JP2002334576A - 半導体メモリ装置及びそのリフレッシュ動作の制御方法 - Google Patents

半導体メモリ装置及びそのリフレッシュ動作の制御方法

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JP2002334576A JP2002065652A JP2002065652A JP2002334576A JP 2002334576 A JP2002334576 A JP 2002334576A JP 2002065652 A JP2002065652 A JP 2002065652A JP 2002065652 A JP2002065652 A JP 2002065652A JP 2002334576 A JP2002334576 A JP 2002334576A
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Ryol Hwang Hyong
Jong-Hyeon Choi
崔鍾賢
Hyun-Soon Jang
張賢淳
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】メモリバンクの一部分のセルフリフレッシュ動
作を選択的に実行する半導体メモリ装置、並びに部分ア
レーセルフリフレッシュ動作を実行する多様なメカニズ
ムを提供する。 【解決手段】部分アレーセルフリフレッシュ動作は、動
作の間、ローアドレスカウンターによってローアドレス
の発生を制御し、セルフリフレッシュサイクル発生回路
を制御し、該セルフリフレッシュサイクル発生器からの
セルフリフレッシュサイクル出力を調節することによっ
て実行される。セルフリフレッシュサイクルは、部分ア
レーセルフリフレッシュ動作中の電流の消耗を減少させ
る方法で調整される。或いは、部分アレーセルフリフレ
ッシュ動作は、セルフリフレッシュ動作中における部分
セルアレーに対応する一つ以上のローアドレスを制御す
ることによって実行され、この際、セルフリフレッシュ
電流消費の低減は、メモリバンクの不使用の部分の活性
化遮断によってなされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイナミックラン
ダムアクセスメモリ(DRAM)装置のような半導体メ
モリ装置に係り、特に、半導体メモリ装置において、保
持されたデータを再充電するためのセルフリフレッシュ
動作がセルアレーを含む一つ以上の選択されたメモリバ
ンクの一部分で実行される部分アレーセルフリフレッシ
ュ動作を実行するための装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリ装置は、ダイナミックラン
ダムアクセスメモリ(DRAM)装置とスタティックラ
ンダムアクセスメモリ(SRAM)装置とに大別され
る。SRAM装置においては、単位セルはラッチ構造を
構成する4個のトランジスタによって具現され、電源が
遮断されない限り保持されたデータは失われない。した
がって、リフレッシュ動作が必要でない。反面、DRA
Mにおいては、単位セルは一つのトランジスタと一つの
キャパシタによって具現される。そして、データはキャ
パシタに保持される。半導体基板に形成されたキャパシ
タは周辺回路から完全には分離されない。したがって、
メモリセルに保持されたデータが漏れ電流によって変化
しうる。そこで、メモリセルに保持されたデータを周期
的に再充電するためのリフレッシュ動作が要求される。
半導体メモリ装置のセルフリフレッシュ動作は外部から
印加される命令信号によって連続的に内部アドレスが変
化することによって実行される。
【0003】高集積、大容量の半導体メモリ装置におけ
る最近の傾向によると、一般に一個のメモリチップ内に
複数個のメモリバンクが具備される。各々のメモリバン
クは所定量のデータを出力することができる。無線電
話、データバンク、個人用データ支援システム(PD
A、Personal Data Assistanc
eSystem)に結合されたペンティアム(登録商
標)タイプのコンピュータなどを含む最近のシステムに
設けられたDRAMは、スタンバイモードではシステム
に必要なデータを保持するための特別なメモリバンクの
みを利用する反面、データ通信モードでは大部分のメモ
リバンクを利用する。主にバッテリー電源で動作する個
人用データ支援システムを具現するために電力消費を減
少させることが必要である。
【0004】図1は、従来のDRAMのリフレッシュ動
作時に利用される回路のブロック図である。この明細書
では、説明の便宜のために、メモリバンク101_i
(i=1〜4)を有するDRAMが記載されている。図
1では、セルフリフレッシュ動作に関連しない回路部は
省略し、セルフリフレッシュ作動に関連する回路部が概
略的に示されている。
【0005】各々のメモリバンク101_iは、コラム
とローに配列された複数個のメモリセルを有する。ロー
デコーダ103_iは対応するメモリバンクのローアド
レスを定義する。コラムデコーダ105_1と105_
2は対応するメモリバンクのコラムアドレスを定義す
る。リフレッシュ進入検出器107はセルフリフレッシ
ュ動作に移行させる信号を検出して、この信号に対応し
てリフレッシュ指示信号PRFHを発生する。リフレッ
シュ指示信号PRFHに応答して、内部アドレス発生器
及びカウンター109自体がセルフリフレッシュ動作の
ために連続アドレスFRA1〜FRAnを発生し、内部
アドレスは連続的に変更される。スイッチ111は正常
作動モードでは外部アドレスA1〜Anを入力して、リ
フレッシュモードではカウントアドレスFRA1〜FR
Anを入力して、外部アドレス及びカウントアドレスは
内部アドレスRA1〜RAnとしてローデコーダ103
_iに伝送される。
【0006】セルフリフレッシュ動作は、以下の方法で
実行される。半導体メモリ装置は、外部から入力された
命令信号に応答してセルフリフレッシュモードに移行す
る。この際、ローアドレスは所定の間隔で連続的に増加
したり減少したりする。メモリセルのワードラインはロ
ーアドレスを変化させることによって連続的に選択され
る。選択されたワードラインに対応するキャパシタに保
持された電荷量は、センス増幅器によって増幅されてキ
ャパシタに再び蓄積される。リフレッシュ動作を通し
て、保持されたデータは損失なく維持される。このよう
なセルフリフレッシュ動作はキャパシタに保持されたデ
ータを感知増幅する間に多くの電流量を消耗する。
【0007】図1に示す従来のDRAMにおいて、セル
フリフレッシュ動作はすべてのメモリバンクに対してな
される。言い換えれば、データが特定のメモリバンクに
のみ保持されるとしてもセルフリフレッシュ動作はすべ
てのメモリバンクに対して実行される。
【0008】さらに、たとえ分離された内部電圧発生器
113_i(i=1〜4)、例えば、バックバイアス電
圧発生器または内部電源供給電圧発生器などを含む内部
電圧発生器113_i(i=1〜4)が一般に各々のメ
モリバンクに存在するとしても、すべての電圧発生器が
リフレッシュ動作中に動作する。
【0009】上述したように、従来のDRAMはすべて
のメモリバンクに対してセルフリフレッシュ動作を実行
して結果的に不要な電流の消費をもたらす。またセルフ
リフレッシュモードに移行すると、各々のメモリバンク
に存在するすべての内部電圧発生器が動作し、これによ
り電流の消費がさらに増加する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】前記した問題点に重点
を置いて、本発明は、複数個のメモリバンクを有するD
RAMのような半導体メモリ装置において、個々のメモ
リバンクに対して及び一つ以上の選択されたメモリバン
クの一部分に対してセルフリフレッシュ動作を選択的に
実行することができる半導体メモリ装置を提供すること
を目的にする。
【0011】本発明は、半導体メモリ装置において、保
持されたデータを再充電するためのリフレッシュ動作が
セルアレーを含む一つ以上の選択されたメモリバンクの
一部分で実行される、部分アレーセルフリフレッシュ動
作を実行する多様なメカニズムを提供する。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の1つの側面によ
れば、部分アレーセルフリフレッシュ動作は、(1)セ
ルフリフレッシュ動作中にローアドレスカウンターによ
ってローアドレスの発生を制御して、(2)セルフリフ
レッシュサイクル出力を調節するためにセルフリフレッ
シュサイクル発生回路を制御することによって実行され
る。セルフリフレッシュサイクルは、部分アレーセルフ
リフレッシュ動作中における電流消耗を減少する方法に
よって調節される。
【0013】本発明の他の側面によれば、部分アレーセ
ルフリフレッシュ動作は、セルフリフレッシュ動作中に
部分セルアレーに対応する一つ以上のローアドレスを制
御することによって実行されて、セルフリフレッシュ電
流消耗の減少は、メモリバンクの不使用のブロックの活
性化を遮断することによって達成される。
【0014】本発明の更に他の側面によれば、メモリ装
置が、複数個のメモリブロックを各々備える複数個のメ
モリバンク、及びメモリバンクの一つを選択して、選択
されたメモリバンクのメモリブロックの一つに対するセ
ルフリフレッシュ動作を実行するためのセルフリフレッ
シュ制御回路を備えることを特徴とする。
【0015】本発明の更に他の側面によれば、半導体メ
モリ装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
るための回路が、半導体メモリ装置のリフレッシュ動作
中に所定周期Tを有するセルフリフレッシュサイクル信
号を発生するための第1パルス発生回路、及びセルフリ
フレッシュサイクル信号に応答して半導体メモリ装置の
リフレッシュ動作中にメモリのワードラインを活性化す
るためにデコードされるローアドレスデータを発生する
ための複数個のサイクルカウンターを備えるカウンター
を備え、部分アドレスセルフリフレッシュ動作中は、カ
