JP2003043230A - 形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基
板に電気信号を供給する電気的接続手段を使用した形状
可変鏡を提供し、さらにレーザ光の収差補正が可能な前
記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情
報入出力装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板を有する鏡面の形状が可変な形
状可変鏡において、鏡基板の鏡面と反対側の面上に配線
パターンを有する。圧電基板上にも配線パターンを設け
てもよい。さらに鏡基板を固定する鏡固定用部材に配線
パターンを有するか、又は、形状可変鏡の鏡基板を鏡固
定用部材よりも大きくし、鏡基板上の配線パターンの少
なくとも一部が鏡固定部材の外側に位置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鏡面の形状が可変
な形状可変鏡及び光ピックアップ装置を備えた光情報入
出力装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に光ディスクを用いた情報記憶装置
としてＣＤやＤＶＤなどがある。ＤＶＤなどはＣＤに比
べ記録密度が高いため、情報の読み書きに関する条件が
より厳しくなっている。例えば光ピックアップ装置の光
軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実際
には光ディスクが樹脂製である為、ディスク面はかなり
うねりを持っていて、これを回転させると光ピックアッ
プ装置の光軸とディスク面は常には垂直ではなく、ディ
スク面が光軸に対して傾きを持つことがある（以下、デ
ィスク面の光軸に対する傾きをチルトと表現する）。ま
た光ディスクは図１に示すように記録層１０８は樹脂層
１０２ａ、１０２ｂを介在しているため、チルトすなわ
ちディスク面が傾くとレーザ光の光路が曲げられてコマ
収差が発生し、図１の１０３ａ、１０３ｂに示すように
ディスク上に正しくスポットを絞れなくなる。このコマ
収差が許容される量よりも大きくなると、情報を正しく
読み書きできなくなるという不具合が生じる。

【０００３】チルトにより発生する収差を低減する手段
としては、対物レンズと記録層との間の樹脂層の厚みを
薄くする方法がある。実際に図１（ｂ）に示すようなＤ
ＶＤにおいて、対物レンズ１０１ｂと記録層１０８との
間の樹脂層１０２ｂの厚みを、図１（ａ）に示すＣＤの
場合に比較して半分にしてあるのは、コマ収差の低減を
意図したものである。しかしこの方法では、ＤＶＤより
も記録密度を高くしようとした場合には樹脂層をさらに
薄くしてチルトの影響を低減することになるが、今度は
ディスク上にゴミや傷が付いた場合に信号を正しく読み
書きできなくなるという不具合が生じる。このため、ア
クチュエータによって光軸側を傾けて対応しているのが
現状である。

【０００４】チルトを光学的に補正する手段として、ま
ず図２に示すような特開平１０−７９１３５に記載の液
晶板を用いる方法がある。また圧電素子を用いたチルト
によるコマ収差などの補正手段として、図３に示すよう
な特開平５−１４４０５６に記載のレーザ光の光路中に
透明圧電素子を用いる方法や、図４に示すような特開平
５−３３３２７４に記載の複数のアクチェータを利用し
た形状可変鏡を用いる方法などが提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１０−７９１３５のように液晶板を用いて位相を制御す
ることでコマ収差を補正する方法では、レーザーが液晶
板を通過するために光量が減衰し書き込みに必要なエネ
ルギーを得ることが困難であり、また液晶の特性から、
特にタンジェンシャルチルトの制御に要求される高周波
動作に使用することは困難である。

【０００６】また、特開平５−１４４０５６のように透
明圧電素子単体で必要な厚み変化を得るためには、実際
には高電圧が必要となり光ピックアップ装置などに用い
るには現実的ではない。

【０００７】さらに、特開平５−３３３２７４のように
形状可変鏡の鏡自体を積層型圧電素子で変形させ位相制
御する方法は、光ピックアップ装置などの小さい部品に
用いるには配線などの考慮がされておらず、複雑にな
り、かつ組み付けコストも高くなる。また、配線などの
問題が解決できたとしても、積層型圧電素子を小型化す
ることは、技術的にもコスト的にも困難である。

【０００８】これらの公報に記載された発明の問題点を
解決する為、ディスク面のチルトなどにより発生する波
面収差（主としてコマ収差）を、図５のような圧電素子
を使用したユニモルフ又はバイモルフ形状の形状可変鏡
で補正する方法が考えられる。

【０００９】例えば図５に示すような形状可変鏡は、鏡
基板６に鏡材１及びその反対側に絶縁層７を取り付け、
絶縁層７の下に圧電基板用共通電極４ａ、その下に圧電
基板２、さらにその下に圧電基板用個別電極５ａを設置
してある。鏡基板６は、鏡固定用部材８によって鏡固定
部３で支持されている。ここで圧電基板用共通電極４ａ
（図５においては接地）と圧電基板用個別電極５ａとの
間に電圧を印加すると圧電基板２が伸縮し、結果として
鏡材１の鏡面の形状を変形することができる。

【００１０】実際には、圧電基板２上に電圧を印加する
ために、圧電基板用共通電極４ａと圧電基板用個別電極
５ａの各々に、接地を含む外部電源との電気的接続をし
なければならないが、波面収差補正の為には形状可変鏡
の鏡面の形状は高い精度を要求される。従って図５に示
すように、圧電基板２上の圧電基板用共通電極４ａと圧
電基板用個別電極５ａに、接地を含む外部電源に接続す
るフレキシブルコードなどの電気的接続手段を直接接続
すると、形状可変鏡の鏡面が歪んでしまい、チルトによ
る波面収差の補正が鏡面の形状の校正などを必要として
複雑になったり、鏡面の歪みの校正が困難な場合には波
面収差補正に使用できなくなる場合がある。

【００１１】本発明は、形状可変鏡の鏡面の形状に実質
的な影響を与えずに圧電基板に電気信号を供給する電気
的接続手段を使用した形状可変鏡を提供することを目的
とする。

【００１２】さらに本発明は、レーザ光の収差補正が可
能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備え
た光情報入出力装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形状可変鏡におい
て、鏡面と反対側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを
有することを特徴とする。

【００１４】請求項１記載の発明によれば、鏡面と反対
側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを有するので、形
状可変鏡の鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基
板に電気信号を供給する電気的接続手段を使用した形状
可変鏡を提供することができる。

