JP2003019415A - 混合ガスの分離方法 - Google Patents

混合ガスの分離方法

Info

Publication number
JP2003019415A
JP2003019415A JP2001206323A JP2001206323A JP2003019415A JP 2003019415 A JP2003019415 A JP 2003019415A JP 2001206323 A JP2001206323 A JP 2001206323A JP 2001206323 A JP2001206323 A JP 2001206323A JP 2003019415 A JP2003019415 A JP 2003019415A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
adsorption tower
mixed gas
adsorption
gaseous mixture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001206323A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukito Ota
幸人 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kuraray Chemical Co Ltd
Original Assignee
Kuraray Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kuraray Chemical Co Ltd filed Critical Kuraray Chemical Co Ltd
Priority to JP2001206323A priority Critical patent/JP2003019415A/ja
Publication of JP2003019415A publication Critical patent/JP2003019415A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 原料ガスの組成や流量が変動しても容易に追
従することができ、一定品質の製品ガスを連続的に得る
ことのできる混合ガスの分離方法を提供すること。 【解決手段】 分子ふるい炭素を充填した2基以上の吸
着塔の一方に混合ガスを加圧下で供給し、それぞれの吸
着塔で高圧吸着と低圧再生を交互に繰り返して混合ガス
を構成成分ガスに分離する混合ガスの分離方法におい
て、吸着塔の出口における少なくとも1種類のガスの濃
度をガス濃度検出器により検出し、該ガス濃度検出器を
シーケンサーに連結し、シーケンサーにより吸着塔の切
り替え周期を自動的に変化させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は混合ガスの分離方法
に関する。さらに詳しくは、吸着剤を充填した2基以上
の吸着塔の一方に混合ガスを加圧下で供給し、それぞれ
の吸着塔で高圧吸着と低圧再生を交互に繰り返して混合
ガスを構成成分ガスに分離する混合ガスの分離方法にお
いて、吸着塔の出口における少なくとも1種類のガスの
濃度をガス濃度検出器により検出し、該ガス濃度検出器
をシーケンサーに連結し、シーケンサーにより吸着塔の
切り替え周期を自動的に変化させて行う混合ガスの分離
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体製造プロセスなどへ窒素ガ
スの需要が増大しており、かかる窒素ガスを製造する方
法として、分子ふるい炭素などの炭素多孔体を使用して
加圧空気から窒素を分離する圧力スイング吸着法(PS
A法)が多く実施されている。PSA法とは、例えば混
合ガスを空気とした場合、通常2基以上の吸着塔を使用
し、一方の吸着塔に加圧空気を供給して酸素の吸着を行
い、窒素を製品ガスとして取り出すとともに、その間他
方の吸着塔を脱着に付し、複数の吸着塔間で酸素の吸着
と脱着とを交互に繰り返し、分子ふるい炭素による酸素
と窒素の吸着速度の差を利用して連続的に窒素を得る方
法であり、ここに述べた空気からの窒素製造の他、メタ
ノール分解ガスからの水素精製などで実施されている。
【0003】吸着塔を2基使用して窒素を主成分とする
空気などの混合ガスからPSA法により酸素を除去し、
製品ガスとして窒素を得る真空再生による従来の方式を
図4により説明する。まず、吸着塔4の吸着工程では、
空気などの原料ガスを原料ガス供給ライン1から導入
し、圧縮機2で圧縮し、冷却器3を通じて吸着塔4へ導
入する。各吸着塔には吸着剤である分子ふるい炭素が充
填されており、原料ガス中の酸素が優先的に吸着剤へ吸
着、除去され、残りの窒素が製品貯槽6へ送られ、製品
ガスライン17より取り出される。一方の吸着塔が吸着
に付されているとき、他方の吸着塔は脱着工程にあり、
真空ポンプ19により脱着(再生)に付されている。す
なわち、吸着塔4により吸着が行われているとき、弁
7、10及び12は開の状態、弁8、9、11、13及
