JP2003114112A - 倣いプローブの校正方法および校正プログラム - Google Patents
倣いプローブの校正方法および校正プログラムInfo
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Abstract
こと。 【解決手段】 倣いプローブによって校正基準を予備測
定した後、この校正基準を測定するパートプログラムを
作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測定
を行ない、座標変換関数の校正値と校正基準の基準座標
値とを求めた後、新たなこれらの校正値と基準座標値を
用いて、再度、この校正基準を測定するパートプログラ
ムを作成すると共に該パートプログラムを実行して校正
測定を行ない、より高精度な座標変換関数の校正値と校
正基準の基準座標値とを求める。
Description
正方法に関し、特に被測定物の寸法、形状、うねり、粗
さなどの表面性状を測定する倣いプローブの誤差を校正
する校正方法に関する。
定機、二次元の輪郭形状を測定する輪郭形状測定機や画
像測定機、真円度を測定する真円度測定機、更に被測定
物表面のうねりや粗さ等を測定する表面粗さ測定機など
の、被測定物表面の輪郭形状、粗さ、うねりなどを測定
する表面性状測定機が知られている。これらは接触式あ
るいは非接触式のセンサーと被測定物を相対的に移動さ
せる案内機構を1軸乃至複数軸備えているものが多い。
の送りねじに螺合されたナットを備え、このナットに結
合されたスライダを移動させ、そのスライダの移動をリ
ニヤスケールなどで測定する構成のものが多い。また、
必ずしも送りねじを備えず、ガイドとスライダから構成
され、手動で移動させられるスライダの変位量をリニヤ
スケールなどで読み取るものもある。通常はスライダに
プローブやCCDカメラなどのセンサーが1種類あるい
は複数種類取り付けられている。これらの用途に用いら
れるプローブには、タッチ信号プローブと倣いプローブ
がある。
次元測定機100のスピンドル117の先端に取り付け
て用いる場合の例を示している。この三次元測定機10
0は次のように構成されている。除振台111の上に
は、定盤112がその上面をベース面として水平面と一
致するように載置され、この定盤112の両側端から立
設されたビーム支持体113a,113bの上端でX軸
方向に延びるビーム114を支持している。ビーム支持
体113aは、その下端がY軸駆動機構115によって
Y軸方向に駆動される。また、ビーム支持体113b
は、その下端がエアーベアリングによって定盤112に
Y軸方向に移動可能に支持されている。ビーム支持体1
13a、113bの移動現在位置はY軸スケール245
によって検出される。
延びるコラム116を支持する。コラム116は、ビー
ム114に沿ってX軸方向に駆動される。コラム116
の移動現在位置はX軸スケール244によって検出され
る。コラム116には、スピンドル117がコラム11
6に沿ってZ軸方向に駆動されるように設けられてい
る。スピンドル117の移動現在位置はZ軸スケール2
46によって検出される。
定子119と接触球121を備えた倣いプローブ118
が装着されている。このプローブ118が、定盤112
上に載置された被測定物を測定する。X軸スケール24
4、Y軸スケール245、Z軸スケール246には例え
ば光学式のリニヤスケールなどが使用される。図7のブ
ロック図に示すように、倣いプローブ118にはX軸セ
ンサ251、Y軸センサ252、Z軸センサ253が内
蔵されており、測定子119のX軸、Y軸、Z軸方向へ
の変位に従って、その変位量を各々出力する。
を駆動するX軸駆動回路261、Y軸駆動機構115を
駆動するY軸駆動回路262、Z軸駆動機構125を駆
動するZ軸駆動回路263、X軸スケール244の出力
を計数するX軸カウンタ264、Y軸スケール245の
出力を計数するY軸カウンタ265、Z軸スケール24
6の出力を計数するZ軸カウンタ266、X軸センサ2
51の出力を計数するX軸Pカウンタ267、Y軸セン
サ252の出力を計数するY軸Pカウンタ268、Z軸
センサ253の出力を計数するZ軸Pカウンタ269が
含まれており、各々は計算機270に接続されている。
従って、三次元測定機100のX軸、Y軸、Z軸の各軸
は計算機270の指令によって任意速度で任意位置に位
置決めが可能である。又、計算機270は各カウンタ2
64〜269の計数値を入力して、スピンドル217の
X軸、Y軸、Z軸の各軸の現在位置および倣いプローブ
118の測定子119の現在変位を知ることが出来るよ
うに構成されている。
換を行うための図示しない接続装置を備えるほかは、公
知の計算機と同様で、中央演算装置、記憶装置、入力装
置、表示装置、印字装置、出力装置を備えており、記憶
装置に格納されたプログラムによって、三次元測定機1
00の誤差補正、倣いプローブデータの収集、誤差の算
出、誤差の表示、誤差の関数化、補正データの出力など
の校正処理全般が自動制御あるいは必要に応じてそれぞ
れの機能を半自動制御あるいは手動制御される。
換は通常は有線通信でIEEE488などの伝送制御手
順を利用して行われるが、必要に応じて無線通信や光通
信などを用いても良い。倣いプローブ118は、被測定
物の位置を連続的に測定することが可能なため、被測定
物の複数箇所を測定して輪郭データを密に高速に求める
ことが容易に出来るので、環境変動の影響を受け難く、
全体として高精度測定ができる可能性がある。
5-256640に示されたプローブがある(図8参照)。この
プローブは、基台に対してそれぞれ直交方向に移動自在
なX軸スライダとY軸スライダとZ軸スライダを介して
触針が支持されており、この基台及び3つのスライダの
間の摺動部には加圧空気が送出され空気軸受けを構成す
ることにより極めて摩擦が少ない案内機構が構成されて
いる。また、この基台とZ軸スライダ、Z軸スライダと
Y軸スライダと、Y軸スライダとX軸スライダとの各々
の相対変位を検出するZ軸センサ、Y軸センサ、X軸セ
