JP2002528369A - ナノサイズのセラミックおよび金属粉末合成のための分子分解方法 - Google Patents

ナノサイズのセラミックおよび金属粉末合成のための分子分解方法

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Abstract

(57)【要約】 ナノサイズのセラミック粉末形成方法が開示される。前駆体のセラミック材料は、単相での逃散性構成成分と不溶性構成成分で形成される。前駆体を選択的溶媒(水、酸など)と接触させて逃散性構成成分の溶媒溶液と不溶性構成成分の残留物を形成する。前駆体は、逃散性構成成分の溶媒溶液と不溶性構成成分の非溶解残留物とを形成することができる程度に十分な溶媒との反応性を有する。前駆体材料と不溶性残留物は、不溶性構成成分を残留物上に堆積および沈殿させるには不十分な量の前駆体材料および不溶性残留物が溶液中に存在する程度に溶媒に十分に不溶性である。逃散性構成成分は、前記前駆体が溶媒と反応して、ナノサイズ粒子の形での不溶性構成成分の残留物上に逃散性構成成分の沈殿および堆積を起こすことなく逃散性構成成分の溶液を形成する程度に溶媒に十分に可溶である。逃散性構成成分を溶解させた後、逃散性構成成分を含む選択的溶媒を残留物から除去する。残留物が、不溶性構成成分のナノサイズ粉末の形で残る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は一部、米国政府エネルギー省助成DEFG039ER45661下に
資金提供を受けて開発されたものである。米国政府は本発明に対して一部の権利
を有することができる。
【0002】 (技術分野) 本発明は、微小なナノサイズ粒子を有するセラミック粉末の形成方法に関する
。 (背景技術) ナノサイズの粉末は一般に、ナノメートル範囲、すなわち数ナノメートル未満
、例えば100nm以下、通常は10nm以下の非常に微細な粒子を有する粉末
であると考えられる。
【0003】 ナノサイズの粉末は、数例挙げると触媒、電気触媒、触媒支持体、電極、緻密
体製造用の活性粉末、エネルギー蓄積用の半導体、光電池、情報記憶用の超微細
磁性材料、破壊吸着材としての環境浄化、水質浄化、情報記憶および光コンピュ
ータなどの多くの用途を有する。多くの例の一部には、酸電解質中での酸素還元
用のナノサイズ(3〜4nm)の白金、合金製造および触媒反応用の水系および
非水系媒体中での沈殿によって製造される多くの金属粉末、石炭液化用のナノサ
イズの酸化鉄触媒、磁性用途用のナノサイズ酸化鉄粒子、構造用途用の高圧での
熱水処理による正方晶ジルコニア粉末、非水系媒体を用いるカーバイド類および
窒化物類、ガス凝縮プロセスによるナノサイズのBaTiO3などがある。多く
の酸化物がナノサイズ粉末としての用途を有する。それには、SO2の接触還元
用のCeO(2-x)、触媒支持体としておよびヨウ化リチウムのイオン伝導性増強
のためのγ−アルミナ、NOx還元用触媒としてのV25などがある。ナノサイ
ズ粉末合成用に現在用いられているいくつかの方法には、(1)気相凝縮、(2
)物理的粉砕、(3)熱結晶化、(4)化学的沈殿、(5)ゾル−ゲル処理、(
6)エアロゾルスプレー熱分解などがある。
【0004】 気相凝縮では、前駆体の蒸発と、前駆体および不活性ガスの相互作用とによっ
て運動エネルギーが失われ、ナノサイズ粉末の均一な核形成が過飽和蒸気中で起
こる。TiO2、Li2OドープMgO、CeO2、YドープZrO2などのナノ結
晶粉末が、気相凝縮によって生産されている。他の材料の中でも、BaFe12 19 、Fe23の合成にはエアロゾルスプレー熱分解が用いられている。高エネル
ギー物理的粉砕は、特に大量の材料が必要な場合に、ナノ構造材料を生産するの
に広く用いられる。例えばニッケル−アルミニウム合金、Fe−Co−Ni−S
i合金、Ni−Mo合金の非常に微細な粒子が物理的粉砕によって生産されてい
る。しかしながら、粉砕方法による汚染がこの方法の欠点である。さらに、ごく
微小な(nmサイズ)粒子を製造することができるが、ミクロン範囲のクラスタ
ーサイズとなる集塊が問題である。
【0005】 ナノサイズ粉末の合成については、化学共沈がかなり注目されている。金属粉
末だけでなくセラミック粉末も、注意深く化学反応を制御することで得ることが
できる。例えば、アルカリ金属ホウ化水素MBH4(Mはアルカリ金属である)
を水系媒体中での還元剤として用いて、金属粉末が合成される。同様に、一般式
MHv(BR3)またはMHv[BRn(OR’)3-nv(Mはアルカリ金属もしく
はアルカリ土類金属であり、v=1、2であり、R、R’はアルキルもしくはア
リール基である)の水素化有機ホウ酸塩が、還元剤および沈殿剤として用いられ
ている。水系媒体中でpHおよびイオン強度を制御して、オストワルド成長を防
止することが重要である。例えばナノサイズ酸化鉄の合成では、pHが高くイオ
ン強度が高いほど、ナノサイズFe34粒子の粒径が小さくなることが明らかに
なっている。
【0006】 ナノサイズ粉末合成方法のほとんどで、(1)微細で均一な径の粒子形成、な
らびに(2)集塊の防止という2つの問題が特に重要である。均一粒径のナノ粒
子は一般に、核形成および成長を注意深く制御することで形成することができる
。多くの場合、ナノ粒子の径を制御するには、各種のカプセル封入法を行う必要
がある。
【0007】 集塊は多くの場合、ファン・デル・ワールズ力の結果である。セラミック粉末
の焼結挙動に対する集塊の悪影響についてはよく証明されている。触媒反応の場
合でも、分散粉末が必要であることが知られている。多くの場合、非集塊粉末を
得るためには、超臨界乾燥が使用される。液体媒体では、立体障害または静電相
互作用の操作によって、集塊を抑制することができる。極性液体中での静電相互
作用の操作は、溶液のpHおよびイオン強度を変えることで行うことができる。
多くの技術で界面活性剤の使用が関与している。多くの場合、集塊化しておらず
液体中で良好に分散している粉末は、乾燥段階中に集塊化する傾向がある。幸運
なことに、湿状態で粉末圧縮を達成するために、スリップ鋳造、ゲル鋳造、圧力
スリップ鋳造などの方法を用いることができる。ミクロン以下のセラミック粉末
を用いたそのような方法が示されている。
【0008】 粉砕を除き、上記の方法はいずれも、原子ごとまたは分子ごとの付加によって
粒子が構築されるナノ粒子の分子的合成に基づいている。金属カルボニルの分解
に基づく方法であっても、原子の層間付加によって粒子成長が生じる。結果的に
、核形成および成長の制御を行って、ナノサイズ粒子の形成を確実に行う必要が
ある。それには多くの場合、反応系の非常に高精度で困難な制御が必要であり、
