JP2003043230A - 形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置 - Google Patents
形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置Info
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- JP2003043230A JP2003043230A JP2001236813A JP2001236813A JP2003043230A JP 2003043230 A JP2003043230 A JP 2003043230A JP 2001236813 A JP2001236813 A JP 2001236813A JP 2001236813 A JP2001236813 A JP 2001236813A JP 2003043230 A JP2003043230 A JP 2003043230A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基
板に電気信号を供給する電気的接続手段を使用した形状
可変鏡を提供し、さらにレーザ光の収差補正が可能な前
記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情
報入出力装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板を有する鏡面の形状が可変な形
状可変鏡において、鏡基板の鏡面と反対側の面上に配線
パターンを有する。圧電基板上にも配線パターンを設け
てもよい。さらに鏡基板を固定する鏡固定用部材に配線
パターンを有するか、又は、形状可変鏡の鏡基板を鏡固
定用部材よりも大きくし、鏡基板上の配線パターンの少
なくとも一部が鏡固定部材の外側に位置する。
板に電気信号を供給する電気的接続手段を使用した形状
可変鏡を提供し、さらにレーザ光の収差補正が可能な前
記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情
報入出力装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板を有する鏡面の形状が可変な形
状可変鏡において、鏡基板の鏡面と反対側の面上に配線
パターンを有する。圧電基板上にも配線パターンを設け
てもよい。さらに鏡基板を固定する鏡固定用部材に配線
パターンを有するか、又は、形状可変鏡の鏡基板を鏡固
定用部材よりも大きくし、鏡基板上の配線パターンの少
なくとも一部が鏡固定部材の外側に位置する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、鏡面の形状が可変
な形状可変鏡及び光ピックアップ装置を備えた光情報入
出力装置に関する。
な形状可変鏡及び光ピックアップ装置を備えた光情報入
出力装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に光ディスクを用いた情報記憶装置
としてCDやDVDなどがある。DVDなどはCDに比
べ記録密度が高いため、情報の読み書きに関する条件が
より厳しくなっている。例えば光ピックアップ装置の光
軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実際
には光ディスクが樹脂製である為、ディスク面はかなり
うねりを持っていて、これを回転させると光ピックアッ
プ装置の光軸とディスク面は常には垂直ではなく、ディ
スク面が光軸に対して傾きを持つことがある(以下、デ
ィスク面の光軸に対する傾きをチルトと表現する)。ま
た光ディスクは図1に示すように記録層108は樹脂層
102a、102bを介在しているため、チルトすなわ
ちディスク面が傾くとレーザ光の光路が曲げられてコマ
収差が発生し、図1の103a、103bに示すように
ディスク上に正しくスポットを絞れなくなる。このコマ
収差が許容される量よりも大きくなると、情報を正しく
読み書きできなくなるという不具合が生じる。
としてCDやDVDなどがある。DVDなどはCDに比
べ記録密度が高いため、情報の読み書きに関する条件が
より厳しくなっている。例えば光ピックアップ装置の光
軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実際
には光ディスクが樹脂製である為、ディスク面はかなり
うねりを持っていて、これを回転させると光ピックアッ
プ装置の光軸とディスク面は常には垂直ではなく、ディ
スク面が光軸に対して傾きを持つことがある(以下、デ
ィスク面の光軸に対する傾きをチルトと表現する)。ま
た光ディスクは図1に示すように記録層108は樹脂層
102a、102bを介在しているため、チルトすなわ
ちディスク面が傾くとレーザ光の光路が曲げられてコマ
収差が発生し、図1の103a、103bに示すように
ディスク上に正しくスポットを絞れなくなる。このコマ
収差が許容される量よりも大きくなると、情報を正しく
読み書きできなくなるという不具合が生じる。
【0003】チルトにより発生する収差を低減する手段
としては、対物レンズと記録層との間の樹脂層の厚みを
薄くする方法がある。実際に図1(b)に示すようなD
VDにおいて、対物レンズ101bと記録層108との
間の樹脂層102bの厚みを、図1(a)に示すCDの
場合に比較して半分にしてあるのは、コマ収差の低減を
意図したものである。しかしこの方法では、DVDより
も記録密度を高くしようとした場合には樹脂層をさらに
薄くしてチルトの影響を低減することになるが、今度は
ディスク上にゴミや傷が付いた場合に信号を正しく読み
書きできなくなるという不具合が生じる。このため、ア
クチュエータによって光軸側を傾けて対応しているのが
現状である。
としては、対物レンズと記録層との間の樹脂層の厚みを
薄くする方法がある。実際に図1(b)に示すようなD
VDにおいて、対物レンズ101bと記録層108との
間の樹脂層102bの厚みを、図1(a)に示すCDの
場合に比較して半分にしてあるのは、コマ収差の低減を
意図したものである。しかしこの方法では、DVDより
も記録密度を高くしようとした場合には樹脂層をさらに
薄くしてチルトの影響を低減することになるが、今度は
ディスク上にゴミや傷が付いた場合に信号を正しく読み
書きできなくなるという不具合が生じる。このため、ア
クチュエータによって光軸側を傾けて対応しているのが
現状である。
【0004】チルトを光学的に補正する手段として、ま
ず図2に示すような特開平10−79135に記載の液
晶板を用いる方法がある。また圧電素子を用いたチルト
によるコマ収差などの補正手段として、図3に示すよう
な特開平5−144056に記載のレーザ光の光路中に
透明圧電素子を用いる方法や、図4に示すような特開平
5−333274に記載の複数のアクチェータを利用し
た形状可変鏡を用いる方法などが提案されている。
ず図2に示すような特開平10−79135に記載の液
晶板を用いる方法がある。また圧電素子を用いたチルト
によるコマ収差などの補正手段として、図3に示すよう
な特開平5−144056に記載のレーザ光の光路中に
透明圧電素子を用いる方法や、図4に示すような特開平
5−333274に記載の複数のアクチェータを利用し
た形状可変鏡を用いる方法などが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
10−79135のように液晶板を用いて位相を制御す
ることでコマ収差を補正する方法では、レーザーが液晶
板を通過するために光量が減衰し書き込みに必要なエネ
ルギーを得ることが困難であり、また液晶の特性から、
特にタンジェンシャルチルトの制御に要求される高周波
動作に使用することは困難である。
10−79135のように液晶板を用いて位相を制御す
ることでコマ収差を補正する方法では、レーザーが液晶
板を通過するために光量が減衰し書き込みに必要なエネ
ルギーを得ることが困難であり、また液晶の特性から、
特にタンジェンシャルチルトの制御に要求される高周波
動作に使用することは困難である。
【0006】また、特開平5−144056のように透
明圧電素子単体で必要な厚み変化を得るためには、実際
には高電圧が必要となり光ピックアップ装置などに用い
るには現実的ではない。
明圧電素子単体で必要な厚み変化を得るためには、実際
には高電圧が必要となり光ピックアップ装置などに用い
るには現実的ではない。
【0007】さらに、特開平5−333274のように
形状可変鏡の鏡自体を積層型圧電素子で変形させ位相制
御する方法は、光ピックアップ装置などの小さい部品に
用いるには配線などの考慮がされておらず、複雑にな
り、かつ組み付けコストも高くなる。また、配線などの
問題が解決できたとしても、積層型圧電素子を小型化す
ることは、技術的にもコスト的にも困難である。
形状可変鏡の鏡自体を積層型圧電素子で変形させ位相制
御する方法は、光ピックアップ装置などの小さい部品に
用いるには配線などの考慮がされておらず、複雑にな
り、かつ組み付けコストも高くなる。また、配線などの
問題が解決できたとしても、積層型圧電素子を小型化す
ることは、技術的にもコスト的にも困難である。
【0008】これらの公報に記載された発明の問題点を
解決する為、ディスク面のチルトなどにより発生する波
面収差(主としてコマ収差)を、図5のような圧電素子
を使用したユニモルフ又はバイモルフ形状の形状可変鏡
で補正する方法が考えられる。
解決する為、ディスク面のチルトなどにより発生する波
面収差(主としてコマ収差)を、図5のような圧電素子
を使用したユニモルフ又はバイモルフ形状の形状可変鏡
で補正する方法が考えられる。
【0009】例えば図5に示すような形状可変鏡は、鏡
基板6に鏡材1及びその反対側に絶縁層7を取り付け、
絶縁層7の下に圧電基板用共通電極4a、その下に圧電
基板2、さらにその下に圧電基板用個別電極5aを設置
してある。鏡基板6は、鏡固定用部材8によって鏡固定
部3で支持されている。ここで圧電基板用共通電極4a
(図5においては接地)と圧電基板用個別電極5aとの
間に電圧を印加すると圧電基板2が伸縮し、結果として
鏡材1の鏡面の形状を変形することができる。
基板6に鏡材1及びその反対側に絶縁層7を取り付け、
絶縁層7の下に圧電基板用共通電極4a、その下に圧電
基板2、さらにその下に圧電基板用個別電極5aを設置
してある。鏡基板6は、鏡固定用部材8によって鏡固定
部3で支持されている。ここで圧電基板用共通電極4a
(図5においては接地)と圧電基板用個別電極5aとの
間に電圧を印加すると圧電基板2が伸縮し、結果として
鏡材1の鏡面の形状を変形することができる。
【0010】実際には、圧電基板2上に電圧を印加する
ために、圧電基板用共通電極4aと圧電基板用個別電極
5aの各々に、接地を含む外部電源との電気的接続をし
なければならないが、波面収差補正の為には形状可変鏡
の鏡面の形状は高い精度を要求される。従って図5に示
すように、圧電基板2上の圧電基板用共通電極4aと圧
電基板用個別電極5aに、接地を含む外部電源に接続す
るフレキシブルコードなどの電気的接続手段を直接接続
すると、形状可変鏡の鏡面が歪んでしまい、チルトによ
る波面収差の補正が鏡面の形状の校正などを必要として
複雑になったり、鏡面の歪みの校正が困難な場合には波
面収差補正に使用できなくなる場合がある。
ために、圧電基板用共通電極4aと圧電基板用個別電極
5aの各々に、接地を含む外部電源との電気的接続をし
なければならないが、波面収差補正の為には形状可変鏡
の鏡面の形状は高い精度を要求される。従って図5に示
すように、圧電基板2上の圧電基板用共通電極4aと圧
電基板用個別電極5aに、接地を含む外部電源に接続す
るフレキシブルコードなどの電気的接続手段を直接接続
すると、形状可変鏡の鏡面が歪んでしまい、チルトによ
る波面収差の補正が鏡面の形状の校正などを必要として
複雑になったり、鏡面の歪みの校正が困難な場合には波
面収差補正に使用できなくなる場合がある。
【0011】本発明は、形状可変鏡の鏡面の形状に実質
的な影響を与えずに圧電基板に電気信号を供給する電気
的接続手段を使用した形状可変鏡を提供することを目的
