JP2002307857A - Screen printing plate and manufacturing method therefor - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はスクリーン印刷版及
びその製造方法に係り、詳しくは、特には、均一な膜厚
の印刷膜を形成し得る構成とされたスクリーン印刷版
と、このスクリーン印刷版を容易に製造し得る方法とに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing plate and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a screen printing plate having a structure capable of forming a printing film having a uniform film thickness, and the screen printing plate. And a method that can be easily manufactured.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、電子部品の製造時、例えば、
チップ部品の内部電極を形成する場合などにおいては、
導電ペーストのスクリーン印刷によって所望形状の印刷
図形、つまり、内部電極などと対応した形状を有する印
刷パターンを形成するのが一般的となっている。そし
て、この際にあっては、図５及び図６で示すような構成
とされたスクリーン印刷版２１を使用することが行われ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, when manufacturing electronic components, for example,
When forming internal electrodes of chip components, etc.
It is general to form a printed figure having a desired shape, that is, a printed pattern having a shape corresponding to an internal electrode or the like, by screen printing of a conductive paste. In this case, the screen printing plate 21 configured as shown in FIGS. 5 and 6 is used.
【０００３】すなわち、スクリーン印刷版２１は、交差
しあうメッシュ線部２２を介して区分された複数のメッ
シュ開口部２３が縦横方向に沿って形成されたメッシュ
部分２４と、このメッシュ部分２４を取り囲んで配設さ
れた基盤部分２５とを備えている。そして、メッシュ開
口部２３が形成されたメッシュ部分２４の裏面側、つま
り、被印刷体との対面側には印刷図形と対応した形状を
有する凹部２６が設けられており、メッシュ部分２４の
厚みと凹部２６の深さとを合算した厚みは基盤部分２５
の厚みと合致している。[0003] That is, the screen printing plate 21 has a mesh portion 24 in which a plurality of mesh openings 23 divided along the mesh line portions 22 intersecting each other are formed along the vertical and horizontal directions, and surrounds the mesh portion 24. And a base portion 25 arranged in the above manner. A concave portion 26 having a shape corresponding to the printed figure is provided on the back side of the mesh portion 24 in which the mesh opening 23 is formed, that is, on the side facing the printing medium. The sum of the depth of the concave portion 26 and the base portion 25
It matches the thickness of
【０００４】このスクリーン印刷版２１を用いたペース
ト印刷にあっては、図７で示すように、メッシュ部分２
４の裏面側に設けられた凹部２６が被印刷体、例えば、
セラミックグリーンシートなどである被印刷体２７と対
面するようにしてスクリーン印刷版２１を設置すること
が行われる。そして、メッシュ部分２４上に導電ペース
ト２８を載せた後、この導電ペースト２８をスキージ２
９によってメッシュ部分２４へと押し付けるようにしな
がらスキージ２９を移動させる。すると、導電ペースト
２８はメッシュ部分２４のメッシュ開口部２３を通って
凹部２６内へと押し出されることになり、押し出された
導電ペースト２８が付着する結果として被印刷体２７の
表面上には導電ペースト２８からなる所望形状の印刷図
形が形成される。In the paste printing using the screen printing plate 21, as shown in FIG.
The concave portion 26 provided on the back surface side of the substrate 4 is a printing medium,
The screen printing plate 21 is installed so as to face the printing medium 27 such as a ceramic green sheet. Then, after the conductive paste 28 is placed on the mesh portion 24, the conductive paste 28 is
9, the squeegee 29 is moved while being pressed against the mesh portion 24. Then, the conductive paste 28 is extruded into the concave portion 26 through the mesh opening 23 of the mesh portion 24, and as a result of the extruded conductive paste 28 adhering, the conductive paste 28 28, a printed figure having a desired shape is formed.
【０００５】ところで、このようにして形成される印刷
図形に対しては、電気的特性上の必要性から導電ペース
ト２８の塗布厚み、つまり、印刷図形における膜厚の均
一性が要求される。しかしながら、スクリーン印刷版２
１を用いて行われるペースト印刷では、図８で示すよう
に、スキージ２９で導電ペースト２８を押し付けるのに
伴ってメッシュ部分２４が被印刷体２７側へと向かって
へこむことが起こるため、導電ペースト２８の塗布厚み
を均一化できず、形成された印刷図形の膜厚が不均一に
なってしまう。By the way, the printed figure formed in this way is required to have a uniform thickness of the conductive paste 28, that is, the uniformity of the film thickness in the printed figure, from the necessity of electric characteristics. However, screen printing plate 2
8, the mesh portion 24 is dented toward the printing medium 27 as the conductive paste 28 is pressed by the squeegee 29 as shown in FIG. 28 cannot be made uniform, and the thickness of the formed printed figure becomes uneven.
