JP2016212286A - カラーフィルタ、カラーフィルタ基板及び表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表示特性を向上した上で、位置決め精度の低下を抑制する。【解決手段】表示装置用のカラーフィルタ１０は、透明基材１１と、透明基材上に設けられた第１着色層２０，３０，４０及びアライメントマーク６０と、透明基材上に第１着色層及びアライメントマークを覆って設けられた散乱層１４と、を備える。アライメントマーク上の散乱層の厚みｔ３は、第１着色層上の散乱層の厚みｔ４より小さい。【選択図】図４

Description

本発明は、散乱層を有する表示装置用のカラーフィルタ、カラーフィルタ基板及び表示装置に関する。

近年、平面ディスプレイとして液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などが実用化されている。これらの表示装置においては、一般に、光源からの光のうち所望の波長の光のみを取り出すため、または、光源からの光の色純度を向上させるため、カラーフィルタが設けられている。

また、フラットタイプの表示装置である電子ペーパーの開発も進められている。電子ペーパーは、周囲の光（以下、「環境光」とも言う）の反射光を制御することで、文字や画像等を表示する。このような電子ペーパーは、低消費電力である、目が疲れない、及び、直射日光下での視認性が良い等の優れた特性を有する。

カラー表示可能な電子ペーパーとして、複数色の着色層を有するカラーフィルタと、白表示および黒表示を行うことが可能な反射型表示素子と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この電子ペーパーは、反射型表示素子を用いて白表示を行うことによって環境光を反射させ、反射光をカラーフィルタに透過させることによって所望のカラー画像表示を行うことができる。

このような表示装置において、広い視野角の表示特性及び紙に近い表示特性が望まれている。このような表示特性を実現するためには、カラーフィルタ上に散乱層を設け、カラーフィルタを透過した光を散乱層で散乱させる構成が考えられる。

ところで、表示装置の製造効率を向上するため、複数のカラーフィルタが多面付けされたカラーフィルタ基板と、画素駆動用電極が設けられた複数の電極形成領域を有する対向基板と、を用いて表示装置を製造する方法が知られている。対向基板としては、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）基板等が挙げられる。

カラーフィルタ基板及び対向基板には、それぞれアライメントマークが設けられている。カラーフィルタ基板のアライメントマークと、対向基板のアライメントマークとが重なるように、カラーフィルタ基板と対向基板とが位置決めされ、カラーフィルタ基板及び対向基板は張り合わされる。これにより、各カラーフィルタは、対応する電極形成領域と向かい合う。

この後、張り合わされたカラーフィルタ基板及び対向基板を、カラーフィルタの周りに沿って切断することにより、複数の表示装置が製造できる。

図１０は、従来のカラーフィルタ基板２００Ｘの縦断面図である。着色層２０，３０，４０及びアライメントマーク６０Ｘは、散乱層１４Ｘに覆われている。アライメントマーク６０Ｘは、散乱層１４Ｘ側から見て、例えば十字形になっている。

位置決めの際には、カラーフィルタ基板２００Ｘのアライメントマーク６０Ｘの読み取りが行われる。読み取りは、例えば、図１０に示すように、透明基材１１側から撮像用の光Ｌ１をアライメントマーク６０Ｘ付近に照射し、透過した光を用いて、散乱層１４Ｘ側からカメラ等でアライメントマーク６０Ｘを撮像して行う。アライメントマーク６０Ｘは撮像用の光Ｌ１を遮光するので、アライメントマーク６０Ｘの像が取得できる。

特開２００３−２８００４４号公報

しかしながら、図１０に示すように、散乱層１４Ｘに入射した光Ｌ１は、アライメントマーク６０Ｘ上の散乱層１４Ｘで散乱される。そのため、このように散乱された光により、図１１に示すように、アライメントマーク６０Ｘのエッジ（輪郭）が惚けた像が取得されてしまう。

このようなエッジが惚けた像を用いて位置決めを行うと、アライメントマーク６０Ｘと対向基板のアライメントマークとを正確に重ねることができないため、カラーフィルタ基板２００Ｘと対向基板との位置を正確に合わせることができない。即ち、位置決め精度が低下してしまう。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、表示特性を向上した上で、位置決め精度の低下を抑制できるカラーフィルタ、カラーフィルタ基板及び表示装置を提供することを目的とする。

