JP2002310610A - 位置検出方法および位置検出装置 - Google Patents
位置検出方法および位置検出装置Info
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- Control Of Electric Motors In General (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
コストな機構で検出することができる位置検出方法およ
び位置検出装置を提供する。 【解決手段】 モータ機構の可動部の位置を表す、2種
類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号を発生す
る信号発生手段を設け、可動部の運動の1周期において
前記信号発生手段が発生する、各正弦波信号および各余
弦波信号の波の数が、1または1を超えない範囲で相違
するように前記2種類の周波数を設定し、前記2種類の
周波数の各正弦波信号および各余弦波信号に基づいて、
前記可動部の絶対位置を検出するものである。
Description
び位置検出装置に関する。さらに詳しくは、モータのロ
ータ、回転軸および出力軸などの可動部、ならびにこれ
らモータの可動部により駆動される被駆動部を含むモー
タ機構の可動部の絶対位置を検出するための位置検出方
法および位置検出装置に関する。
タの回転位置を検出する位置センサとして、ロータリ・
エンコーダ、レゾルバおよびパルスジェネレータなどが
広く用いられている。
ル式とアブソリュート式に分類される。前者のインクリ
メンタル式は、基準位置(原点)を検出し、この基準位
置からのロータの回転量を計測することによって可動部
の絶対位置を検出する方式であるため、センサの始動時
直後から基準位置が検出されるまでの間は絶対位置が不
明であるという欠点がある。一方、後者のアブソリュー
ト式は、常に絶対位置を検出することは可能であるが、
要求される分解能に応じた検出点数(通常8〜12チャ
ンネル)を用いる必要があり、機構が複雑化しコストア
ップの要因になるという問題がある。
に相当するアナログの正弦波状信号を生成し絶対位置を
検出する構成であるため、検出精度が生成される正弦波
状信号の精度に大きく依存し、したがって装置の製作精
度を高精度にしないと精確な絶対位置検出を行うことが
できないという問題がある。
リメンタル式エンコーダと同様の欠点を有している。
出方法や方式には、それぞれ長所および短所がある。
は、アブソリュート式エンコーダのような高精度性を有
し、かつパルスジェネレータのような低コスト性を併せ
もつ位置検出方法や方式であるといえる。
術の課題に鑑みなされたものであって、モータ機構の絶
対位置を常時高精度にかつ低コストな機構で検出するこ
とができる位置検出方法および位置検出装置を提供する
ことを目的としている。
は、モータ機構の可動部の位置を表す、2種類の周波数
の各正弦波信号および各余弦波信号を発生する信号発生
手段を設け、可動部の運動の1周期において前記信号発
生手段が発生する、各正弦波信号および各余弦波信号の
波の数が、1または1を超えない範囲で相違するように
前記2種類の周波数を設定し、前記2種類の周波数の各
正弦波信号および各余弦波信号に基づいて、前記可動部
の絶対位置を検出することを特徴とする。
ば、2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号
から可動部の運動の1周期以上の所定周期を有する正弦
波信号および余弦波信号を生成し、この正弦波信号およ
び余弦波信号に基づいて絶対位置を概略的に検出し、つ
いで前記2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波
信号の中の少なくとも1つを用いて、前記概略的に検出
された絶対位置をより精度よく検出するのが好ましい。
動部の絶対位置を検出する位置検出装置であって、信号
生成手段と、演算処理手段とを備え、前記信号生成手段
が、可動部の運動の1周期における波の数が1または1
を超えない範囲で相違する、2種類の周波数の各正弦波
信号および各余弦波信号を生成し、前記演算処理手段
が、前記2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波
信号に所定の演算処理を行って可動部の絶対位置を検出
