JP2003035745A - 電子部品の検査用治具 - Google Patents
電子部品の検査用治具Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査電子部品１２に弾接されるプローブを
より小型化し、またより小さなインダクタンス成分を有
するように改善した電子部品の検査用治具を提供する。 【解決手段】 検査治具部材１６に対して、対向する面
に半田ボール１４が配設された被検査電子部品１２を相
対的に接近分離するようになし、導電性板バネ１０の一
端部側をＹ字状に折り曲げて弾接部１０ａを形成し、検
査治具部材１６の半田ボール１４に臨んだ位置に導電性
板バネ１０の他端部側および中間部をその長さ方向が略
接近分離方向となるように配設し、検査治具部材１６の
被検査電子部品１２と反対側の面に導電性板バネ１０の
他端が当接する端子を設けた基板２０を配設し、相対的
な接近により、半田ボール１４の頂部を除く側面に導電
性板バネ１０の弾接部１０ａのＹ字状の傾斜面が弾接す
るように構成する。
より小型化し、またより小さなインダクタンス成分を有
するように改善した電子部品の検査用治具を提供する。 【解決手段】 検査治具部材１６に対して、対向する面
に半田ボール１４が配設された被検査電子部品１２を相
対的に接近分離するようになし、導電性板バネ１０の一
端部側をＹ字状に折り曲げて弾接部１０ａを形成し、検
査治具部材１６の半田ボール１４に臨んだ位置に導電性
板バネ１０の他端部側および中間部をその長さ方向が略
接近分離方向となるように配設し、検査治具部材１６の
被検査電子部品１２と反対側の面に導電性板バネ１０の
他端が当接する端子を設けた基板２０を配設し、相対的
な接近により、半田ボール１４の頂部を除く側面に導電
性板バネ１０の弾接部１０ａのＹ字状の傾斜面が弾接す
るように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査電子部品に
弾接されるプローブをより小型化し、またより小さなイ
ンダクタンス成分を有するように改善した電子部品の検
査用治具に関するものである。
弾接されるプローブをより小型化し、またより小さなイ
ンダクタンス成分を有するように改善した電子部品の検
査用治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】被検査電子部品に設けられた半田ボール
にスプリングコネクタのプランジャーを弾接させる従来
の電子部品の検査用治具が各種提案されされている。か
かる従来の技術で、半田ボールの頂部にプランジャーを
弾接させると、半田ボールの頂部が傷付く虞がある。そ
こで、プランジャーの先端の形状を種々工夫して頂部が
傷付かないような技術も提案されている。
にスプリングコネクタのプランジャーを弾接させる従来
の電子部品の検査用治具が各種提案されされている。か
かる従来の技術で、半田ボールの頂部にプランジャーを
弾接させると、半田ボールの頂部が傷付く虞がある。そ
こで、プランジャーの先端の形状を種々工夫して頂部が
傷付かないような技術も提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のいずれの従来技
術も、スプリングコネクタを用いるために電子部品の検
査用治具の小型化には限度がある。また、スプリングコ
ネクタは複雑な構造であり、インダクタンス成分も大き
く、高周波信号を扱う電子部品の検査にあってはこのス
プリングコネクタのインダクタンス成分が無視し得な
い。
術も、スプリングコネクタを用いるために電子部品の検
査用治具の小型化には限度がある。また、スプリングコ
ネクタは複雑な構造であり、インダクタンス成分も大き
く、高周波信号を扱う電子部品の検査にあってはこのス
プリングコネクタのインダクタンス成分が無視し得な
い。
【０００４】本発明は、上記従来の技術の事情に鑑みて
なされたもので、小型化が容易であり、またインダクタ
ンス成分の小さなプローブを有する電子部品の検査用治
具を提供することを目的とする。
なされたもので、小型化が容易であり、またインダクタ
ンス成分の小さなプローブを有する電子部品の検査用治
具を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明の電子部品の検査用治具は、検査治具部材
に対して、対向する面に半田ボールが配設された被検査
電子部品を相対的に接近分離するようになし、導電性板
バネの一端部側を斜め方向に折り曲げて弾接部を形成
し、前記検査治具部材の前記半田ボールに臨んだ位置に
前記導電性板バネの他端部側および中間部をその長さ方
向が略前記接近分離方向となるように配設し、前記検査
治具部材の前記被検査電子部品と反対側の面に前記導電
性板バネの他端が当接する端子を設けた基板を配設し、
前記相対的な接近により、前記半田ボールの頂部を除く
側面に前記導電性板バネの前記弾接部の傾斜面が弾接す
るように構成される。
めに、本発明の電子部品の検査用治具は、検査治具部材
に対して、対向する面に半田ボールが配設された被検査
電子部品を相対的に接近分離するようになし、導電性板
バネの一端部側を斜め方向に折り曲げて弾接部を形成
し、前記検査治具部材の前記半田ボールに臨んだ位置に
前記導電性板バネの他端部側および中間部をその長さ方
向が略前記接近分離方向となるように配設し、前記検査
治具部材の前記被検査電子部品と反対側の面に前記導電
性板バネの他端が当接する端子を設けた基板を配設し、