【００１５】請求項２記載の発明は、鏡基板上に設けた
鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変鏡
は、圧電基板を有し、該圧電基板上に圧電基板用配線パ
ターンを有することを特徴とする。

【００１６】請求項２記載の発明によれば、圧電基板上
に圧電基板用配線パターンを有するので、形状可変鏡の
鏡面の形状に対してより影響しにくい電気的接続手段の
接続が可能となる。

【００１７】請求項３記載の発明は、鏡基板上に設けた
鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変鏡
の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固定部材用配線
パターンを有することを特徴とする。

【００１８】請求項３記載の発明によれば、該形状可変
鏡の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固定部材用配
線パターンを有するので、形状可変鏡の鏡面の形状にほ
とんど影響しない電気的接続手段の接続が可能となる。

【００１９】請求項４記載の発明は、請求項３記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定部材用配線パターンは、
鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部とを有し、前記
鏡固定用部材は、前記鏡基板側電極接続部と前記外部側
電極接続部との間に段差を有することを特徴とする。

【００２０】請求項４記載の発明によれば、鏡固定用部
材の鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部との間に段
差を有するので、電気的接続手段を鏡面より出っ張るこ
となく接続できる。

【００２１】請求項５記載の発明は、請求項４記載の形
状可変鏡において、前記段差は、斜面又は曲面で形成さ
れることを特徴とする。

【００２２】請求項５記載の発明によれば、段差の境界
部分は垂直ではなく、斜面又は曲面で形成されるので、
鏡固定部材用配線パターンの配線を容易に行うことがで
きる。

【００２３】請求項６記載の発明は、請求項５記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定部材用配線パターンは、
前記鏡固定用部材の前記鏡基板側電極接続部より中心側
に配線してあることを特徴とする。

【００２４】請求項６記載の発明によれば、鏡固定部材
用配線パターンは、鏡固定用部材の鏡基板側電極接続部
より中心側に配線してあるので、鏡固定部材用配線パタ
ーンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、従って鏡
固定用部材を小さくすることができる。

【００２５】請求項７記載の発明は、請求項６記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、端部の一部分
に凹部を有することを特徴とする。

【００２６】請求項７記載の発明によれば、鏡固定用部
材の端部の一部分に凹部を有するので、鏡固定部材用配
線パターンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、鏡
固定用部材を小さくすることができ、電気的接続手段を
鏡固定用部材の端部から引き出すことが可能となる。

【００２７】請求項８記載の発明は、請求項７記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、前記凹部を前
記鏡基板側電極接続部の近傍に設けることを特徴とす
る。

【００２８】請求項８記載の発明によれば、鏡固定用部
材の端部の凹部を、鏡基板側電極接続部の近傍に設けた
ので、鏡固定部材用配線パターンが鏡面の大きさからは
み出すことがなく、鏡固定用部材を小さくすることがで
き、電気的接続手段を鏡固定用部材の端部から引き出す
ことが可能となり、さらに鏡固定部材用配線パターンの
領域を少なくすることが可能となる。

【００２９】請求項９記載の発明は、請求項６記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、貫通する穴を
有することを特徴とする。

【００３０】請求項９記載の発明によれば、鏡固定用部
材が貫通する穴を有するので、鏡固定部材用配線パター
ンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、鏡固定用部
材を小さくすることができ、電気的接続手段を端部に引
き出せない場合でも穴を通じて引き出しが可能となる。

【００３１】請求項１０記載の発明は、請求項３記載の
形状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、前記鏡基板
部を固定する側と反対側の面に前記鏡固定部材用配線パ
ターンを有することを特徴とする。

【００３２】請求項１０記載の発明によれば、鏡固定用
部材が前記鏡基板部を固定する側と反対側の面に鏡固定
部材用配線パターンを有するので、形状可変鏡を組み立
てた後に鏡固定用部材の鏡固定部材用配線パターンと鏡
面と反対側の鏡基板上の鏡基板用配線パターンとを接続
することができる。

【００３３】請求項１１記載の発明は、鏡基板上に設け
た鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変
鏡の前記鏡基板は、該鏡基板を固定する鏡固定用部材よ
りも大きく、前記鏡面と反対側の前記鏡基板上にある鏡
基板用配線パターンの少なくとも一部は、前記鏡固定用
部材の外側にあることを特徴とする。

【００３４】請求項１１記載の発明によれば、形状可変
鏡の鏡基板は、鏡基板を固定する鏡固定用部材よりも大
きく、鏡面と反対側の鏡基板上にある鏡基板用配線パタ
ーンの少なくとも一部は、鏡固定用部材の外側にあるの
で、鏡基板用配線パターンと電気的接続手段とを直接接
続し、かつ形状可変鏡の鏡面の形状に影響の少ない電気
的接続手段の接続が可能となる。

【００３５】請求項１２記載の発明は、光ディスク情報
入出力装置において、請求項１乃至１１記載の形状可変
鏡を有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とす
る。

【００３６】請求項１２記載の発明によれば、鏡面の形
状に実質的な影響を与えずに圧電基板に電気信号を供給
する電気的接続手段を使用する形状可変鏡を有し、レー
ザ光の収差補正が可能な光ピックアップ装置を備えた光
情報入出力装置を提供することかできる。

【００３７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。

【００３８】まず、本発明の形状可変鏡の形態に関する
第１の実施例を、図６及び図７を用いて説明する。図６
ではレーザ光を反射する形状可変鏡の鏡面を下向きに、
図７では上向きにして描いてある。ここで説明の便宜
上、本発明の形状可変鏡を、鏡基板部、圧電基板部、鏡
固定用部材８、ワイヤ２１に分けて説明する。

【００３９】図６は、本発明の形状可変鏡の鏡基板部を
示す図であり、鏡基板部は、鏡材１、鏡基板６、絶縁層
７、鏡基板用共通電極４ｂや鏡基板用個別電極５ｂなど
の基板上の電極や配線パターンを含む。鏡基板６には、
鏡面を有する鏡材１が取り付けあり、鏡基板６の鏡材１
と反対側の面に絶縁層７が取り付けてある。絶縁層７の
上には鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電極５ｂ
が、本実施例では同一平面上で分離して設置されてい
る。これらの鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電極
５ｂを鏡基板部に設置することが、図５に示すような従
来の形状可変鏡と異なっており本発明の特徴である。ま
た鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電極５ｂなどの
鏡基板６上の（本実施例では正確には絶縁層７上の）電
極及び配線パターンを、鏡基板用配線パターンと定義す
る。

