JP2003114112A - 倣いプローブの校正方法および校正プログラム - Google Patents
倣いプローブの校正方法および校正プログラムInfo
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- JP2003114112A JP2003114112A JP2001308698A JP2001308698A JP2003114112A JP 2003114112 A JP2003114112 A JP 2003114112A JP 2001308698 A JP2001308698 A JP 2001308698A JP 2001308698 A JP2001308698 A JP 2001308698A JP 2003114112 A JP2003114112 A JP 2003114112A
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/85—Scanning probe control process
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 倣いプローブの高精度な校正方法を提供する
こと。 【解決手段】 倣いプローブによって校正基準を予備測
定した後、この校正基準を測定するパートプログラムを
作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測定
を行ない、座標変換関数の校正値と校正基準の基準座標
値とを求めた後、新たなこれらの校正値と基準座標値を
用いて、再度、この校正基準を測定するパートプログラ
ムを作成すると共に該パートプログラムを実行して校正
測定を行ない、より高精度な座標変換関数の校正値と校
正基準の基準座標値とを求める。
こと。 【解決手段】 倣いプローブによって校正基準を予備測
定した後、この校正基準を測定するパートプログラムを
作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測定
を行ない、座標変換関数の校正値と校正基準の基準座標
値とを求めた後、新たなこれらの校正値と基準座標値を
用いて、再度、この校正基準を測定するパートプログラ
ムを作成すると共に該パートプログラムを実行して校正
測定を行ない、より高精度な座標変換関数の校正値と校
正基準の基準座標値とを求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、倣いプローブの校
正方法に関し、特に被測定物の寸法、形状、うねり、粗
さなどの表面性状を測定する倣いプローブの誤差を校正
する校正方法に関する。
正方法に関し、特に被測定物の寸法、形状、うねり、粗
さなどの表面性状を測定する倣いプローブの誤差を校正
する校正方法に関する。
【０００２】
【背景技術】被測定物の三次元形状を測定する三次元測
定機、二次元の輪郭形状を測定する輪郭形状測定機や画
像測定機、真円度を測定する真円度測定機、更に被測定
物表面のうねりや粗さ等を測定する表面粗さ測定機など
の、被測定物表面の輪郭形状、粗さ、うねりなどを測定
する表面性状測定機が知られている。これらは接触式あ
るいは非接触式のセンサーと被測定物を相対的に移動さ
せる案内機構を１軸乃至複数軸備えているものが多い。
定機、二次元の輪郭形状を測定する輪郭形状測定機や画
像測定機、真円度を測定する真円度測定機、更に被測定
物表面のうねりや粗さ等を測定する表面粗さ測定機など
の、被測定物表面の輪郭形状、粗さ、うねりなどを測定
する表面性状測定機が知られている。これらは接触式あ
るいは非接触式のセンサーと被測定物を相対的に移動さ
せる案内機構を１軸乃至複数軸備えているものが多い。
【０００３】これらの案内機構はガイドと送りねじとこ
の送りねじに螺合されたナットを備え、このナットに結
合されたスライダを移動させ、そのスライダの移動をリ
ニヤスケールなどで測定する構成のものが多い。また、
必ずしも送りねじを備えず、ガイドとスライダから構成
され、手動で移動させられるスライダの変位量をリニヤ
スケールなどで読み取るものもある。通常はスライダに
プローブやＣＣＤカメラなどのセンサーが１種類あるい
は複数種類取り付けられている。これらの用途に用いら
れるプローブには、タッチ信号プローブと倣いプローブ
がある。
の送りねじに螺合されたナットを備え、このナットに結
合されたスライダを移動させ、そのスライダの移動をリ
ニヤスケールなどで測定する構成のものが多い。また、
必ずしも送りねじを備えず、ガイドとスライダから構成
され、手動で移動させられるスライダの変位量をリニヤ
スケールなどで読み取るものもある。通常はスライダに
プローブやＣＣＤカメラなどのセンサーが１種類あるい
は複数種類取り付けられている。これらの用途に用いら
れるプローブには、タッチ信号プローブと倣いプローブ
がある。
【０００４】図６はこのような倣いプローブ１１８を三
次元測定機１００のスピンドル１１７の先端に取り付け
て用いる場合の例を示している。この三次元測定機１０
０は次のように構成されている。除振台１１１の上に
は、定盤１１２がその上面をベース面として水平面と一
致するように載置され、この定盤１１２の両側端から立
設されたビーム支持体１１３ａ，１１３ｂの上端でＸ軸
方向に延びるビーム１１４を支持している。ビーム支持
体１１３ａは、その下端がＹ軸駆動機構１１５によって
Ｙ軸方向に駆動される。また、ビーム支持体１１３ｂ
は、その下端がエアーベアリングによって定盤１１２に
Ｙ軸方向に移動可能に支持されている。ビーム支持体１
１３ａ、１１３ｂの移動現在位置はＹ軸スケール２４５
によって検出される。
次元測定機１００のスピンドル１１７の先端に取り付け
て用いる場合の例を示している。この三次元測定機１０
０は次のように構成されている。除振台１１１の上に
は、定盤１１２がその上面をベース面として水平面と一
致するように載置され、この定盤１１２の両側端から立
設されたビーム支持体１１３ａ，１１３ｂの上端でＸ軸
方向に延びるビーム１１４を支持している。ビーム支持
体１１３ａは、その下端がＹ軸駆動機構１１５によって
Ｙ軸方向に駆動される。また、ビーム支持体１１３ｂ
は、その下端がエアーベアリングによって定盤１１２に
Ｙ軸方向に移動可能に支持されている。ビーム支持体１
１３ａ、１１３ｂの移動現在位置はＹ軸スケール２４５
によって検出される。
【０００５】ビーム１１４は、垂直方向（Ｚ軸方向）に
延びるコラム１１６を支持する。コラム１１６は、ビー
ム１１４に沿ってＸ軸方向に駆動される。コラム１１６
の移動現在位置はＸ軸スケール２４４によって検出され
る。コラム１１６には、スピンドル１１７がコラム１１
６に沿ってＺ軸方向に駆動されるように設けられてい
る。スピンドル１１７の移動現在位置はＺ軸スケール２
４６によって検出される。
延びるコラム１１６を支持する。コラム１１６は、ビー
ム１１４に沿ってＸ軸方向に駆動される。コラム１１６
の移動現在位置はＸ軸スケール２４４によって検出され
る。コラム１１６には、スピンドル１１７がコラム１１
６に沿ってＺ軸方向に駆動されるように設けられてい
る。スピンドル１１７の移動現在位置はＺ軸スケール２
４６によって検出される。
【０００６】スピンドル１１７の下端には、接触式の測
定子１１９と接触球１２１を備えた倣いプローブ１１８
が装着されている。このプローブ１１８が、定盤１１２
上に載置された被測定物を測定する。Ｘ軸スケール２４
４、Ｙ軸スケール２４５、Ｚ軸スケール２４６には例え
ば光学式のリニヤスケールなどが使用される。図７のブ
ロック図に示すように、倣いプローブ１１８にはＸ軸セ
ンサ２５１、Ｙ軸センサ２５２、Ｚ軸センサ２５３が内
蔵されており、測定子１１９のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向へ
の変位に従って、その変位量を各々出力する。
定子１１９と接触球１２１を備えた倣いプローブ１１８
が装着されている。このプローブ１１８が、定盤１１２
上に載置された被測定物を測定する。Ｘ軸スケール２４
４、Ｙ軸スケール２４５、Ｚ軸スケール２４６には例え
ば光学式のリニヤスケールなどが使用される。図７のブ
ロック図に示すように、倣いプローブ１１８にはＸ軸セ
ンサ２５１、Ｙ軸センサ２５２、Ｚ軸センサ２５３が内
蔵されており、測定子１１９のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向へ
の変位に従って、その変位量を各々出力する。
【０００７】駆動装置２６０には、Ｘ軸駆動機構１０５
を駆動するＸ軸駆動回路２６１、Ｙ軸駆動機構１１５を
駆動するＹ軸駆動回路２６２、Ｚ軸駆動機構１２５を駆
動するＺ軸駆動回路２６３、Ｘ軸スケール２４４の出力
を計数するＸ軸カウンタ２６４、Ｙ軸スケール２４５の
出力を計数するＹ軸カウンタ２６５、Ｚ軸スケール２４
６の出力を計数するＺ軸カウンタ２６６、Ｘ軸センサ２
５１の出力を計数するＸ軸Ｐカウンタ２６７、Ｙ軸セン
サ２５２の出力を計数するＹ軸Ｐカウンタ２６８、Ｚ軸
センサ２５３の出力を計数するＺ軸Ｐカウンタ２６９が
含まれており、各々は計算機２７０に接続されている。
従って、三次元測定機１００のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸
は計算機２７０の指令によって任意速度で任意位置に位
置決めが可能である。又、計算機２７０は各カウンタ２