とする。
的な影響を与えずに圧電基板に電気信号を供給する電気
的接続手段を使用した形状可変鏡を提供することを目的
とする。
【0012】さらに本発明は、レーザ光の収差補正が可
能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備え
た光情報入出力装置を提供することを目的とする。
能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備え
た光情報入出力装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形状可変鏡におい
て、鏡面と反対側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを
有することを特徴とする。
鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形状可変鏡におい
て、鏡面と反対側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを
有することを特徴とする。
【0014】請求項1記載の発明によれば、鏡面と反対
側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを有するので、形
状可変鏡の鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基
板に電気信号を供給する電気的接続手段を使用した形状
可変鏡を提供することができる。
側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを有するので、形
状可変鏡の鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基
板に電気信号を供給する電気的接続手段を使用した形状
可変鏡を提供することができる。
【0015】請求項2記載の発明は、鏡基板上に設けた
鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変鏡
は、圧電基板を有し、該圧電基板上に圧電基板用配線パ
ターンを有することを特徴とする。
鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変鏡
は、圧電基板を有し、該圧電基板上に圧電基板用配線パ
ターンを有することを特徴とする。
【0016】請求項2記載の発明によれば、圧電基板上
に圧電基板用配線パターンを有するので、形状可変鏡の
鏡面の形状に対してより影響しにくい電気的接続手段の
接続が可能となる。
に圧電基板用配線パターンを有するので、形状可変鏡の
鏡面の形状に対してより影響しにくい電気的接続手段の
接続が可能となる。
【0017】請求項3記載の発明は、鏡基板上に設けた
鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変鏡
の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固定部材用配線
パターンを有することを特徴とする。
鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変鏡
の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固定部材用配線
パターンを有することを特徴とする。
【0018】請求項3記載の発明によれば、該形状可変
鏡の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固定部材用配
線パターンを有するので、形状可変鏡の鏡面の形状にほ
とんど影響しない電気的接続手段の接続が可能となる。
鏡の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固定部材用配
線パターンを有するので、形状可変鏡の鏡面の形状にほ
とんど影響しない電気的接続手段の接続が可能となる。
【0019】請求項4記載の発明は、請求項3記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定部材用配線パターンは、
鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部とを有し、前記
鏡固定用部材は、前記鏡基板側電極接続部と前記外部側
電極接続部との間に段差を有することを特徴とする。
状可変鏡において、前記鏡固定部材用配線パターンは、
鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部とを有し、前記
鏡固定用部材は、前記鏡基板側電極接続部と前記外部側
電極接続部との間に段差を有することを特徴とする。
【0020】請求項4記載の発明によれば、鏡固定用部
材の鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部との間に段
差を有するので、電気的接続手段を鏡面より出っ張るこ
となく接続できる。
材の鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部との間に段
差を有するので、電気的接続手段を鏡面より出っ張るこ
となく接続できる。
【0021】請求項5記載の発明は、請求項4記載の形
状可変鏡において、前記段差は、斜面又は曲面で形成さ
れることを特徴とする。
状可変鏡において、前記段差は、斜面又は曲面で形成さ
れることを特徴とする。
【0022】請求項5記載の発明によれば、段差の境界
部分は垂直ではなく、斜面又は曲面で形成されるので、
鏡固定部材用配線パターンの配線を容易に行うことがで
きる。
部分は垂直ではなく、斜面又は曲面で形成されるので、
鏡固定部材用配線パターンの配線を容易に行うことがで
きる。
【0023】請求項6記載の発明は、請求項5記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定部材用配線パターンは、
前記鏡固定用部材の前記鏡基板側電極接続部より中心側
に配線してあることを特徴とする。
状可変鏡において、前記鏡固定部材用配線パターンは、
前記鏡固定用部材の前記鏡基板側電極接続部より中心側
に配線してあることを特徴とする。
【0024】請求項6記載の発明によれば、鏡固定部材
用配線パターンは、鏡固定用部材の鏡基板側電極接続部
より中心側に配線してあるので、鏡固定部材用配線パタ
ーンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、従って鏡
固定用部材を小さくすることができる。
用配線パターンは、鏡固定用部材の鏡基板側電極接続部
より中心側に配線してあるので、鏡固定部材用配線パタ
ーンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、従って鏡
固定用部材を小さくすることができる。
【0025】請求項7記載の発明は、請求項6記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、端部の一部分
に凹部を有することを特徴とする。
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、端部の一部分
に凹部を有することを特徴とする。
【0026】請求項7記載の発明によれば、鏡固定用部
材の端部の一部分に凹部を有するので、鏡固定部材用配
線パターンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、鏡
固定用部材を小さくすることができ、電気的接続手段を
鏡固定用部材の端部から引き出すことが可能となる。
材の端部の一部分に凹部を有するので、鏡固定部材用配
線パターンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、鏡
固定用部材を小さくすることができ、電気的接続手段を
鏡固定用部材の端部から引き出すことが可能となる。
【0027】請求項8記載の発明は、請求項7記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、前記凹部を前
記鏡基板側電極接続部の近傍に設けることを特徴とす
る。
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、前記凹部を前
記鏡基板側電極接続部の近傍に設けることを特徴とす
る。
【0028】請求項8記載の発明によれば、鏡固定用部
材の端部の凹部を、鏡基板側電極接続部の近傍に設けた
ので、鏡固定部材用配線パターンが鏡面の大きさからは
み出すことがなく、鏡固定用部材を小さくすることがで
き、電気的接続手段を鏡固定用部材の端部から引き出す
ことが可能となり、さらに鏡固定部材用配線パターンの
領域を少なくすることが可能となる。
材の端部の凹部を、鏡基板側電極接続部の近傍に設けた
ので、鏡固定部材用配線パターンが鏡面の大きさからは
み出すことがなく、鏡固定用部材を小さくすることがで
き、電気的接続手段を鏡固定用部材の端部から引き出す
ことが可能となり、さらに鏡固定部材用配線パターンの
領域を少なくすることが可能となる。
【0029】請求項9記載の発明は、請求項6記載の形
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、貫通する穴を
有することを特徴とする。
状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、貫通する穴を
有することを特徴とする。
【0030】請求項9記載の発明によれば、鏡固定用部
材が貫通する穴を有するので、鏡固定部材用配線パター
ンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、鏡固定用部
材を小さくすることができ、電気的接続手段を端部に引
き出せない場合でも穴を通じて引き出しが可能となる。
材が貫通する穴を有するので、鏡固定部材用配線パター
ンが鏡面の大きさからはみ出すことがなく、鏡固定用部
材を小さくすることができ、電気的接続手段を端部に引
き出せない場合でも穴を通じて引き出しが可能となる。
【0031】請求項10記載の発明は、請求項3記載の
形状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、前記鏡基板
部を固定する側と反対側の面に前記鏡固定部材用配線パ
ターンを有することを特徴とする。
形状可変鏡において、前記鏡固定用部材は、前記鏡基板
部を固定する側と反対側の面に前記鏡固定部材用配線パ
ターンを有することを特徴とする。
【0032】請求項10記載の発明によれば、鏡固定用
部材が前記鏡基板部を固定する側と反対側の面に鏡固定
部材用配線パターンを有するので、形状可変鏡を組み立
てた後に鏡固定用部材の鏡固定部材用配線パターンと鏡
面と反対側の鏡基板上の鏡基板用配線パターンとを接続
することができる。
部材が前記鏡基板部を固定する側と反対側の面に鏡固定
部材用配線パターンを有するので、形状可変鏡を組み立
てた後に鏡固定用部材の鏡固定部材用配線パターンと鏡
面と反対側の鏡基板上の鏡基板用配線パターンとを接続
することができる。
【0033】請求項11記載の発明は、鏡基板上に設け
た鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変
鏡の前記鏡基板は、該鏡基板を固定する鏡固定用部材よ
りも大きく、前記鏡面と反対側の前記鏡基板上にある鏡
基板用配線パターンの少なくとも一部は、前記鏡固定用
部材の外側にあることを特徴とする。
た鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、該形状可変
鏡の前記鏡基板は、該鏡基板を固定する鏡固定用部材よ
りも大きく、前記鏡面と反対側の前記鏡基板上にある鏡
基板用配線パターンの少なくとも一部は、前記鏡固定用
部材の外側にあることを特徴とする。
【0034】請求項11記載の発明によれば、形状可変
鏡の鏡基板は、鏡基板を固定する鏡固定用部材よりも大