ンサの3つのセンサが設けられており、これら3つのセ
ンサによって触針の三次元的な変位量を求めることがで
きるようになっている。
学式直線スケールが用いられる。従って、この倣いプロ
ーブの触針(測定子)を被測定物の表面に接触させたま
ま、被測定物に対して倣いプローブを、被測定物の表面
方向に相対移動させれば、触針は被測定物の表面の輪郭
形状に沿って変位するので、被測定物の輪郭形状データ
を連続的に収集することが出来る。この場合、輪郭形状
データは、倣いプローブから出力される3つのセンサの
出力と、三次元測定機の駆動機構の変位を測定するリニ
ヤスケールの値を合成して求める。なお、触針が被測定
物に接触していない場合の倣いプローブのX軸スライ
ダ、Y軸スライダ、Z軸スライダの通常停止位置(復帰
位置)は、各々のアブソリュートセンサの原点位置とさ
れる。このように、倣いプローブには高速でデータ収集
が可能という特徴を備えているが、反面、タッチ信号プ
ローブに比べて案内機構やセンサなどを内蔵しているこ
とから構造が複雑となり、十分な測定精度を確保するの
が難しいという問題点がある。
変動によって生じる変形その他による誤差の発生が避け
られず、その結果Z軸スライダ、Y軸スライダ、X軸ス
ライダは正しく移動することができなくなり、このスラ
イダの変位を測定するZ軸センサ、Y軸センサ、X軸セ
ンサで測定された触針の変位を示すデータには誤差が含
まれることになる。例えば図9(a)のX軸案内機構の
模式図を例にして示すと、X軸スライダがX軸方向に変
位するとき、X軸スライダがX軸の回りに回転するロー
リング、X軸スライダがY軸の回りに回転するピッチン
グ、X軸スライダがZ軸の回りに回転するヨーイングが
発生する。また、これらの回転運動に起因する誤差の他
に、X軸案内機構の運動の直線性に起因する真直度誤差
がある。これには、X軸スライダがX軸方向に変位する
とき、Y軸方向に変位するY軸真直度誤差と、Z軸方向
に変位するZ軸真直度誤差がある。
する指示値の誤差(指示誤差)が測定全領域に渡って存
在する。すなわち、1軸あたり6種類の誤差が考えられ
るが、これらの誤差の他に直交性に起因する直交誤差が
あり、三次元倣いプローブの場合には、X軸とY軸、Y
軸とZ軸、Z軸とX軸の3種類の直交誤差があるので、
少なくとも21種類の幾何学的な誤差が発生する可能性
がある。すなわち、回転運動に起因する誤差(回転誤
差)は、X軸回りの回転をA、Y軸回りの回転をB、Z
軸回りの回転をCとすると、A(x)=X軸ロール誤
差、A(y)=Y軸ピッチ誤差、A(z)=Z軸ピッチ
誤差、B(x)=X軸ピッチ誤差、B(y)=Y軸ロー
ル誤差、B(z)=Z軸ヨウ誤差、C(x)=X軸ヨウ
誤差、C(y)=Y軸ヨウ誤差、C(z)=Z軸ロール
誤差となる。真直度誤差は、X(y)=X軸方向のY軸
真直度誤差、X(z)=X軸方向のZ軸真直度誤差、Y
(x)=Y軸方向のX軸真直度誤差、Y(z)=Y軸方
向のZ軸真直度誤差、Z(x)=Z軸方向のX軸真直度
誤差、Z(y)=Z軸方向のY軸真直度誤差となる。
差、Y(y)=Y軸指示誤差、Z(z)=Z軸指示誤差
となる。直交誤差は、Pyx=Y軸X軸間直交誤差、P
zx=Z軸X軸間直交誤差、Pzy=Z軸Y軸間直交誤
差となる。これらの誤差は、案内機構を介して支持され
ている測定子の姿勢を変動させて、測定子の正確な位置
の決定を困難にし、その結果、測定精度を劣化させるこ
とになる。倣いプローブの場合は、同一の案内機構であ
っても測定子の長さによって、測定子の姿勢の変動量が
変わるので、同一の倣いプローブであっても長さの異な
る測定子に交換した場合は、測定誤差が変化する。一般
的には、長い測定子を用いた場合の方が測定誤差が大き
くなる傾向がある。
リング)が測定子119の接触球121に与える位置誤
差の様子を模式的に示したもので、Y軸方向にdY、Z
軸方向にdZの誤差が生じることがわかる。これらの誤
差は一般に次式に示す関数処理を行うことによって補正
することができる。 C=F(s) ここで、sは倣いプローブのX軸センサ、Y軸センサ、
Z軸センサの出力を示し、また、Cは補正後の倣いプロ
ーブの座標値(X、Y、Z)で、両者ともベクトルであ
る。
ようにあらわすこともできる。 C=K・s すなわち、座標変換行列Kが求まれば、倣いプローブの
センサ出力は補正することが出来る。更に倣いプローブ
の校正において考慮すべきものとして、プローブベクト
ルP及び補正ボール径rがある。プローブベクトルPは
スピンドルの基準位置から、測定子先端の接触球121
の中心位置までのオフセットを与えるものであり、プロ
ーブが交換された場合に、このプローブベクトルも新し
いプローブに対応するものを用いれば、プローブが異な
っても、同一のパートプログラムを使用可能にする。ま
た、補正ボール径rは測定子先端の接触球121の半径
を与えるものである。
ローブにおいては、座標変換行列K、プローブベクトル
P、補正ボール径rを求めることによって校正が行われ
る。これらの校正作業は通常、図10に示すように次の
ようにして行われる。 (a)倣いプローブ118を三次元測定機のスピンドル
117の先端に取り付ける。(ステップ320) (b)倣いプローブ118の接触球121を基準球12
0に押込んで4箇所以上の点測定による手動予備測定を
行い、各々の測定点における倣いプローブのセンサ出力
(以下、センサ出力)と三次元測定機の駆動機構のスラ
イダ変位を測定するリニヤスケール出力(以下、リニヤ
スケール出力)を合成した座標値から、基準球120の
第1の中心座標値を算出する。測定箇所は、例えば基準
球の北極位置(1箇所)、赤道位置(4箇所)のように
選択する。(ステップ330)
基準球の半径値(既知)、仮のプローブベクトルP(プ
ローブ設計図面から求まる設計値)、仮の補正ボール径
r(プローブ設計図面から求まる設計値)、を用い、座
標変換行列Kは単位ベクトルを用いて、点測定による基
準球測定用のパートプログラムを作成する。この時の測
定点は、200乃至300点程度とする。(この測定は
