JP2001035109A - ヘッドサスペンション - Google Patents

ヘッドサスペンション

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JP2001035109A
JP2001035109A JP11209960A JP20996099A JP2001035109A JP 2001035109 A JP2001035109 A JP 2001035109A JP 11209960 A JP11209960 A JP 11209960A JP 20996099 A JP20996099 A JP 20996099A JP 2001035109 A JP2001035109 A JP 2001035109A
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pivot
gimbal
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load beam
head slider
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JP11209960A
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Takeshi Oe
健 大江
Akio Goo
昭夫 郷緒
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

Landscapes

  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ジンバルまたはロードビームに設けられたピ
ボットの滑りを防止し、高速アクセスおよび信頼性の向
上を図る。 【解決手段】 ヘッドスライダ3に対してディスク媒体
の方向の荷重を与えるロードビーム1にピボット5が形
成され、ヘッドスライダ3を搭載するするジンバル2と
ピボット5との間に、硬度がピボット5よりも小さい中
間部材7が設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ディスク装置における
ヘッドスライダを支持するヘッドサスペンションに関す
る。
【0002】
【従来の技術】図1は、従来のヘッドサスペンションの
構造を示す図であり、図1(a)は斜視図、図1(b)
は側面図である。
【0003】ステンレス製のロードビーム(スプリング
アーム)1がスペーサ4にスポット溶接され、更に、ス
ペーサ4に固着されたロードビーム1は、アーム(図示
せず)にカシメ止めされる。ロードビーム1の両側は剛
性を得るために折り曲げられ、リブ1aが形成されてい
る。ロードビーム1の先端部には、ステンレスからなる
ジンバル2がスポット溶接されている。
【0004】ジンバル2の先端は、ディスク14側に折
り曲げられ、舌部2aが形成される。舌部2aは、ディ
スク14の面と垂直な方向にバネ性を有する。
【0005】舌部2aのディスク14と対向する側の面
には、ヘッドスライダ3が搭載される。ヘッドスライダ
3は、通常、接着により舌部2aに固定される。ジンバ
ル2の舌部2aと向かい合う面の一部は舌片2bの方向
へ突出し、ピボット5が形成される。
【0006】ピボット5はジンバル2をポンチにより叩
くことにより形成される。ピボット5の先端は舌部2a
のヘッドスライダ3を搭載する面と逆の面に接触する。
ディスク14が回転すると、スライダ3は、スライダ3
とディスク14の表面との間に発生する空気流を受け
る。その結果、スライダ3は、ディスク14の表面から
微小な間隙を保って浮上し、ピボット5の先端を支点に
してあらゆる方向に回転する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ヘッドサスペンション
は、ディスクに対して情報の読み出しまたは書き込みを
行う際、ディスク上の所定の位置にヘッドスライダをア
クセスさせるために高速でディスクの表面上を移動す
る。近年では、より高速なアクセスを実現するために、
200G以上の加速度でヘッドサスペンションを駆動す
るディスク装置も現れている。
【0008】従来のヘッドサスペンションにおいては、
アクセス速度の高速化に伴って、ジンバルの舌部がピボ
ットの頭頂部を滑り、ヘッドサスペンションの重要な特
性である共振周波数数の低下や、ヘッドの位置決めの精
度が低下がみられるようになった。更に、ピボットと舌
部との摩擦により、両者が削り取られ、ディスクエンク
ロージャー内で粉塵が発生する現象もみられるようにな
った。粉塵がディスク媒体に付着すると、ヘッドクラッ
シュ等の原因となり、ディスク装置の信頼性が損なわれ
る。
【0009】このように、従来の技術におけるヘッドサ
スペンションでは、今後、更なるディスク装置の高速動
作が要求されたときに、その要求に応えられなくなるこ
とが考えられる。
【0010】そこで、本発明の第1の目的は、高速アク
セスに対応できるヘッドサスペンションを提供すること
である。
【0011】本発明の第2の目的は、信頼性が高いディ
