JP2002515107A - 一体型ガスパネル用組立ブロック - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.複数の相互連結されたブロックを具備するガスパネルであって、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートであって、第1 の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第1のポートを前記第3のポートに連結する第1の通路と、 前記第2のポートを前記第4のポートに連結する第2の通路と、 を具備する第1のブロックと、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートであって、前記 第1の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第4の面に形成される第5のポートと、 前記第1のポートを前記第3のポートに連結する第1の通路と、 前記第2のポートと前記第4のポートと前記第5のポートとを連結する第2 の通路と、 を具備する第2のブロックと、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポート、第2のポートおよび第3のポート であって、第2の位置関係を有する第1のポート、第2のポートおよび第3のポ ートと、 前記第2の面に形成される第4のポートと、 前記第3の面に形成される第5のポートと、 前記第4の面に形成される第6のポートと、 前記第5のポートと前記第3のポートとを連結する第1の通路と、 前記第6のポートと前記第2のポートとを連結する第2の通路と、 前記第4のポートと前記第1のポートとを連結する第3の通路と、 を具備する第3のブロックと、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートであって、前記 第1の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第4の面に形成される第4のポートと、 前記第1のポートと前記第3のポートとを連結する第1の通路と、 前記第2のポートを前記第4のポートに連結する第2の通路と、 を具備する第4のブロックと、 を具備するガスパネル。 2.第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと、 前記第2の面に形成される第2のポートと、 前記第1のポートを前記第2のポートに接続する通路と、 を具備する第5のブロック、 をさらに具備する請求項1記載のガスパネル。 3.第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと、 前記第2の面に形成される第2のポートと、 前記第3の面に形成される第3のポートと、 前記第1のポートと前記第2のポートと前記第3のポートとを接続する通路 と、 を具備する第6のブロック、 をさらに具備する請求項1記載のガスパネル。 4.第1の面と、 第2の面であって、前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと、 前記第2の面に形成される第2のポートと、 前記第1のポートを前記第2のポートに接続する通路と、 を具備する第7のブロックであって、前記第7のブロックの前記第1の面は前 記第5のブロックの前記第1の面よりも大きな表面積を有する第7のブロック、 をさらに具備する請求項1記載のガスパネル。 5.前記第1のブロックの前記第1の面と、前記第2のブロックの前記第1の 面と、前記第4のブロックの前記第1の面とは同一である請求項1記載のガスパ ネル。 6.前記第1のブロックの前記第2の面および前記第3の面と、前記第2のブ ロックの前記第2の面および前記第3の面と、前記第3のブロックの前記第2の 面および前記第3の面とはすべて同一である請求項1記載のガスパネル。 7.前記第1のポート構成は前記第1のブロックの前記第1のポートと前記第 2のポートとをさらに含み、前記第2のブロックの前記第1のポートおよび前記 第2のポートと、前記第4のブロックの前記第1のポートおよび前記第2のポー トとは、前記第2のポートが前記第1の面の中心に置かれ且つ前記第1のポート が前記第2のポートの中心から0.315インチ外れて置かれるように位置決め される請求項1記載のガスパネル。 8.前記第1のブロックの前記第3のポートおよび前記第4のポートと、前記 第2のブロックの前記第3のポートおよび前記第4のポートと、前記第3のブロ ックの前記第4のポートおよび前記第5のポートとは、それぞれ前記第2の面お よび前記第3の面に対して、各々対称的に位置決めされる請求項1記載のガスパ ネル。 9.第1の端プレートをさらに具備し、前記第1の端プレートはガススティッ クまたはマニホルド通路に連結され、前記第1の端プレートは、前記ガススティ ックまたはマニホルド通路を外部ガスシステムへ真っ直ぐに直通連結する請求項 1記載のガスパネル。 10.第2の端プレートをさらに具備し、前記第2の端プレートはガススティ ックまたはマニホルド通路に連結され、前記第2の端プレートは、前記ガスステ ィックまたはマニホルド通路を外部ガスシステムへ直角に連結する請求項1記載 のガスパネル。 