JP2002359267A - サンドペーパー取付装置 - Google Patents
サンドペーパー取付装置Info
- Publication number
- JP2002359267A JP2002359267A JP2002102785A JP2002102785A JP2002359267A JP 2002359267 A JP2002359267 A JP 2002359267A JP 2002102785 A JP2002102785 A JP 2002102785A JP 2002102785 A JP2002102785 A JP 2002102785A JP 2002359267 A JP2002359267 A JP 2002359267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sandpaper
- mounting
- dummy wafer
- roller
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 244000137852 Petrea volubilis Species 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
- B24B29/02—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents designed for particular workpieces
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/53796—Puller or pusher means, contained force multiplying operator
- Y10T29/53896—Puller or pusher means, contained force multiplying operator having lever operator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/53961—Means to assemble or disassemble with work-holder for assembly
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
取付できるサンドペーパー取付装置を提供する。 【解決手段】 ダミーウェーハに被取付物を取付けるた
めのサンドペーパー半自動取付装置100は、上面11
2にダミーウェーハが置かれるローディング面114を
有するステージ110と、被取付物を前記ローディング
面114から離れた位置に置くためのサポート手段15
0と、ローディング面114に置かれたダミーウェーハ
の一側から漸進的に被取付物を取付けるためのプレス手
段130とを有する。
Description
ンド(SAND)ペーパーを取付けるための装置に関す
るものであり、さらに具体的には半自動にサンドペーパ
ーを取付できるサンドペーパー取付装置に関するもので
ある。
ーブカード20にはウェーハのパッドに電気的に連結さ
れてウェーハの良/不良を検査するための多数のチップ
22が設けられている。このチップは端の模様を丸く作
り、又、空気と接して酸化される作用を無くすため、図
6のように、サンドペーパー10が取付けられたダミー
ウェーハWを利用してチップの端を研磨する作業が行わ
れていた。
ェーハWにはサンドペーパーが取付けられており、この
サンドペーパーの取付は手作業により行われるので、次
のような問題点が発生する。第1に、ダミーウェーハに
サンドペーパーを取付けた後、容易に接着するようにサ
ンドペーパーの上を紙で擦るが、この過程でサンドペー
パー表面に異物が累積されてサンドペーパーとしての機
能が低下する。第2に、取付過程でサンドペーパーとダ
ミーウェーハとの間に気泡が発生する可能性がある。こ
のような気泡発生は後にプローブカードのチップに衝撃
を与えて不良を誘発させる原因になる。第3に、サンド
ペーパーは取付時、ダミーウェーハ中央に取付けなけれ
ばならないので、作業者の熟練度の違いにより取付不良
が発生する可能性がある。第4に、取付作業には長い時
間が必要とされる。平均的に1枚あたりの取付時間は1分
が必要とされる(この時間は熟達された作業者の場合に
該当する)。第5に、作業者により取付方法が違うの
で、それによる差が発生する。
な従来の問題点を解決するためのものであり、その目的
は、ダミーウェーハにサンドペーパーを容易に取付でき
る新しい形態のサンドペーパー取付装置を提供すること
にある。
めの本発明の特徴によると、ダミーウェーハに被取付物
を取付するための装置は、上面にダミーウェーハが置か
れるローディング面を有するステージと、前記ローディ
ング面に置かれたダミーウェーハの一側から漸進的に被
取付物を取付けるためのプレス手段とを備える。そし
て、好ましくは、前記被取付物を前記ローディング面か
ら離れた位置に置くためのサポート手段を有する。
前記ローディング面の上部を横切って設けられ被取付物
が置かれる少なくとも2つの支持棒と、前記ステージの
互いに対応する両側面に設けられ、前記支持棒の両端が
