてい
てもよい。
よって、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕
部材に対して、またハンド部材を前腕部材に対して回動
させるように構成されていてもよい。また上記回動手段
は、上腕部材を前記基台に対して、前腕部材を上腕部材
に対して、またハンド部材を前腕部材に対して、それぞ
れ個別の駆動源で回動させ、これら各駆動源の動作のタ
イミングを制御装置により制御するように構成されてい
てもよい。
【0023】請求項8に記載の発明によれば、請求項1
に記載の発明と同様の効果が得られる。
に記載の発明と同様の効果が得られる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法
の実施の形態を詳細に説明する。
搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法
の実施の形態を詳細に説明する。
【0025】〔第1の実施の形態〕図1、図2に、本発
明の搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御
方法の一例としての、半導体搬送装置11の斜視図、側
面図をそれぞれ示す。この半導体搬送装置11は、被搬
送物(ワーク)であるウェハを、図3に示すカセットキ
ャリア(搬送元位置)P1とプロセスチャンバ(搬送先
位置)P2との相互間で搬送するために用いられるもの
である。
明の搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御
方法の一例としての、半導体搬送装置11の斜視図、側
面図をそれぞれ示す。この半導体搬送装置11は、被搬
送物(ワーク)であるウェハを、図3に示すカセットキ
ャリア(搬送元位置)P1とプロセスチャンバ(搬送先
位置)P2との相互間で搬送するために用いられるもの
である。
【0026】本半導体搬送装置11は、図1、図2に示
すように、基台13と、この基台の両側に取り付けられ
た一対の上腕部材2a,2bと、この上腕部材2a,2
bの外側面にそれぞれ連結された前腕部材3a,3b
と、この一対の前腕部材3a,3bに連結された一のハ
ンド部材4と、上記上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4を動作させる回動手段5a(5
1a〜62a),5bと、を備えて、概略構成されてい
る。
すように、基台13と、この基台の両側に取り付けられ
た一対の上腕部材2a,2bと、この上腕部材2a,2
bの外側面にそれぞれ連結された前腕部材3a,3b
と、この一対の前腕部材3a,3bに連結された一のハ
ンド部材4と、上記上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4を動作させる回動手段5a(5
1a〜62a),5bと、を備えて、概略構成されてい
る。
【0027】上腕部材2a,2bはそれぞれ、上腕基端
部21a,21bとこの上腕基端部21a,21bから
所定距離2aL,2bLだけ離れた上腕先端部22a,
22bとを備えて形成され、基台13と上腕基端部21
a,21bとを貫通する水平軸H1を中心として回動自
在に、前記基台13に連結されている。
部21a,21bとこの上腕基端部21a,21bから
所定距離2aL,2bLだけ離れた上腕先端部22a,
22bとを備えて形成され、基台13と上腕基端部21
a,21bとを貫通する水平軸H1を中心として回動自
在に、前記基台13に連結されている。
【0028】また、前腕部材3a,3bはそれぞれ、前
腕基端部31a,31bとこの前腕基端部31a,31
bから所定距離3aL,3bLだけ離れた前腕先端部3
2a,32bとを備えて形成され、上腕先端部22a,
22bと前腕基端部31a,31bとを貫通する水平軸
H2を中心として回動自在に、上腕部材2a,2bに連
結されている。
腕基端部31a,31bとこの前腕基端部31a,31
bから所定距離3aL,3bLだけ離れた前腕先端部3
2a,32bとを備えて形成され、上腕先端部22a,
22bと前腕基端部31a,31bとを貫通する水平軸
H2を中心として回動自在に、上腕部材2a,2bに連
結されている。
【0029】そして、ハンド部材4は、手首部41と、
水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中央とハン
ド部材4とを貫通する鉛直軸V1を中心として回動自在
にハンド部材4に取り付けられた載置部本体44と、載
置部本体44を前記手首部41に対して回動させるモー
タ(載置部回動手段)45を備えて構成され、前腕先端
部32a,32bと前記手首部41とを貫通する水平軸
H3を中心として回動自在に、前腕部材3a,3bに連
結されている。載置部本体44の長さ方向両端部の上面
は、ウェハ1(1a,1b)を載置する載置部42,4
3になっている。
水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中央とハン
ド部材4とを貫通する鉛直軸V1を中心として回動自在
にハンド部材4に取り付けられた載置部本体44と、載
置部本体44を前記手首部41に対して回動させるモー
タ(載置部回動手段)45を備えて構成され、前腕先端
部32a,32bと前記手首部41とを貫通する水平軸
H3を中心として回動自在に、前腕部材3a,3bに連
結されている。載置部本体44の長さ方向両端部の上面
は、ウェハ1(1a,1b)を載置する載置部42,4
3になっている。
【0030】回動手段5aは、図2に示すように、プー
リ51a,53a,55a,57a,59a,61a、
駆動伝達ベルト52a,56a,60a、上腕駆動軸5
4a、前腕駆動軸58a、ハンド部材駆動軸62aから
構成されている。プーリ55aの軸心が位置する上腕基
端部21aとプーリ57aの軸心が位置する上腕先端部
22aとの間の距離2aLと、プーリ59aの軸心が位