することを特徴とする。
理手段が、信号生成手段により生成された2種類の周波
数の各正弦波信号および各余弦波信号に基づいて、概略
的な絶対位置を検出する概略位置演算手段と、前記2種
類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号の中の少
なくとも1つを利用して、前記概略位置演算手段により
検出された絶対位置をより精度よく検出する修正絶対位
置演算手段とを有してなるものが好ましい。
例えば、信号生成手段が、可動部に装着された歯数が互
いに1異なる各歯車と、この各歯車の歯にそれぞれ対向
配置された各磁気ユニットとを含み、前記各磁気ユニッ
トが、対応する歯車の歯に磁極が対向させて配設された
磁石と、前記磁石と前記対応する歯車の歯との間に、同
歯車の歯のピッチに対して1/4ピッチの間隔を設けて
配設された2個の磁気抵抗素子とを有し、前記各歯車の
歯形が、電圧信号として正弦波状の電圧波形が出力され
るように形成され、前記磁気抵抗素子が、前記各歯車が
回転することにより生ずる透過磁束の変化に応じて、位
相が1/4波長ずれた2つの正弦波状の電圧信号を正弦
波信号および余弦波信号として得るように回路構成さ
れ、前記演算処理手段が、各磁気ユニットからの2種類
の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号を用いて、
可動部の運動の周期と同一周期の正弦波信号および余弦
波信号を生成し、この正弦波信号および余弦波信号に基
づいて可動部の絶対位置を検出するものとされる。この
場合、各歯車が、モータの回転軸に装着され、またモー
タ機構が、ロータの回転を減速する減速機を備え、各歯
車が、前記減速機の出力軸に装着されてもよく、さらに
前記モータ機構が、回転軸または出力軸により駆動され
る被駆動部を含み、各歯車が前記被駆動部に装着されて
もよい。
は、例えば、被駆動部がモータの回転により所定範囲で
直線的に駆動される直動部材とされ、信号生成手段が、
前記直動部材に前記所定範囲に亘って歯数が互いに1異
なるように設けられた各位置検出用ラックと、この各ラ
ックの歯にそれぞれ対向配置された各磁気ユニットとを
含み、前記各磁気ユニットが、対応するラックの歯に磁
極が対向させて配設された磁石と、前記磁石と前記対応
するラックの歯との間に、同ラックの歯のピッチに対し
て1/4ピッチの間隔を設けて配設された2個の磁気抵
抗素子とを有し、前記各ラックの歯形が、電圧信号とし
て正弦波状の電圧波形が出力されるように形成され、前
記磁気抵抗素子が、前記各ラックが移動することにより
生ずる透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ずれ
た2つの正弦波状の電圧信号を正弦波信号および余弦波
信号として得るように回路構成され、前記演算処理手段
が、各磁気ユニットからの2種類の各正弦波信号および
各余弦波信号を用いて、前記直動部材の運動の周期と同
一周期の正弦波信号および余弦波信号を生成し、この正
弦波信号および余弦波信号に基づいて前記直動部材の概
略の絶対位置を検出するようにされてもよい。
は、例えば、信号生成手段が、直動部材に設けられたラ
ックと、前記直動部材を移動方向に伸張させる伸張手段
と、前記ラックの歯に対向配置された磁気ユニットとを
含み、前記伸張手段が、前記直動部材を前記所定範囲内
の前記ラックの歯数が1または1を超えない所定数減少
するよう前記直動部材を瞬時に伸張するものとされ、前
記磁気ユニットが、磁極がラックの歯に対向させて配設
された磁石と、前記磁石と前記ラックの歯との間に、前
記伸張手段による伸張前と伸張時の各状態における前記
ラックの歯のピッチに対して1/4ピッチの間隔を設け
て配置されるよう設けられる2個の磁気抵抗素子とを有
し、前記ラックの歯形が、電圧信号として正弦波状の電
圧波形が出力されるように形成され、前記磁気抵抗素子
が、前記ラックが移動することにより生ずる透過磁束の
変化に応じて、位相が1/4波長ずれた2つの正弦波状
の電圧信号を正弦波信号および余弦波信号として得るよ
うに回路構成され、演算処理手段が、前記伸張手段によ
る前記直動部材の伸張前と伸張時の各状態で磁気ユニッ
トから生成する2種類の周波数の各正弦波信号および各
余弦波信号を用いて、前記直動部材の運動の周期以上の
所定周期の正弦波信号および余弦波信号を生成し、この