６４〜２６９の計数値を入力して、スピンドル２１７の
Ｘ軸、Y軸、Ｚ軸の各軸の現在位置および倣いプローブ
１１８の測定子１１９の現在変位を知ることが出来るよ
うに構成されている。
を駆動するＸ軸駆動回路２６１、Ｙ軸駆動機構１１５を
駆動するＹ軸駆動回路２６２、Ｚ軸駆動機構１２５を駆
動するＺ軸駆動回路２６３、Ｘ軸スケール２４４の出力
を計数するＸ軸カウンタ２６４、Ｙ軸スケール２４５の
出力を計数するＹ軸カウンタ２６５、Ｚ軸スケール２４
６の出力を計数するＺ軸カウンタ２６６、Ｘ軸センサ２
５１の出力を計数するＸ軸Ｐカウンタ２６７、Ｙ軸セン
サ２５２の出力を計数するＹ軸Ｐカウンタ２６８、Ｚ軸
センサ２５３の出力を計数するＺ軸Ｐカウンタ２６９が
含まれており、各々は計算機２７０に接続されている。
従って、三次元測定機１００のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸
は計算機２７０の指令によって任意速度で任意位置に位
置決めが可能である。又、計算機２７０は各カウンタ２
６４〜２６９の計数値を入力して、スピンドル２１７の
Ｘ軸、Y軸、Ｚ軸の各軸の現在位置および倣いプローブ
１１８の測定子１１９の現在変位を知ることが出来るよ
うに構成されている。
【０００８】計算機２７０は、駆動装置２６０と情報交
換を行うための図示しない接続装置を備えるほかは、公
知の計算機と同様で、中央演算装置、記憶装置、入力装
置、表示装置、印字装置、出力装置を備えており、記憶
装置に格納されたプログラムによって、三次元測定機１
００の誤差補正、倣いプローブデータの収集、誤差の算
出、誤差の表示、誤差の関数化、補正データの出力など
の校正処理全般が自動制御あるいは必要に応じてそれぞ
れの機能を半自動制御あるいは手動制御される。
換を行うための図示しない接続装置を備えるほかは、公
知の計算機と同様で、中央演算装置、記憶装置、入力装
置、表示装置、印字装置、出力装置を備えており、記憶
装置に格納されたプログラムによって、三次元測定機１
００の誤差補正、倣いプローブデータの収集、誤差の算
出、誤差の表示、誤差の関数化、補正データの出力など
の校正処理全般が自動制御あるいは必要に応じてそれぞ
れの機能を半自動制御あるいは手動制御される。
【０００９】計算機２７０と駆動装置２６０との情報交
換は通常は有線通信でＩＥＥＥ４８８などの伝送制御手
順を利用して行われるが、必要に応じて無線通信や光通
信などを用いても良い。倣いプローブ１１８は、被測定
物の位置を連続的に測定することが可能なため、被測定
物の複数箇所を測定して輪郭データを密に高速に求める
ことが容易に出来るので、環境変動の影響を受け難く、
全体として高精度測定ができる可能性がある。
換は通常は有線通信でＩＥＥＥ４８８などの伝送制御手
順を利用して行われるが、必要に応じて無線通信や光通
信などを用いても良い。倣いプローブ１１８は、被測定
物の位置を連続的に測定することが可能なため、被測定
物の複数箇所を測定して輪郭データを密に高速に求める
ことが容易に出来るので、環境変動の影響を受け難く、
全体として高精度測定ができる可能性がある。
【００１０】このような倣いプローブとしては、特開平
5-256640に示されたプローブがある（図８参照）。この
プローブは、基台に対してそれぞれ直交方向に移動自在
なＸ軸スライダとＹ軸スライダとＺ軸スライダを介して
触針が支持されており、この基台及び３つのスライダの
間の摺動部には加圧空気が送出され空気軸受けを構成す
ることにより極めて摩擦が少ない案内機構が構成されて
いる。また、この基台とＺ軸スライダ、Ｚ軸スライダと
Ｙ軸スライダと、Ｙ軸スライダとＸ軸スライダとの各々
の相対変位を検出するＺ軸センサ、Ｙ軸センサ、Ｘ軸セ
ンサの３つのセンサが設けられており、これら３つのセ
ンサによって触針の三次元的な変位量を求めることがで
きるようになっている。
5-256640に示されたプローブがある（図８参照）。この
プローブは、基台に対してそれぞれ直交方向に移動自在
なＸ軸スライダとＹ軸スライダとＺ軸スライダを介して
触針が支持されており、この基台及び３つのスライダの
間の摺動部には加圧空気が送出され空気軸受けを構成す
ることにより極めて摩擦が少ない案内機構が構成されて
いる。また、この基台とＺ軸スライダ、Ｚ軸スライダと
Ｙ軸スライダと、Ｙ軸スライダとＸ軸スライダとの各々
の相対変位を検出するＺ軸センサ、Ｙ軸センサ、Ｘ軸セ
ンサの３つのセンサが設けられており、これら３つのセ
ンサによって触針の三次元的な変位量を求めることがで
きるようになっている。
【００１１】これらのセンサは例えばアブソリュート光
学式直線スケールが用いられる。従って、この倣いプロ
ーブの触針（測定子）を被測定物の表面に接触させたま
ま、被測定物に対して倣いプローブを、被測定物の表面
方向に相対移動させれば、触針は被測定物の表面の輪郭
形状に沿って変位するので、被測定物の輪郭形状データ
を連続的に収集することが出来る。この場合、輪郭形状
データは、倣いプローブから出力される３つのセンサの
出力と、三次元測定機の駆動機構の変位を測定するリニ
ヤスケールの値を合成して求める。なお、触針が被測定
物に接触していない場合の倣いプローブのＸ軸スライ
ダ、Ｙ軸スライダ、Ｚ軸スライダの通常停止位置（復帰
位置）は、各々のアブソリュートセンサの原点位置とさ
れる。このように、倣いプローブには高速でデータ収集
が可能という特徴を備えているが、反面、タッチ信号プ
ローブに比べて案内機構やセンサなどを内蔵しているこ
とから構造が複雑となり、十分な測定精度を確保するの
が難しいという問題点がある。
学式直線スケールが用いられる。従って、この倣いプロ
ーブの触針（測定子）を被測定物の表面に接触させたま
ま、被測定物に対して倣いプローブを、被測定物の表面
方向に相対移動させれば、触針は被測定物の表面の輪郭
形状に沿って変位するので、被測定物の輪郭形状データ
を連続的に収集することが出来る。この場合、輪郭形状
データは、倣いプローブから出力される３つのセンサの
出力と、三次元測定機の駆動機構の変位を測定するリニ
ヤスケールの値を合成して求める。なお、触針が被測定
物に接触していない場合の倣いプローブのＸ軸スライ
ダ、Ｙ軸スライダ、Ｚ軸スライダの通常停止位置（復帰
位置）は、各々のアブソリュートセンサの原点位置とさ
れる。このように、倣いプローブには高速でデータ収集
が可能という特徴を備えているが、反面、タッチ信号プ
ローブに比べて案内機構やセンサなどを内蔵しているこ
とから構造が複雑となり、十分な測定精度を確保するの
が難しいという問題点がある。
【００１２】これらの案内機構には加工上の誤差や環境
変動によって生じる変形その他による誤差の発生が避け
られず、その結果Ｚ軸スライダ、Ｙ軸スライダ、Ｘ軸ス
ライダは正しく移動することができなくなり、このスラ
イダの変位を測定するZ軸センサ、Ｙ軸センサ、Ｘ軸セ
ンサで測定された触針の変位を示すデータには誤差が含
まれることになる。例えば図９（ａ）のＸ軸案内機構の
模式図を例にして示すと、Ｘ軸スライダがＸ軸方向に変
位するとき、Ｘ軸スライダがＸ軸の回りに回転するロー
リング、Ｘ軸スライダがＹ軸の回りに回転するピッチン
グ、Ｘ軸スライダがＺ軸の回りに回転するヨーイングが
発生する。また、これらの回転運動に起因する誤差の他
に、Ｘ軸案内機構の運動の直線性に起因する真直度誤差
がある。これには、Ｘ軸スライダがＸ軸方向に変位する
とき、Ｙ軸方向に変位するＹ軸真直度誤差と、Ｚ軸方向
に変位するＺ軸真直度誤差がある。
変動によって生じる変形その他による誤差の発生が避け
られず、その結果Ｚ軸スライダ、Ｙ軸スライダ、Ｘ軸ス
ライダは正しく移動することができなくなり、このスラ
イダの変位を測定するZ軸センサ、Ｙ軸センサ、Ｘ軸セ
ンサで測定された触針の変位を示すデータには誤差が含
まれることになる。例えば図９（ａ）のＸ軸案内機構の
模式図を例にして示すと、Ｘ軸スライダがＸ軸方向に変
位するとき、Ｘ軸スライダがＸ軸の回りに回転するロー
リング、Ｘ軸スライダがＹ軸の回りに回転するピッチン
グ、Ｘ軸スライダがＺ軸の回りに回転するヨーイングが
発生する。また、これらの回転運動に起因する誤差の他
に、Ｘ軸案内機構の運動の直線性に起因する真直度誤差
がある。これには、Ｘ軸スライダがＸ軸方向に変位する
とき、Ｙ軸方向に変位するＹ軸真直度誤差と、Ｚ軸方向
に変位するＺ軸真直度誤差がある。
【００１３】さらに、Ｘ軸センサ自体にも、変位量に対
する指示値の誤差（指示誤差）が測定全領域に渡って存
在する。すなわち、1軸あたり６種類の誤差が考えられ
るが、これらの誤差の他に直交性に起因する直交誤差が
あり、三次元倣いプローブの場合には、Ｘ軸とＹ軸、Ｙ
軸とＺ軸、Ｚ軸とＸ軸の３種類の直交誤差があるので、
少なくとも２１種類の幾何学的な誤差が発生する可能性
がある。すなわち、回転運動に起因する誤差（回転誤
差）は、Ｘ軸回りの回転をＡ、Ｙ軸回りの回転をＢ、Ｚ
軸回りの回転をＣとすると、Ａ（ｘ）＝Ｘ軸ロール誤
差、Ａ（ｙ）＝Ｙ軸ピッチ誤差、Ａ（ｚ）＝Ｚ軸ピッチ
誤差、Ｂ（ｘ）＝Ｘ軸ピッチ誤差、Ｂ（ｙ）＝Ｙ軸ロー
ル誤差、Ｂ（ｚ）＝Ｚ軸ヨウ誤差、Ｃ（ｘ）＝Ｘ軸ヨウ
誤差、Ｃ（ｙ）＝Ｙ軸ヨウ誤差、Ｃ（ｚ）＝Ｚ軸ロール
誤差となる。真直度誤差は、Ｘ（ｙ）＝Ｘ軸方向のＹ軸
真直度誤差、Ｘ（ｚ）＝Ｘ軸方向のＺ軸真直度誤差、Ｙ
（ｘ）＝Ｙ軸方向のＸ軸真直度誤差、Ｙ（ｚ）＝Ｙ軸方
向のＺ軸真直度誤差、Ｚ（ｘ）＝Ｚ軸方向のＸ軸真直度
誤差、Ｚ（ｙ）＝Ｚ軸方向のＹ軸真直度誤差となる。
