JP2002329378A - サスペンション及び該サスペンションを備えたヘッドジンバルアセンブリ - Google Patents

サスペンション及び該サスペンションを備えたヘッドジンバルアセンブリ

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JP2002329378A
JP2002329378A JP2001124242A JP2001124242A JP2002329378A JP 2002329378 A JP2002329378 A JP 2002329378A JP 2001124242 A JP2001124242 A JP 2001124242A JP 2001124242 A JP2001124242 A JP 2001124242A JP 2002329378 A JP2002329378 A JP 2002329378A
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flexure
head slider
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adjusting mechanism
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JP2001124242A
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Tamon Kasashima
多聞 笠島
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
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SAE Magnetics HK Ltd
Original Assignee
SAE Magnetics HK Ltd
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    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4853—Constructional details of the electrical connection between head and arm

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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 共振周波数を高めることができ、風乱特性を
向上させることができ、Ｚ方向への耐衝撃性を高めるこ
とができ、さらに、荷重の公差を小さくすることができ
しかも製造工程が簡易となるサスペンション及びこのサ
スペンションを備えたＨＧＡを提供する。 【解決手段】 ロードビームと、このロードビームに固
着されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘ
ッドスライダの浮上姿勢を決めるためのフレクシャと、
フレクシャのヘッドスライダを支持する部分に設けられ
ておりヘッドスライダへの荷重を調整するための荷重調
整機構とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド素
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子用のサスペンション
及びこのサスペンション備えたヘッドジンバルアセンブ
リ（ＨＧＡ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクドライブ装置（ＨＤＤ）で
は、ＨＧＡのサスペンションの先端部に取り付けられた
磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面か
ら浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭
載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記
録及び／又は磁気ディスクからの再生を行う。
【０００３】近年、ＨＤＤの高記録密度化及び大記録容
量化を伴う小型化がますます進んでおり、これに伴っ
て、磁気ヘッドスライダのさらなる小型化及び軽量化、
並びに磁気ディスクのさらなる高速回転化が要求されて
いる。
【０００４】このような小型かつ軽量の浮上型磁気ヘッ
ドスライダを支持するサスペンションは、磁気ヘッドス
ライダの荷重を正確に制御する必要があることはもちろ
んのこと、その共振周波数が充分に高いこと及び対風乱
特性の優れていることが要求される。
【０００５】磁気ヘッドスライダへの荷重は、ロードビ
ームのベースプレート近傍に曲げ部を形成して調整する
ことが一般的に行われている。即ち、サスペンションの
ロードビームに、磁気ヘッドスライダが装着される先端
部が磁気ディスク方向に若干曲がるような曲げ部を形成
し、その曲げ部の折れ曲がり角度によって磁気ヘッドス
ライダへの荷重を調整している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな曲げ部をロードビームに設けると、ロードビームと
曲げ部との複合された形状により、サスペンション全体
としての共振周波数が大きく低下してしまう。その結
果、サーボの使用する周波数帯域内にこの共振周波数が
含まれてしまうことからサーボを高速で動作させること
が難しかった。
【０００７】また、ロードビームにこのような曲げ部を
設けると、風乱の影響が無視できなくなる。即ち、磁気
ディスクの高速回転によって生じる横風の影響をこの曲
げ部が受けることによって、サスペンションに不規則な
振動が起きることがある。特に、最近のハイエンドＨＤ
Ｄのごとく、磁気ディスクが１０，０００〜１５，００
０ｒｐｍ以上の高速で回転する場合には、このような風
乱の影響が大きい。
【０００８】さらに、荷重を調整するための曲げ部の剛
性が弱くなっているため、上下方向（Ｚ方向）の衝撃に
よりサスペンションの先端部はかなり大きな衝撃を受け
ることとなり、ＨＧＡ全体としての耐衝撃性が非常に低
い。
【０００９】加えて、曲げ部の折れ曲がり角度によって
荷重を調整する従来の方法は、その製造工程が煩雑とな
るのみならず、精度の高い荷重調整を期待することがで
きない。特に、磁気ヘッドスライダが軽量となるにつれ
その荷重値も小さくなるので、そのばらつきが無視でき
なくなり、荷重公差が大きくなる。
【００１０】従って本発明の目的は、共振周波数を高め