【００４０】図７（ａ）は、本発明の鏡基板部と圧電基
板部とを例えば接着などの手段を用いて一体化し、ワイ
ヤ２１で電極５ａと５ｂを接続した状態の斜視図を示
す。ここで、圧電基板部は、圧電素子から成る圧電基板
２、圧電基板２に電圧を印加する為の圧電基板用共通電
極４ａと圧電基板用個別電極５ａ、圧電基板２上の配線
パターンを含む部分である。図７（ａ）においては、圧
電基板用共通電極４ａの上に圧電基板２が取り付けらえ
ており、圧電基板２の上に圧電基板用個別電極５ａが設
置され、圧電基板部を構成している。圧電基板２に電圧
を印加する為の電極４ａ、５ａを除く、圧電基板２上の
配線パターンを圧電基板用配線パターン５ｃと定義す
る。ただし圧電基板用配線パターン５ｃと圧電基板２に
電圧を印加する為の電極（本実施例では５ａ）とは接続
されて一体となっていてもよい。図７（ａ）において
は、鏡基板部の鏡基板用共通電極４ｂの上に、圧電基板
部の圧電基板用共通電極４ａが設置されるようにして一
体化され、圧電基板部の圧電基板用個別電極５ａと鏡基
板部の鏡基板用個別電極５ｂを細いワイヤ２１で電気的
に接続する。また圧電基板用共通電極４ａと鏡基板用共
通電極４ｂは直接面で接触し電気的に接続されている。

【００４１】さらに図７（ｂ）は、図７（ａ）に示した
部分を鏡固定用部材８で固定してできる形状可変鏡の図
７（ａ）に示す線Ｂ及び線Ｂ’に沿った方向の断面図を
示す。図７（ｂ）に示すように本発明の形状可変鏡にお
いては、圧電基板部と一体化した鏡基板部を固定する為
の鏡固定用部材８は、対向した２辺に凸部を有し、鏡基
板部と鏡固定部３で接触して鏡基板部を固定する。鏡固
定用部材８は、鏡固定部３付近の鏡基板用共通電極４ｂ
や鏡基板用個別電極５ｂと接触してもよいが、この場合
には鏡固定用部材８は絶縁体であるか、又は表面が絶縁
体で覆われている必要がある。このような鏡固定用部材
８を用いて鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電極５
ｂを絶縁することにより、鏡基板用共通電極４ｂと鏡基
板用個別電極５ｂに、従って圧電基板用共通電極４ａと
圧電基板用個別電極５ａとの間の圧電基板２に電圧を印
可することが可能となる。

【００４２】ここで圧電基板２に印可する電圧を制御す
る電気信号を形状可変鏡に与える為の手段を、電気的接
続手段と呼ぶことにし、例えばフレキシブルコードなど
がある。本実施例では、電気的接続手段を鏡基板用共通
電極４ｂの端部付近と鏡基板用個別電極５ｂの端部付近
に接続して、圧電基板２に印可する電圧を制御する電気
信号を与えることができる。

【００４３】次に本発明の形状可変鏡の動作を図７、図
８を用いて説明する。図７に示すような構造の形状可変
鏡において、共通電極４ａ、４ｂを接地し、２つある鏡
基板用個別電極５ｂの、つまり圧電基板２における２つ
の圧電基板用個別電極５ａの、片方にプラスの電圧、他
方にマイナスの電圧を印加するとする。鏡基板６は電圧
を印加しても伸縮しないが、圧電素子から成る圧電基板
２は、電圧を印加すれば伸縮する。鏡基板用個別電極５
ｂにプラスの電圧を印加した場合には、鏡基板用個別電
極５ｂの設置部分の圧電基板２が縮むとすると、マイナ
スの電圧を印加した場合にはその部分の圧電基板２は伸
びることとなり、基板用個別電極５ｂにプラスの電圧を
印加した場合は鏡材１の鏡面は凸面に、基板用個別電極
５ａにマイナスの電圧を印加した場合は鏡材１の鏡面は
凹面になる。その結果図７（ａ）に示す形状可変鏡の鏡
面の形状は、例えばＡ−Ａ’断面においては図８（ｄ）
に示すような断面形状の曲面になる。また２つの基盤用
個別電極５ａに、前述と逆の電圧をかけた場合には、Ａ
−Ａ’断面が図８（ｄ）と逆の断面形状になる。

【００４４】次に本発明の形状可変鏡を用いた本発明の
光ディスク情報入出力装置の構成について説明する。図
９に、本発明の光ディスク情報入出力装置のブロック図
を示す。図９に示すように本発明の光ディスク情報入出
力装置は、本発明の形状可変鏡１０、光ディスク１１、
対物レンズ及び対物光学系１２、立ち上げ鏡１３、偏光
ビームスプリッタ１４、レーザ素子及びレーザ光学系１
５、光検出素子及び光検出光学系１６から成る。レーザ
ー素子から発光するレーザー光は、レーザ光学系によっ
て平行光となり、偏光ビームスプリッタ１４を通り、形
状可変鏡１０で反射され、立ち上げ鏡１３でさらに反射
され、対物レンズ及び対物光学系１２で集光され、光デ
ィスク１１に焦点を結ぶ。また、光ディスク１１から反
射したレーザ光は、対物レンズ及び対物光学系１２を通
り、立ち上げ鏡１３で反射され、形状可変鏡１０で再度
反射され、偏光ビームスプリッタ１４を通り、光検出光
学系で集光され、光検出素子で検出する。光検出素子に
はチルト検出用の検出素子も設置されている。なお図９
において、光ディスク１１以外の部分が、光ピックアッ
プ装置に対応する。