きく、鏡面と反対側の鏡基板上にある鏡基板用配線パタ
ーンの少なくとも一部は、鏡固定用部材の外側にあるの
で、鏡基板用配線パターンと電気的接続手段とを直接接
続し、かつ形状可変鏡の鏡面の形状に影響の少ない電気
的接続手段の接続が可能となる。
鏡の鏡基板は、鏡基板を固定する鏡固定用部材よりも大
きく、鏡面と反対側の鏡基板上にある鏡基板用配線パタ
ーンの少なくとも一部は、鏡固定用部材の外側にあるの
で、鏡基板用配線パターンと電気的接続手段とを直接接
続し、かつ形状可変鏡の鏡面の形状に影響の少ない電気
的接続手段の接続が可能となる。
【0035】請求項12記載の発明は、光ディスク情報
入出力装置において、請求項1乃至11記載の形状可変
鏡を有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とす
る。
入出力装置において、請求項1乃至11記載の形状可変
鏡を有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とす
る。
【0036】請求項12記載の発明によれば、鏡面の形
状に実質的な影響を与えずに圧電基板に電気信号を供給
する電気的接続手段を使用する形状可変鏡を有し、レー
ザ光の収差補正が可能な光ピックアップ装置を備えた光
情報入出力装置を提供することかできる。
状に実質的な影響を与えずに圧電基板に電気信号を供給
する電気的接続手段を使用する形状可変鏡を有し、レー
ザ光の収差補正が可能な光ピックアップ装置を備えた光
情報入出力装置を提供することかできる。
【0037】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。
て図面と共に説明する。
【0038】まず、本発明の形状可変鏡の形態に関する
第1の実施例を、図6及び図7を用いて説明する。図6
ではレーザ光を反射する形状可変鏡の鏡面を下向きに、
図7では上向きにして描いてある。ここで説明の便宜
上、本発明の形状可変鏡を、鏡基板部、圧電基板部、鏡
固定用部材8、ワイヤ21に分けて説明する。
第1の実施例を、図6及び図7を用いて説明する。図6
ではレーザ光を反射する形状可変鏡の鏡面を下向きに、
図7では上向きにして描いてある。ここで説明の便宜
上、本発明の形状可変鏡を、鏡基板部、圧電基板部、鏡
固定用部材8、ワイヤ21に分けて説明する。
【0039】図6は、本発明の形状可変鏡の鏡基板部を
示す図であり、鏡基板部は、鏡材1、鏡基板6、絶縁層
7、鏡基板用共通電極4bや鏡基板用個別電極5bなど
の基板上の電極や配線パターンを含む。鏡基板6には、
鏡面を有する鏡材1が取り付けあり、鏡基板6の鏡材1
と反対側の面に絶縁層7が取り付けてある。絶縁層7の
上には鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極5b
が、本実施例では同一平面上で分離して設置されてい
る。これらの鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極
5bを鏡基板部に設置することが、図5に示すような従
来の形状可変鏡と異なっており本発明の特徴である。ま
た鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極5bなどの
鏡基板6上の(本実施例では正確には絶縁層7上の)電
極及び配線パターンを、鏡基板用配線パターンと定義す
る。
示す図であり、鏡基板部は、鏡材1、鏡基板6、絶縁層
7、鏡基板用共通電極4bや鏡基板用個別電極5bなど
の基板上の電極や配線パターンを含む。鏡基板6には、
鏡面を有する鏡材1が取り付けあり、鏡基板6の鏡材1
と反対側の面に絶縁層7が取り付けてある。絶縁層7の
上には鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極5b
が、本実施例では同一平面上で分離して設置されてい
る。これらの鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極
5bを鏡基板部に設置することが、図5に示すような従
来の形状可変鏡と異なっており本発明の特徴である。ま
た鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極5bなどの
鏡基板6上の(本実施例では正確には絶縁層7上の)電
極及び配線パターンを、鏡基板用配線パターンと定義す
る。
【0040】図7(a)は、本発明の鏡基板部と圧電基
板部とを例えば接着などの手段を用いて一体化し、ワイ
ヤ21で電極5aと5bを接続した状態の斜視図を示
す。ここで、圧電基板部は、圧電素子から成る圧電基板
2、圧電基板2に電圧を印加する為の圧電基板用共通電
極4aと圧電基板用個別電極5a、圧電基板2上の配線
パターンを含む部分である。図7(a)においては、圧
電基板用共通電極4aの上に圧電基板2が取り付けらえ
ており、圧電基板2の上に圧電基板用個別電極5aが設
置され、圧電基板部を構成している。圧電基板2に電圧
を印加する為の電極4a、5aを除く、圧電基板2上の
配線パターンを圧電基板用配線パターン5cと定義す
る。ただし圧電基板用配線パターン5cと圧電基板2に
電圧を印加する為の電極(本実施例では5a)とは接続
されて一体となっていてもよい。図7(a)において
は、鏡基板部の鏡基板用共通電極4bの上に、圧電基板
部の圧電基板用共通電極4aが設置されるようにして一
体化され、圧電基板部の圧電基板用個別電極5aと鏡基
板部の鏡基板用個別電極5bを細いワイヤ21で電気的
に接続する。また圧電基板用共通電極4aと鏡基板用共
通電極4bは直接面で接触し電気的に接続されている。
板部とを例えば接着などの手段を用いて一体化し、ワイ
ヤ21で電極5aと5bを接続した状態の斜視図を示
す。ここで、圧電基板部は、圧電素子から成る圧電基板
2、圧電基板2に電圧を印加する為の圧電基板用共通電
極4aと圧電基板用個別電極5a、圧電基板2上の配線
パターンを含む部分である。図7(a)においては、圧
電基板用共通電極4aの上に圧電基板2が取り付けらえ
ており、圧電基板2の上に圧電基板用個別電極5aが設
置され、圧電基板部を構成している。圧電基板2に電圧
を印加する為の電極4a、5aを除く、圧電基板2上の
配線パターンを圧電基板用配線パターン5cと定義す
る。ただし圧電基板用配線パターン5cと圧電基板2に
電圧を印加する為の電極(本実施例では5a)とは接続
されて一体となっていてもよい。図7(a)において
は、鏡基板部の鏡基板用共通電極4bの上に、圧電基板
部の圧電基板用共通電極4aが設置されるようにして一
体化され、圧電基板部の圧電基板用個別電極5aと鏡基
板部の鏡基板用個別電極5bを細いワイヤ21で電気的
に接続する。また圧電基板用共通電極4aと鏡基板用共
通電極4bは直接面で接触し電気的に接続されている。
【0041】さらに図7(b)は、図7(a)に示した
部分を鏡固定用部材8で固定してできる形状可変鏡の図
7(a)に示す線B及び線B’に沿った方向の断面図を
示す。図7(b)に示すように本発明の形状可変鏡にお
いては、圧電基板部と一体化した鏡基板部を固定する為
の鏡固定用部材8は、対向した2辺に凸部を有し、鏡基
板部と鏡固定部3で接触して鏡基板部を固定する。鏡固
定用部材8は、鏡固定部3付近の鏡基板用共通電極4b
や鏡基板用個別電極5bと接触してもよいが、この場合
には鏡固定用部材8は絶縁体であるか、又は表面が絶縁
体で覆われている必要がある。このような鏡固定用部材
8を用いて鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極5
bを絶縁することにより、鏡基板用共通電極4bと鏡基
板用個別電極5bに、従って圧電基板用共通電極4aと
圧電基板用個別電極5aとの間の圧電基板2に電圧を印
可することが可能となる。
部分を鏡固定用部材8で固定してできる形状可変鏡の図
7(a)に示す線B及び線B’に沿った方向の断面図を
示す。図7(b)に示すように本発明の形状可変鏡にお
いては、圧電基板部と一体化した鏡基板部を固定する為
の鏡固定用部材8は、対向した2辺に凸部を有し、鏡基
板部と鏡固定部3で接触して鏡基板部を固定する。鏡固
定用部材8は、鏡固定部3付近の鏡基板用共通電極4b
や鏡基板用個別電極5bと接触してもよいが、この場合
には鏡固定用部材8は絶縁体であるか、又は表面が絶縁
体で覆われている必要がある。このような鏡固定用部材
8を用いて鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極5
bを絶縁することにより、鏡基板用共通電極4bと鏡基
板用個別電極5bに、従って圧電基板用共通電極4aと
圧電基板用個別電極5aとの間の圧電基板2に電圧を印
可することが可能となる。
【0042】ここで圧電基板2に印可する電圧を制御す
る電気信号を形状可変鏡に与える為の手段を、電気的接
続手段と呼ぶことにし、例えばフレキシブルコードなど
がある。本実施例では、電気的接続手段を鏡基板用共通
電極4bの端部付近と鏡基板用個別電極5bの端部付近
に接続して、圧電基板2に印可する電圧を制御する電気
信号を与えることができる。
る電気信号を形状可変鏡に与える為の手段を、電気的接
続手段と呼ぶことにし、例えばフレキシブルコードなど
がある。本実施例では、電気的接続手段を鏡基板用共通
電極4bの端部付近と鏡基板用個別電極5bの端部付近
に接続して、圧電基板2に印可する電圧を制御する電気
信号を与えることができる。
【0043】次に本発明の形状可変鏡の動作を図7、図
8を用いて説明する。図7に示すような構造の形状可変
鏡において、共通電極4a、4bを接地し、2つある鏡
基板用個別電極5bの、つまり圧電基板2における2つ
の圧電基板用個別電極5aの、片方にプラスの電圧、他
方にマイナスの電圧を印加するとする。鏡基板6は電圧
を印加しても伸縮しないが、圧電素子から成る圧電基板
2は、電圧を印加すれば伸縮する。鏡基板用個別電極5
bにプラスの電圧を印加した場合には、鏡基板用個別電
極5bの設置部分の圧電基板2が縮むとすると、マイナ
スの電圧を印加した場合にはその部分の圧電基板2は伸
びることとなり、基板用個別電極5bにプラスの電圧を
印加した場合は鏡材1の鏡面は凸面に、基板用個別電極
5aにマイナスの電圧を印加した場合は鏡材1の鏡面は
凹面になる。その結果図7(a)に示す形状可変鏡の鏡
面の形状は、例えばA−A’断面においては図8(d)
に示すような断面形状の曲面になる。また2つの基盤用
個別電極5aに、前述と逆の電圧をかけた場合には、A
−A’断面が図8(d)と逆の断面形状になる。
8を用いて説明する。図7に示すような構造の形状可変
鏡において、共通電極4a、4bを接地し、2つある鏡
基板用個別電極5bの、つまり圧電基板2における2つ
の圧電基板用個別電極5aの、片方にプラスの電圧、他
方にマイナスの電圧を印加するとする。鏡基板6は電圧
を印加しても伸縮しないが、圧電素子から成る圧電基板
2は、電圧を印加すれば伸縮する。鏡基板用個別電極5
bにプラスの電圧を印加した場合には、鏡基板用個別電
極5bの設置部分の圧電基板2が縮むとすると、マイナ
スの電圧を印加した場合にはその部分の圧電基板2は伸
びることとなり、基板用個別電極5bにプラスの電圧を
印加した場合は鏡材1の鏡面は凸面に、基板用個別電極
5aにマイナスの電圧を印加した場合は鏡材1の鏡面は
凹面になる。その結果図7(a)に示す形状可変鏡の鏡
面の形状は、例えばA−A’断面においては図8(d)
に示すような断面形状の曲面になる。また2つの基盤用
個別電極5aに、前述と逆の電圧をかけた場合には、A
−A’断面が図8(d)と逆の断面形状になる。
【0044】次に本発明の形状可変鏡を用いた本発明の
光ディスク情報入出力装置の構成について説明する。図
9に、本発明の光ディスク情報入出力装置のブロック図
を示す。図9に示すように本発明の光ディスク情報入出
力装置は、本発明の形状可変鏡10、光ディスク11、
対物レンズ及び対物光学系12、立ち上げ鏡13、偏光
ビームスプリッタ14、レーザ素子及びレーザ光学系1
5、光検出素子及び光検出光学系16から成る。レーザ
ー素子から発光するレーザー光は、レーザ光学系によっ
て平行光となり、偏光ビームスプリッタ14を通り、形
