JP2003089865A - 真空蒸着用蒸着材料収納容器及び真空蒸着装置、並びに真空蒸着装置への蒸着材料供給方法 - Google Patents
真空蒸着用蒸着材料収納容器及び真空蒸着装置、並びに真空蒸着装置への蒸着材料供給方法Info
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Abstract
に、坩堝に充填する蒸着材料中の空気や不純物を除去す
るとともに、真空蒸発装置の蒸発室の真空を維持した状
態で、前記脱気された蒸着材料を蒸発室内に備えられた
坩堝に供給可能な真空蒸着用蒸着材料容器及び真空蒸着
装置、並びに蒸着材料供給方法を提供することを課題と
する。 【解決手段】 収納容器内および収納される蒸着材料か
ら空気等の気体を抜き取るための脱気口及び脱気用弁
と、気体を抜き取りながら蒸着材料を収納容器内に充填
するための充填口及び充填弁と、収納容器内に充填され
た蒸着材料を排出するための供給口及び供給用弁を具備
する収納容器と、該収納容器が接続可能な密閉の一時保
管容器、及び収納容器を接続可能で、蒸発室内に配置さ
れた坩堝に連通された蒸着材料供給部を具備する真空蒸
着装置により構成するものである。
Description
る蒸着材料で、粒状体、粉状体、フレーク状体等の固体
物質を保管する容器、及び真空蒸着装置、特に坩堝に蒸
着材料を連続的または断続的に供給可能な真空蒸着装
置、並びに真空蒸着装置への蒸着材料供給方法に関す
る。
と、蒸着材料、基板、坩堝、蒸着材料の加熱機構、蒸発
室、シャッター、排気機構及び蒸着膜質に関連する補助
機構によって構成される。蒸着材料は、坩堝に充填され
た状態で、蒸発するまで加熱される材料であり、基板は
蒸発した材料が付着する部分であり、坩堝は蒸着材料を
充填する部分であり、加熱機構は坩堝に充填された材料
を蒸発可能な温度まで上昇させる機構であり、蒸発室は
蒸着材料が基板まで到達する空間であり、シャッターは
加熱によって蒸発する物質を基板まで一時的に到達しな
いように遮断する機構であり、排気機構は蒸発室から空
気などを抜き取り真空を実現する機構であり、補助機構
とは、例えば蒸着材料や不活性ガスをイオン化して運動
エネルギーやチャージの効果を求めるために利用するイ
オン銃などである。
料を坩堝に充填することから始まるが、蒸発室が開放さ
れていないと充填ができないから、充填は大気中で実行
される。蒸着材料の状態は粒体状また粉体状またはフレ
ーク状の固体であるが、大気中で坩堝に充填されるため
に、蒸着材料の集合の中には空気が含まれる。また、蒸
着材料表面には水蒸気や水酸基などが付着し、必ずしも
100%の純度とは限らない。
閉され、排気機構が作動し蒸発室は所定の気圧まで排気
され、いわゆる真空状態になる。続いて加熱機構が働
き、蒸着のための蒸着材料の蒸発が始まる。しかし蒸発
室が真空状態になっても、蒸着材料の集合が抱いている
空気や不純物の気体は加熱前に十分に抜け切ることはな
いから、最初にシャッターを閉じた状態で残存空気や気
化不純物をある程度抜き、次にシャッターを開いて基板
への蒸着材料の蒸着を開始する。
る時間が無駄なものとなり、また蒸着材料の集合が抱い
ている空気や不純物は上層部近くでは取り除かれるが、
集合の下層部に存在するものは、シャッターを開いた後
に蒸発物質とともに基板に到達し、蒸着物のパッキング
密度を悪くしたり、不純物を含んだまま蒸着される。イ
オン銃などの補助機構は、高いパッキング密度や物性制
御を目指しているが、不純物に対しては必ずしも有効で
はない。
る基板に蒸着膜を形成するいわゆる連続蒸着などでは、
一度に多量の蒸着材料が必要となるが、坩堝に貯留でき
る量には限界があるため、蒸発室の外部より、坩堝に蒸
着材料を連続的または断続的に供給可能な真空蒸着装置
として、特開平6−280016号公報所載のものが提
供されている。該真空蒸着装置においては、蒸発室の外
部に蒸着材料を貯留するホッパーを備え、蒸発室の真空
状態を維持したまま、振動フィーダーなどの手段にて蒸
着材料を坩堝に供給可能としている。
も、蒸着材料が貯留されているホッパー内は空気と接触
