JP2002342989A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】光ディスク原盤に電子ビームを照射する位置を
精度良く制御し、安定して高密度な光ディスク原盤露光
を効率良く行う。 【解決手段】レジスト板２を保持して回転と移動をさせ
る駆動ユニット６のスライドユニット１９に設けられた
移動ベース２１と固定ベース２０間をトルクロッド２５
で連結し、移動ベース２１と固定ベース２０の間に、常
に一定のテンションを加えた状態で移動ベース２１を移
動して、移動ベース２１を移動するときに送りネジ２４
で発生するバックラッシュを除去して移動ベースの傾き
を防止するとともにスピンドルモータ１８の微妙な振動
も低減する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ディスク原盤
に記録用ビームを照射して情報を記録する光ディスク原
盤露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光ディスク原盤に記録用ビームを照射し
て情報を記録するときに、光ディスク原盤を回転する回
転シャフトに振動が発生した場合やスピンドルモータに
回転変動が生じた場合でも記録用ビームを光ディスク原
盤の適切な位置に照射するために、例えば特開2000−20
964号公報に示された光ディスク原盤記録装置は、光デ
ィスク原盤を保持するターンテーブルを回転する回転シ
ャフトの回転方向の角度位置と光ディスク原盤の記録面
に平行な方向の回転シャフトの変位とを検出し、検出し
た角度位置と変位とに基づいて回転シャフトの基準位置
からの現在角度位置における現在偏倚を算出し、算出し
た現在偏倚に基づいて照射スポット位置を調整するよう
にしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記光ディスク原盤記
録装置は、露光位置を真空容器外からレーザ測長器等で
計測してターンテーブルの回転による振動をフィードバ
ックして電子ビームを偏向させて補正する方法であり、
測長レーザが外部大気内に設置してあることから大気中
の空気の揺らぎや温度変化の影響を受けやすく、これを
防止して正確な測長を行なうためには光ディスク原盤露
光装置を十分管理された所に設置する必要があり、その
維持管理が容易でない。

【０００４】また、光ディスク原盤を真空容器内に設置
するため、光ディスク原盤を設置するたびに真空容器を
大気解放していると、大気中のごみや水分を含みやすく
所定の真空圧に到達するまで多大な時間を要し、作業効
率が低下するという短所がある。

【０００５】この発明はかかる短所を改善し、光ディス
ク原盤に電子ビームを照射する位置を精度良く制御し、
安定して高密度な光ディスク原盤露光を効率良く行うこ
とができるとともに回転している光ディスク原盤の回転
中心からの偏芯による振動を低減することができる光デ
ィスク原盤露光装置を提供することを目的とするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る光ディス
ク原盤露光装置は、真空容器内に設置された駆動ユニッ
トにより光ディスク原盤を保持して回転と移動をさせな
がら、電子ビームユニットから光ディスク原盤に電子ビ
ームを照射して露光するする光ディスク原盤露光装置に
おいて、上記駆動ユニットは光ディスク原盤を保持する
ターンテーブルと、ターンテーブルを回転する回転モー
タと、回転モータを横移動するスライドユニットを有
し、スライドユニットは固定ベースと回転モータを載置
した移動ベースを有し、移動ベースと固定ベース間を与
圧手段で連結し、移動ベースと固定ベースの間に、常に
一定のテンションを加えた状態で移動ベースを固定ベー
ス上に設けた送りモータに連結された送りネジで移動す
ることを特徴とする。

【０００７】この発明に係る第２の光ディスク原盤露光
装置は、真空容器内に設置された駆動ユニットにより光
ディスク原盤を保持して回転と移動をさせながら、電子
ビームユニットから光ディスク原盤に電子ビームを照射
して露光するする光ディスク原盤露光装置において、上
記駆動ユニットは光ディスク原盤を保持するターンテー
ブルと、ターンテーブルを回転する回転モータと、回転
モータを横移動するスライドユニットを有し、スライド
ユニットは固定ベースと回転モータを載置した移動ベー
スを有し、移動ベースを、固定ベース上の送りモータに
連結された回転シャフトと複数の与圧ローラによって構
成された摩擦移動方式により移動することを特徴とす
る。