手動で行っても良いが、膨大な測定時間を要することか
ら、通常はパートプログラムを作成して自動測定を行
う。)(ステップ340) (d)点測定による基準球測定用のパートプログラムを
実行して測定点の座標値(センサ出力とリニヤスケール
出力)を求め、その結果から、基準球120の第2の中
心座標値(ステップ330で求めた値より正確である)
を求めると共に、座標変換行列Kを求める。(ステップ
350) (e)座標変換行列Kを用いて、プローブベクトルP、
補正ボール径rを求める。(ステップ360)
ローブを交換した場合や、プローブ取付姿勢を変更した
場合にもその都度行う必要がある上、その作業には温度
管理の徹底など、細心の注意を要する。従って、これら
の校正作業は熟練した校正作業者が多大な時間を費やし
て行う必要があるが、それにもかかわらず、必ずしも十
分な校正精度が得られていなかった。
になされたもので、倣いプローブの校正の高精度化が可
能な校正方法を提供することを目的とする。
成するために、被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第2の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記座標
変換関数校正ステップにおける算出結果を用いて、前記
校正測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを
再度実行させる再実行ステップを備え、前記プローブベ
クトル校正ステップは、前記再実行された座標変換関数
校正ステップにおける算出結果を用いて前記プローブベ
クトルの校正値を算出する、ことを特徴とする。
基準の概略の基準座標値を求めた後、この校正基準を測
定するパートプログラムを作成、測定実行する。その結
果から一旦、仮の座標変換関数と基準座標値を求め、そ
の結果を基にして再度パートプログラムを作成、測定実
行させて、その結果から再度、座標変換関数と基準座標
値を求めるので、1回目のパートプログラムによる校正
基準測定結果よりも2回目のパートプログラムによる校
正基準測定結果のほうが高い精度で測定ができる。従っ
て、座標変換関数とプローブベクトルを、より高精度で
求めることが出来るので、倣いプローブの校正精度が向
上する。
倣いプローブによって校正基準を測定して該校正基準の
基準座標値を得る予備測定ステップと、前記倣いプロー
ブの測長センサの出力を校正する座標変換関数と、測定
子のオフセットを示すプローブベクトルとを用いて前記
校正基準を測定するパートプログラムを作成すると共に
該パートプログラムを実行して校正測定を行う校正測定
ステップと、前記校正測定ステップにおける測定結果か
ら、前記座標変換関数の校正値と前記校正基準の第2の
基準座標値とを算出する座標変換関数校正ステップと、
前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果から前
記プローブベクトルの校正値を算出するプローブベクト
ル校正ステップとを備える倣いプローブの校正方法にお
いて、前記校正測定ステップと前記座標変換関数校正ス
テップとを複数回だけ実行させる再実行ステップを備
え、前記再実行される校正測定ステップにおいては、再
実行毎に前記倣いプローブの倣い速度と、前記倣いプロ
ーブと前記校正基準との相対距離、とのいずれかが相違
し、前記再実行される前記座標変換関数校正ステップに
おける算出結果は、前記倣い速度あるいは前記相対距離
毎に記憶する、ことを特徴とする。
基準の概略の基準座標値を求めた後、この校正基準を測
定するパートプログラムを作成、測定実行し、その結果
から座標変換関数の校正値を求める。この際、パートプ
ログラムを作成、測定実行、校正値算出を複数回実行さ
せ、その1回毎に倣い速度と、倣いプローブと校正基準
との相対距離(接触式プローブの場合は押込み量)、と
のいずれかを異なる条件にしておく。この結果、異なる
倣い速度と押込み量毎の、座標変換関数とプローブオフ
セットを求めることができる。このようにすれば、実際
の被測定物の倣い測定において、この倣い速度と押込み
量が最も近い座標変換関数と、プローブオフセットを用
いれば、より精度の高い誤差補正を行うことが出来る。
正ステップでは、前記再実行された座標変換関数校正ス
テップにおける算出結果を用いて、前記校正基準を再測
定した結果から、前記プローブベクトルの校正値を算出
することが好ましい。このようにすれば、より精度の高
い座標変換関数と基準座標値を用いて再度、高精度で校
正基準を測定することが出来るので、より高い精度でプ
ローブオフセットを求めることが出来る。
る倣いプローブの測定装置への取付姿勢が変更された場
合に、該倣いプローブの測長センサの出力を校正する座
標変換関数と、測定子のオフセットを示すプローブベク
トルとを前記取付姿勢に対応するように変換する変換ス
テップと、前記変換された、座標変換関数とプローブベ
クトルとを用いて校正基準を測定するパートプログラム
を作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測
定を行う校正測定ステップと、前記校正測定ステップに
おける測定結果から、前記変換された座標変換関数の校
正値と前記校正基準の基準座標値とを算出する座標変換
関数校正ステップと、前記座標変換関数校正ステップに
おける算出結果から前記変換されたプローブベクトルの
校正値を算出するプローブベクトル校正ステップと、を
備えることを特徴とする。
勢が変更された場合に、姿勢変更前の座標変換関数とプ
ローブベクトルを姿勢変更量に対応するように変換し、
その結果を用いて校正基準を測定するパートプログラム
を作成、測定実行して、その結果から座標変換関数と基
準座標値を求めるので、姿勢変更後に行う1回のみの校
正測定であっても、高い精度で座標変換関数と基準座標
値を求めることが出来る。さらにプローブオフセットの
校正値の精度も高い。従って、高精度で倣いプローブ校
正を行う必要がある場合であっても、校正時間を短縮で
きるので、被測定物測定のための段取り時間が短くな