前記相対的な接近により、前記半田ボールの頂部を除く
側面に前記導電性板バネの前記弾接部の傾斜面が弾接す
るように構成される。
【０００６】また、検査治具部材に対して、対向する面
に半田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接
近分離するようになし、導電性板バネの一端部側をＹ字
状に折り曲げて弾接部を形成し、前記検査治具部材の前
記半田ボールに臨んだ位置に前記導電性板バネの他端部
側および中間部をその長さ方向が略前記接近分離方向と
なるように配設し、前記検査治具部材の前記被検査電子
部品と反対側の面に前記導電性板バネの他端が当接する
端子を設けた基板を配設し、前記相対的な接近により、
前記半田ボールの頂部を除く側面に前記導電性板バネの
前記弾接部のＹ字状の傾斜面が弾接するように構成して
も良い。
に半田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接
近分離するようになし、導電性板バネの一端部側をＹ字
状に折り曲げて弾接部を形成し、前記検査治具部材の前
記半田ボールに臨んだ位置に前記導電性板バネの他端部
側および中間部をその長さ方向が略前記接近分離方向と
なるように配設し、前記検査治具部材の前記被検査電子
部品と反対側の面に前記導電性板バネの他端が当接する
端子を設けた基板を配設し、前記相対的な接近により、
前記半田ボールの頂部を除く側面に前記導電性板バネの
前記弾接部のＹ字状の傾斜面が弾接するように構成して
も良い。
【０００７】そして、検査治具部材に対して、対向する
面に端子が配設された被検査電子部品を相対的に接近分
離するようになし、導電性板バネの一端部側をＹ字状に
折り曲げて弾接部を形成し、前記Ｙ字状の弾接部に当接
する半球状の一端を有する導電ピンと前記導電性板バネ
とを、前記検査治具部材に略前記接近分離方向となるよ
うに配設し、しかも前記導電性板バネの他端部を前記検
査治具部材から前記被検査用電子部品側に突出させ、ま
た前記検査治具部材の前記被検査用電子部品と反対側の
面に前記導電ピンの他端が当接する端子を設けた基板を
配設し、前記相対的な接近により、前記被検査電子部品
の前記端子に前記導電性板バネの他端が弾接するように
構成することもできる。
面に端子が配設された被検査電子部品を相対的に接近分
離するようになし、導電性板バネの一端部側をＹ字状に
折り曲げて弾接部を形成し、前記Ｙ字状の弾接部に当接
する半球状の一端を有する導電ピンと前記導電性板バネ
とを、前記検査治具部材に略前記接近分離方向となるよ
うに配設し、しかも前記導電性板バネの他端部を前記検
査治具部材から前記被検査用電子部品側に突出させ、ま
た前記検査治具部材の前記被検査用電子部品と反対側の
面に前記導電ピンの他端が当接する端子を設けた基板を
配設し、前記相対的な接近により、前記被検査電子部品
の前記端子に前記導電性板バネの他端が弾接するように
構成することもできる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施例を図１
ないし図５を参照して説明する。図１は、本発明の電子
部品の検査用治具の第１実地例の構造図であり、（ａ）
は半田ボールが導電性板バネの弾接部に当接した状態を
示し、（ｂ）は被検査電子部品がより接近されて半田ボ
ールの側面が弾接部に弾接する状態を示す。図２は、導
電性板バネを示す図であり、（ａ）は２重に折り重ねる
前の正面図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図であり、
（ｃ）は２重に折り重ねて完成された斜視図である。図
３は、導電性板バネが検査治具部材に配設される構造を
示す分解斜視図である。図４は、導電性板バネが検査治
具部材に配設された平面図である。図５は、本発明にお
けるプローブとしての導電性板バネと従来のスプリング
コネクタの各周波数に対するインダクタンス成分を測定
した表である。図６は、半田ボールのピッチに対して導
電性板バネを配列する一例を示す平面図である。
ないし図５を参照して説明する。図１は、本発明の電子
部品の検査用治具の第１実地例の構造図であり、（ａ）
は半田ボールが導電性板バネの弾接部に当接した状態を
示し、（ｂ）は被検査電子部品がより接近されて半田ボ
ールの側面が弾接部に弾接する状態を示す。図２は、導
電性板バネを示す図であり、（ａ）は２重に折り重ねる
前の正面図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図であり、
（ｃ）は２重に折り重ねて完成された斜視図である。図
３は、導電性板バネが検査治具部材に配設される構造を
示す分解斜視図である。図４は、導電性板バネが検査治
具部材に配設された平面図である。図５は、本発明にお
けるプローブとしての導電性板バネと従来のスプリング
コネクタの各周波数に対するインダクタンス成分を測定
した表である。図６は、半田ボールのピッチに対して導
電性板バネを配列する一例を示す平面図である。
【０００９】まず、プローブとして作用する導電性板バ
ネ１０は、隣青銅やベリリウム銅などの導電性と弾性に
優れた板材を、図２（ａ）（ｂ）のごとく、プレス加工
して形成し、さらにこれを図２（ａ）の破線で山折りし
て２重に折り重ねて、図２（ｃ）のごとき形状とされ
る。すなわち、導電性板バネ１０の一端部側は、互いに
先端が離れるように斜め方向に折り曲げてＹ字状の弾接