【０００８】上記移動ベースには回転シャフトを保持す
る軸受を２個所に有し、軸受の間に複数の与圧ローラを
設けると良い。

【０００９】また、与圧ローラを、回転シャフトを囲み
４方向から対向するように各々回転シャフトに向けて圧
接することが望ましい。

【００１０】さらに、移動ベースと固定ベース間を与圧
手段で連結し、移動ベースと固定ベースの間に、常に一
定のテンションを加えると良い。

【００１１】また、与圧手段を、ターンテーブルの移動
軸を中心として送りネジ又は回転シャフトに対して対称
な位置に設置することが望ましい。

【００１２】さらに、真空容器に開閉自在な隔壁を隔て
て、真空容器より容積の小さい予備室を設け、予備室を
経由して真空容器内に光ディスク原盤を投入し、真空容
器から予備室を経由して光ディスク原盤を排出すること
が望ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】この発明の光ディスク原盤露光装
置は、光ディスク原盤であるレジスト板に電子ビームを
照射して情報を記録するものであり、真空容器内に設け
られ、レジスト板に電子ビームを照射する電子ビームユ
ニットと、レジスト板を回転するとともに水平方向に移
動する駆動ユニットと、レジスト板を真空容器内に投入
したり排出するため真空容器に開閉自在な隔壁を介して
連結された予備室を有する。駆動ユニットは、レジスト
板を保持するターンテーブルと、ターンテーブルを回転
するスピンドルモータと、スピンドルモータを横移動す
るスライドユニットを有する。

【００１４】スライドユニットは固定ベースと回転モー
タを載置した移動ベースを有し、移動ベースの移動手段
としては、固定ベースに設けた送りモータで回転する送
りネジを使用し、送りネジで発生するバックラッシュを
除去するために、与圧を与えたボールネジ等のトルクロ
ッドをターンテーブルの移動軸を中心として送りネジと
対称の位置に設けてテンションを与え、移動ベースの傾
きを防止するとともに回転モータの微妙な振動も低減す
る。

【００１５】また、移動ベースの移動手段として、固定
ベース上で送りモータに直結された回転シャフトが、移
動ベース上で、移動ベースの移動方向の両側に設けられ
た２個の軸受によって保持され、この回転シャフトを保
持した２個の軸受の間には移動ベースに固定した摩擦軸
受を有し、回転シャフトを摩擦軸受の中心を貫通させる
と良い。この摩擦軸受は、回転シャフトを囲むようにし
て対向して配置された４個の与圧ローラを有し、各与圧
ローラはスプリング等で回転シャフトに押し当てられて
いる。また、各与圧ローラは回転シャフトの中心軸に対
して一定の接触角で配置され、回転シャフトと点接触す
るように構成している。そして送りモータで回転シャフ
トを回転すると、各与圧ローラは回転シャフトの回転方
向と同期して回転し、回転シャフトの軸方向への推力が
発生し、常に回転シャフトに接触しながら与圧ローラが
回転シャフトの中心軸に沿って移動して、移動ベースを
安定して移動して、電子ビームユニットからレジスト板
に電子ビームを照射する位置を精度良く制御することが
できる。

【００１６】

【実施例】図１はこの発明の一実施例の光ディスク原盤
露光装置の構成図である。この光ディスク原盤露光装置
１は、光ディスク原盤であるレジスト板２に電子ビーム
を照射して情報を記録するものであり、図に示すよう
に、外乱振動の影響を防止するために石の定盤３上に設
置された真空容器４と、真空容器４内に設けられ、レジ
スト板２に電子ビームを照射する電子ビームユニット５
と、レジスト板２を回転するとともに水平方向に移動す
る駆動ユニット６と、レジスト板２を真空容器４内に入
れるため真空容器４に開閉自在な隔壁を介して連結され
たロードロック室7を有する。