り、全体として測定効率が向上する。
正ステップでは、前記座標変換関数校正ステップにおけ
る算出結果を用いて、前記校正基準を再測定した結果か
ら、前記変換されたプローブベクトルの校正値を算出す
る、ことが好ましい。このようにすれば、より高精度で
求められた座標変換関数と基準座標値を用いて、精度の
高い校正基準測定が行えるので、プローブベクトルの校
正値を高精度で算出できる。
前記測長センサ出力と座標変換行列の積の形式である、
ことが好ましい。このようにすれば、計算処理が容易と
なる。また、本発明は、前記倣いプローブは接触式倣い
プローブであり、前記プローブベクトル校正ステップで
は、前記接触式倣いプローブの接触子の半径を更に求め
る、ことが好ましい。このようにすれば、実際の測定に
おいて、被測定物表面と測定子中心とのオフセットを正
確に求めることができる。さらに、本発明は、前記校正
基準は球であり、前記基準座標値は、該球の中心座標値
である、ことが好ましい。このようにすれば、精密加工
が容易な球を用いて、極めて高精度な倣いプローブの校
正を行うことが出来る。
法をコンピュータに実行させる校正プログラムとするこ
とが好ましい。このようにすれば、例えば、安価な汎用
のコンピュータを用いて、そのコンピュータに本プログ
ラムを実行させることが容易になり、本発明の利用促進
を大幅に図ることができる。
の形態について図面を用いて説明する。なお、全図中に
おいて同一符号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。図1は、第1実施形態にかかる倣いプローブの校
正方法を示す。まず、ステップ10で処理を開始し、次
に倣いプローブ118を三次元測定機のスピンドル11
7の先端に取り付け、基準球の半径値(校正済で既
知)、仮のプローブベクトルP(プローブ設計図面から
求まる設計値)、仮の補正ボール径r(プローブ設計図
面から求まる設計値)などを計算機270へ入力して校
正の準備を行う。(ステップ20)
を基準球120に押込んで4箇所以上の点測定による手
動予備測定を行い、各々の測定点における倣いプローブ
のセンサ出力と三次元測定機の駆動機構の変位を測定す
るリニヤスケール出力を合成した座標値から、基準球1
20の第1の中心座標値を算出する。測定箇所は、例え
ば基準球の北極位置(1箇所)、赤道位置(4箇所)の
ように選択する。(ステップ30)
値、基準球の半径値(既知)、仮のプローブベクトルP
(プローブ設計図面から求まる設計値)、仮の補正ボー
ル径r(プローブ設計図面から求まる設計値)を用い、
座標変換行列Kは単位ベクトルを用いて、点測定による
第1の基準球測定用のパートプログラムを作成する。こ
の時の測定点は、200乃至300点程度とする。(ス
テップ40)次に、点測定による第1の基準球測定用の
パートプログラムを実行して測定点の座標値(センサ出
力とリニヤスケール出力)を求め、その結果から、基準
球120の第2の中心座標値(ステップ30で求めた値
より正確である)を求めると共に、第1の座標変換行列
Kを求める。(ステップ50)
心座標値と第1の座標変換行列Kを用いて、点測定によ
る第2の基準球測定用のパートプログラムを作成する。
この時の測定点は、50乃至100点程度とする。(ス
テップ60)次に、点測定による第2の基準球測定用の
パートプログラムを実行して、再度、測定点の座標値を
求め、第2の座標変換行列Kを求める。(ステップ7
0)この後、第2の座標変換行列Kを用いて、基準球1
20の4点以上の点測定を行い、基準球120の第3の
中心座標値(ステップ50で求めた値より正確であ
る)、プローブベクトル、補正ボール径を求める。尚、
このステップにおける測定処理は手動測定でも良いし、
パートプログラムを作成して自動測定としても良いが、
自動測定の方が測定精度が高い。(ステップ80)その
後、ステップ90において処理を終了する。
次に示す効果がある。 (1)単位ベクトルによる座標変換行列Kを用いた第1
の測定用パートプログラムによる第1の測定によって第
1の座標変換行列Kを求めた後、この第1の座標変換行
列Kを用いた第2の測定用パートプログラムによる第2
の測定によって第2の座標変換行列Kを求めたので、座
標変換行列Kの誤差が減少する。従って、第2の座標変
換行列Kによる倣いプローブの校正精度が向上する。 (2)誤差の減少した第2の座標変換行列Kを用いて、
再度校正測定を行って基準球120の中心座標値、プロ
ーブベクトルおよび補正ボール径の校正値を求めたの
で、これらの校正誤差が減少し、倣いプローブの総合校
正精度が更に向上する。
ローブの校正方法を示す。図2におけるステップ11
0、120、130はそれぞれ図1に示す第1実施形態
のステップ10、20、30と同一であるので、説明は
省略する。ステップ140では、基準球120の第1の
中心座標値、基準球の半径値(既知)、仮のプローブベ
クトルP(プローブ設計図面から求まる設計値)、仮の
補正ボール径r(プローブ設計図面から求まる設計値)
を用い、座標変換行列Kは単位ベクトルを用いて、倣い
測定による基準球測定用のパートプログラムを作成す
る。この測定においては、基準球120が球状であるか
ら、倣い軌道も円形となり、例えば図3に示すような軌
道となる。ここで、接触球121の、基準球120に対
する押込み量は、所定量(例えば0.1mm、0.2mmなど)に
なるように軌道を設定する。この場合の測定点は、軌道
上において一定距離進む毎あるいは、一定時間毎の位置
とし、例えば、軌道1周あたり100点程度とする。こ
の軌道を進む周速度は所定速度(例えば、0.25mm/se
c、0.5mm/secなど)とする。なお、測定は基準球の複
数の緯度において行うのが好ましい。
量、所定の周速度によって倣い測定による基準球測定用
のパートプログラムを実行して測定点の座標値(センサ
出力とリニヤスケール出力)を求め、その結果から、基
準球120の中心座標値を求めると共に、座標変換行列
Kを求める。この中心座標値及び座標変換行列Kは、押