ウンターが部分アレーセルフリフレッシュ制御信号に応
答してカウンターから出力されるアドレスビットをマス
クするためにサイクルカウンターの動作をディスエーブ
ルして、第1パルス発生回路がセルフリフレッシュサイ
クル信号の所定周期Tを大きくするために部分アレーセ
ルフリフレッシュ制御信号に応答することを特徴とす
る。
【0016】本発明の更に他の側面によれば、半導体メ
モリ装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
るための回路が、半導体メモリ装置のリフレッシュ動作
中にセルフリフレッシュサイクル信号を発生するための
第1パルス発生回路、セルフリフレッシュサイクル信号
に応答して半導体メモリ装置のリフレッシュ動作中にメ
モリバンクのワードラインを活性化するためにデコード
されるローアドレスデータを発生するための複数個のサ
イクルカウンターを備えるカウンター、カウンターから
出力されるローアドレスデータを入力して、ローアドレ
スを出力するためのローアドレスバッファ、及び半導体
メモリ装置のリフレッシュ動作中にメモリバンクのワー
ドラインを活性化するために処理されるセルフリフレッ
シュアドレス信号を発生するためにローアドレスバッフ
ァから出力されるローアドレスをデコーディングするた
めのロープリデコーダを備え、部分アレーセルフリフレ
ッシュ動作中にローアドレスバッファが部分アレーセル
フリフレッシュ制御信号に応答してメモリバンクの不使
用の部分に対応するワードラインの活性化を遮断するた
めにローアドレスデータの一つ以上のアドレスビットを
マスクすることを特徴とする。
【0017】本発明の更に他の側面によれば、半導体メ
モリ装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
るための回路が、半導体メモリ装置のリフレッシュ動作
中にセルフリフレッシュサイクル信号を発生するための
第1パルス発生回路、セルフリフレッシュサイクル信号
に応答して半導体メモリ装置のリフレッシュ動作中にメ
モリバンクのワードラインを活性するためにデコードさ
れるローアドレスデータを発生するための複数個のサイ
クルカウンターを備えるカウンター、カウンターから出
力されるローアドレスデータを入力して、ローアドレス
を出力するローアドレスバッファ、及び半導体メモリ装
置のリフレッシュ動作中にメモリバンクのワードライン
を活性化するために処理されるセルフリフレッシュアド
レス信号を発生するためにローアドレスバッファから出
力されるローアドレスをデコーディングするためのロー
プリデコーダを備え、部分アレーセルフリフレッシュ動
作中に、ロープリデコーダが部分アレーセルフリフレッ
シュ制御信号に応答してメモリバンクの不使用の部分に
対応するワードラインの活性化を遮断するためにローア
ドレスデータの一つ以上のアドレスデータをマスクする
ことを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明、及び本発明によっ
て達成される目的及び動作の長所などをさらに完全に理
解するために、本発明の望ましい実施例を添付図面を参
照として説明する。これらの図面において同じ参照番号
は同じ要素を示す。
【0019】図2は、本発明の望ましい実施例による各
々の個別的なメモリバンクに対するセルフリフレッシュ
動作を選択的に実行することができるDRAMのセルフ
リフレッシュ動作に関連した回路を示したブロック図で
ある。
【0020】図2を参照すると、本発明の望ましい実施
例による各々の個別的なメモリバンクに対するセルフリ
フレッシュ動作を選択的に実行することができるDRA
Mは、複数個のメモリバンク201_iを含む。本明細
書では、説明の便宜のために、4個のメモリバンク20
1_i(i=1〜4)を有するDRAMが例示的に説明
される。本発明は、4個以外の複数個のメモリバンクを
有するDRAMにも同等に適用することができる。
【0021】各々のメモリバンク201_iは、コラム
とローで配列された複数個のメモリセルを有する。ロー
デコーダ203_iは該当するメモリバンクのローアド
レスを指定する。例えば、ローデコーダ203−1はメ
モリバンク201_1のローアドレスを選択する。
【0022】コラムデコーダ205_1、205_2
は、該当するメモリバンクのコラムアドレスを指定す
る。例えば、コラムデコーダ205_1はメモリバンク
201_1、201_2のコラムアドレスを選択する。
【0023】セルフリフレッシュモードへの移行に応答
して、リフレッシュ進入検出器207は、リフレッシュ
指示信号PRFHを発生する。言い換えれば、セルフリ
フレッシュモードに入るとリフレッシュ指示信号PRF
Hは“ハイ”レベルに活性化される。リフレッシュ進入
検出器207の構成及び動作は図3を参考として以後に
詳細に説明する。
【0024】内部アドレス発生器及びカウンター209
は、セルフリフレッシュ動作中に各々所定の周期を有す
るパルスを発生して、パルスに応答して連続的に増加す
るカウントアドレスFRA1〜FRAnを発生する。カ
ウントアドレスFRA1〜FRAnの組合せは、指定す
べきローアドレスを連続的に変更する。リフレッシュ進
入検出器207から発生されたリフレッシュ指示信号P
RFHによって活性化されたスイッチ211は、正常モ
ードにおける動作中は、外部アドレスA1〜Anを入力
して、リフレッシュモードにおける動作中は、カウント
アドレスFRA1〜FRAnを入力して、順に内部アド
レスRA1〜RAnを発生する。スイッチ211の動作
は図5を参考として以後に詳細に説明する。
【0025】図2を参照すると、従来のDRAMに含ま
れた回路以外に、本発明のDRAMは、バンク選択デコ
ーダ213、デコーダ215及びリフレッシュ制御器2
17をさらに含む。デコーダ215及びリフレッシュ制
御器217は、以下で説明するように、本発明に係るリ
フレッシュバンク指定回路によって構成されることが望
ましい。また、バンク選択デコーダ213、デコーダ2
15及びリフレッシュ制御器217は、以下で説明する
ように、本発明に係るリフレッシュ制御回路によって構
成することができる。
【0026】デコーダ215は、1〜4個のリフレッシ
ュバンク指定信号PREF_i(i=1〜4)を発生す
る。リフレッシュされるメモリバンク201_1は、1
〜4のリフレッシュバンク指定信号PREF_1〜PR
EF_4によって決定される。
【0027】リフレッシュ制御器217は、リフレッシ
ュ制御信号RCON1、RCON2を発生してリフレッ
シュ制御信号はデコーダ215に供給される。リフレッ
シュ制御信号RCON1、RCON2は、例えば2以上
とすることができる。リフレッシュ制御信号RCON
1、RCON2は、リフレッシュされるメモリバンクの
選択を制御する。リフレッシュ制御器217は、図6、
図7及び図8を参照して以後に詳細に説明する。
【0028】デコーダ215は、セルフリフレッシュモ
ードでリフレッシュ制御信号RCON1、RCON2を
デコードして第1〜第4のリフレッシュバンク指定信号
PREF_1〜PREF_4を発生する。デコーダ21
5は、図9を参考として以下に詳細に説明する。
【0029】バンク選択デコーダ213は、セルフリフ
レッシュモードにおいて第1〜第4までのリフレッシュ
バンク指定信号PREF_1〜PREF_4及び内部ア
ドレスRA1〜RAnを入力する。バンク選択デコーダ
213は、リフレッシュアドレスDRAai(i=1〜
4)を第1〜第4のリフレッシュバンク指定信号PRE
F_1〜PREF_4及びこれらの組合せによって選択
されたメモリバンクのローデコーダに供給する。
【0030】例えば、第1〜第4のリフレッシュバンク
指定信号PREF_1〜PREF_4によって選択され
た図2の第1メモリバンク201−1がリフレッシュさ
れる場合には、内部アドレスRA1〜RAnのデータ
は、リフレッシュアドレスDRAa1〜DRAa4であ
り、メモリバンク201_1のメモリセルのローアドレ
スを選択したローデコーダ203_1に供給される。バ
ンク選択デコーダ213は、図10から図13までを参
考として以後に詳細に説明する。
【0031】内部電圧発生器219_i(i=1〜4)
は、各々のメモリバンク201_iに関連した回路に直
流(DC)電圧を供給する回路であり、バックバイアス
電圧発生器、内部電源供給電圧発生器及び他の内部電圧
発生回路から選択される一つ以上の回路を含むことがで
きる。本発明に係るDRAMでは、内部電圧発生器11
3_iは各々のメモリバンクに設けられており、セルフ
リフレッシュ動作が該当するメモリバンクで実行される
時にのみ駆動される。本明細書では、説明の便宜のため
に、セルフリフレッシュモードに関連して各々のメモリ
バンクのためにイネーブルされる内部電圧発生器209
_iが代表的に説明された。しかし、当業者には本発明
がセルフリフレッシュモード以外のすべての作動モード
に適用できることは明白である。
【0032】内部電圧発生器219_i、i=1〜4に
対する典型的な例を図14を参考として以後に詳細に説
明する。
【0033】図3は、図2に示したリフレッシュ進入検
出器207を示した詳細回路図であって、図4は、図3
に示した様々な信号のタイミング図である。以下、図3
及び図4を参考としてリフレッシュ進入検出器207の
構成及び動作を説明する。
【0034】リフレッシュ進入検出器207は、進入検
出部301、ラッチ部303、及び終了検出部305を
含む。進入検出部301は、内部クロック信号PCL
K、第1内部クロックイネーブル信号PCKE1、チッ
プ選択信号/CS、ローアドレスストローブ信号/RA
S、コラムアドレスストローブ信号/CAS、及びライ
トイネーブル信号/WEによってセルフリフレッシュモ
ードへの移行を検出する。言い換えれば、半導体メモリ
装置がセルフリフレッシュモードに移行すれば、進入検
出部301の出力信号N302が“ハイ”状態に遷移さ
れる。
【0035】ラッチ部303は、進入検出部301の出
力信号N302をラッチしてリフレッシュ指示信号PR
