JP2003156735A - 反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 - Google Patents
反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルター基板の検査がやり易く、精度
の高い検査ができ、かつ位置合わせ精度に優れた光散乱
膜を有する反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板
を提供することを目的とする。 【解決手段】透明基板１１上に光散乱膜２１を形成し、
黒色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して黒色感
光層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニ
ング処理を行って、ブラックマトリクス３１ｂ、周辺部
に位置合わせ用アライメントマーク３１ａを形成する。
各色の感光層を形成し、各色の露光マスクとの位置合わ
せを行い、パターン露光、現像等の一連のパターニング
処理を行って、光散乱膜２１上にカラーフィルタ４１を
形成し、平坦化層５１、透明電極６１を形成して、反射
型液晶表示装置用カラーフィルタ基板１００を得る。
の高い検査ができ、かつ位置合わせ精度に優れた光散乱
膜を有する反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板
を提供することを目的とする。 【解決手段】透明基板１１上に光散乱膜２１を形成し、
黒色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して黒色感
光層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニ
ング処理を行って、ブラックマトリクス３１ｂ、周辺部
に位置合わせ用アライメントマーク３１ａを形成する。
各色の感光層を形成し、各色の露光マスクとの位置合わ
せを行い、パターン露光、現像等の一連のパターニング
処理を行って、光散乱膜２１上にカラーフィルタ４１を
形成し、平坦化層５１、透明電極６１を形成して、反射
型液晶表示装置用カラーフィルタ基板１００を得る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板に関し、特に基板位置合わせ
用のアライメントマークが形成された反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板に関する。 【０００２】 【従来の技術】液晶表示装置は、一般的に偏光膜と透明
電極が各々配設された対向する一対の電極基板と、これ
ら電極基板間に封入された液晶物質とでその主要部が構
成されている。また、カラー画像を表示するカラー液晶
表示装置にあっては、上記一対とした電極基板のいずれ
か一方に光を分色するためのカラーフィルター層を設け
ている。 【０００３】従来より液晶表示装置は、低消費電力で軽
量化が可能という特徴を活かし、モバイル機器等の携帯
型表示装置への利用が期待されている。しかし、光源内
蔵型の透過型液晶表示装置では、光源の消費電力が大き
くバッテリーでの長時間の使用ができず、液晶表示装置
が本来有すべき利点をいかしきれていない。反射型液晶
表示装置は、光源に係わる電力消費がなく、この点で好
ましい。 【０００４】従来の反射型カラー液晶表示装置の一例を
図３に示す。反射型カラー液晶表示装置３００は、背面
電極基板１１０、カラーフィルター基板２１０及び液晶
３１０とで構成されており、背面電極基板１１０は、透
明基板１１１上にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイ１
２１が、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイ１２１上に
絶縁層１３１が、絶縁層１３１上の各画素に対応する領
域にＡｌ（アルミニウム）等からなる反射電極１４１が
積層されたもので、反射電極１４１はＴＦＴ（薄膜トラ
ンジスタ）アレイ１２１とビアホール１２１で電気的に
接続されている。図３及び図４に示すように、カラーフ
ィルター基板２１０は、透明基板２１１上に基板位置合
わせ用アライメントマーク２２１ａ及びブラックマトリ
クス２２１ｂ、カラーフィルター２４１、光散乱膜２５
１及び透明電極２６１が形成されている。カラーフィル
ター基板２１０の透明電極２６１と背面電極基板１１０
の反射電極１４１との間で液晶３１０の駆動が行われ、
カラーフィルター基板２１０側より入射した外部光は、
反射電極１４１で反射され、カラーフィルター２４１を
介して着色されることでカラー画像として視認すること
ができる。 【０００５】以下、カラーフィルター基板２１０の製造
方法について説明する。図５（ａ）〜（ｆ）に、カラー