込み量と周速度に固有の値として算出され、記憶され
る。その後、ステップ160において、所定の押込み量
と所定の周速度の全ての測定が終了したか否かを判定
し、終了していない場合は、異なる押込み量あるいは異
なる周速度を設定してステップ150を再実行する。こ
こで押込み量と周速度については、常に一定の押込み量
で複数の周速度としても良いし、一定の周速度で複数の
押込み量、あるいは互いに異なる複数の組み合わせとし
ても良い。要は、ステップ150において、中心座標値
及び座標変換行列Kが、押込み量と周速度に固有の値と
して算出されて記憶されれば良い。
した場合は、次にステップ170を実行する。ステップ
170では、ステップ150において記憶したそれぞれ
の座標変換行列Kを用いて、基準球120の4点以上の
点測定を行い、基準球120の中心座標値、プローブベ
クトル、補正ボール径を求める。この中心座標値、プロ
ーブベクトル、補正ボール径は、押込み量と周速度に固
有の値として算出されて記憶される。尚、このステップ
における測定処理は手動測定でも良いし、パートプログ
ラムを作成して自動測定としても良いが、通常、押込み
量と周速度の組み合わせは複数となるので、自動測定の
方が能率的且つ高精度である。その後、ステップ180
において処理を終了する。
第1実施形態における(2)の効果の他に次に示す効果
がある。 (3)基準球の周囲を円軌道によって倣い測定しなが
ら、所定の押込み量と周速度で校正測定を行ない、中心
座標値、座標変換行列K、プローブベクトル、補正ボー
ル径が、押込み量と周速度に固有の校正値として算出さ
れるので、実際の倣い測定にあたっては、その押込み量
と周速度に最も近い校正値を用いて倣いプローブの校正
が行えるので、校正精度がより向上する。
倣いプローブの校正方法を示す。この第3の実施形態に
かかる倣いプローブの校正方法は、三次元測定機のスピ
ンドル117の先端に取り付けられる倣いプローブの取
付姿勢が変更された場合の校正作業の簡単化を図るもの
である。倣いプローブの取付姿勢の変更は例えば、図5
(a)に示す、XY平面内における回転、あるいは図5
(b)に示すYZ平面内における回転、その他、XZ平
面内における回転、さらにそれらの複合が有る。このよ
うな倣いプローブの姿勢変更を行った場合に、図3に示
す手順によって校正処理を行う。
する。この処理においては、倣いプローブの基準姿勢
(通常はXY平面内、YZ平面内、XZ平面内のいずれ
の回転角度も0度)における校正処理が従来技術あるい
は本発明の第1実施形態などによって既に行われてお
り、基準姿勢における座標変換行列K、基準球120の
中心座標値、基準球の半径値、プローブベクトルP、補
正ボール径rが求められている状態で実施する。次に、
倣いプローブのスピンドルへの取付姿勢を変更する。こ
の姿勢変更は、手動で行うものでも、あるいは自動で姿
勢変更が可能なものであってもいずれでも良い。(ステ
ップ220) その後、基準姿勢における座標変換行列Kを姿勢変更状
態に従って変更する。(ステップ230)
る回転の場合は、次の計算処理によって変更前の座標変
換行列Kに対して、変更後の座標変換行列Kcを求める
ことが出来る。
る回転の場合は、次の計算処理によって変更前の座標変
換行列Kに対して、変更後の座標変換行列Kcを求める
ことが出来る。
回転が与えられた場合は、次の計算処理によって変更前
の座標変換行列Kに対して、変更後の座標変換行列Kc
を求めることが出来る。
様に変更後のプローブベクトルPcを求めておく。この
ようにして姿勢変更後に対応する座標変換行列Kc、プ
ローブベクトルPcを求めた後、この座標変換行列Kc
とプローブベクトルPc、基準球120の中心座標値、
基準球の半径値、補正ボール径rを用いて、点測定によ
る基準球測定用のパートプログラムを作成する。この時
の測定点は、200乃至300点程度とする。(ステッ
プ240) 次に、点測定による基準球測定用のパートプログラムを
実行して測定点の座標値(センサ出力とリニヤスケール
出力)を求め、その結果から、基準球120の第2の中
心座標値を求めると共に、姿勢変更後の第2の座標変換
行列Kcを求める。(ステップ250) この後の、ステップ260、270の処理は、第1実施
形態におけるステップ80、90と同一であるので、説
明を省略する。
第1実施形態における(2)の効果の他に次に示す効果
がある。 (4)基準姿勢における座標変換行列Kとプローブベク
トルPを、姿勢変更量に応じて変更して用い、それによ
って基準球測定を行うので、単位ベクトルを用いる場合
に比べて校正精度が格段に向上する。
げて説明したが、本発明は、この実施形態に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変更が
可能である。たとえば、図1に示す第1実施形態では、
基準球測定の繰返し数は2回に限定して説明したが、3
回以上としても良く、このようにすればさらに高精度な
倣いプローブ校正が可能となる。また、図2に示す第2
実施形態では、基準球測定の繰返し数は1回に限定して
説明したが、2回以上としても良く、このようにすれば
さらに高精度な倣いプローブ校正が可能となる。さら
に、各実施形態においては、接触式の倣いプローブに限
って説明したが、非接触倣いプローブであっても良い。
正は、座標変換行列を用いて行う場合に限って説明した
が、一般的な関数を用いて測長センサ出力の補正を行う
ものであっても良い。さらに、校正基準としては、基準
球に限って説明したが、精密加工されたゲージブロック
などを用いても良い。また、測定装置としては三次元測
定機を用いる場合に限って説明したが、その他の輪郭形
状測定機、真円度測定機、画像測定機などに用いられる
接触あるいは非接触形の倣いプローブであっても、本発
明によって高精度な校正を行うことができる。
いプローブの校正を高精度で行うことができる。
ローチャートである。
ローチャートである。
ローチャートである。
る。
る。
すフローチャートである。
Claims (9)