【００４５】次に本発明の光ディスク情報入出力装置に
おけるレーザ光の波面収差補正について説明する。図９
に示す本発明の光ディスク情報入出力装置において、光
ディスク１１にチルトが起こると、光ディスク１１から
反射して戻ってきたレーザ光の波面は乱れコマ収差が発
生する。チルトした光ディスク１１から戻ってきて形状
可変鏡１０の鏡面に入射するレーザ光の波面収差は、レ
ーザ光の光束の断面に対して図１０に示すような等高線
で表わされる。ここで、光ディスク１１がチルトした方
向に対応するレーザ光束断面の方向が図１０のＡ−Ａ’
方向である。すなわちＡ−Ａ’方向に沿って符号が変わ
る波面収差が発生する。

【００４６】このようなチルトにより発生する波面収差
を打ち消すために、図７に示す本発明の形状可変鏡を、
図７のＡ−Ａ’方向と図１０のＡ−Ａ’方向とを一致さ
せて図９のように光ピックアップ装置の光軸上に設置す
る。前述した本発明の形状可変鏡の動作により、鏡面の
形状を図７のＡ−Ａ’方向について凸面と凹面が生じる
ように鏡面の形状を適切に制御すれば、チルトによる波
面収差（コマ収差）の補正又は低減が可能となる。ここ
で簡単の為に図１０におけるＡ−Ａ’方向についてのみ
注目して、レーザ光の波面収差補正を、図８を用いて説
明する。

【００４７】図８（ａ）は、図１０のＡ−Ａ’方向に対
するレーザ光の波面収差図である。ここで、図８の縦軸
は波面収差であり、横軸は図７に示す本発明の形状可変
鏡を図７のＡ−Ａ’方向と図１０のＡ−Ａ’方向とを一
致させて設置したとすれば、図８の横軸は図７で示した
形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の軸と同一である。なお、光
ディスク１１がチルトせずレーザ光の光軸に対し垂直で
あれば、図８（ａ）に示すような波面収差は発生せず、
波面は横軸に一致する。図８（ｂ）は、図７に示した形
状可変鏡を故意に収差を発生させるように動作させ、無
収差の光を形状可変鏡に照射した場合の反射光の波面収
差を表した図である。今、光ディスクにチルトが生じ、
光ディスクからの反射光の波面収差が図８（ａ）であっ
たとして、形状可変鏡の形状を、光ディスクにチルトが
生じていない場合に形状可変鏡で反射した光の波面収差
が図８（ｂ）となるように制御する。このときには、図
８（ａ）と図８（ｂ）の波面収差が互いに相殺する関係
となって形状可変鏡からの反射光の波面収差は図８
（ｃ）のようになり、図８（ａ）と比較して波面収差を
低減させることができる。

【００４８】次に本発明における形状可変鏡の第２の実
施例を図１１及び図１２を用いて説明する。図１１、図
１２は鏡面を下側にして描いてある。形状可変鏡の圧電
基板部は図１１（ａ）に示すように、圧電基板２の片面
に、圧電基板用個別電極５ａが設置され、圧電基板用配
線パターン５ｃが配線されている。圧電基板用配線パタ
ーン５ｃは、圧電基板用個別電極５ａと接続されてい
る。その圧電基板２の他方の面には図示していないが、
圧電基板用共通電極４ａが、全面又は圧電基板用個別電
極５ａと略同じ形状、略同じ配置で対向するように設置
されている。また形状可変鏡の鏡基板部は図１１（ｂ）
に示すように、鏡基板６の鏡面と反対側の面に、鏡基板
用共通電極４ｂと鏡基板用個別電極５ｂが設置されてい
る。このように鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電
極５ｂは、同一平面上にあって、互いに分離している。
図１１（ｂ）に示す鏡基板部の上に図１１（ａ）に示す
圧電基板部を、例えば接着などの手段を用いて一体化
し、ワイヤ２１で接続した状態が図１２である。

【００４９】図１２において、（ａ）は鏡基板部と圧電
基板部を一体化してワイヤで接続した状態の斜視図、
（ｂ）は固定用部材８である。図示してはいないが鏡基
板６には、鏡面側に鏡材１が、鏡面と反対側の面には絶
縁層７が取り付けてある。絶縁層７の上には鏡基板用共
通電極４ｂと鏡基板用個別電極５ｂが設置されている。
鏡基板用共通電極４ｂの上には、図示していないが圧電
基板用共通電極４ａがあり、その上に圧電基板２、さら
にその上に圧電基板用個別電極５ａ及び圧電基板用配線
パターン５ｃが設置されている。圧電基板用個別電極５
ａと鏡基板用個別電極５ｂは、圧電基板用配線パターン
５ｃを介して細いワイヤ２１で電気的に接続されてお
り、また圧電基板用共通電極４ａと鏡基板用共通電極４
ｂは、互いの面が直接接触しており電気的に接続してい
る。本実施例の特徴は、圧電基板用配線パターン５ｃが
圧電基板２の端部に存在する為に、ワイヤ２１の接続を
圧電基板２の端部で行うことができ、かつワイヤ２１の
長さも短くて済むため、ワイヤ２１の接続による鏡面に
対する変形などの影響を、より小さくすることができる
ことにある。図１２（ａ）に示すような構造である鏡基
板部を、図１２（ｂ）に示すような鏡固定用部材８に鏡
固定部３で固定する。鏡固定用部材８は、図１２（ｂ）
に示すように、対向した２辺に凸部を有し、それらの凸
部が鏡基板部と鏡固定部３で接触し、形状可変鏡を固定
する。さらに凸部の中央部分が凹状になっており、ワイ
ヤ２１の鏡固定部材３との接触を避けることができる。
ここで鏡固定用部材８は、絶縁体であるか、又は表面が
絶縁体で覆われており、鏡基板用共通電極４ｂの端部付
近と鏡基板用個別電極５ｂに、図示していないが電気的
接続手段（例えばフレキシブルコード）を接続して、圧
電基板２に印可する電圧を制御する電気信号を与えるこ
とができる。なお、圧電用配線パターン５ｃは、鏡面に
対する変形などの影響を極力避ける為にできるだけ細い
ことが望ましい。

【００５０】次に本発明における形状可変鏡の第３の実
施例を、図１３を用いて説明する。図１３（ａ）は本実
施例における形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した
部分は、図７（ａ）や図１２（ａ）で示したような、鏡
基板部と圧電基板部とを一体化しワイヤで接続した部分
である。図１３（ｂ）は、例として図７（ａ）で示した
部分を本実施例の固定用部材８に固定した場合の、図１
３（ａ）における線Ｂ、線Ｂ’に沿った方向の断面図を
表している。なお図１３は、鏡面を上にして描いてあ
る。