本発明の一実施形態に係るカラーフィルタは、
表示装置用のカラーフィルタであって、
透明基材と、
前記透明基材上に設けられた第１着色層及びアライメントマークと、
前記透明基材上に前記第１着色層及びアライメントマークを覆って設けられた散乱層と、を備え、
前記アライメントマーク上の前記散乱層の厚みは、前記第１着色層上の前記散乱層の厚みより小さい。

上記カラーフィルタにおいて、
前記透明基材上に設けられ、複数の開口が形成された第１ブラックマトリクス層を備え、
前記第１着色層は、前記第１ブラックマトリクス層の前記複数の開口内に設けられ、
前記アライメントマークは、第２ブラックマトリクス層を有してもよい。

上記カラーフィルタにおいて、
前記第２ブラックマトリクス層の厚みは、前記第１ブラックマトリクス層の厚みより大きくてもよい。

上記カラーフィルタにおいて、
前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に積層された第２着色層を有してもよい。

上記カラーフィルタにおいて、
前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に積層された複数色の第２着色層を有してもよい。

上記カラーフィルタにおいて、
前記透明基材上に前記第１ブラックマトリクス層及び前記第１着色層を覆って設けられた第１保護層を備え、
前記散乱層は、前記第１保護層及び前記アライメントマークを覆って設けられ、
前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に積層された第２保護層を有してもよい。

上記カラーフィルタにおいて、
前記第１ブラックマトリクス層上に設けられた柱状の第１スペーサーを備え、
前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に設けられた第２スペーサーを有してもよい。

本発明の一実施形態に係る表示装置は、
上記カラーフィルタと、
前記カラーフィルタに対向するように配置された表示素子と、
を備える。

本発明の一実施形態に係るカラーフィルタ基板は、
表示装置用の複数のカラーフィルタを有するカラーフィルタ基板であって、
透明基材と、
前記透明基材上に設けられた第１着色層及びアライメントマークと、
前記透明基材上に前記第１着色層及びアライメントマークを覆って設けられた散乱層と、を備え、
前記アライメントマーク上の前記散乱層の厚みは、前記第１着色層上の前記散乱層の厚みより小さい。

本発明によれば、表示特性を向上した上で、位置決め精度の低下を抑制できる。

第１の実施形態に係る電子ペーパーの概略構成を示す縦断面図である。 （ａ）は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ基板の平面図であり、（ｂ）は、対向基板の平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、アライメントマークの平面図である。 図２（ａ）のカラーフィルタ基板のＡ−Ａ線に沿った縦断面図である。 （ａ）は、第２の実施形態に係るカラーフィルタ基板の平面図であり、（ｂ）は、対向基板の平面図である。 第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板の概略構成を示す縦断面図である。 第４の実施形態に係るカラーフィルタ基板の概略構成を示す縦断面図である。 第５の実施形態に係るカラーフィルタ基板の概略構成を示す縦断面図である。 第６の実施形態に係るカラーフィルタ基板の概略構成を示す縦断面図である。 従来のカラーフィルタ基板の縦断面図である。 従来のアライメントマークの像を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

（第１の実施形態）
まず図１を参照して、電子ペーパー（表示装置）１００全体について説明する。なお、一例として電子ペーパー１００について説明するが、本実施形態のカラーフィルタ１０は、反射型又は透過型の各種表示装置、例えば、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に適用することもできる。

電子ペーパー
図１は、第１の実施形態に係る電子ペーパー１００の概略構成を示す縦断面図である。図１に示すように、電子ペーパー１００は、電子ペーパー用のカラーフィルタ１０と、カラーフィルタ１０に対向するように配置された、白表示及び黒表示を行う反射型表示素子８０と、を備えている。

カラーフィルタ１０は、透明基材１１と、透明基材１１上に設けられたＢＭ層（第１ブラックマトリクス層）１２と、透明基材１１上に設けられた複数の着色層（第１着色層）２０，３０，４０と、透明基材１１上にＢＭ層１２及び着色層２０，３０，４０を覆って設けられた散乱層１４と、を備える。

ＢＭ層１２は、複数の開口が形成されている。複数の着色層２０，３０，４０は、ＢＭ層１２の複数の開口内に設けられている。着色層２０，３０，４０のそれぞれは、１つの画素に対応する。

カラーフィルタ１０は、散乱層１４と反射型表示素子８０とが対向するように配置されている。従って、観察者は、透明基材１１側（ｚ方向側）から電子ペーパー１００を観察する。