11.第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第1のポートと前記第2のポートと前記第4のポートとを接続する通路 と、 を具備する第8のブロック、 をさらに具備する請求項1記載のガスパネル。 12.第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第1のポートと前記第2のポートと前記第3のポートと前記第4のポー トとを接続する通路と、 を具備する第9のブロック、 をさらに具備する請求項1記載のガスパネル。 13.第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第2の面に形成される第1のポートと、 前記第3の面に形成される第2のポートと、 前記第1のポートと前記第2のポートとを接続する通路と、 を具備する第10のブロック、 をさらに具備する請求項1記載のガスパネル。 14.2つの組立ブロックの間に流体連通シールを形成するためのポート構造 物であって、 2つの組立ブロックの間の連結領域で、前記組立ブロック同士の間の流体連通 シールの保全性を改善する要素と、前記組立ブロック同士の間の流体連通シール の信頼性を改善する要素と、 を具備するポート構造物。 15.前記組立ブロック同士の間の前記流体連通チャネルシールの保全性と信 頼性とを改善する前記要素は、前記シールの保全性を改善する可鍛性ガスケット と、前記シールの信頼性を改善する剪断円筒とをさらに具備し、前記剪断円筒は 前記流体連通チャネルを囲んで、円筒形キャビティに挿入され、前記剪断円筒は 前記連結された組立ブロックの両方に形成される請求項14記載のポート構造物 。 16.モジュラー式ガスシステム用の組立ブロックであって、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポート、第2のポートおよび第3のポート であって、第2の位置関係を有する第1のポート、第2のポートおよび第3のポ ートと、 前記第2の面に形成される第4のポートと、 前記第3の面に形成される第5のポートと、 前記第4の面に形成される第6のポートと、 前記第5のポートと前記第3のポートとを連結する第1の通路と、 前記第6のポートと前記第2のポートとを連結する第2の通路と、 前記第4のポートと前記第1のポートとを連結する第3の通路と、 前記組立ブロックの前記第1の面に装着される機能部品であって、前記組立 ブロックの前記第1のポートと前記第2のポートとの間に直接流体連通路を形成 し、前記組立ブロックの前記第2のポートと前記流体連通路との間に弁を設けた 機能部品と、 を具備する組立ブロック。 17.前記機能部品は第1、第2および第3のポートをさらに具備し、前記機 能部品の前記ポートの各々は前記組立ブロックの前記第1の面の前記ポートの1 つとのみに合致する請求項16記載の組立ブロック。 18.前記機能部品は1つのポートをさらに具備し、前記ポートは、前記組立 ブロックの前記第1の面の前記ポートの3つをすべて囲み、前記組立ブロックは 前記第1の面に窪んだキャビティを有し、前記機能部品は前記窪んだキャビティ 内に位置する請求項16記載の組立ブロック。 19.孤立基部ブロックと、 上流制御基部ブロックと、 下流制御基部ブロックと、 マニホルド制御基部ブロックと、 ブラインド基部ブロックと、 フロースルーマニホルドブロックと、 エルボマニホルドブロックと、 を具備するモジュラー式組立ブロックのセット。 20.前記上流制御基部ブロックと前記下流制御基部ブロックとは、同一の物 理的ブロックであり、前記上流制性能と前記下流制御性能とは、前記物理的ブロ ックの配置に依存する請求項19記載のモジュラー式組立ブロックのセット。 21.少なくとも1本の管路線と少なくとも1本のマニホルド線とであって、 前記管路線は複数の管路線ポートを有し、前記マニホルド線は複数のマニホルド 線ポートを有する管路線およびマニホルド線と、 孤立組立ブロックであって、複数の機能部品ポートを有し、第1の管路線ポー トと第1の機能部品ポートとの間に流体流れを誘導することができ、第2の管路 線ポートと第2の機能部品ポートとの間に流体流れを誘導することができる孤立 組立ブロックと、 上流/下流組立ブロックであって、複数の機能部品ポートを有し、第3の管路 線ポートと第1の機能部品ポートと第1のマニホルドポートとの間に流体流れを 誘導することができ、第4の管路線ポートと第2の機能部品ポートとの間に流体 流れを誘導することができる上流/下流組立ブロックと、 マニホルド制御組立ブロックであって、複数の機能部品ポートを有し、第5の 管路線ポートと第1の機能部品ポートとの間に流体流れを誘導することができ、 第2のマニホルド線ポートと第2の機能部品ポートとの間に流体流れを誘導する ことができ、第6の管路線ポートと第3の機能部品ポートとの間に流体流れを誘 導することができるマニホルド制御組立ブロックと、 ブラインド組立ブロックであって、複数の機能部品ポートを有し、第3のマニ ホルド線ポートと第1の機能部品ポートとの間に流体流れを誘導することができ 、第7の管路線ポートと第2の機能部品ポートとの間に流体流れを誘導すること ができるブラインド組立ブロックと、 を具備するガスシステム。 