び14は閉の状態にある。弁15及び16については、
脱着工程において脱着に付される吸着塔の圧力が、脱着
工程の初期で大気圧以上の場合、弁16を閉、弁15を
開の状態とし、排気ガスライン18からガスを抜き、脱
着に付される吸着塔の圧力が大気圧付近に下がった時点
で弁15を閉、弁16を開の状態とし真空ポンプ19で
減圧脱着を行い廃棄ガスライン20より脱着ガスが廃棄
される。
【0004】所定の時間が経過した後、弁7、10及び
12が閉の状態となる。続いての均圧工程では、弁11
及び14を開の状態とし、吸着を終えた吸着塔4の残圧
を吸着塔5へ回収する。その後、弁8、9及び13が開
の状態、弁7、10、11、12及び14が閉の状態と
なり、吸着塔5が吸着に付され、吸着塔4が脱着に付さ
れる。脱着工程では、吸着塔5の脱着工程と同様に、均
圧工程後の吸着塔4の圧力が大気圧付近までは、弁16
を閉、弁15を開の状態とし、排気ガスライン18から
ガスを抜き、吸着塔4の圧力が大気圧付近に下がった時
点で弁15を閉、弁16を開の状態とし真空ポンプ19
で減圧脱着を行う。吸着塔5の吸着が終わると弁8、9
及び13を閉とし、弁11及び14を開の状態として均
圧工程を行い、吸着塔5の残圧を吸着塔4へ回収する。
上記の操作が定期的に繰り返されて製品窒素が製造され
る。
【0005】これらの弁は、タイマーにより設定された
時間に従って逐次自動的に切り換わるようになってお
り、製品窒素は製品貯槽6に貯蔵され、製品ガス取り出
しライン17から取り出され、消費される。分子ふるい
炭素に吸着されたガス(酸素)の脱着は、減圧により行
われ、弁9又は10が開の状態のときに分子ふるい炭素
に吸着されたガスが脱着され、脱着ガスは排気ライン1
8又は廃棄ライン20から排気される。以上述べたよう
に、従来のPSA法は、吸着塔の切り替え周期を一定と
して行われるのが通常であるが、これは空気を原料ガス
として使用する場合、ガス組成が一定であり、しかも一
定量で供給することができるからである。
【0006】一方、吸着塔の切り替え周期を一定としな
いPSA法も知られている。例えば、特開昭54−16
375号公報及び特開昭60−193520号公報に、
生成物ガスが一定量に達したとき、次の操作に進むよう
に設定された方法が開示されている。これらの方法は吸
着塔の切り替えを効率的に制御しながらガス分離を行う
PSA法であり、エネルギー的に有効なPSA法である
といえる。しかしながら、これらの方法は、いずれも吸
着剤としてゼオライト系などを使用し、気相における平
衡吸着を利用して分離する場合にのみ実施可能であり、
分子ふるい炭素を使用し、速度分離を利用してPSA法
を実施する場合は、吸着量、分離能力が経時的に変化
し、適用できない。
【0007】また、製品ガスの取り出し量が減少したと
きに最適の所要動力で経済的に有利にPSA方式を制御
する、すなわち、製品ガスの取り出し量に応じて吸着塔
の切り替え周期を変動させるターンダウン制御も知られ
ている。分子ふるい炭素を使用して行うこのような例と
して、例えば、特公平4−69085号公報に、製品窒
素タンクの酸素濃度を検出して吸着塔の切り換え周期
(半サイクル時間)を決定する方法が開示されている。
しかしながら、この方法では吸着塔から出た窒素ガスを
一旦製品窒素タンクに貯蔵するため、急激な流量変動に
よる酸素濃度の変化に対応することができない。
【0008】前述したように、従来のPSA法は、吸着
塔の切り替え周期を一定にして行われるのが通常である
が、空気を原料ガスとして使用する場合でも原料ガスの
供給量を一定にすることができない場合、また消化ガス
のように、菌や処理物の状態により発生する原料ガスの
組成や供給量を一定にすることができない場合には、吸
着塔の切り替え周期をこれらの変動に追従させて変動さ
せる必要があるが、かかることは現実的ではない。消化
ガスを例にとると、原料ガス中の目的とするガスの濃度
が高い場合は、得られる製品ガス純度も高くなるが、吸
着剤を有効に利用することができない。一方、原料ガス
中の目的とするガスの濃度が低い場合は、得られる製品
ガス純度が低くなる。したがって、原料ガスの組成や供
給量を一定にすることができない場合は、得られた製品
ガスを必要に応じてさらに精製して使用しているのが現
状である。
【0009】しかしながら、製品ガスをさらに精製する
ことは、設備費及び製造コストの大幅な増加につなが
り、また、操作の面でも煩雑である。また、変動時の製
品ガスの不足分を他のガス源に依存する方法もプロセス
の複雑化、ガス源の補給等から設備費が増加する上、無
人運転で安価なガスを供給できるPSA法のメリットも
薄れてくる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】PSA法を効率よく実
施するには、吸着剤の性能向上を図ることが重要である
ことは勿論であるが、如何に低エネルギーで実施するこ
とができるかが、PSA法の工業的使命を制するといっ
ても過言ではない。したがって、本発明の目的は、原料
ガスの組成や流量が変動しても容易に追従することがで
き、一定品質の製品ガスを連続的に得ることのできるP