【００１７】電子ビームユニット５は電子ビーム発生系
８と電子ビームレンズ系９を有する。電子ビーム発生系
８は、電子銃１０とコンデンサレンズ１１と電子ビーム
変調部１２とアパーチャ１３を有し、電子ビームレンズ
系９は、電子ビーム偏向部１４と第１のフォーカスレン
ズ１５と第２のフォーカスレンズ１６を有する。そして
電子銃１０から出射された電子ビームはコンデンサレン
ズ１１により集光される。この集光された電子ビームは
１対の電極から構成される電子ビーム変調部１２によっ
て発生している電磁場を通過することにより変調されて
偏向し、偏向した電子ビームはアパーチャ１３に照射さ
れる。この電子ビームの偏向が大きいときは、アパーチ
ャ１３の遮断効果により電子ビームは遮断され、駆動ユ
ニット６で保持しているレジスト板２に到達せず、電子
ビームを偏向させないときはアパーチャ１３を通過して
レジスト板２に到達する。このようにして光変調と同様
のオン／オフ変調を行うことができる。この電子ビーム
はアパーチャ１３を通るときにビーム整形も同時に行な
われて電子ビームレンズ系９へ導入される。電子ビーム
レンズ系９では、レジスト板２にウォブル溝を形成する
ために、電子ビームが、再度、電子ビーム偏向部１４の
1対の電極を通過するときに偏向角を与える。また、レ
ジスト板２にウォブル溝を形成しないときは、電子ビー
ム偏向部１４で電子ビームの偏向は行なわない。この電
子ビームは第1のフォーカスレンズ１５と第２のフォー
カスレンズ１６により焦点とスポット径が調整されてレ
ジスト板２上に集光されて情報が記録される。

【００１８】駆動ユニット６は、レジスト板２を保持す
るターンテーブル１７と、ターンテーブル１７を回転す
るスピンドルモータ１８と、定盤３上に設置され、スピ
ンドルモータ１８を横移動するスライドユニット１９を
有する。この駆動ユニット６においては、電子ビームに
与える電磁場の影響を無くすためスピンドルモータ１８
には磁気シールドを施しており、スピンドルモータ１８
の回転によって発生する電磁場の影響が電子ビームに影
響を与えないようにしている。また、スライドユニット
１９は、図２（ａ）の上面図と（ｂ）の側面図に示すよ
うに、固定ベース２０とスピンドルモータ１８を載置し
た移動ベース２１の間にクロスローラガイド２２を用
い、エアスライドを使用した場合に生じる真空容器４内
の真空破壊を防ぐとともに、エアスライドと同等の高剛
性を持たせている。移動ベース２１の移動手段として
は、送りモータ２３で回転する送りネジ２４を使用し、
送りネジ２４で発生するバックラッシュを除去するため
に、与圧を与えたボールネジ等のトルクロッド２５をタ
ーンテーブル１７の移動軸を中心として送りネジ２４と
対称の位置に設けてテンションを与え、移動ベース２１
の傾きを防止している。このトルクロッド２５はスピン
ドルモータ１８の微妙な振動も低減することができる。
また、ターンテーブル１７で保持されたレジスト板２の
露光半径位置制御には、記録領域外の粗動駆動には分解
能の低い粗微動スケール２６とディテクタ２７により位
置検出をして駆動制御を行い、記録領域内においては高
分解能のレーザスケール等を用いて位置検出を行ない送
りモータ２３とスピンドルモータ１８の回転と同期制御
を行なう。この粗微動スケール２６とディテクタ２７と
レーザスケールは移動ベース２１と固定ベース２０に設
置しており、ターンテーブル１７の設置環境と同じ真空
容器４内にあるため、大気による空気の揺らぎ等の影響
がなく、安定して正確な測定を行うことができる。

【００１９】また、情報が記録されるレジスト板２を駆
動ユニット６のターンテーブル１７に固定するため、図
３（ａ）のターンテーブル１７とスピンドルモータ１８
の側面図に示すように、レジスト板２の外周上端部には
面取りにより形成された傾斜面３０を有する。ターンテ
ーブル１７には、図３（ｂ）の裏面図に示すように、レ
ジスト板２の外周端部を３個所で固定するチャック機構
部３１を有する。チャック機構部３１は、ターンテーブ
ル１７の裏面に同軸で設けられチャック駆動機構（不図
示）により回動する回転リング３２と、回転リング３２
の３等分した位置に取り付けられた３個のクランクピン
３３と、一方の端部にクランクピン３３と係合する長溝
３４が設けられ、他方の端部には、レジスト板２の傾斜
面３０と係合する例えば楕円面で形成された固定用ロー
ラ３５を有し、中心部がターンテーブル１７の裏面で、
ターンテーブル１７の３等分した位置に取り付けられた
ピン３６にそれぞれ回転自在に取り付けられた回動アー
ム３７とを有する。

【００２０】上記のように構成した光ディスク原盤露光
装置１において、レジスト板２に電子ビームユニット５
で電子ビームを照射して情報を記録するとき、真空容器
４内は１０^−３Ｐａ以下の圧力にする必要がある。この
真空容器４内のターンテーブル１７にレジスト板２を投
入したり排出するたびに真空容器４を大気開放している
と、レジスト板２を投入してから真空容器４内を所定の
圧力まで減圧するのに多くの時間を要する。そこで、レ
ジスト板３を真空容器４に投入したり排出するために真
空容器４より容積の小さいロードロック室７を設け、真
空容器４は常時所定の１０^−３Ｐａ以下の圧力になるよ
うに制御し、ロードロック室７の投入口を開にしてロー
ドロック室７を大気開放し、このロードロック室７にレ
ジスト板２を設置して投入口を閉にしてからロードロッ
ク室７を真空容器４内の圧力と同等になるまで真空引き
を行い、ロードロック室７内の圧力が真空容器４内の圧
力と同等になったときに、真空容器４とロードロック室
７との間の隔壁を開いてレジスト板２を真空容器４内に
投入してターンテーブル１７に設置する。真空容器４か
らレジスト板２を排出するときも、投入する場合と同様
にロードロック室７を経由してレジスト板２を排出す
る。このようにロードロック室７を経由してレジスト板
２を真空容器４に投入することにより、レジスト板２の
投入から電子ビームを照射して露光を開始までの時間を
大幅に低減することができる。

【００２１】この真空容器４にレジスト板２が投入され
るとき、ターンテーブル１７に設けたチャック機構部３
１の回転リング３２は、図３（ｂ）において、反時計方
向に回動して、固定用ローラ３５がターンテーブル１７
の外周より離れる方向にクランク機構により回動アーム
３７を回動する。この状態でレジスト板２がターンテー
ブル１７に載置されると、回転リング３２を時計方向に
回動して、クランク機構により回動アーム３７を回動
し、図３（ａ）に示すように、固定用ローラ３５をレジ
スト板２の外周上端部の傾斜面３０に圧着してレジスト
板２を固定する。このレジスト板２を固定するときに、
固定用ローラ３５をレジスト板２の３方向から均等に押
し付けて固定するため、レジスト板２の偏芯を除去し
て、レジスト板２の回転中心をターンテーブル１７の回
転中心と確実に一致させることができる。したがってタ
ーンテーブル１７によりレジスト板２を回転しながら電
子ビームユニット５からレジスト板２に電子ビームを照
射しているときに、レジスト板２に振動が発生すること
を防止することができる。

【００２２】また、レジスト板２の外周端に設けた傾斜
面３０に固定用ローラ３５を押し付けてレジスト板２を
ターンテーブル１７に固定するから、レジスト板２には
ターンテーブル１７に固定するための穴を設ける必要は
なく、レジスト板２を容易に作製することができる。さ
らに、レジスト板２を作製するときに、レジストを塗布
してスピンコートで振り切るとき、レジスト板２の外周
端に設けた傾斜面３０により端部のレジストは下方に振
り切られて跳ね返りを防止することができ、レジストの
再付着による欠陥が生じることを防止することができ
る。

【００２３】また、レジスト板２の外周端に設けた傾斜
面３０に固定用ローラ３５を押し付けてレジスト板２を
ターンテーブル１７に固定するから、レジスト板２の外
周端に金属皮膜を施し、固定用ローラ３５を導電体で形
成することにより、レジスト板２をターンテーブル１７
に固定したときに、固定用ローラ３５を介してレジスト
板２をアースに接続することにより、電子ビームで露光
中のレジスト板２が帯電することを防止することができ
る。

【００２４】前記実施例ではレジスト板２をターンテー
ブル１７に固定する固定用ローラ３５を楕円面で形成し
た場合について示し説明したが、固定用ローラ３５を図
５に示すように、レジスト板２の外周端に設けた傾斜面
３０と一致する傾斜面３８を有する逆爪形状にすること
により、レジスト板２をターンテーブル１７により強固
に固定することができる。

【００２５】さらに、レジスト板２の外周端に設けた傾
斜面３０に縦方向又は斜め方向のきざみ目を設けたり、
あるいは固定用ローラ３５の表面にローレットを設け、
レジスト板２と固定用ローラ３５の間の摩擦係数を大き
くすることにより、固定用ローラ３５でターンテーブル
１７に固定したレジスト板２を回転するときの空転を防
止することができる。

【００２６】また、レジスト板２の外周端に設けた傾斜
面３０を、図５（ａ），（ｂ）に示すように、Ｖ字状の
溝３９で形成しても良い。このＶ字状の溝３９に固定用
ローラ３５を押し付けてレジスト板２をターンテーブル
１７に固定することにより、レジスト板２の偏芯を除去
して、レジスト板２の回転中心をターンテーブル１７の
回転中心と確実に一致させて、電子ビームを照射すると
きに回転しているレジスト板２に振動が発生することを
確実に防止することができるとともに、レジスト板２を
ターンテーブル１７に固定するときにチャッキング不良
が生じても、ターンテーブル１７を回転したときに、レ
ジスト板２が飛散することを防止することができる。

【００２７】次に、駆動ユニット６のスライドユニット
１９を移動する移動手段の他の構成について説明する。
図６（ａ）の上面図と（ｂ）の側面図に示すように、固
定ベース２０とスピンドルモータ１８を載置した移動ベ
ース２１の間にクロスローラガイド２２を有する。移動
ベース２１の移動手段の回転シャフト４０は、固定ベー
ス２０上で送りモータ２３に直結され、移動ベース２１
上で、移動ベース２１の移動方向の両側に設けられた２
個の軸受４１によって保持されている。この回転シャフ
ト４０を保持した２個の軸受４１の間には移動ベース２
１に固定した摩擦軸受４２が設けられ、回転シャフト４
０は摩擦軸受４２の中心を貫通している。この摩擦軸受
４２は、図７（ａ）の側面図と（ｂ）の正面図に示すよ
うに、回転シャフト４０を囲むようにしてＸ,Ｙ方向に
対向して配置された４個の与圧ローラ４３を有し、各与
圧ローラ４３はスプリング等で回転シャフト４０に押し
当てられている。また、各与圧ローラ４３は回転シャフ
ト４０の中心軸に対して一定の接触角θで配置され、回
転シャフト４０と点接触するようになっている。