FHを発生する。セルフリフレッシュ作動が終わると、
終了検出部305は第2内部クロックイネーブル信号P
CKE2に応答して進入検出部301の出力信号N30
2を“ロー”状態に引き下ろす。
【0036】内部クロックイネーブル信号発生器307
は、クロックイネーブル信号CKEに応答して第1及び
第2内部クロックイネーブル信号PCKE1、PCKE
2を発生する。内部クロック発生器309はクロック信
号CLKに応答して内部クロック信号PCLKを発生す
る。
【0037】図4を参照すると、クロック信号CLK
は、半導体メモリ装置のマスタークロック(Maste
r Clock)であって、内部クロック信号PCLK
は、クロック信号CLKの上昇エッジに関連して同時に
活性化されるパルスである。クロックイネーブル信号C
KEは、次のクロックの有効性を指示する信号である。
本実施例では、クロックイネーブル信号CKEは、セル
フリフレッシュ作動が実行される時に“ロー”状態に遷
移する。クロックイネーブル信号CKEの下降エッジに
応答して第1内部クロックイネーブル信号PCKE1は
“ハイ”パルスに発生される。クロックイネーブル信号
CKEの上昇エッジに応答して第2内部クロックイネー
ブル信号PCKE2は“ロー”パルスに発生される。
【0038】したがって、チップ選択信号/CS、コラ
ムアドレスストローブ信号/CAS及びローアドレスス
トローブ信号/RASがすべて“ロー”レベルにあっ
て、クロックイネーブル信号CKEが“ロー”レベルに
なると、リフレッシュ指示信号PRFHは“ハイ”レベ
ルにラッチされる。これはセルフリフレッシュモードに
移行することを意味する。また、クロックイネーブル信
号CKEが“ハイ”レベルになると、リフレッシュ指示
信号PRFHは“ロー”レベルにラッチされて、これは
セルフリフレッシュモードの終了を示す。
【0039】図5は、図2に示したスイッチ211の回
路図である。図2を参照すると、スイッチ211は外部
アドレスA1〜AnまたはカウントアドレスFRA1〜
FRAnを入力して内部アドレスRA1〜RAnを発生
する。言い換えれば、リフレッシュ指示信号PRFHが
“ハイ”レベルにあるセルフリフレッシュモードでは伝
送ゲート501がオンされる。したがって、内部アドレ
スRA1〜RAnとしては、カウントアドレスFRA1
〜FRAnのデータと一致するデータがラッチされる。
また、リフレッシュ指示信号PRFHが“ロー”レベル
にある正常モードでは伝送ゲート503がオンされる。
したがって、内部アドレスRA1〜RAnとしては、外
部アドレスA1〜Anのデータと一致するデータがラッ
チされる。各々の伝送“ゲート”は、複数組の“n”個
の伝送ゲート、すなわち各々のアドレスバスFRAn、
Anの各ビットに対する伝送ゲートを示している。
【0040】図6は、リフレッシュ制御信号が外部アド
レスによって発生される図2に示したリフレッシュ制御
器217の回路図であって、説明の便宜のために、例え
ば、リフレッシュ制御信号RCON1、RCON2は外
部アドレスビットA10、A11によって発生される。
他の実施例で、外部アドレスは、必ずしもA10または
A11である必要はない。各々のリフレッシュ制御信号
RCON1/RCON2は一つの外部アドレスA10/
A11によって発生される。
【0041】図6を参照すると、リフレッシュ制御器2
17は、伝送ゲート601、NMOSトランジスタ60
3、及びラッチ605を含む。伝送ゲート601は、モ
ードレジスタ設定信号PMRSが“ハイ”レベルにある
期間中に特定の外部アドレスA10、A11を入力す
る。ここで、モードレジスタ設定信号PMRSは、DR
AM制御信号、例えば、/RAS、/CAS、/CS及
び/WEの組合せがすべて活性化される期に“ハイ”レ
ベルに活性化される。
【0042】NMOSトランジスタ603は、電源供給
電圧の初期パワーアップ期間において所定時間の間“ハ
イ”レベルに活性化されるプリチャージ信号PREによ
ってオンされる。ラッチ605は伝送ゲート601また
はプリチャージ信号PREによって伝送された外部アド
レスA10、A11によって発生された信号N602を
ラッチする。
【0043】したがって、リフレッシュ制御信号RCO
N1、RCON2はプリチャージ期間に“ロー”レベル
にラッチされる。プリチャージ信号が“ロー”レベルに
ラッチされた後、モードレジスタ設定信号PMRSが
“ハイ”レベルである期間に、外部アドレスA10、A
11が伝送ゲート601を通して伝送される。
【0044】この際、リフレッシュ制御信号RCON
1、RCON2が外部アドレスA10、A11によって
発生される。言い換えれば、外部アドレスA10、A1
1が“ハイ”レベルの場合にリフレッシュ制御信号RC
ON1、RCON2は“ハイ”レベルにラッチされる。
また、外部アドレスA10、A11が“ロー”レベルの
場合に、リフレッシュ制御信号RCON1、RCON2
は“ロー”レベルにラッチされる。
【0045】図6に示したリフレッシュ制御器217
で、外部アドレスA10、A11がデータを貯蔵するた
めにメモリバンクを指定する場合、本発明のDRAMに
おけるリフレッシュ作動はデータが保持されたメモリバ
ンクに対してのみ実行される。
【0046】図7は、リフレッシュ制御信号RCON
1、RCON2がコントロールヒューズによって制御さ
れる図2に示したリフレッシュ制御器207の他の回路
図である。本明細書では、説明の便宜のために、リフレ
ッシュ制御信号RCON1、RCON2がコントロール
ヒューズFUSE1、FUSE2によって発生される。
【0047】図7に示したリフレッシュ制御器217
は、コントロールヒューズFUSE1、FUSE2、N
MOSトランジスタ701、ラッチ703、及びバッフ
ァ705を含む。NMOSトランジスタ701は比較的
大きな抵抗要素である。したがって、コントロールヒュ
ーズFUSE1、FUSE2がオフされると、NMOS
トランジスタ701のドレーンポートN702が“ロ
ー”レベルになる。ここで、リフレッシュ制御信号RC
ON1、RCON2は“ハイ”レベルにラッチされる。
【0048】図7に示したこのようなリフレッシュ制御
器において、データを保持するためにメモリバンクを指
定するアドレス情報によってコントロールヒューズFU
SE1、FUSE2を遮断する動作を実行する装置がさ
らに提供される場合、本実施例のDRAMのリフレッシ
ュ動作はデータが貯蔵されるメモリバンクに対してのみ
実行されうる。
【0049】図8は、図2に示したリフレッシュ制御器
217の他の回路図であって、図6に示した回路のよう
に、リフレッシュ制御信号が外部アドレスによって発生
される。図8を参照すると、リフレッシュ制御器217
は伝送ゲート801とラッチ803を含む。伝送ゲート
801は、第1内部クロックイネーブル信号PCKE1
と内部クロック信号PCLKが“ハイ”レベルである期
間に外部アドレスA10、A11を入力する。ラッチ8
03は、伝送ゲート801によって伝送された外部アド
レスA10、A11をラッチしてリフレッシュ制御信号
RCON1、RCON2を発生する。言い換えれば、外
部アドレスA10、A11が“ハイ”レベルの場合に、
リフレッシュ制御信号RCON1、RCON2は“ハ
イ”レベルにラッチされる。また、外部アドレスA1
0、A11が“ロー”レベルの場合に、リフレッシュ制
御信号RCON1、RCON2は“ロー”レベルにラッ
チされる。
【0050】図9は、図2に示したデコーダ215の詳
細回路図である。図9を参照すると、デコーダ215
は、リフレッシュ指示信号PRFHが“ハイ”レベルで
あるリフレッシュモードでの動作中にイネーブルされる
4個のNANDゲート909、911、913、915
とリフレッシュ制御信号RCON1、RCON2をデコ
ーディングするための他の4個のNANDゲート90
1、903、905907のグループを含む。
【0051】リフレッシュモードでは、リフレッシュ制
御信号RCON1、RCON2がすべて“ロー”レベル
の場合に、NANDゲート901の出力信号N902は
“ロー”レベルになる。これに応答して、NANDゲー
ト909の出力信号である第1リフレッシュバンク指定
信号PREF_1は“ハイ”レベルになる。
【0052】リフレッシュモードでは、リフレッシュ制
御信号RCON1が“ハイ”レベルであってリフレッシ
ュ制御信号RCON2が“ロー”レベルであると、NA
NDゲート903の出力信号N904は“ロー”レベル
になる。これに応答して、NANDゲート911の出力
信号である第2リフレッシュバンク指定信号PREF_
2は“ハイ”レベルになる。
【0053】リフレッシュモードでは、リフレッシュ制
御信号RCON1が“ロー”レベルであってリフレッシ
ュ制御信号RCON2が“ハイ”レベルであると、NA
NDゲート905の出力信号N906が“ロー”レベル
になる。これに応答して、NANDゲート913の出力
信号である第3リフレッシュバンク指定信号PREF_
3は“ハイ”レベルになる。
【0054】リフレッシュモードでは、リフレッシュ制
御信号RCON1、RCON2がすべて“ハイ”レベル
であると、NANDゲート907の出力信号N908は
“ロー”レベルになる。NANDゲート915の出力信
号である第4リフレッシュバンク指定信号PREF_4
は“ハイ”レベルになる。
【0055】図10は、1バンクがリフレッシュバンク
指定信号によって選択される図2に示したバンク選択デ
コーダ213の回路図である。図10を参照すると、バ
ンク選択デコーダ213は、4個のバッファ1001、
1003、1005、1007と4個のプリデコーダ1
011、1013、1015、1017とを含む。
【0056】バッファ1001、1003、1005、
1007は、第1〜第4のデコーディング信号PREF
_j(j=a、b、c、d)を発生するために第1〜第
4のリフレッシュバンク指定信号PREF_1〜PRE
F_4をバッファする。したがって、第1〜第4のデコ
ーディング信号PREF_a〜PREF_dは、第1〜
第4のリフレッシュバンク指定信号PREF_1〜PR