SA法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明者は、吸着剤を用
いたPSA法による混合ガスの分離方法において、吸着
塔の出口ガスの濃度に着目して鋭意検討を重ねた結果、
かかるガス濃度を検出して吸着塔の切り替え周期を変化
させることにより、極めて簡単に上記目的を達成するこ
とができることを見出し、本発明に至った。
【0012】すなわち、本発明は、吸着剤を充填した2
基以上の吸着塔の一方に混合ガスを加圧下で供給し、そ
れぞれの吸着塔で高圧吸着と低圧再生を交互に繰り返し
て混合ガスを構成成分ガスに分離する混合ガスの分離方
法において、吸着塔の出口における少なくとも1種類の
ガスの濃度をガス濃度検出器により検出し、該ガス濃度
検出器をシーケンサーに連結し、シーケンサーにより吸
着塔の切り替え周期を自動的に変化させることを特徴と
する混合ガスの分離方法である。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明において、吸着塔には活性
炭、分子ふるい炭素、ゼオライト等の吸着剤が充填され
る。活性炭は木炭、石炭、コークス、やし殻、樹脂、ピ
ッチなどを原料として高温で水蒸気等のガスと反応さ
せ、細孔を発達させた炭素質吸着剤である。分子ふるい
炭素は、3〜5Åの超ミクロ孔が存在し、細孔径が揃っ
た木炭、石炭、コークス、やし殻、樹脂、ピッチなどを
原料として高温で炭化して製造された木質系、石炭系、
樹脂系、ピッチ系などの炭素質材料を細孔調整したもの
からなる吸着剤である。ゼオライトは三次元的な結晶構
造を持つ鉱物系の吸着剤である。かかる吸着剤を目的に
応じ使用し、PSA法を実施することにより、混合ガス
から特定のガスを分離することができる。また、本発明
で使用する混合ガスとしてはとくに制限されず、例え
ば、メタンを主成分とした嫌気性発酵の消化ガスなどあ
げることができる。この場合、分子ふるい炭素が好適に
使用可能である。
【0014】本発明のPSA法は、とくに原料ガスの組
成や流量が変動しやすい混合ガスから組成が一定の製品
ガスを連続的に製造する場合に好適であり、このような
混合ガスの例として、各種排水、屎尿処理場、下水処理
場、醸造工場、家畜の飼育場などの処理場において生物
学的処理により発生するガス、メタン発酵ガスなどの消
化ガスをあげることができる。以下、原料ガスとしてメ
タンと炭酸ガスを主成分とする混合ガスを使用してメタ
ンを分離する場合について、図により本発明をさらに具
体的に説明する。
【0015】図1は、先に図4で説明した従来のPSA
方式に、炭酸ガス濃度を検出するための炭酸ガス濃度計
と該炭酸ガス濃度計とシーケンサーを連結し、シーケン
サーにより吸着塔の切り替え周期を自動的に変化させて
行うPSA法の一例を示すフローである。原料ガスであ
る発酵ガスは原料ガス供給ライン1から導入され、圧縮
機2により加圧され、冷却器3によって常温近傍まで冷
却された後、弁7を通って吸着塔4に入り、充填されて
いる分子ふるい炭素によって、吸着されやすい炭酸ガス
等と吸着されにくいメタン等に分離され、分離されたメ
タン等は弁12を経由し、製品貯槽6に一旦貯蔵された
後、消費される。吸着塔出口における炭酸ガスの濃度は
炭酸ガス濃度検出器22により瞬時値を絶えず検知す
る。圧縮機として、直流電流を交流電流に変換する、い
わゆるインバータ式の圧縮機を使用してもよい。
【0016】吸着塔の出口において、製品ガス中の炭酸
ガスの濃度が、予め設定された炭酸ガス濃度に達する
と、その信号がシーケンサー23に伝えられ、吸着工程
が終了する。すなわち、弁7及び12は閉の状態とな
り、弁11及び14を開とする均圧工程を経て、弁10
及び13が開の状態となって、脱着操作を終えた吸着塔
5が吸着操作に付される。すなわち、吸着塔の出口ガス
中の炭酸ガスの濃度により、吸着塔の切り替えが行われ
る。一方、吸着を終えた吸着塔4は、弁8及び15を開
くことにより排気ガスライン18より大気圧近傍まで減
圧される。必要ならば、この排気ガスは原料ガス側に戻
し、回収を行ってもよい。その後、弁15を閉じ、弁1
6を開とし分子ふるい炭素に吸着された炭酸ガス等のガ
スを脱着させる脱着操作を行う。以上の発酵ガスを原料
ガスとした場合のPSA法においては、吸着塔の出口ガ
ス中の炭酸ガスを検出したが、制御しやすいガスを検出
すればよい。
【0017】原料ガスの組成や供給量が短時間で急激に
変動する場合、吸着塔の切り替えが頻繁に行われること
になり、製品ガスの回収率が低下する。さらに、エネル
ギー的にも不利である。また、吸着塔を切り替えた直後
は、均圧ガスの影響等で吸着塔出口ガスの濃度が短時間
で変動する場合があり、不用意に切り替えが行われるこ
とになる。したがって、本発明においては、吸着塔の最
低切り替え時間を設定しておくのが好ましい。最低切り
替え時間をあまり短くすると、脱着のための時間が不十
分になるため30秒以上に設定する必要があり、適用す
るガスやPSAによるが、好ましくは60秒以上がよ
い。以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0018】