そのためにナノサイズ粉末の大量製造が非現実的または不可能となる。さらに、
分子合成法は、ごく少量のナノサイズ生成物の形成を制御する装置に比較的大き
い資本支出が必要であることからコストが高くなる。
【0009】 (発明の目的) 従って本発明の目的は、工業規模で実行が容易であり、分子合成法と比較して
安価なナノサイズ粒子の形成方法を提供することにある。 本発明の別の目的は、溶液からの沈殿または堆積以外の方法によってナノサイ
ズ粉末を形成することで、ナノサイズ粉末の望ましくない堆積および成長の可能
性が排除される方法を提供することにある。
【0010】 本発明のさらに別の目的は、集塊傾向が低いナノサイズ粉末の形成方法を提供
することにある。 本発明のさらに別の目的は、各種粉末組成物の形成に利用することができるナ
ノサイズ粉末の形成方法を提供することにある。
【0011】 本発明のさらに別の目的については、以下の記載から明らかになろう。 (発明の要旨) 分子合成および粉砕によるナノサイズ粒子形成に関連する問題を克服するため
、本発明は、ナノサイズ粉末合成のための別のアプローチを提供する。本発明に
おいては、前駆体の無機化合物を形成し、それから望ましくない成分を浸出させ
ることで、微細なナノサイズ粉末を残留物として残すものである。従って本発明
は、分子合成や堆積ではなく分子分解に基づくものである。
【0012】 上記のように、多くのナノ粉末合成方法における問題の一つは、大量の材料を
合成することが困難な場合が多いという点である。対照的に本発明は、多くの材
料の大量のナノサイズ粉末を製造するのに好適である。
【0013】 要約すると本発明は、ナノサイズ粉末の形成方法である。同方法は以下の工程
から成る。 単相中に逃散性構成成分および不溶性構成成分を含む前駆体セラミック材料を
形成する工程
【0014】 前記前駆体材料を選択的溶媒と接触させて、逃散性構成成分の溶液と不溶性構
成成分の残留物とを形成する工程であって;前記前駆体が、逃散性構成成分の溶
媒溶液および不溶性構成成分の残留物を形成する程度に十分な溶媒との反応性を
有し;前記前駆体材料および不溶性残留物が、不溶性構成成分を残留物上に堆積
および沈殿させるには不十分な量の前駆体材料および不溶性残留物が溶液中に存
在する程度に溶媒に十分に不溶性であり;前記逃散性構成成分が、前記前駆体が
溶媒と反応して、ナノサイズ粒子の形での不溶性構成成分の残留物上に逃散性構
成成分の沈殿および堆積を起こすことなく逃散性構成成分の溶液を形成する程度
に溶媒に十分に可溶である工程
【0015】 前記残留物から選択的溶媒溶液を除去して、不溶性構成成分と同じ化学組成を
有するナノサイズ粉末を形成する工程 前記前駆体材料は、溶媒中で前駆体材料として不溶性でなければならない。本
発明の目的の一つは、逃散性構成成分を含まない不溶性残留物から形成されるナ
ノサイズ粒子上への溶解材料の堆積や沈殿を防止することにある。溶解した前駆
体材料の堆積は、残留物を汚染するだけでなく、径の大きすぎる粒子を生じる可
能性がある。本発明において一つの目的は、溶解材料の堆積およびそれによる既
に存在する結晶の成長をできる限り防止することにある。微小結晶を溶液から結
晶化させる先行技術の方法とは異なり本発明においては、結晶化が最初にナノサ
イズの結晶を形成するのに必要でないことから、結晶化と沈殿プロセスを同時に
防止することが実用的である。従って、以下にさらに説明するように、ナノサイ
ズ粒子上への材料の沈殿が実質的に回避されるように前駆体は選択される。
【0016】 前駆体物質についてのさらに別の要件は、それが溶媒と反応性であるという点
である。前駆体は不溶性であることから、前駆体組成物は溶解しないが、反応し
て逃散性構成成分を選択的に除去することで、遊離した不溶性構成成分を残す。
逃散性構成成分は、溶液から沈殿して不溶性構成成分の粒子を汚染および成長さ
せない程度に可溶性である。前記不溶性構成成分は実質的に不溶性であって、溶
解材料が溶液中に溶け込み、その後に逃散性構成成分除去によって形成される不
溶性材料のナノサイズ粒子上への沈殿およびその粒子の成長を防止する。基本的
に本発明には、前駆体および不溶性構成成分が溶液を形成するのを防止してそれ
が結晶を再堆積させたり成長させたりすることができないようにすることと、溶
液から沈殿して結晶を成長させない程度に溶液に可溶性である逃散性構成成分を
除去することとの間のバランスが関与している。
【0017】 例えば、BaCeO3は水に溶解せず、水と反応してBaの溶液を形成する(
Ba(OH)2として)。対照的にNaAlO2は水に可溶であり、本発明に好適
な前駆体として用いることはできない。
【0018】 逃散性構成成分を含まない不溶性構成成分がナノサイズ粒子を形成するように
するには、前記前駆体は単相材料でなければならない。すなわち、不溶性構成成
分と逃散性構成成分との間の差は分子レベルでのものである。従って前記前駆体
は、大きな分子の形で存在する化合物としてまたは合金として存在する。セラミ
ックの場合、前駆体材料の例としては、2種類以上のカチオンとの混合酸化物で
あって、第1のカチオンの金属酸化物が可溶性であることで逃散性構成成分とし
て機能し、第2のカチオンの酸化物が不溶性であることで不溶性構成成分として
機能するものである。金属のナノサイズ粉末を形成するには、前駆体は例えば合
金または金属間化合物として存在することができる。
【0019】 溶媒は、前駆体と反応し、上記のような溶解特性を有するように選択される。
セラミックの場合、好ましい溶媒は水であるが、不溶性残留物および/または前
駆体の溶解度を抑制するために非水系溶媒が必要な場合がある。溶解させるべき
逃散性構成成分は極性組成物である場合が多いことから、通常は溶媒は極性であ
る。代表的には、セラミックのナノサイズ粉末を形成するのに好適な溶媒は、特
定のセラミック酸化物を溶解させる極性液であり、本発明の方法におけるその特
定の酸化物は逃散性構成成分である。以下にさらに詳細に説明するように、好ま
しい溶媒は水および酸である。金属のナノサイズ粉末の場合、選択的溶媒は代表
的には、逃散性金属と反応しそれを溶解するが不溶性金属については反応・溶解
を行わない酸である。酸に代えて、SO3、N25、CO2またはHClなどの酸
ガスを用いて、逃散性構成成分との反応およびそれの除去を行ってもよい。
【0020】 前駆体形成に使用し得る好適ないかなる方法も想到される。例えば、前駆体が
混合セラミックである場合、粉末混合物に対して好適な高温処理を行うことが好
適である。金属粉末用の前駆体も同様に、合金形成方法または粉末冶金法などの
好適な合金または金属間化合物を生産するのに好適な方法によって形成される。
【0021】 次に、残留する不溶性構成成分から溶媒を除去する。逃散性構成成分を除去す
ると、不溶性構成成分はナノサイズ粒子の形を取る。溶媒の除去は、堆積、遠心
、濾過、風乾またはそれらの組合せなどの従来の方法によって行うが、これらに
限定されるものではない。溶媒はまた、水系溶媒のアルコールとの置換などの別
の液体によるその溶媒の置換と、それに続く置換液体からの粉末の分離とによっ
て除去することもできる。置換液の使用は、乾燥時の粉末の集塊を防止する上で
望ましい場合がある。
【0022】 生成物は不溶性構成成分と化学的に同じである。本発明の方法は、Al23
CeO2、ZrO2、TiO2、V25、希土類(RE)酸化物ドープCeO2およ
びREドープもしくはY23ドープZrO2のナノサイズ粉末を合成するのに特
に好適である。
【0023】 (発明の詳細な説明) 前駆体粉末の合成 本発明は、多くの種類の粉末の合成に好適である。以下の説明は特定の材料に
限定されているが、本発明が他の粉末に適用可能であることは当業者には明らか
であろう。説明に関して、希土類(RE)ドープCeO2およびY23ドープZ
rO2を例として用いている。Y23ドープZrO2には、酸素センサー、電極の
構成要素としての固体酸化物燃料電池ならびに構造セラミックなどの多くの用途
がある。REドープCeO2は、酸素分離膜、燃料電池ならびに触媒反応に用途
がある。
【0024】 代表的な前駆体粉末は、従来の処理法を用いて合成することができる。例えば
本発明によるナノサイズRE23ドープCeO2の合成の場合、前駆体はBaC
(1-x)REx(3-δ)であり得る。その前駆体は、BaCO3、RE23および
CeO2を粉末の形で用い、試薬粉末を混和し、1250℃で焼成することで合
成される。同様の手順をY23ドープZrO2などの他の材料に使用することが
できる。他の例には、Ce1-xREx2-δもしくはBaZr1-xREx3-δの最
終ナノサイズ粉末組成用のBaCe(1-x)REx3-δまたはSrCe1-xREx 3-δ 前駆体またはZr1-xREx2-δのナノサイズ粉末組成用のBaZr1-x
x3-δ前駆体などがある。REは希土類金属またはYであり、xは0〜約0
.25であり、δは0〜約0.13である。
【0025】 前駆体からのナノサイズ粉末の合成 前駆体からのナノサイズ粉末の合成では、所望の成分を残留させる選択的溶媒
への前駆体の曝露を行う。以下のアプローチを使用することができる。 (a)水との反応 (b)HNO3、HCl、H2CO3およびH2SO4などの希酸との反応 (c)極性の非水系溶媒中でのCO2およびSO3との反応 (a)水との反応 水は理想的な溶媒である。また、多くの場合、アルカリ水酸化物またはアルカ
リ土類水酸化物形成の熱力学が有利である。しかしながらいくつか複雑化する要
因があり、詳細には多くの元素が水酸化物を形成し、乾燥段階中に集塊の危険性
がある。例えばZrO2の合成では、望ましくないZr(OH)4が形成される可
能性がある。しかしながら、前駆体としてNa2ZrO3を用いると、Zr(OH
4を形成することなく水との反応を容易に行うことができる。集塊の可能性は
、溶媒和後に水をアルコールに置き換えることで抑制することができる。
【0026】 (b)酸との反応 多くの場合、水との反応は有利ではない。例えば水とBaZrO3との反応に
よるZrO2およびBa(OH)2の形成は有利ではない。しかしながら表Bに示
したように、BaZrO3とHNO3もしくはN25との反応によるBa(NO3
2およびZrO2の形成は有利である。さらにBa(NO32は水中で妥当な溶
解度を有する。反応物としてHNO3を用いると、Zr(OH)4の形成が抑制さ
れる。集塊を起こす傾向は、水をアルコールその他の高蒸気圧有機液体と置き換
えたり、あるいは超臨界条件下で乾燥することで抑えることができる。静電相互
作用または立体効果に基づいて界面活性剤を用いて集塊を抑制することも、本発
明においては想到される。
【0027】 (c)極性非水系溶媒中での非水系電解質−反応性ガスとの反応 このアプローチは、目的が集塊を最小限としながらナノサイズ粉末を合成する
ことであるときに、水の使用を排除する酸化生成物の水酸化物が生成する傾向が
ある場合に好適である。そのような場合、非水系極性液体の使用が必要となる場
合がある。表Cには、非水系電解質に用いられる非水系溶媒をいくつか挙げてあ
る。溶媒として用いられる極性液体も、例えばCO2、SO3、SO2またはN2 3 などであり得る反応性ガスに関して妥当な溶解度を持たなければならない。
【0028】 好適な溶媒は、(i)溶媒中での反応性ガスの溶解度、ならびに(ii)生成
する逃散性化合物の溶解度、という基準に基づいて選択される。例えばCO2
たはSO3の場合にはBaCO3またはBaSO4である。前駆体粉末(例:Ba
GdxCe(1-x)(3-δ);x=0〜0.25、δ=0〜0.13)とガス(CO 2 またはSO3)との間の接触を多くするため、粉末の懸濁液にガスを吹き込みな
がら、その懸濁液を例えば常時撹拌によって撹拌することが好ましい。さらに、
例えば水冷冷却器を用いることで、溶媒蒸気を回収し、リアクターに戻すことも
好ましい。
【0029】 ナノサイズ粉末合成の反応速度の機構 ナノサイズ粉末形成の反応速度は、所望のものに対する前駆体および溶媒を選
択する上で考慮すべき要素である。表Bのデータは、ある所定の反応の発生につ
いての熱力学的基礎を提供するものである。ある反応が望ましくない競争反応よ
り有利であると仮定すると、その反応の速度は重要な検討事項である。図1に示
した反応の概略図を参照すると、反応の速度は可溶性反応物および生成物の輸送
によって決まることが容易にわかる。全体的な反応機構には、(a)形成された
多孔層を通って前駆体と生成物とを分離する界面へのN25、CO2もしくはS
3などの溶解反応性ガス(またはそれぞれの酸)の輸送、(b)界面での反応
、(c)界面から多孔層を通って浴へのBa(NO32、BaCO3またはBa
SO4などの溶解副生成物の輸送という工程が関与するものと予想される。全体
的な反応速度は、これら3つの要素すべての影響を受けると考えられ、いずれか
最も遅い段階が律速となり得る。反応性ガスの溶解度は圧力の関数であり、圧力
が高いほど溶解度が高くなる。界面で起こる実際の反応の速度と多孔層を通る輸
送のいずれも、溶解した反応物化学種の濃度の関数であり、その濃度が高いほど
反応速度は大きくなり得る。しかしながら、界面での反応の温度依存性は一般に
、溶解した化学種の輸送のものとは異なる。多孔体を通る輸送についての公知の
理論モデルをこの分析では用いることができる。
【0030】 粒子成長の傾向 他のナノサイズ粉末合成法に対する本発明の長所は、オストワルド成長または