【００２８】そして送りモータ２３で回転シャフト４０
を回転すると、各与圧ローラ４３は回転シャフト４０の
回転方向と同期して回転する。この各与圧ローラ４３が
回転するとき、各与圧ローラ４３は回転シャフト４０の
中心軸に対して一定の接触角θで配置されているから、
回転シャフト４０の軸方向への推力が発生し、常に回転
シャフト４０に接触しながら与圧ローラ４３が回転シャ
フト４０の中心軸に沿って移動して移動ベース２１を移
動する。この移動ベース２１を移動するときに、回転シ
ャフト４０を位置決めをするための軸受４１が移動ベー
ス２１上に設けて有るから、移動ベース２１の移動スト
ローク以上の長さを必要とする回転シャフト４０に捩れ
や歪みが生じることを抑制することができる。また、４
個の与圧ローラ４３を有する摩擦軸受４２は、回転シャ
フト４０の変形をほとんど無視できるような構造となっ
ているとともに、４個の与圧ローラをそれぞれＸ，Ｙ方
向に対向して配置してあるため、軸受４１で吸収しきれ
ない回転シャフト４０の微小変形に対しても、正確に回
転シャフト４０の中心軸を保持することができ、移動ベ
ース２１を安定して移動することができ、電子ビームユ
ニット５からレジスト板２に電子ビームを照射する位置
を精度良く制御することができる。また、この場合も、
図２に示すトルクロッド２５を設けることにより、さら
に姿勢制御や位置決め精度を高めることができる。

【００２９】

【発明の効果】この発明は以上説明したように、光ディ
スク原盤を保持して回転と移動をさせる駆動ユニットの
スライドユニットに設けられた移動ベースと固定ベース
間を与圧手段で連結し、移動ベースと固定ベースの間
に、常に一定のテンションを加えた状態で移動ベースを
固定ベース上に設けた送りモータに連結された送りネジ
で移動することにより、移動ベースを移動するときに送
りネジで発生するバックラッシュを除去して移動ベース
の傾きを防止するとともに回転モータの微妙な振動も低
減することができ、電子ビームユニットから光ディスク
原盤に電子ビームを照射する位置を精度良く制御するこ
とができる。

【００３０】また、移動ベースを、固定ベース上の送り
モータに連結された回転シャフトと複数の与圧ローラに
よって構成された摩擦移動方式により移動することによ
り、移動ベースを安定して移動することができる。

【００３１】さらに、移動ベースには回転シャフトを保
持する軸受を２個所に設け、軸受の間に複数の与圧ロー
ラを設けることにより、回転シャフトに捩れや歪みが生
じることを抑制することができる。

【００３２】また、与圧ローラを、回転シャフトを囲み
４方向から対向するように各々回転シャフトに向けて圧
接することにより、回転シャフトの微小変形に対して
も、正確に回転シャフトの中心軸を保持することがで
き、移動ベースを安定して移動することができる。さら
に、移動ベースと固定ベース間を与圧手段で連結し、移
動ベースと固定ベースの間に、常に一定のテンションを
加えることにより、移動ベースを移動するときの傾きを
防止するとともに回転モータの微妙な振動も低減するこ
とができ、姿勢制御や位置決め精度をより高めることが
できる。

【００３３】また、与圧手段を、ターンテーブルの移動
軸を中心として送りネジ又は回転シャフトに対して対称
な位置に設置することにより、移動ベースを移動すると
きの傾きをより安定して防止することができる。

【００３４】さらに、真空容器に開閉自在な隔壁を隔て
て、真空容器より容積の小さい予備室を設け、予備室を
経由して真空容器内に光ディスク原盤を投入し、真空容
器から予備室を経由して光ディスク原盤を排出すること
により、真空容器内を常に一定の圧力に制御することが
でき、光ディスク原盤の投入から電子ビームを照射して
露光を開始までの時間を大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の光ディスク原盤露光装置の構成図で
ある。