【００５１】鏡基板６には鏡面側に鏡材１が取り付けて
あり、鏡面の反対側には絶縁層７が取り付けてある。絶
縁層７の下には鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電
極５ｂが設置されている。鏡基板用共通電極４ｂの下に
は、圧電基板用共通電極４ａがあり、その下に圧電基板
２、さらにその下に圧電基板用個別電極５ａが設置され
ている。圧電基板用個別電極５ａと鏡基板用個別電極５
ｂは細いワイヤ２１で電気的に接続され、圧電基板用共
通電極４ａと鏡基板用共通電極４ｂは互いの面が直接、
接触しており電気的に接続している。

【００５２】図１３（ｂ）に示すような構造の鏡基板部
を、図１３（ａ）に示す鏡固定用部材８に鏡固定部３で
固定する。鏡固定用部材８は、図１３（ａ）に示すよう
に、対向した２辺に凸部を有し、それらの凸部が鏡基板
部と鏡固定部３で接触し、形状可変鏡を固定する。ここ
で鏡固定用部材８は、絶縁体、又は表面が絶縁体で覆わ
れている状態であり、鏡固定部材用配線パターン９が配
線されている（ここで鏡固定用部材８上の配線を鏡固定
部材用配線パターン９と定義する）。鏡固定部材用配線
パターン９のうち、鏡基板６の電極４ｂ、５ｂと接触す
る部分を鏡基板側電極接続部９ａ、電気的接続手段と接
続する部分を外部側電極接続部９ｂと呼ぶことにする。
鏡基板側電極接続部９ａには、鏡基板用共通電極４ｂや
鏡基板用個別電極５ｂが直接接触して導通できるように
なっている。外部側電極接続部９ｂにはフレキシブルコ
ードなどの電気的接続手段を接続できるようになってお
り、鏡基板にほとんど負荷をかけることなく、電気的接
続手段により圧電基板２に印可する電圧を制御する電気
信号を与えることができる。本実施例では、外部側電極
接続部９ｂを設けていることにより、電気的接続手段の
接続領域が広くなり、接続を容易に行うことができる。

【００５３】次に本発明における形状可変鏡の第４の実
施例を、図１４を用いて説明する。図１４は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図７（ａ）や図１２（ａ）で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。図１４に点
線で示すような構造の鏡基板部を、図１４に示す鏡固定
用部材８に鏡固定部３で固定する。鏡固定用部材８は、
図１４に示すように、対向した２辺に凸部を有し、それ
らの凸部が鏡基板部と鏡固定部３で接触し、形状可変鏡
を固定する。ここで鏡固定用部材８は、絶縁体、又は表
面が絶縁体で覆われている状態であり、鏡固定部材用配
線パターン９が配置されている。鏡固定部材用配線パタ
ーン９には、鏡基板側電極接続部９ａと外部側電極接続
部９ｂが存在する。ここで鏡基板側電極接続部９ａと外
部側電極接続部９ｂの間には、図１４に示すように段差
があり、外部側電極接続部９ｂの高さが鏡基板側電極接
続部９ａの高さよりも低くなっている。鏡基板側電極接
続部９ａと外部側電極接続部９ｂの間に上記のような段
差を設けることにより、外部側電極接続部９ｂに接続す
る電気的接続手段を、鏡面よりも上に出っ張ることなく
接続することができる。また段差部８ａの境界部分、す
なわち鏡基板側電極接続部９ａと外部側電極接続部９ｂ
の境界部分は、図１４に示すように、垂直ではなく段差
斜面８ｈとなっている。なお段差部８ａの境界部分は曲
面でも良い。段差部８ａの境界部分を斜面又は曲面とす
ることにより、鏡固体部材用配線パターン９の配線を容
易に行うことができる。鏡基板側電極接続部９ａには、
直接鏡基板用共通電極４ｂや鏡基板用個別電極５ｂが接
触して導通できるようになっている。なお、鏡基板側電
極接続部９ａ及び、直接鏡基板用共通電極４ｂ又は鏡基
板用個別電極５ｂの間に導電材が介在していても良い。
外部側電極接続部９ｂには、フレキシブルコードなどの
電気的接続手段を接続できるようになっており、鏡基板
６にほとんど負荷をかけることなく、電気的接続手段に
より圧電基板２に印可する電圧を制御する電気信号を与
えることができる。

【００５４】次に本発明における形状可変鏡の第５の実
施例を、図１５を用いて説明する。図１５は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図７（ａ）や図１２（ａ）で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。ここでは鏡
面を上にして描いてある。図１５に示すような構造の鏡
基板部を、図１５に示す鏡固定用部材８に鏡固定部３で
固定する。鏡固定用部材８は、図１５に示すように、対
向した２辺に凸部を有し、それらの凸部が鏡基板部と鏡
固定部３で接触し、形状可変鏡を固定する。ここで鏡固
定用部材８は、絶縁体、又は表面が絶縁体で覆われてい
る状態であり、鏡固定部材用配線パターン９が配置され
ている。鏡固定部材用配線パターン９は、鏡固定部３よ
り（鏡端部より）中心側に存在しており、鏡基板側電極
接続部９ａと外部側電極接続部９ｂが存在する。本実施
例では、鏡固定部材用配線パターン９が端部より中心側
に存在しており外部側電極接続部９ｂが鏡面より外側に
位置せずに鏡面の下側に全て位置してはみ出さない為、
鏡固定用部材８を鏡面の大きさと同じにすることができ
る（実施例４（図１４）と比較して小さくできる）。こ
こで鏡基板側電極接続部９ａと外部側電極接続部９ｂの
間には、図１４に示すように段差があり、外部側電極接
続部９ｂの高さが鏡基板側電極接続部９ａの高さよりも
低くなっている。また段差部８ａの境界部分、すなわち
鏡基板側電極接続部９ａと外部側電極接続部９ｂの間
は、図１５に示すように、垂直ではなく段差斜面８ｈと
なっている。なお段差部８ａの境界部分は曲面でも良
い。鏡基板側電極接続部９ａには、直接鏡基板用共通電
極４ｂや鏡基板用個別電極５ｂが接触して導通できるよ
うになっている。なお、鏡基板側電極接続部９ａ及び、
直接鏡基板用共通電極４ｂ又は鏡基板用個別電極５ｂの
間に導電材が介在していても良い。外部側電極接続部９
ｂには、フレキシブルコードなどの電気的接続手段を接
続できるようになっており、鏡基板６にほとんど負荷を
かけることなく、電気的接続手段により圧電基板２に印
可する電圧を制御する電気信号を与えることができる。