状可変鏡10で反射され、立ち上げ鏡13でさらに反射
され、対物レンズ及び対物光学系12で集光され、光デ
ィスク11に焦点を結ぶ。また、光ディスク11から反
射したレーザ光は、対物レンズ及び対物光学系12を通
り、立ち上げ鏡13で反射され、形状可変鏡10で再度
反射され、偏光ビームスプリッタ14を通り、光検出光
学系で集光され、光検出素子で検出する。光検出素子に
はチルト検出用の検出素子も設置されている。なお図9
において、光ディスク11以外の部分が、光ピックアッ
プ装置に対応する。
光ディスク情報入出力装置の構成について説明する。図
9に、本発明の光ディスク情報入出力装置のブロック図
を示す。図9に示すように本発明の光ディスク情報入出
力装置は、本発明の形状可変鏡10、光ディスク11、
対物レンズ及び対物光学系12、立ち上げ鏡13、偏光
ビームスプリッタ14、レーザ素子及びレーザ光学系1
5、光検出素子及び光検出光学系16から成る。レーザ
ー素子から発光するレーザー光は、レーザ光学系によっ
て平行光となり、偏光ビームスプリッタ14を通り、形
状可変鏡10で反射され、立ち上げ鏡13でさらに反射
され、対物レンズ及び対物光学系12で集光され、光デ
ィスク11に焦点を結ぶ。また、光ディスク11から反
射したレーザ光は、対物レンズ及び対物光学系12を通
り、立ち上げ鏡13で反射され、形状可変鏡10で再度
反射され、偏光ビームスプリッタ14を通り、光検出光
学系で集光され、光検出素子で検出する。光検出素子に
はチルト検出用の検出素子も設置されている。なお図9
において、光ディスク11以外の部分が、光ピックアッ
プ装置に対応する。
【0045】次に本発明の光ディスク情報入出力装置に
おけるレーザ光の波面収差補正について説明する。図9
に示す本発明の光ディスク情報入出力装置において、光
ディスク11にチルトが起こると、光ディスク11から
反射して戻ってきたレーザ光の波面は乱れコマ収差が発
生する。チルトした光ディスク11から戻ってきて形状
可変鏡10の鏡面に入射するレーザ光の波面収差は、レ
ーザ光の光束の断面に対して図10に示すような等高線
で表わされる。ここで、光ディスク11がチルトした方
向に対応するレーザ光束断面の方向が図10のA−A’
方向である。すなわちA−A’方向に沿って符号が変わ
る波面収差が発生する。
おけるレーザ光の波面収差補正について説明する。図9
に示す本発明の光ディスク情報入出力装置において、光
ディスク11にチルトが起こると、光ディスク11から
反射して戻ってきたレーザ光の波面は乱れコマ収差が発
生する。チルトした光ディスク11から戻ってきて形状
可変鏡10の鏡面に入射するレーザ光の波面収差は、レ
ーザ光の光束の断面に対して図10に示すような等高線
で表わされる。ここで、光ディスク11がチルトした方
向に対応するレーザ光束断面の方向が図10のA−A’
方向である。すなわちA−A’方向に沿って符号が変わ
る波面収差が発生する。
【0046】このようなチルトにより発生する波面収差
を打ち消すために、図7に示す本発明の形状可変鏡を、
図7のA−A’方向と図10のA−A’方向とを一致さ
せて図9のように光ピックアップ装置の光軸上に設置す
る。前述した本発明の形状可変鏡の動作により、鏡面の
形状を図7のA−A’方向について凸面と凹面が生じる
ように鏡面の形状を適切に制御すれば、チルトによる波
面収差(コマ収差)の補正又は低減が可能となる。ここ
で簡単の為に図10におけるA−A’方向についてのみ
注目して、レーザ光の波面収差補正を、図8を用いて説
明する。
を打ち消すために、図7に示す本発明の形状可変鏡を、
図7のA−A’方向と図10のA−A’方向とを一致さ
せて図9のように光ピックアップ装置の光軸上に設置す
る。前述した本発明の形状可変鏡の動作により、鏡面の
形状を図7のA−A’方向について凸面と凹面が生じる
ように鏡面の形状を適切に制御すれば、チルトによる波
面収差(コマ収差)の補正又は低減が可能となる。ここ
で簡単の為に図10におけるA−A’方向についてのみ
注目して、レーザ光の波面収差補正を、図8を用いて説
明する。
【0047】図8(a)は、図10のA−A’方向に対
するレーザ光の波面収差図である。ここで、図8の縦軸
は波面収差であり、横軸は図7に示す本発明の形状可変
鏡を図7のA−A’方向と図10のA−A’方向とを一
致させて設置したとすれば、図8の横軸は図7で示した
形状可変鏡のA−A’方向の軸と同一である。なお、光
ディスク11がチルトせずレーザ光の光軸に対し垂直で
あれば、図8(a)に示すような波面収差は発生せず、
波面は横軸に一致する。図8(b)は、図7に示した形
状可変鏡を故意に収差を発生させるように動作させ、無
収差の光を形状可変鏡に照射した場合の反射光の波面収
差を表した図である。今、光ディスクにチルトが生じ、
光ディスクからの反射光の波面収差が図8(a)であっ
たとして、形状可変鏡の形状を、光ディスクにチルトが
生じていない場合に形状可変鏡で反射した光の波面収差
が図8(b)となるように制御する。このときには、図
8(a)と図8(b)の波面収差が互いに相殺する関係
となって形状可変鏡からの反射光の波面収差は図8
(c)のようになり、図8(a)と比較して波面収差を
低減させることができる。
するレーザ光の波面収差図である。ここで、図8の縦軸
は波面収差であり、横軸は図7に示す本発明の形状可変
鏡を図7のA−A’方向と図10のA−A’方向とを一
致させて設置したとすれば、図8の横軸は図7で示した
形状可変鏡のA−A’方向の軸と同一である。なお、光
ディスク11がチルトせずレーザ光の光軸に対し垂直で
あれば、図8(a)に示すような波面収差は発生せず、
波面は横軸に一致する。図8(b)は、図7に示した形
状可変鏡を故意に収差を発生させるように動作させ、無
収差の光を形状可変鏡に照射した場合の反射光の波面収
差を表した図である。今、光ディスクにチルトが生じ、
光ディスクからの反射光の波面収差が図8(a)であっ
たとして、形状可変鏡の形状を、光ディスクにチルトが
生じていない場合に形状可変鏡で反射した光の波面収差
が図8(b)となるように制御する。このときには、図
8(a)と図8(b)の波面収差が互いに相殺する関係
となって形状可変鏡からの反射光の波面収差は図8
(c)のようになり、図8(a)と比較して波面収差を
低減させることができる。
【0048】次に本発明における形状可変鏡の第2の実
施例を図11及び図12を用いて説明する。図11、図
12は鏡面を下側にして描いてある。形状可変鏡の圧電
基板部は図11(a)に示すように、圧電基板2の片面
に、圧電基板用個別電極5aが設置され、圧電基板用配
線パターン5cが配線されている。圧電基板用配線パタ
ーン5cは、圧電基板用個別電極5aと接続されてい
る。その圧電基板2の他方の面には図示していないが、
圧電基板用共通電極4aが、全面又は圧電基板用個別電
極5aと略同じ形状、略同じ配置で対向するように設置
されている。また形状可変鏡の鏡基板部は図11(b)
に示すように、鏡基板6の鏡面と反対側の面に、鏡基板
用共通電極4bと鏡基板用個別電極5bが設置されてい
る。このように鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電
極5bは、同一平面上にあって、互いに分離している。
図11(b)に示す鏡基板部の上に図11(a)に示す
圧電基板部を、例えば接着などの手段を用いて一体化
し、ワイヤ21で接続した状態が図12である。
施例を図11及び図12を用いて説明する。図11、図
12は鏡面を下側にして描いてある。形状可変鏡の圧電
基板部は図11(a)に示すように、圧電基板2の片面
に、圧電基板用個別電極5aが設置され、圧電基板用配
線パターン5cが配線されている。圧電基板用配線パタ
ーン5cは、圧電基板用個別電極5aと接続されてい
る。その圧電基板2の他方の面には図示していないが、
圧電基板用共通電極4aが、全面又は圧電基板用個別電
極5aと略同じ形状、略同じ配置で対向するように設置
されている。また形状可変鏡の鏡基板部は図11(b)
に示すように、鏡基板6の鏡面と反対側の面に、鏡基板
用共通電極4bと鏡基板用個別電極5bが設置されてい
る。このように鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電
極5bは、同一平面上にあって、互いに分離している。
図11(b)に示す鏡基板部の上に図11(a)に示す
圧電基板部を、例えば接着などの手段を用いて一体化
し、ワイヤ21で接続した状態が図12である。
【0049】図12において、(a)は鏡基板部と圧電
基板部を一体化してワイヤで接続した状態の斜視図、
(b)は固定用部材8である。図示してはいないが鏡基
板6には、鏡面側に鏡材1が、鏡面と反対側の面には絶
縁層7が取り付けてある。絶縁層7の上には鏡基板用共
通電極4bと鏡基板用個別電極5bが設置されている。
鏡基板用共通電極4bの上には、図示していないが圧電
基板用共通電極4aがあり、その上に圧電基板2、さら
にその上に圧電基板用個別電極5a及び圧電基板用配線
パターン5cが設置されている。圧電基板用個別電極5
aと鏡基板用個別電極5bは、圧電基板用配線パターン
5cを介して細いワイヤ21で電気的に接続されてお
り、また圧電基板用共通電極4aと鏡基板用共通電極4
bは、互いの面が直接接触しており電気的に接続してい
る。本実施例の特徴は、圧電基板用配線パターン5cが
圧電基板2の端部に存在する為に、ワイヤ21の接続を
圧電基板2の端部で行うことができ、かつワイヤ21の
長さも短くて済むため、ワイヤ21の接続による鏡面に
対する変形などの影響を、より小さくすることができる
ことにある。図12(a)に示すような構造である鏡基
板部を、図12(b)に示すような鏡固定用部材8に鏡
固定部3で固定する。鏡固定用部材8は、図12(b)
に示すように、対向した2辺に凸部を有し、それらの凸
部が鏡基板部と鏡固定部3で接触し、形状可変鏡を固定
する。さらに凸部の中央部分が凹状になっており、ワイ
ヤ21の鏡固定部材3との接触を避けることができる。
ここで鏡固定用部材8は、絶縁体であるか、又は表面が
絶縁体で覆われており、鏡基板用共通電極4bの端部付
近と鏡基板用個別電極5bに、図示していないが電気的
接続手段(例えばフレキシブルコード)を接続して、圧
電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を与えるこ
とができる。なお、圧電用配線パターン5cは、鏡面に
対する変形などの影響を極力避ける為にできるだけ細い
ことが望ましい。
基板部を一体化してワイヤで接続した状態の斜視図、
(b)は固定用部材8である。図示してはいないが鏡基
板6には、鏡面側に鏡材1が、鏡面と反対側の面には絶
縁層7が取り付けてある。絶縁層7の上には鏡基板用共
通電極4bと鏡基板用個別電極5bが設置されている。
鏡基板用共通電極4bの上には、図示していないが圧電
基板用共通電極4aがあり、その上に圧電基板2、さら
にその上に圧電基板用個別電極5a及び圧電基板用配線
パターン5cが設置されている。圧電基板用個別電極5
aと鏡基板用個別電極5bは、圧電基板用配線パターン
5cを介して細いワイヤ21で電気的に接続されてお
り、また圧電基板用共通電極4aと鏡基板用共通電極4
bは、互いの面が直接接触しており電気的に接続してい
る。本実施例の特徴は、圧電基板用配線パターン5cが
圧電基板2の端部に存在する為に、ワイヤ21の接続を
圧電基板2の端部で行うことができ、かつワイヤ21の
長さも短くて済むため、ワイヤ21の接続による鏡面に
対する変形などの影響を、より小さくすることができる
ことにある。図12(a)に示すような構造である鏡基
板部を、図12(b)に示すような鏡固定用部材8に鏡
固定部3で固定する。鏡固定用部材8は、図12(b)
に示すように、対向した2辺に凸部を有し、それらの凸
部が鏡基板部と鏡固定部3で接触し、形状可変鏡を固定
する。さらに凸部の中央部分が凹状になっており、ワイ
ヤ21の鏡固定部材3との接触を避けることができる。
ここで鏡固定用部材8は、絶縁体であるか、又は表面が
絶縁体で覆われており、鏡基板用共通電極4bの端部付
近と鏡基板用個別電極5bに、図示していないが電気的