置する前腕基端部31aとプーリ61aの軸心が位置す
る前腕先端部32aとの間の距離3aLとは、互いに等
しく設定されている。また、プーリ55a,61aの径
は、プーリ57a,59aの径の倍に設定されている。
リ51a,53a,55a,57a,59a,61a、
駆動伝達ベルト52a,56a,60a、上腕駆動軸5
4a、前腕駆動軸58a、ハンド部材駆動軸62aから
構成されている。プーリ55aの軸心が位置する上腕基
端部21aとプーリ57aの軸心が位置する上腕先端部
22aとの間の距離2aLと、プーリ59aの軸心が位
置する前腕基端部31aとプーリ61aの軸心が位置す
る前腕先端部32aとの間の距離3aLとは、互いに等
しく設定されている。また、プーリ55a,61aの径
は、プーリ57a,59aの径の倍に設定されている。
【0031】駆動源となるモータ6aの軸に取り付けら
れたプーリ51aから、駆動伝達ベルト52aを通じ
て、プーリ53aに回転が伝達される。そして、このプ
ーリ53aに固定されたに上腕駆動軸54aが回転し、
この上腕駆動軸54aに固定された上腕部材2aが基台
13に対して回動する。
れたプーリ51aから、駆動伝達ベルト52aを通じ
て、プーリ53aに回転が伝達される。そして、このプ
ーリ53aに固定されたに上腕駆動軸54aが回転し、
この上腕駆動軸54aに固定された上腕部材2aが基台
13に対して回動する。
【0032】このとき、上腕部材2aの内部に収められ
たプーリ55aは、基台13に固定されていて回転しな
い。したがって、上腕2aが回動すると、プーリ55a
とプーリ57aとに巻き付く駆動伝達ベルト56aによ
り、プーリ55aの半分の径に形成されたプーリ57a
が、上腕部材2aの角度に対して相対的に、上腕部材2
aの回動角の2倍だけ、上腕部材2aの回動方向と逆方
向に回転する。そして、このプーリ57aに固定された
前腕駆動軸58aが回転し、この前腕駆動軸58aに固
定された前腕部材3aが、上腕部材2aに対して、上腕
部材2aの回動角の2倍だけ、上腕部材2aの回動方向
と逆方向に回動する。
たプーリ55aは、基台13に固定されていて回転しな
い。したがって、上腕2aが回動すると、プーリ55a
とプーリ57aとに巻き付く駆動伝達ベルト56aによ
り、プーリ55aの半分の径に形成されたプーリ57a
が、上腕部材2aの角度に対して相対的に、上腕部材2
aの回動角の2倍だけ、上腕部材2aの回動方向と逆方
向に回転する。そして、このプーリ57aに固定された
前腕駆動軸58aが回転し、この前腕駆動軸58aに固
定された前腕部材3aが、上腕部材2aに対して、上腕
部材2aの回動角の2倍だけ、上腕部材2aの回動方向
と逆方向に回動する。
【0033】また、前腕部材3aの内部に収められたプ
ーリ59aは、上腕部材2aに固定されていて、上腕部
材2aに対して相対的に回転しない。したがって、前腕
部材3aが上記のとおり回動すると、プーリ59aとプ
ーリ61aとに巻き付く駆動伝達ベルト60aにより、
プーリ59aの倍の径に形成されたプーリ61aが、前
腕部材3aの角度に対して相対的に、前腕部材3aの回
動角の半分だけ、前腕部材3aの回動方向と逆方向に回
転する。そして、このプーリ61aに固定されたハンド
部材駆動軸62aが回転し、このハンド部材駆動軸62
aに固定されたハンド部材4が、前腕部材3aに対し
て、前腕部材3aの回動角の半分だけ、前腕部材3aの
回動方向と逆方向に回動する。すなわち、ハンド部材4
が、前腕部材3aに対して、上腕部材2aの回動角と同
じだけ、上腕部材2aの回動方向と同方向に回動する。
ーリ59aは、上腕部材2aに固定されていて、上腕部
材2aに対して相対的に回転しない。したがって、前腕
部材3aが上記のとおり回動すると、プーリ59aとプ
ーリ61aとに巻き付く駆動伝達ベルト60aにより、
プーリ59aの倍の径に形成されたプーリ61aが、前
腕部材3aの角度に対して相対的に、前腕部材3aの回
動角の半分だけ、前腕部材3aの回動方向と逆方向に回
転する。そして、このプーリ61aに固定されたハンド
部材駆動軸62aが回転し、このハンド部材駆動軸62
aに固定されたハンド部材4が、前腕部材3aに対し
て、前腕部材3aの回動角の半分だけ、前腕部材3aの
回動方向と逆方向に回動する。すなわち、ハンド部材4
が、前腕部材3aに対して、上腕部材2aの回動角と同
じだけ、上腕部材2aの回動方向と同方向に回動する。
【0034】回動手段5bも、回動手段5aと同様に構
成され、また回動手段5bの駆動源となるモータ6b
は、回動手段5aの駆動源となるモータ6aと同方向に
同速度で駆動するようになっている。したがって、上腕
部材2b、前腕部材3bはそれぞれ、基台13を挟んで
上腕部材2a、前腕部材3aと対称に動作する。
成され、また回動手段5bの駆動源となるモータ6b
は、回動手段5aの駆動源となるモータ6aと同方向に
同速度で駆動するようになっている。したがって、上腕
部材2b、前腕部材3bはそれぞれ、基台13を挟んで
上腕部材2a、前腕部材3aと対称に動作する。
【0035】そして、このように構成された回動手段5
a,5bが動作することにより、ハンド部材4は、一定
の水平面内で上記水平軸H1〜H3と直交する方向に前
後進する。
a,5bが動作することにより、ハンド部材4は、一定
の水平面内で上記水平軸H1〜H3と直交する方向に前
後進する。
【0036】また、図2において、モータ8が回転する
ことにより、上腕部材2a,2b、前腕部材3a,3
b、ハンド部材4の全体が、基台13の中心軸V2の周
りに回転運動を行うようになっている。また、モータ9
の回転が、垂直移動ボールスクリュー91により直動運
動に変換され、上腕部材2a,2b、前腕部材3a,3
b、ハンド部材4の全体が鉛直方向に上下動するように
なっている。
ことにより、上腕部材2a,2b、前腕部材3a,3
b、ハンド部材4の全体が、基台13の中心軸V2の周
りに回転運動を行うようになっている。また、モータ9
の回転が、垂直移動ボールスクリュー91により直動運