状態であるため、坩堝に供給される段階では蒸着材料は
空気や不純物を含んでいる。
表面に得られた蒸着膜は、いずれも空気や不純物が混入
する恐れが多いため、例えば蒸着膜の位置によって電気
抵抗値が変化したり、摩擦抵抗値に差が生じるなどの問
題があり、真空蒸着を基礎とした応用技術の近年の進歩
を妨げる大きな原因の一つになっている。
蒸着において基板表面に良質な蒸着膜を得るために成さ
れたもので、坩堝に充填する蒸着材料中の空気や不純物
を除去する(脱気する)とともに、真空蒸発装置の蒸発
室の真空を維持した状態で、前記脱気された蒸着材料を
蒸発室内に備えられた坩堝に供給可能な真空蒸着用蒸着
材料容器及び真空蒸着装置、並びに蒸着材料供給方法を
提供することを課題とする。
した結果、下記の手段により前記課題が解決されること
を見出した。
り、坩堝に蒸着材料を充填する場合、蒸発室を一旦開放
して大気中でこれを行っているので、蒸着材料への空気
の混じり込みを防止することはできない。しかし、蒸発
室の真空状態を維持して坩堝に蒸着材料を充填すること
が可能になるならば、蒸着材料への空気や水蒸気成分な
どの不純物の混じり込みを防止することができる。その
ためには、坩堝とは別の位置に蒸着材料を置き、さらに
当該位置から坩堝へ蒸着材料の送り込み経路を設け、こ
れら各々を大気に露出しない状態、すなわち真空の蒸発
室内にこれら各々を配置しておけば良い。毎分当りに蒸
着材料が1個の坩堝から蒸発する物質の量は極めて僅か
である。従って坩堝とは別の位置にある蒸着材料が毎分
当りに坩堝に送り込まれる量も僅かである。よって坩堝
とは別の位置におかれた蒸着材料が、坩堝に僅かずつ移
動する過程は真空状態であるから、移動する、即ち運動
している過程で蒸着材料に混じり込んだ空気を脱気する
ことが可能であり、このほうが坩堝に充填した後の、即
ち静止状態の蒸着材料から脱気するよりも、より完全に
脱気できる。
に置く蒸着材料の収納容器として用い、且つ真空蒸着装
置に該収納容器を接続可能な蒸着材料供給部を設けるこ
とにより、蒸発室(真空部)に収納容器内及び蒸着材料
の集合が抱き込んだ空気等の気体物質の移動を防止可能
になり、より良い蒸着膜を得ることができる。さらにそ
ればかりでなく、当該収納容器を蒸発室の外部に配置
し、長時間の連続した蒸着材料供給を実現することがで
きる。
空蒸着用蒸着材料を収納する容器であって、容器内およ
び収納される蒸着材料から空気等の気体を抜き取るため
の脱気口及び脱気経路と、脱気経路を開閉する脱気用弁
と、蒸着材料を容器内に充填するための充填口及び充填
経路と、充填経路を開閉する充填用弁と、容器内に充填
された蒸着材料を真空蒸着装置の蒸発室内の坩堝に供給
するための供給口及び供給経路と、供給経路を開閉する
供給用弁とを有し、該収納容器の充填口は別設の一時保
管容器を接続可能に構成する。
気口に真空ポンプを接続して収納容器内を脱気するとと
もに、蒸着材料供給部に接続した密閉状態を維持可能な
一時保管容器より蒸着材料を徐々に収納容器に移し変え
ることにより、蒸着材料の粒子を分散させ、蒸着材料の
間隙に含有する不純気体も脱気することが可能である。
そして、脱気された蒸着材料は、供給口から真空蒸着装
置の蒸発室内に配置された坩堝に真空を維持した状態で
供給される。また、収納容器を脱気した後に脱気用開閉
弁及び材料用開閉弁を閉じることにより、真空状態を維
持しつつ、蒸着材料を保管または移動できる。
納容器において、脱気口、脱気経路及び脱気用弁が、供
給口、供給経路及び供給用弁を兼ねるよう構成するもの
である。
の構造が簡素化され、コスト削減にもつながる。
は2の収納容器において、充填口、充填経路及び充填用
弁が、供給口、供給経路及び供給用弁を兼ねるよう構成
する。
項2と同様の効果が得られる。
いずれかの収納容器において、外部からの加熱によって
蒸着材料中に含まれる不純気体を脱気し、且つ脱気状態
で保存すべく構成するものである。
を一時保管容器より収納容器に移し変える際に、蒸着材
料が気化しない温度にて収納容器を外部から加熱するこ