する指示値の誤差（指示誤差）が測定全領域に渡って存
在する。すなわち、1軸あたり６種類の誤差が考えられ
るが、これらの誤差の他に直交性に起因する直交誤差が
あり、三次元倣いプローブの場合には、Ｘ軸とＹ軸、Ｙ
軸とＺ軸、Ｚ軸とＸ軸の３種類の直交誤差があるので、
少なくとも２１種類の幾何学的な誤差が発生する可能性
がある。すなわち、回転運動に起因する誤差（回転誤
差）は、Ｘ軸回りの回転をＡ、Ｙ軸回りの回転をＢ、Ｚ
軸回りの回転をＣとすると、Ａ（ｘ）＝Ｘ軸ロール誤
差、Ａ（ｙ）＝Ｙ軸ピッチ誤差、Ａ（ｚ）＝Ｚ軸ピッチ
誤差、Ｂ（ｘ）＝Ｘ軸ピッチ誤差、Ｂ（ｙ）＝Ｙ軸ロー
ル誤差、Ｂ（ｚ）＝Ｚ軸ヨウ誤差、Ｃ（ｘ）＝Ｘ軸ヨウ
誤差、Ｃ（ｙ）＝Ｙ軸ヨウ誤差、Ｃ（ｚ）＝Ｚ軸ロール
誤差となる。真直度誤差は、Ｘ（ｙ）＝Ｘ軸方向のＹ軸
真直度誤差、Ｘ（ｚ）＝Ｘ軸方向のＺ軸真直度誤差、Ｙ
（ｘ）＝Ｙ軸方向のＸ軸真直度誤差、Ｙ（ｚ）＝Ｙ軸方
向のＺ軸真直度誤差、Ｚ（ｘ）＝Ｚ軸方向のＸ軸真直度
誤差、Ｚ（ｙ）＝Ｚ軸方向のＹ軸真直度誤差となる。
【００１４】指示誤差としては、Ｘ（ｘ）＝Ｘ軸指示誤
差、Ｙ（ｙ）＝Ｙ軸指示誤差、Ｚ（ｚ）＝Ｚ軸指示誤差
となる。直交誤差は、Ｐｙｘ＝Ｙ軸Ｘ軸間直交誤差、Ｐ
ｚｘ＝Ｚ軸Ｘ軸間直交誤差、Ｐｚｙ＝Ｚ軸Ｙ軸間直交誤
差となる。これらの誤差は、案内機構を介して支持され
ている測定子の姿勢を変動させて、測定子の正確な位置
の決定を困難にし、その結果、測定精度を劣化させるこ
とになる。倣いプローブの場合は、同一の案内機構であ
っても測定子の長さによって、測定子の姿勢の変動量が
変わるので、同一の倣いプローブであっても長さの異な
る測定子に交換した場合は、測定誤差が変化する。一般
的には、長い測定子を用いた場合の方が測定誤差が大き
くなる傾向がある。
差、Ｙ（ｙ）＝Ｙ軸指示誤差、Ｚ（ｚ）＝Ｚ軸指示誤差
となる。直交誤差は、Ｐｙｘ＝Ｙ軸Ｘ軸間直交誤差、Ｐ
ｚｘ＝Ｚ軸Ｘ軸間直交誤差、Ｐｚｙ＝Ｚ軸Ｙ軸間直交誤
差となる。これらの誤差は、案内機構を介して支持され
ている測定子の姿勢を変動させて、測定子の正確な位置
の決定を困難にし、その結果、測定精度を劣化させるこ
とになる。倣いプローブの場合は、同一の案内機構であ
っても測定子の長さによって、測定子の姿勢の変動量が
変わるので、同一の倣いプローブであっても長さの異な
る測定子に交換した場合は、測定誤差が変化する。一般
的には、長い測定子を用いた場合の方が測定誤差が大き
くなる傾向がある。
【００１５】図９（ｂ）はＸ軸回りの回転Ａ（Ｘ軸ロー
リング）が測定子１１９の接触球１２１に与える位置誤
差の様子を模式的に示したもので、Ｙ軸方向にｄＹ、Ｚ
軸方向にｄＺの誤差が生じることがわかる。これらの誤
差は一般に次式に示す関数処理を行うことによって補正
することができる。 Ｃ＝Ｆ（ｓ） ここで、ｓは倣いプローブのＸ軸センサ、Ｙ軸センサ、
Ｚ軸センサの出力を示し、また、Ｃは補正後の倣いプロ
ーブの座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ）で、両者ともベクトルであ
る。
リング）が測定子１１９の接触球１２１に与える位置誤
差の様子を模式的に示したもので、Ｙ軸方向にｄＹ、Ｚ
軸方向にｄＺの誤差が生じることがわかる。これらの誤
差は一般に次式に示す関数処理を行うことによって補正
することができる。 Ｃ＝Ｆ（ｓ） ここで、ｓは倣いプローブのＸ軸センサ、Ｙ軸センサ、
Ｚ軸センサの出力を示し、また、Ｃは補正後の倣いプロ
ーブの座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ）で、両者ともベクトルであ
る。
【００１６】この式は、座標変換行列Ｋを用いて、次の
ようにあらわすこともできる。 Ｃ＝Ｋ・ｓ すなわち、座標変換行列Ｋが求まれば、倣いプローブの
センサ出力は補正することが出来る。更に倣いプローブ
の校正において考慮すべきものとして、プローブベクト
ルＰ及び補正ボール径ｒがある。プローブベクトルＰは
スピンドルの基準位置から、測定子先端の接触球１２１
の中心位置までのオフセットを与えるものであり、プロ
ーブが交換された場合に、このプローブベクトルも新し
いプローブに対応するものを用いれば、プローブが異な
っても、同一のパートプログラムを使用可能にする。ま
た、補正ボール径ｒは測定子先端の接触球１２１の半径
を与えるものである。
ようにあらわすこともできる。 Ｃ＝Ｋ・ｓ すなわち、座標変換行列Ｋが求まれば、倣いプローブの
センサ出力は補正することが出来る。更に倣いプローブ
の校正において考慮すべきものとして、プローブベクト
ルＰ及び補正ボール径ｒがある。プローブベクトルＰは
スピンドルの基準位置から、測定子先端の接触球１２１
の中心位置までのオフセットを与えるものであり、プロ
ーブが交換された場合に、このプローブベクトルも新し
いプローブに対応するものを用いれば、プローブが異な
っても、同一のパートプログラムを使用可能にする。ま
た、補正ボール径ｒは測定子先端の接触球１２１の半径
を与えるものである。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、倣いプ
ローブにおいては、座標変換行列Ｋ、プローブベクトル
Ｐ、補正ボール径ｒを求めることによって校正が行われ
る。これらの校正作業は通常、図１０に示すように次の
ようにして行われる。 （ａ）倣いプローブ１１８を三次元測定機のスピンドル
１１７の先端に取り付ける。（ステップ３２０） （ｂ）倣いプローブ１１８の接触球１２１を基準球１２
０に押込んで４箇所以上の点測定による手動予備測定を
行い、各々の測定点における倣いプローブのセンサ出力
（以下、センサ出力）と三次元測定機の駆動機構のスラ
イダ変位を測定するリニヤスケール出力（以下、リニヤ
スケール出力）を合成した座標値から、基準球１２０の
第１の中心座標値を算出する。測定箇所は、例えば基準
球の北極位置（１箇所）、赤道位置（４箇所）のように
選択する。（ステップ３３０）
ローブにおいては、座標変換行列Ｋ、プローブベクトル
Ｐ、補正ボール径ｒを求めることによって校正が行われ
る。これらの校正作業は通常、図１０に示すように次の
ようにして行われる。 （ａ）倣いプローブ１１８を三次元測定機のスピンドル
１１７の先端に取り付ける。（ステップ３２０） （ｂ）倣いプローブ１１８の接触球１２１を基準球１２
０に押込んで４箇所以上の点測定による手動予備測定を
行い、各々の測定点における倣いプローブのセンサ出力
（以下、センサ出力）と三次元測定機の駆動機構のスラ
イダ変位を測定するリニヤスケール出力（以下、リニヤ
スケール出力）を合成した座標値から、基準球１２０の
第１の中心座標値を算出する。測定箇所は、例えば基準
球の北極位置（１箇所）、赤道位置（４箇所）のように
選択する。（ステップ３３０）
【００１８】（ｃ）基準球１２０の第１の中心座標値、
基準球の半径値（既知）、仮のプローブベクトルＰ（プ
ローブ設計図面から求まる設計値）、仮の補正ボール径
ｒ（プローブ設計図面から求まる設計値）、を用い、座
標変換行列Ｋは単位ベクトルを用いて、点測定による基
準球測定用のパートプログラムを作成する。この時の測
定点は、２００乃至３００点程度とする。（この測定は
手動で行っても良いが、膨大な測定時間を要することか
ら、通常はパートプログラムを作成して自動測定を行
う。）（ステップ３４０） （ｄ）点測定による基準球測定用のパートプログラムを
実行して測定点の座標値（センサ出力とリニヤスケール
出力）を求め、その結果から、基準球１２０の第２の中
心座標値（ステップ３３０で求めた値より正確である）
を求めると共に、座標変換行列Ｋを求める。（ステップ
３５０） （ｅ）座標変換行列Ｋを用いて、プローブベクトルＰ、
補正ボール径ｒを求める。（ステップ３６０）
基準球の半径値（既知）、仮のプローブベクトルＰ（プ
ローブ設計図面から求まる設計値）、仮の補正ボール径
ｒ（プローブ設計図面から求まる設計値）、を用い、座
標変換行列Ｋは単位ベクトルを用いて、点測定による基
準球測定用のパートプログラムを作成する。この時の測
定点は、２００乃至３００点程度とする。（この測定は
手動で行っても良いが、膨大な測定時間を要することか
ら、通常はパートプログラムを作成して自動測定を行
う。）（ステップ３４０） （ｄ）点測定による基準球測定用のパートプログラムを
実行して測定点の座標値（センサ出力とリニヤスケール
出力）を求め、その結果から、基準球１２０の第２の中
心座標値（ステップ３３０で求めた値より正確である）
を求めると共に、座標変換行列Ｋを求める。（ステップ
３５０） （ｅ）座標変換行列Ｋを用いて、プローブベクトルＰ、
補正ボール径ｒを求める。（ステップ３６０）
【００１９】以上の（ａ）から（ｅ）の校正処理は、プ
ローブを交換した場合や、プローブ取付姿勢を変更した
場合にもその都度行う必要がある上、その作業には温度
管理の徹底など、細心の注意を要する。従って、これら
の校正作業は熟練した校正作業者が多大な時間を費やし
て行う必要があるが、それにもかかわらず、必ずしも十
分な校正精度が得られていなかった。
ローブを交換した場合や、プローブ取付姿勢を変更した
場合にもその都度行う必要がある上、その作業には温度
管理の徹底など、細心の注意を要する。従って、これら
の校正作業は熟練した校正作業者が多大な時間を費やし
て行う必要があるが、それにもかかわらず、必ずしも十
分な校正精度が得られていなかった。
【００２０】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、倣いプローブの校正の高精度化が可
