JP2003014125A - 溶液を有する処理装置の開口部シール構造 - Google Patents
溶液を有する処理装置の開口部シール構造Info
- Publication number
- JP2003014125A JP2003014125A JP2001198429A JP2001198429A JP2003014125A JP 2003014125 A JP2003014125 A JP 2003014125A JP 2001198429 A JP2001198429 A JP 2001198429A JP 2001198429 A JP2001198429 A JP 2001198429A JP 2003014125 A JP2003014125 A JP 2003014125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- elastic
- annular groove
- opening part
- sealing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント基板のエッチング装置の如く、外周
が装置本体で液密に囲まれ、その内部で溶液が噴射また
は滞留する装置であって、開口部を有し、その開口部が
弾性シール材を介して閉塞板４で開閉自在に閉塞される
開口部シール構造において、閉塞板４の周縁部と開口部
２との間に隙間が生じても、その隙間に充分追随して、
隙間を確実に塞ぐことができる構造の提供。 【解決手段】 装置本体１の開口部２の口縁部または閉
塞板４の周縁部の何れか一方に環状溝５を設ける。そし
て環状溝５に弾性シール材３を嵌着する。この弾性シー
ル材３は中空で環状に形成されると共に、その中空内に
圧力流体を供給する加圧手段６が連通される。そして加
圧手段６による弾性シール材３の加圧で、弾性シール材
３を膨張して開口部２を液密に閉塞する。
が装置本体で液密に囲まれ、その内部で溶液が噴射また
は滞留する装置であって、開口部を有し、その開口部が
弾性シール材を介して閉塞板４で開閉自在に閉塞される
開口部シール構造において、閉塞板４の周縁部と開口部
２との間に隙間が生じても、その隙間に充分追随して、
隙間を確実に塞ぐことができる構造の提供。 【解決手段】 装置本体１の開口部２の口縁部または閉
塞板４の周縁部の何れか一方に環状溝５を設ける。そし
て環状溝５に弾性シール材３を嵌着する。この弾性シー
ル材３は中空で環状に形成されると共に、その中空内に
圧力流体を供給する加圧手段６が連通される。そして加
圧手段６による弾性シール材３の加圧で、弾性シール材
３を膨張して開口部２を液密に閉塞する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプリント基板のエッ
チング装置等の如く、外周が装置本体で液密に囲まれ、
その内部で液体が噴射または滞留する処理装置の開口部
シール構造に関する。
チング装置等の如く、外周が装置本体で液密に囲まれ、
その内部で液体が噴射または滞留する処理装置の開口部
シール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】一例としてプリント基板のエッチング装
置は、その装置本体がステンレス鋼板や樹脂板等の耐蝕
性板材で主要部が形成され、内部に搬送ラインが設けら
れ、その搬送ラインに沿って基板搬送用ローラコンベア
やエッチング用のエッチング液噴射ノズルが多数並列さ
れている。その装置本体の側面及び上面には点検口が設
けられ、そこに点検窓ととしての透明な樹脂板や蓋がシ
ール材を介して開閉自在に取付けられている。このシー
ル材は、開口部に設けた溝内に環状の弾性パッキンを嵌
着し、窓や蓋等の閉塞板を締結具で締結固定していた。
このシール材としては、主としてゴム材が使用され、そ
のゴム材は中実のものや中空のものが用いられていた。
置は、その装置本体がステンレス鋼板や樹脂板等の耐蝕
性板材で主要部が形成され、内部に搬送ラインが設けら
れ、その搬送ラインに沿って基板搬送用ローラコンベア
やエッチング用のエッチング液噴射ノズルが多数並列さ
れている。その装置本体の側面及び上面には点検口が設
けられ、そこに点検窓ととしての透明な樹脂板や蓋がシ
ール材を介して開閉自在に取付けられている。このシー
ル材は、開口部に設けた溝内に環状の弾性パッキンを嵌
着し、窓や蓋等の閉塞板を締結具で締結固定していた。
このシール材としては、主としてゴム材が使用され、そ
のゴム材は中実のものや中空のものが用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】装置本体の開口部及び
閉塞板は、経年変化や噴射液の温度その他により、膨張
・収縮する。そして開口部と閉塞板との隙間は各部分に
おいて変化する。そのため、弾性シール材はその変化に
追随する必要があるが、シール部の隙間はその長手方向
に沿って波状に変化することがあり、その際には通常の