22.少なくとも1本の管路線と少なくとも1本のマニホルド線とであって、 前記管路線は複数の管路線ポートを有し、前記マニホルド線は複数のマニホルド 線ポートを有する管路線およびマニホルド線と、 第1の機能組立ブロックであって、第1の管路線ポートと第2の管路線ポート との間の流体流れを制御することができる第1の機能組立ブロックと、 第2の機能組立ブロックであって、第3の管路線ポートと第4の管路線ポート との間の流体流れを制御することができ、第3の管路線ポートと第1のマニホル ド線ポートとの間の流体流れを制御することができない第2の機能組立ブロック と、 第3の機能組立ブロックであって、第5の管路線ポートと第6の管路線ポート との間の流体流れを制御することができず、第2のマニホルド線ポートと、前記 第5の管路線ポートと前記第6の管路線ポートとの間の前記流体流れと、の間の 流体流れを制御することができる第3の機能組立ブロックと、 第4の機能組立ブロックであって、第3のマニホルド線ポートと第7の管路線 ポートとの間の流体流れを制御することができる第4の機能組立ブロックと、 を具備する流体連通システム。 23.第1のブロックの第1の面に連結され、前記第1の面は第1のポート構 成を有する第1の機能部品と、 第2のブロックの第1の面に連結され、前記第2のブロックの前記第1の面は 前記第1のポート構成を有する第2の機能部品と、 を具備するガスパネルシステムであって、 前記第1の機能部品は前記第2の機能部品とは異なるガスパネルシステム。 24.前記第1のブロックの前記第1の面に隣接する前記第1のブロックの第 2の面が、前記第2のブロックの前記第1の面に隣接する前記第2のブロックの 第2の面に連結され、前記第1のブロックの前記第2の面に形成されたポートが 前記第2のブロックの前記第2の面に形成されたポートに流体連通する請求項1 記載のガスパネル。 25.前記第1のブロックの前記第2の面と前記第2のブロックの前記第2の 面とは同一である請求項2記載のガスパネル。 26.前記第1のブロックの第3の面に連結される第3のブロックの第1の面 をさらに具備し、前記第1のブロックの前記第3の面は前記第1のブロックの前 記第1の面とは反対側にあり、前記第3のブロックの前記第1の面に形成された ポートが前記第1のブロックの前記第3の面に形成されたポートに流体連通する ようにされる請求項1記載のガスパネル。 27.前記第3のブロックの前記第1の面に形成された前記ポートは、前記第 1のブロックの前記第3の面に形成された前記ポートに金属圧縮シールによって 連結される請求項4記載のガスパネル。 28.前記第1のポート構成を有する第4のブロックの第1の面に連結される 第3の機能部品と、 前記第4のブロックの第2の面に連結される第5のブロックの第1の面であっ て、前記第4のブロックの前記第2の面は前記第4のブロックの前記第1の面の 反対側にあり、前記第4のブロックの前記第2の面に形成されたポートが前記第 5のブロックの前記第1の面に形成されたポートに流体連通するようにされる第 5のブロックの第1の面と、 をさらに具備し、 前記第5のブロックの前記第1の面に隣接する前記第5のブロックの第2の面 が、前記第3のブロックの前記第1の面に隣接する前記第3のブロックの第2の 面に連結され、前記第3のブロックの前記第2の面に形成されたポートが前記第 5のブロックの前記第2の面に形成されたポートに流体連通するようにされる請 求項4記載のガスパネル。 29.前記第3のブロックの前記第2の面は前記第5のブロックの前記第2の 面に同一である請求項6記載のガスパネル。 30.前記第1のブロックの前記第1の面と前記第2のブロックの前記第1の 面とは各々実質的に平坦である請求項1記載のガスパネル。 31.前記第1のブロックは複数のボルトによって前記第2のブロックに連結 される請求項1記載のガスパネル。 32.前記第1の部品は弁であり、前記第2の部品は調節器である請求項1記 載のガスパネル。 33.複数の相互連結されたブロックを具備するガスパネルであって、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートであって、第1 の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第1のポートを前記第3のポートに連結する第1の通路と、 前記第2のポートを前記第4のポートに連結する第2の通路と、 を具備する第1のブロックと、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートであって、前記 第1の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第4の面に形成される第5のポートと、 前記第1のポートを前記第3のポートに連結する第1の通路と、 前記第2のポートと前記第4のポートと前記第5のポートとを連結する第2 の通路と、 を具備する第2のブロックと、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートであって、前記 