JP2003145389A - 切削装置 - Google Patents
切削装置Info
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- JP2003145389A JP2003145389A JP2001344470A JP2001344470A JP2003145389A JP 2003145389 A JP2003145389 A JP 2003145389A JP 2001344470 A JP2001344470 A JP 2001344470A JP 2001344470 A JP2001344470 A JP 2001344470A JP 2003145389 A JP2003145389 A JP 2003145389A
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- cutting device
- cutting
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの切削作業の際に、ミストやコンタミ
等がミストカバー内側に付着し乾燥することを防止す
る。 【解決手段】 切削作業の終了後、供給用チューブ４４
から供給された水が、ミストカバー４０内側の頂点部に
取付けられているノズル４２に送られる。送られた水
は、ノズル４２に設けられた複数の孔から矢印方向に一
定の短い時間吹き出される。その後、供給用チューブ４
４から供給されたエアをノズル４２からミストカバー４
０内側に吹き出す。このように、ミストカバー４０内側
に付着しているミストやコンタミを洗浄する。
等がミストカバー内側に付着し乾燥することを防止す
る。 【解決手段】 切削作業の終了後、供給用チューブ４４
から供給された水が、ミストカバー４０内側の頂点部に
取付けられているノズル４２に送られる。送られた水
は、ノズル４２に設けられた複数の孔から矢印方向に一
定の短い時間吹き出される。その後、供給用チューブ４
４から供給されたエアをノズル４２からミストカバー４
０内側に吹き出す。このように、ミストカバー４０内側
に付着しているミストやコンタミを洗浄する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は切削装置に係り、特
に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工
を行う切削装置に関する。
に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工
を行う切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や電子部品材料等のワークに溝加
工や切断加工を行う切削装置においては、高速で回転す
るブレードと称する薄型砥石で切削水をかけながらワー
クを加工する。そのため切削装置の加工部は水の飛沫や
ミストが充満している。このためこの加工部には加工部
を覆うミストカバーが取付けられており、水の飛沫やミ
ストを外部と遮断している。このミストカバーは操作性
や省スペースの点から上下方向に回転して開閉するよう
になっている。
工や切断加工を行う切削装置においては、高速で回転す
るブレードと称する薄型砥石で切削水をかけながらワー
クを加工する。そのため切削装置の加工部は水の飛沫や
ミストが充満している。このためこの加工部には加工部
を覆うミストカバーが取付けられており、水の飛沫やミ
ストを外部と遮断している。このミストカバーは操作性
や省スペースの点から上下方向に回転して開閉するよう
になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ワークの切
削作業の際、高速で回転する薄型砥石で切削水をかけな
がらワークを加工することによってミストカバー内側に
ミストやコンタミネーション（切削作業の際、ワークや
ミストカバー内側等に付着する付着物の総称。以下「コ
ンタミ」という）が付着する。また、このコンタミは付
着した後乾燥してしまうと容易に落ち難いという性質を
持っている。ミストカバーには洗浄機能が設けられてい