能な校正方法を提供することを目的とする。
になされたもので、倣いプローブの校正の高精度化が可
能な校正方法を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第２の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記座標
変換関数校正ステップにおける算出結果を用いて、前記
校正測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを
再度実行させる再実行ステップを備え、前記プローブベ
クトル校正ステップは、前記再実行された座標変換関数
校正ステップにおける算出結果を用いて前記プローブベ
クトルの校正値を算出する、ことを特徴とする。
成するために、被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第２の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記座標
変換関数校正ステップにおける算出結果を用いて、前記
校正測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを
再度実行させる再実行ステップを備え、前記プローブベ
クトル校正ステップは、前記再実行された座標変換関数
校正ステップにおける算出結果を用いて前記プローブベ
クトルの校正値を算出する、ことを特徴とする。
【００２２】この発明によれば、予備測定を行って校正
基準の概略の基準座標値を求めた後、この校正基準を測
定するパートプログラムを作成、測定実行する。その結
果から一旦、仮の座標変換関数と基準座標値を求め、そ
の結果を基にして再度パートプログラムを作成、測定実
行させて、その結果から再度、座標変換関数と基準座標
値を求めるので、１回目のパートプログラムによる校正
基準測定結果よりも２回目のパートプログラムによる校
正基準測定結果のほうが高い精度で測定ができる。従っ
て、座標変換関数とプローブベクトルを、より高精度で
求めることが出来るので、倣いプローブの校正精度が向
上する。
基準の概略の基準座標値を求めた後、この校正基準を測
定するパートプログラムを作成、測定実行する。その結
果から一旦、仮の座標変換関数と基準座標値を求め、そ
の結果を基にして再度パートプログラムを作成、測定実
行させて、その結果から再度、座標変換関数と基準座標
値を求めるので、１回目のパートプログラムによる校正
基準測定結果よりも２回目のパートプログラムによる校
正基準測定結果のほうが高い精度で測定ができる。従っ
て、座標変換関数とプローブベクトルを、より高精度で
求めることが出来るので、倣いプローブの校正精度が向
上する。
【００２３】また、本発明は、被測定物を倣い測定する
倣いプローブによって校正基準を測定して該校正基準の
基準座標値を得る予備測定ステップと、前記倣いプロー
ブの測長センサの出力を校正する座標変換関数と、測定
子のオフセットを示すプローブベクトルとを用いて前記
校正基準を測定するパートプログラムを作成すると共に
該パートプログラムを実行して校正測定を行う校正測定
ステップと、前記校正測定ステップにおける測定結果か
ら、前記座標変換関数の校正値と前記校正基準の第２の
基準座標値とを算出する座標変換関数校正ステップと、
前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果から前
記プローブベクトルの校正値を算出するプローブベクト
ル校正ステップとを備える倣いプローブの校正方法にお
いて、前記校正測定ステップと前記座標変換関数校正ス
テップとを複数回だけ実行させる再実行ステップを備
え、前記再実行される校正測定ステップにおいては、再
実行毎に前記倣いプローブの倣い速度と、前記倣いプロ
ーブと前記校正基準との相対距離、とのいずれかが相違
し、前記再実行される前記座標変換関数校正ステップに
おける算出結果は、前記倣い速度あるいは前記相対距離
毎に記憶する、ことを特徴とする。
倣いプローブによって校正基準を測定して該校正基準の
基準座標値を得る予備測定ステップと、前記倣いプロー
ブの測長センサの出力を校正する座標変換関数と、測定
子のオフセットを示すプローブベクトルとを用いて前記
校正基準を測定するパートプログラムを作成すると共に
該パートプログラムを実行して校正測定を行う校正測定
ステップと、前記校正測定ステップにおける測定結果か
ら、前記座標変換関数の校正値と前記校正基準の第２の
基準座標値とを算出する座標変換関数校正ステップと、
前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果から前
記プローブベクトルの校正値を算出するプローブベクト
ル校正ステップとを備える倣いプローブの校正方法にお
いて、前記校正測定ステップと前記座標変換関数校正ス
テップとを複数回だけ実行させる再実行ステップを備
え、前記再実行される校正測定ステップにおいては、再
実行毎に前記倣いプローブの倣い速度と、前記倣いプロ
ーブと前記校正基準との相対距離、とのいずれかが相違
し、前記再実行される前記座標変換関数校正ステップに
おける算出結果は、前記倣い速度あるいは前記相対距離
毎に記憶する、ことを特徴とする。
【００２４】この発明によれば、予備測定を行って校正
基準の概略の基準座標値を求めた後、この校正基準を測
定するパートプログラムを作成、測定実行し、その結果
から座標変換関数の校正値を求める。この際、パートプ
ログラムを作成、測定実行、校正値算出を複数回実行さ
せ、その１回毎に倣い速度と、倣いプローブと校正基準
との相対距離（接触式プローブの場合は押込み量）、と
のいずれかを異なる条件にしておく。この結果、異なる
倣い速度と押込み量毎の、座標変換関数とプローブオフ
セットを求めることができる。このようにすれば、実際
の被測定物の倣い測定において、この倣い速度と押込み
量が最も近い座標変換関数と、プローブオフセットを用
いれば、より精度の高い誤差補正を行うことが出来る。
基準の概略の基準座標値を求めた後、この校正基準を測
定するパートプログラムを作成、測定実行し、その結果
から座標変換関数の校正値を求める。この際、パートプ
ログラムを作成、測定実行、校正値算出を複数回実行さ
せ、その１回毎に倣い速度と、倣いプローブと校正基準
との相対距離（接触式プローブの場合は押込み量）、と
のいずれかを異なる条件にしておく。この結果、異なる
倣い速度と押込み量毎の、座標変換関数とプローブオフ
セットを求めることができる。このようにすれば、実際
の被測定物の倣い測定において、この倣い速度と押込み
量が最も近い座標変換関数と、プローブオフセットを用
いれば、より精度の高い誤差補正を行うことが出来る。
【００２５】また、本発明は、前記プローブベクトル校
正ステップでは、前記再実行された座標変換関数校正ス
テップにおける算出結果を用いて、前記校正基準を再測
定した結果から、前記プローブベクトルの校正値を算出
することが好ましい。このようにすれば、より精度の高
い座標変換関数と基準座標値を用いて再度、高精度で校
正基準を測定することが出来るので、より高い精度でプ
ローブオフセットを求めることが出来る。
正ステップでは、前記再実行された座標変換関数校正ス
テップにおける算出結果を用いて、前記校正基準を再測
定した結果から、前記プローブベクトルの校正値を算出
することが好ましい。このようにすれば、より精度の高
い座標変換関数と基準座標値を用いて再度、高精度で校
正基準を測定することが出来るので、より高い精度でプ
ローブオフセットを求めることが出来る。
【００２６】さらに、本発明は、被測定物を倣い測定す
る倣いプローブの測定装置への取付姿勢が変更された場
合に、該倣いプローブの測長センサの出力を校正する座
標変換関数と、測定子のオフセットを示すプローブベク
トルとを前記取付姿勢に対応するように変換する変換ス
テップと、前記変換された、座標変換関数とプローブベ
クトルとを用いて校正基準を測定するパートプログラム
を作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測
定を行う校正測定ステップと、前記校正測定ステップに
おける測定結果から、前記変換された座標変換関数の校
正値と前記校正基準の基準座標値とを算出する座標変換
関数校正ステップと、前記座標変換関数校正ステップに
おける算出結果から前記変換されたプローブベクトルの
校正値を算出するプローブベクトル校正ステップと、を
備えることを特徴とする。
る倣いプローブの測定装置への取付姿勢が変更された場
合に、該倣いプローブの測長センサの出力を校正する座
標変換関数と、測定子のオフセットを示すプローブベク
トルとを前記取付姿勢に対応するように変換する変換ス
テップと、前記変換された、座標変換関数とプローブベ
クトルとを用いて校正基準を測定するパートプログラム
を作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測
定を行う校正測定ステップと、前記校正測定ステップに
おける測定結果から、前記変換された座標変換関数の校
正値と前記校正基準の基準座標値とを算出する座標変換
関数校正ステップと、前記座標変換関数校正ステップに
おける算出結果から前記変換されたプローブベクトルの
校正値を算出するプローブベクトル校正ステップと、を
備えることを特徴とする。
【００２７】この発明によれば、倣いプローブの取付姿
勢が変更された場合に、姿勢変更前の座標変換関数とプ
ローブベクトルを姿勢変更量に対応するように変換し、
その結果を用いて校正基準を測定するパートプログラム
を作成、測定実行して、その結果から座標変換関数と基
準座標値を求めるので、姿勢変更後に行う１回のみの校
正測定であっても、高い精度で座標変換関数と基準座標
値を求めることが出来る。さらにプローブオフセットの
校正値の精度も高い。従って、高精度で倣いプローブ校
正を行う必要がある場合であっても、校正時間を短縮で
きるので、被測定物測定のための段取り時間が短くな
り、全体として測定効率が向上する。
勢が変更された場合に、姿勢変更前の座標変換関数とプ
ローブベクトルを姿勢変更量に対応するように変換し、
その結果を用いて校正基準を測定するパートプログラム
を作成、測定実行して、その結果から座標変換関数と基
準座標値を求めるので、姿勢変更後に行う１回のみの校
正測定であっても、高い精度で座標変換関数と基準座標
値を求めることが出来る。さらにプローブオフセットの
校正値の精度も高い。従って、高精度で倣いプローブ校
正を行う必要がある場合であっても、校正時間を短縮で
きるので、被測定物測定のための段取り時間が短くな
り、全体として測定効率が向上する。
【００２８】また、本発明は、前記プローブベクトル校
正ステップでは、前記座標変換関数校正ステップにおけ
る算出結果を用いて、前記校正基準を再測定した結果か
ら、前記変換されたプローブベクトルの校正値を算出す
る、ことが好ましい。このようにすれば、より高精度で
求められた座標変換関数と基準座標値を用いて、精度の
高い校正基準測定が行えるので、プローブベクトルの校
正値を高精度で算出できる。
正ステップでは、前記座標変換関数校正ステップにおけ
る算出結果を用いて、前記校正基準を再測定した結果か
ら、前記変換されたプローブベクトルの校正値を算出す
る、ことが好ましい。このようにすれば、より高精度で
求められた座標変換関数と基準座標値を用いて、精度の
高い校正基準測定が行えるので、プローブベクトルの校
正値を高精度で算出できる。
【００２９】さらに、本発明は、前記座標変換関数は、
前記測長センサ出力と座標変換行列の積の形式である、
ことが好ましい。このようにすれば、計算処理が容易と
なる。また、本発明は、前記倣いプローブは接触式倣い
プローブであり、前記プローブベクトル校正ステップで
は、前記接触式倣いプローブの接触子の半径を更に求め
る、ことが好ましい。このようにすれば、実際の測定に
おいて、被測定物表面と測定子中心とのオフセットを正
確に求めることができる。さらに、本発明は、前記校正
基準は球であり、前記基準座標値は、該球の中心座標値
である、ことが好ましい。このようにすれば、精密加工
が容易な球を用いて、極めて高精度な倣いプローブの校
正を行うことが出来る。
前記測長センサ出力と座標変換行列の積の形式である、
ことが好ましい。このようにすれば、計算処理が容易と
なる。また、本発明は、前記倣いプローブは接触式倣い
プローブであり、前記プローブベクトル校正ステップで
は、前記接触式倣いプローブの接触子の半径を更に求め
る、ことが好ましい。このようにすれば、実際の測定に
おいて、被測定物表面と測定子中心とのオフセットを正
確に求めることができる。さらに、本発明は、前記校正
基準は球であり、前記基準座標値は、該球の中心座標値
である、ことが好ましい。このようにすれば、精密加工
が容易な球を用いて、極めて高精度な倣いプローブの校
正を行うことが出来る。
【００３０】また、本発明による倣いプローブの校正方
法をコンピュータに実行させる校正プログラムとするこ
とが好ましい。このようにすれば、例えば、安価な汎用
のコンピュータを用いて、そのコンピュータに本プログ
ラムを実行させることが容易になり、本発明の利用促進
を大幅に図ることができる。
法をコンピュータに実行させる校正プログラムとするこ
とが好ましい。このようにすれば、例えば、安価な汎用
のコンピュータを用いて、そのコンピュータに本プログ
ラムを実行させることが容易になり、本発明の利用促進
を大幅に図ることができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を用いた好適な実施
の形態について図面を用いて説明する。なお、全図中に
おいて同一符号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。図１は、第１実施形態にかかる倣いプローブの校
正方法を示す。まず、ステップ１０で処理を開始し、次
に倣いプローブ１１８を三次元測定機のスピンドル１１
７の先端に取り付け、基準球の半径値（校正済で既
知）、仮のプローブベクトルＰ（プローブ設計図面から
求まる設計値）、仮の補正ボール径ｒ（プローブ設計図
面から求まる設計値）などを計算機２７０へ入力して校
正の準備を行う。（ステップ２０）
の形態について図面を用いて説明する。なお、全図中に
おいて同一符号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。図１は、第１実施形態にかかる倣いプローブの校
正方法を示す。まず、ステップ１０で処理を開始し、次
に倣いプローブ１１８を三次元測定機のスピンドル１１
７の先端に取り付け、基準球の半径値（校正済で既
知）、仮のプローブベクトルＰ（プローブ設計図面から
求まる設計値）、仮の補正ボール径ｒ（プローブ設計図
面から求まる設計値）などを計算機２７０へ入力して校
正の準備を行う。（ステップ２０）
【００３２】次に、倣いプローブ１１８の接触球１２１
を基準球１２０に押込んで４箇所以上の点測定による手
動予備測定を行い、各々の測定点における倣いプローブ
のセンサ出力と三次元測定機の駆動機構の変位を測定す
るリニヤスケール出力を合成した座標値から、基準球１
２０の第１の中心座標値を算出する。測定箇所は、例え
ば基準球の北極位置（１箇所）、赤道位置（４箇所）の
ように選択する。（ステップ３０）
を基準球１２０に押込んで４箇所以上の点測定による手
動予備測定を行い、各々の測定点における倣いプローブ
のセンサ出力と三次元測定機の駆動機構の変位を測定す
るリニヤスケール出力を合成した座標値から、基準球１
２０の第１の中心座標値を算出する。測定箇所は、例え
ば基準球の北極位置（１箇所）、赤道位置（４箇所）の
ように選択する。（ステップ３０）
【００３３】その後、基準球１２０の第１の中心座標
値、基準球の半径値（既知）、仮のプローブベクトルＰ
（プローブ設計図面から求まる設計値）、仮の補正ボー
ル径ｒ（プローブ設計図面から求まる設計値）を用い、
座標変換行列Ｋは単位ベクトルを用いて、点測定による
第１の基準球測定用のパートプログラムを作成する。こ
の時の測定点は、２００乃至３００点程度とする。（ス
テップ４０）次に、点測定による第１の基準球測定用の
パートプログラムを実行して測定点の座標値（センサ出
力とリニヤスケール出力）を求め、その結果から、基準
球１２０の第２の中心座標値（ステップ３０で求めた値
より正確である）を求めると共に、第１の座標変換行列
Ｋを求める。（ステップ５０）
値、基準球の半径値（既知）、仮のプローブベクトルＰ
（プローブ設計図面から求まる設計値）、仮の補正ボー
ル径ｒ（プローブ設計図面から求まる設計値）を用い、
座標変換行列Ｋは単位ベクトルを用いて、点測定による
第１の基準球測定用のパートプログラムを作成する。こ
の時の測定点は、２００乃至３００点程度とする。（ス
テップ４０）次に、点測定による第１の基準球測定用の
パートプログラムを実行して測定点の座標値（センサ出
力とリニヤスケール出力）を求め、その結果から、基準
球１２０の第２の中心座標値（ステップ３０で求めた値
より正確である）を求めると共に、第１の座標変換行列
Ｋを求める。（ステップ５０）
【００３４】その後、これらの基準球１２０の第２の中
心座標値と第１の座標変換行列Ｋを用いて、点測定によ
る第２の基準球測定用のパートプログラムを作成する。
この時の測定点は、５０乃至１００点程度とする。（ス
テップ６０）次に、点測定による第２の基準球測定用の
パートプログラムを実行して、再度、測定点の座標値を
求め、第２の座標変換行列Ｋを求める。（ステップ７
０）この後、第２の座標変換行列Ｋを用いて、基準球１
２０の４点以上の点測定を行い、基準球１２０の第３の
中心座標値（ステップ５０で求めた値より正確であ
る）、プローブベクトル、補正ボール径を求める。尚、
このステップにおける測定処理は手動測定でも良いし、
パートプログラムを作成して自動測定としても良いが、
自動測定の方が測定精度が高い。（ステップ８０）その
後、ステップ９０において処理を終了する。
心座標値と第１の座標変換行列Ｋを用いて、点測定によ
る第２の基準球測定用のパートプログラムを作成する。
この時の測定点は、５０乃至１００点程度とする。（ス
テップ６０）次に、点測定による第２の基準球測定用の
パートプログラムを実行して、再度、測定点の座標値を
求め、第２の座標変換行列Ｋを求める。（ステップ７
０）この後、第２の座標変換行列Ｋを用いて、基準球１
２０の４点以上の点測定を行い、基準球１２０の第３の
中心座標値（ステップ５０で求めた値より正確であ
る）、プローブベクトル、補正ボール径を求める。尚、
このステップにおける測定処理は手動測定でも良いし、
パートプログラムを作成して自動測定としても良いが、
自動測定の方が測定精度が高い。（ステップ８０）その
後、ステップ９０において処理を終了する。
【００３５】この図１に示す第１の実施形態によれば、
次に示す効果がある。 （１）単位ベクトルによる座標変換行列Ｋを用いた第１
の測定用パートプログラムによる第１の測定によって第
１の座標変換行列Ｋを求めた後、この第１の座標変換行
列Ｋを用いた第２の測定用パートプログラムによる第２
の測定によって第２の座標変換行列Ｋを求めたので、座
標変換行列Ｋの誤差が減少する。従って、第２の座標変
換行列Ｋによる倣いプローブの校正精度が向上する。 （２）誤差の減少した第２の座標変換行列Ｋを用いて、
再度校正測定を行って基準球１２０の中心座標値、プロ
ーブベクトルおよび補正ボール径の校正値を求めたの
で、これらの校正誤差が減少し、倣いプローブの総合校
正精度が更に向上する。
次に示す効果がある。 （１）単位ベクトルによる座標変換行列Ｋを用いた第１
の測定用パートプログラムによる第１の測定によって第
１の座標変換行列Ｋを求めた後、この第１の座標変換行
列Ｋを用いた第２の測定用パートプログラムによる第２
の測定によって第２の座標変換行列Ｋを求めたので、座
標変換行列Ｋの誤差が減少する。従って、第２の座標変
換行列Ｋによる倣いプローブの校正精度が向上する。 （２）誤差の減少した第２の座標変換行列Ｋを用いて、
再度校正測定を行って基準球１２０の中心座標値、プロ
ーブベクトルおよび補正ボール径の校正値を求めたの
で、これらの校正誤差が減少し、倣いプローブの総合校
正精度が更に向上する。
【００３６】次に、図２に第２実施形態にかかる倣いプ
ローブの校正方法を示す。図２におけるステップ１１
０、１２０、１３０はそれぞれ図１に示す第１実施形態
のステップ１０、２０、３０と同一であるので、説明は
省略する。ステップ１４０では、基準球１２０の第１の
中心座標値、基準球の半径値（既知）、仮のプローブベ
クトルＰ（プローブ設計図面から求まる設計値）、仮の
補正ボール径ｒ（プローブ設計図面から求まる設計値）
を用い、座標変換行列Ｋは単位ベクトルを用いて、倣い
測定による基準球測定用のパートプログラムを作成す
る。この測定においては、基準球１２０が球状であるか
ら、倣い軌道も円形となり、例えば図３に示すような軌
道となる。ここで、接触球１２１の、基準球１２０に対
する押込み量は、所定量（例えば0.1mm、0.2mmなど）に
なるように軌道を設定する。この場合の測定点は、軌道
上において一定距離進む毎あるいは、一定時間毎の位置
とし、例えば、軌道1周あたり１００点程度とする。こ
の軌道を進む周速度は所定速度（例えば、0.25mm／se
c、0.5mm／secなど）とする。なお、測定は基準球の複
数の緯度において行うのが好ましい。
ローブの校正方法を示す。図２におけるステップ１１
０、１２０、１３０はそれぞれ図１に示す第１実施形態
のステップ１０、２０、３０と同一であるので、説明は
省略する。ステップ１４０では、基準球１２０の第１の
中心座標値、基準球の半径値（既知）、仮のプローブベ
クトルＰ（プローブ設計図面から求まる設計値）、仮の
補正ボール径ｒ（プローブ設計図面から求まる設計値）
を用い、座標変換行列Ｋは単位ベクトルを用いて、倣い
測定による基準球測定用のパートプログラムを作成す
る。この測定においては、基準球１２０が球状であるか
ら、倣い軌道も円形となり、例えば図３に示すような軌
道となる。ここで、接触球１２１の、基準球１２０に対
する押込み量は、所定量（例えば0.1mm、0.2mmなど）に
なるように軌道を設定する。この場合の測定点は、軌道
上において一定距離進む毎あるいは、一定時間毎の位置
とし、例えば、軌道1周あたり１００点程度とする。こ
の軌道を進む周速度は所定速度（例えば、0.25mm／se
c、0.5mm／secなど）とする。なお、測定は基準球の複
数の緯度において行うのが好ましい。
【００３７】次に、ステップ１５０では、所定の押込み
量、所定の周速度によって倣い測定による基準球測定用
のパートプログラムを実行して測定点の座標値（センサ
出力とリニヤスケール出力）を求め、その結果から、基
準球１２０の中心座標値を求めると共に、座標変換行列
Ｋを求める。この中心座標値及び座標変換行列Ｋは、押
込み量と周速度に固有の値として算出され、記憶され
る。その後、ステップ１６０において、所定の押込み量
と所定の周速度の全ての測定が終了したか否かを判定
し、終了していない場合は、異なる押込み量あるいは異
なる周速度を設定してステップ１５０を再実行する。こ
こで押込み量と周速度については、常に一定の押込み量
で複数の周速度としても良いし、一定の周速度で複数の
押込み量、あるいは互いに異なる複数の組み合わせとし
ても良い。要は、ステップ１５０において、中心座標値
及び座標変換行列Ｋが、押込み量と周速度に固有の値と
して算出されて記憶されれば良い。
量、所定の周速度によって倣い測定による基準球測定用
のパートプログラムを実行して測定点の座標値（センサ
出力とリニヤスケール出力）を求め、その結果から、基
準球１２０の中心座標値を求めると共に、座標変換行列
Ｋを求める。この中心座標値及び座標変換行列Ｋは、押
込み量と周速度に固有の値として算出され、記憶され
る。その後、ステップ１６０において、所定の押込み量
と所定の周速度の全ての測定が終了したか否かを判定
し、終了していない場合は、異なる押込み量あるいは異
なる周速度を設定してステップ１５０を再実行する。こ
こで押込み量と周速度については、常に一定の押込み量
で複数の周速度としても良いし、一定の周速度で複数の
押込み量、あるいは互いに異なる複数の組み合わせとし
ても良い。要は、ステップ１５０において、中心座標値
及び座標変換行列Ｋが、押込み量と周速度に固有の値と
して算出されて記憶されれば良い。
【００３８】ステップ１６０において所定の測定が終了
した場合は、次にステップ１７０を実行する。ステップ
１７０では、ステップ１５０において記憶したそれぞれ
の座標変換行列Ｋを用いて、基準球１２０の４点以上の
点測定を行い、基準球１２０の中心座標値、プローブベ
クトル、補正ボール径を求める。この中心座標値、プロ
ーブベクトル、補正ボール径は、押込み量と周速度に固
有の値として算出されて記憶される。尚、このステップ
における測定処理は手動測定でも良いし、パートプログ
ラムを作成して自動測定としても良いが、通常、押込み
量と周速度の組み合わせは複数となるので、自動測定の
方が能率的且つ高精度である。その後、ステップ１８０
において処理を終了する。
した場合は、次にステップ１７０を実行する。ステップ
１７０では、ステップ１５０において記憶したそれぞれ
の座標変換行列Ｋを用いて、基準球１２０の４点以上の
点測定を行い、基準球１２０の中心座標値、プローブベ
クトル、補正ボール径を求める。この中心座標値、プロ
ーブベクトル、補正ボール径は、押込み量と周速度に固
有の値として算出されて記憶される。尚、このステップ
における測定処理は手動測定でも良いし、パートプログ
ラムを作成して自動測定としても良いが、通常、押込み
量と周速度の組み合わせは複数となるので、自動測定の
方が能率的且つ高精度である。その後、ステップ１８０
において処理を終了する。
【００３９】この図２に示す第２の実施形態によれば、
第１実施形態における（２）の効果の他に次に示す効果
がある。 （３）基準球の周囲を円軌道によって倣い測定しなが
ら、所定の押込み量と周速度で校正測定を行ない、中心
座標値、座標変換行列Ｋ、プローブベクトル、補正ボー
ル径が、押込み量と周速度に固有の校正値として算出さ
れるので、実際の倣い測定にあたっては、その押込み量
と周速度に最も近い校正値を用いて倣いプローブの校正
が行えるので、校正精度がより向上する。
第１実施形態における（２）の効果の他に次に示す効果
がある。 （３）基準球の周囲を円軌道によって倣い測定しなが
ら、所定の押込み量と周速度で校正測定を行ない、中心
座標値、座標変換行列Ｋ、プローブベクトル、補正ボー
ル径が、押込み量と周速度に固有の校正値として算出さ
れるので、実際の倣い測定にあたっては、その押込み量
と周速度に最も近い校正値を用いて倣いプローブの校正
が行えるので、校正精度がより向上する。
【００４０】次に図４によって、第３実施形態にかかる
倣いプローブの校正方法を示す。この第３の実施形態に
かかる倣いプローブの校正方法は、三次元測定機のスピ
ンドル１１７の先端に取り付けられる倣いプローブの取
付姿勢が変更された場合の校正作業の簡単化を図るもの
である。倣いプローブの取付姿勢の変更は例えば、図５
（ａ）に示す、ＸＹ平面内における回転、あるいは図５
（ｂ）に示すＹＺ平面内における回転、その他、ＸＺ平
面内における回転、さらにそれらの複合が有る。このよ
うな倣いプローブの姿勢変更を行った場合に、図３に示
す手順によって校正処理を行う。
倣いプローブの校正方法を示す。この第３の実施形態に
かかる倣いプローブの校正方法は、三次元測定機のスピ
ンドル１１７の先端に取り付けられる倣いプローブの取
付姿勢が変更された場合の校正作業の簡単化を図るもの
である。倣いプローブの取付姿勢の変更は例えば、図５
（ａ）に示す、ＸＹ平面内における回転、あるいは図５
（ｂ）に示すＹＺ平面内における回転、その他、ＸＺ平
面内における回転、さらにそれらの複合が有る。このよ
うな倣いプローブの姿勢変更を行った場合に、図３に示
す手順によって校正処理を行う。
【００４１】まず、ステップ２１０によって処理を開始
する。この処理においては、倣いプローブの基準姿勢
（通常はＸＹ平面内、ＹＺ平面内、ＸＺ平面内のいずれ