正弦波信号および余弦波信号に基づいて前記直動部材の
絶対位置を概略的に演算するようにされてもよい。この
場合、伸張手段による直動部材の伸び量を検出する伸び
量検出手段を備え、該伸び量検出手段の検出結果に応じ
てラックの歯が減少する所定数を補正するようにされる
のが好ましい。
は、例えば、前記信号生成手段が、前記可動部に装着さ
れた歯車と、この歯車の歯形成部分を周方向に伸張する
伸張手段と、前記歯車の歯に対向配置された磁気ユニッ
トとを含み、前記歯車が、歯形成部分に周方向に対して
斜めに切れ込みを有し、前記伸張手段が、前記歯車の歯
数が1を超えない所定数減少するよう前記歯車の歯形成
部分を周方向に瞬時に伸張するものとされ、前記磁気ユ
ニットが、磁極が前記歯車の歯に対向させて配設された
磁石と、前記磁石と前記歯車の歯との間に、前記伸張手
段による伸張前と伸張後の各状態における前記歯車の歯
の各ピッチに対して1/4ピッチの間隔を設けて配置さ
れるように、前記伸張手段による前記歯車の伸張と連動
するよう設けられる2個の磁気抵抗素子とを有し、前記
磁気抵抗素子が、前記歯車が回転することにより生ずる
透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ずれた2つ
の正弦波状の電圧信号を前記正弦波信号および前記余弦
波信号として得るように回路構成され、前記概略位置演
算手段が、前記伸張手段による前記歯車の伸張前と伸張
後の各状態における磁気ユニットからの2種類の周波数
の各正弦波信号および各余弦波信号を用いて、前記可動
部の運動の周期以上の所定周期の正弦波信号および余弦
波信号を生成し、この正弦波信号および余弦波信号に基
づいて前記可動部の絶対位置を概略的に演算するように
されてもよい。この場合、伸張手段による歯車の伸び量
を検出する伸び量検出手段を備え、該伸び量検出手段の
検出結果に応じて前記歯車の歯が減少する所定数を補正
するようにされるのが好ましい。
類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号に基づい
てモータ機構の可動部の絶対位置を常時精確に検出する
ことができる。
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
方法が適用される位置検出装置の概略構成を示し、この
位置検出装置Aは、モータ機構の可動部の位置に応じた
信号を出力するセンサ部(信号生成手段)10と、この
センサ部10からの信号に所定の演算処理を行うことに
よってモータ機構の可動部の絶対位置を検出する演算処
理部(演算処理手段)20と、演算処理部20により検
出された絶対位置を出力する出力部30とを主要構成要
素として備えてなる。
モータRの回転軸1の後端に軸心を一致させて装着され
た第1および第2の歯車2、3と、各歯車2、3にそれ
ぞれ対向させて配設されている第1および第2の磁気ユ
ニット11、12とを備えてなるものとされる。ここ
で、各歯車2、3の歯形は、後述する磁気抵抗素子ブロ
ック13の各磁気抵抗素子14(図3参照)により得ら
れる電圧波形が近似的に正弦波となるように形成されて
いる。
Mと第2歯車3の歯数Nとが1だけ相違するものとされ
(例えば、M=50,N=51)、第1歯車2の歯数M
は、この実施形態1では、回転軸1回転当たりのモータ
Rの電気的サイクル数の整数分の1とされていればよ
い。例えば、モータRの電気的サイクル数が50であれ
ば、歯数Mが50(50/1)、25(50/2)また
は10(50/5)とされ、歯数Nが51もしくは4
9、26もしくは24または11もしくは9とされてい
ればよい。
に、1つの歯面がピッチ点Pで回転軸1の回転方向に並
ぶよう回転軸1に装着される。
構成を示す。なお、各磁気ユニット11、12は同様構
成であるため、第1磁気ユニット11を主として説明
し、第2磁気ユニット12の各構成要素は符号に()付
して付帯的に説明する。
(3)の歯面に磁極を向けて配設されている永久磁石4
と、この永久磁石4の磁極の前方、つまり永久磁石4と
歯車2(3)との間に並列的に配設されている磁気抵抗
素子ブロック13を構成している2個の磁気抵抗素子
(以下、単に素子という)14、すなわち第1素子14
A(14C)および第2素子14B(14D)とを備え
てなるものとされる。
るように透過する磁束の変化に応じて電気抵抗が変化す