【００５５】次に本発明における形状可変鏡の第６の実
施例を、図１６を用いて説明する。本実施例では、図１
５に示した第５の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材８の辺の一部分に凹部８ｂを有する。また外部
側電極接続部９ｂは、凹部８ｂまで又は凹部８ｂの近傍
まで設置されることが望ましい。本実施例のように辺の
一部分に凹部８ｂを有することにより、鏡固定部材用配
線パターン９が鏡面の大きさから外側へはみ出すことが
なく、鏡固定用部材８を小さくすることができ、また電
気的接続手段を鏡固定用部材８の端部から引き出すこと
が可能となる。図１６のように一つの辺に凹部８ｂを設
けた場合は、一方向への引き出しを可能とする。また鏡
基板にほとんど負荷をかけることなく、電気的接続手段
により圧電基板２に印可する電圧を制御する電気信号を
与えることができる。

【００５６】次に本発明における形状可変鏡の第７の実
施例を、図１７を用いて説明する。本実施例では、図１
５に示した第５の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材８の辺の一部分に凹部８ｃを有し、かつその凹
部８ｃは鏡基板側電極接続部９ａの近傍に位置する。本
実施例のように２つの辺に関して、辺の一部分に凹部８
ｃを有することにより、鏡固定部材用配線パターン９が
鏡面の大きさから外側へはみ出すことがなく、鏡固定用
部材８を小さくすることができ、また電気的接続手段を
鏡固定用部材８の端部から引き出すことを可能とする。
図１７のように二つの辺に凹部８ｃを設けた場合は、電
気的接続手段の二方向へ引き出すことができる。また、
凹部８ｃは鏡基板側電極接続部９ａの近傍に位置するこ
とにより、鏡固定部材用配線パターンの領域が少なくて
済む（図１７においては、配線の長さを図１６よりも短
くできる）。さらに鏡基板６にほとんど負荷をかけるこ
となく、電気的接続手段により圧電基板２に印可する電
圧を制御する電気信号を与えることができる。

【００５７】次に本発明における形状可変鏡の第８の実
施例を、図１８を用いて説明する。本実施例では、図１
５に示した第５の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材８の一部分に貫通する穴８ｄを設けている。本
実施例のように鏡固定用部材８に貫通する穴８ｄを設け
ることにより、鏡固定部材用配線パターン９が鏡面の大
きさからはみ出すことがなく、鏡固定用部材８を小さく
することができ、また電気的接続手段を端部に引き出せ
ない場合でも、貫通する穴８ｄを通じて引き出し可能と
する。鏡基板６にほとんど負荷をかけることなく、電気
的接続手段により圧電基板２に印可する電圧を制御する
電気信号を与えることができる。

【００５８】次に本発明における形状可変鏡の第９の実
施例を、図１９を用いて説明する。図１９は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図７（ａ）や図１２（ａ）で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。なお、図１
９では鏡面を下にして描いてある。鏡基板６には鏡面側
に鏡材１が取り付けてあり、鏡面の反対側には絶縁層７
が取り付けてある。絶縁層７の上には鏡基板用共通電極
４ｂと鏡基板用個別電極５ｂが設置されている。鏡基板
用共通電極４ｂの上には、圧電基板用共通電極４ａがあ
り、その上に圧電基板２、さらにその上に圧電基板用個
別電極５ａが設置されている。圧電基板用個別電極５ａ
と鏡基板用個別電極５ｂは、細いワイヤ２１で電気的に
接続され、圧電基板用共通電極４ａと鏡基板用共通電極
４ｂは互いの面が直接、接触しており電気的に接続して
いる。図１９に示すような構造の鏡基板部を、図１９に
示す鏡固定用部材８に鏡固定部３で固定する。鏡固定用
部材８は、図１９に示すように、対向した２辺に凸部を
有し、それらの凸部が鏡基板部と鏡固定部３で接触し、
形状可変鏡を固定する。ここで鏡固定用部材８は、絶縁
体、又は表面が絶縁体で覆われている状態であり、鏡固
定部材８の裏面（鏡面を固定する側と反対側の面）に鏡
固定部材用配線パターン９が配置されている。従って形
状可変鏡を組み立てた後に、鏡固定用部材８の鏡固定部
材用配線パターン９と鏡面と反対側の鏡基板６上の鏡基
板用配線パターンとを接続することができる。鏡固定部
材用配線パターン９には、鏡固定部３より（鏡端部よ
り）中心側に存在しており、鏡基板側電極接続部９ａと
外部側電極接続部９ｂが存在する。鏡基板側電極接続部
９ａには、鏡基板用共通電極４ｂや鏡基板用個別電極５
ｂから、結合線などを直接接続することができる。また
鏡固定用部材８の辺の一部分に、凹部８ｆを設けてあ
る。凹部８ｆと鏡基板側電極接続部９ａとは、結合線な
どを少量にする（結合線であれば短くする）為にも接し
ていることが好ましい。凹部８ｆがあることで、電極４
ｂ、５ｂと鏡基板側電極接続部９ａを結ぶ結合線など
が、鏡面の外側にはみ出さずに接続させることができ
る。外部側電極接続部９ｂにはフレキシブルコードなど
の電気的接続手段を接続することができ、鏡基板６にほ
とんど負荷をかけることなく、電気的接続手段により圧
電基板２に印可する電圧を制御する電気信号を与えるこ
とができる。

