JP2003117705A - 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗
性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。 【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金基体または
炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、（ａ）０．０
５〜０．５μｍの平均層厚を有し、組成式：（Ｔｉ_1-X
Ａｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．２
５を示す）を満足し、Ｘ線回折装置による測定で、（１
１１）面に最高ピークが現われ、最高ピークの半価幅が
２θで０．８度以下であるＸ線回折パターンを示すＴｉ
基複合窒化物層からなる結晶配向履歴層を介して、
（ｂ）２〜１０μｍの平均層厚を有し、組成式：（Ｔｉ
_1-YＡｌ_Y）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは０．４〜０．７
を示す）を満足し、Ｘ線回折装置による測定で、（１１
１）面に最高ピークが現われ、最高ピークの半価幅が２
θで０．８度以下であるＸ線回折パターンを示すＴｉと
Ａｌの複合窒化物層からなる硬質被覆層を物理蒸着して
なる。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】この発明は、硬質被覆層がす
ぐれた高温特性を有し、してがって各種の鋼や鋳鉄など
の高熱発生を伴う高速切削加工で、すぐれた耐摩耗性を
発揮する表面被覆超硬合金製切削工具（以下、被覆超硬
工具という）に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】一般に、切削工具には、各種の鋼や鋳鉄
などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部
に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチッ
プ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリ
ルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や
溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエン
ドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着
脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと
同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具な
どが知られている。 【０００３】また、切削工具として、炭化タングステン
（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン
（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体
（以下、これらを総称して超硬基体と云う）の表面に、
組成式：（Ａｌ_1-YＴｉ_Y）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは
０．４〜０．７を示す）を満足するＴｉとＡｌの複合窒
化物［以下、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎで示す］層からなる硬質
被覆層を２〜１０μｍの平均層厚で物理蒸着してなる被
覆超硬工具が知られており、これが各種の鋼や鋳鉄など
の連続切削や断続切削加工に用いられることも良く知ら
れるところである。 【０００４】さらに、上記の被覆超硬工具が、例えば図
３に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるア
ークイオンプレーティング装置に上記の超硬基体を装入
し、ヒータで装置内を、例えば５００℃の温度に加熱し
た状態で、アノード電極と所定組成を有するＴｉ−Ａｌ
合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、
例えば電圧：３５Ｖ、電流：９０Ａの条件でアーク放電
を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを
導入して、２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記超硬基体
には、例えば−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件
で、前記超硬合金基体の表面に、上記（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ
層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造される
ことも知られている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】近年の切削加工装置の
高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化
および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これ
に伴い、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来
被覆超硬工具においては、これを通常の切削加工条件で
用いた場合には問題はないが、これを高い発熱を伴う高
速切削条件用いた場合には、硬質被覆層の摩耗進行が促
進され、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状であ
る。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、高速切削加工ですぐれた耐摩耗
性を発揮する被覆超硬工具を開発すべく、特に上記の従
来被覆超硬工具を構成する硬質被覆層に着目し、研究を
行った結果、 （ａ）上記の従来被覆超硬工具を構成する（Ｔｉ，Ａ
ｌ）Ｎ層からなる硬質被覆層は、Ｃｕ−Ｋα線を用いた
Ｘ線回折装置による切刃のすくい面および逃げ面の測定
で、、図２に例示される通り（１１１）面に最高ピーク
が現われ、かつ前記最高ピークの半価幅が２θで１度以
上であるＸ線回折パターンを示すが、この硬質被覆層を
超硬基体表面に物理蒸着形成するに先だって、予め組成
式：（Ｔｉ _1-XＡｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．
０５〜０．２５を示す）を満足するＴｉ基複合窒化物
［以下、（Ｔｉ−ａｌ）Ｎで示す］層をきわめて薄い
０．０５〜０．５μｍの平均層厚で蒸着形成しておく