とにより、蒸着材料の集合の間隙に存在する不純物質だ
けが気化するため、不純物質の除去率が向上する。
かの収納容器において、内部の状態を目視すべく、収納
容器の全体または一部が透明であるよう構成するもので
ある。
を一時保管容器より収納容器へ移し変える際に、蒸着材
料の投入量の不足または過多を防止できるとともに、収
納容器より蒸着材料を真空蒸着装置の蒸発室内に設けた
坩堝に供給する際は、収納容器内の蒸着材料の残量を確
認することも可能になる。
の蒸発室の真空を維持した状態で蒸着材料を蒸発室内の
坩堝に供給可能な真空蒸着装置において、脱気した蒸着
材料が充填された収納容器を接続する蒸着材料供給部
と、蒸発室と外気とを遮断するために該蒸着材料供給部
に設けた真空維持弁と、蒸着材料供給部と蒸発室内の坩
堝を連通する導通経路を備えるよう構成する。
装置の蒸着材料供給部に蒸着材料が充填された収納容器
を接続することにより、蒸着材料を空気に接触させる
(空気中の水蒸気成分や塵埃等の不純物が混入する)こ
となく、しかも蒸発室の真空状態を維持して、坩堝に蒸
着材料を供給できる。また、真空維持弁を設けることに
より、蒸着材料供給部になにも接続されていない時は、
真空維持弁を閉止すれば、蒸発室の真空状態は維持され
る。
状態で蒸着材料が充填された収納容器を、真空蒸着装置
の蒸発室内に設けた坩堝に連通する蒸着材料供給部に接
続し、蒸発室の真空を維持した状態で、蒸着材料を坩堝
に供給することを特徴とする蒸着材料供給方法である。
発室に配置し、蒸発室を脱気した後の作業は、すべて真
空中で行われ、また、坩堝に供給される蒸着材料も脱気
されているため、蒸着膜への空気や不純物の混入が、ほ
とんど無く、上質な蒸着膜が取得される。
いて、添付の図に従って詳細を説明する。図1は、本発
明の第一実施形態にかかる収納容器Aaを示す。容器部
1は坩堝に充填するに必要な量の蒸着材料11を収納・
保管する部分であり、また外部加熱を施す部分でもあっ
て、耐熱材料で形成されている。容器部1の上方部には
3箇所の開口部、即ち脱気口2、充填口5及び供給口8
が設けられ、各々脱気経路3、充填経路6及び供給経路
9を介し容器部1に連通している。また、脱気用弁4、
充填用弁7及び供給用弁10は、各々前記脱気経路3、
充填経路6及び供給経路9を開閉自在に設けられた開閉
弁であり、3箇所の開閉弁(脱気用弁4、充填用弁7及
び供給用弁10)を閉じている限り、収納容器Aa内に
収納された蒸着材料11は外界から遮断されている。
略)等を接続し、容器部1内から空気や不純気体を抜き
取る部分であり、真空ポンプ等と接続可能な、例えばネ
ジ構造などの接続手段を備えている。充填口5は、後述
する別に用意された一時保管容器B(図2)から蒸着材
料11を徐々に移し変える部分であり、一時保管容器B
と接続可能な接続手段を備えている。また、供給口8
は、真空蒸着装置15(図3)に接続し、容器部1内の
蒸着材料11を真空蒸着装置15の蒸発室16内に具備
した坩堝に供給する部分であり、上記同様、真空蒸着装
置15と接続可能な接続手段を備えて構成している。
料11を含気状態で収納するための容器であって、容器
本体17はガラスや金属などの材質で作られ、外気が通
過しない構造である。また一時保管容器Bは、蒸着材料
11の充填口であって且つ収納容器Aに接続して蒸着材
料11を収納容器Aに移し変える開放口18を除き、開
放部分を持たない。該開放口18には封止弁19が設け
られており、一時保管容器Bを転倒させても容器本体1
7に貯留された蒸着材料11が漏出しない構造になって
いる。また、開放口18にも収納容器Aaの充填口5と
密封状態で接続可能な接続手段が設けられていることは
言うまでもない。更に、必要により該開放口18に真空
ポンプを接続して内部の空気を粗引きすることも可能
で、この場合、封止弁19は外気を遮断する。
で、一時保管容器Bに蒸着材料11を十分充填する。次
に、収納容器Aaの充填口5に、全ての弁を閉じた状態
で、蒸着材料11を収納した一時保管容器Bを接続す
る。この場合、蒸着材料11は重力落下することを前提
としているが、粉体のようにブロックを形成しやすく、