接続手段(例えばフレキシブルコード)を接続して、圧
電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を与えるこ
とができる。なお、圧電用配線パターン5cは、鏡面に
対する変形などの影響を極力避ける為にできるだけ細い
ことが望ましい。
【0050】次に本発明における形状可変鏡の第3の実
施例を、図13を用いて説明する。図13(a)は本実
施例における形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した
部分は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡
基板部と圧電基板部とを一体化しワイヤで接続した部分
である。図13(b)は、例として図7(a)で示した
部分を本実施例の固定用部材8に固定した場合の、図1
3(a)における線B、線B’に沿った方向の断面図を
表している。なお図13は、鏡面を上にして描いてあ
る。
施例を、図13を用いて説明する。図13(a)は本実
施例における形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した
部分は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡
基板部と圧電基板部とを一体化しワイヤで接続した部分
である。図13(b)は、例として図7(a)で示した
部分を本実施例の固定用部材8に固定した場合の、図1
3(a)における線B、線B’に沿った方向の断面図を
表している。なお図13は、鏡面を上にして描いてあ
る。
【0051】鏡基板6には鏡面側に鏡材1が取り付けて
あり、鏡面の反対側には絶縁層7が取り付けてある。絶
縁層7の下には鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電
極5bが設置されている。鏡基板用共通電極4bの下に
は、圧電基板用共通電極4aがあり、その下に圧電基板
2、さらにその下に圧電基板用個別電極5aが設置され
ている。圧電基板用個別電極5aと鏡基板用個別電極5
bは細いワイヤ21で電気的に接続され、圧電基板用共
通電極4aと鏡基板用共通電極4bは互いの面が直接、
接触しており電気的に接続している。
あり、鏡面の反対側には絶縁層7が取り付けてある。絶
縁層7の下には鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電
極5bが設置されている。鏡基板用共通電極4bの下に
は、圧電基板用共通電極4aがあり、その下に圧電基板
2、さらにその下に圧電基板用個別電極5aが設置され
ている。圧電基板用個別電極5aと鏡基板用個別電極5
bは細いワイヤ21で電気的に接続され、圧電基板用共
通電極4aと鏡基板用共通電極4bは互いの面が直接、
接触しており電気的に接続している。
【0052】図13(b)に示すような構造の鏡基板部
を、図13(a)に示す鏡固定用部材8に鏡固定部3で
固定する。鏡固定用部材8は、図13(a)に示すよう
に、対向した2辺に凸部を有し、それらの凸部が鏡基板
部と鏡固定部3で接触し、形状可変鏡を固定する。ここ
で鏡固定用部材8は、絶縁体、又は表面が絶縁体で覆わ
れている状態であり、鏡固定部材用配線パターン9が配
線されている(ここで鏡固定用部材8上の配線を鏡固定
部材用配線パターン9と定義する)。鏡固定部材用配線
パターン9のうち、鏡基板6の電極4b、5bと接触す
る部分を鏡基板側電極接続部9a、電気的接続手段と接
続する部分を外部側電極接続部9bと呼ぶことにする。
鏡基板側電極接続部9aには、鏡基板用共通電極4bや
鏡基板用個別電極5bが直接接触して導通できるように
なっている。外部側電極接続部9bにはフレキシブルコ
ードなどの電気的接続手段を接続できるようになってお
り、鏡基板にほとんど負荷をかけることなく、電気的接
続手段により圧電基板2に印可する電圧を制御する電気
信号を与えることができる。本実施例では、外部側電極
接続部9bを設けていることにより、電気的接続手段の
接続領域が広くなり、接続を容易に行うことができる。
を、図13(a)に示す鏡固定用部材8に鏡固定部3で
固定する。鏡固定用部材8は、図13(a)に示すよう
に、対向した2辺に凸部を有し、それらの凸部が鏡基板
部と鏡固定部3で接触し、形状可変鏡を固定する。ここ
で鏡固定用部材8は、絶縁体、又は表面が絶縁体で覆わ
れている状態であり、鏡固定部材用配線パターン9が配
線されている(ここで鏡固定用部材8上の配線を鏡固定
部材用配線パターン9と定義する)。鏡固定部材用配線
パターン9のうち、鏡基板6の電極4b、5bと接触す
る部分を鏡基板側電極接続部9a、電気的接続手段と接
続する部分を外部側電極接続部9bと呼ぶことにする。
鏡基板側電極接続部9aには、鏡基板用共通電極4bや
鏡基板用個別電極5bが直接接触して導通できるように
なっている。外部側電極接続部9bにはフレキシブルコ
ードなどの電気的接続手段を接続できるようになってお
り、鏡基板にほとんど負荷をかけることなく、電気的接
続手段により圧電基板2に印可する電圧を制御する電気
信号を与えることができる。本実施例では、外部側電極
接続部9bを設けていることにより、電気的接続手段の
接続領域が広くなり、接続を容易に行うことができる。
【0053】次に本発明における形状可変鏡の第4の実
施例を、図14を用いて説明する。図14は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。図14に点
線で示すような構造の鏡基板部を、図14に示す鏡固定
用部材8に鏡固定部3で固定する。鏡固定用部材8は、
図14に示すように、対向した2辺に凸部を有し、それ
らの凸部が鏡基板部と鏡固定部3で接触し、形状可変鏡
を固定する。ここで鏡固定用部材8は、絶縁体、又は表
面が絶縁体で覆われている状態であり、鏡固定部材用配
線パターン9が配置されている。鏡固定部材用配線パタ
ーン9には、鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続
部9bが存在する。ここで鏡基板側電極接続部9aと外
部側電極接続部9bの間には、図14に示すように段差
があり、外部側電極接続部9bの高さが鏡基板側電極接
続部9aの高さよりも低くなっている。鏡基板側電極接
続部9aと外部側電極接続部9bの間に上記のような段
差を設けることにより、外部側電極接続部9bに接続す
る電気的接続手段を、鏡面よりも上に出っ張ることなく
接続することができる。また段差部8aの境界部分、す
なわち鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続部9b
の境界部分は、図14に示すように、垂直ではなく段差
斜面8hとなっている。なお段差部8aの境界部分は曲
面でも良い。段差部8aの境界部分を斜面又は曲面とす
ることにより、鏡固体部材用配線パターン9の配線を容
易に行うことができる。鏡基板側電極接続部9aには、
直接鏡基板用共通電極4bや鏡基板用個別電極5bが接
触して導通できるようになっている。なお、鏡基板側電
極接続部9a及び、直接鏡基板用共通電極4b又は鏡基
板用個別電極5bの間に導電材が介在していても良い。
外部側電極接続部9bには、フレキシブルコードなどの
電気的接続手段を接続できるようになっており、鏡基板
6にほとんど負荷をかけることなく、電気的接続手段に
より圧電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を与
えることができる。
施例を、図14を用いて説明する。図14は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。図14に点
線で示すような構造の鏡基板部を、図14に示す鏡固定
用部材8に鏡固定部3で固定する。鏡固定用部材8は、
図14に示すように、対向した2辺に凸部を有し、それ
らの凸部が鏡基板部と鏡固定部3で接触し、形状可変鏡
を固定する。ここで鏡固定用部材8は、絶縁体、又は表
面が絶縁体で覆われている状態であり、鏡固定部材用配
線パターン9が配置されている。鏡固定部材用配線パタ
ーン9には、鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続
部9bが存在する。ここで鏡基板側電極接続部9aと外
部側電極接続部9bの間には、図14に示すように段差
があり、外部側電極接続部9bの高さが鏡基板側電極接
続部9aの高さよりも低くなっている。鏡基板側電極接
続部9aと外部側電極接続部9bの間に上記のような段
差を設けることにより、外部側電極接続部9bに接続す
る電気的接続手段を、鏡面よりも上に出っ張ることなく
接続することができる。また段差部8aの境界部分、す
なわち鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続部9b
の境界部分は、図14に示すように、垂直ではなく段差
斜面8hとなっている。なお段差部8aの境界部分は曲
面でも良い。段差部8aの境界部分を斜面又は曲面とす
ることにより、鏡固体部材用配線パターン9の配線を容
易に行うことができる。鏡基板側電極接続部9aには、
直接鏡基板用共通電極4bや鏡基板用個別電極5bが接
触して導通できるようになっている。なお、鏡基板側電
極接続部9a及び、直接鏡基板用共通電極4b又は鏡基
板用個別電極5bの間に導電材が介在していても良い。
外部側電極接続部9bには、フレキシブルコードなどの
電気的接続手段を接続できるようになっており、鏡基板
6にほとんど負荷をかけることなく、電気的接続手段に
より圧電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を与
えることができる。
【0054】次に本発明における形状可変鏡の第5の実
施例を、図15を用いて説明する。図15は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。ここでは鏡
面を上にして描いてある。図15に示すような構造の鏡
基板部を、図15に示す鏡固定用部材8に鏡固定部3で
固定する。鏡固定用部材8は、図15に示すように、対
向した2辺に凸部を有し、それらの凸部が鏡基板部と鏡
固定部3で接触し、形状可変鏡を固定する。ここで鏡固
定用部材8は、絶縁体、又は表面が絶縁体で覆われてい
る状態であり、鏡固定部材用配線パターン9が配置され
ている。鏡固定部材用配線パターン9は、鏡固定部3よ
り(鏡端部より)中心側に存在しており、鏡基板側電極
接続部9aと外部側電極接続部9bが存在する。本実施
例では、鏡固定部材用配線パターン9が端部より中心側
に存在しており外部側電極接続部9bが鏡面より外側に
位置せずに鏡面の下側に全て位置してはみ出さない為、
鏡固定用部材8を鏡面の大きさと同じにすることができ
る(実施例4(図14)と比較して小さくできる)。こ
こで鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続部9bの
間には、図14に示すように段差があり、外部側電極接
続部9bの高さが鏡基板側電極接続部9aの高さよりも
低くなっている。また段差部8aの境界部分、すなわち
鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続部9bの間
は、図15に示すように、垂直ではなく段差斜面8hと
なっている。なお段差部8aの境界部分は曲面でも良
い。鏡基板側電極接続部9aには、直接鏡基板用共通電
極4bや鏡基板用個別電極5bが接触して導通できるよ
うになっている。なお、鏡基板側電極接続部9a及び、
直接鏡基板用共通電極4b又は鏡基板用個別電極5bの
間に導電材が介在していても良い。外部側電極接続部9
bには、フレキシブルコードなどの電気的接続手段を接
続できるようになっており、鏡基板6にほとんど負荷を
かけることなく、電気的接続手段により圧電基板2に印
可する電圧を制御する電気信号を与えることができる。
施例を、図15を用いて説明する。図15は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。ここでは鏡