フィルター基板２１０の製造方法の一例を工程順に示
す。まず、ガラス等からなる透明基板２１１上に、カー
ボンブラックをアクリル系の樹脂に分散した黒色の感光
性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、黒色感光層を
形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処
理を行って、透明基板２１１の所定位置にブラックマト
リクス２２１ｂと、周辺部にアライメントマーク２２１
ａとを形成する（図５（ａ）参照）。 【０００６】次に、アクリル系樹脂に赤色顔料を分散さ
せた赤色感光性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、
光散乱膜２３１上に赤色感光層を形成し、アライメント
マーク２２１ａを用いて露光マスクの位置合わせを行
い、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って
赤色フィルター２４１Ｒを形成する（図５（ｂ）参
照）。 【０００７】次に、アクリル系樹脂に緑色顔料を分散さ
せた緑色感光性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、
光散乱膜２３１上に緑色感光層を形成し、アライメント
マーク２２１ａを用いて露光マスクの位置合わせを行
い、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って
緑色フィルター２４１Ｇを形成する（図５（ｃ）参
照）。次に、アクリル系樹脂に青色顔料を分散させた青
色感光性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、青色感
光層を形成し、アライメントマーク２２１ａを用いて露
光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像等の
パターニング処理を行って緑色フィルター２４１Ｂを形
成し、透明基板２１１上の光散乱膜２３１上に３色のカ
ラーフィルター２４１を形成する（図５（ｄ）参照）。 【０００８】次に、透明樹脂（例えば、アクリル樹脂）
に屈折率の異なる散乱粒子（例えば、シリカ）を分散さ
せた樹脂溶液を透明基板２１１上にスピンナー等により
塗布し、加熱硬化して、光散乱膜２５１を形成する（図
５（ｅ）参照）。次に、スパッタリング等により酸化イ
ンジウム系の透明電極２６１を形成し、透明基板２１１
上にブラックマトリクス２２１ｂ及びカラーフィルター
２４１が形成されたカラーフィルター基板２１０を得る
（図５（ｆ）参照）。なお、必要によっては、透明電極
２６１の形成に先立ち、透明樹脂（例えば、アクリル樹
脂）溶液をスピンナー等にて塗布し、所定厚の平坦化層
を形成することもある。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】上記したように、カラ
ーフィルター基板を形成した後、パネル化の前に各種の
検査が行われる。しかし、従来のカラーフィルター基板
では、カラーフィルター上に光散乱膜２５１が形成され
ている。このため、カラーフィルターにピンホール、形
状不良が生じていても光散乱膜でボケが生じるため輪郭
がはっきりせず、検査精度が低下するという問題点を有
している。また、アライメントマーク２２１ａはカラー
フィルター作成後の液晶パネル作製工程において、両基
板を位置合わせして対向させる際に用いられる。しか
し、アライメントマークの上に光散乱膜が２５１がある
と、アライメントマーク２２１ａが光散乱膜でボケるた
めアライメントマーク２２１ａが見づらく、アライメン
トマーク２２１ａを使った位置合わせ作業での合わせ精
度が低下するという問題を有している 【００１０】本発明は上記問題点に鑑み考案されたもの
で、カラーフィルター基板の検査がやり易く、精度の高
い検査ができ、かつ位置合わせ精度に優れた光散乱膜を
有する反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板を提
供することを目的とする。 【００１１】 【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記問題
を解決するために、背面側電極基板と対向させ、間に液
晶を封入、狭持して反射型液晶表示とする反射型液晶表
示装置用カラーフィルター基板であって、透明基板上に
光散乱膜を形成後、前記光散乱膜上にブラック樹脂にて
ブラックマトリクスを形成する際、基板位置合わせ用ア
ライメントマークも同時にブラック樹脂にて形成し、し
かる後、カラーフィルターを形成したことを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板としたもの
である。 【００１２】本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルター基板は、光散乱膜上にブラックマトリクス及びア