部１０ａが形成される。このＹ字状の先端の開き寸法Ｗ
１は、被検査電子部品１２に設けられた半田ボール１４
を受け入れ得るように設定される。また、導電性板バネ
１０の他端部近くまたは中間部に幅広部１０ｂが形成さ
れる。この幅広部１０ｂの幅Ｗ２は、Ｙ字状の弾接部１
０ａの幅Ｗ３より大きければ良い。なお、一例として導
電性板バネは、板厚ｔが０．０５〜０．１ｍｍの板金で
形成され、長さ寸法Ｈは１．５〜２．０ｍｍである。そ
して、Ｙ字状の弾接部１０ａの開き寸法Ｗ１は０．５ｍ
ｍ、幅広部Ｗ２は０．５ｍｍ、弾接部１０ａの幅Ｗ３は
０．３ｍｍであり、極めて小型に形成できる。
ネ１０は、隣青銅やベリリウム銅などの導電性と弾性に
優れた板材を、図２（ａ）（ｂ）のごとく、プレス加工
して形成し、さらにこれを図２（ａ）の破線で山折りし
て２重に折り重ねて、図２（ｃ）のごとき形状とされ
る。すなわち、導電性板バネ１０の一端部側は、互いに
先端が離れるように斜め方向に折り曲げてＹ字状の弾接
部１０ａが形成される。このＹ字状の先端の開き寸法Ｗ
１は、被検査電子部品１２に設けられた半田ボール１４
を受け入れ得るように設定される。また、導電性板バネ
１０の他端部近くまたは中間部に幅広部１０ｂが形成さ
れる。この幅広部１０ｂの幅Ｗ２は、Ｙ字状の弾接部１
０ａの幅Ｗ３より大きければ良い。なお、一例として導
電性板バネは、板厚ｔが０．０５〜０．１ｍｍの板金で
形成され、長さ寸法Ｈは１．５〜２．０ｍｍである。そ
して、Ｙ字状の弾接部１０ａの開き寸法Ｗ１は０．５ｍ
ｍ、幅広部Ｗ２は０．５ｍｍ、弾接部１０ａの幅Ｗ３は
０．３ｍｍであり、極めて小型に形成できる。
【００１０】そして、検査治具部材１６は、図３に示す
ごとく、絶縁樹脂からなり上治具板１６ａと下治具板１
６ｂの２層に分割される。しかも、上治具板１６ａには
弾接部１０ａのＹ字状がより広がる得る方向に長い形状
の第１の角孔１８ａが穿設される。この第１の角孔１８
ａの幅は、Ｗ３以上であるが幅広部１０ｂの幅Ｗ２より
も狭い。また、下治具板１６ｂには、幅広部１０ｂを挿
入し得る第２の角孔１８ｂが穿設される。この第２の角
孔１８ｂは、第１の角孔１８ａとその長い形状の向き
が、図４に示すごとく、９０度ずれている。そこで、下
治具板１６ｂの第２の角孔１８ｂに、導電性板バネ１０
の幅広部１０ｂを挿入した状態で、下治具板１６ｂに重
ねて上治具板１６ａを積層する。上治具板１６ａの第１
の角孔１８ａに、導電性板バネ１０の弾接部１０ａが挿
入されることは勿論である。さらに、下治具板１６ｂの
下面に、導電性板バネ１０の他端が当接し得る端子（図
示せず）が設けられた基板２０が配設される。この基板
２０により端子が図示しない検査測定装置（テスター）
に適宜に電気的接続される。なお、被検査電子部品１２
に設けられた半田ボール１４に臨んで、検査治具部材１
６に導電性板バネ１０が設けられることは勿論である。
ごとく、絶縁樹脂からなり上治具板１６ａと下治具板１
６ｂの２層に分割される。しかも、上治具板１６ａには
弾接部１０ａのＹ字状がより広がる得る方向に長い形状
の第１の角孔１８ａが穿設される。この第１の角孔１８
ａの幅は、Ｗ３以上であるが幅広部１０ｂの幅Ｗ２より
も狭い。また、下治具板１６ｂには、幅広部１０ｂを挿
入し得る第２の角孔１８ｂが穿設される。この第２の角
孔１８ｂは、第１の角孔１８ａとその長い形状の向き
が、図４に示すごとく、９０度ずれている。そこで、下
治具板１６ｂの第２の角孔１８ｂに、導電性板バネ１０
の幅広部１０ｂを挿入した状態で、下治具板１６ｂに重
ねて上治具板１６ａを積層する。上治具板１６ａの第１
の角孔１８ａに、導電性板バネ１０の弾接部１０ａが挿
入されることは勿論である。さらに、下治具板１６ｂの
下面に、導電性板バネ１０の他端が当接し得る端子（図
示せず）が設けられた基板２０が配設される。この基板
２０により端子が図示しない検査測定装置（テスター）
に適宜に電気的接続される。なお、被検査電子部品１２
に設けられた半田ボール１４に臨んで、検査治具部材１
６に導電性板バネ１０が設けられることは勿論である。
【００１１】かかる構成において、導電性板バネ１０
は、幅広部１０ｂが上治具板１６ａの第１の角孔１８ａ
を挿通できず、検査治具部材１６から抜け出るようなこ
とはない。ここで、検査治具部材１６に対して導電性板
バネ１０は、被検査電子部品１２の接近分離方向にいく
らかずれ得るように各部の寸法が設定される。そして、
被検査電子部品１２が相対的に接近されると、まず図１
（ａ）のごとく、半田ボール１４が導電性板バネ１０の
弾接部１０ａのＹ字状の間に挿入され、半田ボール１４
の側面が導電性板バネ１０に当接する。さらに、被検査
電子部品１２が相対的に接近されると、図１（ｂ）のご
とく、半田ボール１４が弾接部１０ａのＹ字状をくさび
効果により弾性変形させて押し拡げてより深く挿入され
て接近方向の寸法変動が吸収される。かかる状態では、
弾接部１０ａの弾力により、導電性板バネ１０と半田ボ
ール１４が当接して電気的導通が確保される。また、被
検査電子部品１２のさらなる相対的な接近により、導電
性板バネ１０の他端を基板２０に押し付ける力が作用
し、基板２０の端子に導電性板バネ１０の他端も確実に
電気的接続される。もって、被検査電子部品１２の半田
ボール１４が、導電性板バネ１０を介して基板２０の端
子に確実に電気的接続されることとなる。しかも、半田
ボール１４が弾接部１０ａのＹ字状を弾接して押し拡げ
ながら接近方向に相対移動するので、半田ボール１４と