面を上にして描いてある。図15に示すような構造の鏡
基板部を、図15に示す鏡固定用部材8に鏡固定部3で
固定する。鏡固定用部材8は、図15に示すように、対
向した2辺に凸部を有し、それらの凸部が鏡基板部と鏡
固定部3で接触し、形状可変鏡を固定する。ここで鏡固
定用部材8は、絶縁体、又は表面が絶縁体で覆われてい
る状態であり、鏡固定部材用配線パターン9が配置され
ている。鏡固定部材用配線パターン9は、鏡固定部3よ
り(鏡端部より)中心側に存在しており、鏡基板側電極
接続部9aと外部側電極接続部9bが存在する。本実施
例では、鏡固定部材用配線パターン9が端部より中心側
に存在しており外部側電極接続部9bが鏡面より外側に
位置せずに鏡面の下側に全て位置してはみ出さない為、
鏡固定用部材8を鏡面の大きさと同じにすることができ
る(実施例4(図14)と比較して小さくできる)。こ
こで鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続部9bの
間には、図14に示すように段差があり、外部側電極接
続部9bの高さが鏡基板側電極接続部9aの高さよりも
低くなっている。また段差部8aの境界部分、すなわち
鏡基板側電極接続部9aと外部側電極接続部9bの間
は、図15に示すように、垂直ではなく段差斜面8hと
なっている。なお段差部8aの境界部分は曲面でも良
い。鏡基板側電極接続部9aには、直接鏡基板用共通電
極4bや鏡基板用個別電極5bが接触して導通できるよ
うになっている。なお、鏡基板側電極接続部9a及び、
直接鏡基板用共通電極4b又は鏡基板用個別電極5bの
間に導電材が介在していても良い。外部側電極接続部9
bには、フレキシブルコードなどの電気的接続手段を接
続できるようになっており、鏡基板6にほとんど負荷を
かけることなく、電気的接続手段により圧電基板2に印
可する電圧を制御する電気信号を与えることができる。
【0055】次に本発明における形状可変鏡の第6の実
施例を、図16を用いて説明する。本実施例では、図1
5に示した第5の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材8の辺の一部分に凹部8bを有する。また外部
側電極接続部9bは、凹部8bまで又は凹部8bの近傍
まで設置されることが望ましい。本実施例のように辺の
一部分に凹部8bを有することにより、鏡固定部材用配
線パターン9が鏡面の大きさから外側へはみ出すことが
なく、鏡固定用部材8を小さくすることができ、また電
気的接続手段を鏡固定用部材8の端部から引き出すこと
が可能となる。図16のように一つの辺に凹部8bを設
けた場合は、一方向への引き出しを可能とする。また鏡
基板にほとんど負荷をかけることなく、電気的接続手段
により圧電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を
与えることができる。
施例を、図16を用いて説明する。本実施例では、図1
5に示した第5の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材8の辺の一部分に凹部8bを有する。また外部
側電極接続部9bは、凹部8bまで又は凹部8bの近傍
まで設置されることが望ましい。本実施例のように辺の
一部分に凹部8bを有することにより、鏡固定部材用配
線パターン9が鏡面の大きさから外側へはみ出すことが
なく、鏡固定用部材8を小さくすることができ、また電
気的接続手段を鏡固定用部材8の端部から引き出すこと
が可能となる。図16のように一つの辺に凹部8bを設
けた場合は、一方向への引き出しを可能とする。また鏡
基板にほとんど負荷をかけることなく、電気的接続手段
により圧電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を
与えることができる。
【0056】次に本発明における形状可変鏡の第7の実
施例を、図17を用いて説明する。本実施例では、図1
5に示した第5の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材8の辺の一部分に凹部8cを有し、かつその凹
部8cは鏡基板側電極接続部9aの近傍に位置する。本
実施例のように2つの辺に関して、辺の一部分に凹部8
cを有することにより、鏡固定部材用配線パターン9が
鏡面の大きさから外側へはみ出すことがなく、鏡固定用
部材8を小さくすることができ、また電気的接続手段を
鏡固定用部材8の端部から引き出すことを可能とする。
図17のように二つの辺に凹部8cを設けた場合は、電
気的接続手段の二方向へ引き出すことができる。また、
凹部8cは鏡基板側電極接続部9aの近傍に位置するこ
とにより、鏡固定部材用配線パターンの領域が少なくて
済む(図17においては、配線の長さを図16よりも短
くできる)。さらに鏡基板6にほとんど負荷をかけるこ
となく、電気的接続手段により圧電基板2に印可する電
圧を制御する電気信号を与えることができる。
施例を、図17を用いて説明する。本実施例では、図1
5に示した第5の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材8の辺の一部分に凹部8cを有し、かつその凹
部8cは鏡基板側電極接続部9aの近傍に位置する。本
実施例のように2つの辺に関して、辺の一部分に凹部8
cを有することにより、鏡固定部材用配線パターン9が
鏡面の大きさから外側へはみ出すことがなく、鏡固定用
部材8を小さくすることができ、また電気的接続手段を
鏡固定用部材8の端部から引き出すことを可能とする。
図17のように二つの辺に凹部8cを設けた場合は、電
気的接続手段の二方向へ引き出すことができる。また、
凹部8cは鏡基板側電極接続部9aの近傍に位置するこ
とにより、鏡固定部材用配線パターンの領域が少なくて
済む(図17においては、配線の長さを図16よりも短
くできる)。さらに鏡基板6にほとんど負荷をかけるこ
となく、電気的接続手段により圧電基板2に印可する電
圧を制御する電気信号を与えることができる。
【0057】次に本発明における形状可変鏡の第8の実
施例を、図18を用いて説明する。本実施例では、図1
5に示した第5の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材8の一部分に貫通する穴8dを設けている。本
実施例のように鏡固定用部材8に貫通する穴8dを設け
ることにより、鏡固定部材用配線パターン9が鏡面の大
きさからはみ出すことがなく、鏡固定用部材8を小さく
することができ、また電気的接続手段を端部に引き出せ
ない場合でも、貫通する穴8dを通じて引き出し可能と
する。鏡基板6にほとんど負荷をかけることなく、電気
的接続手段により圧電基板2に印可する電圧を制御する
電気信号を与えることができる。
施例を、図18を用いて説明する。本実施例では、図1
5に示した第5の実施例を基本構成としているが、鏡固
定用部材8の一部分に貫通する穴8dを設けている。本
実施例のように鏡固定用部材8に貫通する穴8dを設け
ることにより、鏡固定部材用配線パターン9が鏡面の大
きさからはみ出すことがなく、鏡固定用部材8を小さく
することができ、また電気的接続手段を端部に引き出せ
ない場合でも、貫通する穴8dを通じて引き出し可能と
する。鏡基板6にほとんど負荷をかけることなく、電気
的接続手段により圧電基板2に印可する電圧を制御する
電気信号を与えることができる。
【0058】次に本発明における形状可変鏡の第9の実
施例を、図19を用いて説明する。図19は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。なお、図1
9では鏡面を下にして描いてある。鏡基板6には鏡面側
に鏡材1が取り付けてあり、鏡面の反対側には絶縁層7
が取り付けてある。絶縁層7の上には鏡基板用共通電極
4bと鏡基板用個別電極5bが設置されている。鏡基板
用共通電極4bの上には、圧電基板用共通電極4aがあ
り、その上に圧電基板2、さらにその上に圧電基板用個
別電極5aが設置されている。圧電基板用個別電極5a
と鏡基板用個別電極5bは、細いワイヤ21で電気的に
接続され、圧電基板用共通電極4aと鏡基板用共通電極
4bは互いの面が直接、接触しており電気的に接続して
いる。図19に示すような構造の鏡基板部を、図19に
示す鏡固定用部材8に鏡固定部3で固定する。鏡固定用
部材8は、図19に示すように、対向した2辺に凸部を
有し、それらの凸部が鏡基板部と鏡固定部3で接触し、
形状可変鏡を固定する。ここで鏡固定用部材8は、絶縁
体、又は表面が絶縁体で覆われている状態であり、鏡固
定部材8の裏面(鏡面を固定する側と反対側の面)に鏡
固定部材用配線パターン9が配置されている。従って形
状可変鏡を組み立てた後に、鏡固定用部材8の鏡固定部
材用配線パターン9と鏡面と反対側の鏡基板6上の鏡基
板用配線パターンとを接続することができる。鏡固定部
材用配線パターン9には、鏡固定部3より(鏡端部よ
り)中心側に存在しており、鏡基板側電極接続部9aと
外部側電極接続部9bが存在する。鏡基板側電極接続部
9aには、鏡基板用共通電極4bや鏡基板用個別電極5
bから、結合線などを直接接続することができる。また
鏡固定用部材8の辺の一部分に、凹部8fを設けてあ
る。凹部8fと鏡基板側電極接続部9aとは、結合線な
どを少量にする(結合線であれば短くする)為にも接し
ていることが好ましい。凹部8fがあることで、電極4
b、5bと鏡基板側電極接続部9aを結ぶ結合線など
が、鏡面の外側にはみ出さずに接続させることができ
る。外部側電極接続部9bにはフレキシブルコードなど
の電気的接続手段を接続することができ、鏡基板6にほ
とんど負荷をかけることなく、電気的接続手段により圧
電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を与えるこ
とができる。
施例を、図19を用いて説明する。図19は本実施例に
おける形状可変鏡の斜視図であり、点線で示した部分
は、図7(a)や図12(a)で示したような、鏡基板
部と圧電基板部とが一体化した部分である。なお、図1
9では鏡面を下にして描いてある。鏡基板6には鏡面側
に鏡材1が取り付けてあり、鏡面の反対側には絶縁層7
が取り付けてある。絶縁層7の上には鏡基板用共通電極
4bと鏡基板用個別電極5bが設置されている。鏡基板
用共通電極4bの上には、圧電基板用共通電極4aがあ
り、その上に圧電基板2、さらにその上に圧電基板用個
別電極5aが設置されている。圧電基板用個別電極5a
と鏡基板用個別電極5bは、細いワイヤ21で電気的に
接続され、圧電基板用共通電極4aと鏡基板用共通電極
4bは互いの面が直接、接触しており電気的に接続して
いる。図19に示すような構造の鏡基板部を、図19に
示す鏡固定用部材8に鏡固定部3で固定する。鏡固定用
部材8は、図19に示すように、対向した2辺に凸部を
有し、それらの凸部が鏡基板部と鏡固定部3で接触し、
形状可変鏡を固定する。ここで鏡固定用部材8は、絶縁
体、又は表面が絶縁体で覆われている状態であり、鏡固
定部材8の裏面(鏡面を固定する側と反対側の面)に鏡
固定部材用配線パターン9が配置されている。従って形
状可変鏡を組み立てた後に、鏡固定用部材8の鏡固定部
材用配線パターン9と鏡面と反対側の鏡基板6上の鏡基
板用配線パターンとを接続することができる。鏡固定部
材用配線パターン9には、鏡固定部3より(鏡端部よ
り)中心側に存在しており、鏡基板側電極接続部9aと
外部側電極接続部9bが存在する。鏡基板側電極接続部
9aには、鏡基板用共通電極4bや鏡基板用個別電極5
bから、結合線などを直接接続することができる。また
鏡固定用部材8の辺の一部分に、凹部8fを設けてあ
る。凹部8fと鏡基板側電極接続部9aとは、結合線な
どを少量にする(結合線であれば短くする)為にも接し
ていることが好ましい。凹部8fがあることで、電極4
b、5bと鏡基板側電極接続部9aを結ぶ結合線など
が、鏡面の外側にはみ出さずに接続させることができ
る。外部側電極接続部9bにはフレキシブルコードなど
の電気的接続手段を接続することができ、鏡基板6にほ
とんど負荷をかけることなく、電気的接続手段により圧
電基板2に印可する電圧を制御する電気信号を与えるこ