ライメントマークを黒色樹脂にて形成し、カラーフィル
ターを形成しているので、各色のカラーフィルター作成
後の検査において、光散乱膜にじゃまされずにカラーフ
ィルターを検査できる。よって、検査精度が向上する。
さらに、カラーフィルター作成後の液晶パネル作製工程
でも、反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板のア
ライメントマークを利用でき、光散乱膜によるボケを生
じることなく、アライメントマークを認識できるため、
高精度の位置合わせ作業ができる。 【００１３】 【発明の実施の形態】以下、本発明の反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板の実施の形態につき説明す
る。図１に、本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルター基板の一実施例を示す部分構成断面図を、図２
（ａ）〜（ｇ）に、本発明の反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルター基板の製造方法の一例を工程順に示す部分
構成断面図をそれぞれ示す。本発明の反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板１００はガラス基板等からな
る透明基板１１上に、光散乱膜２１、ブラックマトリク
ス３２ｂ、アライメントマーク３１ａ、カラーフィルタ
ー４１（赤色フィルター４１Ｒ、緑色フィルター４１
Ｇ、青色フィルター４１Ｂからなる）、平坦化層５１及
び透明電極６１が形成されたものである（図１参照）。
なお、本実施例では平坦化層５１を入れた構成になって
いるが、カラーフィルター基板の仕様によっては平坦化
層５１は省略しても構わない。 【００１４】まず、無アルカリガラス等からなる透明基
板１１上に透明樹脂（例えば、アクリル樹脂）に屈折率
の異なる散乱粒子（例えば、シリカ）を分散させた樹脂
溶液をスピンナーにより塗布し、光散乱膜２１を形成す
る（図２（ａ）参照）。 【００１５】次に、アクリル系樹脂にカーボンブラック
を分散した黒色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布
して黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等の一連
のパターニング処理を行って、透明基板１１上の光散乱
膜２１上の所定位置にブラックマトリクス３１ｂ、周辺
部に位置合わせ用アライメントマーク３１ａを形成する
（図２（ｂ）参照）。 【００１６】次に、アクリル系樹脂に赤色顔料を分散し
た赤色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して赤色
感光層を形成し、アライメントマーク３１ａを使って赤
色露光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像
等の一連のパターニング処理を行って、光散乱膜２１上
のブラックマトリクス３１ｂの所定位置に赤色フィルタ
ー４１Ｒを形成する（図２（ｃ）参照）。 【００１７】次に、アクリル系樹脂に緑色顔料を分散し
た緑色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して緑色
感光層を形成し、アライメントマーク３１ａを使って緑
色露光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像
等の一連のパターニング処理を行って、光散乱膜２１上
のブラックマトリクス３１ｂの所定位置に緑色フィルタ
ー４１Ｇを形成する（図２（ｄ）参照）。 【００１８】次に、アクリル系樹脂に青色顔料を分散し
た青色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して青色
感光層を形成し、アライメントマーク３１ａを使って青
色露光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像
等の一連のパターニング処理を行って、光散乱膜２１上
のブラックマトリクス３１ｂの所定位置に青色フィルタ
ー４１Ｇを形成し、赤色フィルター４１Ｒ、緑色フィル
ター４１Ｇ及び青色フィルター４１Ｂからなるカラーフ
ィルター４１を形成する（図２（ｅ）参照）。 【００１９】次に、アクリル樹脂溶液をスピンナーにて
塗布し、加熱硬化して平坦化層５１を形成し（図２
（ｆ）参照）、さらに、酸化インジウム系のターゲット
をスパッタリングして、平坦化層５１上に透明電極５１
を形成し、透明基板１１上に光散乱膜２１、ブラックマ
トリクス３１ｂ、アライメントマーク３１ａ、カラーフ
ィルター４１、平坦化層５１及び透明電極６１が形成さ
