JP2002359267A - サンドペーパー取付装置 - Google Patents

サンドペーパー取付装置

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JP2002359267A JP2002102785A JP2002102785A JP2002359267A JP 2002359267 A JP2002359267 A JP 2002359267A JP 2002102785 A JP2002102785 A JP 2002102785A JP 2002102785 A JP2002102785 A JP 2002102785A JP 2002359267 A JP2002359267 A JP 2002359267A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダミーウェーハにサンドペーパーを半自動に
取付できるサンドペーパー取付装置を提供する。 【解決手段】 ダミーウェーハに被取付物を取付けるた
めのサンドペーパー半自動取付装置１００は、上面１１
２にダミーウェーハが置かれるローディング面１１４を
有するステージ１１０と、被取付物を前記ローディング
面１１４から離れた位置に置くためのサポート手段１５
０と、ローディング面１１４に置かれたダミーウェーハ
の一側から漸進的に被取付物を取付けるためのプレス手
段１３０とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダミーウェーハにサ
ンド（ＳＡＮＤ）ペーパーを取付けるための装置に関す
るものであり、さらに具体的には半自動にサンドペーパ
ーを取付できるサンドペーパー取付装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】例えば図６に示すように、一般的にプロ
ーブカード２０にはウェーハのパッドに電気的に連結さ
れてウェーハの良／不良を検査するための多数のチップ
２２が設けられている。このチップは端の模様を丸く作
り、又、空気と接して酸化される作用を無くすため、図
６のように、サンドペーパー１０が取付けられたダミー
ウェーハＷを利用してチップの端を研磨する作業が行わ
れていた。
【０００３】このような研磨作業に使用されるダミーウ
ェーハＷにはサンドペーパーが取付けられており、この
サンドペーパーの取付は手作業により行われるので、次
のような問題点が発生する。第１に、ダミーウェーハに
サンドペーパーを取付けた後、容易に接着するようにサ
ンドペーパーの上を紙で擦るが、この過程でサンドペー
パー表面に異物が累積されてサンドペーパーとしての機
能が低下する。第２に、取付過程でサンドペーパーとダ
ミーウェーハとの間に気泡が発生する可能性がある。こ
のような気泡発生は後にプローブカードのチップに衝撃
を与えて不良を誘発させる原因になる。第３に、サンド
ペーパーは取付時、ダミーウェーハ中央に取付けなけれ
ばならないので、作業者の熟練度の違いにより取付不良
が発生する可能性がある。第４に、取付作業には長い時
間が必要とされる。平均的に1枚あたりの取付時間は1分
が必要とされる（この時間は熟達された作業者の場合に
該当する）。第５に、作業者により取付方法が違うの
で、それによる差が発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のよう
な従来の問題点を解決するためのものであり、その目的
は、ダミーウェーハにサンドペーパーを容易に取付でき
る新しい形態のサンドペーパー取付装置を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めの本発明の特徴によると、ダミーウェーハに被取付物
を取付するための装置は、上面にダミーウェーハが置か
れるローディング面を有するステージと、前記ローディ
ング面に置かれたダミーウェーハの一側から漸進的に被
取付物を取付けるためのプレス手段とを備える。そし
て、好ましくは、前記被取付物を前記ローディング面か
ら離れた位置に置くためのサポート手段を有する。
【０００６】このような本発明で前記サポート手段は、
前記ローディング面の上部を横切って設けられ被取付物
が置かれる少なくとも２つの支持棒と、前記ステージの
互いに対応する両側面に設けられ、前記支持棒の両端が
固定される側板とを有する。そして、前記支持棒に前記
被取付物が付かず容易に滑るように支持棒に設けられる
多数のミニローラーと、前記支持棒に互いに離れて設け
られ、前記被取付物が捩れずに滑って下がるように前記
被取付物の両側をガイドする一対のホルダとを有する。
この一対のホルダは被取付物のサイズにより、前記支持
棒で互いの間の間隔を調節できる。
【０００７】このような本発明で、前記サポート手段は
被取付物が傾いて置かれるよう、前記２つの支持棒を傾