とができる。
【0059】次に本発明における形状可変鏡の第10の
実施例を、図20を用いて説明する。本実施例では、図
19に示した第9の実施例を基本構成としており、鏡固
定部材8の裏面(鏡面を固定する側と反対側の面)に鏡
固定部材用配線パターン9を配置しているが、鏡固定用
部材8の凸部の一部分に凹部8gを有し、かつその凹部
8gは鏡側電極接続部9aに接している。これより形状
可変鏡を組み立てた後に鏡固定用部材8の鏡固定部材用
配線パターン9と鏡面と反対側の鏡基板6上の鏡基板用
配線パターンとを接続することができると同時に、辺の
一部分に凹部8gを有することにより、鏡基板用共通電
極4b、鏡基板用個別電極5bと鏡基板側電極接続部9
aを結ぶ結合線などが、鏡面の外側にはみ出さずに接続
させることができる。図20のように、凹部8gが凸部
の一部分にあり、電極4b、5bが凹部8gの近傍にあ
る場合には、電極4b、5bと鏡基板側電極接続部9a
を結ぶ結合線などが少量で済む。また外部側電極接続部
9bにはフレキシブルコードなどの電気的接続手段を接
続することができ、鏡基板6にほとんど負荷をかけるこ
となく、電気的接続手段により圧電基板2に印可する電
圧を制御する電気信号を与えることができる。
実施例を、図20を用いて説明する。本実施例では、図
19に示した第9の実施例を基本構成としており、鏡固
定部材8の裏面(鏡面を固定する側と反対側の面)に鏡
固定部材用配線パターン9を配置しているが、鏡固定用
部材8の凸部の一部分に凹部8gを有し、かつその凹部
8gは鏡側電極接続部9aに接している。これより形状
可変鏡を組み立てた後に鏡固定用部材8の鏡固定部材用
配線パターン9と鏡面と反対側の鏡基板6上の鏡基板用
配線パターンとを接続することができると同時に、辺の
一部分に凹部8gを有することにより、鏡基板用共通電
極4b、鏡基板用個別電極5bと鏡基板側電極接続部9
aを結ぶ結合線などが、鏡面の外側にはみ出さずに接続
させることができる。図20のように、凹部8gが凸部
の一部分にあり、電極4b、5bが凹部8gの近傍にあ
る場合には、電極4b、5bと鏡基板側電極接続部9a
を結ぶ結合線などが少量で済む。また外部側電極接続部
9bにはフレキシブルコードなどの電気的接続手段を接
続することができ、鏡基板6にほとんど負荷をかけるこ
となく、電気的接続手段により圧電基板2に印可する電
圧を制御する電気信号を与えることができる。
【0060】次に本発明における形状可変鏡の第11の
実施例を、図21を用いて説明する。本実施例では、図
21に示した第9の実施例を基本構成として鏡固定部材
8の裏面(鏡面を固定する側と反対側の面)に鏡固定部
材用配線パターン9を配置しているが、鏡固定用部材8
の一部分に貫通する穴8eを設けている。これにより形
状可変鏡を組み立てた後に鏡固定用部材8の鏡固定部材
用配線パターン9と鏡面と反対側の鏡基板6上の鏡基板
用配線パターンとを接続することができると同時に、鏡
基板用共通電極4b、鏡基板用個別電極5bと鏡基板側
電極接続部9aを結ぶ結合線などが形状可変鏡の端部に
位置することが不適切な場合にも、貫通する穴8eを通
じて接続することができる。また外部側電極接続部9b
にはフレキシブルコードなどの電気的接続手段を接続す
ることができ、鏡基板6にほとんど負荷をかけることな
く、電気的接続手段により圧電基板2に印可する電圧を
制御する電気信号を与えることができる。
実施例を、図21を用いて説明する。本実施例では、図
21に示した第9の実施例を基本構成として鏡固定部材
8の裏面(鏡面を固定する側と反対側の面)に鏡固定部
材用配線パターン9を配置しているが、鏡固定用部材8
の一部分に貫通する穴8eを設けている。これにより形
状可変鏡を組み立てた後に鏡固定用部材8の鏡固定部材
用配線パターン9と鏡面と反対側の鏡基板6上の鏡基板
用配線パターンとを接続することができると同時に、鏡
基板用共通電極4b、鏡基板用個別電極5bと鏡基板側
電極接続部9aを結ぶ結合線などが形状可変鏡の端部に
位置することが不適切な場合にも、貫通する穴8eを通
じて接続することができる。また外部側電極接続部9b
にはフレキシブルコードなどの電気的接続手段を接続す
ることができ、鏡基板6にほとんど負荷をかけることな
く、電気的接続手段により圧電基板2に印可する電圧を
制御する電気信号を与えることができる。
【0061】次に本発明における形状可変鏡の第12の
実施例を、図22を用いて説明する。図22は本実施例
の形状可変鏡の断面図であり、鏡面を上にして描いてあ
る。鏡基板6には鏡面側に鏡材1が取り付けられ、鏡面
と反対側の面には絶縁層7が取り付けられており、絶縁
層7の下には鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極
5bが設置されている。鏡基板用共通電極4bの下に
は、圧電基板用共通電極4aがあり、その下には圧電基
板2が、さらにその下に圧電基板用個別電極5aが設置
されている。圧電基板用個別電極5aと鏡基板用個別電
極5bは、細いワイヤ21で電気的に接続され、圧電基
板用共通電極4aと鏡基板用共通電極4bは直接面で接
触し、電気的に接続されている。このような構造の鏡基
板部は図22で示した鏡固定用部材8に鏡固定部3で固
定されている。鏡固定用部材8は図22に示すように、
対向した2辺に凸部があり、その凸部は、鏡固定部3で
鏡基板部と接触し、形状可変鏡を固定する。鏡固定用部
材8は絶縁材、又は表面が絶縁材で覆われた状態であ
る。本実施例では、鏡基板6の大きさ(辺の長さ)が鏡
固定用部材8の大きさ(辺の長さ)よりも大きく(長
く)、鏡基板6の鏡面と反対側の面にある鏡基板用配線
パターン、すなわち鏡基板用共通電極4b及び鏡基板用
個別電極5bの一部は、鏡固定用部材8の鏡固定部部3
より外側に出ている為、鏡基板用配線パターン(鏡基板
用共通電極4b及び鏡基板用個別電極5b)と電気的接
続手段とを直接接続し、かつ形状可変鏡の鏡面の形状に
影響の少ない電気的接続手段の接続が可能となる。
実施例を、図22を用いて説明する。図22は本実施例
の形状可変鏡の断面図であり、鏡面を上にして描いてあ
る。鏡基板6には鏡面側に鏡材1が取り付けられ、鏡面
と反対側の面には絶縁層7が取り付けられており、絶縁
層7の下には鏡基板用共通電極4bと鏡基板用個別電極
5bが設置されている。鏡基板用共通電極4bの下に
は、圧電基板用共通電極4aがあり、その下には圧電基
板2が、さらにその下に圧電基板用個別電極5aが設置
されている。圧電基板用個別電極5aと鏡基板用個別電
極5bは、細いワイヤ21で電気的に接続され、圧電基
板用共通電極4aと鏡基板用共通電極4bは直接面で接
触し、電気的に接続されている。このような構造の鏡基
板部は図22で示した鏡固定用部材8に鏡固定部3で固
定されている。鏡固定用部材8は図22に示すように、
対向した2辺に凸部があり、その凸部は、鏡固定部3で
鏡基板部と接触し、形状可変鏡を固定する。鏡固定用部
材8は絶縁材、又は表面が絶縁材で覆われた状態であ
る。本実施例では、鏡基板6の大きさ(辺の長さ)が鏡
固定用部材8の大きさ(辺の長さ)よりも大きく(長
く)、鏡基板6の鏡面と反対側の面にある鏡基板用配線
パターン、すなわち鏡基板用共通電極4b及び鏡基板用
個別電極5bの一部は、鏡固定用部材8の鏡固定部部3
より外側に出ている為、鏡基板用配線パターン(鏡基板
用共通電極4b及び鏡基板用個別電極5b)と電気的接
続手段とを直接接続し、かつ形状可変鏡の鏡面の形状に
影響の少ない電気的接続手段の接続が可能となる。
【0062】以上、本発明を説明するため実施例を示し
てきたが、本発明はこれらの実施例にとどまることなく
応用できることはいうまでもない。たとえば各実施例で
示した形状可変鏡を任意に組み合わせても良い。また、
電極の形状や数は上述の実施例に限定されず、任意の形
状及び数が可能であり、各配線パターンの形状も任意で
あり、配線の太さの変更、配線の数の増減などの変更
は、容易になし得る。
てきたが、本発明はこれらの実施例にとどまることなく
応用できることはいうまでもない。たとえば各実施例で
示した形状可変鏡を任意に組み合わせても良い。また、
電極の形状や数は上述の実施例に限定されず、任意の形
状及び数が可能であり、各配線パターンの形状も任意で
あり、配線の太さの変更、配線の数の増減などの変更
は、容易になし得る。
【0063】また、実施例ではチルトにより発生するレ
ーザ光の波面収差として主としてコマ収差を補正するた
めの形状可変鏡として述べてきたが、電極の配置や配線
パターンなどを有効に利用して鏡面の変形状態を制御
し、球面収差や非点収差補正用の収差補正用として使用
してもよい。
ーザ光の波面収差として主としてコマ収差を補正するた
めの形状可変鏡として述べてきたが、電極の配置や配線
パターンなどを有効に利用して鏡面の変形状態を制御
し、球面収差や非点収差補正用の収差補正用として使用
してもよい。
【0064】これまで述べてきた、本発明では、鏡材1
は例えば、Auの蒸着膜や誘電体多層膜などであり、絶
縁層7は熱酸化膜やCVD法(気相化学析出法)などで
堆積させた絶縁材料である。共通電極4a、4bや個別
電極5a、5bは導電性の高い材料や金属膜であり、形
状可変鏡を作製する工程で、高温処理をする工程を用い
る場合には、Ptなど高温に強い膜が望ましい。圧電基
板2の圧電材料はPZT(Pb(Zrx,Ti1−x)
O3:チタン酸ジルコン酸鉛)のような圧電セラミック
スでもPVDF(ポリフッ化ビニリデン)のような圧電
高分子でも良く、圧電材料の薄板を貼り付けても良く、
圧電材料の膜を鏡基板側に成膜しても良い。また鏡基板
6はシリコンが望ましいが、セラミックスやガラスなど
硬い材料や、PET(ポリエチレンテレフタラート)や
ポリイミドのような高分子材料でも良く、鏡基板6の抵
抗率が高くて絶縁体に近ければ、絶縁層7は省略でき
る。
は例えば、Auの蒸着膜や誘電体多層膜などであり、絶
縁層7は熱酸化膜やCVD法(気相化学析出法)などで
堆積させた絶縁材料である。共通電極4a、4bや個別
電極5a、5bは導電性の高い材料や金属膜であり、形
状可変鏡を作製する工程で、高温処理をする工程を用い
る場合には、Ptなど高温に強い膜が望ましい。圧電基
板2の圧電材料はPZT(Pb(Zrx,Ti1−x)
O3:チタン酸ジルコン酸鉛)のような圧電セラミック
スでもPVDF(ポリフッ化ビニリデン)のような圧電
高分子でも良く、圧電材料の薄板を貼り付けても良く、
圧電材料の膜を鏡基板側に成膜しても良い。また鏡基板
6はシリコンが望ましいが、セラミックスやガラスなど
硬い材料や、PET(ポリエチレンテレフタラート)や
ポリイミドのような高分子材料でも良く、鏡基板6の抵
抗率が高くて絶縁体に近ければ、絶縁層7は省略でき
る。
【0065】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、形状可変鏡
の鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基板に電気
信号を供給する電気的接続手段を使用した形状可変鏡を
提供することができる。さらに、レーザ光の収差補正が
可能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備
えた光情報入出力装置を提供することがきる。
の鏡面の形状に実質的な影響を与えずに圧電基板に電気
信号を供給する電気的接続手段を使用した形状可変鏡を
提供することができる。さらに、レーザ光の収差補正が
可能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備
えた光情報入出力装置を提供することがきる。
【0066】
【図1】光ディスクのチルトによるコマ収差の発生を説
明する図である。(a)CD、(b)DVDにおける図
である。
明する図である。(a)CD、(b)DVDにおける図
である。
【図2】従来の液晶板の図である。
【図3】従来の透明圧電素子の図である。
【図4】従来の複数のアクチュエータを利用した形状可
変鏡の図である。
変鏡の図である。
【図5】従来の形状可変鏡の断面図である。
【図6】本発明の第1の実施例における形状可変鏡の鏡
基板部の斜視図である。
基板部の斜視図である。