EF_4と類似な情報を示す。図2を参照すると、第1
〜第4のデコーディング信号PREF_a〜PREF_
dは、内部電圧発生器219_1〜219_4に供給さ
れて内部電圧発生器を制御する。
【0057】図10を参照すると、プリデコーダ101
1、1013、1015、1017は、第1〜第4のデ
コーディング信号PREF_a〜PREF_dに応答し
てイネーブルされる。また、イネーブルされたプリデコ
ーダ1011、1013、1015、1017は、内部
アドレスRA1〜RAnを入力してリフレッシュアドレ
スDRAji(j=a、b、c、d、i=1〜n)を発
生する。プリデコーダ1011、1013、1015、
1017は、図11及び図12を参考として以後にさら
に詳細に説明する。
【0058】図10に示したバンク選択デコーダ213
の動作は、第1リフレッシュバンク指定信号PREF_
1が活性化される場合に対する説明である。第1リフレ
ッシュバンク指定信号PREF_1が活性化されると第
1デコーディング信号PREF_aが活性化される。第
1デコーディング信号PREF_aが活性化されると、
第1プリデコーダ1011がイネーブルされる。したが
って、第1リフレッシュアドレスDRAai(i=1〜
n)は、内部アドレスRA1〜RAnと同一な情報を有
する。第1リフレッシュアドレスDRAai(i=1〜
n)は、第1メモリバンク201_1のメモリセルをリ
フレッシュするために図2に示した第1メモリバンク2
01_1のローをデコーディングするための第1ローデ
コーダ203_1に伝送される。
【0059】第1リフレッシュバンク指定信号PREF
_1がバンク選択デコーダ213で活性化されると、第
2〜第4のリフレッシュバンク指定信号PREF_2〜
PREF_4が非活性化されて、第2〜第4までのプリ
デコーダ1013、1015、1017はディスエーブ
ルされる。したがって、第2〜第4のリフレッシュアド
レスDRAji(j=b、c、d、i=1〜n)がプリ
チャージ状態である“ロー”レベルに維持される。それ
ゆえ、リフレッシュ作動は、第2〜第4のメモリバンク
201_2〜201_4のメモリセルでは実行されな
い。図10に示したバンク選択デコーダ213を利用し
て各々のバンクに対するリフレッシュ作動を選択的に実
行することができるDRAMを実現する場合に、単に一
つのメモリバンクのみ選択されて、リフレッシュアドレ
スがメモリバンクに供給される。
【0060】図9及び図10を参照すると、バンクは以
下の表1に示したようにリフレッシュ制御信号RCON
1、RCON2に基づいて選択される。
【0061】
【表1】
【0062】図11は、図10に示したプリデコーダの
詳細回路図である。第1〜第4のプリデコーダは、同じ
構成を有するので第1プリデコーダが代表的に説明され
る。
【0063】図11を参照すると、第1プリデコーダ1
011は、NANDゲート1101とインバータ110
3とによって構成される。NANDゲート1101は、
第1デコーディング信号PREF_aの活性化によって
イネーブルされる。したがって、第1リフレッシュアド
レスDRAai、I=1〜nは、内部アドレスRAi、
i=1〜nと同一な情報を伝送する。
【0064】図12は、図10に示したプリデコーダの
他の詳細な回路図である。図12に示したプリデコーダ
1011は、NANDゲート1201、伝送ゲート12
03、NMOSトランジスタ1205、及びラッチ12
07を含む。NANDゲート1201は、第1デコーデ
ィング信号PREF_aと第1プリチャージ制御信号P
DREを入力する。また、NANDゲート1201の出
力信号N1202は伝送ゲート1203を制御する。第
1プリチャージ信号PDREは、プリチャージ期間は
“ロー”状態になり、プリチャージ後は“ハイ”状態に
なる。
【0065】伝送ゲート1203は、NANDゲート1
201の出力信号N1202に応答して内部アドレスR
Ai(i=1〜n)を伝送する。NMOSトランジスタ
1205は、プリチャージ期間に活性化される第2プリ
チャージ制御信号PDRAに応答して、第1プリデコー
ダ1011の出力信号である第1リフレッシュアドレス
DRAai(i=1〜n)を“ロー”レベルにプリチャ
ージする。ラッチ1207は、伝送ゲート1203によ
って伝送された信号をラッチしてNMOSトランジスタ
1205によってプリチャージされた信号をラッチす
る。
【0066】したがって、プリチャージ期間が終了して
第1デコーディング信号PREF_aが活性化される
と、リフレッシュアドレスDRAai(i=1〜n)
は、内部アドレスRAi(i=1〜n)と同一の情報を
有するためにラッチされる。
【0067】図13は、リフレッシュバンクの数が多様
に調節できる図2に示したバンク選択デコーダの他の回
路図である。図13を参照すると、バンク選択デコーダ
213は、4個の論理素子1301、1303、130
5、1307と4個のプリデコーダ1311、131
3、1315、1317を含む。
【0068】第1論理素子1301は、第1〜第4のリ
フレッシュバンク指定信号PREF_i(i=1〜4)
を入力信号として受け入れて、第1デコーディング信号
PREF_a'を発生するために論理和動作を実行す
る。第2論理素子1303は、第2〜第4のリフレッシ
ュバンク指定信号PREF_i(i=2〜4)を入力信
号として受け入れて、第2デコーディング信号PREF
_b'を発生するために論理和動作を実行する。第3論
理素子1305は、第3〜第4のリフレッシュバンク指
定信号PREF_i(i=3、4)を入力信号として受
け入れて、第3デコーディング信号PREF_c'を発
生するために論理和動作を実行する。第4論理素子13
07は、リフレッシュバンク指定信号PREF_4を入
力信号として受け入れて第4デコーディング信号PRE
F_d'を発生する。
【0069】デコーディング信号は、次のように第1〜
第4のリフレッシュバンク指定信号PREF_i(i=
1〜4)の活性化によって調節される。
【0070】第1リフレッシュバンク指定信号PREF
_1が活性化されると、第1デコーディング信号PRE
F_a'が活性化されて、第2〜第4のデコーディング
信号PREF_b'が非活性化される。したがって、第
1リフレッシュアドレスDRAai(i=1〜n)が内
部アドレスRA1〜RAnと同一の情報を有する間、第
2〜第4のリフレッシュアドレスDRAbi、DRAc
i、及びDRAdi(i=1〜n)はプリチャージ状態
である“ロー”状態に維持される。したがって、図2に
示した第1メモリバンク201_1は、リフレッシュ動
作を実行して、第2〜第4までのメモリバンク201_
i(i=2〜4)はリフレッシュ動作を実行しない。
【0071】第2リフレッシュバンク指定信号PREF
_2が活性化されると、第1デコーディング信号PRE
F_a'及び第2デコーディング信号PREF_b'が活
性化されて、第3〜第4までのデコーディング信号PR
EF_c'、PREF_d'が非活性化される。したがっ
て、第1及び第2リフレッシュアドレスDRAai、D
RAbi(i=1〜n)が内部アドレスRA1〜RAn
と同一の情報を有する間、第3〜第4のリフレッシュア
ドレスDRAci、DRAdi(i=1〜n)は、プリ
チャージ状態である“ロー”状態に維持される。したが
って、第1及び第2メモリバンク201_1、201_
2はリフレッシュ動作を実行し、第3及び第4のメモリ
バンク201_3、201_4はリフレッシュ動作を実
行しない。
【0072】第3リフレッシュバンク指定信号PREF
_3が活性化されると、第1〜第3のデコーディング信
号PREF_a'、PREF_b'、PREF_c'が活
性化されて、第4デコーディング信号PREF_d'が
非活性化される。したがって、第1〜第3のリフレッシ
ュアドレスDRAai、DRAbi、DRAci(i=
1〜n)が内部アドレスRA1〜RAnと同一の情報を
有する間、第4リフレッシュアドレスDRAdi(i=
1〜n)は、プリチャージ状態である“ロー”状態に維
持される。したがって、第1〜第3のメモリバンク20
1_1、201_2、201_3はリフレッシュ動作を
実行し、第4メモリバンク201_4はリフレッシュ動
作を実行しない。
【0073】第4リフレッシュバンク指定信号PREF
_4が活性化されると、第1〜第4のデコーディング信
号PREF_a'、PREF_b'、PREF_c'、P
REF_d'がすべて活性化される。したがって、第1
〜第4のリフレッシュアドレスDRAai、DRAb
i、DRAci、DRAdi(i=1〜n)が内部アド
レスRA1〜RAnと同一の情報を有する。したがっ
て、第1〜第4のメモリバンク201_1、201_
2、201_3、201_4がリフレッシュ動作を実行
する。
【0074】図13に示した第1〜第4のプリデコーダ
1311、1313、1315、1317は、図10で
示したプリデコーダ1011、1013、1015、1
017と同一の構成で実現される。したがって、詳細な
説明はここでは省略する。
【0075】図13に示したバンク選択デコーダ213
は、多様な数のプリデコーダを有することができる。ま
た、本発明に係るリフレッシュ動作を選択的に実行する
ことができるDRAMにおいて、データが保持されたメ
モリセルを有するメモリバンクでのみ選択的にリフレッ
シュが可能である。また、リフレッシュされるメモリバ
ンクの数は、図13に示したバンク選択デコーダを利用
することによって多様に変更することができる。
【0076】図14は、図2に示した内部電圧発生器の
回路図であって、内部電源供給電圧発生器が内部電圧発
生器の一例として図示されている。しかし、本発明がバ
ックバイアス電圧発生器を備えた回路にも適用できると
いうことは当業者には明白である。また、第1内部電圧
発生器219_1が代表的に記述されるが、本発明は第
2〜第4の内部電圧発生器219_i、i=2〜4にも
適用できる。
【0077】まず、リフレッシュ動作が図2に示した第
1メモリバンク201_1に対して実行される場合、第
1デコーディング信号PREF_aは“ハイ”レベルに