と、前記（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層は、（１１１）面に高配向
し、前記（１１１）面のピークの半価幅が２θで０．８
度以下のＸ線回折パターンを示すので、これの上に物理
蒸着された、本来Ｘ線回折パターンの（１１１）面にお
けるピークの半価幅が１度以上であるＸ線回折パターン
を示す前記（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層も前記（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ
層による結晶配向履歴効果によって前記（１１１）面の
ピークの半価幅が図１に例示される通り２θで０．８度
以下の向配向Ｘ線回折パターンを示すようになること。 【０００７】（ｂ）Ｘ線回折パターンの（１１１）面に
おけるピークの半価幅が２θで０．８度以下を示す高配
向の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、同ピークの半価幅が１度以
上の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に比して高温特性（高温耐酸化
性および高温硬さ）にすぐれているので、前記高配向の
（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる硬質被覆層を超硬基体表面
に物理蒸着してなる被覆超硬工具は、高い発熱を伴う鋼
や軟鋼などの高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮す
るようになること。以上（ａ）および（ｂ）に示される
研究結果を得たのである。 【０００８】この発明は、上記の研究結果に基づいてな
されたものであって、超硬基体の表面に、（ａ）０．０
５〜０．５μｍの平均層厚を有し、かつ、 組成式：（Ｔｉ_1-XＡｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは
０．０５〜０．２５を示す）を満足満足し、さらに、Ｃ
ｕ−Ｋα線を用いたＸ線回折装置による切刃のすくい面
および逃げ面の測定で、（１１１）面に最高ピークが現
われ、かつ前記最高ピークの半価幅が２θで０．８度以
下であるＸ線回折パターンを示す（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層か
らなる結晶配向履歴層を介して、（ｂ）２〜１０μｍの
平均層厚を有し、 組成式：（Ｔｉ_1-YＡｌ_Y）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは
０．４〜０．７を示す）を満足し、同じくＣｕ−Ｋα線
を用いたＸ線回折装置による切刃のすくい面および逃げ
面の測定で、（１１１）面に最高ピークが現われ、かつ
前記最高ピークの半価幅が２θで０．８度以下であるＸ
線回折パターンを示す（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる硬質
被覆層を物理蒸着してなる、高速切削加工で硬質被覆層
がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬工具に特徴を有
するものである。 【０００９】つぎに、この発明の被覆超硬工具におい
て、これを構成する結晶配向履歴層および硬質被覆層の
組成および平均層厚を上記の通りに限定した理由を説明
する。 （ａ）結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層］ （Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層におけるＡｌ成分には、層の（１１
１）結晶面を切刃のすくい面および逃げ面に対して垂直
方向に配向する作用があるが、Ａｌの割合がＴｉとの合
量に占める割合（原子比）で０．０５未満では、（１１
１）面の配向が不十分で、（１１１）面に現われる最高
ピークの半価幅を２θで０．８度以下に高配向させるこ
とができず、一方その割合が同じく０．２５を越えて
も、結晶配向が乱れるようになって、（１１１）面を高
配向させることが困難になることから、その割合を０．
０５〜０．２５と定めた。また、その平均層厚が０．０
５μｍ未満では、（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層の本来有する（１
１１）面の高配向性を硬質被覆層にに転化する結晶配向
履歴効果を十分に発揮させることができず、一方この結
晶配向履歴効果は０．５μｍまでの平均層厚で十分であ
ることから、その平均層厚を０．０５〜０．５μｍと定
めた。 【００１０】（ｂ）硬質被覆層［（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層］ （Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層のＡｌは、高靭性を有するＴｉＮ層
の硬さおよび耐熱性を高め、もって耐摩耗性を向上させ
る目的で含有するが、その割合がＴｉとの合量に占める
割合（原子比）で０．４未満では所望の耐摩耗性向上効
果が得られず、一方その割合が同じく０．７を越える
と、切刃にチッピング（微小欠け）などが発生し易くな
ることから、その割合を０．４〜０．７と定めた。ま
た、その平均層厚が２μｍ未満では、所望の耐摩耗性を
確保することができず、一方その平均層厚が１０μｍを
越えると、切刃にチッピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を２〜１０μｍと定めた。さらに、Ｘ
線回折パターンの（１１１）面に現われる最高ピークの
半価幅：２θで０．８度以下は、試験結果に基づいて経
験的に定めたものであり、したがって前記半価幅が２θ
で０．８度以下の場合に、特に高速切削加工ですぐれた
耐摩耗性を発揮し、前記半価幅が同０．８度を越えて大
きくなる、すなわち（１１１）面の配向性が低下するよ
うになると、所望の耐摩耗性を確保することができなく
なる、という理由によるものである。 【００１１】 【発明の実施の形態】つぎに、この発明の被覆超硬工具
を実施例により具体的に説明する。 （実施例１）原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平
均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、Ｖ
Ｃ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ₃ Ｃ₂ 粉末、Ｔ
ｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これ
ら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボー
ルミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰ
ａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐ
ａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼
結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加
工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ
形状をもったＷＣ基超硬合金製の超硬基体Ａ１〜Ａ１０
を形成した。 【００１２】また、原料粉末として、いずれも０．５〜
２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／
ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ₂ Ｃ粉末、ＺｒＣ粉
末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、お
よびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合
し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス
成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：
１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃
部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規
格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＴｉＣ
Ｎ系サーメット製の超硬基体Ｂ１〜Ｂ６を形成した。 【００１３】ついで、これら超硬基体Ａ１〜Ａ１０およ
びＢ１〜Ｂ６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した
状態で、それぞれ図３に例示される通常のアークイオン
プレーティング装置に装入し、一方カソード電極（蒸発
源）として種々の成分組成をもったＴｉ−ａｌ合金およ
びＴｉ−Ａｌ合金を装着し、装置内を排気して０．５Ｐ
ａの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃
に加熱した後、Ａｒガスを装置内に導入して１０Ｐａの
Ａｒ雰囲気とし、この状態で超硬基体に−８００ｖのバ
イアス電圧を印加して超硬基体表面をＡｒガスボンバー
ト洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導
入して２Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記超硬基体
に印加するバイアス電圧を−１００ｖに下げて、前記カ
ソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生さ
せ、もって前記超硬基体Ａ１〜Ａ１０およびＢ１〜Ｂ６
のそれぞれの表面に、表３，４に示される目標組成およ
び目標層厚の結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層］お
よび硬質被覆層［（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層］を蒸着すること
により、図４（ａ）に概略斜視図で、同（ｂ）に概略縦
断面図で示される形状を有する本発明被覆超硬工具とし
ての本発明表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ
（以下、本発明被覆超硬チップと云う）１〜２０をそれ
ぞれ製造した。また、比較の目的で、表５，６に示され
る通り上記結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層］の形
成を行なわない以外は同一の条件で従来被覆超硬工具と
しての従来表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ
（以下、従来被覆超硬チップと云う）１〜２０をそれぞ
れ製造した。 【００１４】つぎに、上記本発明被覆超硬チップ１〜２
０および従来被覆超硬チップ１〜２０について、これを
工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状
態で、 被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の丸棒、 切削速度：２２０ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：１ｍｍ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１０分、 の条件での合金鋼の乾式高速連続旋削加工試験、 被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの長さ方向等間隔４本縦溝入
り丸棒、 切削速度：１８０ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：１．５ｍｍ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１０分、 の条件での炭素鋼の乾式高速断続旋削加工試験、さら
に、 被削材：ＪＩＳ・ＦＣ３００の長さ方向等間隔４本縦溝
入り丸棒、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：１．５ｍｍ、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１０分、 の条件での鋳鉄の乾式高速断続旋削加工試験を行い、い
ずれの旋削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定し
た。この測定結果を表７、８に示した。 【００１５】 【表１】 【００１６】 【表２】【００１７】 【表３】 【００１８】 【表４】 【００１９】 【表５】【００２０】 【表６】 【００２１】 【表７】【００２２】 【表８】 【００２３】（実施例２）原料粉末として、平均粒径：
５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微
粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍ
のＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒＣ粉末、同２．３μ
ｍのＣｒ₃Ｃ₂粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０
μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ粉末、および同１．８μｍのＣｏ
粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表９に示され