【０００６】そのため、このような不都合が発生するこ
とを防止し得るよう構成されたスクリーン印刷版が、特
開平６−３２８８７３号公報で提案されている。すなわ
ち、図９及び図１０で示すように、このスクリーン印刷
版３１は、メッシュ部分２４におけるメッシュ開口部２
３の各々を区分しているメッシュ線部２２同士が交差し
あう箇所に支柱３２が配置されたものであり、その他の
構成はスクリーン印刷版２１と同じである。なお、スク
リーン印刷版３１の構成を示す図９及び図１０において
は、図５及び図６で示したスクリーン印刷版２１と同一
である部品、部分に同一符号を付しており、ここでの説
明は省略する。[0006] For this reason, a screen printing plate configured to prevent the occurrence of such inconvenience has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-328873. That is, as shown in FIGS. 9 and 10, this screen printing plate 31 is
The strut 32 is arranged at a position where the mesh line portions 22 partitioning each of the three intersect each other, and other configurations are the same as those of the screen printing plate 21. 9 and 10 showing the configuration of the screen printing plate 31, the same components and parts as those of the screen printing plate 21 shown in FIG. 5 and FIG. Is omitted.
【０００７】このスクリーン印刷版３１であれば、メッ
シュ線部２２同士の交差箇所に配置された支柱３２が凹
部２６内に突出しており、これら支柱３２のそれぞれが
被印刷体２７の表面と当接する。そこで、メッシュ部分
２４は支柱３２を介したうえで被印刷体２７によって支
持されることになり、凹部２６の深さは確保される。従
って、スキージ２９でもって導電ペースト２８をメッシ
ュ部分２４へと押し付けたとしても、メッシュ部分２４
がへこんで変形することは起こらず、導電ペースト２８
の塗布厚みが均一化される結果として印刷図形の膜厚も
均一化される。In this screen printing plate 31, the columns 32 arranged at the intersections of the mesh lines 22 project into the recesses 26, and each of the columns 32 comes into contact with the surface of the printing material 27. . Therefore, the mesh portion 24 is supported by the printing medium 27 via the support pillar 32, and the depth of the concave portion 26 is secured. Therefore, even if the conductive paste 28 is pressed against the mesh portion 24 with the squeegee 29, the mesh portion 24
The conductive paste 28 is not dented and deformed.
As a result, the thickness of the printed figure is also made uniform.
【０００８】さらに、これらのスクリーン印刷版２１，
３１は、以下のような手順に従って製造されるのが一般
的である。すなわち、支柱３２の有無に拘わらず、スク
リーン印刷版２１，３１を製造するに際しては、フォト
リソグラフィー技術が利用されることとなり、まず最初
には、図１１（ａ）で示すように、メッシュ開口部２３
の各々と対応した形状を有する第１のレジスト（絶縁
体）パターン４１それぞれを、メッシュ開口部２３の各
々と対応した位置ごとに配置されるようにしたうえで導
電性基台４２の表面上に形成する。Further, these screen printing plates 21,
31 is generally manufactured according to the following procedure. That is, irrespective of the presence or absence of the column 32, the screen printing plates 21 and 31 are manufactured using the photolithography technology. First, as shown in FIG. 23
Each of the first resist (insulator) patterns 41 having a shape corresponding to each of the mesh openings 23 is arranged on each of the positions corresponding to each of the mesh openings 23, and is then formed on the surface of the conductive base 42. Form.
【０００９】つぎに、第１のレジストパターン４１が形
成された導電性基台４２上に第１の金属膜４３を電解め
っきによって形成した後、第１のレジストパターン４１
を除去すると、図１１（ｂ）で示すような構成が得られ
る。なお、この際における第１の金属膜４３に生じてい
るレジストパターン除去後の孔４１ａはメッシュ開口部
２３と対応する一方、これらの孔４１ａを区分している
金属膜部分はメッシュ線部２２と対応していることにな
り、第１の金属膜４３によってはメッシュ部分２４が構
成される。Next, after a first metal film 43 is formed by electroplating on the conductive base 42 on which the first resist pattern 41 has been formed, the first resist pattern 41 is formed.
Is removed, a configuration as shown in FIG. 11B is obtained. At this time, the holes 41 a after the removal of the resist pattern in the first metal film 43 correspond to the mesh openings 23, while the metal film portions separating these holes 41 a correspond to the mesh line portions 22. That is, the mesh portion 24 is formed by the first metal film 43.
【００１０】引き続き、図１１（ｃ）で示すように、印
刷図形と対応した形状を有する第２のレジストパターン
４４を、第１の金属膜４３上に形成する。そして、第２
のレジストパターン４４が形成された第１の金属膜４３
上に第２の金属膜４５を電解めっきによって形成した
後、第２のレジストパターン４４を除去すると、図１１
（ｄ）で示すような構成が得られる。なお、第２の金属
膜４５に生じているレジストパターン除去後の孔４４ａ
は凹部２６と対応することになり、積層された第１及び
第２の金属膜４３，４５によっては基盤部分２５が構成
される。その後、第１の金属膜４３及び第２の金属膜４
５を積層されたままで一括的に導電性基台４２の表面か
ら剥離すると、スクリーン印刷版２１が製造されたこと
になる。Subsequently, as shown in FIG. 11C, a second resist pattern 44 having a shape corresponding to the printed figure is formed on the first metal film 43. And the second
Metal film 43 on which first resist pattern 44 is formed
After a second metal film 45 is formed thereon by electrolytic plating and then the second resist pattern 44 is removed, FIG.
The configuration as shown in (d) is obtained. In addition, the hole 44 a after removing the resist pattern formed in the second metal film 45 is formed.