ないため、付着したミストやコンタミによってミストカ
バー内側の加工部が見えなくなるという問題があった。
削作業の際、高速で回転する薄型砥石で切削水をかけな
がらワークを加工することによってミストカバー内側に
ミストやコンタミネーション（切削作業の際、ワークや
ミストカバー内側等に付着する付着物の総称。以下「コ
ンタミ」という）が付着する。また、このコンタミは付
着した後乾燥してしまうと容易に落ち難いという性質を
持っている。ミストカバーには洗浄機能が設けられてい
ないため、付着したミストやコンタミによってミストカ
バー内側の加工部が見えなくなるという問題があった。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワークの切削作業の際に、ミストやコンタミ等
がミストカバー内側に付着し乾燥することを防止する切
削装置を提供することを目的とする。
もので、ワークの切削作業の際に、ミストやコンタミ等
がミストカバー内側に付着し乾燥することを防止する切
削装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に請求項１に係る発明は、回転刃により半導体や電子部
品材料等の溝加工や切断加工を行う加工部を有する切削
装置において、前記加工部に設けられ上下方向に回転し
て開閉されるミストカバーを有し、該ミストカバー内側
には、内側に付着したコンタミネーションを洗浄する洗
浄手段が備えられていることを特徴としている。
に請求項１に係る発明は、回転刃により半導体や電子部
品材料等の溝加工や切断加工を行う加工部を有する切削
装置において、前記加工部に設けられ上下方向に回転し
て開閉されるミストカバーを有し、該ミストカバー内側
には、内側に付着したコンタミネーションを洗浄する洗
浄手段が備えられていることを特徴としている。
【０００６】請求項２に係る切削装置は、前記洗浄手段
は、前記ミストカバー内面に向けて洗浄用の水を吹き出
すとともに、洗浄後の前記ミストカバー内面を乾燥する
エアを吹き出すノズルであることを特徴としている。
は、前記ミストカバー内面に向けて洗浄用の水を吹き出
すとともに、洗浄後の前記ミストカバー内面を乾燥する
エアを吹き出すノズルであることを特徴としている。
【０００７】請求項３に係る切削装置は、前記洗浄手段
は、切削作業開始と共に、水を吹き出すように構成され
ていることを特徴としている。
は、切削作業開始と共に、水を吹き出すように構成され
ていることを特徴としている。
【０００８】請求項４に係る切削装置は、前記洗浄手段
は、切削作業中に、一定時間間隔をおいて水を吹き出す
ように構成されていることを特徴としている。
は、切削作業中に、一定時間間隔をおいて水を吹き出す
ように構成されていることを特徴としている。
【０００９】請求項５に係る切削装置は、前記洗浄手段
は、必要に応じてなされる洗浄指令スイッチのＯＮ操作
により、水を吹き出すように構成されていることを特徴
としている。
は、必要に応じてなされる洗浄指令スイッチのＯＮ操作
により、水を吹き出すように構成されていることを特徴
としている。
【００１０】請求項６に係る切削装置は、前記ミストカ
バーは、前記洗浄手段から吹き出される水及びエアが内
側に沿って流れるように傾斜した形状であることを特徴
としている。
バーは、前記洗浄手段から吹き出される水及びエアが内
側に沿って流れるように傾斜した形状であることを特徴
としている。
【００１１】本発明によれば、ミストカバー内側に水及
びエアを吹き出す洗浄手段を設けたので、ワークの切削
作業の際に、ミストカバー内側に付着するコンタミネー
ションを水で洗浄するようにし、洗浄後はエアで水分を
吹き飛ばすようにしているので、加工部内の観察が容易
である。
びエアを吹き出す洗浄手段を設けたので、ワークの切削
作業の際に、ミストカバー内側に付着するコンタミネー
ションを水で洗浄するようにし、洗浄後はエアで水分を
吹き飛ばすようにしているので、加工部内の観察が容易
である。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る切削装置の好ましい実施の形態について詳説する。