反射型表示素子８０には、観察者側からカラーフィルタ１０を介して環境光が入射する。反射型表示素子８０は、画素毎に環境光を反射させるか否か制御可能に構成されており、環境光を反射させることにより白表示を行い、環境光を反射させないことにより黒表示を行う。従って、反射型表示素子８０は、バックライトを用いることなく文字や画像を表示することができる。なお、環境光が弱い場合に観察者側から反射型表示素子８０に光を照射するフロントライトを設けてもよい。

反射型表示素子８０の表示方式としては、特に限定されず、公知のものを適用することができ、例えば、電気泳動方式、ツイストボール方式、粉体移動方式（電子粉流体方式、帯電トナー型方式）、液晶表示方式、サーマル方式（発色方式、光散乱方式）、エレクトロクロミック方式、エレクトロウェッティング方式、磁気泳動方式などが挙げられる。

ここでは、一例としてエレクトロウェッティング方式の反射型表示素子８０について概略的に説明する。反射型表示素子８０は、白色基板８１と、白色基板８１上に設けられた複数の第１透明電極８２と、第１透明電極８２上に設けられた疎水性絶縁層８３と、疎水性絶縁層８３上に設けられた複数の画素側壁８４と、隣り合う画素側壁８４間に設けられたオイル層８５と、オイル層８５及び画素側壁８４上に設けられた透明な液体８６と、液体８６上に設けられた第２透明電極８７と、を有する。第２透明電極８７上に透明基材が設けられてもよい。

それぞれのオイル層８５は、対応する第１透明電極８２上に位置している。１組の第１透明電極８２とオイル層８５は、１つの画素に対応している。

第１透明電極８２と第２透明電極８７との間に電圧が印加されていない時には、図示するように、オイル層８５は、隣り合う画素側壁８４間の疎水性絶縁層８３を覆っている。オイル層８５は、例えば黒色に着色されているため、入射した環境光はオイル層８５において反射されず、黒表示が行われる。

一方、ある画素に対応する第１透明電極８２と、第２透明電極８７との間に電圧が印加された時には、図示は省略するが、この画素に対応するオイル層８５は、一方の画素側壁８４側に移動し、この画素に対応する位置の疎水性絶縁層８３には液体８６が接するようになる。これにより、この画素においては、入射した環境光は白色基板８１に到達し、白色基板８１で反射されて白表示が行われる。

このように、電子ペーパー１００は、反射型表示素子８０を用いて白表示を行うことによって環境光を反射させ、反射光をカラーフィルタ１０に透過させることによって所望のカラー画像表示を行うことができる。ここで、反射型表示素子８０からの反射光は散乱層１４で散乱されてからカラーフィルタ１０を透過するため、紙に近い表示特性、及び、広い視野角の表示特性が得られる。

次に、電子ペーパー１００の製造方法を概略的に説明する。電子ペーパー１００は、以下に説明するように、複数のカラーフィルタ１０が多面付けされたカラーフィルタ基板２００と、複数の反射型表示素子８０の部材が設けられた対向基板３００と、を張り合わせて製造される。

図２（ａ）は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ基板２００の平面図である。図２（ａ）に示すように、カラーフィルタ基板２００は、透明基材１１上に設けられた、マトリクス状に並んだ複数のアクティブ領域２１０を有する。各アクティブ領域２１０には、カラーフィルタ１０のＢＭ層１２及び着色層２０，３０，４０が設けられている。１つのアクティブ領域２１０は、１つのカラーフィルタ１０に対応する。即ち、カラーフィルタ基板２００は、複数のカラーフィルタ１０を有する。

図２（ｂ）は、対向基板３００の平面図である。対向基板３００は、白色基板８１上に設けられ、マトリクス状に並んだ複数の電極形成領域３１０を有する。各電極形成領域３１０には、例えば、反射型表示素子８０の第１透明電極８２、疎水性絶縁層８３、画素側壁８４及びオイル層８５が設けられている。