- 【請求項1】 被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第2の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記座標
変換関数校正ステップにおける算出結果を用いて、前記
校正測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを
再度実行させる再実行ステップを備え、前記プローブベ
クトル校正ステップは、前記再実行された座標変換関数
校正ステップにおける算出結果を用いて前記プローブベ
クトルの校正値を算出する、ことを特徴とする倣いプロ
ーブの校正方法。 - 【請求項2】 被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第2の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記校正
測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを複数
回だけ実行させる再実行ステップを備え、前記再実行さ
れる校正測定ステップにおいては、再実行毎に前記倣い
プローブの倣い速度と、前記倣いプローブと前記校正基
準との相対距離、とのいずれかが相違し、前記再実行さ
れる前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果
は、前記倣い速度あるいは前記相対距離毎に記憶する、
ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の倣いプ
ローブの校正方法において、前記プローブベクトル校正
ステップでは、前記再実行された座標変換関数校正ステ
ップにおける算出結果を用いて、前記校正基準を再測定
した結果から、前記プローブベクトルの校正値を算出す
る、ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項4】 被測定物を倣い測定する倣いプローブの
測定装置への取付姿勢が変更された場合に、該倣いプロ
ーブの測長センサの出力を校正する座標変換関数と、測
定子のオフセットを示すプローブベクトルとを前記取付
姿勢に対応するように変換する変換ステップと、前記変
換された、座標変換関数とプローブベクトルとを用いて
校正基準を測定するパートプログラムを作成すると共に
該パートプログラムを実行して校正測定を行う校正測定
ステップと、前記校正測定ステップにおける測定結果か
ら、前記変換された座標変換関数の校正値と前記校正基
準の基準座標値とを算出する座標変換関数校正ステップ
と、前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果か
ら前記変換されたプローブベクトルの校正値を算出する
プローブベクトル校正ステップと、を備えることを特徴
とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項5】 請求項4に記載の倣いプローブの校正方
法において、前記プローブベクトル校正ステップでは、
前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果を用い
て、前記校正基準を再測定した結果から、前記変換され
たプローブベクトルの校正値を算出する、ことを特徴と
する倣いプローブの校正方法。 - 【請求項6】 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法において、前記座標変換関数
は、前記測長センサ出力と座標変換行列の積の形式であ
る、ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項7】 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法において、前記倣いプローブ
は接触式倣いプローブであり、前記プローブベクトル校
正ステップでは、前記接触式倣いプローブの接触子の半
径を更に求める、ことを特徴とする倣いプローブの校正
方法。 - 【請求項8】 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法において、前記校正基準は球
であり、前記基準座標値は、該球の中心座標値である、
ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項9】 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法をコンピュータに実行させる
こと、を特徴とした倣いプローブの校正プログラム。
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005507495A (ja) * | 2001-11-01 | 2005-03-17 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | プローブの較正方法 |
JP2006112861A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Mitsutoyo Corp | 三次元座標測定システム及びそれに用いるパートプログラム |
JP2009534681A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 差分較正 |
JP2009276129A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
JP2010519533A (ja) * | 2007-02-22 | 2010-06-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 較正の方法および装置 |
JP2010159981A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