【実施例】比較例1 クラレケミカル株式会社製の分子ふるい炭2GN、10
L(リットル)を吸着塔2基に各々充填し、原料ガスと
してメタンと炭酸ガスからなる混合ガスを、供給圧力
0.5MPa、供給量3.6Nm/hr、脱着工程の
真空度100Torr、吸着塔の切り替え時間180
秒、均圧時間5秒の条件で、図4に示すフローに従って
メタンの分離を行った。原料ガスの炭酸ガス濃度を30
%〜50%まで変化させ、出口ガス濃度を測定した。結
果を図2に示す。
【0019】比較例2 原料ガスの組成をメタン/炭酸ガス=60/40(容量
比)とし、供給量を3Nm/hr〜4Nm/hrに
変化させる以外は比較例1と同じ条件でメタンの分離を
行った。結果を図3に示す。
【0020】実施例1 クラレケミカル株式会社製の分子ふるい炭2GN、10
Lを吸着塔2基に各々充填し、原料ガスとしてメタンと
炭酸ガスからなる混合ガスを、供給圧力0.5MPa、
脱着工程の真空度100Torr、均圧時間5秒、吸着
塔の最低切り替え時間30秒の条件で図1に示すフロー
に従ってメタンの分離を行った。吸着塔出口の炭酸ガス
濃度が1%になった時点で吸着塔が切り換わるように設
定し、原料ガスの炭酸ガス濃度を30%〜50%まで変
化させた。結果を図2に示す。
【0021】実施例2 原料ガスの組成をメタン/炭酸ガス=60/40(容量
比)とし、供給量を3Nm/hr〜4Nm/hrに
変化させる以外は実施例1と同じ条件でメタンの分離を
行った。結果を図3に示す。
【0022】以上の結果から、吸着塔の切り替え時間を
固定してPSA法によりメタンの分離を行うと、原料ガ
ス中の炭酸ガスの濃度が高くなると製品ガス中の炭酸ガ
ス濃度も上昇し、また、原料ガスの供給量が減少すると
メタンの回収率が低下するが、本発明の方法によれば、
製品ガス中の炭酸ガス濃度を低く維持することができ、
メタンの回収率も高いことが明らかである。
【0023】
【発明の効果】本発明により、原料ガスの組成や流量が
変動しても容易に追従することができ、一定品質の製品
ガスを連続的に得ることのできる混合ガスの分離方法を
提供することができる。本発明の方法によれば、消化ガ
スなどのように、菌や処理物の状況によって発生ガスの
組成や流量が変動する場合でも、それに応じて経済的に
有利にPSA法を実施することができ、産業上の有用性
が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の混合ガスの分離方法の一例を示すフロ
ーである。
【図2】実施例1と比較例1における原料ガス中の炭酸
ガス濃度と製品ガス中の炭酸ガス濃度の関係を示すグラ
フである。
【図3】実施例2と比較例2における原料ガス供給量と
メタン回収率の関係を示すグラフである。
【図4】従来のPSA方式を示すフローである。
【符号の説明】
1 … 原料ガス供給ライン 2 … 圧縮機 3 … 冷却器 4 … 吸着塔 5 … 吸着塔 6 … 製品貯槽 7〜16 … 弁 17 … 製品ガス取り出しライン 18 … 排気ガスライン 19 … 真空ポンプ 20 … 廃棄ガスライン 21 … 逆止弁 22 … 炭酸ガス濃度計 23 … シーケンサー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸着剤を充填した2基以上の吸着塔の一
    方に混合ガスを加圧下で供給し、それぞれの吸着塔で高
    圧吸着と低圧再生を交互に繰り返して混合ガスを構成成
    分ガスに分離する混合ガスの分離方法において、吸着塔
    の出口における少なくとも1種類のガスの濃度をガス濃
    度検出器により検出し、該ガス濃度検出器をシーケンサ
    ーに連結し、シーケンサーにより吸着塔の切り替え周期
    を自動的に変化させることを特徴とする混合ガスの分離
    方法。
  2. 【請求項2】 該吸着塔の切り替え周期が30秒以上で
    ある請求項1記載の混合ガスの分離方法。
  3. 【請求項3】 該混合ガスがメタンと炭酸ガスを主成分
    とする混合ガスである請求項1又は2記載の混合ガスの
    分離方法。
  4. 【請求項4】 該混合ガスが消化である請求項1〜3い
    ずれかに記載の混合ガスの分離方法。
JP2001206323A 2001-07-06 2001-07-06 混合ガスの分離方法 Pending JP2003019415A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001206323A JP2003019415A (ja) 2001-07-06 2001-07-06 混合ガスの分離方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001206323A JP2003019415A (ja) 2001-07-06 2001-07-06 混合ガスの分離方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003019415A true JP2003019415A (ja) 2003-01-21