カラーフィルタ基板２００は、縁部分に設けられた複数のアライメントマーク６０を備える。対向基板３００は、縁部分に設けられた複数のアライメントマーク７０を備える。

カラーフィルタ基板２００の複数のアライメントマーク６０は、対向基板３００の複数のアライメントマーク７０に対応する位置に設けられている。

アライメントマーク６０，７０が設けられる位置は、アクティブ領域２１０及び電極形成領域３１０以外であれば、特に限定されず、それらの数も限定されない。

図３（ａ）〜（ｃ）は、アライメントマーク６０，７０の平面図である。アライメントマーク６０，７０の形状は特に限定されず、例えば、図３（ａ）のように十字形でもよく、図３（ｂ）のように＃形でもよく、図３（ｃ）のように四角形でもよい。

カラーフィルタ基板２００の複数のアライメントマーク６０と、対向基板３００の複数のアライメントマーク７０とが重なるように、カラーフィルタ基板２００と対向基板３００とが位置決めされる。この状態で、カラーフィルタ基板２００と対向基板３００とを張り合わせる。これにより、各アクティブ領域２１０は、対応する電極形成領域３１０と向かい合って固定される。

次に、張り合わされたカラーフィルタ基板２００及び対向基板３００をアクティブ領域２１０毎に切断する。そして、必要な製造工程を経て、複数の電子ペーパー１００が完成する。

カラーフィルタ及びアライメントマーク
次に、図４を参照して、カラーフィルタ基板２００の構造、即ちカラーフィルタ１０及びアライメントマーク６０の構造について詳細に説明する。図４は、図２（ａ）のカラーフィルタ基板２００のＡ−Ａ線に沿った縦断面図である。

アライメントマーク６０は、透明基材１１上に設けられている。アライメントマーク６０は、ＢＭ層（第２ブラックマトリクス層）６１を有する。本実施形態では、アライメントマーク６０は、ＢＭ層６１から構成されている。アライメントマーク６０のＢＭ層６１の厚みｔ１は、アクティブ領域２１０のＢＭ層１２の厚みｔ２より大きい。ＢＭ層６１の厚みｔ１は、着色層２０，３０，４０の厚みより大きくてもよい。ＢＭ層６１は、ＢＭ層１２と同一材料で形成されている。

散乱層１４は、透明基材１１上にＢＭ層１２、着色層２０，３０，４０及びアライメントマーク６０を覆って設けられている。

（透明基材）
透明基材１１としては、ＢＭ層１２、着色層２０，３０，４０、散乱層１４及びアライメントマーク６０を適切に支持することができ、かつ透明性を有する様々な材料が用いられ、例えばガラスやポリマーなどが用いられる。

（ＢＭ層）
ＢＭ層１２は、観察者側からの環境光および反射型表示素子８０からの反射光を遮蔽するよう構成されている。本実施形態では、ＢＭ層１２はマトリックス状のパターンを有している。ＢＭ層１２によって画定される各領域の具体的なパターンは特には限定されない。

ＢＭ層１２，６１の材料としては、所望の遮光性を有するものであれば特に限定されない。例えば、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色着色材を含有する樹脂組成物等が挙げられる。この樹脂組成物に用いられる樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する感光性樹脂が使用される。

ＢＭ層１２，６１は、ＢＭ層形成用塗工液を透明基材１１上に塗布して、露光工程および現像工程を含むフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成してもよい。この時、ハーフトーンマスクなどの多階調マスクを用いて露光を行ってもよい。これにより、ＢＭ層１２が形成される領域と、ＢＭ層６１が形成される領域とにおいて露光量を異ならせることができる。そのため、現像により、ＢＭ層１２の厚みｔ２とＢＭ層６１の厚みｔ１とを異ならせることができる。

なお、フォトリソグラフィー法を用いて同じ厚みｔ２のＢＭ層１２，６１を形成した後、再度、フォトリソグラフィー法を用いてＢＭ層６１の厚みを増加させてもよい。

（着色層）
着色層２０，３０，４０は、ＢＭ層１２によって画定された領域、即ちＢＭ層１２間に設けられている。

例えば、着色層２０は、青色光を透過させる青色着色層からなり、着色層３０は、緑色光を透過させる緑色着色層からなり、着色層４０は、赤色光を透過させる赤色着色層からなる。白色光を透過させる白色着色層などを設けてもよい。

着色層２０，３０，４０のそれぞれは、感光性を有する着色層用材料を、露光工程および現像工程を含むフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成される層である。フォトリソグラフィー法によりパターニングされる着色層用材料としては、ネガ型およびポジ型のいずれの着色層用材料も使用され得る。着色層２０，３０，４０を形成する順序は、任意の順序でよい。