れた、本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィルター
基板１００を得る（図２（ｇ）参照）。 【００２０】 【発明の効果】本発明の反射型液晶表示装置用カラーフ
ィルター基板は、光散乱膜上にブラックマトリクス及び
アライメントマークを形成し、カラーフィルターを形成
しているので、各色のカラーフィルター作成後の検査に
おいて、光散乱膜にじゃまされずにカラーフィルターを
検査できる。よって、検査精度が向上する。さらに、カ
ラーフィルター作成後の液晶パネル作製工程でも、反射
型液晶表示装置用カラーフィルター基板のアライメント
マークを利用でき、光散乱膜によるボケを生じることな
く、アライメントマークを認識できるため、高精度の位
置合わせ作業ができる。
置用カラーフィルター基板に関し、特に基板位置合わせ
用のアライメントマークが形成された反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板に関する。 【０００２】 【従来の技術】液晶表示装置は、一般的に偏光膜と透明
電極が各々配設された対向する一対の電極基板と、これ
ら電極基板間に封入された液晶物質とでその主要部が構
成されている。また、カラー画像を表示するカラー液晶
表示装置にあっては、上記一対とした電極基板のいずれ
か一方に光を分色するためのカラーフィルター層を設け
ている。 【０００３】従来より液晶表示装置は、低消費電力で軽
量化が可能という特徴を活かし、モバイル機器等の携帯
型表示装置への利用が期待されている。しかし、光源内
蔵型の透過型液晶表示装置では、光源の消費電力が大き
くバッテリーでの長時間の使用ができず、液晶表示装置
が本来有すべき利点をいかしきれていない。反射型液晶
表示装置は、光源に係わる電力消費がなく、この点で好
ましい。 【０００４】従来の反射型カラー液晶表示装置の一例を
図３に示す。反射型カラー液晶表示装置３００は、背面
電極基板１１０、カラーフィルター基板２１０及び液晶
３１０とで構成されており、背面電極基板１１０は、透
明基板１１１上にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイ１
２１が、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイ１２１上に
絶縁層１３１が、絶縁層１３１上の各画素に対応する領
域にＡｌ（アルミニウム）等からなる反射電極１４１が
積層されたもので、反射電極１４１はＴＦＴ（薄膜トラ
ンジスタ）アレイ１２１とビアホール１２１で電気的に
接続されている。図３及び図４に示すように、カラーフ
ィルター基板２１０は、透明基板２１１上に基板位置合
わせ用アライメントマーク２２１ａ及びブラックマトリ
クス２２１ｂ、カラーフィルター２４１、光散乱膜２５
１及び透明電極２６１が形成されている。カラーフィル
ター基板２１０の透明電極２６１と背面電極基板１１０
の反射電極１４１との間で液晶３１０の駆動が行われ、
カラーフィルター基板２１０側より入射した外部光は、
反射電極１４１で反射され、カラーフィルター２４１を
介して着色されることでカラー画像として視認すること
ができる。 【０００５】以下、カラーフィルター基板２１０の製造
方法について説明する。図５（ａ）〜（ｆ）に、カラー
フィルター基板２１０の製造方法の一例を工程順に示
す。まず、ガラス等からなる透明基板２１１上に、カー
ボンブラックをアクリル系の樹脂に分散した黒色の感光
性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、黒色感光層を
形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処
理を行って、透明基板２１１の所定位置にブラックマト
リクス２２１ｂと、周辺部にアライメントマーク２２１
ａとを形成する（図５（ａ）参照）。 【０００６】次に、アクリル系樹脂に赤色顔料を分散さ
せた赤色感光性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、
光散乱膜２３１上に赤色感光層を形成し、アライメント
マーク２２１ａを用いて露光マスクの位置合わせを行
い、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って
赤色フィルター２４１Ｒを形成する（図５（ｂ）参
照）。 【０００７】次に、アクリル系樹脂に緑色顔料を分散さ
せた緑色感光性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、
光散乱膜２３１上に緑色感光層を形成し、アライメント
マーク２２１ａを用いて露光マスクの位置合わせを行
い、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って
緑色フィルター２４１Ｇを形成する（図５（ｃ）参
照）。次に、アクリル系樹脂に青色顔料を分散させた青