ることができるサスペンション及びこのサスペンション
を備えたＨＧＡを提供することにある。
【００１１】本発明の他の目的は、風乱特性を向上させ
ることができるサスペンション及びこのサスペンション
を備えたＨＧＡを提供することにある。
【００１２】本発明のさらに他の目的は、Ｚ方向への耐
衝撃性を高めることができるサスペンション及びこのサ
スペンションを備えたＨＧＡを提供することにある。
【００１３】本発明のまたさらに他の目的は、荷重の公
差を小さくすることができしかも製造工程が簡易となる
サスペンション及びこのサスペンションを備えたＨＧＡ
を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ロード
ビームと、このロードビームに固着されており、少なく
とも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダの浮上姿
勢を決めるためのフレクシャと、フレクシャのヘッドス
ライダを支持する部分に設けられておりヘッドスライダ
への荷重を調整するための荷重調整機構とを備えたサス
ペンションが提供される。
【００１５】さらに本発明によれば、このサスペンショ
ンと、サスペンション上に搭載されており少なくとも１
つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたＨＧ
Ａが提供される。
【００１６】ヘッドスライダへの荷重を調整するための
荷重調整機構がフレクシャのヘッドスライダを支持する
部分に設けられている。このため、従来、ロードビーム
のベースプレートの近くに設けられていた荷重調整用の
曲げ部が不要となるから、ロードビームを剛性の高い系
のみで構成することが可能となり、サスペンション全体
の共振周波数を高めることができる。その結果、サーボ
が使用する周波数帯域を広げることができるので、高速
のサーボ動作が期待できる。また、最も広い面積で横風
を受けるロードビームが荷重調整用の曲げ部を持たない
ことにより、風乱の影響を最小限に抑えることができ
る。さらに、荷重調整用の曲げ部がないことにより、サ
スペンションの剛性を上げることが可能となり、Ｚ方向
への耐衝撃性が大幅に向上する。さらにまた、曲げ部の
曲げ角度で荷重調整しなくて良いため、製造工程がその
分簡略化できて製造コストが低下するのみならず、高い
精度で荷重調整できるので製造における荷重の公差をよ
り小さくすることができる。
【００１７】荷重調整機構が、ヘッドスライダへの荷重
点と同軸に形成されていることが好ましい。
【００１８】荷重点を構成する突起（ディンプル）がロ
ードビームに形成されていることが好ましい。
【００１９】荷重調整機構が、フレーム部と、このフレ
ーム部に少なくとも一方の端が支えられておりヘッドス
ライダへの荷重を制御する板ばね部とを備えていること
が好ましい。この場合、荷重調整機構が、第１の金属薄
板層と、第１の金属薄板層上に積層された樹脂層と、樹
脂層上に積層された第２の金属薄板層とを含む多層構造
からなり、板ばね部が第１又は第２の金属薄板層の一部
からなるか、又は単層の金属薄板層と、金属薄板層上に
積層されたスペーサ部材とからなり、板ばね部が金属薄
板層の一部からなることがより好ましい。
【００２０】荷重調整機構が、フレクシャと一体的に形
成されているか、又はフレクシャとは別個に形成されて
いても良い。
【００２１】ロードビームが、剛性の高い系のみから構
成されていることが好ましい。ロードビームが、ヘッド
スライダの荷重調整機能を有していないことが好まし
い。この場合、ロードビームが、１枚の板部材のみから
形成されていることがより好ましい。
【００２２】磁気ディスク装置への装着時に折り曲げ可
能なバックベント部を備えていることも好ましい。この
場合、バックベント部が、ロードビームの幅を狭くして
構成されているか、又はロードビームに連結された弾性
部材であっても良い。
【００２３】ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であるこ
とも好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態として
ＨＧＡ全体を概略的に示す斜視図であり、図２は図１の
実施形態におけるＨＧＡの側面図であり、図３は図１の
実施形態におけるフレクシャ及び磁気ヘッドスライダの
部分のみを示す斜視図であり、図４は図１の実施形態に
おけるフレクシャ及び磁気ヘッドスライダの部分のみを
図３とは異なる方向から見た斜視図であり、図５は図１
の実施形態における荷重調整機構及び磁気ヘッドスライ
ダの部分のみを示す斜視図であり、図６は図１の実施形
態における荷重調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分
のみを図５とは異なる方向から見た斜視図であり、図７
は図１の実施形態における荷重調整機構及び磁気ヘッド
スライダの部分のみを示す（Ａ）平面図、（Ｂ）立面図
及び（Ｃ）側面図であり、図８は図７Ａ−Ａ線断面図で
ある。
【００２５】本実施形態は、荷重調整機構をフレクシャ
と一体的に形成した場合である。これらの図に示すよう
に、サスペンション１０は、１枚の平板部材からなるロ
ードビーム１１と、このロードビーム１１に固着支持さ
れたフレクシャ１２と、このフレクシャ１２と一体的に
形成された荷重調整機構１３とから構成されている。
【００２６】このサスペンション１０の荷重調整機構１
３上に少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘ
ッドスライダ１４を固着し、図示しないリード導体の電
気的接続を行うことによってＨＧＡが形成される。
【００２７】ロードビーム１１は、比較的厚い例えばス
テンレススチール板等の１枚の平坦な板部材で形成され
ており、曲げ部は存在しない。従ってロードビーム１１
は剛性の高い系のみで構成されている。このロードビー
ム１１とフレクシャ１２との固着は、複数の溶接点によ
るピンポイント固着によってなされている。
【００２８】ロードビーム１１には、図示しない駆動ア
ームへの取り付け孔１１ａがその後端部に形成されてお
り、荷重点であるディンプル１１ｂがその先端部に形成
されている。
【００２９】フレクシャ１２及び荷重調整機構１３は、
本実施形態では、第１のステンレススチール薄板１５
ａ、ポリイミド樹脂等による樹脂層１５ｂ及び第２のス
テンレススチール薄板１５ｃを順次積層して一体化して
なる３層構造の板部材を所定の層に及び所定のパターン
にエッチングすることによって形成されている。
【００３０】フレクシャ１２は、図３及び図４から理解
できるように、第１のステンレススチール薄板１５ａの