沈殿によって粒子成長が起こる傾向が無視できるという点である。その理由は、
前駆体と所望の生成物のいずれもが溶媒に溶けないためである。例えば、BaC
eO3とCeO2はいずれも水に不溶であり、浸出可能なBa(OH)2のみが水
に可溶である。生成物はナノサイズであることから、その溶解度はバルク材料よ
り高い可能性があると言える。例えば、溶解性の低い化学種の溶解度は、以下の
式によってその化学種の粒径に関係することが知られている。
【0031】
【数1】 式中、C(∞)はバルク溶解度(半径の大きい粒子)であり、C(r)は半径
rの粒子の溶解度であり、γは粒子−溶媒界面エネルギーであり、Ωは粒子の分
子体積であり。k’Bはボルツマン定数であり、Tは絶対温度である。各種パラ
メータについて、粒子半径r:約2nm、界面エネルギーγ:約0.5J/m2
、分子体積Ω:約0.125nm3(125Å3)および温度T=350°K、そ
して比C(r)/C(∞)が約3.6であると仮定する。それは、C(∞)がか
なり低い限りにおいて、ナノサイズ粒子であっても、溶解度上昇はオストワルド
成長を引き起こすほど大きくないことを示している。そこで、粒子成長は無視で
きる程度であるはずである。
【0032】 粉末の焼結挙動 本発明によって合成されるナノサイズ粉末の焼結(高密度化)挙動により、低
温での高密度化と、それによるさらに微細な微小構造が生じると予想される。 焼結体の特性決定 ナノサイズ粉末から製造される焼結体の粒径は、従来のセラミック粉末から得
られたものより小さいはずである。非常に微小粒となったセラミックは、高温で
の超塑性および低温での高強度などの興味深い性質をしばしば示すことが知られ
ている。
【0033】 金属粉末 本発明はまた、金属前駆体および選択的溶媒を適切に選ぶことで、金属粉末の
合成にも適用可能である。例えば、実際にはライン(line)化合物BaPdであ
るBaとPdの等モル合金の前駆体を用いて、Pd粉末の合成を行うことができ
る。合金は、アーク融解または粉末冶金法によって製造することができる。次に
、粉末合金を希HCl中で処理してBaを除去することで、ナノサイズPdを形
成する。
【0034】 大量のナノサイズ粉末合成への好適性 ナノサイズ粉末合成のための本発明の方法は簡単であり、化学的浸出法を用い
ることで調整することができる。特に溶媒として水を用いる場合、その方法では
特殊な装置や特殊な前駆体は必要ない。前駆体は、簡単な焼成法または合金製造
法によって得ることができる。前駆体の最初の粒径はあまり小さいものでなくと
も良い。最後にその方法は、広範囲の材料に利用可能である。そこでこの方法は
、大量の材料生産に向けた大規模化に容易に適合させることができる。
【0035】 要約すると、各種材料のナノサイズ粉末は通常、粒子核上での原子ごとまたは
分子ごとの付加によって粒子が構築される、分子合成に属すると分類できる1以
上の方法によって製造される。本発明の方法は、大きい粒径の前駆体を原料とし
、望ましくない化学種を化学的に浸出除去することで残留物としてナノサイズ粉
末を製造する、分子分解に基づいたものである。本発明の方法によって、均一な
組成および粒径のナノサイズ粒子が得られる。本発明においては、前駆体も生成
物も反応媒体には不溶である。その結果、粒子粗雑化は起こらないと予想される
【0036】 実施例 以下、2つの実施例、すなわちナノサイズCeO2およびZrO2の合成を用い
て、本発明の実施についての一般的アプローチを説明する。 実施例I ナノサイズCeO2の合成 原料の前駆体は、BaCeO3などのセリウム酸のアルカリ土類化合物の一つ
とすることができる。
【0037】 BaCeO3+H2O→Ba(OH)2+CeO2 室温でのこの反応の標準的な自由エネルギーは−189.79kJ/molで
あり、その反応が有利であることを示している。分子当たりのCeO2の体積は
約77Å3であり、長さ寸法は(体積の立方根で)4.25Åである。BaCe
3の分子当たりの体積は約85Å3であり、長さ寸法は4.4Åである。従って
、BaOをBa(OH)2として浸出除去すると、元のBaCeO3の体積変化は
((85−77)/85)×100すなわち9.4%であるか、あるいは長さ寸
法における変化は((4.4−4.25)/4.4)×100すなわち3.4%
である。図1には、H2Oと反応してBa(OH)2を形成する粒子11を示して
いる。形成されたBa(OH)2は水に溶けることから、CeO2の多孔層13が
残る。その層における体積パーセント有孔度は約9.4%であると予想される。
BaCeO3が容易に水と反応することから、その孔は開放されていることが示
唆される。それによって、反応性化学種(この場合はH2O)のCeO2(多孔性
)/BaCeO3(密)界面15への輸送が促進される。その反応は、すべての
BaCeO317が反応して多孔性CeO2が形成されるまで続く。形成されたC
eO2は脆く、破壊して微細なナノサイズ粉末となるはずである。
【0038】 この考え方を検証するため、以下の予備実験を行った。BaCO3、CeO2
よびGd23の粉末を用いて、組成BaGd0.2Ce0.8(3-δ)のGd23ドー
プBaCeO3粉末を合成した。粉末を必要な割合で混合し、24時間ボールミ
ル粉砕した。十分に混和した粉末を乾燥し、1450℃で6時間焼成した。焼成
粉末をボールミル粉砕し、CuKα放射線を用いたX線回折(XRD)によって
調べて、単相ペロブスカイトの存在を確認した(図2(a))。次に、焼成粉末
を水中で2日間煮沸し、微細濾紙を用いて濾過し、水で洗浄してBa(OH)2
を溶解除去し、乾燥し、XRDによって調べた。図2(b)には、相当するXR
D軌跡を示してある。図2(c)にも、入手した状態でのCeO2のXRD軌跡
を示してある。図2(a)および2(b)の比較から、煮沸をするとBaCeO 3 が完全に分解することがわかる。約24℃での鋭いピークは、洗浄時に完全に
除去されていない残留Ba(OH)2によるものである。
【0039】 図2(b)と2(c)の比較から、煮沸時に形成される粉末が実際にCeO2
(恐らくはGdドープされたもの)であることがわかる。両者の間の重要な相違
は、BaCeO3煮沸によって生成した粉末のXRDピークが入手した状態のC
eO2粉末よりかなり広いという点である。シェラー(Scherrer)式を用いると
、形成したセリアの粒径は約4nmと推算される。これは、比較的大きい分子の
原料から開始する分子分解が関与する本発明の方法によって、最初の粉末が非常
に粗い場合であっても微細でナノサイズの粉末が得られることを示している。
【0040】 実施例II ナノサイズZrO2の合成 原料の前駆体は、好適なジルコン酸アルカリまたはアルカリ土類であることが
できる。予備作業では、Na2ZrO3を前駆体として用いた。それを水中で数分
間にわたり簡単に煮沸した。反応は以下の通りである。
【0041】 Na2ZrO3+H2O→ZrO2+2NaOH 熱力学的データは得られていない。しかし、結果について以下に記載する予備
実験作業から、上記の反応が非常に有利であることがわかる。 Na2ZrO3の粉末は販売業者から購入した。粉末約10gを水中で10分間
煮沸した。残留物を濾過し、洗浄し、乾燥した。次に残留物についてCuKα照
射を用いるX線回折(XRD)試験を行った。次に、残留物について多くの熱処
理を行った。以下はその実験の結果である。
【0042】 図3(a)は、入手した状態のNa2ZrO3粉末のXRD軌跡である。鋭いピ
ークは、比較的粗い(少なくとも数十ミクロン以上)粒径を示している。約28
°および31.5°の非常に小さいピークは、入手した状態のNa2ZrO3粉末
中に存在していた少量の単斜晶ZrO2によるものである。
【0043】 図3(b)は、水中での10分間のNa2ZrO3の煮沸、洗浄および乾燥後の
残留物のXRD軌跡である。その軌跡は、元のNa2ZrO3粉末が存在しないこ
とを示している。軌跡は主として2つの非常に広いピークからなる。これらのピ
ークは、立方相のZrO2に属するものである。それらのピークは非常に広く、
各ピークには複数のピークが含まれている。これらの非常に広いピークは、粒径
が非常に小さい(ナノ)ことを示している。起こった反応は以下の通りである。
【0044】 Na2ZrO3+H2O→ZrO2+NaOH 約28°および約31.5°の2つの鋭いピークはやはり、元のNa2ZrO3 粉末中に存在していた少量の単斜晶ZrO2によるものである。 留意すべき点として、3(a)および3(b)での強度スケールは全く異なっ
ており、Na2ZrO3にはほぼ同じ強度を有する単斜晶ピークが存在している。
やはり留意すべき点として、単斜晶ピークの合算のピーク強度は、生成したナノ
サイズZrO2(広いピーク)のものと比較して非常に小さい。最初の単斜晶Z
rO2粒子の若干の成長が、その上への新たなZrO2の堆積(上記の反応によっ
て)によって予想される。その単斜晶ZrO2粒子はナノサイズとは考えられず
、観察所見と一致している。
【0045】 図3(c)は、100℃で1.5時間空気中で加熱した後の残留物のXRD軌
跡である。留意すべき点として、その軌跡は図3(b)のものと同様である。 図3(d)は、空気中200℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
ピークはわずかに鋭くなった(ピーク幅は図3(b)および3(c)におけるも
のと比較して、この図では小さい)。これは、粒子がわずかに粗くなったことを
示している。
【0046】 図3(e)は、300℃で空気中1.5時間後における残留物のXRD軌跡で
ある。ピークは鋭くなっただけでなく、残留物の最初の非常に広いピークがさら
に多くのピークに分かれている。最初の単斜晶ZrO2に相当する2本の鋭いピ
ーク以外に、計4本の広いピークが認められる。4本の広いピークは立方晶Zr
2と一致している。それらのピークは、回折角度が大きくなる順に(111)
、(200)、(220)および(311)反射に相当する。
【0047】 図3(f)は、350℃で空気中1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
4本のピークはわずかに鋭くなっている。 図3(g)は、400℃で空気中1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
4本のピークは一層鋭くなっている。
【0048】 図3(h)は、500℃で空気中1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。 図3(i)は、600℃で空気中1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。 図3(c)〜3(i)における対応するXRD軌跡は、残留物をより高温まで
加熱するにつれて、立方晶ジルコニアが形成されることを示している。低温での
ZrO2の安定な相は単斜晶である。上記の方法による非常に微細な(ナノサイ
ズ)ZrO2の形成によって、表面エネルギーの考慮により(γ立方晶<γ単斜
晶(γは個々の多形体の表面エネルギーを表す))、立方晶ZrO2の安定化に
つながる。この実験から、(1)Na2ZrO3を用いて、ナノサイズZrO2
合成することができ、(2)形成されたナノサイズZrO2が立方晶構造のもの
であることが明らかになった。
【0049】
【数2】 粒径dを、ピーク広がりB、回折角度θおよびX線波長λと関連づける上記シ
ェラー(Scherrer)式を用いて、その後の加熱処理温度の関数としてのZrO2
の粒径を計算した。熱処理の関数として計算された粒径を表Aに示す。
【0050】
【表1】 以上の2つの実施例は、ナノサイズ酸化物粉末の合成についての本発明のアプ
ローチおよび可能性を示している。
【0051】 以上の例は、BaCeO3からBa(OH)2としてBaOを、Na2ZrO3
らNaOHとしてNa2Oを浸出除去することで、それぞれナノサイズのCeO2 およびZrO2を製造できることを示している。概して、他の各種反応性化学種
も用いることができる。例として、BaAl24を原料とし、下記式の反応によ
ってそれとHNO3との反応によるAl23の形成について検討する。
【0052】 BaAl24+2HNO3→Ba(NO32+H2O+Al23 室温での上記反応についての自由エネルギーは−255.35kJ/molで
ある。BaO除去時の体積変化は約59%であり、長さ寸法変化は約17%であ
る。留意すべき点として、この場合の体積パーセント有孔度はBaCeO3→C
eO2変換の場合よりかなり高く、その反応は容易に進行すると考えられる。概
して、所望の最終生成物の単位量当たり浸出除去されるべき材料の量が多くなる
ほど、粒径が小さくなるはずである。その文脈において、Al23 1分子を形
成するのにBaO 3分子を除去しなければならないことから、前駆体としては
Ba3Al26が優れている。
【0053】 Ba3Al26+6HNO3→3Ba(NO32+Al23+3H2O この反応についての室温での標準自由エネルギーは−884.15kJ/mo
lであり、その反応が有利であることを示している。形成されるAl231分子
当たりの体積変化パーセントはBaAl24より大きく、有孔度が高くなり、反
応速度が大きくなる可能性があり、粒径が小さくなる可能性があることを示唆し