色感光性樹脂溶液をスピンナー等により塗布し、青色感
光層を形成し、アライメントマーク２２１ａを用いて露
光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像等の
パターニング処理を行って緑色フィルター２４１Ｂを形
成し、透明基板２１１上の光散乱膜２３１上に３色のカ
ラーフィルター２４１を形成する（図５（ｄ）参照）。 【０００８】次に、透明樹脂（例えば、アクリル樹脂）
に屈折率の異なる散乱粒子（例えば、シリカ）を分散さ
せた樹脂溶液を透明基板２１１上にスピンナー等により
塗布し、加熱硬化して、光散乱膜２５１を形成する（図
５（ｅ）参照）。次に、スパッタリング等により酸化イ
ンジウム系の透明電極２６１を形成し、透明基板２１１
上にブラックマトリクス２２１ｂ及びカラーフィルター
２４１が形成されたカラーフィルター基板２１０を得る
（図５（ｆ）参照）。なお、必要によっては、透明電極
２６１の形成に先立ち、透明樹脂（例えば、アクリル樹
脂）溶液をスピンナー等にて塗布し、所定厚の平坦化層
を形成することもある。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】上記したように、カラ
ーフィルター基板を形成した後、パネル化の前に各種の
検査が行われる。しかし、従来のカラーフィルター基板
では、カラーフィルター上に光散乱膜２５１が形成され
ている。このため、カラーフィルターにピンホール、形
状不良が生じていても光散乱膜でボケが生じるため輪郭
がはっきりせず、検査精度が低下するという問題点を有
している。また、アライメントマーク２２１ａはカラー
フィルター作成後の液晶パネル作製工程において、両基
板を位置合わせして対向させる際に用いられる。しか
し、アライメントマークの上に光散乱膜が２５１がある
と、アライメントマーク２２１ａが光散乱膜でボケるた
めアライメントマーク２２１ａが見づらく、アライメン
トマーク２２１ａを使った位置合わせ作業での合わせ精
度が低下するという問題を有している 【００１０】本発明は上記問題点に鑑み考案されたもの
で、カラーフィルター基板の検査がやり易く、精度の高
い検査ができ、かつ位置合わせ精度に優れた光散乱膜を
有する反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板を提
供することを目的とする。 【００１１】 【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記問題
を解決するために、背面側電極基板と対向させ、間に液
晶を封入、狭持して反射型液晶表示とする反射型液晶表
示装置用カラーフィルター基板であって、透明基板上に
光散乱膜を形成後、前記光散乱膜上にブラック樹脂にて
ブラックマトリクスを形成する際、基板位置合わせ用ア
ライメントマークも同時にブラック樹脂にて形成し、し
かる後、カラーフィルターを形成したことを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板としたもの
である。 【００１２】本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルター基板は、光散乱膜上にブラックマトリクス及びア
ライメントマークを黒色樹脂にて形成し、カラーフィル
ターを形成しているので、各色のカラーフィルター作成
後の検査において、光散乱膜にじゃまされずにカラーフ
ィルターを検査できる。よって、検査精度が向上する。
さらに、カラーフィルター作成後の液晶パネル作製工程
でも、反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板のア
ライメントマークを利用でき、光散乱膜によるボケを生
じることなく、アライメントマークを認識できるため、
高精度の位置合わせ作業ができる。 【００１３】 【発明の実施の形態】以下、本発明の反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板の実施の形態につき説明す
る。図１に、本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルター基板の一実施例を示す部分構成断面図を、図２
（ａ）〜（ｇ）に、本発明の反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルター基板の製造方法の一例を工程順に示す部分
構成断面図をそれぞれ示す。本発明の反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板１００はガラス基板等からな
る透明基板１１上に、光散乱膜２１、ブラックマトリク
ス３２ｂ、アライメントマーク３１ａ、カラーフィルタ
ー４１（赤色フィルター４１Ｒ、緑色フィルター４１
Ｇ、青色フィルター４１Ｂからなる）、平坦化層５１及