る切削装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１３】図１は、本発明に係る切削装置１０の外観
斜視図である。図２は、本発明に係る切削装置１０の加
工部２０の詳細図である。
斜視図である。図２は、本発明に係る切削装置１０の加
工部２０の詳細図である。
【００１４】図１に示すように、本発明に係る切削装置
１０は、主として操作・表示部１１と、撮像部１２と、
モニターテレビ１３と、表示灯１４と、加工部２０と、
各構成要素を制御するコントローラ１５等から構成され
る。
１０は、主として操作・表示部１１と、撮像部１２と、
モニターテレビ１３と、表示灯１４と、加工部２０と、
各構成要素を制御するコントローラ１５等から構成され
る。
【００１５】加工部２０は、図２に示すように、ワーク
Ｗの溝加工や切断加工を行う回転刃２１が、高周波モー
タ（図示せず）が内蔵されているスピンドルに取付けら
れ、３０，０００ｒｐｍ〜６０，０００ｒｐｍの高速で
回転するとともに、送り機構（図示せず）により、Ｙ方
向（紙面直交方向）のインデックス送りとＺ方向（上下
方向）の切り込み送りとがされる。
Ｗの溝加工や切断加工を行う回転刃２１が、高周波モー
タ（図示せず）が内蔵されているスピンドルに取付けら
れ、３０，０００ｒｐｍ〜６０，０００ｒｐｍの高速で
回転するとともに、送り機構（図示せず）により、Ｙ方
向（紙面直交方向）のインデックス送りとＺ方向（上下
方向）の切り込み送りとがされる。
【００１６】回転刃２１は、薄い円盤状に形成され、手
前側と下方が開口しているフランジカバー２２により周
囲を覆われている。尚、回転刃２１は、例えば、ダイヤ
モンド砥粒、ＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレ
ードや、樹脂で結合したレジンブレード等が用いられ
る。切削ノズル２３は、フランジカバー２２に設けら
れ、切削水を回転刃２１とワークＷとの加工ポイントに
供給する。洗浄ノズル２４は、回転刃２１の右側に設け
られ、切削作業の際、洗浄水をワークＷに供給する。
前側と下方が開口しているフランジカバー２２により周
囲を覆われている。尚、回転刃２１は、例えば、ダイヤ
モンド砥粒、ＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレ
ードや、樹脂で結合したレジンブレード等が用いられ
る。切削ノズル２３は、フランジカバー２２に設けら
れ、切削水を回転刃２１とワークＷとの加工ポイントに
供給する。洗浄ノズル２４は、回転刃２１の右側に設け
られ、切削作業の際、洗浄水をワークＷに供給する。
【００１７】Ｘテーブル２７は、マシンベース２９上に
設けられているＸガイド２８にガイドされて、駆動機構
（図示せず）によりＸ方向に移動する。Ｘテーブル２７
に載置されているθテーブル２６は、上部にワークテー
ブル２５が連結され、時計回り及び反時計回り方向に回
転するようになっている。加工部２０にて加工されるワ
ークＷは、真空吸着等によりワークテーブル２５の上面
に保持され、θテーブル２６によりθ回転されるととも
に、Ｘテーブル２７によりＸ方向に切削送りされるよう
になっている。
設けられているＸガイド２８にガイドされて、駆動機構
（図示せず）によりＸ方向に移動する。Ｘテーブル２７
に載置されているθテーブル２６は、上部にワークテー
ブル２５が連結され、時計回り及び反時計回り方向に回
転するようになっている。加工部２０にて加工されるワ
ークＷは、真空吸着等によりワークテーブル２５の上面
に保持され、θテーブル２６によりθ回転されるととも
に、Ｘテーブル２７によりＸ方向に切削送りされるよう
になっている。
【００１８】オイルパン３０は、ブラケット３０Ａ、３
０Ｂを介して、マシンベース２９に固定されて、切削ノ
ズル２３や洗浄ノズル２４により供給された切削水や洗
浄水の廃水を受けている。蛇腹３１は、オイルパン３０
とθテーブル２６との間に設けられ、オイルパン３０の
中央部の開口部分を覆っている。
０Ｂを介して、マシンベース２９に固定されて、切削ノ
ズル２３や洗浄ノズル２４により供給された切削水や洗
浄水の廃水を受けている。蛇腹３１は、オイルパン３０