る特性を有する素子とされる。そして、この第1素子1
4A(14C)および第2素子14B(14D)は、互
いに歯車2(3)の1/4ピッチずれた位置に相対する
ように配設され、歯車2(3)が回転することにより生
ずる透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ずれた
2つの正弦波状の電圧信号を得るよう回路構成されてい
る(このような回路構成として、例えば特許第3058
406号公報参照)。
回転を考えたときに、第1素子14A(14C)の出力
信号が正弦波信号となり、第2素子14B(14D)の
出力信号が余弦波信号となるよう回路構成されている。
は2である必要はなく、検出精度を上げるために、例え
ば各素子14A(14C)、14B(14D)の各々に
対し、歯車2(3)の歯の半周期ずらした位置に各磁気
抵抗素子を配置し、それら各磁気抵抗素子が各素子14
A(14C)、14B(14D)の出力信号を倍増する
よう回路構成してもよい。
/D変換器、RAM、ROM、クロック、入出力インタ
フェースなどを備えてなるものとされる。このROMに
は後述するセンサ部10により検出された電圧波形から
回転位置を算出するためのプログラムなどが格納されて
いる。また、RAMにはセンサ部10からの検出値が一
時的に格納される。そして、この演算処理部20とセン
サ部10との信号のやりとりは、入出力インタフェース
によりなされる。
示す。
号に基づいて絶対位置を概略的に演算する概略位置演算
部21と、概略位置演算部21により概略的に演算され
た絶対位置情報により精確な絶対位置を演算する修正絶
対位置演算部22とから構成される。
どの出力装置31とされる。
は、以下に述べるようにして回転軸1の絶対位置を検出
するための概略位置演算処理および修正絶対位置演算処
理を行う。
点Pで回転軸1の回転方向に並ぶポイントをP0とし、
このポイントP0が、第1素子14Aに相対するときの
回転軸1の位置を基準位置(原点)O(図5参照)とし
て設定する。
すると、第1磁気ユニット11の第1素子14Aの出力
信号値V1は下記式(1)で表すことができる。
や各素子14A、14B、14C、14Dの回路構成な
どに応じて決まる係数である。以下、説明の簡単化のた
めにα=1、β=0として説明する。すなわち、
子14Bの出力信号値V2は下記式(3)で表すことが
できる。
4Cおよび第2素子14Dの出力信号値V3およびV4は
それぞれ下記式(4)および式(5)で表すことができ
る。
角関数の公式を適用して、
を適用して回転軸1の絶対位置を検出することができ
る。
14A、14B、14C、14Dの出力信号値V1、
V2、V3、V4から例えば位置検出装置Aの始動直後に
も回転軸1の絶対位置を概略的に演算することができ
る。
2歯車3の歯数Nを6とした場合の、各磁気ユニット1
1,12の第1素子14A,14Cの出力信号V1,V3
と、各素子14A、14B、14C、14Dの出力信号
V1、V2、V3、V4から合成される正弦波信号sinθお
よび余弦波信号cosθとを示す。
絶対位置演算処理を説明する。
れると、それにより、例えば第1磁気ユニット11の第
1素子14Aの出力信号V1を用いて精確な回転軸1の
絶対位置を演算することが可能となる。
た絶対位置をθ1(以下、概略絶対位置という、図5参
照)とし、このときの第1素子14Aの出力信号V1の
信号値をV1Aとすると、下記式(9)の方程式を解くこ
とにより修正絶対位置候補θ A1,θA2,…が取得され
る。
A1,θA2,…の中で、概略絶対位置θ1に一番近いもの
を精確な絶対位置(以下、修正絶対位置という)θAと
して選択する。
同定されると、後は第1磁気ユニット11の第1素子1
4Aの出力信号を用いてインクリメンタル式に回転軸1
の絶対位置を検出することが可能となる。
1回転を1周期の正弦波信号および余弦波信号で見渡し
て絶対位置を概略的に検出することができるとともに、
回転軸1の1回転を細分化して表す正弦波状信号V1に
基づきアブソリュート式エンコーダを用いた場合と同等
以上の精度で絶対位置を検出することが可能となる。
ットのディジタル信号で表し得るだけの精度があれば、
歯数Mを50として1/(50×256)=1/128
00の分解能を備えさせることができる。
てきたが、本発明はかかる実施形態に限定されるもので
はなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態にお