みの１層構造とし、これを所定形状にパターニングして
形成されている。
【００３１】荷重調整機構１３は、図５及び図６により
明瞭に示されているように、外枠形状に形成されたフレ
ーム部１３ａと、このフレーム部１３ａの内側にその一
方の端が一体的に連結している板ばね部１３ｂとから構
成されている。フレーム部１３ａは、第１のステンレス
スチール薄板１５ａ、樹脂層１５ｂ及び第２のステンレ
ススチール薄板１５ｃの３層構造となっており、剛性が
保たれている。一方、板ばね部１３ｂは、第２のステン
レススチール薄板１５ｃのみの１層構造で構成されてお
り、弾性を有している。
【００３２】図７及び図８に示すように、この板ばね部
１３ｂは荷重点であるディンプル１１ｂと同軸に位置す
るように構成されており、ディンプル１１ｂが弾性を有
する板ばね部１３ｂを押圧することによって、この板ば
ね部１３ｂが湾曲して反撥し、両者の釣合ったところで
磁気ヘッドスライダ１４への荷重が定まる。
【００３３】このように、本実施形態では、ディンプル
１１ｂの直下に設けられた板ばね部１３ｂに荷重調整機
能が設けられている。即ち、この板ばね部１３ｂの幅、
厚み及び長さ等を調整し、与えられたＺ−ｈｅｉｇｈｔ
に対して規定の荷重値が得られるようにする。その際、
板ばね部１３ｂが荷重を受けて湾曲するため、その先端
部が磁気ヘッドスライダ１４に当接しないようにギャッ
プＧ（図８）を設ける必要がある。本実施形態では、こ
のギャップＧは、第１のステンレススチール薄板１５ａ
及び樹脂層１５ｂの厚みで形成している。なお、板ばね
部１３ｂをディンプル１１ｂの方向に多少折り曲げるこ
とにより、同じ荷重を発生しながらディンプル１１ｂと
磁気ヘッドスライダ１４とのクリアランスを小さくする
ことが可能となる。このクリアランスを小さく維持する
ことは、ＨＧＡの共振特性を良好に保つ点で有利とな
る。
【００３４】このような構成のフレクシャ１２及び荷重
調整機構１３を製造するには、３層シートを両面側から
エッチングし、第１のステンレススチール薄板１５ａの
一部領域及び第２のステンレススチール薄板１５ｃの一
部領域をそれらの全ての厚みに渡って選択的に同時に除
去する。
【００３５】ステンレススチールのこのエッチングに
は、ＦｅＣｌ３（塩化第二鉄）等の酸が用いられる。こ
れら酸は、ステンレススチール薄板のみを選択的にエッ
チングし、ポリイミドには全く作用しない。従って、ポ
リイミド樹脂層１５ｂがストップ層となり、その部分の
第１のステンレススチール薄板１５ａ及び第２のステン
レススチール薄板１５ｃは全厚に渡って完全に除去され
る。このため、エッチング深さは常に一定に制御可能と
なる。
【００３６】一方、ポリイミド樹脂層１５ｂのエッチン
グは、ＫＯＨ（水酸化カリウム）等のアルカリを用いた
ウェットエッチングによるか、又はＯ２プラズマ若しく
はＣＦ４プラズマ等によるドライエッチングによる。こ
のようなエッチングによると、ポリイミドのみが選択的
にエッチングされ、ステンレススチールは全く削られな
い。従って、第１のステンレススチール薄板１５ａ又は
第２のステンレススチール薄板１５ｃがストップ層とな
り、その部分のポリイミド樹脂層１５ｂのみが除去され
る。
【００３７】磁気ヘッドスライダ１４の磁気ヘッド素子
への電気的配線は、フレクシャ１２上に複数のリード導
体を含む可撓性のトレースを直接的に積層形成して良い
し、このようなリード導体があらかじめ形成されている
可撓性のトレースシートをフレクシャ１２に貼り付ける
ことによって構成しても良い。
【００３８】上述したように、本実施形態によれば、ロ
ードビーム１１が荷重用の曲げ部を持たず、Ｚ−ｈｅｉ
ｇｈｔを維持するためだけの剛性の高い平坦な板部材で
構成される。従って、従来のように剛性の低い曲げ部の
共振特性の影響を全く受けないから、サスペンションの
共振特性のうち、ロードビームのスウェイモード（サス
ペンションの横方向に揺動するモード）、トーションモ
ード（サスペンションの縦軸を中心に回動する方向のモ
ード）及びベンディングモード（サスペンションの上下
方向に振動するモード）の全てについて共振周波数を高
めることができる。その結果、サーボの高速動作が可能
となる。
【００３９】また、ロードビーム１１が荷重用の曲げ部
を持たないので、最も広い面積で横風を受けるロードビ
ームに対して高い剛性を与えることができ、非常に高回
転の磁気ディスク面が与える風による非線形的な動きを
最小限に抑えることができる。
【００４０】ロードビーム１１が剛性の弱い荷重用の曲
げ部を持たず全体として高い剛性を有しているため、Ｚ
方向への衝撃が印加されてもＨＧＡ先端部の上下方向へ
の曲がりを非常に小さく抑えることができ、従って耐衝
撃性が大幅に向上する。その結果、現在のＨＧＡにおい
て採用されている種々の衝撃対策機構、例えばフレクシ
ャの運動量を制限するリミッタ機構や、非動作時にＨＧ
Ａを磁気ディスク表面から離しておくためのランプロー
ディング機構を省略することができ、部品点数が削減で
きるので製造コストを低減化することができる。
【００４１】荷重値は、Ｚ−ｈｅｉｇｈｔと荷重調整機
構１３の板ばね部１３ｂの形状及び寸法とによって決定
される。この荷重調整機構１３の板ばね部１３ｂは、従
来の曲げ部のような折り曲げ工程を行うことなくフォト
プロセスで形成可能であるため、ばらつきのない高い精
度で荷重値を設定可能である。従って、磁気ヘッドスラ
イダが小型かつ軽量化されて荷重値のノミナル値が低下
した場合にも高い精度かつ小さな公差で所望の荷重値を
実現可能となる。なお、前述したように、板ばね部１３
ｂをディンプル１１ｂの方向に多少折り曲げる折り曲げ
工程が行われることもある。
【００４２】ロードビーム１１が１枚の板部材で構成さ
れているため、部品点数が少なくなり、また、溶接など
の固着個所が少ないので製造工程が簡略化されると共に
歩留りが向上する。しかも、荷重用の曲げ部の折り曲げ
量を厳密に調整する必要がなくなることからも、製造工
程が簡略化されると共に歩留りが向上し、製造コストも
低減化する。
【００４３】さらに、本実施形態のサスペンションは、
ロードビームと荷重部との構造が単純であるため、シュ
ミレーションによる特性の推測が非常に容易にかつ精度
良く行えるという利点をも有している。
【００４４】図９は本発明の他の実施形態における荷重
調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを示す斜視
図であり、図１０は図９の実施形態における荷重調整機
構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを同図とは異なる
方向から見た斜視図である。
【００４５】本実施形態におけるＨＧＡの荷重調整機構
