CN103172256A - 退火装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种退火装置。退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；密封单元，所述密封单元固定至所述底板单元以通过气动压力膨胀；以及顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且与所述密封单元紧密接触。所述密封单元可通过气动压力膨胀或收缩以防止所述密封单元卡在所述顶板单元上，从而允许所述底板单元平稳地与所述顶板单元分开。

Description

退火装置
技术领域
本发明涉及一种退火装置(annealing apparatus)，且更具体的说，涉及一种在其中密封单元通过气动压力可膨胀或收缩以密封顶板单元和底板单元的退火装置。
背景技术
通常，具有长边和短边的矩形玻璃基板被用作平板显示器件，例如有机发光二极管显示器的基板。
这种玻璃基板承受包括清洁、激光退火、曝光以及蚀刻的各种制作工艺以制造成为用于平板显示器件的基板。
通过退火装置进行退火。退火装置使激光束透过腔体的上表面发射至基板以使该基板结晶化。
此时，在激光束发射时，从基板产生的颗粒附着至透明窗(transparentwindow)的下表面。
本发明的相关技术在题目为“有机电致发光装置以及生产该装置的方法”的公开号2003-0024995A的韩国专利(2003年3月28日公布)中公开。
在常规退火装置中，用于密封的密封单元附接至顶板单元和底板单元，因此难以分开顶板单元和底板单元。
因此，需要一种克服了这种问题的退火装置。
发明内容
本发明用于解决本领域中的这种问题，且本发明的一个方面是提供一种退火装置，在该退火装置中，密封单元通过气动压力膨胀或收缩来维持顶板单元和底板单元之间的密封而不会卡在那里。
根据本发明的另一方面，退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；密封单元，所述密封单元固定至所述底板单元以通过气动压力膨胀；以及顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且与所述密封单元紧密接触。
所述底板单元可包括：底板，所述底板布置在腔体的上侧且具有所述入射口；以及密封槽部分，所述密封槽部分形成于所述底板的上侧处且与所述入射口相邻地布置。
所述底板单元可进一步包括：冷却单元，所述冷却单元形成于所述底板上且与所述入射口连通，从而使得冷却气体供应至入射口并从所述入射口排出。
所述冷却单元可包括：冷却管，所述冷却管穿过所述底板且与所述入射口连通；冷却罐，所述冷却罐连接至所述冷却管且储存所述冷却气体；以及冷却阀，所述冷却阀被提供给所述冷却管以调节穿过所述冷却管的所述冷却气体的量。
所述冷却管在竖直方向上被设置为Z字形排布(zigzag arrangement)。
所述密封槽部分可包括：***槽，所述***槽形成于所述底板上；以及安装槽，所述安装槽形成于所述***槽的下表面的中心部分处。
所述密封单元可包括：气动密封件，所述气动密封件***至所述***槽且具有界定在所述气动密封件内的气动隔间；连接密封件，所述连接密封件从所述气动密封件的下表面向下凸出；定位密封件，所述定位密封件从所述连接密封件横向凸出且放置在所述安装槽中；入口管，所述入口管穿过所述定位密封件和所述连接密封件且与所述气动隔间连通，从而使得气动气体供应至所述气动隔间且通过所述入口管从所述气动隔间排出；气动罐，所述气动罐连接至所述入口管并储存所述气动气体；以及气动阀，所述气动阀被提供给所述入口管以调节穿过所述入口管的所述气动气体的量。
所述密封单元可包括：固定板，所述固定板放置在所述***槽的下表面上且布置在所述定位密封件的上部处；以及固定构件，所述固定构件拧紧到所述***槽中以固定所述固定板。
在根据本发明的退火装置中，被提供至所述底板单元的所述密封单元通过气动压力膨胀或收缩，以附接至所述顶板单元或从所述顶板单元上释放。因此，防止了所述密封单元被卡在所述顶板单元上，从而允许所述底板单元容易地与所述顶板单元分开。
在根据本发明的退火装置中，所述密封单元膨胀以均匀地(uniformly)附接至所述顶板单元，由此所述入射口的内部能够免受外界损害。
在根据本发明的退火装置中，所述密封单元拧紧到所述密封槽部分中，因此能够防止所述密封单元偏离理想位置。
在根据本发明的退火装置中，所述冷却单元冷却入射口的被加热部分，从而防止入射口过热。
在根据本发明的退火装置中，所述冷却管在竖直方向上被设置为Z字形排布，从而防止水汽通过所述入射口排出。
附图说明
从下面结合相应附图给出的实施例的描述，本发明的上述和其他方面、特征以及优点将更加明显，其中：
图1为根据本发明的一个实施例的退火装置的示意图，其中顶板单元的透明窗覆盖底板单元的入射口；