いては回転軸1の絶対位置を検出するものとしたが、回
転軸1の回転を減速する減速機(不図示である)を備え
たモータ機構において、その減速機の出力軸に実施形態
の歯車2,3を装着して、当該出力軸の絶対位置を検出
するよう構成することも可能である。
動部を備えたモータ機構において、その被駆動部に実施
形態の歯車2,3を装着して、当該被駆動部の絶対位置
を検出するよう構成することも可能である。
るものに限られる必要はなく、回転軸ないしは出力軸に
設けられるピニオンにより直線的に駆動される直動部材
とすることも可能である。この場合、直動部材に移動範
囲に亘って歯数が1相違する位置検出用の各ラックを形
成し、各磁気ユニット11,12を実施形態と同様にし
て各ラックの歯面にそれぞれ対向させて設けるととも
に、各ラックの歯形を、電圧信号として正弦波状の波形
が各磁気ユニット11,12から出力されるように形成
する。こうして、各磁気ユニット11,12から出力さ
れる2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号
に対して実施形態と同様の処理を行い、直動部材の移動
範囲内における絶対位置を検出することが可能となる。
ットを1つのみ設けるよう構成することも可能である。
例えば、図6に示すように、直動部材6の移動範囲に亘
って伸縮自在な素材で構成した1つの位置検出用ラック
7を伸縮可能に設けるとともに、この位置検出用ラック
7を移動方向xに引っ張って伸張する、マグネットプラ
ンジャや圧電素子から構成される伸張手段8を設けるよ
うにする。この伸張手段8が位置検出用ラック7を伸張
させる長さは、位置検出用ラック7の歯数が移動範囲内
で1を超えない所定数(1および小数を含む)aだけ瞬
時かつ瞬間的に減少するように設定される。
1,12と同様の構成を有する磁気ユニット11´の各
素子14A´、14B´が、伸張手段8による直動部材
6の伸張前および伸張時の各状態において、ラック7の
歯のピッチに対して1/4ピッチの間隔を設けて配設さ
れるように、例えば各素子14A´、14B´を直動部
材6により支持して設けて、直動部材6の伸張と連動し
て各素子14A´、14B´が移動するように構成す
る。
14A´、14B´からの信号をそれぞれ正弦波信号V
1および余弦波信号V2とし、直動部材6の伸張時の各素
子14A´、14B´からの信号をそれぞれ正弦波信号
V3および余弦波信号V4として実施形態と同様の処理を
実施することにより、直動部材6の絶対位置を検出する
ことが可能となる。すなわち、各信号V1、V2、V3、
V4から直動部材6の運動の1周期T以上の所定周期T
/aの正弦波信号sin(aθ)および余弦波信号cos(a
θ)が生成され、これに基づき概略の絶対位置を演算す
るとともに、この概略の絶対位置情報により例えば信号
V1を用いて精確な絶対位置を検出することが可能とな
る。
置に直動部材6の伸び量を検出する公知のポテンショメ
ータを設けて、その出力信号により前記所定数aを補正
するようにすれば、絶対位置を概略的に把握する際の誤
差を小さくすることも可能となる。
ることも可能である。例えば、歯車2を歯形成部分のみ
が周方向に伸張可能なように形成するとともに、歯形成
部分に伸張方向に対して斜めに切れ込みを入れ、伸張手
段8により歯形成部分が伸張されたときに、歯が1を超
えない所定数a重なり合うように構成する。これによ
り、直動部材6の場合と同様にして絶対位置を検出する
ことが可能となる。
おけるセンサ部10は、前記特許公報にあるように、歯
車またはラックに代えてリング状磁石等を用いて構成す
ることももちろん可能である。
モータ機構の可動部の位置を表す、2種類の周波数の各
正弦波信号および各余弦波信号を用いて可動部の運動の
1周期以上の所定周期を有する正弦波信号および余弦波
信号を生成し、この正弦波信号および余弦波信号に基づ
いて絶対位置を概略的に検出するとともに、該概略的に
把握された絶対位置情報に依り前記2種類の周波数の各
正弦波信号および各余弦波信号の中の少なくとも1つの
信号に基づき精確な絶対位置を検出算するようにしてい
るので、安価な機構により常時精確にモータ機構の可動
部の絶対位置を検出することができるという優れた効果
を奏する。
構成を示すブロック図である。
る。
ある。
Claims (13)