かせて設置することができる。このような本発明で、前
記ステージは前記ローディング面の端部に溝を形成でき
る。そして、ローディング面は前記ステージの上面より
低く形成することができる。
【０００８】このような本発明で、前記プレス手段と前
記サポート手段はダミーウェーハに対する被取付物の取
付方向にスライド移動することができる。このため、前
記ステージは、前記プレス手段と前記サポート手段がダ
ミーウェーハに対する被取付物の取付方向にスライド移
動するようにガイドするためのガイドレールが両側面に
設けられる。
【０００９】このような本発明で、前記プレス手段はダ
ミーウェーハに被取付物を取付けるためのローラーと、
前記ローラーの両端が固定されるブラケットと、前記ロ
ーラーを移動させるためのハンドルとを有する。このロ
ーラーは、所定のクッション性を有する材質からなるこ
とができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施例はいろいろな形態
に変形することができ、本発明の範囲が以下に述べる実
施例により限定されると解釈してはいけない。本発明の
実施例は当業界で平均的な知識を有した者に本発明をよ
り完全に説明するため提供されるものである。従って、
図面での要所の形状等は、より明確な説明を強調するた
めに誇張されたものである。
【００１１】以下、本発明の実施例を添付した図面、図
１から図５に基づいて詳細に説明する。又、これらの図
面で同一な機能を遂行する構成要所に対しては同一な参
照番号を併記する。図１は、本発明の一実施例によるサ
ンドペーパー取付装置を概略的に示す斜視図である。図
２はサンドペーパー取付装置の平面図である。図３はサ
ンドペーパー取付装置の側面図である。
【００１２】本実施例によるサンドペーパー半自動取付
装置１００は大きくステージ１１０、プレス手段１３０
およびサポート手段１５０からなる。サンドペーパー１
０を取付けるためのダミーウェーハＷは前記ステージ１
１０の上面１１２に形成されたローディング面１１４に
置かれる。このローディング面１１４はステージの上面
１１２より０．６ｍｍ低く形成され、ステージの上面１
１２にはサンドペーパー１０の下側ポジションを合わせ
るための位置確認ライン１１６が表示されている。そし
て、ステージの上面１１２にはローディング面１１４の
端部に引接して４個の溝１１８が形成されており、この
溝１１８はダミーウェーハＷをローディング面１１４に
置く作業、又は、持ち上げる作業を容易にするためであ
る。この溝１１８があることによって、前記ローディン
グ面１１４からのダミーウェーハＷの着脱が容易であ
る。前記ステージ１１０の両側面１１３には前記サポー
ト手段１５０と前記プレス手段１３０との移動のため、
ガイドレール１２０が設けられている。
【００１３】ダミーウェーハＷに取付けるためのサンド
ペーパー１０は、前記サポート手段１５０によりローデ
ィング面１１４から離れた位置に傾いて置かれ、サンド
ペーパー１０の下端は前記ダミーウェーハＷの取付面一
側（位置確認ライン）に位置することが望ましい。例え
ば、傾斜角は６０°が望ましい。サポート手段１５０は
２つの支持棒１５４、側板１５２、ミニローラー１５６
および一対のホルダ１５８を有する。前記側板１５２は
前記ステージ１１０の互いに対応する両側面１１３に各
々設置されたガイドレール１２０上に設けられる。この
側板１５２の上端には前記支持棒１５４の両端が固定さ
れ、支持棒１５４は前記ローディング面１１４上部を横
切って設けられる。前記支持棒１５４には前記サンドペ
ーパー１０が付かず、容易に滑るように前記ミニローラ
ー１５６が設けられる。前記一対のホルダ１５８は前記
支持棒１５４に互いに離れて設けられ、その間隔はサン
ドペーパーのサイズ（７ｉｎｃｈ−１２ｉｎｃｈ）によ
り調節が可能である。ホルダ１５８は前記支持棒１５４
と支持棒１５４との間にサンドペーパーが抜けないよ
う、“├”形に形成されることが望ましい。前記サンド
ペーパー１０は、前記一対のホルダ１５８が両側ポジシ
ョンを合わせてガイドするので、捩れずに正しく、そし
て、前記ミニローラー１５６により滑るように下がっ
て、ダミーウェーハＷの正位置に取付けられる。
【００１４】支持棒１５４上に置かれたサンドペーパー
１０は漸進的にプレス手段１３０のローラー１３２によ
り押されながら、前記ダミーウェーハＷの取付面一側か
ら漸進的に取付けられる。前記プレス手段１３０は前記
ステージ１１０の幅より大きい長さを有するローラー１
３２と、前記ローラー１３２の両端が回転可能に固定さ
れるブラケット１３４と、ハンドル１３６とを有する。
前記ブラケット１３４は前記サポート手段１５０の側板
１５２と共に前記ガイドレール１２０に沿ってスライド
移動するよう、後端部にピボット式に設けられる。ガイ