Family

ID=19042481

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001206323A Pending JP2003019415A (ja) 2001-07-06 2001-07-06 混合ガスの分離方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003019415A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006212524A (ja) * 2005-02-02 2006-08-17 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 複合廃棄物焼却処理システム及び方法
JP2010209036A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Taiyo Nippon Sanso Corp メタン濃縮方法
JP2012025729A (ja) * 2010-06-21 2012-02-09 Sumitomo Seika Chem Co Ltd プロパンの精製方法および精製装置
JP2014073461A (ja) * 2012-10-04 2014-04-24 Metawater Co Ltd 混合ガスの精製方法及び精製装置
US9732297B2 (en) 2013-03-19 2017-08-15 Osaka Gas Co., Ltd. Gas purification method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS607918A (ja) * 1983-06-15 1985-01-16 ノ−マレア−ギヤレツト(ホ−ルデイングス)リミテツド モレキユラ・シ−ブ型ガス分離装置
JPS6217008A (ja) * 1985-07-11 1987-01-26 Hokusan Koatsu Gas Kk 圧力変動式吸着を利用する窒素の濃縮方法
JPS6388015A (ja) * 1986-07-24 1988-04-19 ユニオン・カ−バイド・コ−ポレ−シヨン 圧力変動吸着による生成物純度制御方法及びその装置
JPH03236724A (ja) * 1990-02-14 1991-10-22 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 植物の温室栽培方法およびそれに用いるシステム
JP2000501335A (ja) * 1995-12-02 2000-02-08 ノーマレア―ギャレット(ホールディングス)リミテッド 分子ふるい型ガス分離装置
JP2001170695A (ja) * 1999-12-17 2001-06-26 Shimizu Corp メタンガス精製設備および家畜糞尿処理施設