動に変換され、上腕部材2a,2b、前腕部材3a,3
b、ハンド部材4の全体が鉛直方向に上下動するように
なっている。
【0037】本半導体移動装置11によるウェハの搬送
手順について、図3を参照して説明する。図3におい
て、未処理のウェハ1aを斜線の円形で、処理済のウェ
ハ1bを白抜きの円形で示している。プロセスチャンバ
P2内にあるウェハ1bに処理が行われている間に、図
3(a)に示すように、カセットキャリアP1から載置
部42に未処理ウェハ1aをピックする。このとき、載
置部42をカセットキャリアP1内の未処理ウェハ1a
の下に挿入し、モータ9を回転させて上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の全体をわずか
に上昇させることにより、ウェハ1aを載置部42に取
り上げる。プロセスチャンバP2内にあるウェハ1bの
処理が終了すると、図3(b)に示すように、回動手段
5a,5bを動作させて載置部43をプロセスチャンバ
P2側に移動させて、図3(c)に示すように、処理済
のウェハ1bの下に挿入する。そして、上記と同様に、
モータ9を回転させて上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4の全体をわずかに上昇させるこ
とにより、ウェハ1bを載置部43に取り上げる。
手順について、図3を参照して説明する。図3におい
て、未処理のウェハ1aを斜線の円形で、処理済のウェ
ハ1bを白抜きの円形で示している。プロセスチャンバ
P2内にあるウェハ1bに処理が行われている間に、図
3(a)に示すように、カセットキャリアP1から載置
部42に未処理ウェハ1aをピックする。このとき、載
置部42をカセットキャリアP1内の未処理ウェハ1a
の下に挿入し、モータ9を回転させて上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の全体をわずか
に上昇させることにより、ウェハ1aを載置部42に取
り上げる。プロセスチャンバP2内にあるウェハ1bの
処理が終了すると、図3(b)に示すように、回動手段
5a,5bを動作させて載置部43をプロセスチャンバ
P2側に移動させて、図3(c)に示すように、処理済
のウェハ1bの下に挿入する。そして、上記と同様に、
モータ9を回転させて上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4の全体をわずかに上昇させるこ
とにより、ウェハ1bを載置部43に取り上げる。
【0038】続いて、回動手段5a,5bを動作させて
処理済のウェハ1bをプロセスチャンバP2から引き抜
き、図3(d)、図3(e)に示すように、ハンド部材
4を基台13の直上に位置させた状態で、モータ45に
より載置部本体45を水平面内で旋回させ、未処理のウ
ェハ1aと処理済のウェハ1bとの位置を入れ替える。
載置部本体45が180度旋回されると、図3(f)に
示すように、回動手段5a,5bを動作させて、載置部
42に載置された未処理のウェハ1aをプロセスチャン
バP2側に移動させる。そして、図3(g)に示すよう
に、未処理のウェハ1aがプロセスチャンバP2へ完全
に挿入された状態で、モータ9を回転させて上腕部材2
a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の全体を
わずかに下降させることにより、ウェハ1aをプロセス
チャンバP2内に載置する。
処理済のウェハ1bをプロセスチャンバP2から引き抜
き、図3(d)、図3(e)に示すように、ハンド部材
4を基台13の直上に位置させた状態で、モータ45に
より載置部本体45を水平面内で旋回させ、未処理のウ
ェハ1aと処理済のウェハ1bとの位置を入れ替える。
載置部本体45が180度旋回されると、図3(f)に
示すように、回動手段5a,5bを動作させて、載置部
42に載置された未処理のウェハ1aをプロセスチャン
バP2側に移動させる。そして、図3(g)に示すよう
に、未処理のウェハ1aがプロセスチャンバP2へ完全
に挿入された状態で、モータ9を回転させて上腕部材2
a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の全体を
わずかに下降させることにより、ウェハ1aをプロセス
チャンバP2内に載置する。
【0039】そして、図3(h)に示すように、回動手
段5a,5bを動作させて、載置部43に載置された処
理済のウェハ1bをカセットキャリアP1内に挿入し、
上記と同様に、モータ9を回転させて上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の全体をわずか
に下降させることにより、ウェハ1bをカセットキャリ
アP1内に載置する。
段5a,5bを動作させて、載置部43に載置された処
理済のウェハ1bをカセットキャリアP1内に挿入し、
上記と同様に、モータ9を回転させて上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4の全体をわずか
に下降させることにより、ウェハ1bをカセットキャリ
アP1内に載置する。
【0040】〔第2の実施の形態〕図4に、本発明の搬
送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法の
他の一例としての、半導体搬送装置12の側面図をそれ
ぞれ示す。本実施の形態の半導体搬送装置12が、第1
の実施の形態と異なる点は、上腕部材2a、前腕部材3
a、ハンド部材4aを回動させる回動手段5aと、上腕
部材2b、前腕部材3b、ハンド部材4bを回動させる
回動手段5bとが共通の駆動源(モータ)7により駆動
されるようになっている点である。半導体搬送装置12
のその他の箇所については、第1の実施の形態に記載の
半導体搬送装置11と同様に構成されているので、同一
符号を付してその説明を省略する。