ドレール上で移動するブラケット１３４により前記ロー
ラー１３２が前記ダミーウェーハＷの取付面上を転がっ
ていく時、前記支持棒１５４上に置かれたサンドペーパ
ー１０は転がっていくローラー１３２により前記ダミー
ウェーハＷの取付面に漸進的に取付けられる。一方、前
記ガイドレール１２０には、前記ブラケット１３４がピ
ボット式に固定された側板１５２の後端部への移動、即
ちブラケットの移動を制限するストッパー１２２が設け
られているので、前記ローラー１３２の移動範囲を制限
できる。前記ローラー１３２の待機位置で任意移動を遮
るため、前記ステージ１１０の上面１１２（ローラーの
直ぐ下）には前記ローラー１３２を固定するためのロッ
クピン（図示されない）が設けられる。
【００１５】前記ローラー１３２は所定のクッション性
を有する材質（シリコン又はゴム）からなるので、ダミ
ーウェーハＷの取付面にサンドペーパーを圧搾する時、
ダミーウェーハの割れを予防してサンドペーパー１０の
取付密度を増加させることができる。
【００１６】ここで、本実施例の構造的な特徴はサンド
ペーパーに置かれているサポート手段と、このサポート
手段に置かれたサンドペーパーを一側から漸進的にダミ
ーウェーハの取付面に取付けるローラーを有するプレス
手段とを有することにある。図４及び図５はダミーウェ
ーハにサンドペーパーを取付ける過程を説明するための
図面である。図４及び図５を参照すると、先ず、ダミー
ウェーハをステージのローディング面に置く。そしてサ
ンドペーパーを２つの支持棒の上に置く。この時、サン
ドペーパーは下側ポジションをステージに表示された位
置確認実線に合わせ、左／右側ポジションは一対のホル
ダに合わせて置く。このようにダミーウェーハとサンド
ペーパーの取付準備が完了した状態でハンドルを取って
前の方に、即ち図５の矢印方向に押すと、ローラーは側
板と共に移動するブラケットに沿ってダミーウェーハの
取付面上を転がっていき、この時、転がっていくローラ
ーとダミーウェーハとの間に位置したサンドペーパーは
下側からダミーウェーハの取付面に漸進的に均一に取付
けられる。
【００１７】以上で、本発明の実施例によるサンドペー
パーの取付装置の構成及び作用を、前記の説明及び図面
により示したが、これは一例をあげて説明したに過ぎ
ず、本発明の技術的思想を外れない範囲内で、多様な変
化及び変更が可能であることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明のサンドペーパー
取付装置は、次のような利点がある。第１に、サンドペ
ーパー表面に異物が累積されない。第２に、サンドペー
パーとダミーウェーハとの間に気泡が発生しない。第３
に、ダミーウェーハの中央にサンドペーパーを取付でき
る。第４に、手作業に比べて作業時間を著しく短縮させ
られる。第５に、作業者の熟練度に構わず、均一な取付
品質を得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置
を概略的に示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置
を示す平面図である。
【図３】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置
を示す側面図である。
【図４】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置
においてダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過
程を説明するための側面図である。
【図５】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置
においてダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過
程を説明するための側面図である。
【図６】ダミーウェーハを利用してプローブカードのチ
ップ端を研磨する一般的な作業を示す模式図である。
【符号の説明】
１０ サンドペーパー １００ サンドペーパー半自動取付装置 １１０ ステージ １１２ 上面 １１４ ローディング面 １１６ 位置確認ライン １１８ 溝 １２０ ガイドレール １２２ ストッパー １３０ プレス手段 １３２ ローラー １３４ ブラケット １３６ ハンドル １５０ サポート手段 １５２ 側板 １５４ 支持棒 １５６ ミニローラー １５８ ホルダ
フロントページの続き (72)発明者 黄 寅▲白▼ 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山24番 地 (72)発明者 池 俊洙 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山24番 地 Ｆターム(参考） 4M106 AA01 DD18 DJ32