流れの悪いものには振動移動を採用しても良い。
を接続し、脱気用弁4を開いて、脱気を開始する。次に
充填用弁5及び封止弁19を開く。すると一時保管容器
Bから収納容器Aaに徐々に蒸着材料11が移し変えな
がら、脱気が実行される。この時、充填用弁5または封
止弁19の開口量を調節することにより、収納容器Aa
への蒸着材料11の投入量を調整することもできる。収
納容器Aaを外部から加熱しながら移し変えれば、蒸着
材料11が抱いている不純物質も気化して、同時に脱気
される。移し変えが所定の量まで達したら、充填用弁5
及び封止弁19を閉じ、脱気用弁4も閉じる。収納容器
Aaの全体または一部が透明ならば、移し変えの量や状
態を目視できる。
には脱気された状態の蒸着材料11が収納された状態に
なる。次に、図3に示すように、収納容器Aaの供給口
8を真空蒸着装置15の蒸発室16の外部(つまり、真
空蒸着装置15の外周部等の大気雰囲気の部位であっ
て、容易に手が届き、且つ収納容器Aaを着脱可能な部
位)に設けられた蒸着材料供給部12に接続する。蒸着
材料11は、該供給口8より蒸着材料供給部12に接続
された導通経路14を介して蒸発室16内の坩堝(図示
省略)に供給される。また、真空蒸着装置15の蒸着材
料供給部12には真空維持弁13が備えられており、蒸
着材料11を投入しない時は完全に閉じられている。ま
たこの真空維持弁13または脱気用弁4は、蒸着材料1
1の坩堝への供給量を調節するための投入量調整弁を兼
ねることができる。この場合の投入も、重力落下を前提
とするが、粉体のようにブロックを形成しやすく、流れ
の悪いものには振動搬送を採用しても良い。
第一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲にて種々の変更が可能である。例え
ば、充填口5、供給口8、脱気口2、開放口18、及び
蒸着材料供給部12に設けられた接続手段は、ワンタッ
チプラグ(エアホースジョイント、ガスホースジョイン
トなどに類するもの)などであってもよい。つまり、着
脱自在な接続手段であればよい。ワンタッチプラグなど
の場合は、雌プラグを収納容器Aa側、つまり脱気口
2、充填口5及び供給口8に採用する方が好ましい。な
ぜなら、ワンタッチプラグの雌プラグ側は、雄プラグを
接続していない時は、自動的にプラグ口は閉止される構
造となっているため、密閉が必要な収納容器Aaに設け
る方がよいからである。
供給経路9及び供給用弁10は、容器部1の上方側に設
けているが、容器部1の下方側でもよい。
弁19は無くてもよい。この場合、収納容器Aaに蒸着
材料11の移し変えを行う際は、充填用弁7の開口量を
調節することにより、蒸着材料11の移し変え量を調整
すればよいし、また、収納容器Aaが転倒した際の蒸着
材料11の漏出防止手段として、開放口18に蓋等を設
けてもよい。
給部12は、蒸発室13の外部に設けられているが、蒸
発室13内部(真空部)に設けてもよい。この場合、真
空維持弁11の開閉ツマミは蒸発室13の外部(大気
中)に配置し、蒸発室13の外部から蒸着材料11の投
入量調整を行えるようにする方が好ましい。
形態について、図4を参酌して説明する。図4は、本発
明の第二実施形態にかかる収納容器Abを示す。容器部
1は坩堝に充填するに必要な量の蒸着材料11を収納・
保管する部分であり、また外部加熱を施す部分でもあっ
て、耐熱材料で形成されている。容器部1の上方部には
2箇所の開口部、即ち充填口5及び共有口20が設けら
れ、各々充填経路6及び共有経路21を介し容器部1に
連通している。また、充填用弁7及び共有弁22は、各
々前記充填経路6及び共有経路21を開閉自在に設けら
れた開閉弁である。さらに、収納容器Ab内部の状態が
目視可能なように、容器部1の全体または一部は透明で
ある方が好ましい。
部1上方部に設けられた共有口20であり、該共有口2
0は、収納容器Aaで言うところの脱気口2及び供給口
8を兼用した開口部である。
は、上述の第一実施形態とまったく同一である。
気方法については、上述の第一実施形態とほぼ同様であ