【００５９】次に本発明における形状可変鏡の第１０の
実施例を、図２０を用いて説明する。本実施例では、図
１９に示した第９の実施例を基本構成としており、鏡固
定部材８の裏面（鏡面を固定する側と反対側の面）に鏡
固定部材用配線パターン９を配置しているが、鏡固定用
部材８の凸部の一部分に凹部８ｇを有し、かつその凹部
８ｇは鏡側電極接続部９ａに接している。これより形状
可変鏡を組み立てた後に鏡固定用部材８の鏡固定部材用
配線パターン９と鏡面と反対側の鏡基板６上の鏡基板用
配線パターンとを接続することができると同時に、辺の
一部分に凹部８ｇを有することにより、鏡基板用共通電
極４ｂ、鏡基板用個別電極５ｂと鏡基板側電極接続部９
ａを結ぶ結合線などが、鏡面の外側にはみ出さずに接続
させることができる。図２０のように、凹部８ｇが凸部
の一部分にあり、電極４ｂ、５ｂが凹部８ｇの近傍にあ
る場合には、電極４ｂ、５ｂと鏡基板側電極接続部９ａ
を結ぶ結合線などが少量で済む。また外部側電極接続部
９ｂにはフレキシブルコードなどの電気的接続手段を接
続することができ、鏡基板６にほとんど負荷をかけるこ
となく、電気的接続手段により圧電基板２に印可する電
圧を制御する電気信号を与えることができる。

【００６０】次に本発明における形状可変鏡の第１１の
実施例を、図２１を用いて説明する。本実施例では、図
２１に示した第９の実施例を基本構成として鏡固定部材
８の裏面（鏡面を固定する側と反対側の面）に鏡固定部
材用配線パターン９を配置しているが、鏡固定用部材８
の一部分に貫通する穴８ｅを設けている。これにより形
状可変鏡を組み立てた後に鏡固定用部材８の鏡固定部材
用配線パターン９と鏡面と反対側の鏡基板６上の鏡基板
用配線パターンとを接続することができると同時に、鏡
基板用共通電極４ｂ、鏡基板用個別電極５ｂと鏡基板側
電極接続部９ａを結ぶ結合線などが形状可変鏡の端部に
位置することが不適切な場合にも、貫通する穴８ｅを通
じて接続することができる。また外部側電極接続部９ｂ
にはフレキシブルコードなどの電気的接続手段を接続す
ることができ、鏡基板６にほとんど負荷をかけることな
く、電気的接続手段により圧電基板２に印可する電圧を
制御する電気信号を与えることができる。

【００６１】次に本発明における形状可変鏡の第１２の
実施例を、図２２を用いて説明する。図２２は本実施例
の形状可変鏡の断面図であり、鏡面を上にして描いてあ
る。鏡基板６には鏡面側に鏡材１が取り付けられ、鏡面
と反対側の面には絶縁層７が取り付けられており、絶縁
層７の下には鏡基板用共通電極４ｂと鏡基板用個別電極
５ｂが設置されている。鏡基板用共通電極４ｂの下に
は、圧電基板用共通電極４ａがあり、その下には圧電基
板２が、さらにその下に圧電基板用個別電極５ａが設置
されている。圧電基板用個別電極５ａと鏡基板用個別電
極５ｂは、細いワイヤ２１で電気的に接続され、圧電基
板用共通電極４ａと鏡基板用共通電極４ｂは直接面で接
触し、電気的に接続されている。このような構造の鏡基
板部は図２２で示した鏡固定用部材８に鏡固定部３で固
定されている。鏡固定用部材８は図２２に示すように、
対向した２辺に凸部があり、その凸部は、鏡固定部３で
鏡基板部と接触し、形状可変鏡を固定する。鏡固定用部
材８は絶縁材、又は表面が絶縁材で覆われた状態であ
る。本実施例では、鏡基板６の大きさ（辺の長さ）が鏡
固定用部材８の大きさ（辺の長さ）よりも大きく（長
く）、鏡基板６の鏡面と反対側の面にある鏡基板用配線
パターン、すなわち鏡基板用共通電極４ｂ及び鏡基板用
個別電極５ｂの一部は、鏡固定用部材８の鏡固定部部３
より外側に出ている為、鏡基板用配線パターン（鏡基板
用共通電極４ｂ及び鏡基板用個別電極５ｂ）と電気的接
続手段とを直接接続し、かつ形状可変鏡の鏡面の形状に
影響の少ない電気的接続手段の接続が可能となる。

【００６２】以上、本発明を説明するため実施例を示し
てきたが、本発明はこれらの実施例にとどまることなく
応用できることはいうまでもない。たとえば各実施例で
示した形状可変鏡を任意に組み合わせても良い。また、
電極の形状や数は上述の実施例に限定されず、任意の形
状及び数が可能であり、各配線パターンの形状も任意で
あり、配線の太さの変更、配線の数の増減などの変更
は、容易になし得る。

【００６３】また、実施例ではチルトにより発生するレ
ーザ光の波面収差として主としてコマ収差を補正するた
めの形状可変鏡として述べてきたが、電極の配置や配線
パターンなどを有効に利用して鏡面の変形状態を制御
し、球面収差や非点収差補正用の収差補正用として使用
してもよい。

【００６４】これまで述べてきた、本発明では、鏡材１
は例えば、Ａｕの蒸着膜や誘電体多層膜などであり、絶
縁層７は熱酸化膜やＣＶＤ法（気相化学析出法）などで
堆積させた絶縁材料である。共通電極４ａ、４ｂや個別
電極５ａ、５ｂは導電性の高い材料や金属膜であり、形
状可変鏡を作製する工程で、高温処理をする工程を用い
る場合には、Ｐｔなど高温に強い膜が望ましい。圧電基
板２の圧電材料はＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ_ｘ，Ｔｉ_１−ｘ）
Ｏ_３：チタン酸ジルコン酸鉛）のような圧電セラミック
スでもＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）のような圧電
高分子でも良く、圧電材料の薄板を貼り付けても良く、
圧電材料の膜を鏡基板側に成膜しても良い。また鏡基板
６はシリコンが望ましいが、セラミックスやガラスなど
硬い材料や、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）や
ポリイミドのような高分子材料でも良く、鏡基板６の抵
抗率が高くて絶縁体に近ければ、絶縁層７は省略でき
る。

【００６５】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、形状可変鏡
の鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基板に電気
信号を供給する電気的接続手段を使用した形状可変鏡を
提供することができる。さらに、レーザ光の収差補正が
可能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備
えた光情報入出力装置を提供することがきる。