を除く部分の構成は、図１の実施形態の場合と全く同様
であるため、説明を省略する。また、この実施形態にお
いて、図１の実施形態と同様の構成要素については同じ
参照番号を用いる。
【００４６】図１０から明らかなように、本実施形態に
おける荷重調整機構９３は、外枠形状に形成されたフレ
ーム部９３ａと、このフレーム部９３ａの内側に両端が
一体的に連結している板ばね部９３ｂとから構成されて
いる。フレーム部９３ａは、第１のステンレススチール
薄板１５ａ、樹脂層１５ｂ及び第２のステンレススチー
ル薄板１５ｃの３層構造となっており、剛性が保たれて
いる。一方、板ばね部９３ｂは、第２のステンレススチ
ール薄板１５ｃのみの１層構造で構成されており、弾性
を有している。この板ばね部９３ｂは荷重点であるディ
ンプルと同軸に位置するように構成されており、このデ
ィンプルが弾性を有する板ばね部９３ｂを押圧すること
によって、この板ばね部９３ｂが湾曲して反撥し、両者
の釣合ったところで磁気ヘッドスライダ１４への荷重が
定まる。
【００４７】本実施形態における変更態様及び作用効果
等は、図１の実施形態の場合と同様である。
【００４８】図１１は本発明のさらに他の実施形態にお
ける荷重調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを
示す斜視図であり、図１２は図１１の実施形態における
荷重調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを同図
とは異なる方向から見た斜視図であり、図１３は図１１
の実施形態における荷重調整機構及び磁気ヘッドスライ
ダの部分のみを示す（Ａ）平面図、（Ｂ）立面図及び
（Ｃ）側面図である。
【００４９】本実施形態におけるＨＧＡの荷重調整機構
及びフレクシャを除く部分の構成は、図１の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。また、こ
の実施形態において、図１の実施形態と同様の構成要素
については同じ参照番号を用いる。
【００５０】図１１〜図１３から明らかなように、本実
施形態における荷重調整機構１１３は、外枠形状に形成
されたフレーム部１１３ａと、このフレーム部１１３ａ
の内側に一方の端が一体的に連結している板ばね部１１
３ｂとを含んでいる。これらフレーム部１１３ａ及び板
ばね部１１３ｂと、図示されていないフレクシャとが１
枚のステンレススチール薄板１１５から形成されてい
る。
【００５１】フレーム部１１３ａ上には、スペーサ１１
６を介して磁気ヘッドスライダ１４が固着されている。
板ばね部１１３ｂは荷重点であるディンプル１１ｂと同
軸に位置するように構成されており、このディンプル１
１ｂが弾性を有する板ばね部１１３ｂを押圧することに
よって、この板ばね部１１３ｂが湾曲して反撥し、両者
の釣合ったところで磁気ヘッドスライダ１４への荷重が
定まる。
【００５２】本実施形態において、板ばね部１１３ｂが
荷重を受けて湾曲した際にその先端部が磁気ヘッドスラ
イダ１４に当接しないようするためのギャップは、スペ
ーサ１１６の厚みで形成している。
【００５３】本実施形態におけるその他の構成、変更態
様及び作用効果等は、図１の実施形態の場合と同様であ
る。
【００５４】図１４は本発明のまたさらに他の実施形態
における荷重調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分の
みを示す斜視図であり、図１５は図１４の実施形態にお
ける荷重調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを
同図とは異なる方向から見た斜視図である。
【００５５】本実施形態におけるＨＧＡの荷重調整機構
及びフレクシャを除く部分の構成は、図１の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。また、本
実施形態において、図１及び図１１の実施形態と同様の
構成要素については同じ参照番号を用いる。
【００５６】図１５から明らかなように、本実施形態に
おける荷重調整機構１４３は、外枠形状に形成されたフ
レーム部１４３ａと、このフレーム部１４３ａの内側に
両端が一体的に連結している板ばね部１４３ｂとを含ん
でいる。これらフレーム部１４３ａ及び板ばね部１４３
ｂと、図示されていないフレクシャとが１枚のステンレ
ススチール薄板１１５から形成されている。
【００５７】フレーム部１４３ａ上には、スペーサ１１
６を介して磁気ヘッドスライダ１４が固着されている。
板ばね部１４３ｂは荷重点であるディンプルと同軸に位
置するように構成されており、このディンプルが弾性を
有する板ばね部１４３ｂを押圧することによって、この
板ばね部１４３ｂが湾曲して反撥し、両者の釣合ったと
ころで磁気ヘッドスライダ１４への荷重が定まる。
【００５８】本実施形態におけるその他の構成、変更態
様及び作用効果等は、図１及び図１１の実施形態の場合
と同様である。
【００５９】図１６及び図１７は、フレクシャの形状及
びこのフレクシャと荷重調整機構との連結形態の例をそ
れぞれ示す平面図である。前述した実施形態において
は、図１６に示すように、フレクシャ１２がＵ形状であ
りかつ荷重調整機構１３及び磁気ヘッドスライダ１４の
先端部側に一体的に連結される構造となっているが、本
発明のＨＧＡは、図１７に示すように、フレクシャ１２
´がＭ形状でありかつ荷重調整機構１３´及び磁気ヘッ
ドスライダ１４´の後端部側に一体的に連結されるよう
な構造であっても良い。
【００６０】図１８は本発明のさらに他の実施形態とし
てＨＧＡ全体を概略的に示す斜視図であり、図１９は図
１８の実施形態におけるＨＧＡの側面図であり、図２０
は図１８の実施形態において荷重調整機構及び磁気ヘッ
ドスライダをフレクシャへどのように装着するかを説明
する斜視図である。
【００６１】本実施形態は、荷重調整機構をフレクシャ
とを別個に形成した後、互いに固着した場合である。こ
れらの図に示すように、サスペンション１８０は、１枚
の平板部材からなるロードビーム１８１と、このロード
ビーム１８１に固着支持されたフレクシャ１８２と、こ
のフレクシャ１８２とは別個に形成されて固着された荷
重調整機構１８３とから構成されている。
【００６２】このサスペンション１８０の荷重調整機構
１８３上に少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁
気ヘッドスライダ１８４を固着し、図示しないリード導
体の電気的接続を行うことによってＨＧＡが形成され
る。
【００６３】ロードビーム１８１は、比較的厚い例えば
ステンレススチール板等の１枚の平坦な板部材で形成さ