スク装置を提供することである。
【0012】本発明の第3の目的は、ピボットとピボッ
ト当接面との間の粉塵を防ぐスペンションを提供するこ
とである。
【0013】本発明の第4の目的は、ピボットとピボッ
トの当接面との滑りを防ぐヘッドサスペンションを提供
することである。
【0014】
【発明を解決する手段】本発明では、ピボットの上、或
いはピボットに対向する面の少なくとも一方に、ピボッ
トよりも硬度が小さい中間部材が存在する。この構造に
よると、ピボットは中間部材に当接する。中間部材はピ
ボットよりも硬度が小さいため、ピボットが中間部材に
くい込み、ピボットの滑りが抑えられる。それゆえ、ヘ
ッドサスペンションの加速度に耐え、高速動作に対応で
きる。更に、粉塵の発生も抑えられ、信頼性が向上す
る。
【0015】ここで、中間部材は、ピボットおよびピボ
ットに対向する面の両方に設けられてもよい。但し、一
方はピボットよりも硬度が大きく、他方はピボットより
も硬度が小さい。この構造によると、中間部材同士が当
接する。両者は硬度の差が大きいため、摩擦係数はより
大きくなる。従って、ピボットはより大きい加速度にも
耐えられるようになる。
【0016】また、本発明では、ジンバルまたはロード
ビームにおけるピボットとの当接面に凹部か形成され
る。この構造によると、ピボットの一部が凹部の中に入
り、ピボットの動きは凹部に囲まれる範囲内に制限され
る。そのため、ピボットの滑べりが規制され、ヘッドサ
スペンションの高速移動に対応できるようになる。ここ
で、ピボットと当接する面にピボットよりも硬度が小さ
い材質からなる中間部材が配置されてもよい。この構造
によると、ピボットの可動範囲が制限されるだけでな
く、ピボットとの磨耗が一層緩和される。特に、中間部
材がヘッドに対する信号を伝送する信号線を被覆する層
であれば、既存の要素を中間部材に転用することがで
き、コスト的に有利となる。
【0017】更に、本発明では、ジンバルまたはロード
ビームにおけるピボットとの当接面に、長手方向に沿う
凸部が形成される。即ち、ロードビームの移動方向に対
して垂直な面が形成される。この構造によると、凸部が
壁となり、ディスクの半径方向へのピボットの動きが規
制される。そのため、ピボットのディスクの半径方向へ
の滑べりが防止され、ヘッドサスペンションの高速移動
に対応できるようになる。
【0018】
【発明の実施の形態】図2は、本発明のヘッドサスペン
ションが搭載されるディスク装置を示す図であり、カバ
ーが取り外された状態におけるディスク装置の平面を示
す。
【0019】ベースプレート51上には、スピンドルモ
ータ52が取り付けられ、ディスク50を回転させる。
【0020】ベースプレート51上には、また、ディス
クの半径方向に回転するアクチュエータ53が搭載され
る。
【0021】アクチュエータ53の一端には、ディスク
50の記録面と平行な方向に延びる複数のヘッドアーム
54が形成されている。ヘッドアーム54の一端には、
ディスク50の記録面毎に、ヘッドサスペンション55
が取り付けられる。ヘッドサスペンション55は、長手
方向がディスク50の回転方向に沿うロードビーム1と
ヘッドスライダ3を支持するジンバルから構成される。
ロードビームーム1の基端側はヘッドアーム54に取り
付けられ、先端側にはジンバル2が設けられる。ジンバ
ル2の、対応する記録面と向き合う面には、ヘッドスラ
イダ3が図示されない絶縁膜を介して取り付けられてい
る。
【0022】アクチュエータ53の他端には、図示され
ないコイルが取付けられている。
【0023】ベースプレート51上には、永久磁石及び
ヨークによって構成された磁気回路58が設けられる。
磁気回路58の磁気ギャップ内には、上記コイルが配置
される。そして、磁気回路58とコイルとによってボイ
スコイルモータ(VCM)が構成される。また、ベース
プレート51の上部は図示されないカバーで覆われてい
る。
【0024】上記ディスク装置の動作を説明する。
【0025】ディスク50が停止しているときは、スラ
イダ3は磁気ディスク50の退避ゾーンに接触して停止
している。次に、磁気ディスク装置50がスピンドルモ
ータ52によって回転されると、磁気ディスク50の回
転に伴って発生する空気流によって、スライダ3はディ
スク面から僅かな隙間をもって浮上する。スライダが浮
上している状態でコイルに電流が流れると、コイルに推
力が発生し、アクチュエータ53が回転する。そして、
スライダ3が磁気ディスク50の所定のトラック上に移
動し、データの読み出しや書き込みを行う。
【0026】次に、本発明のヘッドサスペンションのさ
まざまな形態について説明する。
【0027】図3は、本発明の第1の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションの長手方向に沿う断面図であ
る。
【0028】ロードビーム1の先端部にはピボット5が
形成される。ピボット5はロードビーム1をポンチによ
り叩くことにより形成される。ジンバル2及びロードビ
ーム1はステンレスで形成される。それゆえ、ピボット
5もステンレスよりなる。ロードビーム1の厚さは0.