これが弾接する弾接部１０ａの部分はセルフクリーニン
グ作用を奏し、確実な電気的導通を可能とする。また、
図５の表に示すごとく１００〜１０００ＭＨｚの範囲
で、本発明のプローブとしての導電性板バ１０が６５０
〜６９０ＰＨであるのに対して、現在実現し得る最も短
い寸法（３．２ｍｍ）のスプリンコネクタは８７０〜９
９０ＰＨであり、インダクタンス成分の減少が図られて
いる。
は、幅広部１０ｂが上治具板１６ａの第１の角孔１８ａ
を挿通できず、検査治具部材１６から抜け出るようなこ
とはない。ここで、検査治具部材１６に対して導電性板
バネ１０は、被検査電子部品１２の接近分離方向にいく
らかずれ得るように各部の寸法が設定される。そして、
被検査電子部品１２が相対的に接近されると、まず図１
（ａ）のごとく、半田ボール１４が導電性板バネ１０の
弾接部１０ａのＹ字状の間に挿入され、半田ボール１４
の側面が導電性板バネ１０に当接する。さらに、被検査
電子部品１２が相対的に接近されると、図１（ｂ）のご
とく、半田ボール１４が弾接部１０ａのＹ字状をくさび
効果により弾性変形させて押し拡げてより深く挿入され
て接近方向の寸法変動が吸収される。かかる状態では、
弾接部１０ａの弾力により、導電性板バネ１０と半田ボ
ール１４が当接して電気的導通が確保される。また、被
検査電子部品１２のさらなる相対的な接近により、導電
性板バネ１０の他端を基板２０に押し付ける力が作用
し、基板２０の端子に導電性板バネ１０の他端も確実に
電気的接続される。もって、被検査電子部品１２の半田
ボール１４が、導電性板バネ１０を介して基板２０の端
子に確実に電気的接続されることとなる。しかも、半田
ボール１４が弾接部１０ａのＹ字状を弾接して押し拡げ
ながら接近方向に相対移動するので、半田ボール１４と
これが弾接する弾接部１０ａの部分はセルフクリーニン
グ作用を奏し、確実な電気的導通を可能とする。また、
図５の表に示すごとく１００〜１０００ＭＨｚの範囲
で、本発明のプローブとしての導電性板バ１０が６５０
〜６９０ＰＨであるのに対して、現在実現し得る最も短
い寸法（３．２ｍｍ）のスプリンコネクタは８７０〜９
９０ＰＨであり、インダクタンス成分の減少が図られて
いる。
【００１２】したがって、本発明でプローブとして用い
られてる導電性板バネ１０は、従来のスプリングコネク
タに比較して、その構造が簡単であるので、より小型化
が容易であるとともにインダクタンス成分も低減され
る。そこで、従来よりも密にプローブを配設した検査治
具部材の製造が可能であり、またより高周波信号でも検
査できる電子部品の検査用治具が可能である。
られてる導電性板バネ１０は、従来のスプリングコネク
タに比較して、その構造が簡単であるので、より小型化
が容易であるとともにインダクタンス成分も低減され
る。そこで、従来よりも密にプローブを配設した検査治
具部材の製造が可能であり、またより高周波信号でも検
査できる電子部品の検査用治具が可能である。
【００１３】ここで、プローブとして用いられる導電性
板バネ１０をより密に検査治具部材１６に配設する構造
として、図６に示すごとく、半田ボール１４，１４…が
縦横に配列されるピッチＰの方向に対して、弾接部１０
ａのＹ字状の開く方向を略４５度ずらして配列すれば良
い。
板バネ１０をより密に検査治具部材１６に配設する構造
として、図６に示すごとく、半田ボール１４，１４…が
縦横に配列されるピッチＰの方向に対して、弾接部１０
ａのＹ字状の開く方向を略４５度ずらして配列すれば良
い。
【００１４】なお、上記第１実施例において、導電性板
バネ１０は、幅広部１０ｂに相当する部分を折り曲げて
重ね合わせられているが、これに限られず、導電性板バ
ネ１０の他端、すなわち基板２０の端子に当接する部分
を折り曲げて重ね合わせるようにしても良い。
バネ１０は、幅広部１０ｂに相当する部分を折り曲げて
重ね合わせられているが、これに限られず、導電性板バ
ネ１０の他端、すなわち基板２０の端子に当接する部分
を折り曲げて重ね合わせるようにしても良い。
【００１５】次に、本発明の第２実施例を図７ないし図
９を参照して説明する。図７は、本発明の電子部品の検
査用治具の第２実施例の構造図であり、（ａ）は半田ボ
ールが導電性板バネの弾接部に当接した状態を示し、
（ｂ）は被検査電子部品がより接近されて半田ボールの
側面が弾接部に弾接する状態を示す。図８は、導電性板
バネが検査治具部材に配設される構造を示す分解斜視図
である。図９は、導電性板バネが検査治具部材に配設さ
れた平面図である。図７ないし図９において、図１ない
し図４と同じまたは均等な部材には同じ符号を付けて重
複する説明を省略する。
９を参照して説明する。図７は、本発明の電子部品の検
査用治具の第２実施例の構造図であり、（ａ）は半田ボ
ールが導電性板バネの弾接部に当接した状態を示し、
（ｂ）は被検査電子部品がより接近されて半田ボールの
側面が弾接部に弾接する状態を示す。図８は、導電性板
バネが検査治具部材に配設される構造を示す分解斜視図
である。図９は、導電性板バネが検査治具部材に配設さ
れた平面図である。図７ないし図９において、図１ない
し図４と同じまたは均等な部材には同じ符号を付けて重
複する説明を省略する。
【００１６】第２実施例の導電性板バネ３０は、１枚の
板材からなり、一端部側が斜め方向に折り曲げられて弾
接部３０ａが形成される。また、導電性板バネ３０の他
端部側に幅広部３０ｂが形成される。そして、第１実施
例と同様にして下治具板１６ｂの第２の角孔１８ｂに幅