れており、曲げ部は存在しない。従ってロードビーム１
８１は剛性の高い系のみで構成されている。このロード
ビーム１８１とフレクシャ１８２との固着は、複数の溶
接点によるピンポイント固着によってなされている。
【００６４】ロードビーム１８１には、図示しない駆動
アームへの取り付け孔１８１ａがその後端部に形成され
ており、荷重点であるディンプル１８１ｂがその先端部
に形成されている。
【００６５】荷重調整機構１８３は、本実施形態では、
図１の実施形態の場合と同様に、第１のステンレススチ
ール薄板、ポリイミド樹脂等による樹脂層及び第２のス
テンレススチール薄板を順次積層して一体化してなる３
層構造の板部材を所定の層に及び所定のパターンにエッ
チングすることによって形成されている。
【００６６】フレクシャ１８２は、図２０から理解でき
るように、１枚のステンレススチール薄板による従来と
同様の構造であり、磁気ヘッドスライダ１８４を取り付
けるための舌部１８２ａを備えている。
【００６７】荷重調整機構１８３は、フレクシャと別個
の独立した部品であることを除いて図１の実施形態の場
合と同様の構造を有している。即ち、外枠形状に形成さ
れたフレーム部と、このフレーム部の内側にその一方の
端が一体的に連結している板ばね部とから構成されてい
る。フレーム部は、第１のステンレススチール薄板、樹
脂層及び第２のステンレススチール薄板の３層構造とな
っており、剛性が保たれている。一方、板ばね部は、第
２のステンレススチール薄板のみの１層構造で構成され
ており、弾性を有している。
【００６８】図２０に示されているように、フレクシャ
１８２の舌部１８２ａの上面に荷重調整機構１８３を接
着又は溶接によって固着し、この舌部１８２ａの下面に
磁気ヘッドスライダ１８４を接着する。この場合、荷重
調整機構１８３の板ばね部が荷重点であるディンプル１
８１ｂと同軸に位置するように配置され、これによって
ディンプル１８１ｂが弾性を有する板ばね部を押圧する
ことによって、この板ばね部が湾曲して反撥し、両者の
釣合ったところで磁気ヘッドスライダ１８４への荷重が
定まる。
【００６９】このように、本実施形態においても、ディ
ンプル１８１ｂの直下に設けられた板ばね部に荷重調整
機能が設けられている。即ち、この板ばね部の幅、厚み
及び長さ等を調整し、与えられたＺ−ｈｅｉｇｈｔに対
して規定の荷重値が得られるようにする。その際、板ば
ね部が荷重を受けて湾曲するため、その先端部が磁気ヘ
ッドスライダ１８４に当接しないようにギャップを設け
る必要がある。本実施形態においても図１の実施形態の
場合と同様に、このギャップは、第１のステンレススチ
ール薄板及び樹脂層の厚みで形成している。
【００７０】磁気ヘッドスライダ１８４の磁気ヘッド素
子への電気的配線は、フレクシャ１８２上に複数のリー
ド導体を含む可撓性のトレースを直接的に積層形成して
良いし、このようなリード導体があらかじめ形成されて
いる可撓性のトレースシートをフレクシャ１８２に貼り
付けることによって構成しても良い。
【００７１】本実施形態におけるその他の構成、変更態
様及び作用効果等は、図１及び図１１の実施形態の場合
と同様である。
【００７２】図２１は図１８の実施形態の変更態様にお
ける荷重調整機構及び磁気ヘッドスライダをフレクシャ
へどのように装着するかを説明する斜視図である。
【００７３】フレクシャ２１２上（図においては下面
上）に磁気ヘッド素子用のトレース及び接続パッドが設
けられている場合は、図２１に示すように、フレクシャ
２１２の枠に荷重調整機構２１３を接着又は溶接によっ
て固着し、さらに磁気ヘッドスライダ２１４を接着及び
／又は接続パッドへのはんだ付けで固着しても良い。
【００７４】図２２は本発明のまたさらに他の実施形態
としてＨＧＡ全体を概略的に示す底面図であり、図２３
は図２２の実施形態におけるＨＧＡの斜視図であり、図
２４は図２２の実施形態におけるＨＧＡの側面図であ
り、図２５は図２２の実施形態におけるフレクシャ及び
磁気ヘッドスライダの部分のみを示す斜視図であり、図
２６は図２２の実施形態におけるフレクシャ及び磁気ヘ
ッドスライダの部分のみを図２５とは異なる方向から見
た斜視図である。
【００７５】本実施形態は、荷重調整機構をフレクシャ
と一体的に形成した場合である。これらの図に示すよう
に、サスペンション２２０は、１枚の平板部材からなる
ロードビーム２２１と、このロードビーム２２１に固着
支持されたフレクシャ２２２と、このフレクシャ２２２
と一体的に形成された荷重調整機構２２３とから構成さ
れている。
【００７６】このサスペンション２２０の荷重調整機構
２２３上に少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁
気ヘッドスライダ２２４を固着し、図示しないリード導
体の電気的接続を行うことによってＨＧＡが形成され
る。
【００７７】ロードビーム２２１は、比較的厚い例えば
ステンレススチール板等の１枚の平坦な板部材で形成さ
れており、曲げ部は存在しない。従ってロードビーム２
２１は剛性の高い系のみで構成されている。このロード
ビーム２２１とフレクシャ２２２との固着は、複数の溶
接点によるピンポイント固着によってなされている。
【００７８】ロードビーム２２１には、図示しない駆動
アームへの取り付け孔２２１ａがその後端部に形成され
ており、荷重点であるディンプル２２１ｂがその先端部
に形成されている。
【００７９】フレクシャ２２２及び荷重調整機構２２３
は、本実施形態では、第１のステンレススチール薄板２
２５ａ、ポリイミド樹脂等による樹脂層２２５ｂ及び第
２のステンレススチール薄板２２５ｃを順次積層して一
体化してなる３層構造の板部材を所定の層に及び所定の
パターンにエッチングすることによって形成されてい
る。
【００８０】フレクシャ２２２は、図２５及び図２６か
ら理解できるように、弾性が要求されるその中間部２２
２ａのみを第１のステンレススチール薄板２２５ａの１
層構造とし、その後端部２２２ｂ及び先端部２２２ｃを
第１のステンレススチール薄板２２５ａ、樹脂層２２５
ｂ及び第２のステンレススチール薄板２２５ｃの３層構
造として形成している。このように、後端部２２２ｂ及
び先端部２２２ｃを３層構造とすることにより、その部
分の強度を向上できることはもちろんのこと、荷重調整
機構２２３との段差が少なくてすむため、段差調整、従
って磁気ヘッドスライダ２２４のピッチ調整が容易とな
る。ただし、フレクシャ２２２の後端部２２２ｂにおい
て、ロードビーム２２１に溶接によって固着する部分
は、第１のステンレススチール薄板２２５ａ及び樹脂層
２２５ｂを除去し、第２のステンレススチール薄板２２
５ｃのみの１層構造とすることが望ましい。