送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法の
他の一例としての、半導体搬送装置12の側面図をそれ
ぞれ示す。本実施の形態の半導体搬送装置12が、第1
の実施の形態と異なる点は、上腕部材2a、前腕部材3
a、ハンド部材4aを回動させる回動手段5aと、上腕
部材2b、前腕部材3b、ハンド部材4bを回動させる
回動手段5bとが共通の駆動源(モータ)7により駆動
されるようになっている点である。半導体搬送装置12
のその他の箇所については、第1の実施の形態に記載の
半導体搬送装置11と同様に構成されているので、同一
符号を付してその説明を省略する。
【0041】以上、第1の実施の形態または第2の実施
の形態に記載の半導体搬送装置11,12および半導体
搬送装置11の制御方法によれば、載置部42,43の
上面が常に水平となるように、前記上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれが回
動されるので、この載置部42,43に載置されたウェ
ハ1(1a,1b)を円滑に搬送できる。また、上腕部
材2a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそ
れぞれが鉛直面内で回転するので、半導体搬送装置1
1,12が動作するときに占有する水平面積が小さくな
る。したがって、半導体搬送装置11,12を設置する
ために必要な空間が小さくて済む。また、半導体搬送装
置11,12の基台13,14の中心の鉛直軸V2を中
心とする回転半径を小さくすることができる。
の形態に記載の半導体搬送装置11,12および半導体
搬送装置11の制御方法によれば、載置部42,43の
上面が常に水平となるように、前記上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれが回
動されるので、この載置部42,43に載置されたウェ
ハ1(1a,1b)を円滑に搬送できる。また、上腕部
材2a,2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそ
れぞれが鉛直面内で回転するので、半導体搬送装置1
1,12が動作するときに占有する水平面積が小さくな
る。したがって、半導体搬送装置11,12を設置する
ために必要な空間が小さくて済む。また、半導体搬送装
置11,12の基台13,14の中心の鉛直軸V2を中
心とする回転半径を小さくすることができる。
【0042】また、一のハンド部材4が前腕部材3a,
3bの双方に連結されているので、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4から構成される
アーム機構の剛性が高まる。これにより、上腕部材2
a,2bや前腕部材3a,3bの長さを大きくして、ウ
ェハ1(1a,1b)の搬送距離を長くすることができ
る。また、アーム機構の剛性が高められると、アーム機
構を高速に動作させたり、また停止位置の精度を高めた
りすることができる。
3bの双方に連結されているので、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4から構成される
アーム機構の剛性が高まる。これにより、上腕部材2
a,2bや前腕部材3a,3bの長さを大きくして、ウ
ェハ1(1a,1b)の搬送距離を長くすることができ
る。また、アーム機構の剛性が高められると、アーム機
構を高速に動作させたり、また停止位置の精度を高めた
りすることができる。
【0043】また、上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4を回動させる回動手段5a(5
1a〜62a),5bが、単一の駆動源6a,6b
(7)により動作するように構成されているので、半導
体搬送装置11(12)の構造を簡単にできる。
a,3b、ハンド部材4を回動させる回動手段5a(5
1a〜62a),5bが、単一の駆動源6a,6b
(7)により動作するように構成されているので、半導
体搬送装置11(12)の構造を簡単にできる。
【0044】また、回動手段5a,5bが、上腕部材2
a,2bの基台13(14)に対する回動角と、前腕部
材3a,3bの上腕部材2a,2bに対する回動角と、
ハンド部材4の前腕部材3a,3bに対する回動角との
比が1:(−2):1となるように、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれを回
動させるので、これら上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4が回動しても、ハンド部材4の
鉛直面内における角度が一定に保たれる。したがって、
このハンド部材4に取り付けられた載置部42,43の
角度も一定に保たれ、この載置部42,43に載置され
たウェハ1(1a,1b)を円滑に搬送できる。
a,2bの基台13(14)に対する回動角と、前腕部
材3a,3bの上腕部材2a,2bに対する回動角と、
ハンド部材4の前腕部材3a,3bに対する回動角との
比が1:(−2):1となるように、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれを回
動させるので、これら上腕部材2a,2b、前腕部材3
a,3b、ハンド部材4が回動しても、ハンド部材4の
鉛直面内における角度が一定に保たれる。したがって、
このハンド部材4に取り付けられた載置部42,43の
角度も一定に保たれ、この載置部42,43に載置され
たウェハ1(1a,1b)を円滑に搬送できる。
【0045】また、上腕部材2a,2bの上腕基端部2
1a,21bと上腕先端部22a,22bとの間の距離
2aL,2bLと、前腕部材3a,3bの前腕基端部3
1a,31bと前腕先端部32a,32bとの間の距離
3aL,3bLとが、互いに等しく設定されているの