- 【請求項1】 モータ機構の可動部の位置を表す、2種
類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号を発生す
る信号発生手段を設け、 可動部の運動の1周期において前記信号発生手段が発生
する、各正弦波信号および各余弦波信号の波の数が、1
または1を超えない範囲で相違するように前記2種類の
周波数を設定し、 前記2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号
に基づいて、前記可動部の絶対位置を検出することを特
徴とする位置検出方法。 - 【請求項2】 2種類の周波数の各正弦波信号および各
余弦波信号から可動部の運動の1周期以上の所定周期を
有する正弦波信号および余弦波信号を生成し、この正弦
波信号および余弦波信号に基づいて絶対位置を概略的に
検出し、ついで前記2種類の周波数の各正弦波信号およ
び各余弦波信号の中の少なくとも1つを用いて、前記概
略的に検出された絶対位置をより精度よく検出すること
を特徴とする請求項1記載の位置検出方法。 - 【請求項3】 モータ機構の可動部の絶対位置を検出す
る位置検出装置であって、 信号生成手段と、演算処理手段とを備え、 前記信号生成手段が、可動部の運動の1周期における波
の数が1または1を超えない範囲で相違する、2種類の
周波数の各正弦波信号および各余弦波信号を生成し、 前記演算処理手段が、前記2種類の周波数の各正弦波信
号および各余弦波信号に所定の演算処理を行って可動部
の絶対位置を検出することを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項4】 演算処理手段が、信号生成手段により生
成された2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波
信号に基づいて、概略的な絶対位置を検出する概略位置
演算手段と、 前記2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号
の中の少なくとも1つを利用して、前記概略位置演算手
段により検出された絶対位置をより精度よく検出する修
正絶対位置演算手段とを有してなることを特徴とする請
求項3記載の位置検出装置。 - 【請求項5】 信号生成手段が、可動部に装着された歯
数が互いに1異なる各歯車と、この各歯車の歯にそれぞ
れ対向配置された各磁気ユニットとを含み、前記各磁気
ユニットが、対応する歯車の歯に磁極が対向させて配設
された磁石と、前記磁石と前記対応する歯車の歯との間
に、同歯車の歯のピッチに対して1/4ピッチの間隔を
設けて配設された2個の磁気抵抗素子とを有し、 前記各歯車の歯形が、電圧信号として正弦波状の電圧波
形が出力されるように形成され、 前記磁気抵抗素子が、前記各歯車が回転することにより
生ずる透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ずれ
た2つの正弦波状の電圧信号を正弦波信号および余弦波
信号として得るように回路構成され、 前記演算処理手段が、各磁気ユニットからの2種類の周
波数の各正弦波信号および各余弦波信号を用いて、可動
部の運動の周期と同一周期の正弦波信号および余弦波信
号を生成し、この正弦波信号および余弦波信号に基づい
て可動部の絶対位置を検出することを特徴とする請求項
3または4記載の位置検出装置。 - 【請求項6】 各歯車が、モータの回転軸に装着されて
なることを特徴とする請求項5記載の位置検出装置。 - 【請求項7】 モータ機構が、ロータの回転を減速する
減速機を備え、各歯車が、前記減速機の出力軸に装着さ
れてなることを特徴とする請求項5記載の位置検出装
置。 - 【請求項8】 前記モータ機構が、回転軸または出力軸
により駆動される被駆動部を含み、各歯車が前記被駆動
部に装着されてなることを特徴とする請求項5記載の位
置検出装置。 - 【請求項9】 被駆動部がモータの回転により所定範囲
で直線的に駆動される直動部材とされ、 信号生成手段が、前記直動部材に前記所定範囲に亘って
歯数が互いに1異なるように設けられた各位置検出用ラ
ックと、この各ラックの歯にそれぞれ対向配置された各
磁気ユニットとを含み、 前記各磁気ユニットが、対応するラックの歯に磁極が対
向させて配設された磁石と、前記磁石と前記対応するラ
ックの歯との間に、同ラックの歯のピッチに対して1/