ている。反応物としてH2CO3を用いても、同様の反応が考えられる。しかしな
がら、BaCO3は水中で無視できる程度の溶解度を有する。反応物をHNO3
用いると、いくつかの反応が可能性がある。本発明者らの研究室でそのように奏
功したものは、下記式で与えられるMgTiO3とHNO3との反応によるMg(
NO32とTiO2との形成である。
【0054】 MgTiO3+2HNO3→Mg(NO32+TiO2+H2O 上記の反応は室温で熱力学的に有利である。さらに、Mg(NO32は水溶性
である。MgTiO3を希HNO3中で11時間煮沸する予備実験を行った。反応
は完結し、得られたTiO2はXRDピーク拡大によって判断すると実際にナノ
サイズであった。XRD軌跡は簡略を期してここでは示さない。
【0055】 以上の議論は、HNO3と前駆体粉末との反応についてのものであった。対応
する反応の標準自由エネルギーの大きさ(|ΔG0|でΔG0<0)は通常HNO 3 の場合よりH2SO4の場合の方が大きいことから、H2SO4を用いることも可
能であり、有利である。SO3使用の例として、Na427を原料とする、NO x 還元での触媒として使用されるV25の合成について検討する。SO3との反応
は下記式によって与えられ、室温での標準自由エネルギーは−326.4kJ/
molで与えられる。
【0056】 Na427+2H2SO4→2Na2SO4+V25+2H2O Na2SO4も、当然のことながら水を含む多くの極性液体中でかなり溶解度が
高い。さらに、Na427が存在する限り、VOSO4は形成されない。 上記の段落では、溶媒としての水中でのいくつかの反応について説明している
。場合によっては、溶媒として水を使用することで、例えばAl(OH)3など
の水酸化物が形成される場合がある。そのような場合、酸に代えて好適な反応物
を個々のガスとすることができる。例えばHNO3に代えてN25、H2SO4
代えてSO3とし、非水系の極性溶媒とすることができる。非水系溶媒を用いる
ことの利点は、水を除去するために加熱しなければならないために集塊および粗
粒化の危険を生じるAl(OH)3が形成される可能性がないという点である。
他の溶媒の可能な用途について以下に説明する。表Bには多くの酸化物粉末を形
成する上で可能な反応をいくつか示してある。いずれの反応も、反応性ガス種を
用いて行う。同様のデータが、酸水溶液でも容易に得られる。
【0057】
【表2】 *298Kでの3Na2SO4+Al23→3Na2O+Al2(SO43につい
ての標準自由エネルギーは+1155kJ/molであり、Na2SO4形成の方
がAl2(SO43形成より有利であることを示している。従って、NaAlO2 とSO3との反応は示したように進行するはずである。やはり、この反応は水中
で行うことができることから、Na2SO4については溶解度が高いがNaAlO 2 については無視できる溶媒を確認することが好ましい。それは、粒子を成長さ
せる傾向があると考えられるアルミナ沈殿が形成される可能性があるためである
。NaAlO2の水溶液を用いるアルミナの形成は従来の化学的沈殿プロセスで
あると考えられ、そのような場合には粒子成長を防止するために注意深いパラメ
ータ制御が必要であると予想される。
【0058】 表Bには、反応の標準自由エネルギーがすべて負であって、これらの反応がい
ずれも熱力学的に有利であることを示唆している。Al、TiおよびZrの炭酸
塩、硫酸塩または硝酸塩は対応するアルカリ土類化合物より安定性が低い。前者
について入手し得るは熱力学データはないように思われる。
【0059】 非水系溶媒 各種酸化物とCO2、N25およびSO3との反応による炭酸塩、硝酸塩および
硫酸塩のそれぞれの形成は一般に、水その他の極性液体中で行うことができる。
Ba(NO32は水溶性であるが、BaCO3およびBaSO4は実質的に不溶で
ある。可能な候補液として多くの非水系極性液体がある。使用可能な有望な溶媒
は、(1)反応性ガス、すなわちCO2、SO3またはN25に関して妥当な溶解
度を有していなければならない、(2)BaCO3、BaSO4またはBa(NO 32についてかなりの溶解度を持たなければならないという特徴を有していなけ
ればならない。表Cには、可能な候補液のリストとその物性を示してある。留意
すべき重要な点として、これら液体の沸点は非常に高い。そこで、溶媒が前駆体
や生成物と化学的に反応しない限りにおいて、そのプロセスは広い温度範囲で行
うことができる。さらに、BaCO3、BaSO4またはBa(NO32の溶解度
は温度が高いと大きくならなければならない。しかしながら同時に、液体中での
反応性ガスの溶解度は、温度上昇に伴って低下する。従って、反応速度が最大と
なる好適な至適温度を確認しなければならない。
【0060】
【表3】 本発明の方法を用いて、ドープ粉末を合成することもできる。例えば、所望の
粉末が組成Zr(1-x)x(2-δ)であるY23ドープZrO2である場合、原料
前駆体はBaZr(1-x)x(3-λ)であると考えられる。例えばHNO3との反
応後、得られる粉末はZr(1-x)x(2-δ)であるはずである。別の例は、RE
ドープCeO2(REは希土類)、すなわちCe(1-x)REx(2-δ)であり、そ
れはドープBaCeO3すなわちBaCe(1-x)REx(3-λ)を用いて製造する
ことができる。予備実験では、ナノサイズGdドープCeO2が合成された。
【0061】 上記で説明したように、本発明の方法は多くの場合、溶媒として水を用いて行
うことができる。溶媒として水を用いる場合、相当する水系酸すなわちH2CO3 またはH2SO4またはHNO3を用いることができ、酸の選択は、当然のことな
がら熱力学が有利であると仮定した上で形成される浸出可能な化合物の溶解度に
よって決まる。例えば、HNO3を用いたMgTiO3を原料とするナノサイズT
iO2の合成について示している。さらに、Na427を原料とするV25形成
のように、浸出可能化合物がNa2SO4である場合、H2SO4を酸としなければ
ならない。しかしながら、含バリウム化合物を用いる場合には、HNO3が酸と
して選択される。しかしながら、水を用いる場合には、(i)水酸化物形成の可
能性がある、(ii)水が存在すると集塊が容易に起こることが明らかになって
いる、という2つの問題があり得る。それは、水を別の溶媒で置き換えることで
、ないしは超臨界乾燥によって回避することができる。前駆体としてBaCe(1 -x) REx(3-λ)を原料とするREドープCeO2の合成の場合、水酸化セリウ
ムが容易に形成されないことから、水は理想的な溶媒である。前述の予備実験で