【図7】本発明の第1の実施例における形状可変鏡の、
(a)鏡基板部と圧電基板部を一体化しワイヤで接続し
た状態の斜視図、(b)(a)に鏡固定用部材などを取
り付けた全体の線B及び線B’に沿った方向の断面図で
ある。
(a)鏡基板部と圧電基板部を一体化しワイヤで接続し
た状態の斜視図、(b)(a)に鏡固定用部材などを取
り付けた全体の線B及び線B’に沿った方向の断面図で
ある。
【図8】本発明の形状可変鏡のA−A’断面における波
面収差の補正を説明する図である。(a)チルトにより
発生したレーザ光の波面収差図、(b)本発明の形状可
変鏡により発生させた波面収差図、(c)本発明の形状
可変鏡で補正した後の波面収差図、(d)本発明の形状
可変鏡の波面収差補正時における鏡面の形状である。
面収差の補正を説明する図である。(a)チルトにより
発生したレーザ光の波面収差図、(b)本発明の形状可
変鏡により発生させた波面収差図、(c)本発明の形状
可変鏡で補正した後の波面収差図、(d)本発明の形状
可変鏡の波面収差補正時における鏡面の形状である。
【図9】本発明の形状変化鏡を含めた光ディスク情報入
出力装置全体のブロック図である。
出力装置全体のブロック図である。
【図10】チルトによって生じたレーザ光の波面収差の
等高線図である。
等高線図である。
【図11】本発明の第2の実施例における形状可変鏡
の、(a)圧電基板部、(b)鏡基板部、を説明する図
である。
の、(a)圧電基板部、(b)鏡基板部、を説明する図
である。
【図12】本発明の第2の実施例における形状可変鏡
の、(a)鏡基板部と圧電基板部を一体化しワイヤで接
続した状態の斜視図、(b)鏡固定用部材の斜視図、で
ある。
の、(a)鏡基板部と圧電基板部を一体化しワイヤで接
続した状態の斜視図、(b)鏡固定用部材の斜視図、で
ある。
【図13】本発明の第3の実施例における形状可変鏡
の、(a)鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターン
を説明する斜視図、(b)線B及び線B’に沿った方向
の断面図である。
の、(a)鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターン
を説明する斜視図、(b)線B及び線B’に沿った方向
の断面図である。
【図14】本発明の第4の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
【図15】本発明の第5の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
【図16】本発明の第6の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
【図17】本発明の第7の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
【図18】本発明の第8の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
【図19】本発明の第9の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明する
斜視図である。
【図20】本発明の第10の実施例における形状可変鏡
の鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明す
る斜視図である。
の鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明す
る斜視図である。
【図21】本発明の第11の実施例における形状可変鏡
の鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明す
る斜視図である。
の鏡固定用部材及び鏡固定部材用配線パターンを説明す
る斜視図である。
【図22】本発明の第12の実施例における形状可変鏡
の断面図である。
の断面図である。
1 鏡材
2 圧電基板
3 鏡固定部
4a 圧電基板用共通電極
4b 鏡基板用共通電極
5a 圧電基板用個別電極
5b 鏡基板用個別電極
5c 圧電基板用配線パターン
6 鏡基板
7 絶縁層
8 鏡固定用部材
8a 段差部
8b、8c、8f、8g 凹部
8d、8e 穴
8h 段差斜面
9 鏡固定部材用配線パターン
9a 鏡基板側電極接続部
9b 外部側電極接続部
10 形状可変鏡
11 光ディスク
12 対物レンズ及び対物光学系
13 立ち上げ鏡
14 偏光ビームスプリッタ
15 レーザ素子及びレーザ光学系
16 光検出素子及び光検出光学系
21 ワイヤ
101a 対物レンズ(CD用)
101b 対物レンズ(DVD用)
102a 樹脂層(CD用)
102b 樹脂層(DVD用)
103a CDにおけるスポット
103b DVDにおけるスポット
108 記録層
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 2H042 DA05 DA08 DA11 DA12 DA20
DA21 DB14 DD09 DD11 DD13
DE07 DE08
2H087 KA13 LA21 TA01 TA03 TA08
5D118 AA13 BA01 DC07 EA11 FB12
5D119 AA01 AA38 BA01 JA54 JA57
Claims (12)
- 【請求項1】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形
状可変鏡において、 鏡面と反対側の鏡基板上に鏡基板用配線パターンを有す
ることを特徴とする形状可変鏡。 - 【請求項2】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形
状可変鏡において、 該形状可変鏡は、圧電基板を有し、該圧電基板上に圧電
基板用配線パターンを有することを特徴とする形状可変
鏡。 - 【請求項3】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な形
状可変鏡において、 該形状可変鏡の鏡基板部を固定する鏡固定用部材に鏡固
定部材用配線パターンを有することを特徴とする形状可
変鏡。 - 【請求項4】 前記鏡固定部材用配線パターンは、 鏡基板側電極接続部と外部側電極接続部とを有し、 前記鏡固定用部材は、 前記鏡基板側電極接続部と前記外部側電極接続部との間
に段差を有することを特徴とする請求項3記載の形状可
変鏡。 - 【請求項5】 前記段差は、 斜面又は曲面で形成されることを特徴とする請求項4記
載の形状可変鏡。 - 【請求項6】 前記鏡固定部材用配線パターンは、 前記鏡固定用部材の前記鏡基板側電極接続部より中心側
に配線してあることを特徴とする請求項5記載の形状可
変鏡。 - 【請求項7】 前記鏡固定用部材は、 端部の一部分に凹部を有することを特徴とする請求項6
記載の形状可変鏡。 - 【請求項8】 前記鏡固定用部材は、 前記凹部を前記鏡基板側電極接続部の近傍に設けること
を特徴とする請求項7記載の形状可変鏡。 - 【請求項9】 前記鏡固定用部材は、 貫通する穴を有することを特徴とする請求項6記載の形
状可変鏡。 - 【請求項10】 前記鏡固定用部材は、 前記鏡基板部を固定する側と反対側の面に前記鏡固定部
材用配線パターンを有することを特徴とする請求項3記
載の形状可変鏡。 - 【請求項11】 鏡基板上に設けた鏡面の形状が可変な
形状可変鏡において、 該形状可変鏡の前記鏡基板は、 該鏡基板を固定する鏡固定用部材よりも大きく、 前記鏡面と反対側の前記鏡基板上にある鏡基板用配線パ
ターンの少なくとも一部は、 前記鏡固定用部材の外側にあることを特徴とする形状可
変鏡。 - 【請求項12】 請求項1乃至11記載の形状可変鏡を
有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とする光
ディスク情報入出力装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001236813A JP2003043230A (ja) | 2001-08-03 | 2001-08-03 | 形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001236813A JP2003043230A (ja) | 2001-08-03 | 2001-08-03 | 形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003043230A true JP2003043230A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19068013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001236813A Pending JP2003043230A (ja) | 2001-08-03 | 2001-08-03 | 形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003043230A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005024809A2 (en) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical pick-up aberration correcting mirror, aberration correcting method and optical pick-up |
WO2006098403A1 (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光反射素子、光反射装置、波面曲率変調装置及び光走査型表示装置 |
-
2001
- 2001-08-03 JP JP2001236813A patent/JP2003043230A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005024809A2 (en) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical pick-up aberration correcting mirror, aberration correcting method and optical pick-up |
WO2005024809A3 (en) * | 2003-09-04 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical pick-up aberration correcting mirror, aberration correcting method and optical pick-up |
US7369482B2 (en) | 2003-09-04 | 2008-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical pick-up aberration correcting mirror, aberration correcting method and optical pick-up |
WO2006098403A1 (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光反射素子、光反射装置、波面曲率変調装置及び光走査型表示装置 |
JP2006259196A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Brother Ind Ltd | 光反射素子、光反射装置、波面曲率変調装置及び光走査型表示装置 |
JP4645817B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-03-09 | ブラザー工業株式会社 | 光反射素子、光反射装置、波面曲率変調装置及び光走査型表示装置 |
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