広部３０ｂが挿入された状態で上治具板１６ａが積層さ
れて、導電性板バネ３０が抜け出ない構造とされる。
板材からなり、一端部側が斜め方向に折り曲げられて弾
接部３０ａが形成される。また、導電性板バネ３０の他
端部側に幅広部３０ｂが形成される。そして、第１実施
例と同様にして下治具板１６ｂの第２の角孔１８ｂに幅
広部３０ｂが挿入された状態で上治具板１６ａが積層さ
れて、導電性板バネ３０が抜け出ない構造とされる。
【００１７】この第２実施例の導電性板バネ３０にあっ
ては半田ボール１４の片側の側面に弾接することとな
る。そこで、半田ボール１４に側方の力が作用する。こ
れらの側方への力が作用して被検査電子部品１２がずれ
ないように相互に打ち消すには、図７に示すごとく、半
田ボール１４，１４…に弾接する導電性板バネ３０，３
０…の略半数で、弾接部３０ａの斜めの折り曲げ方向を
同じ側とし、残りの略半数で、弾接部３０ａの斜めの折
り曲げ方向を反対側となるようにすれば良い。
ては半田ボール１４の片側の側面に弾接することとな
る。そこで、半田ボール１４に側方の力が作用する。こ
れらの側方への力が作用して被検査電子部品１２がずれ
ないように相互に打ち消すには、図７に示すごとく、半
田ボール１４，１４…に弾接する導電性板バネ３０，３
０…の略半数で、弾接部３０ａの斜めの折り曲げ方向を
同じ側とし、残りの略半数で、弾接部３０ａの斜めの折
り曲げ方向を反対側となるようにすれば良い。
【００１８】また、第２実施例の導電性板バネ３０は、
第１実施例の導電性板バネ１０の片側の形状であり、そ
れだけ構造が簡単であるとともに小型化でき、より密に
検査治具部材１６に配列することが可能である。
第１実施例の導電性板バネ１０の片側の形状であり、そ
れだけ構造が簡単であるとともに小型化でき、より密に
検査治具部材１６に配列することが可能である。
【００１９】さらに、本発明の第３実施例を図１０およ
び図１１を参照して説明する。図１０は、本発明の電子
部品の検査用治具の第３実施例の構造である。図１１
は、導電性板バネおよび導電ピンが検査治具部材に配設
される構造を示す分解斜視図である。図１０および図１
１において、図１ないし図４と同じまたは均等な部材に
は同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
び図１１を参照して説明する。図１０は、本発明の電子
部品の検査用治具の第３実施例の構造である。図１１
は、導電性板バネおよび導電ピンが検査治具部材に配設
される構造を示す分解斜視図である。図１０および図１
１において、図１ないし図４と同じまたは均等な部材に
は同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２０】第３実施例では、検査治具部材１６に、導
電性板バネ４０と導電ピン４２が配設される。導電性板
バネ４０は、適宜に折り重ねられた２枚の板状の一端部
側がＹ字状に折り曲げられて弾接部４０ａが形成され
る。なお、導電性板バネ４０に幅広部は形成されない。
そして、このＹ字状に折り曲げられた弾接部４０ａに、
導電ピン４２の一端側の半球状の当接部４２ａが当接さ
れる。そして、検査治具部材４４が２分割された一方の
下治具板４４ｂに穿設された第２の孔４６ｂに、導電ピ
ン４２の他端側および中間部が挿入され、導電ピン４２
の他端が下治具板４４ｂより突出できるように形成され
る。この下治具板４４ｂの下面には、導電ピン４２の他
端が当接する端子（図示せず）が設けられた基板２０が
配設される。また、検査治具部材４４が２分割された他
方の上治具板４４ａに穿設された第１の孔４６ａに、導
電性板バネ４０の弾接部４０ａおよび中間部が挿入さ
れ、導電性板バネの他端が上治具板４４ａより突出する
ように形成される。なお、第１の孔４６ａは、上側に導
電性板バネ４０の他端部を挿通し得るが中間部および弾
接部４０ａが挿通できない狭小型が形成されて、導電性
板バネ４０が上方に抜け出ないように形成される。そし
て、図１０に示すごとく、導電性板バネ４０の検査治具
部材４４から突出した他端が、被検査電子部品４８の端
子５０に当接する。
電性板バネ４０と導電ピン４２が配設される。導電性板
バネ４０は、適宜に折り重ねられた２枚の板状の一端部
側がＹ字状に折り曲げられて弾接部４０ａが形成され
る。なお、導電性板バネ４０に幅広部は形成されない。
そして、このＹ字状に折り曲げられた弾接部４０ａに、
導電ピン４２の一端側の半球状の当接部４２ａが当接さ
れる。そして、検査治具部材４４が２分割された一方の
下治具板４４ｂに穿設された第２の孔４６ｂに、導電ピ
ン４２の他端側および中間部が挿入され、導電ピン４２
の他端が下治具板４４ｂより突出できるように形成され
る。この下治具板４４ｂの下面には、導電ピン４２の他
端が当接する端子（図示せず）が設けられた基板２０が
配設される。また、検査治具部材４４が２分割された他
方の上治具板４４ａに穿設された第１の孔４６ａに、導
電性板バネ４０の弾接部４０ａおよび中間部が挿入さ
れ、導電性板バネの他端が上治具板４４ａより突出する
ように形成される。なお、第１の孔４６ａは、上側に導
電性板バネ４０の他端部を挿通し得るが中間部および弾
接部４０ａが挿通できない狭小型が形成されて、導電性
板バネ４０が上方に抜け出ないように形成される。そし
て、図１０に示すごとく、導電性板バネ４０の検査治具
部材４４から突出した他端が、被検査電子部品４８の端
子５０に当接する。