弾性シール材のみではその変化に追随できない場合が考
えられる。また、追随できる変形量を予め余計にとって
おくと、シール材の変形量が大きくなり、シール材の劣
化がより早く生じるおそれがある。そこで本発明は、係
る問題点を解決した開口部のシール構造を提供すること
を課題とする。
閉塞板は、経年変化や噴射液の温度その他により、膨張
・収縮する。そして開口部と閉塞板との隙間は各部分に
おいて変化する。そのため、弾性シール材はその変化に
追随する必要があるが、シール部の隙間はその長手方向
に沿って波状に変化することがあり、その際には通常の
弾性シール材のみではその変化に追随できない場合が考
えられる。また、追随できる変形量を予め余計にとって
おくと、シール材の変形量が大きくなり、シール材の劣
化がより早く生じるおそれがある。そこで本発明は、係
る問題点を解決した開口部のシール構造を提供すること
を課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、外周が装置本体(1) で液密に囲まれ、その内部で溶
液が噴射または滞留する処理装置であって、その装置本
体(1) に設けられた開口部(2) が、シール材を介して閉
塞板(4) で開閉自在に閉塞された開口部シール構造にお
いて、その装置本体(1) の開口部(2) の口縁部または、
閉塞板(4) の周縁部の何れか一方に設けられた環状溝
(5) と、その環状溝(5) に嵌着され、弾性材よりなり中
空で環状の弾性シール材(3) と、前記装置本体(1) の外
面側からその弾性シール材(3) の中空内に連通されて、
その弾性シール材(3) の内部に圧力流体を供給して加圧
する加圧手段(6) と、を具備し、前記加圧手段(6) によ
る弾性シール材(3) の加圧で、その弾性シール材(3) が
膨張して対向面に圧接されて、開口部(2) が液密に閉塞
されることを特徴とする溶液を有する処理装置の開口部
シール構造である。
は、外周が装置本体(1) で液密に囲まれ、その内部で溶
液が噴射または滞留する処理装置であって、その装置本
体(1) に設けられた開口部(2) が、シール材を介して閉
塞板(4) で開閉自在に閉塞された開口部シール構造にお
いて、その装置本体(1) の開口部(2) の口縁部または、
閉塞板(4) の周縁部の何れか一方に設けられた環状溝
(5) と、その環状溝(5) に嵌着され、弾性材よりなり中
空で環状の弾性シール材(3) と、前記装置本体(1) の外
面側からその弾性シール材(3) の中空内に連通されて、
その弾性シール材(3) の内部に圧力流体を供給して加圧
する加圧手段(6) と、を具備し、前記加圧手段(6) によ
る弾性シール材(3) の加圧で、その弾性シール材(3) が
膨張して対向面に圧接されて、開口部(2) が液密に閉塞
されることを特徴とする溶液を有する処理装置の開口部
シール構造である。
【０００５】請求項２に記載の本発明は、請求項１にお
いて、前記環状溝(5) に弾性シール材(3) が嵌着され
て、非加圧状態のときその弾性シール材(3) の露出面が
環状溝(5) の縁に略等しいか、縁より突出しないように
位置し、加圧状態のときその弾性シール材(3) の露出面
が環状溝(5) の縁から突出するように構成された溶液を
有する処理装置の開口部シール構造である。
いて、前記環状溝(5) に弾性シール材(3) が嵌着され
て、非加圧状態のときその弾性シール材(3) の露出面が
環状溝(5) の縁に略等しいか、縁より突出しないように
位置し、加圧状態のときその弾性シール材(3) の露出面
が環状溝(5) の縁から突出するように構成された溶液を
有する処理装置の開口部シール構造である。
【０００６】
【発明の実施の形態】次に、図面に基づいて本発明の実
施の形態につき説明する。図１は本発明の実施の形態を
示す要部縦断面図であり、図２はその平面図、図３は図
１における環状溝５及び弾性シール材３の拡大図であっ
て非加圧状態を示し、図４は弾性シール材３の加圧状態
を示す。また、図５は本シール構造を有する装置本体１
の一例を示す要部正面図である。装置本体１は一例とし
て図５に示す如く、プリント基板のエッチング装置であ
って、内部にローラコンベアからなる搬送路11か設けら
れる。その搬送路11によって基板12が搬送される。搬送
路11の上下には、互いに離間して多数の噴射ノズル10が
基板12の上面及び下面に対向して配置されている。開口
部２の側面及び上面には、夫々閉塞板４が設けられてい
る。
施の形態につき説明する。図１は本発明の実施の形態を
示す要部縦断面図であり、図２はその平面図、図３は図
１における環状溝５及び弾性シール材３の拡大図であっ
て非加圧状態を示し、図４は弾性シール材３の加圧状態
を示す。また、図５は本シール構造を有する装置本体１
の一例を示す要部正面図である。装置本体１は一例とし
て図５に示す如く、プリント基板のエッチング装置であ
って、内部にローラコンベアからなる搬送路11か設けら