02mm〜0.08mmで、ピボット5の高さはロード
ビーム1の表面から0.02mm〜0.1mmである。
【0029】ロードビーム1のピボット5より基端部側
の領域にはジンバル2がスポット溶接により取り付けら
れる。ジンバル2もロードビーム1と同じく、ステンレ
スにより形成される。ジンバル2のディスクと対向する
面にはヘッドスライダ3が設けられている。
【0030】ジンバル2のロードビーム1に向かい合う
面には、中間部材7が形成されている。中間部材7の厚
さは0.1mm以下が望ましい。中間部材7を構成する
材料としては、例えば、ポリイミドのような樹脂や、A
uのような金属が用いられる。これらは、粘性が高く硬
度も比較的小さい。中間部材7をポリイミドで形成する
ならば、フィルム状に成形されたポリイミドをジンバル
2に貼りつけたり、ジンバル2に液状のポリイミドをデ
ィピングあるはコーティングした後にベークする形成法
を用いることができる。また、中間部材7を金属で形成
するならば、スパッタや蒸着といった形成法が用いられ
る。
【0031】本実施の形態によると、ピボット7は直接
ジンバル2には接触しない。ピボット7は、ピボットよ
りも硬度が小さい中間部材7を押圧し、中間部材7が凹
む。特に、高い粘性を併せ持つポリイミド系樹脂やAu
を用いることにより、ピボット5と中間部材7との間の
摩擦係数が大きくなる。それゆえ、ピボット5とジンバ
ル7の滑りは抑制され、粉塵の発生が防止される。更
に、ダンピング効果によりヘッドスライダ4の位置決め
精度が向上する。
【0032】図4は、本発明の第2の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションの長手方向に沿う断面図であ
る。
【0033】本実施の形態においては、中間部材7はロ
ードビーム1側に形成され、ピボット5を覆う。中間部
材7の材料は、先に述べられた第1の実施の形態におけ
る中間部材7と同じ材料を用いることができる。ピボッ
ト5の表面は半球状であるが、第1の実施の形態と同様
に、樹脂であればコーティングやディピング、或いは貼
りつけ、金属であれば蒸着やスパッタを採用することに
より、中間部材7を球面上に容易に形成することができ
る。
【0034】本実施の形態によると、ジンバル2は直接
ピボット5には接触しない。ジンバル2は、ピボット5
よりも硬度が小さい中間部材7に密着し、ジンバル2と
中間部材7は面接触する。そのため、摩擦係数が大きく
なり、ピボット5の滑りが抑制され、粉塵の発生も防止
される。
【0035】図5は、本発明の第3の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションの長手方向に沿う断面図であ
る。
【0036】本実施の形態においては、ロードビーム1
側に中間部材7aが、ジンバル2側に中間部材7bが形
成される。ここで、中間部材7aと中間部材7bは互い
に異なる材料よりなる。更に、中間部材7aはピボット
5よりも硬度が大きく、中間部材7bはピボット5より
も硬度が小さい。具体的には、中間部材7aは、Ti、
W、TiWのような金属、Al2 3 、TiOのような
酸化物、TiNのようなチッ化物が選ばれる。一方、中
間部材7bはポリイミドのような樹脂、あるいはAuの
ような金属が選ばれる。
【0037】本実施の形態によると、ピボット5側の中
間部材7aとジンバル2側の中間部材7bとの間の硬度
差が大きくなる。従って、中間部材7aと中間部材7b
とが密着し、接触する面積が大きくなる。それゆえ、中
間部材7aと中間部材7bとの間の摩擦係数が大きくな
り、ピボット5の滑りが抑制される。また、前述のよう
に、中間部材7bとして、ポリイミドやAuのような粘
性の高い材料を用いることにより、ダンピング効果によ
るヘッドスライダ3の位置決め精度の向上が図れる。
【0038】なお、本実施の形態においては、ピボット
5側の中間部材7aの方がジンバル2側の中間部材7b
よりも硬度が大きいが、これに限定されない。つまり、
中間部材7bはピボットよりも硬度が大きく、中間部材
7aはピボット5よりも硬度が小さくてもよい。また、
中間部材7aおよび7bの両方がピボット5よりも硬度
が小さくてもよい。
【0039】上記第1ないし第3の実施の形態におい
て、中間部材7の材料によっては、ピボット5あるいは
ジンバル1と十分な密着性がとれないことがある。そこ
で密着性を向上するために、中間部材7とジンバル1、
あるいは中間部材7とピボット5との間に密着層が形成
されてもよい。密着層は中間部材7によって適切な材料