固定される側板とを有する。そして、前記支持棒に前記
被取付物が付かず容易に滑るように支持棒に設けられる
多数のミニローラーと、前記支持棒に互いに離れて設け
られ、前記被取付物が捩れずに滑って下がるように前記
被取付物の両側をガイドする一対のホルダとを有する。
この一対のホルダは被取付物のサイズにより、前記支持
棒で互いの間の間隔を調節できる。
被取付物が傾いて置かれるよう、前記2つの支持棒を傾
かせて設置することができる。このような本発明で、前
記ステージは前記ローディング面の端部に溝を形成でき
る。そして、ローディング面は前記ステージの上面より
低く形成することができる。
記サポート手段はダミーウェーハに対する被取付物の取
付方向にスライド移動することができる。このため、前
記ステージは、前記プレス手段と前記サポート手段がダ
ミーウェーハに対する被取付物の取付方向にスライド移
動するようにガイドするためのガイドレールが両側面に
設けられる。
ミーウェーハに被取付物を取付けるためのローラーと、
前記ローラーの両端が固定されるブラケットと、前記ロ
ーラーを移動させるためのハンドルとを有する。このロ
ーラーは、所定のクッション性を有する材質からなるこ
とができる。
に変形することができ、本発明の範囲が以下に述べる実
施例により限定されると解釈してはいけない。本発明の
実施例は当業界で平均的な知識を有した者に本発明をよ
り完全に説明するため提供されるものである。従って、
図面での要所の形状等は、より明確な説明を強調するた
めに誇張されたものである。
1から図5に基づいて詳細に説明する。又、これらの図
面で同一な機能を遂行する構成要所に対しては同一な参
照番号を併記する。図1は、本発明の一実施例によるサ
ンドペーパー取付装置を概略的に示す斜視図である。図
2はサンドペーパー取付装置の平面図である。図3はサ
ンドペーパー取付装置の側面図である。
装置100は大きくステージ110、プレス手段130
およびサポート手段150からなる。サンドペーパー1
0を取付けるためのダミーウェーハWは前記ステージ1
10の上面112に形成されたローディング面114に
置かれる。このローディング面114はステージの上面
112より0.6mm低く形成され、ステージの上面1
12にはサンドペーパー10の下側ポジションを合わせ
るための位置確認ライン116が表示されている。そし
て、ステージの上面112にはローディング面114の
端部に引接して4個の溝118が形成されており、この
溝118はダミーウェーハWをローディング面114に
置く作業、又は、持ち上げる作業を容易にするためであ
る。この溝118があることによって、前記ローディン
グ面114からのダミーウェーハWの着脱が容易であ
る。前記ステージ110の両側面113には前記サポー
ト手段150と前記プレス手段130との移動のため、
ガイドレール120が設けられている。
ペーパー10は、前記サポート手段150によりローデ
ィング面114から離れた位置に傾いて置かれ、サンド
ペーパー10の下端は前記ダミーウェーハWの取付面一
側(位置確認ライン)に位置することが望ましい。例え
ば、傾斜角は60°が望ましい。サポート手段150は
2つの支持棒154、側板152、ミニローラー156
および一対のホルダ158を有する。前記側板152は
前記ステージ110の互いに対応する両側面113に各
々設置されたガイドレール120上に設けられる。この
側板152の上端には前記支持棒154の両端が固定さ
れ、支持棒154は前記ローディング面114上部を横
切って設けられる。前記支持棒154には前記サンドペ
ーパー10が付かず、容易に滑るように前記ミニローラ
ー156が設けられる。前記一対のホルダ158は前記
支持棒154に互いに離れて設けられ、その間隔はサン
ドペーパーのサイズ(7inch−12inch)によ
り調節が可能である。ホルダ158は前記支持棒154
と支持棒154との間にサンドペーパーが抜けないよ
う、“├”形に形成されることが望ましい。前記サンド
ペーパー10は、前記一対のホルダ158が両側ポジシ
ョンを合わせてガイドするので、捩れずに正しく、そし
て、前記ミニローラー156により滑るように下がっ
て、ダミーウェーハWの正位置に取付けられる。
10は漸進的にプレス手段130のローラー132によ
り押されながら、前記ダミーウェーハWの取付面一側か
ら漸進的に取付けられる。前記プレス手段130は前記
ステージ110の幅より大きい長さを有するローラー1
32と、前記ローラー132の両端が回転可能に固定さ
れるブラケット134と、ハンドル136とを有する。
前記ブラケット134は前記サポート手段150の側板
152と共に前記ガイドレール120に沿ってスライド
移動するよう、後端部にピボット式に設けられる。ガイ
ドレール上で移動するブラケット134により前記ロー
ラー132が前記ダミーウェーハWの取付面上を転がっ
ていく時、前記支持棒154上に置かれたサンドペーパ
ー10は転がっていくローラー132により前記ダミー
ウェーハWの取付面に漸進的に取付けられる。一方、前
記ガイドレール120には、前記ブラケット134がピ
ボット式に固定された側板152の後端部への移動、即
ちブラケットの移動を制限するストッパー122が設け
られているので、前記ローラー132の移動範囲を制限