で、回動手段5a,5bによって、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれが、
上腕部材2a,2bの基台13(14)に対する回動角
と、前腕部材3a,3bの上腕部材2a,2bに対する
回動角と、ハンド部材4の前腕部材3a,3bに対する
回動角との比が1:(−2):1となるように回動され
るとき、ハンド部材4の高さが一定に保たれる。したが
って、このハンド部材4に取り付けられた載置部42,
43の高さも一定に保たれ、この載置部42,43に載
置されたウェハ1(1a,1b)を円滑に搬送できる。
1a,21bと上腕先端部22a,22bとの間の距離
2aL,2bLと、前腕部材3a,3bの前腕基端部3
1a,31bと前腕先端部32a,32bとの間の距離
3aL,3bLとが、互いに等しく設定されているの
で、回動手段5a,5bによって、上腕部材2a,2
b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4のそれぞれが、
上腕部材2a,2bの基台13(14)に対する回動角
と、前腕部材3a,3bの上腕部材2a,2bに対する
回動角と、ハンド部材4の前腕部材3a,3bに対する
回動角との比が1:(−2):1となるように回動され
るとき、ハンド部材4の高さが一定に保たれる。したが
って、このハンド部材4に取り付けられた載置部42,
43の高さも一定に保たれ、この載置部42,43に載
置されたウェハ1(1a,1b)を円滑に搬送できる。
【0046】また、水平方向に長尺に形成され、この長
さ方向の中央とハンド部材4とを貫通する鉛直軸V1を
中心として回動自在にハンド部材4に取り付けられた載
置部本体44の、長さ方向の両端部に、それぞれ載置部
42,43が設けられ、載置部本体44をハンド部材4
に対して回動させるモータ45が備えられているので、
載置部本体44の両端部に設けられた各載置部42,4
3にそれぞれウェハ1(1a,1b)を載置し、この載
置部本体44をハンド部材4に対して回動させること
で、ウェハ1(1a,1b)の搬送を効率的に行うこと
ができる。
さ方向の中央とハンド部材4とを貫通する鉛直軸V1を
中心として回動自在にハンド部材4に取り付けられた載
置部本体44の、長さ方向の両端部に、それぞれ載置部
42,43が設けられ、載置部本体44をハンド部材4
に対して回動させるモータ45が備えられているので、
載置部本体44の両端部に設けられた各載置部42,4
3にそれぞれウェハ1(1a,1b)を載置し、この載
置部本体44をハンド部材4に対して回動させること
で、ウェハ1(1a,1b)の搬送を効率的に行うこと
ができる。
【0047】特に、一のウェハ1aに処理が施されてい
る間に、次に処理を施すウェハ1bをカセットキャリア
P1から取り出しておくことで、処理済のウェハ1aと
未処理のウェハ1bとの交換に要する時間を大幅に短縮
することができる。
る間に、次に処理を施すウェハ1bをカセットキャリア
P1から取り出しておくことで、処理済のウェハ1aと
未処理のウェハ1bとの交換に要する時間を大幅に短縮
することができる。
【0048】なお、本発明の搬送装置、ワーク搬送装
置、および搬送装置の制御方法は、上記の各実施の形態
に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲
において、種々の改良並びに設計の変更を行ってもよ
い。例えば、上記の各実施の形態では、上腕部材2a,
2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4を回動させる
回動手段5a,5bが、単一のモータ6a,6b(7)
により動作するように構成されているが、上腕部材、前
腕部材、ハンド部材をそれぞれ個別の駆動源により動作
させ、各駆動源の動作を制御することによって、載置部
の上面が常に水平となるようにしてもよい。その他、具
体的な細部構造などについても適宜に変更可能であるこ
とは勿論である。
置、および搬送装置の制御方法は、上記の各実施の形態
に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲
において、種々の改良並びに設計の変更を行ってもよ
い。例えば、上記の各実施の形態では、上腕部材2a,
2b、前腕部材3a,3b、ハンド部材4を回動させる
回動手段5a,5bが、単一のモータ6a,6b(7)
により動作するように構成されているが、上腕部材、前
腕部材、ハンド部材をそれぞれ個別の駆動源により動作
させ、各駆動源の動作を制御することによって、載置部
の上面が常に水平となるようにしてもよい。その他、具
体的な細部構造などについても適宜に変更可能であるこ
とは勿論である。
【0049】
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、載置部
の上面が常に水平となるように、前記上腕部材、前腕部
材、ハンド部材のそれぞれが回動されるので、この載置
部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。また、上
腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で
回転するので、搬送装置が動作するときに占有する水平
面積が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するた
めに必要な空間が小さくて済む。また、搬送装置の基台
が、その設置面に対して回動可能に取り付けられている
場合に、搬送装置の回転半径を小さくすることができ
る。
の上面が常に水平となるように、前記上腕部材、前腕部
材、ハンド部材のそれぞれが回動されるので、この載置
部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。また、上
腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で