るので、簡単に説明する。大気中で蒸着材料11が十分
充填された一時保管容器Bの開放口18を、全ての弁
(充填用弁7、共有弁22及び封止弁19)が閉じた状
態で、収納容器Abの充填口5に接続する。収納容器A
bの共有口20に真空ポンプを接続し、共有弁22を開
いて、脱気を開始する。そして次に充填用弁7及び封止
弁19を開き、蒸着材料11の移し変えを実行する。最
後に移し変えが所定の量まで達したら、充填用弁7及び
封止弁19を閉じ、共有弁22も閉じる。前記第一実施
形態の時と同様、充填用弁7または封止弁19で移し変
え量の調整を行うと共に、一時収納容器Abを外部から
加熱しながら蒸着材料11の移し変えを行えば、更に効
果的な脱気が行える。
への蒸着材料11の供給する際は、収納容器Abの共有
口20を蒸着材料供給部12に接続する。そして、共有
弁22及び蒸着材料供給部12に備えた真空維持弁13
を開き、蒸着材料11を導通経路14を介して蒸発室1
6内の坩堝に供給するのである。つまり、共有口20を
蒸着材料供給部12に接続する以外は、上記第一実施形
態に示した収納容器Aaと同様の手順で行えばよい。
べ、開口部が少なくなるため、構造が簡素になると共
に、開閉弁の緩み、劣化及び開閉弁の閉め忘れ等による
空気洩れトラブルも減少するという利点が生じる。
も、前記第二実施形態に限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲にて種々の変更が可能であ
る。例えば、上述の第一実施形態同様、充填口5及び共
有口20に設けられた接続手段は、ワンタッチプラグな
どであってもよい。
は脱気用開口部と供給用開口部(収納容器Aaで言う脱
気口2及び供給口8)を兼用しているが、充填口5を充
填用開口部と供給用開口部(収納容器Aaで言う充填口
5及び供給口8)の兼用とし、共有口20を脱気用開口
(同じく収納容器Aaで言う脱気口2)を独立に設けて
もよい。この場合、収納容器Ab内の脱気を行う際は、
共有口20に真空ポンプ等を接続すると共に、充填口5
に一時保管容器Bを接続する。そして、真空蒸着装置1
5に蒸着材料11を供給する際は、充填口5を真空蒸着
装置15の蒸着材料供給部(図示省略)に接続すればよ
い。
空蒸着される物質は数多くあるが、例えば一酸化珪素
(SiO)を蒸発させて蒸着させる場合、直径約0.1
mmの粒体状のものが容易に入手できる。これを坩堝に
充填して加熱した場合、およそ1200℃に達すると蒸
発が始まる。時間当りの蒸発量は、SiOのバルク密
度、坩堝の容量、加熱方式、与える温度等によって異な
るが、仮に1基の坩堝で毎分0.01cc蒸発させるこ
とができれば、これは決して少ない蒸発量ではない。従
って毎分0.01ccの蒸発量で100分間蒸発を継続
するためには、坩堝に少なくとも1ccを充填しなけれ
ばならない。
を5mmの堆積層で坩堝に充填すると面積が2cm2と
なり、全体的に平均した加熱が実用上難しい。一方5m
mの堆積層から、真空室全体の真空度の中で空気やその
他の不純物質を脱気することも、短時間では極めて困難
である。
し、脱気経路に冷却部を設けた別途の収納容器Aでは、
収納容器A外部からSiOに600℃の温度を与えなが
ら脱気して、30分で容易に30ccを収納することが
できた。因みに収納容器Aの内径は10mmであり、全
体の高さは100mmに抑えることができたので、重量
も軽く、取り扱いも容易である。
は、30分という短時間で、30回分の蒸着量に相当す
る多量の脱気された蒸着材料が得られ、上述の如く、従
来の真空蒸着装置では坩堝内で1ccずつ蒸着材料の脱
気(不純物の除去)を行うことが困難なのに対して、作
業面でも効率化できるという結果が取得された。
の蒸発室の真空度を維持した状態で外部の蒸着材料供給
部に結合し、坩堝に充填・加熱することが可能である。
こうして蒸発室に供給された蒸着材料より得た蒸着膜
は、パッキング密度も安定し、従来法では得られない良
好な膜質である。さらに、収納容器内の蒸着材料は一度
に使い切ることをしなくとも、収納容器の全ての開閉弁
を完全に閉じて長時間保管し、残量を再度利用すること