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS607918A (ja) * 1983-06-15 1985-01-16 ノ−マレア−ギヤレツト(ホ−ルデイングス)リミテツド モレキユラ・シ−ブ型ガス分離装置
JPS6217008A (ja) * 1985-07-11 1987-01-26 Hokusan Koatsu Gas Kk 圧力変動式吸着を利用する窒素の濃縮方法
JPS6388015A (ja) * 1986-07-24 1988-04-19 ユニオン・カ−バイド・コ−ポレ−シヨン 圧力変動吸着による生成物純度制御方法及びその装置
JPH03236724A (ja) * 1990-02-14 1991-10-22 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 植物の温室栽培方法およびそれに用いるシステム
JP2000501335A (ja) * 1995-12-02 2000-02-08 ノーマレア―ギャレット(ホールディングス)リミテッド 分子ふるい型ガス分離装置
JP2001170695A (ja) * 1999-12-17 2001-06-26 Shimizu Corp メタンガス精製設備および家畜糞尿処理施設

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006212524A (ja) * 2005-02-02 2006-08-17 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 複合廃棄物焼却処理システム及び方法
JP4702715B2 (ja) * 2005-02-02 2011-06-15 三菱重工環境・化学エンジニアリング株式会社 複合廃棄物焼却処理システム及び方法
JP2010209036A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Taiyo Nippon Sanso Corp メタン濃縮方法
JP2012025729A (ja) * 2010-06-21 2012-02-09 Sumitomo Seika Chem Co Ltd プロパンの精製方法および精製装置
JP2014073461A (ja) * 2012-10-04 2014-04-24 Metawater Co Ltd 混合ガスの精製方法及び精製装置
US9732297B2 (en) 2013-03-19 2017-08-15 Osaka Gas Co., Ltd. Gas purification method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6245127B1 (en) Pressure swing adsorption process and apparatus
CA2543983C (en) Design and operation methods for pressure swing adsorption systems
EP0489555B1 (en) Hydrogen and carbon monoxide production by pressure swing adsorption purification
EP0876994B1 (en) Ozone recovery by zeolite adsorbents
US6849106B2 (en) Method for purifying hydrogen-based gas mixtures using a calcium x-zeolite
KR102481433B1 (ko) 암모니아의 분해 혼합가스로부터 수소의 분리 및 정제방법
KR20090075700A (ko) 이산화탄소 회수를 위한 방법
JP2007537867A (ja) 連続フィード3床圧力スイング吸着システム
Sircar et al. Simultaneous production of hydrogen and carbon dioxide from steam reformer off-gas by pressure swing adsorption
CN101869797B (zh) 一种从空气中提取高纯度氮气的方法与装置
CA1238868A (en) Method for obtaining high-purity carbon monoxide
CN110813022A (zh) 多床快速循环动力学psa
Hayashi et al. Dynamics of high purity oxygen PSA
KR100605549B1 (ko) 산소발생장치 및 그 제어방법
Sircar Pressure swing adsorption technology
JP2003019415A (ja) 混合ガスの分離方法
AU2016201267B2 (en) A plant and process for simutaneous recovering multiple gas products from petrochemical offgas
WO2022099350A1 (en) A process and plant for producing ultrahigh-purity hydrogen from low-grade hydrogen gas
EP0055961B1 (en) Repressurization process for pressure swing adsorption system
EP0055962B1 (en) Repressurisation for pressure swing adsorption system
JP4004435B2 (ja) 圧力変動吸着装置による高純度ガスの製造方法
JPH0699015A (ja) 圧力スイング吸着方法
AU2013201122A1 (en) A plant and process for simutaneous recovering multiple gas products from industry offgas
CA1152902A (en) Inverted pressure swing adsorption process
JPH10323526A (ja) 高純度一酸化炭素の分離回収方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080311

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100401

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110531

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120508

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20121113