【００８１】荷重調整機構２２３は、外枠形状に形成さ
れたフレーム部２２３ａと、このフレーム部２２３ａの
内側にその一方の端が一体的に連結している板ばね部２
２３ｂとから構成されている。フレーム部２２３ａは、
第１のステンレススチール薄板２２５ａ、樹脂層２２５
ｂ及び第２のステンレススチール薄板２２５ｃの３層構
造となっており、剛性が保たれている。一方、板ばね部
２２３ｂは、第２のステンレススチール薄板２２５ｃの
みの１層構造で構成されており、弾性を有している。
【００８２】この板ばね部２２３ｂは荷重点であるディ
ンプル２２１ｂと同軸に位置するように構成されてお
り、ディンプル２２１ｂが弾性を有する板ばね部２２３
ｂを押圧することによって、この板ばね部２２３ｂが湾
曲して反撥し、両者の釣合ったところで磁気ヘッドスラ
イダ２２４への荷重が定まる。
【００８３】このように、本実施形態では、ディンプル
２２１ｂの直下に設けられた板ばね部２２３ｂに荷重調
整機能が設けられている。即ち、この板ばね部２２３ｂ
の幅、厚み及び長さ等を調整し、与えられたＺ−ｈｅｉ
ｇｈｔに対して規定の荷重値が得られるようにする。そ
の際、板ばね部２２３ｂが荷重を受けて湾曲するため、
その先端部が磁気ヘッドスライダ２２４に当接しないよ
うにギャップを設ける必要がある。本実施形態では、こ
のギャップは、第１のステンレススチール薄板２２５ａ
及び樹脂層２２５ｂの厚みで形成している。
【００８４】磁気ヘッドスライダ２２４の磁気ヘッド素
子への電気的配線は、フレクシャ２２２上に複数のリー
ド導体を含む可撓性のトレースを直接的に積層形成して
良いし、このようなリード導体があらかじめ形成されて
いる可撓性のトレースシートをフレクシャ２２２に貼り
付けることによって構成しても良い。
【００８５】本実施形態におけるその他の構成、変更態
様及び作用効果等は、図１及び図１１の実施形態の場合
と同様である。
【００８６】図２７は本発明のさらに他の実施形態とし
てＨＧＡ全体を概略的に示す斜視図であり、図２８は図
２７の実施形態におけるＨＧＡの底面図であり、図２９
は図２７の実施形態におけるＨＧＡの側面図である。
【００８７】本実施形態は、ＨＧＡを磁気ディスク装置
へ装着する際に必要となるバックベント機能を、ロード
ビームの一部の幅を狭くして持たせた場合である。本実
施形態においても、荷重調整機構をフレクシャとが一体
的に形成されている。
【００８８】これらの図に示すように、サスペンション
２７０は、１枚の平板部材からなるロードビーム２７１
と、このロードビーム２７１に固着支持されたフレクシ
ャ２７２と、このフレクシャ２７２と一体的に形成され
た荷重調整機構２２３とから構成されている。
【００８９】このサスペンション２７０の荷重調整機構
２７３上に少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁
気ヘッドスライダ２７４を固着し、図示しないリード導
体の電気的接続を行うことによってＨＧＡが形成され
る。
【００９０】ロードビーム２７１は、比較的厚い例えば
ステンレススチール板等の１枚の平坦な板部材で形成さ
れている。ただし、本実施形態においては、ＨＤＤへの
装着時のバックベント機能をＨＧＡに持たせるために、
ロードビーム２７１の幅が一部で狭くなっているが、荷
重調整用の曲げ部は存在しない。従ってロードビーム２
７１は剛性の高い系のみで構成されている。その結果、
ＨＧＡをＨＤＤへ組み込む際にバックベントしたとして
も、その組み込み工程の前後で、荷重値の変化は生じな
い。なお、バックベント機能を持たせるためのロードビ
ームの形状は、図示のものに限定されるものではないこ
とは言うまでもない。
【００９１】ロードビーム２７１とフレクシャ２７２と
の固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によっ
てなされている。このロードビーム２７１には、図示し
ない駆動アームへの取り付け孔２７１ａがその後端部に
形成されており、荷重点であるディンプル２７１ｂがそ
の先端部に形成されている。
【００９２】フレクシャ２７２及び荷重調整機構２７３
は、本実施形態においても、第１のステンレススチール
薄板、ポリイミド樹脂等による樹脂層及び第２のステン
レススチール薄板を順次積層して一体化してなる３層構
造の板部材を所定の層に及び所定のパターンにエッチン
グすることによって形成されている。
【００９３】フレクシャ２７２は、図２２の実施形態の
場合と同様に、弾性が要求されるその中間部のみを第１
のステンレススチール薄板の１層構造とし、その後端部
及び先端部を第１のステンレススチール薄板、樹脂層及
び第２のステンレススチール薄板の３層構造として形成
している。このように、フレクシャ２７２の後端部及び
先端部を３層構造とすることにより、その部分の強度を
向上できることはもちろんのこと、荷重調整機構２７３
との段差が少なくてすむため、段差調整、従って磁気ヘ
ッドスライダ２７４のピッチ調整が容易となる。
【００９４】荷重調整機構２７３は、図１及び図２２の
実施形態の場合と同様に、外枠形状に形成されたフレー
ム部と、このフレーム部の内側にその一方の端が一体的
に連結している板ばね部とから構成されている。フレー
ム部は、第１のステンレススチール薄板、樹脂層及び第
２のステンレススチール薄板の３層構造となっており、
剛性が保たれている。一方、板ばね部は、第２のステン
レススチール薄板のみの１層構造で構成されており、弾
性を有している。
【００９５】この板ばね部は荷重点であるディンプル２
７１ｂと同軸に位置するように構成されており、ディン
プル２７１ｂが弾性を有する板ばね部を押圧することに
よって、この板ばね部が湾曲して反撥し、両者の釣合っ
たところで磁気ヘッドスライダ２７４への荷重が定ま
る。
【００９６】このように、本実施形態では、ディンプル
２７１ｂの直下に設けられた板ばね部に荷重調整機能が
設けられている。即ち、この板ばね部の幅、厚み及び長
さ等を調整し、与えられたＺ−ｈｅｉｇｈｔに対して規
定の荷重値が得られるようにする。その際、板ばね部が
荷重を受けて湾曲するため、その先端部が磁気ヘッドス
ライダ２７４に当接しないようにギャップを設ける必要
がある。本実施形態では、このギャップは、第１のステ
ンレススチール薄板及び樹脂層の厚みで形成している。
【００９７】磁気ヘッドスライダ２７４の磁気ヘッド素
子への電気的配線は、フレクシャ２７２上に複数のリー
ド導体を含む可撓性のトレースを直接的に積層形成して
良いし、このようなリード導体があらかじめ形成されて
いる可撓性のトレースシートをフレクシャ２７２に貼り
付けることによって構成しても良い。