の回転角度も０度）における校正処理が従来技術あるい
は本発明の第１実施形態などによって既に行われてお
り、基準姿勢における座標変換行列Ｋ、基準球１２０の
中心座標値、基準球の半径値、プローブベクトルＰ、補
正ボール径ｒが求められている状態で実施する。次に、
倣いプローブのスピンドルへの取付姿勢を変更する。こ
の姿勢変更は、手動で行うものでも、あるいは自動で姿
勢変更が可能なものであってもいずれでも良い。（ステ
ップ２２０） その後、基準姿勢における座標変換行列Ｋを姿勢変更状
態に従って変更する。（ステップ２３０）
する。この処理においては、倣いプローブの基準姿勢
（通常はＸＹ平面内、ＹＺ平面内、ＸＺ平面内のいずれ
の回転角度も０度）における校正処理が従来技術あるい
は本発明の第１実施形態などによって既に行われてお
り、基準姿勢における座標変換行列Ｋ、基準球１２０の
中心座標値、基準球の半径値、プローブベクトルＰ、補
正ボール径ｒが求められている状態で実施する。次に、
倣いプローブのスピンドルへの取付姿勢を変更する。こ
の姿勢変更は、手動で行うものでも、あるいは自動で姿
勢変更が可能なものであってもいずれでも良い。（ステ
ップ２２０） その後、基準姿勢における座標変換行列Ｋを姿勢変更状
態に従って変更する。（ステップ２３０）
【００４２】例えば図５（ａ）に示すＸＹ平面内におけ
る回転の場合は、次の計算処理によって変更前の座標変
換行列Ｋに対して、変更後の座標変換行列Ｋｃを求める
ことが出来る。
る回転の場合は、次の計算処理によって変更前の座標変
換行列Ｋに対して、変更後の座標変換行列Ｋｃを求める
ことが出来る。
【数１】
【００４３】また、図５（ｂ）に示すＹＺ平面内におけ
る回転の場合は、次の計算処理によって変更前の座標変
換行列Ｋに対して、変更後の座標変換行列Ｋｃを求める
ことが出来る。
る回転の場合は、次の計算処理によって変更前の座標変
換行列Ｋに対して、変更後の座標変換行列Ｋｃを求める
ことが出来る。
【数２】
【００４４】さらに、図５（ａ）と図５（ｂ）の両方の
回転が与えられた場合は、次の計算処理によって変更前
の座標変換行列Ｋに対して、変更後の座標変換行列Ｋｃ
を求めることが出来る。
回転が与えられた場合は、次の計算処理によって変更前
の座標変換行列Ｋに対して、変更後の座標変換行列Ｋｃ
を求めることが出来る。
【数３】
【００４５】さらに、プローブベクトルＰについても同
様に変更後のプローブベクトルＰｃを求めておく。この
ようにして姿勢変更後に対応する座標変換行列Ｋｃ、プ
ローブベクトルＰｃを求めた後、この座標変換行列Ｋｃ
とプローブベクトルＰｃ、基準球１２０の中心座標値、
基準球の半径値、補正ボール径ｒを用いて、点測定によ
る基準球測定用のパートプログラムを作成する。この時
の測定点は、２００乃至３００点程度とする。（ステッ
プ２４０） 次に、点測定による基準球測定用のパートプログラムを
実行して測定点の座標値（センサ出力とリニヤスケール
出力）を求め、その結果から、基準球１２０の第２の中
心座標値を求めると共に、姿勢変更後の第２の座標変換
行列Ｋｃを求める。（ステップ２５０） この後の、ステップ２６０、２７０の処理は、第１実施
形態におけるステップ８０、９０と同一であるので、説
明を省略する。
様に変更後のプローブベクトルＰｃを求めておく。この
ようにして姿勢変更後に対応する座標変換行列Ｋｃ、プ
ローブベクトルＰｃを求めた後、この座標変換行列Ｋｃ
とプローブベクトルＰｃ、基準球１２０の中心座標値、
基準球の半径値、補正ボール径ｒを用いて、点測定によ
る基準球測定用のパートプログラムを作成する。この時
の測定点は、２００乃至３００点程度とする。（ステッ
プ２４０） 次に、点測定による基準球測定用のパートプログラムを
実行して測定点の座標値（センサ出力とリニヤスケール
出力）を求め、その結果から、基準球１２０の第２の中
心座標値を求めると共に、姿勢変更後の第２の座標変換
行列Ｋｃを求める。（ステップ２５０） この後の、ステップ２６０、２７０の処理は、第１実施
形態におけるステップ８０、９０と同一であるので、説
明を省略する。
【００４６】この図４に示す第３の実施形態によれば、
第１実施形態における（２）の効果の他に次に示す効果
がある。 （４）基準姿勢における座標変換行列Ｋとプローブベク
トルＰを、姿勢変更量に応じて変更して用い、それによ
って基準球測定を行うので、単位ベクトルを用いる場合
に比べて校正精度が格段に向上する。
第１実施形態における（２）の効果の他に次に示す効果
がある。 （４）基準姿勢における座標変換行列Ｋとプローブベク
トルＰを、姿勢変更量に応じて変更して用い、それによ
って基準球測定を行うので、単位ベクトルを用いる場合
に比べて校正精度が格段に向上する。
【００４７】以上、本発明について好適な実施形態を挙
げて説明したが、本発明は、この実施形態に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変更が
可能である。たとえば、図１に示す第１実施形態では、
基準球測定の繰返し数は２回に限定して説明したが、３
回以上としても良く、このようにすればさらに高精度な
倣いプローブ校正が可能となる。また、図２に示す第２
実施形態では、基準球測定の繰返し数は１回に限定して
説明したが、２回以上としても良く、このようにすれば
さらに高精度な倣いプローブ校正が可能となる。さら
に、各実施形態においては、接触式の倣いプローブに限
って説明したが、非接触倣いプローブであっても良い。
げて説明したが、本発明は、この実施形態に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変更が
可能である。たとえば、図１に示す第１実施形態では、
基準球測定の繰返し数は２回に限定して説明したが、３
回以上としても良く、このようにすればさらに高精度な
倣いプローブ校正が可能となる。また、図２に示す第２
実施形態では、基準球測定の繰返し数は１回に限定して
説明したが、２回以上としても良く、このようにすれば
さらに高精度な倣いプローブ校正が可能となる。さら
に、各実施形態においては、接触式の倣いプローブに限
って説明したが、非接触倣いプローブであっても良い。
【００４８】また、倣いプローブの測長センサ出力の補
正は、座標変換行列を用いて行う場合に限って説明した
が、一般的な関数を用いて測長センサ出力の補正を行う
ものであっても良い。さらに、校正基準としては、基準
球に限って説明したが、精密加工されたゲージブロック
などを用いても良い。また、測定装置としては三次元測
定機を用いる場合に限って説明したが、その他の輪郭形
状測定機、真円度測定機、画像測定機などに用いられる
接触あるいは非接触形の倣いプローブであっても、本発
明によって高精度な校正を行うことができる。
正は、座標変換行列を用いて行う場合に限って説明した
が、一般的な関数を用いて測長センサ出力の補正を行う
ものであっても良い。さらに、校正基準としては、基準
球に限って説明したが、精密加工されたゲージブロック
などを用いても良い。また、測定装置としては三次元測
定機を用いる場合に限って説明したが、その他の輪郭形
状測定機、真円度測定機、画像測定機などに用いられる
接触あるいは非接触形の倣いプローブであっても、本発
明によって高精度な校正を行うことができる。
【００４９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、倣
いプローブの校正を高精度で行うことができる。
いプローブの校正を高精度で行うことができる。
【図１】本発明に係る第１実施形態の校正方法を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図２】本発明に係る第２実施形態の校正方法を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】同第２実施形態の校正方法の説明図である。
【図４】本発明に係る第３実施形態の校正方法を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図５】同第３実施形態の校正方法の説明図である。
【図６】本発明を実施する三次元測定機の斜視図であ
る。
る。
【図７】同三次元測定システムのブロック図である。
【図８】本発明を実施する倣いプローブの断面図であ
る。
る。
【図９】倣いプローブの回転誤差を示す模式図である。
【図１０】従来技術による倣いプローブの校正方法を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【符号の説明】
１００ 三次元測定機
１１８ 倣いプローブ
１１９ 測定子
１２０ 基準球
１２１ 接触球
２６０ 駆動装置
２７０ 計算機
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F069 AA04 AA13 AA64 AA66 BB40
CC08 DD22 FF01 FF07 GG01
GG11 GG62 HH02 JJ08 JJ26
LL02 NN00
Claims (9)
- 【請求項１】 被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第２の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記座標
変換関数校正ステップにおける算出結果を用いて、前記