とθテーブル２６との間に設けられ、オイルパン３０の
中央部の開口部分を覆っている。
【００１９】ミストカバー４０は、図２に示すように、
加工部２０を覆うように設けられ、上端部がヒンジ手段
（図示せず）を介して切削装置１０本体と回転自在に支
持され、上下方向に回転して開閉される。また、ミスト
カバー４０は、奥側と下側が開口された形状をし、加工
部２０の内部が観察できるように、透明樹脂材から成る
高性能帯電防止板で形成される。
加工部２０を覆うように設けられ、上端部がヒンジ手段
（図示せず）を介して切削装置１０本体と回転自在に支
持され、上下方向に回転して開閉される。また、ミスト
カバー４０は、奥側と下側が開口された形状をし、加工
部２０の内部が観察できるように、透明樹脂材から成る
高性能帯電防止板で形成される。
【００２０】また、加工部２０で切削水や洗浄水が大量
に供給されることにより、発生した水の飛沫やミストが
加工部２０の外側に飛散しないように、ミストカバー４
０は、加工部２０と外部とを遮断している。
に供給されることにより、発生した水の飛沫やミストが
加工部２０の外側に飛散しないように、ミストカバー４
０は、加工部２０と外部とを遮断している。
【００２１】図３（ａ）、（ｂ）は、洗浄手段が取付け
られているミストカバー４０の詳細図である。洗浄手段
は水及びエアを吹き出すノズル４２と、水及びエアを供
給するための回路とから成っている。ミストカバー４０
内側の頂点部には、図３（ａ）に示すように、内側に付
着したコンタミ等を洗浄するためのノズル４２が取付け
られ、ノズル４２に設けられた複数の孔から水及びエア
が吹き出される。ノズル４２には、水及びエアをノズル
４２に供給するための供給用チューブ４４が継手（図示
せず）を介して一端に取付けられている。
られているミストカバー４０の詳細図である。洗浄手段
は水及びエアを吹き出すノズル４２と、水及びエアを供
給するための回路とから成っている。ミストカバー４０
内側の頂点部には、図３（ａ）に示すように、内側に付
着したコンタミ等を洗浄するためのノズル４２が取付け
られ、ノズル４２に設けられた複数の孔から水及びエア
が吹き出される。ノズル４２には、水及びエアをノズル
４２に供給するための供給用チューブ４４が継手（図示
せず）を介して一端に取付けられている。
【００２２】水及びエアを供給するための回路は、ティ
ー継手４６に接続され、水を供給するバルブ４８Ａ及び
電磁弁５０Ａと、エアを供給するバルブ４８Ｂ及び電磁
弁５０Ｂとから構成される。バルブ４８Ａ、４８Ｂは、
水及びエアを供給する量を調整する弁であり、オペレー
タが手動で操作する。電磁弁５０Ａ、５０Ｂは、水及び
エアを供給及び停止するための切換えスイッチであり、
予め設定されたプログラムにより自動的に、あるいはオ
ペレータ操作により、動作するようになっている。
ー継手４６に接続され、水を供給するバルブ４８Ａ及び
電磁弁５０Ａと、エアを供給するバルブ４８Ｂ及び電磁
弁５０Ｂとから構成される。バルブ４８Ａ、４８Ｂは、
水及びエアを供給する量を調整する弁であり、オペレー
タが手動で操作する。電磁弁５０Ａ、５０Ｂは、水及び
エアを供給及び停止するための切換えスイッチであり、
予め設定されたプログラムにより自動的に、あるいはオ
ペレータ操作により、動作するようになっている。
【００２３】ミストカバー４０の側面は、図３（ｂ）に
示すように、ノズル４２から吹き出される水及びエアが
内側に沿って流れ易いように、ノズル４２の取付けられ
ている頂点部から手前側（図左側）、及び奥側（図右
側）に向けて斜め形状に形成される。
示すように、ノズル４２から吹き出される水及びエアが
内側に沿って流れ易いように、ノズル４２の取付けられ
ている頂点部から手前側（図左側）、及び奥側（図右
側）に向けて斜め形状に形成される。
【００２４】同図に示すように、ミストカバー４０の奥
側（図右側）には、オイルパン３０の隔壁３０Ｃが設け
られ、切削水や洗浄水を受けて加工部２０外側に飛散し
ないようにしている。
側（図右側）には、オイルパン３０の隔壁３０Ｃが設け
られ、切削水や洗浄水を受けて加工部２０外側に飛散し
ないようにしている。
【００２５】操作・表示部１１は、切削装置１０の各部