できる。前記ローラー132の待機位置で任意移動を遮
るため、前記ステージ110の上面112(ローラーの
直ぐ下)には前記ローラー132を固定するためのロッ
クピン(図示されない)が設けられる。
を有する材質(シリコン又はゴム)からなるので、ダミ
ーウェーハWの取付面にサンドペーパーを圧搾する時、
ダミーウェーハの割れを予防してサンドペーパー10の
取付密度を増加させることができる。
ペーパーに置かれているサポート手段と、このサポート
手段に置かれたサンドペーパーを一側から漸進的にダミ
ーウェーハの取付面に取付けるローラーを有するプレス
手段とを有することにある。図4及び図5はダミーウェ
ーハにサンドペーパーを取付ける過程を説明するための
図面である。図4及び図5を参照すると、先ず、ダミー
ウェーハをステージのローディング面に置く。そしてサ
ンドペーパーを2つの支持棒の上に置く。この時、サン
ドペーパーは下側ポジションをステージに表示された位
置確認実線に合わせ、左/右側ポジションは一対のホル
ダに合わせて置く。このようにダミーウェーハとサンド
ペーパーの取付準備が完了した状態でハンドルを取って
前の方に、即ち図5の矢印方向に押すと、ローラーは側
板と共に移動するブラケットに沿ってダミーウェーハの
取付面上を転がっていき、この時、転がっていくローラ
ーとダミーウェーハとの間に位置したサンドペーパーは
下側からダミーウェーハの取付面に漸進的に均一に取付
けられる。
パーの取付装置の構成及び作用を、前記の説明及び図面
により示したが、これは一例をあげて説明したに過ぎ
ず、本発明の技術的思想を外れない範囲内で、多様な変
化及び変更が可能であることは勿論である。
取付装置は、次のような利点がある。第1に、サンドペ
ーパー表面に異物が累積されない。第2に、サンドペー
パーとダミーウェーハとの間に気泡が発生しない。第3
に、ダミーウェーハの中央にサンドペーパーを取付でき
る。第4に、手作業に比べて作業時間を著しく短縮させ
られる。第5に、作業者の熟練度に構わず、均一な取付
品質を得られる。
を概略的に示す斜視図である。
を示す平面図である。
を示す側面図である。
においてダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過
程を説明するための側面図である。
においてダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過
程を説明するための側面図である。
ップ端を研磨する一般的な作業を示す模式図である。
Claims (16)
- 【請求項1】 ダミーウェーハに被取付物を取付けるた
めのサンドペーパー取付装置において、 上面に前記ダミーウェーハが置かれるローディング面を
有するステージと、 前記ローディング面に置かれたダミーウェーハの一側か
ら漸進的に前記被取付物を取付けるためのプレス手段
と、 を備えることを特徴とするサンドペーパー取付装置。 - 【請求項2】 前記被取付物を前記ローディング面から
離れた位置に置くためのサポート手段をさらに備えるこ
とを特徴とする請求項1に記載のサンドペーパー取付装
置。 - 【請求項3】 前記サポート手段は、 前記ローディング面の上部を横切って設けられ、前記被
取付物が設けられる少なくとも2つの支持棒と、 前記ステージの互いに対応する両側面に設置され、前記
支持棒の両端が固定される側板と、 を有することを特徴とする請求項2に記載のサンドペー
パー取付装置。 - 【請求項4】 前記サポート手段は、前記支持棒に前記
被取付物が付かず容易に滑るように、前記支持棒に設置
される複数のミニローラーをさらに有することを特徴と
する請求項3に記載のサンドペーパー取付装置。 - 【請求項5】 前記サポート手段は、前記被取付物が傾
いて置かれるように前記2つの支持棒が傾いて設置され
ていることを特徴とする請求項3に記載のサンドペーパ
ー取付装置。 - 【請求項6】 前記サポート手段は、前記支持棒に互い
に離れて設置され前記被取付物が捩れずに滑って下がる
ように前記被取付物の両側をガイドする一対のホルダを
さらに有することを特徴とする請求項3に記載のサンド
ペーパー取付装置。 - 【請求項7】 前記一対のホルダは、前記被取付物のサ
イズにより、前記支持棒で互いの間隔を調節可能である
ことを特徴とする請求項6に記載のサンドペーパー取付
装置。 - 【請求項8】 前記ステージは、前記ローディング面か
らの前記ダミーウェーハの着脱を容易にするために、前
記ローディング面の端部に溝が形成されていることを特
徴とする請求項1に記載のサンドペーパー取付装置。 - 【請求項9】 前記ローディング面は、前記ステージの
上面より低く形成されていることを特徴とする請求項1
に記載のサンドペーパー取付装置。 - 【請求項10】 前記プレス手段および前記サポート手
段は、前記ダミーウェーハに対する前記被取付物の取付
方向にスライド移動することを特徴とする請求項2に記
載のサンドペーパー取付装置。 - 【請求項11】 前記ステージは、前記プレス手段およ
び前記サポート手段が前記ダミーウェーハに対する前記
被取付物の取付方向にスライド移動するようにガイドす
るためのガイドレールが両側面に設置されていることを
特徴とする請求項10に記載のサンドペーパー取付装
置。 - 【請求項12】 前記プレス手段は、前記ダミーウェー