图2为根据本发明的实施例的退火装置的示意图，其中密封单元是膨胀的；
图3为根据本发明的实施例的退火装置的示意图，其中顶板单元的透明窗未覆盖底板单元的入射口；以及
图4为根据本发明的一个实施例的退火装置的示意图，其中密封单元是收缩的。
具体实施方式
以下，将参照附图描述本发明的示例性实施例。需要注意的是：附图不是精确的尺寸且仅仅为了描绘的方便和清晰，线条的厚度或组件的尺寸可能是夸大的。在本文中所使用的单数形式“一(a)”、“一(an)”、以及“所述(the)”也可包括复数形式，除非有其他清楚限定。
此外，本文中所使用的术语在考虑本发明的功能的基础上界定并可根据使用者或操作者的习惯或目的而改变。因此，应该根据本发明中所有详述的内容来得到术语的界定。
图1是根据本发明的一个实施例的退火装置的示意图，其中顶板单元的透明窗覆盖底板单元的入射口；图2为根据本发明的实施例的退火装置的示意图，其中密封单元是膨胀的；图3为根据本发明的实施例的退火装置的示意图，其中顶板单元的透明窗未覆盖底板单元的入射口；以及图4为根据本发明的一个实施例的退火装置的示意图，其中密封单元是收缩的。
参照图1至图4，根据一个实施例的退火装置1包括：底板单元10、密封单元20以及顶板单元30。
底板单元10形成有激光束能够透过的入射口19，且顶板单元30放置在底板10上。
密封单元20固定至底板单元10。密封单元20通过气动压力膨胀以密封底板单元10和顶板单元30之间的空间。
根据本发明的实施例，底板单元10包括底板11和密封槽部分12。
底板11覆盖其中放置有基板的腔体的上侧。激光束透过的入射口19穿过底板11形成。入射口19为矩形孔形状以便于激光束能够透过入射口19发射。
密封槽部分12形成于底板11的上表面上。密封槽部分12布置在入射口19附近。例如，密封槽部分12位于入射口19的向外的方向上，以使该密封槽部分12循环(circulated)。
根据本发明的实施例，底板单元10进一步包括冷却单元13。冷却单元13形成于底板11上且与入射口19连通，从而使得冷却气体供应至入射口19并从入射口19排出。
根据本发明的实施例，密封槽部分12包括***槽121和安装槽122。
***槽121形成于底板11的上表面上，安装槽122形成于***槽121的下表面的中心部分处。
因此，从底板11的上表面到***槽121的距离比从底板11的上表面到安装槽122的距离长。
根据本申请的实施例，密封单元20包括：气动密封件21、连接密封件22、定位密封件23、入口管24、气动罐25以及气动阀26。
气动密封件21***至***槽121。在气动密封件21中界定有气动隔间29。
连接密封件22从气动密封件21的下表面向下凸出，定位密封件23从连接密封件22横向凸出且放置在安装槽122上。
此时，定位密封件23的下表面和安装槽122的底表面可通过粘合剂保持彼此粘合。
入口管24穿过定位密封件23和连接密封件22并与气动隔间29连通。入口管24穿过底板11且连接至储存气动气体的气动罐25。
气动阀26被提供给入口管24以调节穿过入口管24的气动气体的量。
因此，当气动罐25提供气动气体至入口管24且入口管24通过气动阀26打开时，气动气体穿过入口管24和气动密封件21供应至气动隔间29，从而气动隔间29膨胀(参见图2)。
由于气动密封件21膨胀，气动密封件21附接至底板11的***槽121的内壁和顶板单元30的下表面以密封入射口19。
同时，当气动罐25抽吸气动气体时，气动气体通过入口管24从气动隔间29排出，从而气动密封件21收缩(参见图4)。
由于气动密封件收缩，气动密封件21和顶板单元30之间的附接被释放。
由于气动密封件21隔间利用激光束的退火操作的程序而重复地膨胀和收缩，所以防止了气动密封件21卡在顶板单元30的下表面上。
根据本发明的实施例，密封单元20进一步包括固定板27和固定构件28。
固定板27放置在***槽121的下表面上。固定板27部分覆盖定位密封件23的上表面。
固定构件28拧紧到***槽121中以将固定板27固定至***槽121。
因此，由于通过固定板27卡住定位密封件23的上端，所述定位密封件23保持安装在安装槽122中。
根据本发明的实施例，冷却单元13包括冷却管131、冷却罐132以及冷却阀133。
冷却管131穿过底板11并与入射口19连通。冷却罐132连接至冷却管131且储存冷却气体。例如，所述冷却气体包括氮气。
冷却阀133被提供给冷却管131，打开或闭合冷却管131以调节在冷却管131中流动的冷却气体的量。
冷却管131在竖直方向上被设置为Z字形排布。当冷却管131以此方式被设置为Z字形排布时，能够防止由于温度差而在冷却管131中产生的水汽排放到入射口19中。
根据本发明的实施例，顶板单元30包括激光束透过的透明窗39，且沿着形成于底板11的上表面上的轨道38运动。
现在，将描述根据本发明的实施例的退火装置的操作。