なる。この際、PMOSトランジスタ1401、140
5はオフされてNMOSトランジスタ1407はオンさ
れる。したがって、従来技術のように図14に示した内
部電源供給電圧発生器は、内部電源供給電圧PIVGを
発生するためにイネーブルされる。内部電源供給電圧P
IVGを発生する作動原理は当業者によく知られている
のでここで詳細な説明を省略する。
【0078】リフレッシュ動作が第1メモリバンク20
1_1に対して実行されない場合、第1デコーディング
信号PREF_aは“ロー”レベルになる。この際、P
MOSトランジスタ1401、1405はオンされて、
NMOSトランジスタ1407とPMOSトランジスタ
1403はオフされる。また、図14に示した内部電源
供給電圧発生器は、動作を止めるためにディスエーブル
される。上述したように、図14に示した内部電源供給
電圧発生器は、リフレッシュ動作が実行されるメモリバ
ンクに対応する内部電圧発生器のみ動作するように動作
する。したがって、リフレッシュ動作が実行されないメ
モリバンクに対応する内部電圧発生器は動作を停止し
て、これにより電源消耗を大幅に減少させる。
【0079】メモリセルを含む複数のメモリバンクのう
ち一つ以上の選択されたメモリバンクに対して、全体ア
レーセルフリフレッシュ(Full Array Se
lf−refresh)を実行する上述された望ましい
実施例に追加して、本発明の他の実施例は、一つ以上の
選択されたメモリバンクの一部分(一つ以上のブロッ
ク)に対して部分アレーセルフリフレッシュ(PAS
R;Partial Array Self−refr
esh)動作を実行するメカニズムを提供する。特に、
本発明は、選択されたメモリバンクの部分アレーセルフ
リフレッシュ動作、例えば1/2、1/4、1/8また
は1/16部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
るメカニズムを提供する。本発明の一実施例では、概略
的に言えば、部分アレーセルフリフレッシュ作動は、
(1)セルフリフレッシュ動作中にローアドレスカウン
ターによってローアドレスの発生を制御して、(2)セ
ルフリフレッシュサイクル発生器を制御して該セルフリ
フレッシュサイクル発生器からのセルフリフレッシュサ
イクル出力を調節することによって実行される。以下に
説明するように、セルフリフレッシュサイクルは、部分
アレーセルフリフレッシュ動作中における電流消耗の減
少する方法で調節される。他の実施例で、部分アレーセ
ルフリフレッシュ動作は、セルフリフレッシュ中の部分
セルアレーに対応する一つ以上のローアドレスを制御す
ることによって実行され、セルフリフレッシュ電流消耗
の減少は、メモリバンクの不使用のブロックの活性化を
遮断することによってなされる。
【0080】図15A及び図15Bは、半導体メモリ装
置の複数個のメモリバンクのうちの一つのメモリバンク
Bのアレー分割を示している。上述したように、半導体
装置のメモリセルアレーは、バンクアドレスコーディン
グ(例えば、アドレスA12、A13は4個のメモリバ
ンクを選択するために用いられることができる)を用い
て幾つかのメモリバンクに分割されうる。さらに、本実
施例によると、図15に示したように、メモリバンクB
は一つのアドレス(例えば、A11)のコーディングを
用いて、論理的に2個のブロックBK1、BK2に分割
され、望ましくは2個のブロックの大きさは同一であ
る。部分アレーセルフリフレッシュ動作中において、ブ
ロックBK1は“ロー”レベルのアドレスA11に応答
してアクセスされ、ブロックBK2は“ハイ”レベルの
アドレスA11に応答してアクセスされる。言い換えれ
ば、部分アレーセルフリフレッシュ動作中において、セ
ルフリフレッシュはメモリバンクの1/2に対してのみ
実行される。例えば、セルフリフレッシュはブロックB
K1に対してのみ実行され、ブロックBK2に対しては
実行されない。
【0081】また、図15Bでは、メモリバンクBが2
個のアドレス(例えば、A10、A11)のコーディン
グを用いて論理的に4個のブロックBK1、BK2、B
K3、BK4に分割され、4個のブロックは望ましく同
一の大きさを有する。部分セルフリフレッシュ動作中に
おいて、ブロックBK1、BK2、BK3、BK4中の
一つは対応するアドレスによってアクセスされる。例え
ば、ブロックBK1は、“ロー”レベルであるアドレス
A10、A11に応答してアクセスされ、ブロックBK
2は“ロー”レベルであるアドレスA11と“ハイ”レ
ベルであるアドレスA10に応答してアクセスされる。
言い換えれば、部分アレーセルフリフレッシュ動作中に
おいて、セルフリフレッシュは、メモリバンクの1/4
に対してのみ実行される。例えば、セルフリフレッシュ
がブロックBK1に対して実行されると、残りのブロッ
クBK2、BK3、BK4に対しては実行されない。同
様に、メモリバンクは、論理的に3個及び4個のアドレ
スを利用して8個及び16個のブロックに分割してもよ
く、この場合はメモリバンクの1/8または1/16ブ
ロックがセルフリフレッシュされる。部分アレーセルフ
リフレッシュ動作を実行する望ましい実施例に対してさ
らに詳細に説明する。
【0082】図16は、本発明の実施例による部分アレ
ーセルフリフレッシュ動作を実行するための回路の概略
図である。図16は、図2に示した内部アドレス発生器
及びカウンター209の実施例を示す。図16は、セル
フリフレッシュアドレスカウンターによって発生された
アドレスビットをマスクして、セルフリフレッシュサイ
クルを調節するための本発明の1形態による制御方法を
示す。図16の回路は、命令語バッファ1601、発振
器1602、セルフリフレッシュサイクル発生器160
3、自動パルス発生器1604、カウンター1605、
ローアドレスバッファ1606、及びローアドレスプリ
デコーダ1607を含む。
【0083】カウンター1605は、複数個のサイクル
カウンター(例えば、カウンター0〜カウンター11)
を含む。半導体メモリ装置に適用されるサイクルカウン
ターの数は望ましくはワードラインを活性化するための
内部アドレスを発生することに必要なアドレスビットの
数と同一である。例えば、メモリバンク当たりのワード
ラインの数が4096である図15A及び図15Bの実
施例において、12個のアドレスビットCNT0〜CN
T11が必要である。したがって、図16の実施例で
は、カウンター1605は12個のサイクルカウンター
を含む。
【0084】命令語バッファ1601は、半導体メモリ
チップに印加される外部セルフリフレッシュ命令語信号
を入力として受け入れて、ここに応答して内部リフレッ
シュ制御信号IN2を出力する。制御信号IN2の論理
レベルに依存して、全体アレーセルフリフレッシュ動作
が、一つ以上の選択されたメモリバンクに対して実行さ
れたり、部分アレーセルフリフレッシュ動作が一つ以上
の選択されたメモリバンクの一部分に対して実行された
りする。
【0085】特に、一つの実施例で、制御信号IN2が
セルフリフレッシュ命令信号に応答して“ハイ”レベル
に設定されると、すべてのアレーセルフリフレッシュ動
作が一つ以上のメモリバンクに対して実行される。図1
7は、一つ以上の選択されたメモリバンクに対するすべ
てのアレーセルフリフレッシュ動作を実行するための制
御信号を示すタイミング図である。“ハイ”レベルであ
る制御信号IN2に応答して、発振器1602は信号P
OSCを発生する。信号POSCは、セルフリフレッシ
ュサイクル発生器1603に入力されて、セルフリフレ
ッシュサイクル発生器1603は、パルス信号POSC
の周期より何倍か大きな所定の周期Tを有するパルス信
号PSELFを発生する。自動パルス発生器1604
は、セルフリフレッシュサイクル制御信号を含んだ各パ
ルスの上昇部に応答してパルス信号CNTPを発生す
る。信号CNTPは、カウンター1605に入力されて
アドレス信号CNT0〜CNT11を発生させ、アドレ
ス信号CNT0〜CNT11はセルフリフレッシュサイ
クル信号PSELFの上昇エッジで変化される。カウン
ターは連続的にローアドレスバッファ1606に入力さ
れる内部ローアドレスを発生する。その後、バッファさ
れたローアドレスは、ローアドレスプリデコーダ160
7によってデコードされて、全体アレーセルフリフレッ
シュ動作が、ワードラインを連続的に活性化させること
によって、選択されたメモリバンクに対して実行され
る。各々のワードラインは図17に示したように活性化
される。
【0086】したがって、選択されたメモリバンクに対
する全体アレーセルフリフレッシュ動作の場合には、部
分セルフリフレッシュ信号IN2は“ハイ”レベルに固
定されて、図17に示したようにリフレッシュ動作中に
発生された自動パルス信号CNTPのトグリング(To
ggling)に基づいて信号CNT11が発生され
る。
【0087】一方、本発明の1形態による部分アレーセ
ルフリフレッシュ動作の場合は、制御信号IN2は“ロ
ー”レベルに設定される。“ロー”レベルである制御信
号IN2に応答して、カウンター11は信号CNTPに
応答して動作せず、カウンター11のアドレスビット
(例えば、CNT11)はマスクされて“ロー”レベル
に固定される。
【0088】図18は、本発明の一実施例によるカウン
ターの概略図である。特に、図18Aは、図16に示し
たカウンター1605のサイクルカウンター1605−
11を示している。サイクルカウンター1605−11
は、リフレッシュ信号IN2を入力として受け入れる複
数個のNANDバッファN1、N2、複数個の伝送ゲー
トt0〜t3、及び複数個のインバータバッファI1〜
I4を含み、これらすべては図示されたように動作する
ように連結される。
【0089】図18Bのタイミング図に示したように、
“ロー”レベルの信号IN2がカウンター1605に印
加されてカウンター1605の動作をディスエーブルし
て、信号CNT10の入力レベルに関係なくカウンター
1605の出力ビットCNT11を“ロー”レベルに維
持する。要約すると、サイクルカウンター1605−1