び透明電極６１が形成されたものである（図１参照）。
なお、本実施例では平坦化層５１を入れた構成になって
いるが、カラーフィルター基板の仕様によっては平坦化
層５１は省略しても構わない。 【００１４】まず、無アルカリガラス等からなる透明基
板１１上に透明樹脂（例えば、アクリル樹脂）に屈折率
の異なる散乱粒子（例えば、シリカ）を分散させた樹脂
溶液をスピンナーにより塗布し、光散乱膜２１を形成す
る（図２（ａ）参照）。 【００１５】次に、アクリル系樹脂にカーボンブラック
を分散した黒色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布
して黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等の一連
のパターニング処理を行って、透明基板１１上の光散乱
膜２１上の所定位置にブラックマトリクス３１ｂ、周辺
部に位置合わせ用アライメントマーク３１ａを形成する
（図２（ｂ）参照）。 【００１６】次に、アクリル系樹脂に赤色顔料を分散し
た赤色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して赤色
感光層を形成し、アライメントマーク３１ａを使って赤
色露光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像
等の一連のパターニング処理を行って、光散乱膜２１上
のブラックマトリクス３１ｂの所定位置に赤色フィルタ
ー４１Ｒを形成する（図２（ｃ）参照）。 【００１７】次に、アクリル系樹脂に緑色顔料を分散し
た緑色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して緑色
感光層を形成し、アライメントマーク３１ａを使って緑
色露光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像
等の一連のパターニング処理を行って、光散乱膜２１上
のブラックマトリクス３１ｂの所定位置に緑色フィルタ
ー４１Ｇを形成する（図２（ｄ）参照）。 【００１８】次に、アクリル系樹脂に青色顔料を分散し
た青色の感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布して青色
感光層を形成し、アライメントマーク３１ａを使って青
色露光マスクの位置合わせを行い、パターン露光、現像
等の一連のパターニング処理を行って、光散乱膜２１上
のブラックマトリクス３１ｂの所定位置に青色フィルタ
ー４１Ｇを形成し、赤色フィルター４１Ｒ、緑色フィル
ター４１Ｇ及び青色フィルター４１Ｂからなるカラーフ
ィルター４１を形成する（図２（ｅ）参照）。 【００１９】次に、アクリル樹脂溶液をスピンナーにて
塗布し、加熱硬化して平坦化層５１を形成し（図２
（ｆ）参照）、さらに、酸化インジウム系のターゲット
をスパッタリングして、平坦化層５１上に透明電極５１
を形成し、透明基板１１上に光散乱膜２１、ブラックマ
トリクス３１ｂ、アライメントマーク３１ａ、カラーフ
ィルター４１、平坦化層５１及び透明電極６１が形成さ
れた、本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィルター
基板１００を得る（図２（ｇ）参照）。 【００２０】 【発明の効果】本発明の反射型液晶表示装置用カラーフ
ィルター基板は、光散乱膜上にブラックマトリクス及び
アライメントマークを形成し、カラーフィルターを形成
しているので、各色のカラーフィルター作成後の検査に
おいて、光散乱膜にじゃまされずにカラーフィルターを
検査できる。よって、検査精度が向上する。さらに、カ
ラーフィルター作成後の液晶パネル作製工程でも、反射
型液晶表示装置用カラーフィルター基板のアライメント
マークを利用でき、光散乱膜によるボケを生じることな
く、アライメントマークを認識できるため、高精度の位
置合わせ作業ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の反射型液晶表示装置用カラーフィルタ
ー基板の一実施例を示す部分模式構成断面図である。 【図２】（ａ）〜（ｇ）は、本発明の反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板の製造方法の一例を工程順に
示す部分模式構成断面図である。 【図３】反射型カラー液晶表示装置の一例を示す部分模
式構成断面図である。 【図４】従来の観察者側電極基板の一例を示す部分模式
構成断面図である。 【図５】（ａ）〜（ｇ）は、従来の観察者側電極基板の
製造方法の一例を工程順に示す部分模式構成断面図であ