当将经受退火的基板容纳在腔体中时，底板11放置在腔体的上部上。底板11形成有入射口19，激光束透过该入射口19发射。
密封槽部分12形成于底板11的上表面上以环绕入射口19。密封槽部分12包括***槽121以及形成于***槽121的中心点处的安装槽122。
其内界定有气动隔间29的气动密封件21***至***槽121中，并且从气动密封件21延伸的定位密封件23***至安装槽122中。
入口管24穿过定位密封件23和连接定位密封件23和气动密封件21的连接密封件22，以与气动隔间29连通，且随着气动气体从气动罐25中泵出或被吸入气动罐25，气动密封件21膨胀或收缩。
这时，安装在入口管24上的气动阀26调节排入入口管24或从入口管24抽吸的气动气体的量。
冷却管131穿过底板11以与入射口19连通，且随着冷却气体泵入连接至冷却管131的冷却罐132中或从连接至冷却管131的冷却罐132抽吸，冷却气体注入入射口19或从入射口19排出。
顶板单元30放置在底板11上且沿轨道38移动。顶板单元30带有透明窗39，激光束能够透过透明窗39发射。
然后，当顶板单元30移动至底板单元11从而使得透明窗39为了退火工艺而布置在入射口19的垂直线(vertical line)上时(参见图1)，从气动罐25供应的气动气体被供应至气动密封件21的气动隔间29中，由此使气动密封件21膨胀(参见图2)。
以此方式，当气动密封件21膨胀且附接至顶板单元30的下表面时，入射口19关闭，从而能够防止杂质在退火期间被引入入射口19。
这里，在退火期间当入射口19通过激光束加热时，冷却气体经冷却管132供应至入射口19以冷却入射口19的被加热部分。
当入射口19被完全冷却时，分布在入射口19中的冷却气体通过冷却管131排出。
同时，当通过穿过入射口19发射的激光束从基板上产生的杂质附着至透明窗39时，降低了透明窗的透明度。
因此，当停止退火时，排出在气动隔间29中的气动气体，以便于气动密封件21收缩，释放在气动密封件21和顶板单元30之间的附接(参见图4)。
以此方式，当气动密封件21和顶板单元30之间的附接被释放时，顶板单元30沿轨道38移动以清洁透明窗39和入射口19(参见图3)。
尽管已经公开了一些实施例，但需要理解的是，这些给出的实施例仅用于解释说明，且在不违背本发明的精神和范围的情况下，可做出各种改进、变动和替代。本发明的范围应通过所附的权利要求和其等效物来限定。

Claims (8)

1.一种退火装置，包括：
底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；
密封单元，所述密封单元固定至所述底板单元以通过气动压力膨胀；以及
顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且与所述密封单元紧密接触。
2.根据权利要求1所述的退火装置，其中，所述底板单元包括：
底板，所述底板布置在腔体的上侧且具有所述入射口；以及
密封槽部分，所述密封槽部分形成于所述底板的上侧处且与所述入射口相邻地布置。
3.根据权利要求2所述的退火装置，其中，所述底板单元进一步包括：
冷却单元，所述冷却单元形成于所述底板上且与所述入射口连通，从而使得冷却气体供应至入射口并从所述入射口排出。
4.根据权利要求3所述的退火装置，其中，所述冷却单元包括：
冷却管，所述冷却管穿过所述底板且与所述入射口连通；
冷却罐，所述冷却罐连接至所述冷却管且储存所述冷却气体；以及
冷却阀，所述冷却阀被提供给所述冷却管以调节穿过所述冷却管的所述冷却气体的量。
5.根据权利要求4所述的退火装置，其中，所述冷却管在竖直方向上被设置为Z字形排布。
6.根据权利要求2所述的退火装置，其中，所述密封槽部分包括：
***槽，所述***槽形成于所述底板上；以及
安装槽，所述安装槽形成于所述***槽的下表面的中心部分处。
7.根据权利要求6所述的退火装置，其中，所述密封单元包括：
气动密封件，所述气动密封件***至所述***槽且具有界定在所述气动密封件内的气动隔间；
连接密封件，所述连接密封件从所述气动密封件的下表面向下凸出；
定位密封件，所述定位密封件从所述连接密封件横向凸出且放置在所述安装槽中；
入口管，所述入口管穿过所述定位密封件和所述连接密封件且与所述气动隔间连通，从而使得气动气体供应至所述气动隔间且通过所述入口管从所述气动隔间排出；
气动罐，所述气动罐连接至所述入口管并储存所述气动气体；以及
气动阀，所述气动阀被提供给所述入口管以调节穿过所述入口管的所述气动气体的量。
8.根据权利要求7所述的退火装置，其中，所述密封单元包括：
固定板，所述固定板放置在所述***槽的下表面上且布置在所述定位密封件的上部处；以及
固定构件，所述固定构件拧紧到所述***槽中以固定所述固定板。
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