次に、各着色層２０，３０，４０を構成する第１着色層用材料（以下、第１材料）、第２着色層用材料（以下、第２材料）、及び、第３着色層用材料（以下、第３材料）について説明する。各第１〜第３材料は、各色の顔料や染料および分散剤を含む顔料分散体、光開始剤、ポリマーやモノマーを含むクリア剤、および界面活性剤などを含んでいる。このうち光開始剤は、光を照射されることによりラジカル成分を発生するものである。またクリア剤には、光開始剤によって発生されたラジカルにより重合反応を起こして硬化する成分と、その後の現像により未露光部が溶解可能となる成分とが少なくとも含まれている。

このように、各着色層２０，３０，４０は、対応する色の光を透過させるよう構成されており、一方、ＢＭ層１２は、光を遮蔽するよう構成されている。

（散乱層）
散乱層１４の可視光の透過率は、３５％以上であることが好ましく、より好ましくは７５％以上である。散乱層１４のヘイズ値は、５〜６５程度であってもよい。

散乱層１４は、透明樹脂と、透明樹脂中に分散され、光散乱作用を発揮する散乱粒子と、を含む。

散乱層１４は、ＢＭ層１２、着色層２０，３０，４０及びアライメントマーク６０が形成された後、透明樹脂及び散乱粒子を含有すると共に感光性を有する散乱層形成用塗工液を透明基材１１、ＢＭ層１２、着色層２０，３０，４０及びアライメントマーク６０上に塗布して、硬化させることによって形成することができる。

前述のように、ＢＭ層６１の厚みｔ１はＢＭ層１２の厚みｔ２より大きいので、液状の散乱層形成用塗工液を塗布した後、ＢＭ層６１上の散乱層形成用塗工液の厚みは、ＢＭ層１２上の散乱層形成用塗工液の厚みより小さくなる。また、ＢＭ層６１上の散乱層形成用塗工液の厚みは、着色層２０，３０，４０上の散乱層形成用塗工液の厚みより小さくなる。

そのため、アライメントマーク６０上の散乱層１４の厚みｔ３は、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さくなる。

透明樹脂は、透明性を有するものであれば特に限定されず、散乱粒子との屈折率差等を考慮して適宜選択される。透明樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等を挙げることができる。

散乱粒子の材料としては、光散乱作用を有するものであれば特に限定されない。例えば、酸化チタン、ジルコニア、二酸化珪素、酸化アルミニウム、硫酸バリウム等の無機物、アクリル系樹脂、ジビニルベンゼン系樹脂、ベンゾグアナミン系樹脂、スチレン系樹脂、メラミン系樹脂、アクリル−スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂等の有機物、又は、これらの２種以上の混合系等の微粒子を挙げることができる。

散乱粒子は、透明性を有していることが好ましい。これにより、散乱層１４の透過率を向上させることができるためである。このような散乱粒子としては、例えば、メラミン系樹脂、ベンゾグアナミン系樹脂等が用いられてもよい。

散乱粒子の平均粒径は、例えば、５０ｎｍ以上、６００ｎｍ以下の範囲内にある。散乱粒子の形状は、例えば、球状であってもよい。散乱粒子の屈折率は、透明樹脂の屈折率より大きくてもよい。散乱粒子の含有量は、光を散乱させることができ、散乱層１４の透明性を損なわない程度の量であれば、特に限定されない。

カラーフィルタ基板２００と対向基板３００との位置決めの際には、カラーフィルタ基板２００のアライメントマーク６０の読み取りが行われる。読み取りは、例えば図４に示すように、透明基材１１側から撮像用の光Ｌ１をアライメントマーク６０付近に照射し、光Ｌ１の透過光を用いて、カメラ等で散乱層１４側からアライメントマーク６０を撮像して行う。なお、散乱層１４側から光Ｌ１をアライメントマーク６０付近に照射して、光Ｌ１の反射光を用いて、カメラ等で散乱層１４側からアライメントマーク６０を撮像してもよい。

ここで、アライメントマーク６０上の散乱層１４の厚みｔ３は、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さい。そのため、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４における光の散乱と比較して、アライメントマーク６０上の散乱層１４では光が散乱され難くなる。

従って、図１０の例と比較して、アライメントマーク６０上の散乱層１４で光Ｌ１が散乱され難く、アライメントマーク６０のエッジが惚け難くなる。よって、アライメントマーク６０を精度良く読み取ることができる。