【図２】駆動ユニットのスライドユニットの構成図であ
る。

【図３】レジスト板の固定用の傾斜面とターンテーブル
のチャック機構部の構成図である。

【図４】チャック機構部の固定用ローラを示す部分側面
図である。

【図５】レジスト板のＶ字状の溝で形成した固定用の傾
斜面を示す構成図である。

【図６】駆動ユニットのスライドユニットの他の構成図
である。

【図７】スライドユニットの摩擦軸受の構成図である。

【符号の説明】

１；光ディスク原盤露光装置、２；レジスト板、３；定
盤、４；真空容器、５；電子ビームユニット、６；駆動
ユニット、７；ロードロック室、８；電子ビーム発生
系、９；電子ビームレンズ系、１７；ターンテーブル、
１８；スピンドルモータ、１９；スライドユニット、２
０；固定ベース、２１；移動ベース、２２；クロスロー
ラガイド、２３；送りモータ、２４；送りネジ、２５；
トルクロッド、４０；回転シャフト、４１；軸受、４
２；摩擦軸受、４３；与圧ローラ。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内に設置された駆動ユニットに
   より光ディスク原盤を保持して回転と移動をさせなが
   ら、電子ビームユニットから光ディスク原盤に電子ビー
   ムを照射して露光するする光ディスク原盤露光装置にお
   いて、 上記駆動ユニットは光ディスク原盤を保持するターンテ
   ーブルと、ターンテーブルを回転する回転モータと、回
   転モータを横移動するスライドユニットを有し、スライ
   ドユニットは固定ベースと回転モータを載置した移動ベ
   ースを有し、移動ベースと固定ベース間を与圧手段で連
   結し、移動ベースと固定ベースの間に、常に一定のテン
   ションを加えた状態で移動ベースを固定ベース上に設け
   た送りモータに連結された送りネジで移動することを特
   徴とする光ディスク原盤露光装置。
2. 【請求項２】 真空容器内に設置された駆動ユニットに
   より光ディスク原盤を保持して回転と移動をさせなが
   ら、電子ビームユニットから光ディスク原盤に電子ビー
   ムを照射して露光するする光ディスク原盤露光装置にお
   いて、 上記駆動ユニットは光ディスク原盤を保持するターンテ
   ーブルと、ターンテーブルを回転する回転モータと、回
   転モータを横移動するスライドユニットを有し、スライ
   ドユニットは固定ベースと回転モータを載置した移動ベ
   ースを有し、移動ベースを、固定ベース上の送りモータ
   に連結された回転シャフトと複数の与圧ローラによって
   構成された摩擦移動方式により移動することを特徴とす
   る光ディスク原盤露光装置。
3. 【請求項３】 上記移動ベースには回転シャフトを保持
   する軸受を２個所に有し、軸受の間に複数の与圧ローラ
   を設けた請求項２記載の光ディスク原盤露光装置。
4. 【請求項４】 上記与圧ローラは、回転シャフトを囲み
   ４方向から対向するように各々回転シャフトに向けて圧
   接されている請求項２又は３記載の光ディスク原盤露光
   装置。
5. 【請求項５】 上記移動ベースと固定ベース間を与圧手
   段で連結し、移動ベースと固定ベースの間に、常に一定
   のテンションを加えた請求項２乃至４のいずれかに記載
   の光ディスク原盤露光装置。
6. 【請求項６】 上記与圧手段は、ターンテーブルの移動
   軸を中心として送りネジ又は回転シャフトに対して対称
   な位置に設置した請求項１又は５記載の光ディスク原盤
   露光装置。
7. 【請求項７】 上記真空容器に開閉自在な隔壁を隔て
   て、真空容器より容積の小さい予備室を設け、該予備室
   を経由して真空容器内に光ディスク原盤を投入し、真空
   容器から予備室を経由して光ディスク原盤を排出する請
   求項１乃至６のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装
   置。