ハに前記被取付物を取付けるためのローラーと、前記ロ
ーラーの両端が固定されるブラケットと、前記ブラケッ
トと連結され、前記ダミーウェーハに対する前記被取付
物の取付方向に前記ローラーを移動させるために設けら
れているハンドルとを有することを特徴とする請求項1
1に記載のサンドペーパー取付装置。 - 【請求項13】 前記ローラーは、前記被取付物を取付
ける時の前記ダミーウェーハの割れ防止、ならびに前記
被取付物の取付密度の増加のため、所定のクッション性
を有する材質からなることを特徴とする請求項12に記
載のサンドペーパー取付装置。 - 【請求項14】 前記ガイドレールには前記ローラーの
移動範囲を制限するためのストッパーが設けられている
ことを特徴とする請求項12に記載のサンドペーパー取
付装置。 - 【請求項15】 前記ステージには前記ローラーが最初
の位置に固定されるようにローラーロックピンが設けら
れていることを特徴とする請求項12に記載のサンドペ
ーパー取付装置。 - 【請求項16】 前記ステージには前記被取付物の下端
ポジションを合わせるための位置確認ラインが表示され
ていることを特徴とする請求項1に記載のサンドペーパ
ー取付装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0018968A KR100420118B1 (ko) | 2001-04-10 | 2001-04-10 | 센드 페이퍼 부착 장치 |
KR2001-18968 | 2001-04-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002359267A true JP2002359267A (ja) | 2002-12-13 |
JP4064704B2 JP4064704B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=19708034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002102785A Expired - Fee Related JP4064704B2 (ja) | 2001-04-10 | 2002-04-04 | サンドペーパー取付装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6571448B2 (ja) |
JP (1) | JP4064704B2 (ja) |
KR (1) | KR100420118B1 (ja) |
TW (1) | TW528647B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100641363B1 (ko) | 2005-04-25 | 2006-10-31 | 삼성전자주식회사 | 샌드 페이퍼 부착장치 |
KR100700929B1 (ko) * | 2005-09-26 | 2007-03-28 | 삼성전자주식회사 | 샌드 페이퍼 부착 장치 |
US7874549B2 (en) * | 2007-06-11 | 2011-01-25 | John Dinatale | Cutting/chopping board including operator safety means |
US8707531B1 (en) | 2009-10-22 | 2014-04-29 | Western Digital Technologies, Inc. | Storage device assembly fixture |
CA2843653C (en) * | 2013-05-08 | 2015-04-28 | Zmc Metal Coating Inc. | Apparatus and method for use in making light filtering window shades |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1099822A (en) * | 1912-09-06 | 1914-06-09 | Ira E Sager | Kitchen device. |
US4660282A (en) * | 1985-12-16 | 1987-04-28 | Pfaff Wayne | Method and apparatus for unloading electronic circuit packages from zero insertion force sockets |
GB2276136B (en) * | 1993-03-13 | 1996-04-10 | Adolfo Lee | Roller type rack |
US5401354A (en) * | 1993-09-20 | 1995-03-28 | Colucci; William G. | Multi-purpose clamping apparatus |
US5494553A (en) * | 1993-09-20 | 1996-02-27 | Colucci; William G. | Multi-purpose clamping apparatus |