【００６６】

【図面の簡単な説明】

【図１】光ディスクのチルトによるコマ収差の発生を説
明する図である。（ａ）ＣＤ、（ｂ）ＤＶＤにおける図
である。

【図２】従来の液晶板の図である。

【図３】従来の透明圧電素子の図である。

【図４】従来の複数のアクチュエータを利用した形状可
変鏡の図である。

【図５】従来の形状可変鏡の断面図である。

【図６】本発明の第１の実施例における形状可変鏡の鏡
基板部の斜視図である。

【図７】本発明の第１の実施例における形状可変鏡の、
（ａ）鏡基板部と圧電基板部を一体化しワイヤで接続し
た状態の斜視図、（ｂ）（ａ）に鏡固定用部材などを取
り付けた全体の線Ｂ及び線Ｂ’に沿った方向の断面図で
ある。

【図８】本発明の形状可変鏡のＡ−Ａ’断面における波
面収差の補正を説明する図である。（ａ）チルトにより
発生したレーザ光の波面収差図、（ｂ）本発明の形状可
変鏡により発生させた波面収差図、（ｃ）本発明の形状
可変鏡で補正した後の波面収差図、（ｄ）本発明の形状
可変鏡の波面収差補正時における鏡面の形状である。

【図９】本発明の形状変化鏡を含めた光ディスク情報入
出力装置全体のブロック図である。

【図１０】チルトによって生じたレーザ光の波面収差の
等高線図である。

【図１１】本発明の第２の実施例における形状可変鏡
の、（ａ）圧電基板部、（ｂ）鏡基板部、を説明する図
である。

【図１２】本発明の第２の実施例における形状可変鏡
の、（ａ）鏡基板部と圧電基板部を一体化しワイヤで接
続した状態の斜視図、（ｂ）鏡固定用部材の斜視図、で
ある。

【図１３】本発明の第３の実施例における形状可変鏡
の、（ａ）鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターン
を説明する斜視図、（ｂ）線Ｂ及び線Ｂ’に沿った方向
の断面図である。

【図１４】本発明の第４の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。

【図１５】本発明の第５の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。

【図１６】本発明の第６の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。

【図１７】本発明の第７の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。

【図１８】本発明の第８の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。

【図１９】本発明の第９の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。

【図２０】本発明の第１０の実施例における形状可変鏡
の鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明す
る斜視図である。

【図２１】本発明の第１１の実施例における形状可変鏡
の鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明す
る斜視図である。

【図２２】本発明の第１２の実施例における形状可変鏡
の断面図である。

【符号の説明】

１ 鏡材 ２ 圧電基板 ３ 鏡固定部 ４ａ 圧電基板用共通電極 ４ｂ 鏡基板用共通電極 ５ａ 圧電基板用個別電極 ５ｂ 鏡基板用個別電極 ５ｃ 圧電基板用配線パターン ６ 鏡基板 ７ 絶縁層 ８ 鏡固定用部材 ８ａ 段差部 ８ｂ、８ｃ、８ｆ、８ｇ 凹部 ８ｄ、８ｅ 穴 ８ｈ 段差斜面 ９ 鏡固定部材用配線パターン ９ａ 鏡基板側電極接続部 ９ｂ 外部側電極接続部 １０ 形状可変鏡 １１ 光ディスク １２ 対物レンズ及び対物光学系 １３ 立ち上げ鏡 １４ 偏光ビームスプリッタ １５ レーザ素子及びレーザ光学系 １６ 光検出素子及び光検出光学系 ２１ ワイヤ １０１ａ 対物レンズ（ＣＤ用） １０１ｂ 対物レンズ（ＤＶＤ用） １０２ａ 樹脂層（ＣＤ用） １０２ｂ 樹脂層（ＤＶＤ用） １０３ａ ＣＤにおけるスポット １０３ｂ ＤＶＤにおけるスポット １０８ 記録層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H042 DA05 DA08 DA11 DA12 DA20 DA21 DB14 DD09 DD11 DD13 DE07 DE08 2H087 KA13 LA21 TA01 TA03 TA08 5D118 AA13 BA01 DC07 EA11 FB12 5D119 AA01 AA38 BA01 JA54 JA57

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形
   状可変鏡において、 鏡面と反対側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを有す
   ることを特徴とする形状可変鏡。
2. 【請求項２】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形
   状可変鏡において、 該形状可変鏡は、圧電基板を有し、該圧電基板上に圧電
   基板用配線パターンを有することを特徴とする形状可変
   鏡。
3. 【請求項３】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形
   状可変鏡において、 該形状可変鏡の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固
   定部材用配線パターンを有することを特徴とする形状可
   変鏡。
4. 【請求項４】 前記鏡固定部材用配線パターンは、 鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部とを有し、 前記鏡固定用部材は、 前記鏡基板側電極接続部と前記外部側電極接続部との間
   に段差を有することを特徴とする請求項３記載の形状可
   変鏡。
5. 【請求項５】 前記段差は、 斜面又は曲面で形成されることを特徴とする請求項４記
   載の形状可変鏡。
6. 【請求項６】 前記鏡固定部材用配線パターンは、 前記鏡固定用部材の前記鏡基板側電極接続部より中心側
   に配線してあることを特徴とする請求項５記載の形状可
   変鏡。
7. 【請求項７】 前記鏡固定用部材は、 端部の一部分に凹部を有することを特徴とする請求項６
   記載の形状可変鏡。
8. 【請求項８】 前記鏡固定用部材は、 前記凹部を前記鏡基板側電極接続部の近傍に設けること
   を特徴とする請求項７記載の形状可変鏡。
9. 【請求項９】 前記鏡固定用部材は、 貫通する穴を有することを特徴とする請求項６記載の形
   状可変鏡。
10. 【請求項１０】 前記鏡固定用部材は、 前記鏡基板部を固定する側と反対側の面に前記鏡固定部
    材用配線パターンを有することを特徴とする請求項３記
    載の形状可変鏡。
11. 【請求項１１】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な
    形状可変鏡において、 該形状可変鏡の前記鏡基板は、 該鏡基板を固定する鏡固定用部材よりも大きく、 前記鏡面と反対側の前記鏡基板上にある鏡基板用配線パ
    ターンの少なくとも一部は、 前記鏡固定用部材の外側にあることを特徴とする形状可
    変鏡。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１記載の形状可変鏡を
    有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とする光
    ディスク情報入出力装置。