【００９８】本実施形態におけるその他の構成、変更態
様及び作用効果等は、図１、図１１及び図２２の実施形
態の場合と同様である。
【００９９】図３０は本発明のまたさらに他の実施形態
としてＨＧＡ全体を概略的に示す平面図であり、図３１
は図３０の実施形態におけるＨＧＡの種々の変更態様を
示す側面図である。
【０１００】ＨＧＡにＨＤＤへの装着時のバックベント
機能を持たせるには、図２７の実施形態のようにロード
ビームの幅を一部で狭くする他に、図３０に示すよう
に、ロードビーム３０１とベースプレート３０６とを別
個に設け、両者を弾性を有する連結部材３０７で連結す
るようにしても良い。
【０１０１】即ち、図３０に示すように、サスペンショ
ン３００を、ベースプレート３０６と、１枚の平板部材
からなるロードビーム３０１と、このロードビーム３０
１の後端部をベースプレート３０６に結合する弾性を有
する連結部材３０７と、ロードビーム３０１に固着支持
されたフレクシャ３０２と、このフレクシャ３０２と一
体的に形成された荷重調整機構３０３とから構成し、こ
のサスペンション３００の荷重調整機構３０３上に少な
くとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライ
ダ３０４を固着し、図示しないリード導体の電気的接続
を行うことによってＨＧＡを形成しても良い。
【０１０２】連結部材３０７は、ＨＤＤへの装着時のバ
ックベント機能をＨＧＡに持たせるために設けられてい
るが、従来の荷重調整用の曲げ部よりはるかに大きな剛
性を有しており、また、ロードビーム３０１には荷重調
整用の曲げ部は存在しない。従って、ＨＧＡをＨＤＤへ
組み込む際にバックベントしたとしても、その組み込み
工程の前後で、荷重値の変化は生じない。
【０１０３】ベースプレート３０６及び連結部材３０７
を除くその他の構成、変更態様及び作用効果等は、前述
した実施形態の場合と同様である。
【０１０４】連結部材３０７によるベースプレート３０
６及びロードビーム３０１の接続態様は、種々のものが
考えられ、そのいくつかの例が図３１の（Ａ）〜（Ｄ）
に示されている。これらの構造は図より明らかであるた
め、説明は省略する。
【０１０５】以上、薄膜磁気ヘッド素子用のサスペンシ
ョン及びこのサスペンションを備えたＨＧＡについて本
発明を説明したが、本発明は、このようなＨＧＡにのみ
限定されるものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例
えば光ヘッド素子等のヘッド素子用のサスペンション及
びこのサスペンションを備えたＨＧＡにも適用可能であ
る。
【０１０６】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【０１０７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、ヘッドスライダへの荷重を調整するための荷重調整
機構がフレクシャのヘッドスライダを支持する部分に設
けられている。このため、従来、ロードビームのベース
プレートの近くに設けられていた荷重調整用の曲げ部が
不要となるから、ロードビームを剛性の高い系のみで構
成することが可能となり、サスペンション全体の共振周
波数を高めることができる。その結果、サーボが使用す
る周波数帯域を広げることができるので、高速のサーボ
動作が期待できる。また、最も広い面積で横風を受ける
ロードビームが荷重調整用の曲げ部を持たないことによ
り、風乱の影響を最小限に抑えることができる。さら
に、荷重調整用の曲げ部がないことにより、サスペンシ
ョンの剛性を上げることが可能となり、Ｚ方向への耐衝
撃性が大幅に向上する。さらにまた、曲げ部の曲げ角度
で荷重調整しなくて良いため、製造工程がその分簡略化
できて製造コストが低下するのみならず、高い精度で荷
重調整できるので製造における荷重の公差をより小さく
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としてＨＧＡ全体を概略的
に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡの側面図であ
る。
【図３】図１の実施形態におけるフレクシャ及び磁気ヘ
ッドスライダの部分のみを示す斜視図である。
【図４】図１の実施形態におけるフレクシャ及び磁気ヘ
ッドスライダの部分のみを図３とは異なる方向から見た
斜視図である。
【図５】図１の実施形態における荷重調整機構及び磁気
ヘッドスライダの部分のみを示す斜視図である。
【図６】図１の実施形態における荷重調整機構及び磁気
ヘッドスライダの部分のみを図５とは異なる方向から見
た斜視図である。
【図７】図１の実施形態における荷重調整機構及び磁気
ヘッドスライダの部分のみを示す平面図、立面図及び側
面図である。
【図８】図７Ａ−Ａ線断面図である。
【図９】本発明の他の実施形態における荷重調整機構及
び磁気ヘッドスライダの部分のみを示す斜視図である。
【図１０】図９の実施形態における荷重調整機構及び磁
気ヘッドスライダの部分のみを図９とは異なる方向から
見た斜視図である。
【図１１】本発明のさらに他の実施形態における荷重調
整機構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを示す斜視図
である。
【図１２】図１１の実施形態における荷重調整機構及び
磁気ヘッドスライダの部分のみを図１１とは異なる方向
から見た斜視図である。
【図１３】図１１の実施形態における荷重調整機構及び
磁気ヘッドスライダの部分のみを示す平面図、立面図及
び側面図である。
【図１４】本発明のまたさらに他の実施形態における荷
重調整機構及び磁気ヘッドスライダの部分のみを示す斜
視図である。
【図１５】図１４の実施形態における荷重調整機構及び
磁気ヘッドスライダの部分のみを図１４とは異なる方向
から見た斜視図である。
【図１６】フレクシャの形状及びこのフレクシャと荷重
調整機構との連結形態の例を示す平面図である。
【図１７】フレクシャの形状及びこのフレクシャと荷重
調整機構との連結形態の例を示す平面図である。
【図１８】本発明のさらに他の実施形態としてＨＧＡ全
体を概略的に示す斜視図である。
【図１９】図１８の実施形態におけるＨＧＡの側面図で
ある。
【図２０】図１８の実施形態において、荷重調整機構及
び磁気ヘッドスライダをフレクシャへどのように装着す
るかを説明する斜視図である。
【図２１】図１８の実施形態の変更態様において、荷重
調整機構及び磁気ヘッドスライダをフレクシャへどのよ
うに装着するかを説明する斜視図である。
【図２２】本発明のまたさらに他の実施形態としてＨＧ
Ａ全体を概略的に示す底面図である。