校正測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを
再度実行させる再実行ステップを備え、前記プローブベ
クトル校正ステップは、前記再実行された座標変換関数
校正ステップにおける算出結果を用いて前記プローブベ
クトルの校正値を算出する、ことを特徴とする倣いプロ
ーブの校正方法。 - 【請求項２】 被測定物を倣い測定する倣いプローブに
よって校正基準を測定して該校正基準の基準座標値を得
る予備測定ステップと、前記倣いプローブの測長センサ
の出力を校正する座標変換関数と、測定子のオフセット
を示すプローブベクトルとを用いて前記校正基準を測定
するパートプログラムを作成すると共に該パートプログ
ラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前
記校正測定ステップにおける測定結果から、前記座標変
換関数の校正値と前記校正基準の第２の基準座標値とを
算出する座標変換関数校正ステップと、前記座標変換関
数校正ステップにおける算出結果から前記プローブベク
トルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップ
とを備える倣いプローブの校正方法において、前記校正
測定ステップと前記座標変換関数校正ステップとを複数
回だけ実行させる再実行ステップを備え、前記再実行さ
れる校正測定ステップにおいては、再実行毎に前記倣い
プローブの倣い速度と、前記倣いプローブと前記校正基
準との相対距離、とのいずれかが相違し、前記再実行さ
れる前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果
は、前記倣い速度あるいは前記相対距離毎に記憶する、
ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の倣いプ
ローブの校正方法において、前記プローブベクトル校正
ステップでは、前記再実行された座標変換関数校正ステ
ップにおける算出結果を用いて、前記校正基準を再測定
した結果から、前記プローブベクトルの校正値を算出す
る、ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項４】 被測定物を倣い測定する倣いプローブの
測定装置への取付姿勢が変更された場合に、該倣いプロ
ーブの測長センサの出力を校正する座標変換関数と、測
定子のオフセットを示すプローブベクトルとを前記取付
姿勢に対応するように変換する変換ステップと、前記変
換された、座標変換関数とプローブベクトルとを用いて
校正基準を測定するパートプログラムを作成すると共に
該パートプログラムを実行して校正測定を行う校正測定
ステップと、前記校正測定ステップにおける測定結果か
ら、前記変換された座標変換関数の校正値と前記校正基
準の基準座標値とを算出する座標変換関数校正ステップ
と、前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果か
ら前記変換されたプローブベクトルの校正値を算出する
プローブベクトル校正ステップと、を備えることを特徴
とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項５】 請求項４に記載の倣いプローブの校正方
法において、前記プローブベクトル校正ステップでは、
前記座標変換関数校正ステップにおける算出結果を用い
て、前記校正基準を再測定した結果から、前記変換され
たプローブベクトルの校正値を算出する、ことを特徴と
する倣いプローブの校正方法。 - 【請求項６】 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法において、前記座標変換関数
は、前記測長センサ出力と座標変換行列の積の形式であ
る、ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項７】 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法において、前記倣いプローブ
は接触式倣いプローブであり、前記プローブベクトル校
正ステップでは、前記接触式倣いプローブの接触子の半
径を更に求める、ことを特徴とする倣いプローブの校正
方法。 - 【請求項８】 請求項１乃至請求項７のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法において、前記校正基準は球
であり、前記基準座標値は、該球の中心座標値である、
ことを特徴とする倣いプローブの校正方法。 - 【請求項９】 請求項１乃至請求項８のいずれかに記載
の倣いプローブの校正方法をコンピュータに実行させる
こと、を特徴とした倣いプローブの校正プログラム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001308698A JP3827548B2 (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム |
| US10/265,027 US6701268B2 (en) | 2001-10-04 | 2002-10-04 | Method for calibrating scanning probe and computer-readable medium therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001308698A JP3827548B2 (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003114112A true JP2003114112A (ja) | 2003-04-18 |
| JP3827548B2 JP3827548B2 (ja) | 2006-09-27 |
Family
ID=19127966
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001308698A Expired - Fee Related JP3827548B2 (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム |
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|---|---|
| US (1) | US6701268B2 (ja) |
| JP (1) | JP3827548B2 (ja) |
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| JP2006112861A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Mitsutoyo Corp | 三次元座標測定システム及びそれに用いるパートプログラム |
| JP2009534681A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 差分較正 |
| JP2009276129A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
| JP2010519533A (ja) * | 2007-02-22 | 2010-06-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 較正の方法および装置 |
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| JP2011185853A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Shinmaywa Industries Ltd | 曲率中心検出装置及びこれを使用した孔位置検出方法 |
| JP2016526677A (ja) * | 2013-06-28 | 2016-09-05 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 接触プローブの較正 |
| JP2018124256A (ja) * | 2017-07-04 | 2018-08-09 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
| WO2019235021A1 (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Dmg森精機株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
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|---|---|---|---|---|
| GB0228371D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Leland E C E | Workpiece inspection method |
| GB0322115D0 (en) | 2003-09-22 | 2003-10-22 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
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