の操作を行うスイッチや表示手段が設けられている。撮
像部１２は、顕微鏡、照明装置、及びＣＣＤカメラ等か
ら構成され、ワークＷの表面を撮像する。モニターテレ
ビ１３は、撮像された画像を映し出し、オペレータによ
りワークＷのアライメントや加工状態の評価が行われ
る。表示灯１４は、オペレータが遠くから判明できるよ
うに高い位置に取付けられ、切削装置１０の稼動中、待
機中、及び異常を示す警告等を表示する。
の操作を行うスイッチや表示手段が設けられている。撮
像部１２は、顕微鏡、照明装置、及びＣＣＤカメラ等か
ら構成され、ワークＷの表面を撮像する。モニターテレ
ビ１３は、撮像された画像を映し出し、オペレータによ
りワークＷのアライメントや加工状態の評価が行われ
る。表示灯１４は、オペレータが遠くから判明できるよ
うに高い位置に取付けられ、切削装置１０の稼動中、待
機中、及び異常を示す警告等を表示する。
【００２６】前記のごとく構成された本実施の形態の切
削装置１０の作用は次のとおりである。
削装置１０の作用は次のとおりである。
【００２７】先ずオペレータがミストカバー４０を上方
に回転させて開き、加工部２０のスピンドルに回転刃２
１をセットし、ミストカバー４０を下方に回転させて閉
じる。この時ワークテーブル２５は、回転刃２１の取付
けの邪魔にならないように、撮像部１２の顕微鏡の下に
位置している。次にワークＷがワークテーブル２５に載
置され、真空吸着される。次いで顕微鏡の下で撮像部１
２により、ワークＷの表面に形成されているパターンが
撮像され、その画像がモニターテレビ１３に映し出され
る。ここでオペレータはモニターテレビ１３に映し出さ
れた画像を見ながら操作・表示部１１のスイッチを操作
して、ワークＷのアライメントを行う。アライメントが
完了したワークＷは、Ｘテーブル２７の移動により加工
部２０に搬入され、高速回転する回転刃２１とＸテーブ
ル２７による切削移動とにより溝加工や切断加工がなさ
れる。加工中は切削ノズル２３から切削水が加工ポイン
トに供給され、洗浄ノズル２４からは洗浄水が供給され
る。１ラインの加工が終了すると、回転刃２１はＹ方向
にインデックス送りされて次のラインに位置付けられ、
Ｘテーブル２７の切削移動によりこのラインも加工され
る。このような動作が繰り返されて、ワークＷの一方向
の全ラインの加工が終了すると、θテーブル２６がワー
クＷを９０度回転させ、先ほどのラインと直交するライ
ンに合わせて加工が行われる。全加工が終了するとワー
クＷは顕微鏡の位置まで搬送され、表示灯１４の加工完
了を知らせるランプが点滅する。ここでオペレータは必
要に応じ、撮像部１２でワークＷの加工部分を撮像し、
加工状態を観察した後にワークＷをワークテーブル２５
から取り外す。以上が切削装置１０によるワークＷの加
工の流れである。
に回転させて開き、加工部２０のスピンドルに回転刃２
１をセットし、ミストカバー４０を下方に回転させて閉
じる。この時ワークテーブル２５は、回転刃２１の取付
けの邪魔にならないように、撮像部１２の顕微鏡の下に
位置している。次にワークＷがワークテーブル２５に載
置され、真空吸着される。次いで顕微鏡の下で撮像部１
２により、ワークＷの表面に形成されているパターンが
撮像され、その画像がモニターテレビ１３に映し出され
る。ここでオペレータはモニターテレビ１３に映し出さ
れた画像を見ながら操作・表示部１１のスイッチを操作
して、ワークＷのアライメントを行う。アライメントが
完了したワークＷは、Ｘテーブル２７の移動により加工
部２０に搬入され、高速回転する回転刃２１とＸテーブ
ル２７による切削移動とにより溝加工や切断加工がなさ
れる。加工中は切削ノズル２３から切削水が加工ポイン
トに供給され、洗浄ノズル２４からは洗浄水が供給され
る。１ラインの加工が終了すると、回転刃２１はＹ方向
にインデックス送りされて次のラインに位置付けられ、
Ｘテーブル２７の切削移動によりこのラインも加工され
る。このような動作が繰り返されて、ワークＷの一方向
の全ラインの加工が終了すると、θテーブル２６がワー
クＷを９０度回転させ、先ほどのラインと直交するライ
ンに合わせて加工が行われる。全加工が終了するとワー
クＷは顕微鏡の位置まで搬送され、表示灯１４の加工完