回転するので、搬送装置が動作するときに占有する水平
面積が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するた
めに必要な空間が小さくて済む。また、搬送装置の基台
が、その設置面に対して回動可能に取り付けられている
場合に、搬送装置の回転半径を小さくすることができ
る。
【0050】請求項2に記載の発明によれば、上腕部
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で回転
するので、搬送装置が動作するときに占有する水平面積
が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するために
必要な空間が小さくて済む。また、一のハンド部材が前
腕部材の双方に連結されているので、上腕部材、前腕部
材、ハンド部材から構成されるアーム機構の剛性が高ま
る。これにより、上腕部材や前腕部材の長さを大きくし
て、被搬送物の搬送距離を長くすることができる。ま
た、アーム機構の剛性が高められると、アーム機構を高
速に動作させたり、また停止位置の精度を高めたりする
ことができる。
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが鉛直面内で回転
するので、搬送装置が動作するときに占有する水平面積
が小さくなる。したがって、搬送装置を設置するために
必要な空間が小さくて済む。また、一のハンド部材が前
腕部材の双方に連結されているので、上腕部材、前腕部
材、ハンド部材から構成されるアーム機構の剛性が高ま
る。これにより、上腕部材や前腕部材の長さを大きくし
て、被搬送物の搬送距離を長くすることができる。ま
た、アーム機構の剛性が高められると、アーム機構を高
速に動作させたり、また停止位置の精度を高めたりする
ことができる。
【0051】請求項3に記載の発明によれば、請求項1
または2に記載の発明と同様の効果が得られるととも
に、上腕部材、前腕部材、ハンド部材を回動させる回動
手段が、単一の駆動源により動作するように構成されて
いるので、搬送装置の構造を簡単にできる。
または2に記載の発明と同様の効果が得られるととも
に、上腕部材、前腕部材、ハンド部材を回動させる回動
手段が、単一の駆動源により動作するように構成されて
いるので、搬送装置の構造を簡単にできる。
【0052】請求項4に記載の発明によれば、請求項1
〜3のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、回動手段が、上腕部材の基台に対する回動角
と、前腕部材の上腕部材に対する回動角と、ハンド部材
の前腕部材に対する回動角との比が1:(−2):1と
なるように、上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞ
れを回動させるので、これら上腕部材、前腕部材、ハン
ド部材が回動しても、ハンド部材の鉛直面内における角
度が一定に保たれる。したがって、このハンド部材に取
り付けられた載置部の角度も一定に保たれ、この載置部
に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
〜3のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、回動手段が、上腕部材の基台に対する回動角
と、前腕部材の上腕部材に対する回動角と、ハンド部材
の前腕部材に対する回動角との比が1:(−2):1と
なるように、上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞ
れを回動させるので、これら上腕部材、前腕部材、ハン
ド部材が回動しても、ハンド部材の鉛直面内における角
度が一定に保たれる。したがって、このハンド部材に取
り付けられた載置部の角度も一定に保たれ、この載置部
に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
【0053】請求項5に記載の発明によれば、請求項4
に記載の発明と同様の効果が得られるとともに、上腕部
材の上腕基端部と上腕先端部との間の距離と、前腕部材
の前腕基端部と前腕先端部との間の距離とが、互いに等
しく設定されているので、回動手段によって、上腕部
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが、上腕部材の基
台に対する回動角と、前腕部材の上腕部材に対する回動
角と、ハンド部材の前腕部材に対する回動角との比が
1:(−2):1となるように回動されても、ハンド部
材の高さが一定に保たれる。したがって、このハンド部
材に取り付けられた載置部の高さも一定に保たれ、この
載置部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
に記載の発明と同様の効果が得られるとともに、上腕部
材の上腕基端部と上腕先端部との間の距離と、前腕部材
の前腕基端部と前腕先端部との間の距離とが、互いに等
しく設定されているので、回動手段によって、上腕部
材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれが、上腕部材の基
台に対する回動角と、前腕部材の上腕部材に対する回動
角と、ハンド部材の前腕部材に対する回動角との比が
1:(−2):1となるように回動されても、ハンド部
材の高さが一定に保たれる。したがって、このハンド部
材に取り付けられた載置部の高さも一定に保たれ、この
載置部に載置された被搬送物を円滑に搬送できる。
【0054】請求項6に記載の発明によれば、請求項1
〜5のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中
央とハンド部材とを貫通する鉛直軸を中心として回動自
在にハンド部材に取り付けられた載置部本体の、長さ方
向の両端部に、それぞれ載置部が設けられ、載置部本体