JP2010249814A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 誤差補正方法及びこれを用いた部品測定方法 |
JP2011185853A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Shinmaywa Industries Ltd | 曲率中心検出装置及びこれを使用した孔位置検出方法 |
JP2016526677A (ja) * | 2013-06-28 | 2016-09-05 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 接触プローブの較正 |
JP2018124256A (ja) * | 2017-07-04 | 2018-08-09 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
WO2019235021A1 (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Dmg森精機株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0228371D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Leland E C E | Workpiece inspection method |
GB0322115D0 (en) | 2003-09-22 | 2003-10-22 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
US7543393B2 (en) * | 2003-12-16 | 2009-06-09 | Renishaw Plc | Method of calibrating a scanning system |
GB0329098D0 (en) * | 2003-12-16 | 2004-01-21 | Renishaw Plc | Method of calibrating a scanning system |
US7693325B2 (en) | 2004-01-14 | 2010-04-06 | Hexagon Metrology, Inc. | Transprojection of geometry data |
EP1596160A1 (en) * | 2004-05-10 | 2005-11-16 | Hexagon Metrology AB | Method of inspecting workpieces on a measuring machine |
JP4705792B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-06-22 | 株式会社ミツトヨ | 軸間角度補正方法 |
JP5203028B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2013-06-05 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機構の異常検出方法及び形状測定機構 |
GB0712008D0 (en) * | 2007-06-21 | 2007-08-01 | Renishaw Plc | Apparatus and method of calibration |
US7712224B2 (en) * | 2007-10-03 | 2010-05-11 | Hexagon Metrology Ab | Validating the error map of CMM using calibrated probe |
CN101436052B (zh) * | 2007-11-15 | 2010-09-29 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 机台回零运动***及方法 |
US7905027B2 (en) | 2009-07-01 | 2011-03-15 | Hexagon Metrology, Inc. | Method and apparatus for probe tip diameter calibration |
CH701868B1 (fr) * | 2009-09-07 | 2015-01-15 | Tesa Sa | Machine à mesurer des coordonnées motorisée à programmation manuelle et méthode de contrôle d'une telle machine. |
US8099877B2 (en) | 2009-11-06 | 2012-01-24 | Hexagon Metrology Ab | Enhanced position detection for a CMM |
US8352212B2 (en) | 2009-11-18 | 2013-01-08 | Hexagon Metrology, Inc. | Manipulable aid for dimensional metrology |
EP2492635B1 (de) | 2011-02-22 | 2013-05-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Kalibrierverfahren für einen kugelförmigen Messtaster |
US8701298B2 (en) * | 2011-06-01 | 2014-04-22 | Tesa Sa | Coordinate measuring machine |
JP6104606B2 (ja) * | 2013-01-08 | 2017-03-29 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定装置、入力方法及びプログラム |