る配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン
中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、１０
０ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形
し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／
分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の
温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で
焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの
３種の超硬基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記
の３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表９に示され
る組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ６ｍｍ×１
３ｍｍ、１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍ
ｍの寸法をもった超硬基体（エンドミル）ａ〜ｈをそれ
ぞれ製造した。 【００２４】ついで、これらの超硬基体（エンドミル）
ａ〜ｈの表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音
波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図３に例示される通
常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実
施例１と同一の条件で、表１０に示される目標組成およ
び目標層厚をもった結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ
層］および硬質被覆層［（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層］を蒸着す
ることにより、図５（ａ）に概略正面図で、同（ｂ）に
切刃部の概略横断面図で示される形状を有する本発明被
覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製エンドミ
ル（以下、本発明被覆超硬エンドミルと云う）１〜８を
それぞれ製造した。また、比較の目的で、表１１に示さ
れる通り上記結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層］の
形成を行なわない以外は同一の条件で従来被覆超硬工具
としての従来表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、従
来被覆超硬エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造し
た。 【００２５】つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル１
〜８および従来被覆超硬エンドミル１〜８のうち、本発
明被覆超硬エンドミル１〜３および従来被覆超硬エンド
ミル１〜３については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＳＫＤ１１の板材、 切削速度：７０ｍ／ｍｉｎ．、 溝深さ（切り込み）：３ｍｍ、 テーブル送り：５００ｍｍ／分、 の条件での工具鋼の湿式高速溝切削加工試験（水溶性切
削油使用）、本発明被覆超硬エンドミル４〜６および従
来被覆超硬エンドミル４〜６については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、 切削速度：１００ｍ／ｍｉｎ．、 溝深さ（切り込み）：５ｍｍ、 テーブル送り：４００ｍｍ／分、 の条件でのステンレス鋼の湿式高速溝切削加工試験、本
発明被覆超硬エンドミル７，８および従来被覆超硬エン
ドミル７，８については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＳＮＣＭ４３９の板材、 切削速度：１００ｍ／ｍｉｎ．、 溝深さ（切り込み）：１０ｍｍ、 テーブル送り：７５０ｍｍ／分、 の条件での合金鋼の湿式高速溝切削加工試験（いずれの
試験も水溶性切削油使用）、をそれぞれ行い、いずれの
溝切削加工試験でも切刃部先端面の直径が使用寿命の目
安とされる０．２ｍｍ減少するまでの切削溝長を測定し
た。この測定結果を表１０、１１にそれぞれ示した。 【００２６】 【表９】 【００２７】 【表１０】 【００２８】 【表１１】【００２９】（実施例３）上記の実施例２で製造した直
径が８ｍｍ（超硬基体ａ〜ｃ形成用）、１３ｍｍ（超硬
基体ｄ〜ｆ形成用）、および２６ｍｍ（超硬基体ｇ、ｈ
形成用）の３種の丸棒焼結体を用い、この３種の丸棒焼
結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれ
ぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ（超硬基体ａ´〜ｃ´）、８ｍｍ
×２２ｍｍ（超硬基体ｄ´〜ｆ´）、および１６ｍｍ×
４５ｍｍ（超硬基体ｇ´、ｈ´）の寸法をもった超硬基
体（ドリル）ａ´〜ｈ´をそれぞれ製造した。 【００３０】ついで、これらの超硬基体（ドリル）ａ´
〜ｈ´の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音
波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図３に例示される通
常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実
施例１と同一の条件で、表１２に示される目標組成およ
び目標層厚をもった結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ
層］および硬質被覆層［（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層］を蒸着す
ることにより、図６（ａ）に概略正面図で、同（ｂ）に
溝形成部の概略横断面図で示される形状を有する本発明
被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製ドリル
（以下、従来被覆超硬ドリルと云う）１〜８をそれぞれ
製造した。また、比較の目的で、表１３に示される通り
上記結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層］の形成を行
なわない以外は同一の条件で従来被覆超硬工具としての
従来表面被覆超硬合金製ドリル（以下、従来被覆超硬ド
リルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。 【００３１】つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル１〜８