は実際に、水系媒体中でナノサイズセリアを形成できることが明らかになってい
る。
【0062】 実施例III ナノサイズ金属粉末の合成 本発明は、好適な金属間化合物を前駆体として用いることができる場合には、
ナノサイズ金属粉末の合成にも有用なはずである。前駆体として用いることがで
きる二元化合物または三元化合物が多くある。例としては、ナノサイズPd合成
の場合に可能な前駆体は、金属間ライン化合物であるBaPdである。可能なア
プローチは、最初に従来の冶金プロセスによりBaPdを製造する工程と次にそ
れを酸(例:HCl酸)と反応させる工程から成る。
【0063】 BaCl2+Pd→Ba+PdCl2 上記反応についてのΔG0が正であることは容易に示され、形成すべき最初の
化合物がBaCl2であることが示唆される。形成されたBaCl2は水に溶けて
、ナノサイズPd粉末を形成する。そうして形成されたPd粉末はナノサイズで
あり、Pdが水中で無視できる程度の溶解度しか持たないことから、ナノサイズ
のままのはずである。従って、HCl濃度が低く、HClと反応すべきBaPd
がある、すなわちHClと反応するBaがある限り、PdCl2は形成されない
。留意すべき点として、このプロセスはPdCl2の還元によるPdの合成とは
異なる。PdCl2の還元によるPdの合成の場合、溶液中のPdCl2が還元剤
(例:アルカリ金属ホウ化水素)と反応すると、すでに形成されたPd粉末上へ
のPdの堆積が継続的に生じることから、Pdの粒子成長が容易に起こる。その
ような場合、実験条件を注意深く制御して、粒子成長を防止しなければならない
。それとは対照的に、本発明の方法によれば、粒子成長は無視できる程度でナノ
サイズのPd形成を容易に行うことができるはずである。
【0064】 他のナノサイズ粉末合成方法に対する本発明の方法の長所 1)分子レベルまたは原子レベルでの均一混合 最初の均一固体溶液または化合物からの望ましくない構成成分の浸出によって
粉末が製造されることから、残った構成成分を十分に混和しなければならない。
例えば、BaCe(1-x)Gdx(3-δ)を原料とするGd23ドープCeO2の合
成では、最初の固溶体が均一であることから、GdおよびCeは十分に混和され
ると予想される。
【0065】 2)狭い粒子径分布 除去される構成成分(例:Ba)は規則的で周期的に分布していることから、
BaをBa(OH)2またはBa(NO32として除去すると、分子レベルの亀
裂や割れ目が形成されないと考えられる。従って、均一な粒径となる。
【0066】 3)従来の化学合成とは異なるナノサイズ粒子の無視できる成長 本発明で得られるナノサイズ粒子は、使用される液体媒体に実質的に不溶であ
り、前駆体も同様である。従って、溶液中での前駆体反応による不溶性生成物の
形成、すなわち溶液中でのFe(II)およびFe(III)クロライドからの
不溶性Fe34の形成に基づく従来の化学合成アプローチとは異なり、成長は起
こらないと考えられる。そのような場合、粒子の成長は容易に起こり得る。
【0067】 以上、ある特定の実施態様および実施例を参照して本発明について説明したが
、本発明の範囲および精神を逸脱しない限りにおいて多くの変更が可能であるこ
と、ならびに特許請求の範囲で記載されている本発明は、本発明の精神から逸脱
しない本発明のすべての変更および修正を包含するものであることは、当業者に
は明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の方法を説明する反応を示す模式図である。
【図2a】単相ペロブスカイト型前駆体材料(GdドープBaCeO3)の
XRD(X線回折)軌跡である。
【図2b】水中で2日間にわたって煮沸した後の図2(a)の材料のXRD
軌跡であって、ナノサイズCeO2への変換を示している。
【図2c】比較のための粗い(ナノサイズではない)CeO2粉末のXRD
軌跡である。
【図3a】入手した状態での前駆体(非ナノサイズ)Na2ZrO3粉末のX
RD軌跡である。
【図3b】図3(a)のNa2ZrO3を水中で10分間煮沸した後の残留物
のXRD軌跡である。
【図3c】は、空気中で100℃で1.5時間加熱した後の図3(c)から
のNa2ZrO3の煮沸からの残留物についてのXRD軌跡である。
【図3d】200℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
【図3e】300℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
【図3f】350℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
【図3g】400℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
【図3h】500℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
【図3i】600℃で1.5時間後の残留物のXRD軌跡である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C01G 25/02 C01G 25/02 4K017 31/02 31/02 37/02 37/02 C04B 35/626 C04B 35/00 A (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML, MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K E,LS,MW,SD,SL,SZ,TZ,UG,ZW ),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU, TJ,TM),AE,AL,AM,AT,AU,AZ, BA,BB,BG,BR,BY,CA,CH,CN,C U,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,GB,GD ,GE,GH,GM,HR,HU,ID,IL,IN, IS,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LC,L K,LR,LS,LT,LU,LV,MD,MG,MK ,MN,MW,MX,NO,NZ,PL,PT,RO, RU,SD,SE,SG,SI,SK,SL,TJ,T M,TR,TT,UA,UG,US,UZ,VN,YU ,ZA,ZW (72)発明者 ヴァーカー、アニル ヴァスデオ アメリカ合衆国 84112−0560 ユタ州 ソルトレイクシティー エス.セントラル キャンパス ドライブ 122 ユニバー シティ オブ ユタ マテリアルズ サイ エンス アンド エンジニアリング ルー ム 304 (72)発明者 ビーデ、サンジーヴァニ ヴィジャダー アメリカ合衆国 70006 ルイジアナ州 メタリ ケント アベニュー 3400 アパ ートメント エヌ304 Fターム(参考) 4G030 AA11 AA12 AA14 AA17 AA19 AA21 AA22 AA36 CA04 GA01 GA09 GA18 4G047 CA02 CB05 CC03 CD03 4G048 AA02 AB02 AC06 AD03 AE05 4G075 AA27 BB03 BB05 BD16 FB02 FB04 4G076 AA02 AB02 BA24 CA02 CA04 DA01 DA07 DA25 DA28 4K017 AA03 CA08 EK04

