JP2002326061A5 - - Google Patents
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- 処理液に浸漬されて軟化した糊剤の付着しているダイシングフレームを供給される搬送部を形成し、この搬送部の搬送途中に供給側から順に、ダイシングフレームの上下面を摺擦するものとしたブラシ装置と、このブラシ装置で摺擦されたダイシングフレームに注水するための注水ノズル部と、ダイシングフレームに付着した水分を空気流により除去するものとした乾燥装置とを設けたことを特徴とするダイシングフレーム洗浄機。
- 真空圧を付与される密閉室を形成し、この密閉室の壁面にダイシングフレームに適合させた細長状の透孔を設けると共に、ダイシングフレームを前記透孔の存在箇所を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレームが前記透孔の存在箇所を通過するとき、このダイシングフレームに付着した水分が前記真空圧の生じさせた密閉室外方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され前記真空圧の影響する環境下で蒸発される構成を特徴とするダイシングフレーム乾燥装置。
- 真空圧を付与される密閉室を形成し、この密閉室の前壁面と後壁面とにダイシングフレームの厚さと直径とに適合させた細長状の透孔を設けると共に、ダイシングフレームを前記２つの透孔を通じて密閉室を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレームが各透孔を通過するとき、このダイシングフレームに付着した水分が前記真空圧の生成させた密閉室外方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され密閉室内で真空圧下で蒸発される構成を特徴とするダイシングフレーム乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001170262A JP4164623B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ダイシングフレーム洗浄機及びダイシングフレーム乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001170262A JP4164623B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ダイシングフレーム洗浄機及びダイシングフレーム乾燥装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002326061A JP2002326061A (ja) | 2002-11-12 |
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| JP4164623B2 JP4164623B2 (ja) | 2008-10-15 |
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Family Applications (1)
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| JP2001170262A Expired - Fee Related JP4164623B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ダイシングフレーム洗浄機及びダイシングフレーム乾燥装置 |
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2001
- 2001-04-27 JP JP2001170262A patent/JP4164623B2/ja not_active Expired - Fee Related
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