ができる。これらの効果は、SiOに限られたものでは
なく、広く応用できるので、真空蒸着技術を更に向上さ
せることができる。
全体概略断面図を示す。
保管容器Bの全体概略断面図を示す。
料供給部近傍の構成を示す断面図である。
略断面図を示す。
部、2…脱気口、3…脱気経路、4…脱気用弁、5…充
填口、6…充填経路、7…充填用弁、8…供給口、9…
供給経路、10…供給用弁、11…蒸着材料、12…蒸
着材料供給部、13…真空維持弁、14…導通経路、1
5…真空蒸着装置、16…蒸発室(真空部)、17…容
器本体、18…開放口、19…封止弁、20…共有口、
21…共有経路、22…共有弁
Claims (7)
- 【請求項1】 真空蒸着装置での真空蒸着処理に使用さ
れる固体状の蒸着材料を収納する収納容器であって、収
納容器内および収納される蒸着材料から空気等の気体を
抜き取るための脱気口及び脱気経路と、脱気経路を開閉
する脱気用弁と、蒸着材料を容器内に充填するための充
填口及び充填経路と、充填経路を開閉する充填用弁と、
容器内に充填された蒸着材料を真空蒸着装置の蒸発室内
の坩堝に供給するための供給口及び供給経路と、供給経
路を開閉する供給用弁とを有し、該収納容器の充填口は
別設の一時保管容器を接続可能に構成してなり、一時保
管容器から収納容器に蒸着材料を移し変える過程で、大
気の混入を防止すると共に、双方の容器内及び蒸着材料
の集合に含まれる空気等の気体を脱気して真空化が可能
なことを特徴とする収納容器。 - 【請求項2】 上記収納容器の脱気口、脱気経路及び脱
気用弁が、供給口、供給経路及び供給用弁と同一である
ことを特徴とする請求項1記載の収納容器。 - 【請求項3】 上記収納容器の充填口、充填経路及び充
填用弁が、供給口、供給経路及び供給用弁と同一である
ことを特徴とする請求項1または2記載の収納容器。 - 【請求項4】 外部からの加熱によって蒸着材料中に含
まれる不純気体を脱気した状態で、該蒸着材料を保存す
べく構成されることを特徴とする請求項1乃至3いずれ
かに記載の収納容器。 - 【請求項5】 内部の状態を目視可能とすべく、上記収
納容器の全体または一部が透明であることを特徴とする
請求項1乃至4のいずれかに記載の収納容器。 - 【請求項6】 蒸発室の真空を維持した状態で蒸着材料
を蒸発室内の坩堝に供給可能な真空蒸着装置であって、
脱気した蒸着材料が充填された収納容器を接続する蒸着
材料供給部と、蒸発室と外気とを遮断するために該蒸着
材料供給部に設けた真空維持弁と、蒸着材料供給部と蒸
発室内の坩堝とを連通する導通経路とを備えたことを特
徴とする真空蒸着装置。 - 【請求項7】 脱気された状態で蒸着材料が充填された
収納容器を、真空蒸着装置の蒸発室内に設けた坩堝に連
通する蒸着材料供給部に接続し、蒸発室の真空を維持し
た状態で、蒸着材料を坩堝に供給することを特徴とする
蒸着材料供給方法。
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JP2001282934A JP2003089865A (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 真空蒸着用蒸着材料収納容器及び真空蒸着装置、並びに真空蒸着装置への蒸着材料供給方法 |
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KR100945469B1 (ko) | 2002-02-05 | 2010-03-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 제조 시스템, 제조방법, 제조장치의 조작방법 및 발광장치 |
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- 2001-09-18 JP JP2001282934A patent/JP2003089865A/ja active Pending
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