EP2913729B1 (en) * | 2014-02-27 | 2019-06-26 | FIDIA S.p.A. | Method and system for checking positioning accuracy of a CNC machine |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8624191D0 (en) | 1986-10-08 | 1986-11-12 | Renishaw Plc | Datuming of analogue measurement probes |
US4819195A (en) * | 1987-01-20 | 1989-04-04 | The Warner & Swasey Company | Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor |
US4945501A (en) * | 1987-01-20 | 1990-07-31 | The Warner & Swasey Company | Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor |
GB8906287D0 (en) * | 1989-03-18 | 1989-05-04 | Renishaw Plc | Probe calibration |
DE4434014A1 (de) * | 1994-09-23 | 1996-03-28 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Kalibrierung eines Koordinatenmeßgerätes mit zwei rotatorischen Achsen |
GB9517214D0 (en) * | 1995-08-23 | 1995-10-25 | Renishaw Plc | Calibration of an articulating probe head for a coordinating positioning machine |
US5953687A (en) * | 1997-08-18 | 1999-09-14 | Giddings & Lewis, Inc. | Method and apparatus for displaying active probe tip status of a coordinate measuring machine |
US6199024B1 (en) * | 1999-09-07 | 2001-03-06 | Nextel Ltd. | Calibration process for shape measurement |
-
2001
- 2001-10-04 JP JP2001308698A patent/JP3827548B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-10-04 US US10/265,027 patent/US6701268B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005507495A (ja) * | 2001-11-01 | 2005-03-17 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | プローブの較正方法 |
JP2006112861A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Mitsutoyo Corp | 三次元座標測定システム及びそれに用いるパートプログラム |
JP4652011B2 (ja) * | 2004-10-13 | 2011-03-16 | 株式会社ミツトヨ | 三次元座標測定システム及びそれに用いるパートプログラム |
JP2009534681A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 差分較正 |
JP2010519533A (ja) * | 2007-02-22 | 2010-06-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 較正の方法および装置 |
JP2009276129A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
JP2010159981A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
JP2010249814A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 誤差補正方法及びこれを用いた部品測定方法 |
JP2011185853A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Shinmaywa Industries Ltd | 曲率中心検出装置及びこれを使用した孔位置検出方法 |
JP2016526677A (ja) * | 2013-06-28 | 2016-09-05 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 接触プローブの較正 |
JP2018124256A (ja) * | 2017-07-04 | 2018-08-09 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
WO2019235021A1 (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Dmg森精機株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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