1は次のように作動する。内部ノードn0、n1、n
2、n3、n4、n5、CNT11、IN2の初期状態
を各々“ハイ”レベル、“ロー”レベル、“ハイ”レベ
ル、“ロー”レベル、“ロー”レベル、“ハイ”レベ
ル、“ロー”レベル、“ハイ”レベルと仮定する。信号
CNT10が“ロー”レベルになると伝送ゲートt3が
オンされて、ノードn4が“ハイ”レベル、ノードn3
が“ハイ”レベル、ノードn5が“ロー”レベル、最終
出力CNT11が“ハイ”レベルになる。信号CNT1
0が“ハイ”レベルになると、伝送ゲートt1がオンさ
れて、ノードn0が“ロー”レベル、ノードn1が“ハ
イ”レベル、ノードn2が“ロー”レベルになる。信号
CNT11のレベルは信号CNT10の“ロー”レベル
によって継続的に変わる。
【0090】さらに、図15Aに示したように、1/2
部分アレーセルフリフレッシュ作動中に一つのバンクが
二回リフレッシュされることを防止するためにリフレッ
シュサイクルの周期Tは電流消耗を減少させるために二
倍(2T)になる。言い換えれば、図15Aの実施例
で、2047個のワードライン(210)のみが活性化
される必要があるので、リフレッシュ信号PSELFの
周期Tは二倍になる。リフレッシュ信号PSELFの周
期Tは信号IN2に応答して調節される。図19は本発
明の一実施例によるセルフリフレッシュサイクル発生器
の概略図である。セルフリフレッシュサイクル発生器1
603はnビットカウンターを含み、リフレッシュ信号
PSELFを発生するために用いられるサイクルカウン
ター1603−1〜1603−3の量は信号IN2に基
づいて変化する。
【0091】さらに詳細には、選択されたメモリバンク
のすべてのアレーセルフリフレッシュ動作の場合に所定
個数のサイクルカウンター1603−1〜1603−3
がカウンターN、1603−3から出力される信号QN
またはPSELFを発生するために用いられる。“ハ
イ”レベルの信号IN2に応答して信号POSCはスイ
ッチ1603−5を通してカウンター0、1603−1
に直接的にスイッチされて、周期Tを有する信号PSE
LFはPSELG発生器PSELF、1603から出力
される。
【0092】さらに、信号IN2が“ロー”レベルであ
る部分アレーセルフリフレッシュ動作の場合には、スイ
ッチ1603−5は信号POSCを追加的なカウンター
1604−4に送って、発生される信号PSELFの周
期が全体アレーセルフリフレッシュ動作のための所定の
セルフリフレッシュサイクルの周期の2倍(2T)にな
るようにする。用いられる各々の追加カウンターについ
て、信号PSELFの周期は2倍になる。例えば、図2
0は、全体アレーセルフリフレッシュ動作、1/2部分
アレーセルフリフレッシュ動作、及び1/4部分アレー
セルフリフレッシュ動作に対するワードライン活性化間
隔を示す図面である。したがって、1/4部分アレーセ
ルフリフレッシュ動作に対して、PSELF発生器16
03で二個の追加カウンターの使用は信号PSELFの
周期が全体アレーセルフリフレッシュ動作の所定周期T
の4倍(4T)になるようにする。
【0093】図21は、本発明の他の実施例による部分
アレーセルフリフレッシュ動作を実行するための回路に
対する概略図である。図21の回路の動作は、上述した
ような図16の回路の動作と類似であるが、カウンター
10、1605−10とカウンター11、1605−1
1は、セルフリフレッシュ間隔を調節するためにPSE
LF発生器に入力される制御信号IN3によって選択的
にイネーブル/ディスエーブルされる点が異なる。制御
信号IN3を通して二個のサイクルカウンター10、1
1の動作を選択的にディスエーブルすることにより、ア
ドレスビットCNT10、CNT11が1/4部分アレ
ーセルフリフレッシュ動作を実行するようにするために
各々マスクされて所望するレベルに固定できる。
【0094】図22は、本発明によるセルフリフレッシ
ュサイクル発生回路1603の実施例を示しており、リ
フレッシュサイクルは、制御信号IN2、IN3によっ
て、所定のセルフリフレッシュサイクルTの2倍または
4倍に選択的に調節される。回路は、複数個のサイクル
カウンター1604、1605、1606、1607、
NORゲート1608、複数個の伝送ゲート1609、
1610、1611、及び複数個のインバータバッファ
612、1613、1614を含み、これらすべては図
22に示したように動作するように連結される。制御信
号IN1は、1/2部分アレーセルフリフレッシュ動作
を可能にして制御信号IN3は1/4部分アレーセルフ
リフレッシュ動作を可能にする。制御信号IN2、IN
3の論理レベルに依存して、発振器信号POSCの経路
は、サイクルカウンターQ1、1604から所望の信号
PSELFが出力されるように変更される。
【0095】さらに詳細には、サイクルカウンター16
04の出力が現在のサイクルを決定する出力であると仮
定する。一実施例として、全体アレーセルフリフレッシ
ュ動作の場合に、信号IN2、IN3は“ロー”レベル
を有するように固定される。伝送ゲート1609は活性
化され、伝送ゲート1610、1611は非活性化され
て、サイクルカウンター1605、1604を通して発
生される信号PSELFが図23Aのタイミング図で示
したように周期Tを有する信号PSELFになるように
する。1/2部分アレーセルフリフレッシュ動作の場合
には、信号IN2、IN3は、各々“ハイ”レベルと
“ロー”レベルを有するように固定される。結果的に、
伝送ゲート1609、1611は非活性化され、信号P
OSCはサイクルカウンター1606、1605、16
04を通過する。カウンター1604の出力PSELF
は、図23Bのタイミング図に示したように全体アレー
セルフリフレッシュのための信号PSELF周期の2倍
の周期を有する。さらに、1/4部分アレーセルフリフ
レッシュ動作の場合には、信号IN2、IN3は、各々
“ロー”レベルと“ハイ”レベルを有するように固定さ
れ、これは伝送ゲート1611が活性化されて伝送ゲー
ト1609、1610が非活性化される結果をもたら
す。信号POSCは、したがって、すべてのサイクルカ
ウンター1606、1607、1605、1604を通
過する。カウンター1604の出力信号は、したがっ
て、図23Cのタイミング図に示したように、全体アレ
ーセルフリフレッシュ中の所定の周期Tの4倍である周
期を有するようになる。
【0096】図24A及び図24Bは、本発明の他の実
施例によるサイクルカウンターを示す概略図である。特
に、図24A及び図24Bは、本発明の一実施例によ
る、例えば、1/4部分アレーセルフリフレッシュ動作
を提供する図21のカウンター1605に適用されるサ
イクルカウンター1605−11、1605−10の一
実施例を示すことである。図24A及び図24Bに示し
た実施例のサイクルカウンターは、図18Aに示したサ
イクルカウンターと類似であるが、図示されたように動
作するように連結されたバッファインバータI6及び伝
送ゲートt5、t6を含むことが異なる。また、制御信
号IN2、IN3各々は、カウンタービットCNT1
0、CNT11の多様な出力を提供するために2ビット
信号IN2A、IN2B、IN3A、IN3Bを各々含
み、これは引続き選択されたメモリバンクのメモリブロ
ックを選択するためのアドレスビット10、11の多様
な出力を提供する。例えば、実施例として、選択された
メモリバンクのブロックBK1、BK2、BK3、BK
4中の一つは以下の表2によって1/4部分アレーセル
フリフレッシュ動作に基づいてリフレッシュされる。
【0097】
【表2】
【0098】本発明の他の実施例によると、部分アレー
セルフリフレッシュ動作を実行する第2の制御方法は、
対応するローアドレスカウンターを調節する方法ではな
く、ローアドレスの部分セルアレーに対応するローアド
レスを調節する方法であって、選択されたメモリバンク
の不使用のブロックの活性化を遮断する方法である。例
えば、図15Aを参照すると、セルデータがブロックB
K1にあるセルフリフレッシュカウンターと関連して増
幅される。ブロックBK2では、セルフリフレッシュカ
ウンターがイネーブルされるが、活性化は、セルフリフ
レッシュアドレスカウンターでなく、アドレスを制御す
る方法で遮断される。活性化の遮断は、ローアドレスバ
ッファやデコーダに印加されるローアドレスを遮断する
ことによって実行される。
【0099】図25は、ローアドレスバッファを経由し
てローアドレスの活性化を遮断する方法を説明するため
のローアドレスバッファ1606の概略図である。図示
したように、カウンター(1605、図16)から出力
されるアドレスビットADDR11は、信号IN2によ
ってマスクされてローアドレス11が“ロー”レベルに
維持されるようにする。したがって、図15Aのブロッ
クBK1が選択される。
【0100】図26は、ローアドレスバッファでアドレ
スの活性化を遮断するための他の方法を示す本発明の他
の実施例によるローアドレスバッファの一部分の概略図
である。
【0101】回路は、複数個のインバータ2601〜2
605、伝送ゲート2607及びNORゲート2608
を含む。アドレスビット、例えばADDR11が、イン
バータ2601に印加される。信号IN4は、NORゲ
ート2608の一つの入力に印加される制御信号PAS
Rを含み、信号PRCNTは、リフレッシュ動作の間は
イネーブルされて、伝送ゲート2607とインバータ2
602に印加される信号である。信号PRCNTが“ハ
イ”レベルになる時、伝送ゲート2607は、例えばセ
ルフリフレッシュカウンター1605から発生されるロ
ーアドレスADDRをノードAに伝送する。この際、信
号IN4が“ロー”レベルに固定されていると、ノード
Aの信号が内部ローアドレス信号RAIJとしてNOR
ゲートを通して出力される。したがって、全体アレーセ
ルフリフレッシュ動作が実行される。一方、信号IN4
が“ハイ”レベルを有するように固定されると、出力信
号RAIJは“ロー”レベルに維持される。したがっ
て、部分アレーセルフリフレッシュ動作が実行される。