了を知らせるランプが点滅する。ここでオペレータは必
要に応じ、撮像部１２でワークＷの加工部分を撮像し、
加工状態を観察した後にワークＷをワークテーブル２５
から取り外す。以上が切削装置１０によるワークＷの加
工の流れである。
【００２８】次に、ミストカバー４０の作用について説
明する。
明する。
【００２９】アライメント終了後、切削動作開始と同時
に電磁弁５０ＡがＯＮされ、ノズル４２から水の吹き出
しを開始する。ワークＷの切削作業中は、図３に示すよ
うに、ミストカバー４０内側にノズル４２から適量の水
が常時吹き出されるように、オペレータが手動でバルブ
４８Ａを調整しておく。このようにミストカバー４０内
側を洗浄して、コンタミ等の付着を防止することによ
り、加工部２０内の観察が容易になるとともに、ミスト
カバー４０の定期的な洗浄が不要になる。
に電磁弁５０ＡがＯＮされ、ノズル４２から水の吹き出
しを開始する。ワークＷの切削作業中は、図３に示すよ
うに、ミストカバー４０内側にノズル４２から適量の水
が常時吹き出されるように、オペレータが手動でバルブ
４８Ａを調整しておく。このようにミストカバー４０内
側を洗浄して、コンタミ等の付着を防止することによ
り、加工部２０内の観察が容易になるとともに、ミスト
カバー４０の定期的な洗浄が不要になる。
【００３０】ワークＷの切削作業の終了後、電磁弁５０
ＡがＯＦＦに切り替えられ、電磁弁５０Ａから水の供給
が停止し、ノズル４２から水を吹き出すことを停止す
る。それとともに、電磁弁５０ＢがＯＮに切り替えら
れ、バルブ４８Ｂ、ティー継手４６、供給用チューブ４
４を介して、ノズル４２からミストカバー４０内面を乾
燥するエアが吹き出される。このようにミストカバー４
０内側を乾燥することにより、加工部２０の内部をより
明瞭に見ることができる。
ＡがＯＦＦに切り替えられ、電磁弁５０Ａから水の供給
が停止し、ノズル４２から水を吹き出すことを停止す
る。それとともに、電磁弁５０ＢがＯＮに切り替えら
れ、バルブ４８Ｂ、ティー継手４６、供給用チューブ４
４を介して、ノズル４２からミストカバー４０内面を乾
燥するエアが吹き出される。このようにミストカバー４
０内側を乾燥することにより、加工部２０の内部をより
明瞭に見ることができる。
【００３１】更に、本実施の形態では、切削作業中、ミ
ストカバー４０内側にノズル４２から水が常時吹き出さ
れる例を説明したが、本発明は、これに限らず、一定時
間間隔をおいてノズル４２から水を吹き出すように、コ
ントローラ１５により指令信号を出力してもよい。
ストカバー４０内側にノズル４２から水が常時吹き出さ
れる例を説明したが、本発明は、これに限らず、一定時
間間隔をおいてノズル４２から水を吹き出すように、コ
ントローラ１５により指令信号を出力してもよい。
【００３２】更に、ミストカバー４０内側にノズル４２
から一定時間間隔をおいて水を吹き出すために、ＯＮ又
はＯＦＦに切り換えることにより水の吹き出しと停止を
行う洗浄指令スイッチ、又は押圧中に水を吹き出す洗浄
指令スイッチ、或いは押圧後の一定時間水を吹き出す洗
浄指令スイッチを設けてもよい。
から一定時間間隔をおいて水を吹き出すために、ＯＮ又
はＯＦＦに切り換えることにより水の吹き出しと停止を
行う洗浄指令スイッチ、又は押圧中に水を吹き出す洗浄
指令スイッチ、或いは押圧後の一定時間水を吹き出す洗
浄指令スイッチを設けてもよい。
【００３３】更に、ノズル４２はミストカバー４０の頂
点部に取付けることに限らず、ミストカバー４０内側の
適所に取り回すことができる。
点部に取付けることに限らず、ミストカバー４０内側の
適所に取り回すことができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る切削装
置によれば、ミストカバー内側に水及びエアを吹き出す
洗浄手段を設けたので、ワークの切削作業の際に、ミス
トカバー内側に付着するコンタミネーションを水で洗浄
するようにし、洗浄後はエアで水分を吹き飛ばすように
しているので、加工部内を容易に観察することができ
る。
置によれば、ミストカバー内側に水及びエアを吹き出す
洗浄手段を設けたので、ワークの切削作業の際に、ミス