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ナノサイズ粉末の形成方法であって、 単相中に逃散性構成成分および不溶性構成成分を含む前駆体セラミック材料を
    形成する工程と、 前記前駆体材料を選択的溶媒と接触させて、逃散性構成成分の溶液と不溶性構
    成成分の残留物とを形成する工程であって;前記前駆体が、逃散性構成成分の溶
    媒溶液および不溶性構成成分の残留物を形成する程度に十分な溶媒との反応性を
    有し;前記前駆体材料および不溶性残留物が、不溶性構成成分を残留物上に堆積
    および沈殿させるには不十分な量の前駆体材料および不溶性残留物が溶液中に存
    在する程度に溶媒に十分に不溶性であり;前記逃散性構成成分が、前記前駆体が
    溶媒と反応して、ナノサイズ粒子の形での不溶性構成成分の残留物上に逃散性構
    成成分の沈殿および堆積を起こすことなく逃散性構成成分の溶液を形成する程度
    に溶媒に十分に可溶である工程と、 前記残留物から選択的溶媒溶液を除去して、不溶性構成成分のナノサイズ粉末
    を形成する工程と から成る方法。
  2. 【請求項2】 前記前駆体がBaCe(1-x)REx3-δまたはSrCe1-x
    REx3-δであり;前記ナノサイズ粉末の組成がCe1-xREx2-δであり;
    REは希土類金属またはYであり、xは0〜約0.25であり、δは0〜約0.
    13である請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記前駆体がBaZr1-xREx3-δまたはBaZr1-x
    x3-δであり;前記ナノサイズ粉末の組成がZr1-xREx2-δであり;R
    Eは希土類金属またはYであり、xは0〜約0.25であり、δは0〜約0.1
    3である請求項1に記載の方法。
  4. 【請求項4】 得られるナノサイズ粉末の組成がAl23である請求項1に
    記載の方法。
  5. 【請求項5】 前記前駆体が、BaAl24、Ba3Al26およびNaA
    lO2からなる群から選択される請求項3に記載の方法。
  6. 【請求項6】 得られるナノサイズ粉末の組成がCr23である請求項1に
    記載の方法。
  7. 【請求項7】 前記前駆体がMgCr24である請求項6に記載の方法。
  8. 【請求項8】 得られるナノサイズ粉末の組成がZrO2である請求項1に
    記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記前駆体がBaZrO3である請求項8に記載の方法。
  10. 【請求項10】 得られるナノサイズ粉末の組成がTiO2である請求項1
    に記載の方法。
  11. 【請求項11】 前記前駆体がMgTiO3またはMg2TiO4である請求
    項10に記載の方法。
  12. 【請求項12】 前記不溶性構成成分およびナノサイズ粉末の組成がV25 である請求項1に記載の方法。
  13. 【請求項13】 前記前駆体がNa427である請求項12に記載の方法
  14. 【請求項14】 前記選択的溶媒が水である請求項1に記載の方法。
  15. 【請求項15】 前記選択的溶媒が酸である請求項1に記載の方法。
  16. 【請求項16】 前記酸が、HNO3、HCl、H2CO3およびH2SO4
    らなる群から選択される請求項15に記載の方法。
  17. 【請求項17】 酸ガスを用いて前記酸を前記前駆体と接触させる請求項1
    5に記載の方法。
  18. 【請求項18】 前記酸がSO3、N25、CO2またはHClである請求項
    17に記載の方法。
  19. 【請求項19】 前記選択的溶媒が、非水系極性溶媒中に溶けた反応性ガス
    である請求項1に記載の方法。
  20. 【請求項20】 前記極性溶媒が、ホルムアミド、N−メチル−アセトアミ
    ド、N−メチル−ホルムアミド、N−メチル−プロピオンアミド、プロピレンカ
    ーボネートおよびエチレンカーボネートからなる群から選択され;前記反応性ガ
    スがCO2、SO3、SO2およびN25からなる群から選択される請求項19に
    記載の方法。
  21. 【請求項21】 ナノサイズ金属粉末の形成方法であって、 単相中に逃散性金属構成成分および不溶性金属構成成分を含む前駆体セラミッ
    ク材料を形成する工程と、 前記前駆体材料を選択的溶媒と接触させて、逃散性構成成分の溶液と不溶性構
    成成分の不溶残留物とを形成する工程であって;前記前駆体が、逃散性構成成分
    の溶媒溶液および不溶性構成成分の残留物を形成する程度に十分な溶媒との反応
    性を有し;前記前駆体材料および不溶性残留物が、不溶性構成成分を残留物上に
    堆積および沈殿させるには不十分な量の前駆体材料および不溶性残留物が溶液中
    に存在する程度に溶媒に十分に不溶性であり;前記逃散性構成成分が、前記前駆
    体が溶媒と反応して、ナノサイズ粒子の形での不溶性構成成分の残留物上に逃散
    性構成成分の沈殿および堆積を起こすことなく逃散性構成成分の溶液を形成する
    程度に溶媒に十分に可溶である工程と、 前記残留物から選択的溶媒溶液を除去して、不溶性構成成分のナノサイズ粉末
    を形成する工程と から成る方法。
  22. 【請求項22】 前記前駆体が合金または金属間化合物である請求項21に
    記載の方法。
  23. 【請求項23】 前記前駆体がPaPdである請求項21に記載の方法。
  24. 【請求項24】 前記選択的溶媒が酸である請求項21に記載の方法。
  25. 【請求項25】 前記選択的溶媒がHClである請求項21に記載の方法。
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