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ダミーウェーハに被取付物を取付けるた
    めのサンドペーパー取付装置において、 上面に前記ダミーウェーハが置かれるローディング面を
    有するステージと、 前記ローディング面に置かれたダミーウェーハの一側か
    ら漸進的に前記被取付物を取付けるためのプレス手段
    と、 を備えることを特徴とするサンドペーパー取付装置。
  2. 【請求項２】 前記被取付物を前記ローディング面から
    離れた位置に置くためのサポート手段をさらに備えるこ
    とを特徴とする請求項１に記載のサンドペーパー取付装
    置。
  3. 【請求項３】 前記サポート手段は、 前記ローディング面の上部を横切って設けられ、前記被
    取付物が設けられる少なくとも２つの支持棒と、 前記ステージの互いに対応する両側面に設置され、前記
    支持棒の両端が固定される側板と、 を有することを特徴とする請求項２に記載のサンドペー
    パー取付装置。
  4. 【請求項４】 前記サポート手段は、前記支持棒に前記
    被取付物が付かず容易に滑るように、前記支持棒に設置
    される複数のミニローラーをさらに有することを特徴と
    する請求項３に記載のサンドペーパー取付装置。
  5. 【請求項５】 前記サポート手段は、前記被取付物が傾
    いて置かれるように前記２つの支持棒が傾いて設置され
    ていることを特徴とする請求項３に記載のサンドペーパ
    ー取付装置。
  6. 【請求項６】 前記サポート手段は、前記支持棒に互い
    に離れて設置され前記被取付物が捩れずに滑って下がる
    ように前記被取付物の両側をガイドする一対のホルダを
    さらに有することを特徴とする請求項３に記載のサンド
    ペーパー取付装置。
  7. 【請求項７】 前記一対のホルダは、前記被取付物のサ
    イズにより、前記支持棒で互いの間隔を調節可能である
    ことを特徴とする請求項６に記載のサンドペーパー取付
    装置。
  8. 【請求項８】 前記ステージは、前記ローディング面か
    らの前記ダミーウェーハの着脱を容易にするために、前
    記ローディング面の端部に溝が形成されていることを特
    徴とする請求項１に記載のサンドペーパー取付装置。
  9. 【請求項９】 前記ローディング面は、前記ステージの
    上面より低く形成されていることを特徴とする請求項１
    に記載のサンドペーパー取付装置。
  10. 【請求項１０】 前記プレス手段および前記サポート手
    段は、前記ダミーウェーハに対する前記被取付物の取付
    方向にスライド移動することを特徴とする請求項２に記
    載のサンドペーパー取付装置。
  11. 【請求項１１】 前記ステージは、前記プレス手段およ
    び前記サポート手段が前記ダミーウェーハに対する前記
    被取付物の取付方向にスライド移動するようにガイドす
    るためのガイドレールが両側面に設置されていることを
    特徴とする請求項１０に記載のサンドペーパー取付装
    置。
  12. 【請求項１２】 前記プレス手段は、前記ダミーウェー
    ハに前記被取付物を取付けるためのローラーと、前記ロ
    ーラーの両端が固定されるブラケットと、前記ブラケッ
    トと連結され、前記ダミーウェーハに対する前記被取付
    物の取付方向に前記ローラーを移動させるために設けら
    れているハンドルとを有することを特徴とする請求項１
    １に記載のサンドペーパー取付装置。
  13. 【請求項１３】 前記ローラーは、前記被取付物を取付
    ける時の前記ダミーウェーハの割れ防止、ならびに前記
    被取付物の取付密度の増加のため、所定のクッション性
    を有する材質からなることを特徴とする請求項１２に記
    載のサンドペーパー取付装置。
  14. 【請求項１４】 前記ガイドレールには前記ローラーの
    移動範囲を制限するためのストッパーが設けられている
    ことを特徴とする請求項１２に記載のサンドペーパー取
    付装置。
  15. 【請求項１５】 前記ステージには前記ローラーが最初
    の位置に固定されるようにローラーロックピンが設けら
    れていることを特徴とする請求項１２に記載のサンドペ
    ーパー取付装置。
  16. 【請求項１６】 前記ステージには前記被取付物の下端
    ポジションを合わせるための位置確認ラインが表示され
    ていることを特徴とする請求項１に記載のサンドペーパ
    ー取付装置。
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