【0102】本発明の他の実施例では、選択されたメモ
リバンクの不使用のローアドレスに対する活性化の遮断
は、ローアドレスプリデコーダ1607に印加されるロ
ーアドレスを遮断することによって実行される。図27
は、ローアドレスの活性化を遮断するためのローアドレ
スデコーダの概略図である。回路は、NANDゲート2
701、複数個のインバータ2702〜2704、及び
伝送ゲート2705を含み、これらすべては図27に示
したように動作するように連結される。信号PDRAE
は、ローデコーダをイネーブルする信号であって、制御
信号IN5は、部分アレーセルフリフレッシュ制御信号
PASRである。全体アレーセルフリフレッシュ動作の
場合には、信号PDRAE、IN5が各々“ハイ”レベ
ルに固定されると、ローアドレス信号RAは、伝送ゲー
ト2705を通して伝送されてリフレッシュアドレスD
RAとして出力される。一方、部分アレーセルフリフレ
ッシュ動作の場合には、信号PDRAEが“ハイ”レベ
ルに固定されて制御信号IN5が“ロー”レベルを有す
るように固定されると、信号RAは遮断される。したが
って、部分アレーセルフリフレッシュ動作が実行され
る。
【0103】以上、本発明を望ましい実施例を通して説
明したが、特許請求の範囲によって定義されたように、
本発明の思想及び範囲を逸脱しない範囲において多様な
変形がなされうることは当業者にとって明白である。
【0104】
【発明の効果】前記したように、本発明によると、部分
アレーセルフリフレッシュ動作は、(1)セルフリフレ
ッシュ動作の間、ローアドレスカウンターによってロー
アドレスの発生を制御して、(2)セルフリフレッシュ
サイクル発生回路を制御して該セルフリフレッシュサイ
クル発生器からのセルフリフレッシュサイクル出力を調
節することによって実行される。セルフリフレッシュサ
イクルは、部分アレーセルフリフレッシュ動作中におけ
る電流の消耗を減少させる方法で調整されうる。他の形
態によれば、部分アレーセルフリフレッシュ動作は、セ
ルフリフレッシュ動作の間、部分セルアレーに対応する
一つ以上のローアドレスを制御することによって実行さ
れ、この際、セルフリフレッシュ電流消費の低減は、メ
モリバンクの不使用の部分に対する活性化を遮断するこ
とによってなされる。
【0105】したがって、本発明によれば、前記のよう
な方法によってメモリのリフレッシュ動作における電力
の消耗を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のDRAMのリフレッシュ動作に関連した
回路を示すブロック図である。
【図2】本発明の望ましい実施例による各々の個別メモ
リバンクに対するセルフリフレッシュ動作を選択的に実
行することができるDRAMのリフレッシュ動作に関連
した回路を示すブロック図である。
【図3】図2に示したリフレッシュ進入検出器を示す詳
細回路図である。
【図4】図3に示した様々な信号のタイミング図であ
る。
【図5】図2に示したスイッチを示す回路図である。
【図6】リフレッシュ制御信号が外部アドレスによって
発生される図2に示したリフレッシュ制御器を示す回路
図である。
【図7】リフレッシュ制御信号が制御ヒューズによって
制御される図2に示したリフレッシュ制御器の他の例の
回路図である。
【図8】図2に示したリフレッシュ制御器の更に他の回
路図である。
【図9】図2に示したデコーダの詳細回路図である。
【図10】バンクがリフレッシュバンク設定信号によっ
て選択される図2に示したバンク選択デコーダの回路図
である。
【図11】図10に示したプリデコーダの詳細回路図で
ある。
【図12】図10に示したプリデコーダ中の一つに対す
る他の詳細回路図である。
【図13】リフレッシュバンクの数を可変的に制御でき
る図2に示したバンク選択デコーダの他の回路図であ
る。
【図14】図2に示した内部電圧発生器の回路図であ
る。
【図15A】本発明による1/2部分アレーセルフリフ
レッシュのためのメモリバンクの分割例を示す図面であ
る。
【図15B】本発明による1/4部分アレーセルフリフ
レッシュのためのメモリバンクの分割例を示す図面であ
る。
【図16】本発明の一実施例による部分アレーセルフリ
フレッシュ動作を実行する回路の概略図である。
【図17】本発明の1形態による全体アレーセルフリフ
レッシュ動作を実行するために用いられる制御信号を示
すタイミング図である。
【図18A】本発明の一実施例によるサイクルカウンタ
ーの回路図である。
【図18B】部分アレーセルフリフレッシュ動作中の図
18Aのサイクルカウンターの作動を示すタイミング図
である。
【図19】本発明の一実施例によるセルフリフレッシュ
サイクル発生器(Self−refresh Cycl
e Generator)の概略図である。
【図20】本発明による部分アレーセルフリフレッシュ
動作、1/2部分アレーセルフリフレッシュ作動、及び
1/4部分アレーセルフリフレッシュ動作の実行時のワ
ードライン活性化間隔を示す図面である。
【図21】本発明の他の実施例による部分アレーセルフ
リフレッシュ動作を実行するための回路の概略図であ
る。
【図22】本発明の他の実施例によるセルフリフレッシ
ュサイクル発生器の回路図である。
【図23A】、
【図23B】、
【図23C】図22のセルフリフレッシュサイクル発生
器の多様な作動モードを示すタイミング図である。
【図24A】、
【図24B】部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行
する本発明の他の実施例によるサイクルカウンターの回
路図である。
【図25】部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
る本発明の一実施例によるローアドレスバッファの概略
図である。
【図26】部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
る本発明の一実施例によるローアドレスバッファの一部
分に対する回路図である。
【図27】部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
る本発明の一実施例によるロープリデコーダの一部分に
対する回路図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 張賢淳 大韓民国ソウル特別市瑞草区方背本洞宮殿 アパートシー洞403 Fターム(参考) 5M024 AA16 BB22 BB39 DD33 EE05 EE13 EE24 EE29 PP01 PP02 PP03 PP07 PP10

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数個のメモリブロックを各々備える複
    数個のメモリバンクと、 前記複数個のメモリバンク中の一つを選択して、前記選
    択されたメモリバンクのメモリブロックの一つに対する
    セルフリフレッシュ動作を実行するためのセルフリフレ
    ッシュ制御回路と、 を備えることを特徴とするメモリ装置。
  2. 【請求項2】 前記セルフリフレッシュ制御回路は、 ローアドレスデータを発生するためのセルフリフレッシ
    ュアドレスカウンターと、 セルフリフレッシュサイクル信号を発生するためのセル
    フリフレッシュサイクル発生回路とを備え、 前記セルフリフレッシュアドレスカウンターは、セルフ
    リフレッシュ命令信号に応答して前記アドレスデータの
    一つ以上のビットをマスクして、前記セルフリフレッシ
    ュサイクル発生回路は、前記セルフリフレッシュ命令信
    号に応答して前記セルフリフレッシュサイクル信号の周
    期を増やすことを特徴とする請求項1に記載のメモリ装
    置。
  3. 【請求項3】 前記セルフリフレッシュサイクル信号の
    周期が、前記アドレスデータのマスクされたビットの数
    が増加することによって増加することを特徴とする請求
    項2に記載のメモリ装置。
  4. 【請求項4】 前記アドレスデータのマスクされたビッ
    トのレベルが固定されることを特徴とする請求項2に記
    載のメモリ装置。
  5. 【請求項5】 前記セルフリフレッシュ調節回路は、前
    記メモリバンクでメモリセルのワードラインを選択する
    ための複数個のローデコーダを備え、 選択されたメモリバンクに関連するローデコーダは、前
    記選択されたメモリバンクの選択されない部分と関連す
    るワードラインの活性化を遮断するためにセルフリフレ
    ッシュ命令信号に応答することを特徴とする請求項1に
    記載のメモリ装置。
  6. 【請求項6】 前記リフレッシュ制御回路は、前記選択
    されたメモリバンクの選択されない部分と関連する少な
    くとも一つのローアドレス信号を遮断するためにセルフ
    リフレッシュ命令信号に応答するローアドレスバッファ
    を備えることを特徴とする請求項1に記載のメモリ装
    置。
  7. 【請求項7】 複数個のメモリブロックを各々備える複
    数個のメモリバンク中の一つを選択する段階と、 リフレッシュ動作の間、リフレッシュされる前記選択さ
    れたメモリバンクのメモリブロックを選択する段階と、 前記リフレッシュ動作の間、前記選択されたメモリバン
    クの非選択のブロックと関連するワードラインの活性化
    を遮断する段階と、 を備えることを特徴とする半導体メモリ装置のセルフリ
    フレッシュ動作を制御する方法。
  8. 【請求項8】 前記選択されたメモリバンクのメモリセ
    ルのメモリブロックを選択する段階は、 セルフリフレッシュ命令信号を発生する段階と、 前記セルフリフレッシュ命令信号に応答してローアドレ
    スデータの一つ以上のビットをマスクする段階と、 メモリセルのブロックがマスクされたビットによってア
    ドレスされるリフレッシュ動作を選択する段階と、 を備えることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモ
    リ装置のセルフリフレッシュ動作を制御する方法。
  9. 【請求項9】 前記ビットをマスクする段階は、前記ビ
    ットのレベルを固定することを特徴とする請求項8に記
    載の半導体メモリ装置のセルフリフレッシュ動作を制御
    する方法。
  10. 【請求項10】 前記メモリセルのブロックは、前記マ
    スクされたビットの固定された値に基づいて選択される
    ことを特徴とする請求項9に記載の半導体メモリ装置の
    セルフリフレッシュ動作を制御する方法。
  11. 【請求項11】 前記リフレッシュ動作を制御するた
    めにセルフリフレッシュサイクル信号を発生する段階
    と、 前記セルフリフレッシュ命令信号に基づいて前記セルフ
    リフレッシュサイクル信号の前記周期を増加する段階
    と、 をさらに備えることを特徴とする請求項8に記載の半導
    体メモリ装置のセルフリフレッシュ動作を制御する方
    法。
  12. 【請求項12】 セルフリフレッシュ動作の間、制御信
    号を発生する段階と、 前記制御信号に応答して少なくとも一つのローアドレス
    をマスクする段階と、マスクされないローアドレスを利
    用して前記半導体メモリ装置のメモリバンクの一部分に
    対するセルフリフレッシュ動作を実行する段階と、 を備えることを特徴とする半導体メモリ装置のセルフリ
    フレッシュ動作を制御する方法。
  13. 【請求項13】 前記少なくとも一つのローアドレスを
    マスクする段階は、 アドレスビットのレベルを固定するためにサイクルカウ
    ンターの動作をディスエーブルすることを特徴とする請
    求項12に記載の半導体メモリ装置のセルフリフレッシ
    ュ動作を制御する方法。
  14. 【請求項14】 前記制御信号に応答してセルフリフレ
    ッシュサイクル信号の周期を増加する段階をさらに備え
    ることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装
    置のセルフリフレッシュ動作を制御する方法。
  15. 【請求項15】 前記マスクされたアドレスを利用して
    前記メモリバンクの部分を選択する段階をさらに備える
    ことを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置
    のセルフリフレッシュ動作を制御する方法。
  16. 【請求項16】 前記少なくとも一つのローアドレスを
    マスクする段階は、 前記メモリバンクの用いられない部分に対応するローア
    ドレスの活性化を遮断する段階を備えることを特徴とす
    る請求項12に記載の半導体メモリ装置のセルフリフレ
    ッシュ動作を制御する方法。
  17. 【請求項17】 前記ローアドレスの活性化を遮断する
    段階は、ローアドレスバッファで実行されることを特徴
    とする請求項16に記載の半導体メモリ装置のセルフリ
    フレッシュ動作を制御する方法。
  18. 【請求項18】 前記ローアドレスの活性化を遮断する
    段階は、ローアドレスプリデコーダで実行されることを
    特徴とする請求項16に記載の半導体メモリ装置のセル
    フリフレッシュ動作を制御する方法。
  19. 【請求項19】 半導体メモリ装置のリフレッシュ動作
    の間、所定の周期Tを有するセルフリフレッシュサイク
    ル信号を発生する第1パルス発生器と、 前記セルフリフレッシュサイクル信号に応答して前記半
    導体メモリ装置の前記リフレッシュ動作を実行している
    間、メモリバンクのワードラインを活性化するためにデ
    コードされるローアドレスデータを発生するための複数
    個のサイクルカウンターを備えたカウンターとを備え、 部分アレーセルフリフレッシュ動作の間、前記カウンタ
    ーは、部分アレーセルフリフレッシュ制御信号に応答し
    て前記カウンターから出力されるアドレスビットをマス
    クするためにサイクルカウンターの動作をディスエーブ
    ルして、前記第1パルス発生器は、前記部分アレーセル
    フリフレッシュ制御信号に応答して前記セルフリフレッ
    シュサイクル信号の前記所定の周期Tを増加することを
    特徴とする半導体メモリ装置の部分アレーセルフリフレ
    ッシュ動作を実行する回路。
  20. 【請求項20】 外部セルフリフレッシュ命令信号を入
    力して前記部分アレーセルフリフレッシュ制御信号を出
    力するための命令語バッファをさらに備えることを特徴
    とする請求項19に記載の半導体メモリ装置の部分アレ
    ーセルフリフレッシュ動作を実行する回路。
  21. 【請求項21】 前記カウンターの作動を制御するため
    に前記セルフリフレッシュサイクル信号に応答してカウ
    ンター制御信号を出力する第2パルス発生器をさらに備
    えることを特徴とする請求項19に記載の半導体メモリ
    装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行する回
    路。
  22. 【請求項22】 前記カウンターから出力される前記ロ
    ーアドレスデータを入力するためのローアドレスバッフ
    ァをさらに備えることを特徴とする請求項19に記載の
    半導体メモリ装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作
    を実行する回路。
  23. 【請求項23】 前記第1パルス発生器の作動を制御す
    るための発振器信号を発生する発振器をさらに備えるこ
    とを特徴とする請求項19に記載の半導体メモリ装置の
    部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行する回路。
  24. 【請求項24】 前記第1パルス発生器は、複数個のサ
    イクルカウンターを備え、前記発振器信号は、前記部分
    アレーセルフリフレッシュ制御信号に基づいて選択され
    たサイクルカウンターの集合によって処理されて前記第
    1パルス発生器から出力される前記セルフリフレッシュ
    サイクル信号の前記周期を調整することを特徴とする請
    求項23に記載の半導体メモリ装置の部分アレーセルフ
    リフレッシュ動作を実行する回路。
  25. 【請求項25】 半導体メモリ装置のリフレッシュ動作
    の間、セルフリフレッシュサイクル信号を発生する第1
    パルス発生器と、 前記セルフリフレッシュサイクル信号に応答して前記半
    導体メモリ装置の前記リフレッシュ作動中メモリバンク
    のワードラインを活性化するためにデコードされるロー
    アドレスデータを発生するための複数個のサイクルカウ
    ンターを備えるカウンターと、 前記カウンターから出力される前記ローアドレスデータ
    を入力して、ローアドレスを出力するためのローアドレ
    スバッファと、 前記半導体メモリ装置の前記リフレッシュ動作の間、メ
    モリバンクのワードラインを活性化するために処理され
    るセルフリフレッシュアドレス信号を発生するために前
    記ローアドレスバッファから出力される前記ローアドレ
    スをデコードするためのロープリデコーダとを備え、 部分アレーセルフリフレッシュ動作の間、前記ローアド
    レスバッファは、部分アレーセルフリフレッシュ制御信
    号に応答してメモリバンクの不使用の部分に対応するワ
    ードラインの活性化を遮断するために前記ローアドレス
    データの一つ以上のアドレスビットをマスクすることを
    特徴とする半導体メモリ装置の部分アレーセルフリフレ
    ッシュ動作を実行する回路。
  26. 【請求項26】 マスクされたアドレスビットは、前
    記部分アレーセルフリフレッシュ動作中に、レベルが固
    定されることを特徴とする請求項25に記載の半導体メ
    モリ装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
    る回路。
  27. 【請求項27】 半導体メモリ装置のリフレッシュ動作
    の間、セルフリフレッシュサイクル信号を発生する第1
    パルス発生器と、 前記セルフリフレッシュサイクル信号に応答して、前記
    半導体メモリ装置の前記リフレッシュ動作中にメモリバ
    ンクのワードラインを活性化するためにデコードされる
    ローアドレスデータを発生する複数個のサイクルカウン
    ターを備えるカウンターと、 前記カウンターから出力される前記ローアドレスデータ
    を入力してローアドレスを出力するローアドレスバッフ
    ァと、 前記半導体メモリ装置の前記リフレッシュ動作中にメモ
    リバンクのワードラインを活性化するために処理される
    セルフリフレッシュアドレス信号を発生するために前記
    ローアドレスバッファから出力される前記ローアドレス
    をデコードするロープリデコーダとを備え、 部分アレーセルフリフレッシュ動作の間、前記ロープリ
    デコーダは、部分アレーセルフリフレッシュ制御信号に
    応答してメモリバンクの不使用の部分に対応するワード
    ラインの活性化を遮断するために前記ローアドレスデー
    タの一つ以上のアドレスビットをマスクすることを特徴
    とする半導体メモリ装置の部分アレーセルフリフレッシ
    ュ動作を実行する回路。
  28. 【請求項28】 マスクされたアドレスビットのレベ
    ルは、前記部分アレーセルフリフレッシュ動作の間、固
    定されることを特徴とする請求項27に記載の半導体メ
    モリ装置の部分アレーセルフリフレッシュ動作を実行す
    る回路。
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