が選ばれ、例えば、中間部材7がAuであれば、Crや
Niが選ばれる。
【0040】また、上記第1ないし第3の実施の形態に
おいて、中間部材7が設けられてもピボットの滑りが防
止されない場合は、ピボット5或いは中間部材7の表面
にプラズマ、CF4 、酸、アルカリ等の処理を施すこと
により、表面を粗くしてもよい。表面が粗くなることに
より、接触面間の摩擦抵抗が大きくなり、ピボット5の
滑りが防止される。
【0041】以上のように、上記第1ないし第3の実施
の形態において、ピボット5の滑りを防止するには、ロ
ードビーム1側とジンバル2側における接触面間の摩擦
抵抗を大きくすることが重要である。適当な摩擦係数μ
は、μ=(可動部質量×加速度)/荷重で表される。こ
こで、可動部質量はヘッドスライダ4およびジンバル2
のピボット5に換算した等価質量、加速度は可動部の加
速度である。
【0042】図6は、本発明の第4の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションの長手方向に沿う断面図であ
る。
【0043】本実施形態では、ジンバル2のピボット5
が当接する領域に凹部11が形成されている。凹部11
の直径は0.1mm〜0.5mmである。ピボット5の
頭頂部は凹部11の中に入り、ヘッドスライダ3のディ
スク媒体と向き合う面と反対側の面に当接する。
【0044】第4の実施の形態によると、ピボット5は
凹部の中の限られた領域しか動けないため、磨耗が軽減
される。ここで、ジンバル2の厚さをdとすると、凹部
11の直径が、ピボットの頭頂部からdだけ低い位置に
おける直径よりも小さければ、ピボット5と凹部11の
周縁との間に隙間ができない。従って、ピボット5の滑
りは抑えられ、ピボット5は磨耗しない。なお、ヘッド
スライダ3が接着剤によりジンバル2に搭載されるヘッ
ドサスペンションが存在する。そのようなヘッドサスペ
ンションにおいては、ピボット5の頭頂部は凹部を介し
て接着剤に当接する。その結果、ピボット5の滑りは接
着剤の粘性により抑えられ、更に、ダンピング効果によ
り、ヘッドスライダ3の位置決めの精度が向上する。
【0045】なお、本実施の形態においては、ジンバル
2を貫通する凹部11が形成されるが、凹部11は貫通
孔であるが、貫通孔の替わりに貫通しない窪みが形成さ
れてもよい。ピボット5の頭頂部が窪みに落ちることに
より、ピボット5の滑り防止にある程度の効果が期待さ
れる。
【0046】図7は、本発明の第5の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションの長手方向に沿う断面図であ
る。
【0047】本実施例においては、前述の第5の実施例
における凹部11が形成されたジンバル2のヘッドスラ
イダ3が搭載される面に中間部材12が設けられる。ヘ
ッドスライダ3は、中間部材12を介してジンバル2に
搭載される。ピボット11の頭頂部は中間部材12に当
接する。中間部材12の材質や、寸法、形成方法は、先
に述べられた第1および第2の実施の形態における中間
部材7と同じである。
【0048】第5の実施の形態によると、ピボット5は
凹部の中の限られた領域しか動けないため、磨耗が軽減
される。また、ピボット11は、ステンレスよりも十分
に硬度が小さい中間部材12に当接するため、ピボット
の磨耗は、第4の実施の形態よりも軽減される。
【0049】図8は、本発明の第6の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションを示す図であり、図8(a)は
ヘッドサスペンションの平面図、図8(b)はジンバル
周辺の側面図である。
【0050】ヘッドスライダ3にはディスク媒体に対し
て情報の読み出しまたは書き込みを行うヘッド素子(図
示せず)が搭載されている。また、ヘッド素子がディス
クから読み取った信号、或いはディスクに対する書き込
み信号を伝送する信号線13がジンバル2およびロード
ビーム1上に敷設されている。信号線13は絶縁を得る
ために絶縁薄膜14で覆われている。絶縁薄膜14とし
ては、通常、ポリイミドが使用される。
【0051】本実施例においては、信号線13を絶縁す
るポリイミド膜14をヘッドスライダ3とジンバル2と
の間に配置し、ポリイミド膜14を先に述べた第5の実
施の形態における中間部材12として利用する。ポリイ
ミド膜14は、接着或いは圧着によりジンバル2及びロ
ードビーム1上に形成される。ポリイミド膜14の厚さ
は0.005mm〜0.05mmである。
【0052】本実施の形態によると、ピボット5は凹部
の中の限られた領域しか動けないため、磨耗が軽減され