Corresponds to the concave portion 26, and the base portion 25 is constituted by the stacked first and second metal films 43 and 45. After that, the first metal film 43 and the second metal film 4
5 are collectively peeled off from the surface of the conductive base 42 while being laminated, so that the screen printing plate 21 is manufactured.
【００１１】また、支柱３２を具備してなるスクリーン
印刷版３１の場合には、図示省略しているが、支柱３２
の各々と対応した形状を有する支柱形成用開口部を予め
第２のレジストパターン４４に形成しておいたうえで第
２の金属膜４５を形成することが行われる。そして、こ
のようにした場合においては、支柱形成用開口部それぞ
れの内部を埋めるようにして形成された第２の金属膜４
５がそのまま支柱３２となり、第２のレジストパターン
４４に対して形成される開口部それぞれの位置を適宜に
定めておくことによって支柱３２はメッシュ線部２２同
士の交差箇所に配置される。Further, in the case of the screen printing plate 31 provided with the columns 32, although not shown,
Are formed in the second resist pattern 44 in advance, and the second metal film 45 is formed. Then, in such a case, the second metal film 4 formed so as to fill each of the pillar forming openings is formed.
5 is the support 32 as it is, and the support 32 is arranged at the intersection of the mesh line portions 22 by appropriately determining the position of each opening formed in the second resist pattern 44.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
スクリーン印刷版２１，３１を製造するに際しては、つ
ぎのような不都合が生じることになっていた。すなわ
ち、スクリーン印刷版３１においては、交差箇所に支柱
３２が配置されるメッシュ線部２２の線幅が細ければ、
図１２及び図１３で示すように、支柱３２がメッシュ線
部２２から位置ずれしてメッシュ開口部２３の一部を埋
めてしまったり、支柱３２が細くなり過ぎて形成されな
かったりすることがある。However, in producing these screen printing plates 21 and 31, the following inconveniences have occurred. That is, in the screen printing plate 31, if the line width of the mesh line portion 22 where the columns 32 are arranged at the intersections is small,
As shown in FIGS. 12 and 13, the column 32 may be displaced from the mesh line portion 22 to fill a part of the mesh opening 23 or the column 32 may be too thin to be formed. .
【００１３】また、従来の製造方法では、支柱３２の有
無に拘わらず、スクリーン印刷版２１，３１が備えるメ
ッシュ部分２４を形成するのに際し、個々のメッシュ開
口部２３に対応する第１のレジストパターン４１を導電
性基板４２上に形成しておいた後、電解メッキによって
メッシュ線部２２となる第１の金属膜４３を形成するこ
とが行われる。しかしながら、必要とする印刷図形の個
数が多い場合や、より微細なメッシュ開口部２３が必要
となる場合には、非常に数多くの微細なレジストパター
ン４１を安定的に形成しなければならないため、大変に
煩わしい手間を要してしまう。In the conventional manufacturing method, the first resist pattern corresponding to each mesh opening 23 is formed when forming the mesh portions 24 provided in the screen printing plates 21 and 31 irrespective of the presence or absence of the columns 32. After the 41 is formed on the conductive substrate 42, a first metal film 43 to be the mesh line portion 22 is formed by electrolytic plating. However, when a large number of printed figures are required or when a finer mesh opening 23 is required, a very large number of fine resist patterns 41 must be formed stably, which is very difficult. It takes a lot of trouble.
【００１４】さらに、第１のレジストパターン４１が正
常に形成されていない事態が生じた場合には、メッシュ
開口部２３が存在しなくなってしまうため、導電ペース
ト２８が凹部２６へと押し出されず、所望形状の印刷図
形が形成され得ないことになる。すなわち、従来構成と
されたスクリーン印刷版２１，３１を製造する際におい
ては、メッシュ開口部２３に対応する第１のレジストパ
ターン４１を導電性基板４２上に安定して形成するのが
大変に困難であり、このことがスクリーン印刷版２１，
３１の製造時における歩留まり悪化の原因となってい
る。Further, when the first resist pattern 41 is not formed properly, the mesh openings 23 are not present, so that the conductive paste 28 is not extruded into the recesses 26, so that the desired The printed figure of the shape cannot be formed. That is, when manufacturing the screen printing plates 21 and 31 having the conventional configuration, it is very difficult to stably form the first resist pattern 41 corresponding to the mesh openings 23 on the conductive substrate 42. And this means that the screen printing plate 21,
This is a cause of a decrease in the yield at the time of manufacturing the No. 31.