をハンド部材に対して回動させる載置部回動手段が備え
られているので、載置部本体の両端部に設けられた各載
置部にそれぞれ被搬送物を載置し、この載置部本体をハ
ンド部材に対して回動させることで、被搬送物の搬送を
効率的に行うことができる。
〜5のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られると
ともに、水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中
央とハンド部材とを貫通する鉛直軸を中心として回動自
在にハンド部材に取り付けられた載置部本体の、長さ方
向の両端部に、それぞれ載置部が設けられ、載置部本体
をハンド部材に対して回動させる載置部回動手段が備え
られているので、載置部本体の両端部に設けられた各載
置部にそれぞれ被搬送物を載置し、この載置部本体をハ
ンド部材に対して回動させることで、被搬送物の搬送を
効率的に行うことができる。
【0055】請求項7に記載の発明によれば、請求項1
〜6のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られる。
特に、請求項6に記載の搬送装置によって基板を搬送す
る場合には、一の基板に処理が施された後、この基板を
搬送先位置から取り出し、次に処理を施そうとする基板
をこの搬送先位置にセットするまでの所要時間を大幅に
短縮することができる。
〜6のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られる。
特に、請求項6に記載の搬送装置によって基板を搬送す
る場合には、一の基板に処理が施された後、この基板を
搬送先位置から取り出し、次に処理を施そうとする基板
をこの搬送先位置にセットするまでの所要時間を大幅に
短縮することができる。
【0056】請求項8に記載の発明によれば、請求項1
に記載の発明と同様の効果が得られる。
に記載の発明と同様の効果が得られる。
【図1】本発明の搬送装置またはワーク搬送装置の一例
としての半導体搬送装置を示す斜視図である。
としての半導体搬送装置を示す斜視図である。
【図2】同例の側面図である。
【図3】同例による被搬送物(ワーク)の搬送手順を示
す上面図である。
す上面図である。
【図4】本発明の搬送装置またはワーク搬送装置の他の
一例としての半導体搬送装置を示す側面図である。
一例としての半導体搬送装置を示す側面図である。
【図5】従来の搬送装置の一例を示す側面図である。
1,1a,1b 被搬送物、ワーク(ウェハ)
11,12 搬送装置、ワーク搬送装置(半導体
搬送装置) 13,14 基台 2a,2b 上腕部材 21a,21b 上腕基端部 22a,22b 上腕先端部 2aL,2bL 上腕基端部と上腕先端部との距離 3a,3b 前腕部材 31a,31b 前腕基端部 32a,32b 前腕先端部 3aL,3bL 前腕基端部と上腕先端部との距離 4 ハンド部材 41 手首部 42,43 載置部 44 載置部本体 45 載置部回動手段 5a,5b 回動手段 6a,6b,7 駆動源 H1,H2,H3 水平軸 V1 鉛直軸 P1 搬送元位置(カセットキャリア) P2 搬送先位置(プロセスチャンバ)
搬送装置) 13,14 基台 2a,2b 上腕部材 21a,21b 上腕基端部 22a,22b 上腕先端部 2aL,2bL 上腕基端部と上腕先端部との距離 3a,3b 前腕部材 31a,31b 前腕基端部 32a,32b 前腕先端部 3aL,3bL 前腕基端部と上腕先端部との距離 4 ハンド部材 41 手首部 42,43 載置部 44 載置部本体 45 載置部回動手段 5a,5b 回動手段 6a,6b,7 駆動源 H1,H2,H3 水平軸 V1 鉛直軸 P1 搬送元位置(カセットキャリア) P2 搬送先位置(プロセスチャンバ)
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フロントページの続き
Fターム(参考) 3C007 AS24 BS10 BT11 CT04 CT05
CV08 CW08 CY36 HS27 HT02
HT20 NS13
5F031 CA02 CA05 DA01 FA01 FA02
FA07 FA11 GA03 GA08 GA43
GA46 GA47 GA49 LA07 LA13
Claims (8)
- 【請求項1】 基台と、 上腕基端部とこの上腕基端部から所定距離だけ離れた上
腕先端部とを備えて形成され、前記基台と前記上腕基端
部とを貫通する水平軸を中心として回動自在に、前記基
台に連結された上腕部材と、 前腕基端部とこの前腕基端部から所定距離だけ離れた前
腕先端部とを備えて形成され、前記上腕先端部と前記前
腕基端部とを貫通する水平軸を中心として回動自在に、
前記上腕部材に連結された前腕部材と、 手首部とこの手首部に取り付けられ被搬送物を載置する
上面を備える載置部とを備えて構成され、前記前腕先端
部と前記手首部とを貫通する水平軸を中心として回動自
在に、前記前腕部材に連結されたハンド部材と、 前記上腕部材を前記基台に対して、前記前腕部材を前記
上腕部材に対して、また前記ハンド部材を前記前腕部材
に対して、それぞれ回動させる回動手段と、が備えら
れ、 前記回動手段は、前記載置部の上面が常に水平となるよ
うに、前記上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれ
を回動させるように構成されていることを特徴とする搬
送装置。 - 【請求項2】 基台と、 上腕基端部とこの上腕基端部から所定距離だけ離れた上
腕先端部とを備えて形成され、前記基台と前記上腕基端
部とを貫通する水平軸を中心として回動自在に、前記基
台の両側に連結された一対の上腕部材と、 前腕基端部とこの前腕基端部から所定距離だけ離れた前
腕先端部とを備えて形成され、前記各上腕部材の各上腕
先端部と前記前腕基端部とを貫通する水平軸を中心とし
て回動自在に、前記各上腕部材にそれぞれ連結された一