また、厚みｔ４は、アライメントマーク６０のエッジの惚けには影響しないので、必要な散乱特性を得ることができる値に設定することができる。そのため、着色層２０，３０，４０の部分では必要な散乱特性を得ることができ、効果的に散乱された光により、広い視野角の表示特性、及び、紙に近い表示特性を得ることができる。

このように、本実施形態によれば、アライメントマーク６０上の散乱層１４の厚みｔ３を着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さくしているので、表示特性を向上した上で、位置決め精度の低下を抑制できる。

（第２の実施形態）
第２の実施形態では、カラーフィルタがアライメントマークを備えている点において、第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。

図５（ａ）は、第２の実施形態に係るカラーフィルタ基板２００Ａの平面図である。カラーフィルタ基板２００Ａは、透明基材１１上に設けられた、マトリクス状に並んだ複数のアクティブ領域２１０を有する。各アクティブ領域２１０には、カラーフィルタ１０ＡのＢＭ層１２及び着色層２０，３０，４０が設けられている。各アクティブ領域２１０の四つの角の外側には、それぞれアライメントマーク６０が設けられている。１つのアクティブ領域２１０及び４つのアライメントマーク６０は、１つのカラーフィルタ１０Ａに対応する。つまり、各カラーフィルタ１０Ａは、第１の実施形態の構成に加え、４つのアライメントマーク６０を備えている。

カラーフィルタ基板２００ＡのＡ−Ａ線に沿った縦断面図は、第１の実施形態の図４と同一である。

図５（ｂ）は、第２の実施形態に係る対向基板３００Ａの平面図である。各電極形成領域３１０の４つの角の外側には、それぞれアライメントマーク７０が設けられている。カラーフィルタ基板２００Ａの複数のアライメントマーク６０は、対向基板３００Ａの複数のアライメントマーク７０に対応する位置に設けられている。

本実施形態においても、アライメントマーク６０，７０は、アクティブ領域２１０及び電極形成領域３１０以外であれば、図示した位置以外に設けられてもよく、それらの数も限定されない。

電子ペーパー１００の製造方法としては、まず、カラーフィルタ基板２００Ａを図５（ａ）の切断線ＣＬ１に沿って切断し、複数のカラーフィルタ１０Ａを得る。同様に、対向基板３００Ａを図５（ｂ）の切断線ＣＬ１に沿って切断し、複数の反射型表示素子８０の部材８０Ａを得る。

次に、カラーフィルタ１０Ａの４つのアライメントマーク６０と、反射型表示素子８０の部材８０Ａの４つのアライメントマーク７０とが重なるように、カラーフィルタ１０Ａと反射型表示装置８０の部材８０Ａとが位置決めされる。この状態で、カラーフィルタ１０Ａと反射型表示装置８０の部材８０Ａとを張り合わせる。

そして、必要な製造工程を経て、電子ペーパー１００が完成する。即ち、本実施形態においては、電子ペーパー１００にもアライメントマーク６０，７０が存在している。

これらの工程を繰り返すことにより、複数の電子ペーパー１００を製造できる。

本実施形態においても、アライメントマーク６０のエッジが惚け難いため、アライメントマーク６０を精度良く読み取ることができる。従って、第１の実施形態の効果が得られる。

（第３の実施形態）
第３の実施形態では、アライメントマークが着色層を有する点において第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。

図６は、第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板２００Ｂの概略構成を示す縦断面図である。図６は、図４の縦断面図に対応する。

アライメントマーク６０Ａは、ＢＭ層６１Ａ上に積層された着色層（第２着色層）３０Ａを有する。ＢＭ層６１Ａの厚みは、ＢＭ層１２の厚みｔ２と略等しい。従って、本実施形態では、図１０の構成のカラーフィルタ基板２００Ｘと同様に、多階調マスクを用いることなく、同一工程でＢＭ層１２，６１Ａを形成できる。

着色層３０Ａは、着色層３０と同一材料を用いて同一工程で形成される。即ち、図１０の構成のカラーフィルタ基板２００Ｘの製造工程において、着色層３０を露光するためのマスクの形状を変更してＢＭ層６１Ａ上にも着色層３０Ａが形成されるようにすれば、カラーフィルタ基板２００Ｂを製造することができる。そのため、第１の実施形態よりも製造が容易である。