【００１５】本発明はこれらの不都合に鑑みて創案され
たものであって、ペースト印刷時におけるメッシュ部分
の変形が発生せず、印刷図形の膜厚を均一化することが
可能なスクリーン印刷版と、このようなスクリーン印刷
版を極めて容易に製造し得る製造方法との提供を目的と
している。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of these problems, and a screen printing plate capable of making the thickness of a printed figure uniform without causing deformation of a mesh portion during paste printing. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing such a screen printing plate very easily.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
スクリーン印刷版は、交差しあうメッシュ線部により区
分されたメッシュ開口部が形成されているメッシュ部分
と、このメッシュ部分を取り囲んで配設された基盤部分
とを備えており、メッシュ部分の被印刷体側には凹部が
設けられているものであって、メッシュ部分の厚みと凹
部の深さとを合算した厚みは基盤部分の厚みと合致して
いる一方、互いに交差しあったメッシュ線部の交差箇所
は凹部内に突出しており、かつ、これら交差箇所の厚み
も基盤部分の厚みと合致していることを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a screen printing plate comprising: a mesh portion having a mesh opening defined by intersecting mesh lines; and a mesh portion surrounding the mesh portion. It is provided with a base portion arranged, and a concave portion is provided on the printing medium side of the mesh portion, and the thickness obtained by adding the thickness of the mesh portion and the depth of the concave portion is the thickness of the base portion and On the other hand, the intersections of the mesh line portions that intersect each other protrude into the concave portion, and the thickness of these intersections also matches the thickness of the base portion.
【００１７】このスクリーン印刷版では、メッシュ部分
の厚みと凹部の深さとを合算した厚みと、メッシュ線部
同士が交差しあう箇所の厚みとの双方ともが、基盤部分
の厚みと合致している。そこで、スクリーン印刷版を設
置した場合には、メッシュ線部同士の交差箇所そのもの
が凹部内に突出し、かつ、これら交差箇所の各々が被印
刷体と当接することになる。そのため、メッシュ部分は
メッシュ線部同士の交差箇所でもって支持されているこ
とになり、このメッシュ部分の被印刷体側に設けられた
凹部の深さは確実に確保される。従って、スキージでも
って導電ペーストをメッシュ部分へと押し付けても、メ
ッシュ部分がへこんで変形することは起こり得ず、印刷
図形の膜厚は均一化される。In this screen printing plate, both the thickness obtained by adding the thickness of the mesh portion and the depth of the concave portion and the thickness of the portion where the mesh wire portions cross each other match the thickness of the base portion. . Therefore, when a screen printing plate is installed, the intersections of the mesh line portions themselves project into the concave portions, and each of these intersections comes into contact with the printing medium. Therefore, the mesh portion is supported at the intersection of the mesh line portions, and the depth of the concave portion provided on the printing medium side of the mesh portion is reliably ensured. Therefore, even if the conductive paste is pressed against the mesh portion with a squeegee, the mesh portion cannot be dented and deformed, and the film thickness of the printed figure is made uniform.
【００１８】本発明の請求項２に係るスクリーン印刷版
の製造方法は、複数のメッシュ開口部となるべき部分を
結んで複数の直線形状を有する第１のレジストパターン
を基台上に形成する工程と、第１のレジストパターンが
形成された基台上に第１の金属膜をめっき形成する工程
と、第１のレジストパターンを除去する工程と、第１の
レジストパターンとは交差する複数の直線形状、及び、
これらの直線形状を囲んだ外縁形状を有する第２のレジ
ストパターンを第１の金属膜上に形成する工程と、第２
のレジストパターンが形成された第１の金属膜上に第２
の金属膜をめっき形成する工程と、第２のレジストパタ
ーンを除去する工程と、第１及び第２の金属膜を一括し
て基台上から剥離する工程とを含んでいることを特徴と
する。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a screen printing plate, wherein a first resist pattern having a plurality of linear shapes is formed on a base by connecting a plurality of mesh openings. A step of plating a first metal film on a base on which the first resist pattern is formed; a step of removing the first resist pattern; and a plurality of straight lines intersecting with the first resist pattern. Shape, and
Forming a second resist pattern having an outer edge shape surrounding these linear shapes on the first metal film;
The second resist pattern is formed on the first metal film on which the second resist pattern is formed.
A step of forming a metal film by plating, a step of removing the second resist pattern, and a step of collectively peeling off the first and second metal films from the base. .
【００１９】本発明の請求項３に係るスクリーン印刷版
の製造方法は請求項２に記載した方法であって、基台が
導電性を有しており、金属膜の各々が電解めっきによっ
て形成されることを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a screen printing plate according to the second aspect, wherein the base has conductivity, and each of the metal films is formed by electrolytic plating. It is characterized by that.
【００２０】これらの製造方法を採用している際には、
個々のメッシュ開口部に対応したレジストパターンをわ
ざわざ形成しておく必要がなくなるので、印刷図形の個
数が多い場合や、より微細なメッシュ開口部が必要な場
合であっても、より安定的にメッシュ開口部を形成する
ことが可能となる。また、メッシュ線部同士の交差箇所
に支柱をわざわざ形成する必要もないので、位置ずれし
た支柱がメッシュ開口部の一部を埋めてしまったり、支
柱が細くなり過ぎて形成されなかったりすることは起こ
り得ず、請求項１に記載したスクリーン印刷版を極めて
容易に製造し得るという利点が確保される。When employing these manufacturing methods,
Since it is not necessary to separately form a resist pattern corresponding to each mesh opening, even when the number of printed figures is large or when a finer mesh opening is required, the mesh can be more stably formed. An opening can be formed. In addition, since it is not necessary to form the strut at the intersection of the mesh line portions, it is possible that the misaligned strut fills a part of the mesh opening or the strut becomes too thin and is not formed. The advantage is obtained that the screen printing plate according to claim 1 can be produced very easily.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は本実施の形態に係るスクリ
ーン印刷版をそのスキージ摺動側から見た構成を示す外
観斜視図、図２はスクリーン印刷版をその被印刷体側か
ら見た構成を示す外観斜視図であり、図３（ａ）〜
（ｃ）の各々はスクリーン印刷版の構成を示す断面図で
ある。また、図４は本実施の形態に係るスクリーン印刷
版の製造手順を示す工程断面図であり、これらの図にお
ける符号１はスクリーン印刷版である。なお、図３
（ａ）〜（ｃ）のそれぞれは、図２中に付記している切
断線Ａ，Ｂ，Ｃの各々によって切断された断面構成を示
している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an external perspective view showing the configuration of the screen printing plate according to the present embodiment as viewed from the squeegee sliding side, and FIG. 2 is an external perspective view showing the configuration of the screen printing plate as viewed from the printing medium side. , FIG.
(C) is a sectional view showing the configuration of the screen printing plate. FIG. 4 is a process sectional view showing a procedure for manufacturing a screen printing plate according to the present embodiment, and reference numeral 1 in these drawings denotes a screen printing plate. Note that FIG.
Each of (a) to (c) shows a cross-sectional configuration cut along each of the cutting lines A, B, and C added in FIG.
【００２２】本実施の形態に係るスクリーン印刷版１
は、ニッケルを主成分とする金属材料を用いて作製され
たものであり、十文字状となって互いに交差しあうメッ
シュ線部２を介して区分されたうえで厚み方向に沿って
貫通する複数のメッシュ開口部３が縦横方向に沿って形
成されたメッシュ部分４と、このメッシュ部分４を取り
囲んで配設された基盤部分５とを備えている。そして、
メッシュ開口部３が形成されたメッシュ部分４の裏面
側、つまり、被印刷体との対面側には凹部６が設けられ
ており、この凹部６内には、互いに交差しあったメッシ
ュ線部２同士の交差箇所が突出しているScreen printing plate 1 according to the present embodiment
Are made using a metal material containing nickel as a main component, and are formed through a mesh line portion 2 that crosses each other in a cross shape and penetrates along the thickness direction after being divided. The mesh opening 3 includes a mesh portion 4 formed along the vertical and horizontal directions, and a base portion 5 surrounding the mesh portion 4. And
A concave portion 6 is provided on the back side of the mesh portion 4 in which the mesh opening 3 is formed, that is, on the side facing the printing medium. Intersections of each other are protruding
【００２３】また、この際におけるメッシュ部分４（メ
ッシュ線部２）の厚みＸは例えば３μｍ以上、メッシュ
線部２の幅は例えば５μｍ以上である一方、凹部６の深
さＹは例えば３μｍ以上であり、必然的に基盤部分５の
厚みは例えば６μｍ以上であることになっている。そこ
で、このスクリーン印刷版１においては、メッシュ部分
４の厚みＸと凹部６の深さＹとを合算した厚みが基盤部
分５の厚みと合致しており、かつ、メッシュ線部２同士
が交差しあう箇所の厚みも基盤部分５の厚みと合致して
いる。なお、メッシュ部分４（メッシュ線部２）の厚み
Ｘは３〜５０μｍ程度、メッシュ線部２の幅は５〜１０
０μｍ程度であることが好ましく、凹部６の深さＹは１
〜１００μｍ程度であることが好ましい。At this time, the thickness X of the mesh portion 4 (mesh line portion 2) is, for example, 3 μm or more, and the width of the mesh line portion 2 is, for example, 5 μm or more, while the depth Y of the concave portion 6 is, for example, 3 μm or more. In this case, the thickness of the base portion 5 is necessarily 6 μm or more. Therefore, in this screen printing plate 1, the total thickness of the thickness X of the mesh portion 4 and the depth Y of the concave portion 6 matches the thickness of the base portion 5, and the mesh line portions 2 intersect. The thickness of the corresponding portion also matches the thickness of the base portion 5. The thickness X of the mesh portion 4 (mesh line portion 2) is about 3 to 50 μm, and the width of the mesh line portion 2 is 5 to 10 μm.
Preferably, the depth Y of the recess 6 is 1 μm.
It is preferably about 100 μm.
【００２４】すなわち、本実施の形態に係るスクリーン
印刷版１では、メッシュ部分４の厚みＸと凹部６の深さ
Ｙとを合算した厚み（Ｘ＋Ｙ）と、メッシュ線部２同士
が交差しあう箇所の厚み（Ｘ＋Ｘ）との双方ともが、基
盤部分５の厚みと合致している。そこで、図示省略して
いるが、ペースト印刷に際してスクリーン印刷版１を被
印刷体２７上に設置した場合には、互いに積層されたメ
ッシュ線部２同士の交差箇所そのものが凹部６内に突出
しており、これら交差箇所の各々が被印刷体２７と当接
することになる。そのため、このスクリーン印刷版１が
備えているメッシュ部分４はメッシュ線部２同士の交差
箇所を介したうえで被印刷体２７によって支持されてお
り、このメッシュ部分４の被印刷体２７側に設けられた
凹部６の深さＹは確実に確保される。That is, in the screen printing plate 1 according to the present embodiment, a thickness (X + Y) obtained by adding the thickness X of the mesh portion 4 and the depth Y of the concave portion 6 and a portion where the mesh line portions 2 intersect each other. And the thickness (X + X) match the thickness of the base portion 5. Therefore, although not shown, when the screen printing plate 1 is placed on the printing material 27 during paste printing, the intersection itself between the mesh line portions 2 stacked on each other protrudes into the recess 6. Each of these intersections comes into contact with the printing medium 27. Therefore, the mesh portion 4 included in the screen printing plate 1 is supported by the printing medium 27 via the intersection of the mesh line portions 2 and provided on the printing medium 27 side of the mesh portion 4. The provided depth Y of the concave portion 6 is reliably ensured.
【００２５】従って、従来と同様、メッシュ部分２４上
に導電ペースト２８を載せたうえ、この導電ペースト２
８をスキージ２９によってメッシュ部分２４へと押し付
けるようにしながらスキージ２９を移動させても、スク
リーン印刷版１の備えているメッシュ部分４がへこんで
変形することは起こり得ない。そして、導電ペースト２
８はメッシュ部分４のメッシュ開口部３を通ったうえで
凹部６内へと押し出されることになり、押し出された導
電ペースト２８が付着する結果として被印刷体２７の表
面上には、膜厚の均一化された所望形状の印刷図形が形
成される。Therefore, the conductive paste 28 is placed on the mesh portion 24 and the conductive paste
Even if the squeegee 29 is moved while the squeegee 29 is pressed against the mesh portion 24 by the squeegee 29, the mesh portion 4 of the screen printing plate 1 cannot be dented and deformed. And conductive paste 2
8 is extruded into the concave portion 6 after passing through the mesh opening 3 of the mesh portion 4, and as a result of the extruded conductive paste 28 being adhered, the film thickness of A print figure having a desired uniform shape is formed.
【００２６】つぎに、本実施の形態に係るスクリーン印
刷版１を製造する方法を、図４に基づいて説明する。す
なわち、スクリーン印刷版１の製造に際してはフォトリ
ソグラフィー技術が利用されることとなり、まず、図４
（ａ）で示すように、一方向に沿った複数のメッシュ開
口部３となる直線形状を有する第１のレジストパター
ン、つまり、スクリーン印刷版１における一方向のメッ
シュ開口部３となるべき部分同士を結ぶような直線形状
とされた第１のレジストパターン１１の複数本を導電性
基台４２の表面上に並列形成する。なお、これらのレジ
ストパターン１１が有する幅は、メッシュ開口部３それ
ぞれの幅と合致させられている。Next, a method for manufacturing the screen printing plate 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. That is, when manufacturing the screen printing plate 1, a photolithography technique is used.
As shown in (a), a first resist pattern having a linear shape that becomes a plurality of mesh openings 3 along one direction, that is, portions to be mesh openings 3 in one direction in the screen printing plate 1. Are formed in parallel on the surface of the conductive base 42. The width of these resist patterns 11 is matched with the width of each of the mesh openings 3.
【００２７】引き続いては、スルファミン酸ニッケル浴
を使用したエレクトロフォーミング（電鋳法）により、
第１のレジストパターン１１が形成された導電性基台４
２上に第１の金属膜１２を電界めっきでもって形成した
後、第１のレジストパターン１１を除去する。すると、
図４（ｂ）で示すように、第１層目である第１の金属膜
１２には、メッシュ開口部分３となるレジストパターン
除去後の孔１１ａが形成されていることになり、これら
の孔１１ａ同士を区分している金属膜部分のそれぞれは
第１層目のメッシュ線部２となる。なお、この金属膜１
２によっては、メッシュ部分４が構成される。Subsequently, by electroforming (electroforming) using a nickel sulfamate bath,
Conductive base 4 on which first resist pattern 11 is formed
After the first metal film 12 is formed on the substrate 2 by electroplating, the first resist pattern 11 is removed. Then
As shown in FIG. 4B, the holes 11a after the removal of the resist pattern to be the mesh openings 3 are formed in the first metal film 12, which is the first layer, and these holes are formed. Each of the metal film portions that separate the 11a from each other becomes the mesh line portion 2 of the first layer. The metal film 1
Depending on 2, a mesh portion 4 is formed.
【００２８】その後、図４（ｃ）で示すように、第１の
レジストパターン１１とは十文字状に交差する一方向に
沿って複数のメッシュ開口部３を結ぶ複数の直線形状を
有するとともに、これらの直線形状を囲んだ外縁形状、
つまり、所望の印刷パターンと対応した外縁形状を有す
る第２のレジストパターン１３を第１の金属膜１２上に
形成する。さらに、上記したエレクトロフォーミングを
採用することにより、第２のレジストパターン１３が形
成された第１の金属膜１２上に第２層目である第２の金
属膜１４を電界めっきで形成する。引き続き、第２のレ
ジストパターン１３を除去すると、図４（ｄ）で示すよ
うな構成が得られる。Thereafter, as shown in FIG. 4 (c), the first resist pattern 11 has a plurality of linear shapes connecting a plurality of mesh openings 3 along one direction intersecting in a cross shape. Outer edge shape surrounding the linear shape of
That is, a second resist pattern 13 having an outer edge shape corresponding to a desired print pattern is formed on the first metal film 12. Further, by employing the above-described electroforming, a second metal film 14, which is a second layer, is formed on the first metal film 12 on which the second resist pattern 13 is formed by electroplating. Subsequently, when the second resist pattern 13 is removed, a configuration as shown in FIG. 4D is obtained.
【００２９】なお、この際、第２の金属膜１４に生じた
レジストパターン除去後の孔１３ａは凹部６となり、か
つ、第１の金属膜１２上に積層して形成された第２の金
属膜１４は第２層目のメッシュ線部２及び基盤部分５を
構成している。そこで、第１の金属膜１２及び第２の金
属膜１４を積層されあったままで導電性基台４２の表面
から一括的に剥離すると、スクリーン印刷版１が製造さ
れる。ところで、本実施の形態では、スクリーン印刷版
１を用いることによって被印刷体２７上に導電ペースト
２７を塗布するとしているが、導電ペースト２７に限定
されることはなく、抵抗性ペーストなどのような他のペ
ーストを塗布する際にスクリーン印刷版１を使用しても
よいことは勿論である。At this time, the holes 13 a formed in the second metal film 14 after the removal of the resist pattern become the concave portions 6 and the second metal film formed by laminating on the first metal film 12. Reference numeral 14 denotes the second-layer mesh wire portion 2 and the base portion 5. Then, when the first metal film 12 and the second metal film 14 are collectively peeled off from the surface of the conductive base 42 while being laminated, the screen printing plate 1 is manufactured. By the way, in the present embodiment, the conductive paste 27 is applied on the printing medium 27 by using the screen printing plate 1. However, the present invention is not limited to the conductive paste 27, and is not limited to the conductive paste 27. It goes without saying that the screen printing plate 1 may be used when applying another paste.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るスク
リーン印刷版であれば、メッシュ部分の厚みと凹部の深
さとを合算した厚みと、メッシュ線部の交差箇所の厚み
との双方共が、基盤部分の厚みと合致している。そこ
で、メッシュ部分はメッシュ線部同士の交差箇所で支持
されていることになり、ペースト印刷時におけるメッシ
ュ部分に対してスキージでもって導電ペーストを押し付
けたとしてても、メッシュ部分がへこんで変形すること
は起こり得ず、膜厚が均一化された印刷図形を確実に形
成することが可能となる。従って、チップ部品の内部電
極などのように、膜厚の均一性が電気的特性に大きな影
響を及ぼすものであっても、極めて容易に製造できると
いう効果が得られる。As described above, in the screen printing plate according to the present invention, both the thickness obtained by adding the thickness of the mesh portion and the depth of the concave portion and the thickness of the intersection portion of the mesh wire portion are different. , Matching the thickness of the base. Therefore, the mesh part is supported at the intersection of the mesh line parts, and even if the conductive paste is pressed with a squeegee against the mesh part during paste printing, the mesh part will be dented and deformed Can not occur, and a printed figure having a uniform film thickness can be reliably formed. Therefore, even if the uniformity of the film thickness has a great effect on the electrical characteristics, such as the internal electrodes of the chip component, the effect of extremely easy production can be obtained.
【００３１】本発明に係るスクリーン印刷版の製造方法
を採用している場合には、メッシュ開口部の各々に対応
したレジストパターンを形成する必要がなくなるので、
メッシュ開口部の形成不良が著しく減少することにな
り、より安定的にメッシュ開口部及びメッシュ部分を形
成することが可能となる。また、メッシュ線部の交差箇
所に支柱を形成することを行わないので、支柱の形成に
伴う不都合が生じることもなくなり、スクリーン印刷版
の製造時における歩留まりが大きく改善されるという効
果が得られる。When the method for manufacturing a screen printing plate according to the present invention is employed, it is not necessary to form a resist pattern corresponding to each of the mesh openings.
The formation failure of the mesh opening is significantly reduced, and the mesh opening and the mesh portion can be formed more stably. In addition, since the columns are not formed at the intersections of the mesh line portions, there is no inconvenience associated with the formation of the columns, and the yield of manufacturing the screen printing plate is greatly improved.
【図１】本実施の形態に係るスクリーン印刷版をそのス
キージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view showing a configuration of a screen printing plate according to the present embodiment as viewed from a squeegee sliding side thereof.
【図２】本実施の形態に係るスクリーン印刷版をその被
印刷体側から見た構成を示す外観斜視図である。FIG. 2 is an external perspective view showing a configuration of the screen printing plate according to the present embodiment as viewed from a printing medium side.
【図３】本実施の形態に係るスクリーン印刷版の構成を
示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a screen printing plate according to the present embodiment.
【図４】本実施の形態に係るスクリーン印刷版の製造手
順を示す工程断面図である。FIG. 4 is a process cross-sectional view showing a procedure for manufacturing the screen printing plate according to the present embodiment.
【図５】従来の形態に係るスクリーン印刷版をそのスキ
ージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図である。FIG. 5 is an external perspective view showing a configuration of a conventional screen printing plate viewed from a squeegee sliding side.
【図６】従来の形態に係るスクリーン印刷版の構成を示
す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a screen printing plate according to a conventional mode.
【図７】従来の形態に係るスクリーン印刷版を使用した
ペースト印刷時の状態を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a state at the time of paste printing using a screen printing plate according to a conventional mode.
【図８】従来の形態に係るスクリーン印刷版を使用した
ペースト印刷時の問題点を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a problem at the time of paste printing using a screen printing plate according to a conventional mode.
【図９】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例を
そのスキージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図であ
る。FIG. 9 is an external perspective view showing a configuration of a modified example of the screen printing plate according to the conventional mode when viewed from the squeegee sliding side.
【図１０】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例
の構成を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a modification of the screen printing plate according to the conventional mode.
【図１１】従来の形態に係るスクリーン印刷版の製造手
順を示す工程断面図である。FIG. 11 is a process sectional view showing a procedure for manufacturing a screen printing plate according to a conventional mode.
【図１２】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例
を製造する際の問題点を示す外観斜視図である。FIG. 12 is an external perspective view showing a problem when manufacturing a modification of the screen printing plate according to the conventional embodiment.
【図１３】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例
を製造する際の問題点を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing a problem when manufacturing a modification of the screen printing plate according to the conventional mode.
【符号の説明】 １ スクリーン印刷版 ２ メッシュ線部 ３ メッシュ開口部 ４ メッシュ部分 ５ 基盤部分 ６ 凹部 １１ 第１のレジストパターン １２ 第１の金属膜 １３ 第２のレジストパターン １４ 第２の金属膜 ２７ 被印刷体 ４２ 導電性基台（基台） Ｘ メッシュ部分（メッシュ線部）の厚み Ｙ 凹部の深さDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printing plate 2 Mesh line part 3 Mesh opening part 4 Mesh part 5 Base part 6 Depression 11 First resist pattern 12 First metal film 13 Second resist pattern 14 Second metal film 27 Printed object 42 Conductive base (base) X Thickness of mesh portion (mesh line portion) Y Depth of concave portion
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FD01 FF22 FF26 2H084 AA40 BB08 CC10 2H097 LA05 2H114 AB13 AB15 AB17 DA04 EA01 EA02 EA04 GA11 5E343 DD03 FF02 FF13 GG06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2C035 AA06 FD01 FF22 FF26 2H084 AA40 BB08 CC10 2H097 LA05 2H114 AB13 AB15 AB17 DA04 EA01 EA02 EA04 GA11 5E343 DD03 FF02 FF13 GG06
Claims (3)
れたメッシュ開口部が形成されているメッシュ部分と、
このメッシュ部分を取り囲んで配設された基盤部分とを
備えており、メッシュ部分の被印刷体側には凹部が設け
られているスクリーン印刷版であって、 メッシュ部分の厚みと凹部の深さとを合算した厚みは基
盤部分の厚みと合致している一方、互いに交差しあった
メッシュ線部の交差箇所は凹部内に突出しており、か
つ、これら交差箇所の厚みも基盤部分の厚みと合致して
いることを特徴とするスクリーン印刷版。1. A mesh part having a mesh opening defined by intersecting mesh lines,
A screen printing plate provided with a base portion surrounding the mesh portion, and a concave portion provided on the printing medium side of the mesh portion, wherein the thickness of the mesh portion and the depth of the concave portion are added. While the thickness of the mesh line portion matches the thickness of the base portion, the intersections of the mesh line portions that intersect each other protrude into the recesses, and the thicknesses of these intersection portions also match the thickness of the base portion. A screen printing plate, characterized in that:
結んで複数の直線形状を有する第１のレジストパターン
を基台上に形成する工程と、第１のレジストパターンが
形成された基台上に第１の金属膜をめっき形成する工程
と、第１のレジストパターンを除去する工程と、第１の
レジストパターンとは交差する複数の直線形状、及び、
これらの直線形状を囲んだ外縁形状を有する第２のレジ
ストパターンを第１の金属膜上に形成する工程と、第２
のレジストパターンが形成された第１の金属膜上に第２
の金属膜をめっき形成する工程と、第２のレジストパタ
ーンを除去する工程と、第１及び第２の金属膜を一括し
て基台上から剥離する工程とを含んでいることを特徴と
するスクリーン印刷版の製造方法。2. A step of forming a first resist pattern having a plurality of linear shapes on a base by connecting portions to be a plurality of mesh openings, and forming the first resist pattern on the base on which the first resist pattern is formed. Forming a first metal film by plating, removing the first resist pattern, a plurality of linear shapes intersecting the first resist pattern, and
Forming a second resist pattern having an outer edge shape surrounding these linear shapes on the first metal film;
The second resist pattern is formed on the first metal film on which the second resist pattern is formed.
A step of forming a metal film by plating, a step of removing the second resist pattern, and a step of collectively peeling off the first and second metal films from the base. Screen printing plate manufacturing method.
膜の各々は電解めっきによって形成されていることを特
徴とする請求項２に記載したスクリーン印刷版の製造方
法。3. The method of manufacturing a screen printing plate according to claim 2, wherein the base has conductivity, and each of the metal films is formed by electrolytic plating.
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