対の前腕部材と、 手首部とこの手首部に取り付けられ被搬送物を載置する
上面を備える載置部とを備えて構成され、前記各前腕先
端部と前記手首部とを貫通する水平軸を中心として回動
自在に、前記両前腕部材に連結された一のハンド部材
と、 前記各上腕部材を前記基台に対して、前記各前腕部材を
前記各上腕部材に対して、また前記一のハンド部材を前
記両前腕部材に対して、それぞれ回動させる回動手段
と、が備えられ、 前記回動手段は、前記載置部の上面が常に水平となるよ
うに、前記上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれ
を回動させることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載の搬送装置にお
いて、 前記上腕部材、前腕部材、ハンド部材を回動させる回動
手段が、単一の駆動源により動作するように構成されて
いることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載の搬送装
置において、 前記回動手段は、前記上腕部材の前記基台に対する回動
角と、前記前腕部材の前記上腕部材に対する回動角と、
前記ハンド部材の前記前腕部材に対する回動角との比が
1:(−2):1となるように、前記上腕部材、前腕部
材、ハンド部材のそれぞれを回動させることを特徴とす
る搬送装置。 - 【請求項5】 請求項4に記載の搬送装置において、 前記上腕部材の上腕基端部と上腕先端部との間の距離
と、前記前腕部材の前腕基端部と前腕先端部との間の距
離とが、互いに等しく設定されていることを特徴とする
搬送装置。 - 【請求項6】 請求項1〜5のいずれかに記載の搬送装
置において、 水平方向に長尺に形成され、この長さ方向の中央と前記
ハンド部材とを貫通する鉛直軸を中心として回動自在に
前記ハンド部材に取り付けられた載置部本体の、長さ方
向の両端部に、それぞれ前記載置部が設けられ、 前記載置部本体を前記ハンド部材に対して回動させる載
置部回動手段が備えられていることを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれかに記載の搬送装
置により、搬送元位置にある前記被搬送物である平板状
のワークを、このワークに所定の処理を施すための搬送
先位置に搬送し、また、前記搬送先位置で前記処理が施
されたワークを、前記搬送元位置に搬送することを特徴
とするワーク搬送装置。 - 【請求項8】 基台と、 上腕基端部とこの上腕基端部から所定距離だけ離れた上
腕先端部とを備えて形成され、前記基台と前記上腕基端
部とを貫通する水平軸を中心として回動自在に、前記基
台に連結された上腕部材と、 前腕基端部とこの前腕基端部から所定距離だけ離れた前
腕先端部とを備えて形成され、前記上腕先端部と前記前
腕基端部とを貫通する水平軸を中心として回動自在に、
前記上腕部材に連結された前腕部材と、 手首部とこの手首部に取り付けられ被搬送物を載置する
上面を備える載置部とを備えて構成され、前記前腕先端
部と前記手首部とを貫通する水平軸を中心として回動自
在に、前記前腕部材に連結されたハンド部材と、 前記上腕部材を前記基台に対して、前記前腕部材を前記
上腕部材に対して、また前記ハンド部材を前記前腕部材
に対して、それぞれ回動させる回動手段と、が備えられ
た搬送装置の制御方法であって、 前記回動手段で、前記載置部の上面が常に水平となるよ
うに、前記上腕部材、前腕部材、ハンド部材のそれぞれ
を回動させることを特徴とする搬送装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001357585A JP2003158165A (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | 搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001357585A JP2003158165A (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | 搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003158165A true JP2003158165A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19168910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001357585A Pending JP2003158165A (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | 搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003158165A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4466785B2 (ja) * | 2007-09-13 | 2010-05-26 | 株式会社安川電機 | 移送ロボットおよび移送ロボットの制御方法 |
-
2001
- 2001-11-22 JP JP2001357585A patent/JP2003158165A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4466785B2 (ja) * | 2007-09-13 | 2010-05-26 | 株式会社安川電機 | 移送ロボットおよび移送ロボットの制御方法 |
JPWO2009034854A1 (ja) * | 2007-09-13 | 2010-12-24 | 株式会社安川電機 | 移送ロボットおよび移送ロボットの制御方法 |
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