る。また、ピボット5は、ステンレスよりも十分に硬度
が小さい中間部材12に当接するため、ピボットの磨耗
は、第4の実施の形態よりも軽減される。特に、本実施
の形態では、ポリイミド膜14を中間部材12として使
用することができる。ポリイミドは表面が滑らかであ
り、摩擦係数は小さい。そのため、ピボット5の磨耗を
和らげる。また、既に用いられている膜が中間部材とし
て利用されるため、新たに中間部材12を設ける必要が
無く、コスト的にも有利である。
【0053】なお、上記第4ないし6の実施の形態にお
いても、第3の実施の形態と同様にジンバル2とピボッ
ト5の両方に中間部材12が形成されてもよい。中間部
材12同士が対向することにより、滑りによる磨耗が一
層軽減され、信頼性の向上が図れる。
【0054】図9は、本発明の第7の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションを示す図であり、図9(a)
は、ヘッドサスペンションの斜視図、図9(b)はヘッ
ドサスペンションの長手方向に沿う断面図である。
【0055】本実施の形態においては、ジンバル2のヘ
ッドスライダ3が搭載される面と逆の面に、複数の圧延
目16が形成される。圧延目16は、ロードビーム1の
長手方向、つまり、ディスクの回転方向に沿う方向に形
成される。圧延目16はジンバル2のヘッドスライダ搭
載面をロードビーム1の長手方向に圧延することにより
形成される。圧延目16は、その加工方法により、ジン
バル2上に同一方向に向かって多く作る。
【0056】本実施の形態によると、ピボット5の頭頂
部が圧延目16に挟まれる領域に配置される。そのた
め、ロードビームの移動に伴ってピボット5に加速度が
かかっても、圧延目16によって滑る距離が制限され、
磨耗が軽減される。特に、圧延目16の間隔がピボット
5の直径よりも小さければ、ピボットは圧延目16に当
接し、滑りが阻止される。そのため、ヘッドサスペンシ
ョンに大きな加速度がかかけられ、高速動作に対応でき
る。
【0057】以上、各実施の形態の説明で述べたよう
に、本発明によると、ピボットの滑りの阻止、或いは滑
りによる磨耗の軽減が図れ、ディスク装置の信頼性の向
上や高速動作に寄与する。
【0058】なお、上記各実施の形態におけるヘッドサ
スペンションにおいては、ピボット5は全てロードビー
ム1側に形成されていたが、ジンバル2側に形成されて
もよい。そのような構造では、ピボット5は、ヘッドス
ライダ3が搭載される面と反対の面に形成され、中間部
材7および凹部11は、ロードビーム1のジンバル2に
向き合う面に形成される。ピボット5がジンバル2側に
形成されても、先に述べた実施の形態と同様に、ピボッ
トの滑りの防止が図れる。
【0059】更に、ピボットをロードビーム1およびジ
ンバル2以外に設けられる構造も取られることがある。
【0060】図10に本発明の第8の実施の形態におけ
るヘッドサスペンションの分解斜視図である。
【0061】本実施の形態においては、ジンバル2とロ
ードビーム1は一体に形成される。ロードビーム1はス
テンレスからなる。ロードビーム1の先端ではスリット
が形成され、スリットに囲まれる領域がジンバル2とし
て機能する。ジンバル2の対応するディスクと対向する
面には、ヘッドスライダ3が搭載される。ジンバル2の
ヘッドスライダ搭載面と反対側の面(裏面)には中間部
材7が形成される。中間部材7の材料、形成方法、寸法
等は、先に述べられた第1の実施の形態と同様である。
ロードビーム1の裏面には、先端部にピボット5が形成
された補強板15が、例えば溶接により取り付けられ
る。補強板15はロードビーム1と同じくステンレスか
らなる。ピボット5は、中間部材7を介してジンバル2
のヘッドスライダ搭載面の裏面を押圧する。
【0062】なお、本実施の形態においては、中間部材
7はジンバル2の裏面に形成されたが、第2の実施の形
態のようにピボット15上に形成されてもよい。また、
第3の実施の形態のように、ジンバルとピボットの両方
に形成されてもよい。更に、第4の実施の形態のよう
に、ジンバル2に凹部が形成され、ピボット5の頭頂部
が凹部に入る構造を有してもよい。
【0063】更に、以上述べられた実施の形態において
は、中間部材、凹部あるいは圧延目によりピボットの滑
りが防止されていたが、それ以外にも、逆スパッタやケ
ミカル処理によりピボットとの当接面を粗くすることに
よっても、ピボットの滑りの防止が図れる。
【0064】
【発明の効果】以上に述べた構造を持つヘッドサスペン
ションにおいては、大きな加速度で駆動されても、ピボ