第1の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第3の面に形成される第4のポートと、 前記第4の面に形成される第5のポートと、 前記第1のポートと前記第4のポートと前記第3のポートとを連結する第1 の通路と、 前記第2のポートと前記第5のポートとを連結する第2の通路と、 を具備する第3のブロックと、 第1の面と、 前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面の反対側にある第4の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートおよび第2のポートとであって、前 記第1の位置関係を有する第1のポートおよび第2のポートと、 前記第2の面に形成される第3のポートと、 前記第4の面に形成される第4のポートと、 前記第1のポートと前記第3のポートとを連結する第1の通路と、 前記第2のポートを前記第4のポートに連結する第2の通路と、 を具備する第4のブロックと、 を具備するガスパネル。 34.第1の面と、 第2の面であって、前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと、 前記第2の面に形成される第2のポートと、 前記第1のポートを前記第2のポートに接続する通路と、 を具備する第5のブロック、 をさらに具備する請求項11記載のガスパネル。 35.第1の面と、 第2の面であって、前記第1の面に隣接する第2の面と、 第3の面であって、前記第2の面の反対側にある第3の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと、 前記第2の面に形成される第2のポートと、 前記第3の面に形成される第3のポートと、 前記第1のポートと前記第2のポートと前記第3のポートとを接続する通路 と、 を具備する第6のブロック、 をさらに具備する請求項11記載のガスパネル。 36.第1の面と、 第2の面であって、前記第1の面に隣接する第2の面と、 前記第1の面に形成される第1のポートと、 前記第2の面に形成される第2のポートと、 前記第1のポートを前記第2のポートに接続する通路と、 を具備する第7のブロックであって、前記第7のブロックの前記第1の面は前 記第5のブロックの前記第1の面よりも大きな表面積を有する第7のブロック、 をさらに具備する請求項12記載のガスパネル。 37.前記第1のブロックの前記第1の面と、前記第2のブロックの前記第1 の面と、前記第3のブロックの前記第1の面と、前記第4のブロックの前記第1 の面とは同一である請求項11記載のガスパネル。 38.前記第1のブロックの前記第2の面および前記第3の面と、前記第2の ブロックの前記第2の面および前記第3の面と、前記第3のブロックの前記第2 の面および前記第3の面とはすべて同一である請求項11記載のガスパネル。 39.前記第1のブロックの第1のポートおよび第2のポートと、前記第2の ブロックの第1のポートおよび第2のポートと、前記第3のブロックの第1のポ ートおよび第2のポートと、前記第4のブロックの第1のポートおよび第2のポ ートとは、前記それぞれの第1の面に対して、各々対称的に位置決めされる請求 項11記載のガスパネル。 40.前記第1のブロックの第3のポートおよび第4のポートと、前記第2の ブロックの第3のポートおよび第4のポートと、前記第3のブロックの第3のポ ートおよび第4のポートとは、それぞれ前記第2の面および前記第3の面に対し て、各々対称的に位置決めされる請求項11記載のガスパネル。 41.複数の基部ブロックであって、一緒に連結されて第1の方向で前記基部 ブロックを通る第1のガス路を形成する基部ブロックと、 複数のマニホルドブロックであって、一緒に連結されて前記第1の方向に対す る横方向で前記マニホルドブロックを通る第2のガス路を形成するマニホルドブ ロックと、 を具備するガスパネル。 42.前記複数の基部ブロックは各々、単一の機能部品を取り付けるための同 一の部品相互連結面を有する請求項19記載のガスパネル。 43.半導体デバイスを形成する方法であって、 一緒に連結された複数のブロックによって形成された第1のガス路を通ってガ スを流れさせるステップと、 一緒に連結された第2の複数のブロックによって形成された第2のガス路を通 ってガスを流れさせるステップであって、前記第2のガス路は前記第1のガス路 を横切るステップと、 前記ガスを反応チャンバに流れさせるステップと、 を含む方法。 44.第1の面と前記第1の面に形成される第1のポートとを有する第1のブ ロックであって、前記第1の面は64RAまたはそれより大きい表面仕上げを有 する第1のブロックと、 第1の面と前記第1の面に形成される第1のポートとを有する第2のブロック であって、前記第2のブロックの前記第1の面は64RAまたはそれより大きい 表面仕上げを有し、前記第1のブロックの前記第1のポートが記第2のブロック の前記第1のポートに流体連通するように、前記第1のブロックの前記第1の面 が前記第2のブロックの前記第1の面に対して圧縮される第2のブロックと、 を具備するガスパネル。
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