【００２１】かかる構成の第３実施例にあっては、被検
査電子部品４８の相対的な接近により、導電性板バネ４
０の弾接部４０ａのＹ字状を導電ピン４２の当接部４２
ａが押し拡げて弾接し、接近方向の寸法変動を吸収する
とともに導電性板バネ４０と導電ピン４２が確実に電気
的導通される。しかも、被検査電子部品４８の相対的な
接近方向への移動により、導電性板バネ４０の他端が被
検査電子部品４８の端子に弾接して電気的導通が確保さ
れ、また導電ピン４２の他端が基板２０の端子に弾接し
て電気的導通が確保される。もって、導電性板バネ４０
と導電ピン４２を介して、被検査電子部品４８の端子５
０と基板２０の端子が電気的接続される。この第３実施
例では、平面状の端子５０に当接して電気的接続するプ
ローブとして好適である。
査電子部品４８の相対的な接近により、導電性板バネ４
０の弾接部４０ａのＹ字状を導電ピン４２の当接部４２
ａが押し拡げて弾接し、接近方向の寸法変動を吸収する
とともに導電性板バネ４０と導電ピン４２が確実に電気
的導通される。しかも、被検査電子部品４８の相対的な
接近方向への移動により、導電性板バネ４０の他端が被
検査電子部品４８の端子に弾接して電気的導通が確保さ
れ、また導電ピン４２の他端が基板２０の端子に弾接し
て電気的導通が確保される。もって、導電性板バネ４０
と導電ピン４２を介して、被検査電子部品４８の端子５
０と基板２０の端子が電気的接続される。この第３実施
例では、平面状の端子５０に当接して電気的接続するプ
ローブとして好適である。
【００２２】なお、第１と第３実施例の導電性板バネ１
０，４０は１枚の板材を適宜に折り重ねて形成すると説
明されるが、これに限られず、２枚の板材をＹ字状とし
ない密接した部分で抵抗溶接などで互いに要着して一体
化させても良い。
０，４０は１枚の板材を適宜に折り重ねて形成すると説
明されるが、これに限られず、２枚の板材をＹ字状とし
ない密接した部分で抵抗溶接などで互いに要着して一体
化させても良い。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は構成されて
いるので、以下のごとき格別な効果を奏する。
いるので、以下のごとき格別な効果を奏する。
【００２４】請求項１記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、プローブとして作用し半田ボールに弾接する導
電性板バネの形状が極めて簡単であり、小型化が容易で
あるとともに密に配列することが可能である。しかも、
構造が簡単で全長を短く形成できるので、それだけイン
ダクタンス成分も小さく、高周波信号を用いる被検査電
子部品の検査に好適である。
っては、プローブとして作用し半田ボールに弾接する導
電性板バネの形状が極めて簡単であり、小型化が容易で
あるとともに密に配列することが可能である。しかも、
構造が簡単で全長を短く形成できるので、それだけイン
ダクタンス成分も小さく、高周波信号を用いる被検査電
子部品の検査に好適である。
【００２５】請求項２記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、導電性板バネのＹ字状の弾接部に、半田ボール
がＹ字状を押し拡げるように弾接するので、半田ボール
を側方へ移動させる力は相殺され、半田ボールが被検査
電子部品から外れるようなことがない。しかも、半田ボ
ールの２側面で導電性板バネに弾接するので弾接点が多
い分だけ電気的導通も確実である。しかも、請求項１と
同様にその構造が簡単で小型化が容易であるとともに、
インダクタンス成分も小さくて高周波信号を用いる被検
査電子部品の検査に好適である。
っては、導電性板バネのＹ字状の弾接部に、半田ボール
がＹ字状を押し拡げるように弾接するので、半田ボール
を側方へ移動させる力は相殺され、半田ボールが被検査
電子部品から外れるようなことがない。しかも、半田ボ
ールの２側面で導電性板バネに弾接するので弾接点が多
い分だけ電気的導通も確実である。しかも、請求項１と
同様にその構造が簡単で小型化が容易であるとともに、
インダクタンス成分も小さくて高周波信号を用いる被検
査電子部品の検査に好適である。
【００２６】請求項３記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、１枚の導電性板バネを折り重ねて２重としてそ
の一端部側を斜めに折り曲げてＹ字状の弾接部を形成す
るので、プレス加工により製造でき量産に好適である。
っては、１枚の導電性板バネを折り重ねて２重としてそ
の一端部側を斜めに折り曲げてＹ字状の弾接部を形成す
るので、プレス加工により製造でき量産に好適である。
【００２７】請求項４記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、導電性板バネの他端部側または中間部に設けた
幅広部によって、検査治具部材から導電性板バネが抜け
出るようなことがない。導電性板バネを検査治具部材に
配設する構造が極めて簡単であり、また組み付けも容易
である。
っては、導電性板バネの他端部側または中間部に設けた
幅広部によって、検査治具部材から導電性板バネが抜け
出るようなことがない。導電性板バネを検査治具部材に
配設する構造が極めて簡単であり、また組み付けも容易
である。
【００２８】請求項５記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、導電性板バネが半田ボールの片側の側面に弾接