れる。その搬送路11によって基板12が搬送される。搬送
路11の上下には、互いに離間して多数の噴射ノズル10が
基板12の上面及び下面に対向して配置されている。開口
部２の側面及び上面には、夫々閉塞板４が設けられてい
る。
【０００７】この例では、閉塞板４は透明なアクリル板
等からなるものであり、シール材を介して装置本体１の
開口部にそれらが締結固定されている。即ち、開口部２
は図１及び図２に示す如く矩形に形成され、その開口縁
部に環状溝５が設けられている。そしてその環状溝５に
内部が中空で環状の弾性シール材３が嵌着する。その弾
性シール材３には連結チューブ７の一端が内部に連通
し、その他端がコネクタ８に接続される。コネクタ８は
装置本体１に接着性シール剤13を介して固定され、その
コネクタ８の外面側から連結チューブ７を介して加圧タ
ンクおよびコンプレッサ等の空気圧源からなる加圧手段
６が連通する。なお、加圧手段６と連結チューブ７との
間には開閉弁16が設けられている。さらに、環状溝５に
沿って定間隔に多数の締結ボルト９が接着性シール剤13
を介して装置本体１に固定されている。そしてその締結
ボルト９に整合するように、閉塞板４には定間隔に多数
のボルト孔が穿設され、ナットを介し、この締結ボルト
９に閉塞板４が締結固定される。
等からなるものであり、シール材を介して装置本体１の
開口部にそれらが締結固定されている。即ち、開口部２
は図１及び図２に示す如く矩形に形成され、その開口縁
部に環状溝５が設けられている。そしてその環状溝５に
内部が中空で環状の弾性シール材３が嵌着する。その弾
性シール材３には連結チューブ７の一端が内部に連通
し、その他端がコネクタ８に接続される。コネクタ８は
装置本体１に接着性シール剤13を介して固定され、その
コネクタ８の外面側から連結チューブ７を介して加圧タ
ンクおよびコンプレッサ等の空気圧源からなる加圧手段
６が連通する。なお、加圧手段６と連結チューブ７との
間には開閉弁16が設けられている。さらに、環状溝５に
沿って定間隔に多数の締結ボルト９が接着性シール剤13
を介して装置本体１に固定されている。そしてその締結
ボルト９に整合するように、閉塞板４には定間隔に多数
のボルト孔が穿設され、ナットを介し、この締結ボルト
９に閉塞板４が締結固定される。
【０００８】なお、締結ボルト９の代わりに適宜な他の
締結手段を使用することもできる。さらには、環状溝５
に沿って閉塞板４を挿脱自在に挿入できる図示しないス
ライド溝を設け、そのスライド溝に閉塞板４を挿入して
もよい。このようにして閉塞板４が開口部２を閉塞した
状態で開閉弁16を開放し、加圧手段６及び連結チューブ
７を介して弾性シール材３の内部に加圧空気を供給す
る。すると、図４の如く弾性シール材３が三次元的に膨
張し、弾性シール材３は環状溝５に密着すると共に、そ
の露出側端面は図１の如く閉塞板４に密着し、液密性が
確保される。なお、閉塞板４を開放する場合には開閉弁
16を閉塞すると共に、弾性シール材３の内部の空気を開
放する。すると、図３の如く弾性シール材３の露出端は
環状溝５の縁部と同一高さになり、締結ボルト９からナ
ットを容易に取り外して閉塞板４を開放することができ
る。
締結手段を使用することもできる。さらには、環状溝５
に沿って閉塞板４を挿脱自在に挿入できる図示しないス
ライド溝を設け、そのスライド溝に閉塞板４を挿入して
もよい。このようにして閉塞板４が開口部２を閉塞した
状態で開閉弁16を開放し、加圧手段６及び連結チューブ
７を介して弾性シール材３の内部に加圧空気を供給す
る。すると、図４の如く弾性シール材３が三次元的に膨
張し、弾性シール材３は環状溝５に密着すると共に、そ
の露出側端面は図１の如く閉塞板４に密着し、液密性が
確保される。なお、閉塞板４を開放する場合には開閉弁
16を閉塞すると共に、弾性シール材３の内部の空気を開
放する。すると、図３の如く弾性シール材３の露出端は
環状溝５の縁部と同一高さになり、締結ボルト９からナ
ットを容易に取り外して閉塞板４を開放することができ
る。
【０００９】
【発明の作用・効果】請求項１に記載の本発明は、環状
溝５に嵌着された中空で環状の弾性シール材３の内部に
加圧手段６により圧力流体を供給してその弾性シール材
３を膨張し、開口部２が液密に閉塞されるものであるか
ら、開口部２と閉塞板４との間の各種変形に追随し、そ
の隙間を気密或いは液密に閉塞することが可能となる。
しかも、弾性シール材３が三次元に膨張するため、弾性
シール材３と環状溝５との間及び弾性シール材３と対向
面との間が隈なく液密に形成される。また、弾性シール
材３は環状溝５に嵌着するように構成されたから、加圧
手段６によって過度に加圧しても、弾性シール材３は環
状溝５及び対向面によって囲まれているため過度に膨張
することがなく、それによる弾性シール材３の劣化を起
こすおそれがない。
溝５に嵌着された中空で環状の弾性シール材３の内部に
加圧手段６により圧力流体を供給してその弾性シール材