トカバー内側に付着するコンタミネーションを水で洗浄
するようにし、洗浄後はエアで水分を吹き飛ばすように
しているので、加工部内を容易に観察することができ
る。
【図１】本発明に係る切削装置の外観斜視図
【図２】本発明に係る切削装置の加工部の詳細図
【図３】洗浄機能が取付けられているミストカバーの詳
細図
細図
Ｗ…ワーク、１０…切削装置、１１…操作・表示部、２
０…加工部、２１…回転刃、４０…ミストカバー、４２
…ノズル、４４…供給用チューブ
０…加工部、２１…回転刃、４０…ミストカバー、４２
…ノズル、４４…供給用チューブ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 福岡 一也
東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式
会社東京精密内
(72)発明者 浅野 貴行
東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式
会社東京精密内
Ｆターム(参考） 3B201 AA47 AB53 BB22 BB92 BB98
CC12 CD35
3C011 BB11 BB15 DD03
3C069 AA01 BA04 CA05 DA05 DA07
Claims (6)
- 【請求項１】 回転刃により半導体や電子部品材料等の
溝加工や切断加工を行う加工部を有する切削装置におい
て、 前記加工部に設けられ上下方向に回転して開閉されるミ
ストカバーを有し、該ミストカバー内側には、内側に付
着したコンタミネーションを洗浄する洗浄手段が備えら
れていることを特徴とする切削装置。 - 【請求項２】 前記洗浄手段は、前記ミストカバー内面
に向けて洗浄用の水を吹き出すとともに、洗浄後の前記
ミストカバー内面を乾燥するエアを吹き出すノズルであ
ることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。 - 【請求項３】 前記洗浄手段は、切削作業開始と共に、
水を吹き出すように構成されていることを特徴とする請
求項２に記載の切削装置。 - 【請求項４】 前記洗浄手段は、切削作業中に、一定時
間間隔をおいて水を吹き出すように構成されていること
を特徴とする請求項２に記載の切削装置。 - 【請求項５】 前記洗浄手段は、必要に応じてなされる
洗浄指令スイッチのＯＮ操作により、水を吹き出すよう
に構成されていることを特徴とする請求項２に記載の切
削装置。 - 【請求項６】 前記ミストカバーは、前記洗浄手段から
吹き出される水及びエアが内側に沿って流れるように傾
斜した形状であることを特徴とする請求項２、３、４、
又は５のうちいずれか１項に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001344470A JP2003145389A (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001344470A JP2003145389A (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 切削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003145389A true JP2003145389A (ja) | 2003-05-20 |
Family
ID=19157989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001344470A Pending JP2003145389A (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003145389A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2001
- 2001-11-09 JP JP2001344470A patent/JP2003145389A/ja active Pending
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