して半田ボール自体には側方へ力が作用するが、導電性
板バネの略半数で斜めの折り曲げ方向を同じ側とし、残
りの略半数で、斜めの折り曲げ方向を反対側としたの
で、被検査電子部品としては側方への力が相殺され、検
査治具部材に対して被検査電子部品が相対的に側方へず
れるような弊害が防止される。
っては、導電性板バネが半田ボールの片側の側面に弾接
して半田ボール自体には側方へ力が作用するが、導電性
板バネの略半数で斜めの折り曲げ方向を同じ側とし、残
りの略半数で、斜めの折り曲げ方向を反対側としたの
で、被検査電子部品としては側方への力が相殺され、検
査治具部材に対して被検査電子部品が相対的に側方へず
れるような弊害が防止される。
【００２９】請求項６記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、半田ボールが配列されるピッチ方向に対して、
弾接部のＹ字状の折り曲げ方向が略４５度となるように
導電性板バネを検査治具部材に配列するので、弾接部の
開き寸法が大きくても、この開き寸法よりも小さなピッ
チで配列することが可能である。
っては、半田ボールが配列されるピッチ方向に対して、
弾接部のＹ字状の折り曲げ方向が略４５度となるように
導電性板バネを検査治具部材に配列するので、弾接部の
開き寸法が大きくても、この開き寸法よりも小さなピッ
チで配列することが可能である。
【００３０】請求項７記載の電子部品の検査用治具にあ
っては、導電性板バネとその弾接部に弾接する導電ピン
とにより、被検査電子部品の平面状の端子を基板の端子
に電気的接続し得る。そして、その構造が簡単であり小
型化が容易である。
っては、導電性板バネとその弾接部に弾接する導電ピン
とにより、被検査電子部品の平面状の端子を基板の端子
に電気的接続し得る。そして、その構造が簡単であり小
型化が容易である。
【図１】本発明の電子部品の検査用治具の第１実地例の
構造図であり、（ａ）は半田ボールが導電性板バネの弾
接部に当接した状態を示し、（ｂ）は被検査電子部品が
より接近されて半田ボールの側面が弾接部に弾接する状
態を示す。
構造図であり、（ａ）は半田ボールが導電性板バネの弾
接部に当接した状態を示し、（ｂ）は被検査電子部品が
より接近されて半田ボールの側面が弾接部に弾接する状
態を示す。
【図２】導電性板バネを示す図であり、（ａ）は２重に
折り重ねる前の正面図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図
であり、（ｃ）は２重に折り重ねて完成された斜視図で
ある。
折り重ねる前の正面図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図
であり、（ｃ）は２重に折り重ねて完成された斜視図で
ある。
【図３】導電性板バネが検査治具部材に配設される構造
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図４】導電性板バネが検査治具部材に配設された平面
図である。
図である。
【図５】本発明におけるプローブとしての導電性板バネ
と従来のスプリングコネクタの各周波数に対するインダ
クタンス成分を測定した表である。
と従来のスプリングコネクタの各周波数に対するインダ
クタンス成分を測定した表である。
【図６】半田ボールのピッチに対して導電性板バネを配
列する一例を示す平面図である。
列する一例を示す平面図である。
【図７】本発明の電子部品の検査用治具の第２実施例の
構造図であり、（ａ）は半田ボールが導電性板バネの弾
接部に当接した状態を示し、（ｂ）は被検査電子部品が
より接近されて半田ボールの側面が弾接部に弾接する状
態を示す。
構造図であり、（ａ）は半田ボールが導電性板バネの弾
接部に当接した状態を示し、（ｂ）は被検査電子部品が
より接近されて半田ボールの側面が弾接部に弾接する状
態を示す。
【図８】導電性板バネが検査治具部材に配設される構造
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図９】導電性板バネが検査治具部材に配設された平面
図である。
図である。
【図１０】本発明の電子部品の検査用治具の第３実施例
の構造である。
の構造である。
【図１１】導電性板バネおよび導電ピンが検査治具部材
に配設される構造を示す分解斜視図である。
に配設される構造を示す分解斜視図である。
１０，３０，４０ 導電性板バネ
１０ａ，３０ａ，４０ａ 弾接部
１０ｂ，３０ｂ 幅広部
１２，４８ 被検査電子部品
１４ 半田ボール
１６，４４ 検査治具部材
１６ａ，４４ａ 上治具板
１６ｂ，４４ｂ 下治具板
１８ａ 第１の角孔
１８ｂ 第２の角孔
２０ 基板
４２ 導電ピン
４２ａ 当接部
４６ａ 第１の孔
４６ｂ 第２の孔
Claims (7)
- 【請求項１】 検査治具部材に対して、対向する面に半
田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接近分
離するようになし、導電性板バネの一端部側を斜め方向
に折り曲げて弾接部を形成し、前記検査治具部材の前記
半田ボールに臨んだ位置に前記導電性板バネの他端部側
および中間部をその長さ方向が略前記接近分離方向とな
るように配設し、前記検査治具部材の前記被検査電子部
品と反対側の面に前記導電性板バネの他端が当接する端
子を設けた基板を配設し、前記相対的な接近により、前
記半田ボールの頂部を除く側面に前記導電性板バネの前