アライメントマーク６０Ａの厚みｔ１は、ＢＭ層１２の厚みｔ２より大きい。従って、本実施形態においても、アライメントマーク６０Ａ上の散乱層１４の厚みｔ３は、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さくなる。よって、第１の実施形態と同様の効果が得られる。

なお、ＢＭ層６１Ａ上に積層される着色層は、着色層２０又は４０と同一材料を用いて同一工程で形成される層であってもよい。

（第４の実施形態）
第４の実施形態では、アライメントマークが複数色の着色層を有する点において第３の実施形態と異なる。以下、第３の実施形態との相違点を中心に説明する。

図７は、第４の実施形態に係るカラーフィルタ基板２００Ｃの概略構成を示す縦断面図である。図７は、図４の縦断面図に対応する。

アライメントマーク６０Ｂは、ＢＭ層６１Ａ上に積層された複数色の着色層（第２着色層）２０Ｂ，３０Ｂ，４０Ｂを有する。着色層２０Ｂは、着色層２０と同一材料を用いて同一工程で形成される。着色層３０Ｂは、着色層３０と同一材料を用いて同一工程で形成される。着色層４０Ｂは、着色層４０と同一材料を用いて同一工程で形成される。そのため、本実施形態では、第３の実施形態と同様に、第１の実施形態よりも製造が容易である。

アライメントマーク６０Ｂの厚みｔ１は、ＢＭ層１２の厚みｔ２より大きい。従って、本実施形態においても、アライメントマーク６０Ｂ上の散乱層１４の厚みｔ３は、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さくなる。

よって、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、複数色の着色層２０Ｂ，３０Ｂ，４０Ｂを積層するので、第３の実施形態よりも容易にアライメントマーク６０Ｂの厚みｔ１を大きくすることができる。

なお、着色層２０Ｂ，３０Ｂ，４０Ｂの積層数は特に限定されない。

（第５の実施形態）
第５の実施形態では、カラーフィルタ基板が保護層を有する点において第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。

図８は、第５の実施形態に係るカラーフィルタ基板２００Ｄの概略構成を示す縦断面図である。図８は、図４の縦断面図に対応する。

カラーフィルタ基板２００Ｄは、透明基材１１上にＢＭ層１２及び着色層２０，３０，４０を覆って設けられた保護層（第１保護層）１５を備える。保護層１５によって、着色層２０，３０，４０およびＢＭ層１２を外部環境から保護するとともに、着色層２０，３０，４０およびＢＭ層１２に含まれる不純物などが外部に流出することを防ぐことができる。

アライメントマーク６０Ｃは、ＢＭ層６１Ａ上に積層された保護層（第２保護層）１５Ａを有する。保護層１５Ａは、保護層１５と同一材料を用いて同一工程で形成される。保護層１５Ａの厚みは、ＢＭ層１２上の保護層１５の厚みより大きい。そのため、多階調マスクを用いて露光を行ってもよい。

散乱層１４は、保護層１５及びアライメントマーク６０Ｃを覆って設けられている。アライメントマーク６０Ｃの厚みｔ１は、ＢＭ層１２の厚みｔ２より大きい。保護層１５Ａの厚みは、ＢＭ層１２上の保護層１５の厚みより大きいため、保護層１５Ａの上端部の位置は、保護層１５の上端部の位置よりも観察者側とは反対側に位置している。従って、本実施形態においても、アライメントマーク６０Ｃ上の散乱層１４の厚みｔ３は、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さくなる。よって、第１の実施形態と同様の効果が得られる。

（第６の実施形態）
第６の実施形態では、カラーフィルタ基板がスペーサーを有する点において第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。

図９は、第６の実施形態に係るカラーフィルタ基板２００Ｅの概略構成を示す縦断面図である。図９は、図４の縦断面図に対応する。

カラーフィルタ基板２００Ｅは、ＢＭ層１２上に設けられた柱状のスペーサー（第１スペーサー）１６を備える。スペーサー１６は、フォトスペーサーとも称される。スペーサー１６は、画素毎に１つ設けられてもよい。スペーサー１６により、ＢＭ層１２と、反射型表示素子８０の白色基板８１との間の距離を一定に保持することができる。