4ピッチの間隔を設けて配設された2個の磁気抵抗素子
とを有し、 前記各ラックの歯形が、電圧信号として正弦波状の電圧
波形が出力されるように形成され、 前記磁気抵抗素子が、前記各ラックが移動することによ
り生ずる透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ず
れた2つの正弦波状の電圧信号を正弦波信号および余弦
波信号として得るように回路構成され、 前記演算処理手段が、各磁気ユニットからの2種類の各
正弦波信号および各余弦波信号を用いて、前記直動部材
の運動の周期と同一周期の正弦波信号および余弦波信号
を生成し、この正弦波信号および余弦波信号に基づいて
前記直動部材の概略の絶対位置を検出することを特徴と
する請求項3または4記載の位置検出装置。 - 【請求項10】 信号生成手段が、直動部材に設けられ
たラックと、前記直動部材を移動方向に伸張させる伸張
手段と、前記ラックの歯に対向配置された磁気ユニット
とを含み、 前記伸張手段が、前記直動部材を前記所定範囲内の前記
ラックの歯数が1または1を超えない所定数減少するよ
う前記直動部材を瞬時に伸張するものとされ、 前記磁気ユニットが、磁極がラックの歯に対向させて配
設された磁石と、前記磁石と前記ラックの歯との間に、
前記伸張手段による伸張前と伸張時の各状態における前
記ラックの歯のピッチに対して1/4ピッチの間隔を設
けて配置されるよう設けられる2個の磁気抵抗素子とを
有し、 前記ラックの歯形が、電圧信号として正弦波状の電圧波
形が出力されるように形成され、 前記磁気抵抗素子が、前記ラックが移動することにより
生ずる透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ずれ
た2つの正弦波状の電圧信号を正弦波信号および余弦波
信号として得るように回路構成され、 演算処理手段が、前記伸張手段による前記直動部材の伸
張前と伸張時の各状態で磁気ユニットから生成する2種
類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号を用い
て、前記直動部材の運動の周期以上の所定周期の正弦波
信号および余弦波信号を生成し、この正弦波信号および
余弦波信号に基づいて前記直動部材の絶対位置を概略的
に演算することを特徴とする請求項4記載の位置検出装
置。 - 【請求項11】 前記信号生成手段が、前記可動部に装
着された歯車と、この歯車の歯形成部分を周方向に伸張
する伸張手段と、前記歯車の歯に対向配置された磁気ユ
ニットとを含み、 前記歯車が、歯形成部分に周方向に対して斜めに切れ込
みを有し、 前記伸張手段が、前記歯車の歯数が1を超えない所定数
減少するよう前記歯車の歯形成部分を周方向に瞬時に伸
張するものとされ、 前記磁気ユニットが、磁極が前記歯車の歯に対向させて
配設された磁石と、前記磁石と前記歯車の歯との間に、
前記伸張手段による伸張前と伸張後の各状態における前
記歯車の歯の各ピッチに対して1/4ピッチの間隔を設
けて配置されるように、前記伸張手段による前記歯車の
伸張と連動するよう設けられる2個の磁気抵抗素子とを
有し、 前記磁気抵抗素子が、前記歯車が回転することにより生
ずる透過磁束の変化に応じて、位相が1/4波長ずれた
2つの正弦波状の電圧信号を前記正弦波信号および前記
余弦波信号として得るように回路構成され、 前記概略位置演算手段が、前記伸張手段による前記歯車
の伸張前と伸張後の各状態における磁気ユニットからの
2種類の周波数の各正弦波信号および各余弦波信号を用
いて、前記可動部の運動の周期以上の所定周期の正弦波
信号および余弦波信号を生成し、この正弦波信号および
余弦波信号に基づいて前記可動部の絶対位置を概略的に
演算することを特徴とする請求項3または4記載の位置
検出装置。 - 【請求項12】 伸張手段による直動部材の伸び量を検
出する伸び量検出手段を備え、該伸び量検出手段の検出
結果に応じてラックの歯が減少する所定数を補正するこ
とを特徴とする請求項10記載の位置検出装置。 - 【請求項13】 伸張手段による歯車の伸び量を検出す
る伸び量検出手段を備え、該伸び量検出手段の検出結果
に応じて前記歯車の歯が減少する所定数を補正すること
を特徴とする請求項11記載の位置検出装置。
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