および従来被覆超硬ドリル１〜８のうち、本発明被覆超
硬ドリル１〜３および従来被覆超硬ドリル１〜３につい
ては、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０厚さ：５０ｍｍ
のＪＩＳ・ＳＫＤ６１の板材、 切削速度：２５ｍ／ｍｉｎ．、 送り：０．１５ｍｍ／ｒｅｖ、 の条件での工具鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発
明被覆超硬ドリル４〜６および従来被覆超硬ドリル４〜
６については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＦＣＤ４００の板材、 切削速度：４５ｍ／ｍｉｎ．、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ、 の条件でのダクタイル鋳鉄の湿式高速穴あけ切削加工試
験、本発明被覆超硬ドリル７，８および従来被覆超硬ド
リル７，８については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＦＣ３００の板材、 切削速度：６０ｍ／ｍｉｎ．、 送り：０．２５ｍｍ／ｒｅｖ、 の条件での鋳鉄の湿式高速穴あけ切削加工試験、をそれ
ぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶
性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３
ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結
果を表１２、１３にそれぞれ示した。 【００３２】 【表１２】【００３３】 【表１３】 【００３４】なお、この結果得られた本発明被覆超硬工
具としての本発明被覆超硬チップ１〜２０、本発明被覆
超硬エンドミル１〜８、および本発明被覆超硬ドリル１
〜８の結晶配向履歴層［（Ｔｉ−ａｌ）Ｎ層］および硬
質被覆層［（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層］、並びに従来被覆超硬
工具としての従来被覆超硬チップ１〜２０、従来被覆超
硬エンドミル１〜８、および従来被覆超硬ドリル１〜８
の硬質被覆層［（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層］の組成について、
その厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置を用いて測
定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を
示した。また、これらの本発明被覆超硬工具、並びに従
来被覆超硬工具の上記構成層の厚さを、走査型電子顕微
鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実
質的に同じ平均層厚（５点測定の平均値）を示した。さ
らに、これらの本発明被覆超硬工具、並びに従来被覆超
硬工具の上記構成層をＣｕ−Ｋα線を用いたＸ線回折装
置にて切刃のすくい面および逃げ面を観察し、この結果
得られたＸ線回折パターンから（１１１）面に現われた
ピークの半価幅を測定し（この場合正確な測定が困難な
場合には、上記の実施例時にアークイオンプレーティン
グ装置に同時に装入した測定ピースのＸ線回折パターン
を用いて測定した）、この測定結果を表３〜６および表
１０〜１３にそれぞれ示した。 【００３５】 【発明の効果】表３〜１３に示される結果から、結晶配
向履歴層の介在によって硬質被覆層の（１１１）結晶面
が高配向し、これによってすぐれた高温特性（高温耐酸
化性および高温硬さ）を具備すようになる本発明被覆超
硬工具は、いずれも鋼や鋳鉄の切削加工を高い発熱を伴
う高速で行っても、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対
して、硬質被覆層の（１１１）結晶面の配向性の低い従
来被覆超硬工具においては、高温を伴う高速切削加工で
は切刃の摩耗進行が速く、比較的短時間で使用寿命に至
ることが明らかである。上述のように、この発明の被覆
超硬工具は、特に各種の鋼や鋳鉄などの高速切削加工で
もすぐれた耐摩耗性を発揮し、長期に亘ってすぐれた切
削性能を示すものであるから、切削加工装置の高性能
化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低
コスト化に十分満足に対応できるものである。

【図面の簡単な説明】 【図１】この発明の被覆超硬工具を構成する硬質被覆層
が例示するＸ線回折パターンである。 【図２】従来被覆超硬工具を構成する硬質被覆層が例示
するＸ線回折パターンである。 【図３】アークイオンプレーティング装置の概略説明図
である。 【図４】（ａ）は被覆超硬チップの概略斜視図、（ｂ）
は被覆超硬チップの概略縦断面図である。 【図５】（ａ）は被覆超硬エンドミル概略正面図、
（ｂ）は同切刃部の概略横断面図である。 【図６】（ａ）は被覆超硬ドリルの概略正面図、（ｂ）
は同溝形成部の概略横断面図である。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C046 FF03 FF05 FF10 FF16 FF19 FF25 4K029 AA04 BA58 BB02 BC02 BD03 CA03 DD06 FA04

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金基体または
   炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、 （ａ）０．０５〜０．５μｍの平均層厚を有し、 組成式：（Ｔｉ_1-XＡｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは
   ０．０５〜０．２５を示す）を満足し、 さらに、Ｃｕ−Ｋα線を用いたＸ線回折装置による切刃
   のすくい面および逃げ面の測定で、（１１１）面に最高
   ピークが現われ、かつ前記最高ピークの半価幅が２θで
   ０．８度以下であるＸ線回折パターンを示すＴｉ基複合
   窒化物層からなる結晶配向履歴層を介して、 （ｂ）２〜１０μｍの平均層厚を有し、 組成式：（Ｔｉ_1-YＡｌ_Y）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは
   ０．４〜０．７を示す）を満足し、 同じくＣｕ−Ｋα線を用いたＸ線回折装置による切刃の
   すくい面および逃げ面の測定で、（１１１）面に最高ピ
   ークが現われ、かつ前記最高ピークの半価幅が２θで
   ０．８度以下であるＸ線回折パターンを示すＴｉとＡｌ
   の複合窒化物層からなる硬質被覆層を物理蒸着してな
   る、高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発
   揮する表面被覆超硬合金製切削工具。