記弾接部の傾斜面が弾接するように構成したことを特徴
とする電子部品の検査用治具。 - 【請求項２】 検査治具部材に対して、対向する面に半
田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接近分
離するようになし、導電性板バネの一端部側をＹ字状に
折り曲げて弾接部を形成し、前記検査治具部材の前記半
田ボールに臨んだ位置に前記導電性板バネの他端部側お
よび中間部をその長さ方向が略前記接近分離方向となる
ように配設し、前記検査治具部材の前記被検査電子部品
と反対側の面に前記導電性板バネの他端が当接する端子
を設けた基板を配設し、前記相対的な接近により、前記
半田ボールの頂部を除く側面に前記導電性板バネの前記
弾接部のＹ字状の傾斜面が弾接するように構成したこと
を特徴とする電子部品の検査用治具。 - 【請求項３】 請求項２記載の電子部品の検査用治具に
おいて、前記Ｙ字状の弾接部を、１枚の導電性板バネを
折り重ねて２重にするとともに、その一端部側を互いに
先端が離れるように斜め方向に折り曲げて構成したこと
を特徴とする電子部品の検査用治具。 - 【請求項４】 請求項１ないし３記載のいずれかの電子
部品の検査用治具において、前記導電性板バネの中間部
もしくは他端部に幅広部を形成し、前記検査治具部材を
上治具板と下治具板の２層に分割し、前記被検査電子部
品の前記上治具板に前記幅広部が通過し得ない孔を穿設
し、前記下治具板に前記幅広部を挿入できる孔を穿設
し、前記上治具板により前記導電性板バネが前記被検査
電子部品側に抜け出ないように構成したことを特徴とす
る電子部品の検査用治具。 - 【請求項５】 請求項１記載の電子部品の検査用治具に
おいて、前記半田ボールに弾接する前記導電性板バネの
略半数で、前記弾接部の斜めの折り曲げ方向が同じ側で
あり、残りの略半数で、前記弾接部の斜めの折り曲げ方
向が反対側となるように構成したことを特徴とする電子
部品の検査用治具。 - 【請求項６】 請求項２記載の電子部品の検査用治具に
おいて、前記半田ボールが配列されるピッチ方向に対し
て、前記導電性板バネの前記弾接部のＹ字状の折り曲げ
方向が略４５度となるように前記導電性板バネを前記検
査治具部材に配列して構成したことを特徴とする電子部
品の検査用治具。 - 【請求項７】 検査治具部材に対して、対向する面に端
子が配設された被検査電子部品を相対的に接近分離する
ようになし、導電性板バネの一端部側をＹ字状に折り曲
げて弾接部を形成し、前記Ｙ字状の弾接部に当接する半
球状の一端を有する導電ピンと前記導電性板バネとを、
前記検査治具部材に略前記接近分離方向となるように配
設し、しかも前記導電性板バネの他端部を前記検査治具
部材から前記被検査用電子部品側に突出させ、また前記
検査治具部材の前記被検査用電子部品と反対側の面に前
記導電ピンの他端が当接する端子を設けた基板を配設
し、前記相対的な接近により、前記被検査電子部品の前
記端子に前記導電性板バネの他端が弾接するように構成
したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001223954A JP2003035745A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 電子部品の検査用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001223954A JP2003035745A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 電子部品の検査用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003035745A true JP2003035745A (ja) | 2003-02-07 |
Family
ID=19057203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001223954A Pending JP2003035745A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 電子部品の検査用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003035745A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100600482B1 (ko) | 2004-06-22 | 2006-07-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 측정용 프로브 |
| WO2006114828A1 (ja) * | 2005-04-06 | 2006-11-02 | Advantest Corporation | ソケット、及び、該ソケットを用いた電子部品試験装置 |
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-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001223954A patent/JP2003035745A/ja active Pending
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