３を膨張し、開口部２が液密に閉塞されるものであるか
ら、開口部２と閉塞板４との間の各種変形に追随し、そ
の隙間を気密或いは液密に閉塞することが可能となる。
しかも、弾性シール材３が三次元に膨張するため、弾性
シール材３と環状溝５との間及び弾性シール材３と対向
面との間が隈なく液密に形成される。また、弾性シール
材３は環状溝５に嵌着するように構成されたから、加圧
手段６によって過度に加圧しても、弾性シール材３は環
状溝５及び対向面によって囲まれているため過度に膨張
することがなく、それによる弾性シール材３の劣化を起
こすおそれがない。
【００１０】請求項２に記載の本発明によれば、環状溝
５に弾性シール材３が嵌着されて、その弾性シール材３
の内部に加圧流体が存在しない状態では、弾性シール材
３の露出面が環状溝５の縁以下に形成されたため、その
非加圧状態における閉塞板４の開口部２への取付け及び
離脱が容易であり且つ、加圧状態では両者間の液密性が
確実に確保される。
５に弾性シール材３が嵌着されて、その弾性シール材３
の内部に加圧流体が存在しない状態では、弾性シール材
３の露出面が環状溝５の縁以下に形成されたため、その
非加圧状態における閉塞板４の開口部２への取付け及び
離脱が容易であり且つ、加圧状態では両者間の液密性が
確実に確保される。
【図１】本発明の溶液を有する処理装置の開口部シール
構造の要部縦断面図。
構造の要部縦断面図。
【図２】同シール構造の平面図。
【図３】図１における環状溝５及び弾性シール材３の非
加圧状態の拡大図。
加圧状態の拡大図。
【図４】図１における環状溝５及び弾性シール材３の加
圧状態の拡大図。
圧状態の拡大図。
【図５】本発明のシール構造を有する装置本体１の一例
を示す要部正面図。
を示す要部正面図。
１ 装置本体
２ 開口部
３ 弾性シール材
４ 閉塞板
５ 環状溝
６ 加圧手段
７ 連結チューブ
８ コネクタ
９ 締結ボルト
10 噴射ノズル
11 搬送路
12 基板
13 接着性シール剤
16 開閉弁
Claims (2)
- 【請求項１】 外周が装置本体(1) で液密に囲まれ、そ
の内部で溶液が噴射または滞留する処理装置であって、 その装置本体(1) に設けられた開口部(2) が、シール材
を介して閉塞板(4) で開閉自在に閉塞された開口部シー
ル構造において、 その装置本体(1) の開口部(2) の口縁部または、閉塞板
(4) の周縁部の何れか一方に設けられた環状溝(5) と、 その環状溝(5) に嵌着され、弾性材よりなり中空で環状
の弾性シール材(3) と、 前記装置本体(1) の外面側からその弾性シール材(3) の
中空内に連通されて、その弾性シール材(3) の内部に圧
力流体を供給して加圧する加圧手段(6) と、 を具備し、 前記加圧手段(6) による弾性シール材(3) の加圧で、そ
の弾性シール材(3) が膨張して対向面に圧接されて、開
口部(2) が液密に閉塞されることを特徴とする溶液を有
する処理装置の開口部シール構造。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記環状溝(5) に弾性シール材(3) が嵌着されて、非加
圧状態のときその弾性シール材(3) の露出面が環状溝
(5) の縁に略等しいか、縁より突出しないように位置
し、加圧状態のときその弾性シール材(3) の露出面が環
状溝(5) の縁から突出するように構成された溶液を有す
る処理装置の開口部シール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001198429A JP2003014125A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 溶液を有する処理装置の開口部シール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001198429A JP2003014125A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 溶液を有する処理装置の開口部シール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003014125A true JP2003014125A (ja) | 2003-01-15 |
Family
ID=19035881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001198429A Pending JP2003014125A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 溶液を有する処理装置の開口部シール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003014125A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103172256A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | Ap***股份有限公司 | 退火装置 |