ットは滑べりにくく、ピボットとその当接面の磨耗が軽
減される。そのため、粉塵の発生が抑制され、ディスク
装置の信頼性が向上するとともに、高速アクセスにも耐
えられ、ディスク装置の高性能化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術におけるヘッドサスペンションを示す
図である。
【図2】本発明の磁気ディスク装置を示す図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図5】本発明の第3の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図6】本発明の第4の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図7】本発明の第5の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図8】本発明の第6の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図9】本発明の第7の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。
【図10】本発明の第8の実施の形態におけるヘッドサ
スペンションを示す図である。
【符号の説明】
1・・・ロードビーム 2・・・ジンバル 3・・・ヘッドスライダ 5・・・ピボット 7,12・・・中間部材

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ヘッドスライダに対してディスク媒体方
    向の荷重を与えるロードビームと、 前記ロードビームに取り付けられ、一方の面に前記ヘッ
    ドスライダを搭載するするジンバルと、 前記ジンバルの他方の面、または、該ジンバルの他方の
    面に対向する位置に形成され、該ヘッドスライダを点上
    で支持するピボットと、 前記ジンバルまたは前記ロードビームにおける前記ピボ
    ットと対向する面、または該ピボット上に形成され、硬
    度が該ピボットより小さい中間部材と、を有することを
    特徴とするヘッドサスペンション。
  2. 【請求項2】 前記中間部材は、前記ジンバルまたは前
    記ロードビームにおける前0ピボットと対向する面、お
    よび該ピボット上に形成され、一方は該ピボットよりも
    硬度が大きく、他方は該ピボットよりも硬度が小さいこ
    とを特徴とする請求項1に記載のヘッドサスペンショ
    ン。
  3. 【請求項3】 ディスクの回転方向に延伸し、ヘッドス
    ライダに対して該ディスク方向の荷重を与えるロードビ
    ームと、 前記ロードビームに取り付けられ、一方の面に前記ヘッ
    ドスライダを搭載するするジンバルと、 前記ジンバルの他方の面に対向する位置、または該ジン
    バルの他方の面上に形成され、該ヘッドスライダを点上
    で支持するピボットとを備え、 前記ジンバルまたは前記ロードビームにおける前記ピボ
    ットと対向する面に、凹部か形成され、該凹部に前記ピ
    ボットが埋め込まれることを特徴とするヘッドサスペン
    ション。
  4. 【請求項4】 前記凹部は貫通し、前記ピボットと対向
    する面と反対の面に、該ピボットよりも硬度が小さい中
    間部材が形成されることを特徴とする請求項3に記載の
    ヘッドサスペンション。
  5. 【請求項5】 前記凹部はジンバルに形成され、前記中
    間部材として、ヘッドスライダに対する信号を伝送する
    ケーブルが該ヘッドスライダと該ジンバルとの間に配置
    されることを特徴とする請求項4に記載のヘッドサスペ
    ンション。
  6. 【請求項6】 ディスクの回転方向に延伸し、ヘッドス
    ライダに対して該ディスク方向の荷重を与えるロードビ
    ームと、 前記ロードビームに取り付けられ、一方の面に前記ヘッ
    ドスライダを搭載するするジンバルと、 前記ジンバルの他方の面に対向する位置、または該ジン
    バルの他方の面上に形成され、該ヘッドスライダを点上
    で支持するピボットとを備え、 前記ジンバルまたは前記ロードビームにおける前記ピボ
    ットと向かい合う面に複数の凸部が形成され、該凸部の
    間の面に前記ピボットが当接することを特徴とするヘッ
    ドサスペンション。
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