る。 【符号の説明】 １１、１１１、２１１……透明基板 ２１、２５１……光散乱膜 ３１ａ、２２１ａ……アライメントマーク ３１ｂ、２２１ｂ……ブラックマトリクス ４１、２４１……カラーフィルター ４１Ｒ、２４１Ｒ……赤色フィルター ４１Ｇ、２４１Ｇ……緑色フィルター ４１Ｂ、２４１Ｂ……青色フィルター ５１……平坦化層 ６１、２６１……透明電極 １００……反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 １１０……背面電極基板 １２１……ＴＦＴ（薄膜トランジスタ） １２２……ビアホール １３１……絶縁層 １４１……反射電極 ２１０……カラーフィルター基板 ３００……反射型カラー液晶表示装置 ３１０……液晶
ー基板の一実施例を示す部分模式構成断面図である。 【図２】（ａ）〜（ｇ）は、本発明の反射型液晶表示装
置用カラーフィルター基板の製造方法の一例を工程順に
示す部分模式構成断面図である。 【図３】反射型カラー液晶表示装置の一例を示す部分模
式構成断面図である。 【図４】従来の観察者側電極基板の一例を示す部分模式
構成断面図である。 【図５】（ａ）〜（ｇ）は、従来の観察者側電極基板の
製造方法の一例を工程順に示す部分模式構成断面図であ
る。 【符号の説明】 １１、１１１、２１１……透明基板 ２１、２５１……光散乱膜 ３１ａ、２２１ａ……アライメントマーク ３１ｂ、２２１ｂ……ブラックマトリクス ４１、２４１……カラーフィルター ４１Ｒ、２４１Ｒ……赤色フィルター ４１Ｇ、２４１Ｇ……緑色フィルター ４１Ｂ、２４１Ｂ……青色フィルター ５１……平坦化層 ６１、２６１……透明電極 １００……反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 １１０……背面電極基板 １２１……ＴＦＴ（薄膜トランジスタ） １２２……ビアホール １３１……絶縁層 １４１……反射電極 ２１０……カラーフィルター基板 ３００……反射型カラー液晶表示装置 ３１０……液晶
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(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ ５Ｇ４３５
Ｇ０９Ｆ 9/00 ３３８ Ｇ０９Ｆ 9/00 ３３８
３５２ ３５２
9/30 ３４９ 9/30 ３４９Ｂ
３４９Ｃ
３４９Ｄ
Ｆターム(参考） 2H042 BA02 BA13 BA15 BA20
2H048 BA02 BA11 BA45 BA48 BB02
BB08 BB14 BB44
2H088 FA11 FA16 HA12 HA14 HA21
MA20
2H091 FA02Y FA14Y FA31Y FA34Y
FA35Y FB02 FB04 FB11
FC01 FC10 FD06 GA01 GA02
GA13 GA16 LA12
5C094 AA08 AA43 AA48 BA43 CA19
CA24 DA13 EA04 EA05 EB04
ED03 ED11 ED13 ED15 FA01
FA02 GB10
5G435 AA04 AA17 BB12 BB16 CC09
CC12 FF03 FF13 GG12 KK05
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】背面側電極基板と対向させ、間に液晶を封
入、狭持して反射型液晶表示とする反射型液晶表示装置
用カラーフィルター基板であって、透明基板上に光散乱
膜を形成後、前記光散乱膜上にブラック樹脂にてブラッ
クマトリクスを形成する際、基板位置合わせ用アライメ
ントマークも同時にブラック樹脂にて形成し、しかる
後、カラーフィルターを形成したことを特徴とする反射
型液晶表示装置用カラーフィルター基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001354238A JP2003156735A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001354238A JP2003156735A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003156735A true JP2003156735A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19166124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001354238A Pending JP2003156735A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003156735A (ja) |
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- 2001-11-20 JP JP2001354238A patent/JP2003156735A/ja active Pending
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