| JP2015015422A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | 三菱電機株式会社 | 防水型電源装置用ケース及び防水型電源装置 |
-
2001
- 2001-06-29 JP JP2001198429A patent/JP2003014125A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103172256A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | Ap***股份有限公司 | 退火装置 |
| JP2013138200A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-11 | Ap Systems Inc | アニーリング装置 |
| TWI462884B (zh) * | 2011-12-20 | 2014-12-01 | Ap Systems Inc | 退火裝置 |
| JP2015015422A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | 三菱電機株式会社 | 防水型電源装置用ケース及び防水型電源装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1176020A3 (en) | Liquid discharge recording head cartridge and liquid discharge recording apparatus | |
| EP0861733A3 (en) | A capped liquid container and a cap | |
| ATE528233T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ausgabe von fluiden | |
| JPS5656877A (en) | Ink jet recording apparatus | |
| ZA936513B (en) | Environmental sealing. | |
| TW200603218A (en) | Proximity meniscus manifold | |
| CA2337925A1 (en) | Seal assemblies | |
| CA2254552A1 (en) | Connection for a compressed gas attachment device and compressed gas cartridge | |
| NL8103029A (nl) | Progammeerbare tafel voor een etiketteerstelsel. | |
| CA2209826A1 (en) | Flexible pressure vessels for and method of transporting hazardous materials | |
| JP2003014125A (ja) | 溶液を有する処理装置の開口部シール構造 | |
| KR101981519B1 (ko) | 디스플레이용 곡면 유리에 필름을 밀착시키기 위한 부착장치 | |
| DE3870848D1 (de) | Vorrichtung zum fuellen von isolierglas mit sondergas. | |
| CN107428454B (zh) | 长条状流路构件、塑料容器以及粘性液体排出装置 | |
| US20030178792A1 (en) | Sealing head | |
| CN214864968U (zh) | 一种快速装卸式烘箱风嘴装置 | |
| CN218558335U (zh) | 一种模块化泵阀组件 | |
| JP2509790Y2 (ja) | ボ―ルバルブ | |
| TW200626749A (en) | Liquid treating apparatus | |
| CN215174194U (zh) | 一种生产水性聚氨酯胶粘剂用抽料装置 | |
| JPH06285416A (ja) | 接着液供給方法及び装置 | |
| EP3736118A1 (en) | Repair device and composite material repair method | |
| CN101269578A (zh) | 喷墨装置及排除喷墨头气泡的方法 | |
| KR200408424Y1 (ko) | 비접촉식 가압봉지 방식의 가압봉지장치 | |
| JPS5638036A (en) | Polyhedral printing machine |