散乱層１４は、ＢＭ層１２、着色層２０，３０，４０、スペーサー１６及びアライメントマーク６０Ｄを覆って設けられている。

アライメントマーク６０Ｄは、ＢＭ層６１Ａ上に設けられたスペーサー（第２スペーサー）１６Ａを有する。スペーサー１６Ａは、スペーサー１６と同一材料を用いて同一工程で形成される。従って、アライメントマーク６０Ｄを形成するために製造工程を追加する必要はない。

アライメントマーク６０Ｄの厚みｔ１は、ＢＭ層１２の厚みｔ２より大きい。従って、本実施形態においても、アライメントマーク６０Ｄ上の散乱層１４の厚みｔ３は、着色層２０，３０，４０上の散乱層１４の厚みｔ４より小さくなる。よって、第１の実施形態と同様の効果が得られる。

なお、第３から第６の実施形態のそれぞれを第２の実施形態に適用してもよい。つまり、カラーフィルタ１０Ｂ〜１０Ｅのそれぞれは、対応するアライメントマーク６０Ａ〜６０Ｄを備えていてもよい。
また、第３から第６の実施形態において、ＢＭ層６１Ａの厚みは、ＢＭ層１２の厚みｔ２より大きくてもよい。

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１０，１０Ａ〜１０Ｅ カラーフィルタ
１１ 透明基材
１２ ＢＭ層（第１ブラックマトリクス層）
１４ 散乱層
１５ 保護層（第１保護層）
１５Ａ 保護層（第２保護層）
１６ スペーサー（第１スペーサー）
１６Ａ スペーサー（第２スペーサー）
２０，３０，４０ 着色層（第１着色層）
２０Ｂ，３０Ａ，３０Ｂ，４０Ｂ 着色層（第２着色層）
６０，６０Ａ〜６０Ｄ，７０ アライメントマーク
６１，６１Ａ ＢＭ層（第２ブラックマトリクス層）
８０ 反射型表示素子
１００ 電子ペーパー
２００，２００Ａ〜２００Ｅ カラーフィルタ基板
２１０ アクティブ領域
３００，３００Ａ 対向基板
３１０ 電極形成領域

Claims (9)

1. 表示装置用のカラーフィルタであって、
   透明基材と、
   前記透明基材上に設けられた第１着色層及びアライメントマークと、
   前記透明基材上に前記第１着色層及びアライメントマークを覆って設けられた散乱層と、を備え、
   前記アライメントマーク上の前記散乱層の厚みは、前記第１着色層上の前記散乱層の厚みより小さいカラーフィルタ。
2. 前記透明基材上に設けられ、複数の開口が形成された第１ブラックマトリクス層を備え、
   前記第１着色層は、前記第１ブラックマトリクス層の前記複数の開口内に設けられ、
   前記アライメントマークは、第２ブラックマトリクス層を有する、請求項１に記載のカラーフィルタ。
3. 前記第２ブラックマトリクス層の厚みは、前記第１ブラックマトリクス層の厚みより大きい、請求項２に記載のカラーフィルタ。
4. 前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に積層された第２着色層を有する、請求項２又は請求項３に記載のカラーフィルタ。
5. 前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に積層された複数色の第２着色層を有する、請求項２又は請求項３に記載のカラーフィルタ。
6. 前記透明基材上に前記第１ブラックマトリクス層及び前記第１着色層を覆って設けられた第１保護層を備え、
   前記散乱層は、前記第１保護層及び前記アライメントマークを覆って設けられ、
   前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に積層された第２保護層を有する、請求項２又は請求項３に記載のカラーフィルタ。
7. 前記第１ブラックマトリクス層上に設けられた柱状の第１スペーサーを備え、
   前記アライメントマークは、前記第２ブラックマトリクス層上に設けられた第２スペーサーを有する、請求項２又は請求項３に記載のカラーフィルタ。
8. 請求項１から請求項７の何れかに記載のカラーフィルタと、
   前記カラーフィルタに対向するように配置された表示素子と、
   を備える表示装置。
9. 表示装置用の複数のカラーフィルタを有するカラーフィルタ基板であって、
   透明基材と、
   前記透明基材上に設けられた第１着色層及びアライメントマークと、
   前記透明基材上に前記第１着色層及びアライメントマークを覆って設けられた散乱層と、を備え、
   前記アライメントマーク上の前記散乱層の厚みは、前記第１着色層上の前記散乱層の厚みより小さいカラーフィルタ基板。