【図２３】図２２の実施形態におけるＨＧＡの斜視図で
ある。
【図２４】図２２の実施形態におけるＨＧＡの側面図で
ある。
【図２５】図２２の実施形態におけるフレクシャ及び磁
気ヘッドスライダの部分のみを示す斜視図である。
【図２６】図２２の実施形態におけるフレクシャ及び磁
気ヘッドスライダの部分のみを図２５とは異なる方向か
ら見た斜視図である。
【図２７】本発明のさらに他の実施形態としてＨＧＡ全
体を概略的に示す斜視図である。
【図２８】図２７の実施形態におけるＨＧＡの底面図で
ある。
【図２９】図２７の実施形態におけるＨＧＡの側面図で
ある。
【図３０】本発明のまたさらに他の実施形態としてＨＧ
Ａ全体を概略的に示す平面図である。
【図３１】図３０の実施形態におけるＨＧＡの種々の変
更態様を示す側面図である。
【符号の説明】
１０、１８０、２２０、２７０、３００ サスペンショ
ン １１、１８１、２２１、２７１、３０１ ロードビーム １１ａ、１８１ａ、２２１ａ、２７１ａ 取り付け部 １１ｂ、１８１ｂ、２２１ｂ、２７１ｂ ディンプル １２、１２´、１８２、２１２、２２２、２７２、３０
２ フレクシャ １３、１３´、９３、１１３、１４３、１８３、２１
３、２２３、２７３、３０３ 荷重調整機構 １３ａ、９３ａ、１１３ａ、１４３ａ、２２３ａ フレ
ーム部 １３ｂ、９３ｂ、１１３ｂ、１４３ｂ、２２３ｂ 板ば
ね部 １４、１４´、１８４、２１４、２２４、２７４、３０
４ 磁気ヘッドスライダ １５ａ、２２５ａ 第１のステンレススチール薄板 １５ｂ、２２５ｂ 第１の樹脂層 １５ｃ、２２５ｃ 第２のステンレススチール薄板 １１５ ステンレススチール薄板 １１６ スペーサ １８２ａ 舌部 ２２２ａ 中間部 ２２２ｂ 後端部 ２２２ｃ 先端部 ３０６ ベースプレート ３０７ 連結部材３０７
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D059 AA01 BA01 CA04 CA11 CA16 CA23 DA11 DA18 DA26 DA31 EA04 EA08

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ロードビームと、該ロードビームに固着
    されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッ
    ドスライダの浮上姿勢を決めるためのフレクシャと、該
    フレクシャの前記ヘッドスライダを支持する部分に設け
    られており該ヘッドスライダへの荷重を調整するための
    荷重調整機構とを備えたことを特徴とするサスペンショ
    ン。
  2. 【請求項２】 前記荷重調整機構が、前記ヘッドスライ
    ダへの荷重点と同軸に形成されていることを特徴とする
    請求項１に記載のサスペンション。
  3. 【請求項３】 前記荷重点を構成する突起が前記ロード
    ビームに形成されていることを特徴とする請求項２に記
    載のサスペンション。
  4. 【請求項４】 前記荷重調整機構が、フレーム部と、該
    フレーム部に少なくとも一方の端が支えられており前記
    ヘッドスライダへの荷重を制御する板ばね部とを備えて
    いることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に
    記載のサスペンション。
  5. 【請求項５】 前記荷重調整機構が、第１の金属薄板層
    と、該第１の金属薄板層上に積層された樹脂層と、該樹
    脂層上に積層された第２の金属薄板層とを含む多層構造
    からなり、前記板ばね部が前記第１又は第２の金属薄板
    層の一部からなることを特徴とする請求項４に記載のサ
    スペンション。
  6. 【請求項６】 前記荷重調整機構が、単層の金属薄板層
    と、該金属薄板層上に積層されたスペーサ部材とからな
    り、前記板ばね部が前記金属薄板層の一部からなること
    を特徴とする請求項４に記載のサスペンション。
  7. 【請求項７】 前記荷重調整機構が、前記フレクシャと
    一体的に形成されていることを特徴とする請求項１から
    ６のいずれか１項に記載のサスペンション。
  8. 【請求項８】 前記荷重調整機構が、前記フレクシャと
    は別個に形成されていることを特徴とする請求項１から
    ６のいずれか１項に記載のサスペンション。
  9. 【請求項９】 前記ロードビームが、剛性の高い系のみ
    から構成されていることを特徴とする請求項１から８の
    いずれか１項に記載のサスペンション。
  10. 【請求項１０】 前記ロードビームが、前記ヘッドスラ
    イダの荷重調整機能を有していないことを特徴とする請
    求項１から８のいずれか１項に記載のサスペンション。
  11. 【請求項１１】 前記ロードビームが、１枚の板部材の
    みから形成されていることを特徴とする請求項９又は１
    ０に記載のサスペンション。
  12. 【請求項１２】 磁気ディスク装置への装着時に折り曲
    げ可能なバックベント部を備えたことを特徴とする請求
    項１から８のいずれか１項に記載のサスペンション。
  13. 【請求項１３】 前記バックベント部が、前記ロードビ
    ームの幅を狭くして構成されていることを特徴とする請
    求項１２に記載のサスペンション。
  14. 【請求項１４】 前記バックベント部が、前記ロードビ
    ームに連結された弾性部材であることを特徴とする請求
    項１２に記載のサスペンション。
  15. 【請求項１５】 前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子
    であることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１
    項に記載のサスペンション。
  16. 【請求項１６】 請求項１から１５のいずれか１項に記
    載のサスペンションと、該サスペンションに支持されて
    おり少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライ
    ダとを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブ
    リ。
JP2001124242A 2001-04-23 2001-04-23 サスペンション及び該サスペンションを備えたヘッドジンバルアセンブリ Pending JP2002329378A (ja)

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