US5816568A (en) * | 1996-11-12 | 1998-10-06 | Fox; Phillip S. | Component holding system |
US6131261A (en) * | 1998-06-30 | 2000-10-17 | Michlin; Steven Bruce | Arbor press extender device and method |
-
2001
- 2001-04-10 KR KR10-2001-0018968A patent/KR100420118B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-08-13 US US09/927,339 patent/US6571448B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-15 TW TW090128371A patent/TW528647B/zh not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-04-04 JP JP2002102785A patent/JP4064704B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4064704B2 (ja) | 2008-03-19 |
US6571448B2 (en) | 2003-06-03 |
TW528647B (en) | 2003-04-21 |
KR100420118B1 (ko) | 2004-03-02 |
US20020144387A1 (en) | 2002-10-10 |
KR20020078816A (ko) | 2002-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4128343B2 (ja) | ウェーハ・ノッチ研磨機およびウェーハの配向ノッチ研磨方法 | |
JP4053517B2 (ja) | 基板の水平及び上下移送装置 | |
KR100329466B1 (ko) | 액정표시장치용 편광판 부착장치 및 편광판 리워킹 장치와이들을 이용한 편광판 부착방법 및 편광판 리워킹 방법 | |
CN109986434B (zh) | 手机用玻璃边框抛光*** | |
JP2002359267A (ja) | サンドペーパー取付装置 | |
KR20050058856A (ko) | 편광필름 검사장치 | |
US20090255424A1 (en) | Squeegee for printing device, printing device, and printing method | |
KR20020046589A (ko) | 롤 크리닝 장치 | |
KR100784227B1 (ko) | 코일에 공급되는 간지의 균등 삽입 유도장치 | |
CN220463289U (zh) | 一种金属板材毛刺清理装置 | |
CN210866141U (zh) | 一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置 | |
JPH1095100A (ja) | スクリーン印刷用スキージ | |
KR20040016683A (ko) | 더미 웨이퍼로의 샌드 페이퍼 부착 장치 | |
KR101428563B1 (ko) | 셀 자투리 제거장치 | |
CN220296790U (zh) | 一种板材的抛光装置 | |
KR101000943B1 (ko) | 스크라이빙 유닛 및 그 유닛을 구비한 스크라이빙 장치 | |
KR20180122943A (ko) | 압연롤 연마 가공을 위한 센터링 및 진동방지 기능이 있는 초크 지지장치 | |
JP2020003303A (ja) | ガラス板の端部強度検査方法、ガラス板の製造方法、及びガラス板の端部強度検査装置 | |
KR20050111737A (ko) | 압연 설비의 압연 제품용 검사 시스템 | |
CN212496836U (zh) | 一种无心磨床的托针定位装置 | |
CN216577002U (zh) | 一种板材加工用打磨装置 | |
JP2006069064A (ja) | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 | |
JP6127644B2 (ja) | 移載装置 | |
KR100851190B1 (ko) | 판재 가장자리 트리밍 장치 | |
JPS5940171Y2 (ja) | タイル生素地の仕上装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070814 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120111 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130111 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140111 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |