JP2002302245A - チェーン搬送式処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 チェーン搬送式基板乾燥装置のクリーン度を
向上させる。 【解決手段】 ウィケット式コンベア１２によって搬送
されるプリント配線基板１６のレジスト被膜を乾燥炉１
４内で熱風によって乾燥或いは焼付けする場合に、ウィ
ケット式コンベア１２の一対のチェーン２８を乾燥炉１
４の外側に配設し、ウィケット３０の連結アーム４６の
端部を乾燥炉１４に設けられたスリット７０、７２から
外側へ延び出させてチェーン２８に連結したため、チェ
ーン２８がガイドレール３２、３４上を走行する際に発
生する細かな金属粉や油滴などの塵埃によって乾燥炉１
４内のクリーン度が損なわれることが防止される。ま
た、乾燥炉１４内を上部から下方へ流通させられてプリ
ント配線基板１６のレジスト被膜を乾燥したり焼き付け
たりする熱風の循環経路にヘパフィルター７６が設けら
れているため、乾燥炉１４内のクリーン度が更に向上す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はチェーン搬送式処理
装置に係り、特に、高いクリーン度が得られるチェーン
搬送式処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】(a) 複数のスプロケットに巻き掛けられ
て所定の搬送経路を回転駆動されるチェーンと、(b) そ
のチェーンに取り付けられてそれぞれワークを保持し、
そのチェーンの回転に伴ってそのワークを前記搬送経路
に沿って搬送する多数のワーク保持具と、(c) 前記搬送
経路の少なくとも一部を覆蓋してそのワークに所定の処
理を行う処理室と、を有するチェーン搬送式処理装置が
知られている。特許第３０３０４３９号公報に記載の乾
燥装置はその一例で、ワーク保持具としてウィケットが
チェーンに取り付けられたウィケット式コンベアによ
り、ワークである板状のボードを保持して乾燥室内を搬
送するとともに、乾燥室内に導入される熱風によりその
ボードを乾燥させるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなチェーン搬送式処理装置は、チェーンがガイドレー
ル上を走行したりスプロケットと噛み合ったりする際
に、細かな金属粉や油滴などの塵埃が発生することが避
けられず、高いクリーン度が要求される場合には使用で
きないという問題があった。例えば、プリント配線基板
の絶縁層をラミネート方式で形成したり、ダイコーター
により塗布したりする場合、乾燥室内についても例えば
クリーン度クラス１００程度の高いクリーン度が要求さ
れることがあるが、従来のチェーン搬送式処理装置はク
リーン度クラスが１００００程度であるため、使用不可
であった。なお、「クリーン度」は、１回２．８３ｌｉ
ｔ／ｍｉｎの吸引量で系の雰囲気を吸引した時に、その
中に含まれている粒子径が０．３μｍ以上の粒子数であ
る。

【０００４】本発明は以上の事情を背景として為された
もので、その目的とするところは、チェーン搬送式処理
装置のクリーン度を向上させることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、第１発明は、(a) 所定の搬送経路を移動させられ
るチェーンと、(b) そのチェーンに取り付けられてそれ
ぞれワークを保持し、そのチェーンの移動に伴ってその
ワークを前記搬送経路に沿って搬送する多数のワーク保
持具と、(c) 前記搬送経路の少なくとも一部を覆蓋して
そのワークに所定の処理を行う処理室と、を有するチェ
ーン搬送式処理装置において、(d) 前記ワーク保持具
は、前記ワークを保持する本体部と、その本体部から延
び出して前記チェーンに連結される連結部とを備えてい
る一方、(e) 前記チェーンは前記処理室の外側に配設さ
れ、その処理室の内部で前記ワークを保持している前記
ワーク保持具の前記連結部は、その処理室から外側に延
び出してそのチェーンに連結されているとともに、その
処理室には、その連結部がそのチェーンと共に移動する
ことを許容するように前記搬送経路に沿ってスリットが
設けられていることを特徴とする。

【０００６】第２発明は、第１発明のチェーン搬送式処
理装置において、(a) 前記チェーンは、複数のスプロケ
ットに巻き掛けられて略長円形状の搬送経路を一方向へ
回転させられる無端環状のもので、(b) 前記ワーク保持
具は、前記長円形状の長手方向の一端の投入部で前記ワ
ークを受け取り、他端の取出し部まで搬送される過程で
前記処理室内を通過するようになっており、(c) 前記処
理室には、前記長円形状の２辺に沿ってそれぞれ前記ス
リットが設けられ、前記ワーク保持具が前記取出し部か
ら前記投入部まで戻される過程でもその処理室内を通過
するようになっていることを特徴とする。

【０００７】第３発明は、第２発明のチェーン搬送式処
理装置において、(a) 前記スプロケットは、略水平な方
向へ離間して互いに平行で略水平な軸心まわりの回転可
能に一対配設されているとともに、前記処理室を挟んで
反対側にも同心に設けられ、それぞれ前記チェーンが巻
き掛けられている一方、(b) 前記ワーク保持具は、その
一対のチェーンに連結されるように前記連結部を一対備
えており、(c) 前記長円形状の一対の直線部のうち上側
の搬送経路で前記ワークを搬送することを特徴とする。

【０００８】第４発明は、第１発明〜第３発明の何れか
のチェーン搬送式処理装置において、(a) 前記ワークを
持ち上げて前記ワーク保持具に受け渡すための機構の総
ての可動部がそのワークの搬送平面より下方に配置され
た投入装置と、(b) 前記ワーク保持具から前記ワークを
受け取って取り出すための機構の総ての可動部がそのワ
ークの搬送平面より下方に配置された取出し装置と、を
有することを特徴とする。

【０００９】第５発明は、第１発明〜第４発明の何れか
のチェーン搬送式処理装置において、(a) 前記ワーク保
持具は、クリップにより前記ワークを把持して保持する
もので、(b) そのクリップにより前記ワークを保持する
のに先立って、そのクリップを開いて圧縮空気を吹き付
けることにより異物を除去するとともに、その空気を異
物と共に吸引する清浄装置が設けられていることを特徴
とする。

【００１０】第６発明は、第１発明〜第５発明の何れか
のチェーン搬送式処理装置において、(a) 前記ワーク
は、表面に被膜が設けられたプリント配線基板で、(b)
前記処理室は、高温ガスを流通させて前記被膜を乾燥或
いは焼付けするための乾燥炉であることを特徴とする。

【００１１】第７発明は、第６発明のチェーン搬送式処
理装置において、前記高温ガスは循環ファンによって前
記乾燥炉を含む循環経路を循環させられるようになって
いるとともに、その循環経路にはヘパフィルターが設け
られていることを特徴とする。なお、上記ヘパフィルタ
ーは、ＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particul
ate Air Filter) のことで、基本性能として、粒径０．
３μｍの粒子に対して９９．９７％以上の集塵効率が得
られるものである。

【００１２】

【発明の効果】このようなチェーン搬送式処理装置にお
いては、チェーンが処理室の外側に配設されているた
め、チェーンがガイドレール上を走行したりスプロケッ
トと噛み合ったりする際に発生する細かな金属粉や油滴
などの塵埃によって処理室内のクリーン度が損なわれる
ことが防止され、例えばクリーン度クラス１００程度の
高いクリーン度を達成することができる。

【００１３】第２発明は、無端環状のチェーンが略長円
形状の搬送経路を一方向へ回転させられ、その長円形状
の長手方向の一端の投入部でワークを受け取るととも
に、他端の取出し部まで搬送される過程で処理室内を通
過させられる場合に、ワーク保持具が取出し部から投入
部まで戻される過程でも処理室内を通過させられるよう
になっているため、その戻り過程でワーク保持具に塵埃
が付着して次に搬送するワークや処理室内のクリーン度
を損なう恐れがない。

【００１４】第３発明では、処理室を含む装置が略水平
に配設されるとともに、その処理室の両側部に配設され
た一対のチェーンによってワーク保持具が支持され、処
理室内を搬送されるようになっているため、そのワーク
保持具、更にはワークの姿勢が安定する。また、長円形
状の一対の直線部のうち上側の搬送経路でワークを搬送
するようになっているため、下側の直線部を戻されるワ
ーク保持具の戻し過程で塵埃等が落下しても、上部を搬
送されるワークに付着する恐れがない。

【００１５】第４発明では、ワークを持ち上げてワーク
保持具に受け渡すための投入装置、およびワーク保持具
からワークを受け取って取り出すための取出し装置、の
各々の機構の総ての可動部がそれぞれワークの搬送平面
より下方に配置されているため、それ等の投入装置、取
出し装置の可動部で発生する塵埃がワークに付着するこ
とが防止される。

【００１６】第５発明は、ワーク保持具がクリップによ
ってワークを把持して保持する場合で、ワークの姿勢が
安定するとともに、厚さが例えば０．１ｍｍ程度以下の
薄板なども略垂直に保持した状態で良好に搬送できる。
また、このようにワークを把持して搬送すると、ワーク
搬送時におけるワークの熱膨張や位置ずれなどでワーク
が擦れるなどして発生した擦り屑がクリップに付着する
可能性があるが、クリップを開いて圧縮空気を吹き付け
ることにより異物を除去するとともに、その空気を異物
と共に吸引する清浄装置が設けられているため、クリッ
プが高いクリーン度に維持され、クリップに付着した擦
り屑などによって処理室やワークのクリーン度が損なわ
れることがない。

【００１７】第６発明は、表面に被膜が設けられたプリ
ント配線基板を乾燥炉内で高温ガスにより乾燥或いは焼
付けする場合で、乾燥炉内が高いクリーン度に保たれる
ことから、高品質のプリント配線基板が得られる。

【００１８】第７発明では、上記高温ガスの循環経路に
ヘパフィルターが設けられているため、乾燥炉内のクリ
ーン度が更に向上し、プリント配線基板の品質が更に高
くなる。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明のチェーン搬送式処理装置
は、ラミネート方式やダイコーターなどで表面に絶縁被
膜等の被膜が設けられたプリント配線基板を乾燥したり
焼き付けたりする乾燥装置など、高いクリーン度が要求
される場合に好適に適用されるが、プリント配線基板以
外の基板や板材、その他のワークを搬送したり、乾燥や
焼付け以外の熱処理、或いはその他の処理を行う場合に
も適用され得る。

【００２０】ワーク保持具としては、チェーンから起立
するように設けられるウィケットが適当であるが、ベル
トコンベアのようにワークを載置して搬送するものなど
種々の態様が可能である。また、クリップによりワーク
を把持して保持することが望ましいが、フック等にワー
クを引っ掛けて保持するものや、コの字形状の受け部等
にワークを載置して保持するものなど、種々の保持形態
が可能である。

【００２１】乾燥炉などの処理室は、内部をワーク保持
具が通過できるように両端部が開口させられた筒形状の
ものが好適に用いられ、例えばスリットを介して分割さ
れた複数の部材にて構成されるが、チェーンが往復移動
させられる場合は、開口が１つで一体に構成することも
できるなど、ワークの搬送形態などに応じて種々の態様
が可能である。

【００２２】第２発明では、無端環状のチェーンが略長
円形状の搬送経路を一方向へ回転させられるようになっ
ているが、長円形状の長手方向の端部すなわち処理室か
ら出た部分の投入部や取出し部では、例えば搬送経路が
Ｌ字形状のように曲がっていても差し支えない。一方向
への回転は、連続回転でも間欠回転でも差し支えなく、
ワークの着脱形態などに応じて適宜定められる。

【００２３】第３発明では、例えばチェーンに対して略
垂直に外側へ起立するようにウィケットが所定の間隔で
多数設けられ、処理室内ではワークとしてのプリント配
線基板が略垂直になる姿勢で保持するとともに、その板
厚方向へ搬送するように構成される一方、処理室の上部
から下方へ向かって熱風等の高温ガスを流通させること
により、そのプリント配線基板を乾燥或いは焼付けする
ように構成される。他の発明の実施に際しては、略垂直
な軸心まわりにスプロケットを回転させて略水平な平面
内でチェーン、更にはワークを移動させたり、上下方向
に長い長円形状の搬送経路を設定したりするなど、種々
の態様が可能である。

【００２４】第４発明の投入装置や取出し装置の機構
は、例えばワークを持ち上げたり、搬入、搬出したり、
位置決め（センタリングなど）したりするためのもの
で、可動部としては、シリンダやスライド部材等の摺動
部、回転ローラ、モータ等の回転体の軸受部などがあ
り、それ等の可動部では摺動などで細かな金属粉や油滴
などの塵埃が発生することが避けられない。

【００２５】第５発明のクリップは、捩りコイルスプリ
ングなどの付勢手段によってワークを把持するように構
成され、単一または複数のクリップによりワークを吊り
下げて保持するものでも良いが、矩形のワークの平行な
２辺を把持したり、０．２ｍｍ以下の薄肉で変形し易い
ワークに対しては、例えばワークの４隅の近傍部分を把
持してワークを平面的に保持するなど、種々の態様が可
能である。

【００２６】ワークの投入部や取出し部、或いは清浄装
置による清浄部には、上記付勢手段の付勢力に抗してク
リップを開放する開放装置を設けることが望ましい。開
放装置には、クリップを開放する開放部材の他に、クリ
ップが取り付けられたウィケットなどを位置決めする位
置決め部材を設け、開放時にウィケット等が変形して位
置ずれすることを防止することが望ましい。

【００２７】清浄装置は、例えばワーク保持具にワーク
を保持させる投入部や、その投入部の直前位置に配設さ
れるが、ワーク保持具がワークを保持していない範囲で
あれば、何処に設けても差し支えない。

【００２８】第６発明のプリント配線基板は、例えばガ
ラス・エポキシ樹脂などの樹脂材料で構成された厚さが
０．２ｍｍ以下、更には０．１ｍｍ以下の基材に、銅箔
などでプリント配線を施した後、レジスト（絶縁剤）等
の被膜を塗布したり貼り付けたりしたもので、周縁部に
はプリント配線や被膜が存在しない余白部分が残され、
その余白部分をクリップによって把持するように構成さ
れる。

【００２９】そして、上記プリント配線基板を略垂直に
保持した状態で水平方向成分を有する搬送方向へ移動さ
せるとともに、高温ガスを乾燥炉の上部から下方へ向か
って流通させることが望ましいが、高温ガスを水平方向
へ流通させるようにしても良いなど、種々の態様が可能
である。第６発明、第７発明では熱風等の高温ガスを用
いて乾燥、焼付けを行うようになっているが、他の発明
の実施に際しては、赤外線照射など他の加熱手段を用い
ることもできるし、乾燥、焼付け以外の熱処理装置に適
用することも可能である。

【００３０】第７発明は、プリント配線基板の被膜を高
温ガスにより乾燥或いは焼付けするためのものである
が、その他の処理装置においても、処理室内を含んで定
められた所定の循環経路に従って循環ファンにより空気
を循環させるとともに、その循環経路にヘパフィルター
を設けて、処理室内のクリーン度を更に向上させること
ができる。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳
細に説明する。図１は、本発明が適用されたチェーン搬
送式基板乾燥装置１０を示す一部を省略した概略正面図
で、図２は図１におけるII−II断面図であり、ウィケッ
ト式コンベア１２および乾燥炉１４を主体として構成さ
れている。乾燥炉１４は、断熱材にて構成されていると
ともに、水平方向（図１の左右方向）に長い筒形状を成
していて両端が開口しており、ワークとしてのプリント
配線基板１６がウィケット式コンベア１２により長手方
向の一端（図１における右端）の投入部１８から挿入さ
れ、他端（図１における左端）の取出し部２０で取り出
されるようになっている。チェーン搬送式基板乾燥装置
１０はチェーン搬送式処理装置に相当し、乾燥炉１４は
処理室に相当する。なお、乾燥炉１４は、両端の開口部
分を除いてカバー部材２２で覆われているが、図１で
は、そのカバー部材２２が省略されている。

【００３２】ウィケット式コンベア１２は、乾燥炉１４
の両端部、すなわち投入部１８、および取出し部２０に
おいて、それぞれ略水平で且つ乾燥炉１４の長手方向と
直角な軸心まわりの回転可能に配設された一対のスプロ
ケット２４、２６と、それ等のスプロケット２４、２６
に巻き掛けられて略水平方向に長い長円形状の搬送経路
を一方向、すなわち図１において左まわりに回転させら
れる無端環状のチェーン２８と、そのチェーン２８に所
定の間隔で略垂直に外側へ起立するように取り付けられ
た多数のウィケット３０とを備えて構成されており、一
対の略水平な直線状の搬送経路のうち上側の搬送経路で
プリント配線基板１６を搬送する。スプロケット２４、
２６は、平面視において乾燥炉１４を挟んで反対側にも
同心に設けられ、それぞれチェーン２８が巻き掛けられ
ているとともに、その一対のチェーン２８は何れも乾燥
炉１４の外側に配設されており、ウィケット３０は両側
のチェーン２８に跨がって連結され、プリント配線基板
１６を搬送方向に対して略垂直になる姿勢で保持するよ
うになっている。

【００３３】乾燥炉１４とカバー部材２２との間には、
チェーン２８の上下の直線部をそれぞれ支持するように
略水平に一対のガイドレール３２、３４が配設されてい
るとともに、所々にアイドルスプロケット３６が配設さ
れている。ガイドレール３２、３４は、乾燥炉１４を貫
通してカバー部材２２に固設された複数の支持フレーム
３８に固定されている。また、取出し部２０側の２個の
スプロケット２６は互いに連結されているとともに、単
一の駆動源（電動モータ）４０によって一体的に間欠回
転させられ、チェーン２８を介してウィケット３０を間
欠送りするようになっており、その停止時に、投入部１
８では図４、図５に示す投入装置４２によりプリント配
線基板１６がウィケット３０に受け渡されるとともに、
取出し部２０では、乾燥炉１４内で乾燥或いは焼付け処
理されたプリント配線基板１６が図１０に示す取出し装
置４４によりウィケット３０から取り出される。

【００３４】ウィケット３０はワーク保持具に相当する
もので、図３に示すように、両側のチェーン２８に連結
される長手形状の連結アーム４６と、その連結アーム４
６から略垂直に延び出すように一体的に固定された互い
に平行な一対の保持アーム４８と、それ等の保持アーム
４８に跨がって配設された補強アーム５０と、一対の保
持アーム４８に互いに内向きになる姿勢で対向して配設
されたクリップ５２とを備えており、一対のクリップ５
２により矩形のプリント配線基板１６の一対の互いに平
行な２辺を把持して保持するようになっている。クリッ
プ５２は、捩りコイルスプリング５４によって常には閉
じられるようになっており、このクリップ５２および保
持アーム４８を含んでプリント配線基板１６を保持する
本体部５６が構成されている。連結アーム４６は平板形
状を成し、搬送方向と略平行になる姿勢でチェーン２８
に連結されており、上記一対の保持アーム４８は搬送方
向に対して略垂直にチェーン２８から外側へ延び出すよ
うに設けられている。この連結アーム４６の両側の端部
４６ｅは連結部に相当し、前記乾燥炉１４から外側へ延
び出してチェーン２８に連結されている。図３の(a) は
(b) の上方から見た平面図で、(b) は正面図、(c) は
(b) の右側面図であり、(a) および(c) はチェーン２８
が省略されている。

【００３５】プリント配線基板１６は、厚さが０．１ｍ
ｍ以下のガラス・エポキシ樹脂製の薄板で、銅箔をエッ
チングなどでプリント配線したものであり、その表面に
はレジスト（絶縁層）の被膜がラミネート方式やダイコ
ーターなどで設けられており、乾燥炉１４によりその被
膜の乾燥或いは焼付けが行われるが、周縁部にはプリン
ト配線やレジスト被膜が存在しない余白部分が残されて
おり、その余白部分がクリップ５２によって把持される
ようになっている。また、プリント配線基板１６の大き
さは、例えば３５０ｍｍ×５００ｍｍ程度、或いは５０
０ｍｍ×５００ｍｍ程度などで、レジストを焼き付けた
後に所定の大きさに切断されるとともに、プリント配線
が異なる複数のプリント配線基板１６を重ね合わせて目
的とする基板が製造される。プリント配線基板１６が大
型の場合や剛性が低い場合など、必要に応じてクリップ
５２を片側に２個或いは３個ずつ設け、例えばプリント
配線基板１６の４隅等を把持して平面状態に位置決めす
るようにしても良い。

【００３６】前記乾燥炉１４は、図２から明らかなよう
に、それぞれ断面がコの字形状を成す上側構成部材５８
および下側構成部材６０と、それ等の間に位置する一対
の平板状の中間部材６２、６４とから構成されており、
全体として上下方向に長い矩形の筒状の乾燥炉１４が形
成されるようになっている。そして、投入部１８でプリ
ント配線基板１６を受け取ったウィケット３０は、上側
構成部材５８の内部を略一直線に通過して取出し部２０
まで搬送される一方、取出し部２０でプリント配線基板
１６が取り外されたウィケット３０は、下側構成部材６
０の内部を略一直線に通過して投入部１８まで戻され
る。上側構成部材５８は、吊りボルト６６などでカバー
部材２２に位置決め固定され、中間部材６２、６４は前
記支持フレーム３８を介してカバー部材２２に位置決め
固定され、下側構成部材６０はボルト等で基台６８に位
置決め固定されるようになっており、上側構成部材５８
と中間部材６２、６４との間、および下側構成部材６０
と中間部材６２、６４との間には、それぞれ前記連結ア
ーム４６の端部４６ｅの通過を許容するスリット７０、
７２が形成されている。スリット７０、７２は、長円形
状の搬送経路の一対の直線部に沿って互いに平行に設け
られており、その幅寸法（図２における上下方向の隙
間）は、平板形状の連結アーム４６の板厚より大きいと
ともに、搬送時の振動等で連結アーム４６が接触しない
範囲でできるだけ小さい寸法に設定されている。なお、
スリット７０、７２を構成している上側構成部材５８、
下側構成部材６０のコの字形状の開口端縁、および中間
部材６２、６４の上下の端縁には、それぞれ金属プレー
トが固定されている。また、中間部材６２、６４は、平
面視において四角形の枠形状を成す部材により一体に構
成することもできる。

【００３７】乾燥炉１４は、高温ガスとしての熱風を上
部から下方、すなわちウィケット式コンベア１２により
略垂直な姿勢で乾燥炉１４内を間欠送りされるプリント
配線基板１６と略平行であって、その搬送方向（水平方
向）と略直角な方向、へ流通させることにより、プリン
ト配線基板１６の表面に設けられたレジスト被膜を乾燥
或いは焼付けするためのもので、循環ファン７４、ヘパ
フィルター７６、ヒータ等による加熱部７８を備えてお
り、図２に白抜き矢印で示すように空気（熱風）を循環
させるようになっている。乾燥か焼付けかによって加熱
部７８による加熱温度が相違し、乾燥時には例えば８０
℃程度の熱風が用いられ、焼付け時には例えば１５０℃
程度の熱風が用いられる。

【００３８】一方、投入部１８においてプリント配線基
板１６をウィケット３０に受け渡す投入装置４２は、図
４および図５に示すように、略水平な姿勢で供給された
プリント配線基板１６が載置される台車８０を送りねじ
８２により略水平な方向へガイドレール８４に沿って直
線往復移動させ、図４に示す受取り位置から左方向へ移
動した受渡し位置までプリント配線基板１６を搬入する
搬入機構、台車８０に上下動可能に配設されてプリント
配線基板１６を略水平な姿勢で支持している多数の載置
ピン８６を昇降シリンダ８８により上下動させて、上記
受渡し位置においてウィケット３０のクリップ５２がプ
リント配線基板１６を把持できる高さ位置まで上方から
下降させる昇降機構、同じく台車８０に上下動可能に配
設された位置決め部材９０を位置決めシリンダ９２によ
り上昇させてプリント配線基板１６を予め定められた一
定位置に位置決め（センタリング）する位置決め機構、
同じく台車８０に上下動可能に配設されて上下シリンダ
９４により上下動させられるとともに、台車８０上へ供
給されたプリント配線基板１６を多数の引込みローラ９
６により所定位置まで引き込む引込み機構、などを備え
て構成されている。図４は図１に対応する一部を省略し
た正面図で、図５は図４の右方向から見た右側面図であ
る。

【００３９】上記引込み機構および昇降機構は、受取り
位置における台車８０の両側にも位置固定に配設されて
いる。図６および図７は、引込み機構を具体的に説明す
る図で、多数の引込みローラ９６の回転軸にそれぞれ一
体的に取り付けられたプーリ９８が、電動モータ１００
によりベルト１０２を介して回転駆動されることによ
り、各引込みローラ９６がそれぞれ一定の方向へ同期回
転させられるようになっている。図６は図５に対応する
右側面図で、図７は図６におけるVII −VII 断面を示す
図である。

【００４０】上記投入装置４２を構成している上記搬入
機構、昇降機構、位置決め機構、引込み機構の各可動
部、すなわちシリンダ８８、９２、９４やガイドレール
８４、その他のガイドロッドなどの摺動部、送りねじ８
２や引込みローラ９６等の回転体の軸受部、送りねじ８
２とナット部材との螺合部などは、総てプリント配線基
板１６の搬送平面より下方に配置されており、それ等の
可動部から発生する細かな金属粉や油滴などの塵埃がプ
リント配線基板１６に付着することが良好に防止され
る。

【００４１】また、投入装置４２がプリント配線基板１
６をウィケット３０に受け渡す受渡し位置には、ウィケ
ット３０の一対のクリップ５２をそれぞれ捩りコイルス
プリング５４の付勢力に抗して開放する一対の開放装置
１１０が配設されている。一対の開放装置１１０は、図
８に具体的に示すように、受渡し位置において略水平な
姿勢とされるウィケット３０の両側に相対向するように
対称的に配設されており、それぞれウィケット３０の保
持アーム４８を位置決めする位置決め部材１１２、およ
び開放シリンダ１１４によって上下動させられる開放部
材１１６を備えており、位置決め部材１１２によって保
持アーム４８を位置決めした状態で開放部材１１６が下
降させられることにより、クリップ５２と係合して開放
するようになっている。また、この開放装置１１０は、
退避シリンダ１１８により図８(a) 、(b) における左右
方向へ前進、後退させられるスライド部材１２０に配設
され、図８に示すようにウィケット３０に接近してクリ
ップ５２を開くことができる開放位置と、ウィケット３
０から離間してウィケット３０の通過を許容する退避位
置とへ移動させられるようになっており、退避位置から
開放位置へ前進させられる際に、位置決め部材１１２の
把持部（隙間）に保持アーム４８が相対的に挿入されて
位置決めされる。図８の(a) 、(b) の右側の開放装置１
１０は位置決め部材１１２が省略されており、左側の開
放装置１１０は開放部材１１６が省略されている。

【００４２】上記開放装置１１０によりクリップ５２が
開放された状態で、前記投入装置４２の台車８０が昇降
機構によりプリント配線基板１６を持ち上げた状態で受
渡し位置まで移動させられるとともに、クリップ５２に
よる把持が可能な高さ位置までプリント配線基板１６を
下降させ、その状態で開放部材１１６が上昇してクリッ
プ５２によりプリント配線基板１６が把持された後に、
台車８０は受取り位置まで戻される。これにより、１枚
のプリント配線基板１６が投入装置４２からウィケット
式コンベア１２に受け渡され、プリント配線基板１６を
受け取ったウィケット３０は、開放装置１１０が退避位
置まで後退させられた後に、ウィケット式コンベア１２
による間欠送りで図４においてスプロケット２４の左ま
わりに３０°回転させられ、次のウィケット３０が受渡
し位置に到達する。

【００４３】投入部１８にはまた、上記受渡し位置より
もスプロケット２４まわりにおいて６０°手前側の部
分、すなわち図４においてスプロケット２４の右下位置
に、クリップ５２を清浄する清浄装置１２２が配設され
ている。清浄装置１２２は、図９に示すように前記開放
装置１１０と同様に構成された一対の開放装置１２４
と、一対の噴射ノズル１２８からクリップ５２に向かっ
て圧縮空気を噴射するとともに、その噴射ノズル１２８
に対向して配設された一対の吸込口１３０で空気を吸引
する給排気装置１３２とを備えており、開放装置１２４
でクリップ５２を開いた状態で圧縮空気を吹き付けて異
物を除去するとともに、その異物を含んだ空気を吸込口
１３０から吸い込んで排除する。給排気装置１３２は、
電動モータによって駆動されるエアポンプなどを含んで
構成されており、給気ダクト１２９を介して噴射ノズル
１２８に連結されているとともに、排気ダクト１３１を
介して吸込口１３０に連結されている。これは、クリッ
プ５２によりプリント配線基板１６を把持して搬送する
際に、合成樹脂製のプリント配線基板１６の熱膨張や位
置ずれなどでプリント配線基板１６が擦れるなどして発
生した擦り屑がクリップ５２の把持部に付着する可能性
があるため、清浄装置１２２によってクリップ５２に付
着した異物を除去することにより、クリップ５２を高い
クリーン度に維持し、クリップ５２に付着した擦り屑な
どで次に搬送するプリント配線基板１６や乾燥炉１４内
のクリーン度が損なわれることを防止するためである。

【００４４】前記取出し部２０に配設され、ウィケット
３０からプリント配線基板１６を取り出す取出し装置４
４は、図１０に示すように実質的に前記投入装置４２と
同様に構成され、ウィケット３０から略水平な姿勢で受
け渡されたプリント配線基板１６が載置される台車１３
４を送りねじ１３６により略水平な方向へガイドレール
１３８に沿って直線往復移動させ、ウィケット３０が略
水平な姿勢で位置する受取り位置から図１０に示す取出
し位置までプリント配線基板１６を搬出する搬出機構、
台車１３４に上下動可能に配設されてプリント配線基板
１６を略水平な姿勢で支持している多数の載置ピン１４
０を昇降シリンダ１４２により上下動させて、上記受取
り位置においてウィケット３０と略同じ高さで受け取っ
たプリント配線基板１６を下降させる昇降機構、同じく
台車１３４に上下動可能に配設された位置決め部材１４
４を位置決めシリンダ１４６により上昇させてプリント
配線基板１６を予め定められた一定位置に位置決め（セ
ンタリング）する位置決め機構、同じく台車１３４に上
下動可能に配設されて上下シリンダ１４８により上下動
させられるとともに、台車１３４上のプリント配線基板
１６を多数の引出しローラ１５０により所定位置まで引
き出す引出し機構、などを備えて構成されている。図１
０は図１に対応する一部を省略した正面図である。

【００４５】上記取出し装置４４を構成している上記搬
出機構、昇降機構、位置決め機構、引出し機構の各可動
部、すなわちシリンダ１４２、１４６、１４８やガイド
レール１３８、その他のガイドロッドなどの摺動部、送
りねじ１３６や引出しローラ１５０等の回転体の軸受
部、送りねじ１３６とナット部材との螺合部などは、総
てプリント配線基板１６の搬送平面より下方に配置され
ており、それ等の可動部から発生する細かな金属粉や油
滴などの塵埃がプリント配線基板１６に付着することが
良好に防止される。

【００４６】また、取出し装置４４がプリント配線基板
１６をウィケット３０から受け取る受取り位置には一対
の開放装置１５２が配設され、ウィケット３０の一対の
クリップ５２をそれぞれ捩りコイルスプリング５４の付
勢力に抗して開放し、プリント配線基板１６をウィケッ
ト３０から離脱させるようになっている。開放装置１５
２は、基本的に前記開放装置１１０と同じ機能を有する
ものであるが、前記投入部１８の受渡し位置とはウィケ
ット３０の姿勢が上下反対であるため、開放部材を上方
へ移動させてクリップ５２を開放するようになってい
る。

【００４７】このようなチェーン搬送式基板乾燥装置１
０においては、ウィケット式コンベア１２の一対のチェ
ーン２８が乾燥炉１４の外側に配設されているため、チ
ェーン２８がガイドレール３２、３４上を走行したりア
イドルスプロケット３６と噛み合ったりする際に発生す
る細かな金属粉や油滴などの塵埃によって乾燥炉１４内
のクリーン度が損なわれることが防止される。

【００４８】特に、本実施例では乾燥炉１４内を上部か
ら下方へ流通させられてプリント配線基板１６のレジス
ト被膜を乾燥したり焼き付けたりする熱風の循環経路に
ヘパフィルター７６が設けられているため、乾燥炉１４
内のクリーン度が更に向上し、例えばクリーン度クラス
１００程度の高いクリーン度が得られるようになり、プ
リント配線基板１６の品質が向上する。

【００４９】また、無端環状のチェーン２８が長円形状
の搬送経路を一方向へ間欠回転させられ、その長円形状
の長手方向の一端の投入部１８でプリント配線基板１６
を受け取るとともに、他端の取出し部２０まで搬送され
る過程で乾燥炉１４内を通過させて乾燥或いは焼付け処
理を行うものであるが、ウィケット３０が取出し部２０
から投入部１８まで戻される過程でもクリーン度の高い
乾燥炉１４内を通過させられるため、その戻り過程でウ
ィケット３０に塵埃が付着して次に搬送するプリント配
線基板１６や乾燥炉１４内のクリーン度を損なう恐れが
ない。

【００５０】また、矩形の筒状の乾燥炉１４が略水平に
配設されるとともに、その乾燥炉１４の両側部に配設さ
れた一対のチェーン２８によってウィケット３０が支持
され、乾燥炉１４内を搬送されるようになっているた
め、そのウィケット３０、更にはプリント配線基板１６
の姿勢が安定する。

【００５１】また、略水平な方向に長い長円形状の搬送
経路の一対の直線部のうち上側の直線部でプリント配線
基板１６を搬送するようになっているため、下側の直線
部を戻される空のウィケット３０の戻し過程で塵埃等が
落下しても、上部を搬送されるプリント配線基板１６に
付着する恐れがない。

【００５２】また、プリント配線基板１６をウィケット
式コンベア１２に受け渡すための投入装置４２、および
ウィケット式コンベア１２からプリント配線基板１６を
受け取って取り出すための取出し装置４４は、搬入機構
や搬出機構、昇降機構、位置決め機構などの可動部が総
てプリント配線基板１６の搬送平面より下方に配置され
ているため、それ等の投入装置４２、取出し装置４４の
可動部で発生する塵埃がプリント配線基板１６に付着す
ることが防止される。

【００５３】また、ウィケット３０は一対のクリップ５
２によってプリント配線基板１６を両側から把持して保
持するため、プリント配線基板１６の姿勢が安定すると
ともに、厚さが０．１ｍｍ以下の薄板でも略垂直に保持
した状態で良好に搬送でき、レジスト被膜の乾燥或いは
焼付け処理が高い精度で安定して行われる。

【００５４】また、このようにプリント配線基板１６を
把持して搬送すると、搬送時におけるプリント配線基板
１６の熱膨張や位置ずれなどでプリント配線基板１６が
擦れるなどして発生した擦り屑がクリップに付着する可
能性があるが、投入部１８の受渡し位置の手前に清浄装
置１２２が配設され、クリップ５２を開いて圧縮空気を
吹き付けることにより異物を除去するとともに、その空
気を異物と共に吸引するようになっているため、クリッ
プ５２が高いクリーン度に維持され、クリップ５２に付
着した擦り屑などで次に搬送するプリント配線基板１６
や乾燥炉１４内のクリーン度が損なわれることがない。

【００５５】以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明したが、これはあくまでも一実施形態であり、
本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更，改良を加
えた態様で実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるチェーン搬送式基板乾
燥装置の概略構成を説明する一部を省略した正面図であ
る。

【図２】図１のII−II断面を示す図である。

【図３】図１の装置で用いられているウィケットを示す
図で、(a) は(b) の上方から見た平面図、(b) は正面
図、(c) は(b) の右側面図である。

【図４】図１の装置においてウィケット式コンベアにプ
リント配線基板を取り付ける投入部付近を示す一部を省
略した正面図である。

【図５】図４の右側面図である。

【図６】図４の投入部に配置されている投入装置の引込
み機構を示す図で、図５に対応する右側面図である。

【図７】図６のVII −VII 断面を示す図である。

【図８】図４の投入部に配置されている開放装置を示す
図で、(a) は一部を省略した平面図、(b) は(a) の下方
から見た正面図、(c) は(a) の右側面図である。

【図９】図４の投入部に配置されている清浄装置を説明
する図である。

【図１０】図１の装置においてウィケット式コンベアか
らプリント配線基板を取り出す取出し部付近を示す一部
を省略した正面図である。

【符号の説明】

１０：チェーン搬送式基板乾燥装置（チェーン搬送式処
理装置） １２：ウィケット式コンベア １４：乾
燥炉（処理室） １６：プリント配線基板（ワーク）
１８：投入部 ２０：取出し部 ２４、２６：
スプロケット ２８：チェーン ３０：ウィケット（ワーク保持具）
４２：投入装置 ４４：取出し装置 ４６：連結アーム ４６ｅ：端
部（連結部） ５２：クリップ ５６：本体部
７０、７２：スリット ７４：循環ファン ７６：ヘパフィルター １２２：清浄装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉 徳敬 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 長坂 和泰 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 Ｆターム(参考） 3F034 NA03 NB04 NB12 3L113 AA02 AA03 AB02 AC08 AC31 AC42 AC45 AC46 AC51 AC54 AC63 AC64 AC76 AC83 BA34 DA24

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の搬送経路を移動させられるチェー
   ンと、 該チェーンに取り付けられてそれぞれワークを保持し、
   該チェーンの移動に伴って該ワークを前記搬送経路に沿
   って搬送する多数のワーク保持具と、 前記搬送経路の少なくとも一部を覆蓋して該ワークに所
   定の処理を行う処理室と、 を有するチェーン搬送式処理装置において、 前記ワーク保持具は、前記ワークを保持する本体部と、
   該本体部から延び出して前記チェーンに連結される連結
   部とを備えている一方、 前記チェーンは前記処理室の外側に配設され、該処理室
   の内部で前記ワークを保持している前記ワーク保持具の
   前記連結部は、該処理室から外側に延び出して該チェー
   ンに連結されているとともに、該処理室には、該連結部
   が該チェーンと共に移動することを許容するように前記
   搬送経路に沿ってスリットが設けられていることを特徴
   とするチェーン搬送式処理装置。
2. 【請求項２】 前記チェーンは、複数のスプロケットに
   巻き掛けられて略長円形状の搬送経路を一方向へ回転さ
   せられる無端環状のもので、 前記ワーク保持具は、前記長円形状の長手方向の一端の
   投入部で前記ワークを受け取り、他端の取出し部まで搬
   送される過程で前記処理室内を通過するようになってお
   り、 前記処理室には、前記長円形状の２辺に沿ってそれぞれ
   前記スリットが設けられ、前記ワーク保持具が前記取出
   し部から前記投入部まで戻される過程でも該処理室内を
   通過するようになっていることを特徴とする請求項１に
   記載のチェーン搬送式処理装置。
3. 【請求項３】 前記スプロケットは、略水平な方向へ離
   間して互いに平行で略水平な軸心まわりの回転可能に一
   対配設されているとともに、前記処理室を挟んで反対側
   にも同心に設けられ、それぞれ前記チェーンが巻き掛け
   られている一方、 前記ワーク保持具は、該一対のチェーンに連結されるよ
   うに前記連結部を一対備えており、 前記長円形状の一対の直線部のうち上側の搬送経路で前
   記ワークを搬送することを特徴とする請求項２に記載の
   チェーン搬送式処理装置。
4. 【請求項４】 前記ワークを持ち上げて前記ワーク保持
   具に受け渡すための機構の総ての可動部が該ワークの搬
   送平面より下方に配置された投入装置と、 前記ワーク保持具から前記ワークを受け取って取り出す
   ための機構の総ての可動部が該ワークの搬送平面より下
   方に配置された取出し装置と、 を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に
   記載のチェーン搬送式処理装置。
5. 【請求項５】 前記ワーク保持具は、クリップにより前
   記ワークを把持して保持するもので、 該クリップにより前記ワークを保持するのに先立って、
   該クリップを開いて圧縮空気を吹き付けることにより異
   物を除去するとともに、該空気を異物と共に吸引する清
   浄装置が設けられていることを特徴とする請求項１〜４
   の何れか１項に記載のチェーン搬送式処理装置。
6. 【請求項６】 前記ワークは、表面に被膜が設けられた
   プリント配線基板で、 前記処理室は、高温ガスを流通させて前記被膜を乾燥或
   いは焼付けするための乾燥炉であることを特徴とする請
   求項１〜５の何れか１項に記載のチェーン搬送式処理装
   置。
7. 【請求項７】 前記高温ガスは循環ファンによって前記
   乾燥炉を含む循環経路を循環させられるようになってい
   るとともに、該循環経路にはヘパフィルターが設けられ
   ていることを特徴とする請求項６に記載のチェーン搬送
   式処理装置。