JP2002273719A - Apparatus and method for laminating green sheet and method for manufacturing laminated ceramic electronic part - Google Patents
Apparatus and method for laminating green sheet and method for manufacturing laminated ceramic electronic partInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、積層コンデンサな
どの積層セラミック電子部品の製造に好適に用いられる
グリーンシート積層装置、グリーンシート積層方法及び
該積層セラミック電子部品の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a green sheet laminating apparatus, a green sheet laminating method, and a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component which are suitably used for producing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer capacitor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、より薄いセラミックグリーンシー
トを用いて積層コンデンサなどのセラミック電子部品を
製造する方法が種々提案されている。2. Description of the Related Art Conventionally, various methods have been proposed for manufacturing ceramic electronic components such as multilayer capacitors using thinner ceramic green sheets.
【０００３】例えば、特開平５−６８４４号公報には、
図１０に示すカッティング・積層ヘッド５１を用いた製
造方法が開示されている。ここでは、支持フィルム５２
上にセラミックグリーンシート５３が支持されている。For example, JP-A-5-6844 discloses that
A manufacturing method using the cutting / stacking head 51 shown in FIG. 10 is disclosed. Here, the support film 52
A ceramic green sheet 53 is supported thereon.
【０００４】ステージ５４上に支持フィルム５２に支持
されたセラミックグリーンシート５３が位置している状
態において、カッティング・積層ヘッド５１が矢印で示
すように上下方向に移動される。カッティング・積層ヘ
ッド５１は、本体５５と、本体５５の周囲に設けられた
切断刃５６とを有する。本体５５の下面５５ａが積層面
を構成している。When the ceramic green sheet 53 supported by the support film 52 is positioned on the stage 54, the cutting / lamination head 51 is moved up and down as indicated by arrows. The cutting / lamination head 51 has a main body 55 and a cutting blade 56 provided around the main body 55. The lower surface 55a of the main body 55 constitutes a laminated surface.
【０００５】また、切断刃５６は矩形環状の形状を有し
ている。セラミックグリーンシート５３に対して、上記
カッティング・積層ヘッド５１が降下され、切断刃５６
によりセラミックグリーンシート５３が矩形の平面形状
を有するように切断される。また、上記カッティング・
積層ヘッド５１が下方に移動された際に、本体５５の下
面５５ａまたは下面５５ａに既に積層されているセラミ
ックグリーンシート５３ａに、切断されたセラミックグ
リーンシートが圧着される。上記圧着後に、カッティン
グ・積層ヘッド５１を上方に引き上げることにより、切
断されたセラミックグリーンシート５３ａが支持フィル
ム５２から剥離され、本体５５の下面５５ａ上において
積層される。この工程を繰り返すことにより、カッティ
ング・積層ヘッド５１の本体５５の下面５５ａ上に、複
数のセラミックグリーンシート５３ａが積層され、積層
体５７が得られる。The cutting blade 56 has a rectangular ring shape. The cutting / lamination head 51 is lowered with respect to the ceramic green sheet 53, and the cutting blade 56 is cut.
Thereby, the ceramic green sheet 53 is cut so as to have a rectangular planar shape. In addition, the cutting
When the laminating head 51 is moved downward, the cut ceramic green sheet is pressed onto the lower surface 55a of the main body 55 or the ceramic green sheet 53a already laminated on the lower surface 55a. After the press bonding, the cutting and laminating head 51 is lifted upward, so that the cut ceramic green sheet 53 a is peeled off from the support film 52 and laminated on the lower surface 55 a of the main body 55. By repeating this process, a plurality of ceramic green sheets 53a are laminated on the lower surface 55a of the main body 55 of the cutting / lamination head 51, and a laminate 57 is obtained.
【０００６】しかる後、別途用意された積層ステージ上
に、積層体５７を載置した後、積層体５７が厚み方向に
プレスされる。この積層体を焼成することにより、積層
コンデンサなどを構成するためのセラミック焼結体が得
られる。After that, the stacked body 57 is placed on a separately prepared stacking stage, and then the stacked body 57 is pressed in the thickness direction. By firing this laminate, a ceramic sintered body for constituting a multilayer capacitor or the like is obtained.
【０００７】特開平５−６８４４号公報に記載の製造方
法では、カッティング・積層ヘッド５１を用いてセラミ
ックグリーンシートの切断及び積層が行われている。従
って、セラミックグリーンシート５３の切断に先立ち、
支持フィルム５２からセラミックグリーンシート５３を
剥離し、セラミックグリーンシート５３のみを独立に取
り扱う必要がない。よって、薄いセラミックグリーンシ
ート５３を用いて、積層体を得ることができる。In the manufacturing method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-6844, cutting and lamination of ceramic green sheets are performed using a cutting / lamination head 51. Therefore, prior to cutting the ceramic green sheet 53,
It is not necessary to separate the ceramic green sheet 53 from the support film 52 and handle only the ceramic green sheet 53 independently. Therefore, a laminated body can be obtained using the thin ceramic green sheet 53.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記先
行技術に記載の方法で得られたセラミック焼結体では、
焼結後に側面や端面における層間剥離現象が生じがちで
あるという問題があった。However, in the ceramic sintered body obtained by the method described in the above prior art,
There has been a problem that delamination phenomena tend to occur on side surfaces and end surfaces after sintering.
【０００９】すなわち、カッティング・積層ヘッド５１
の本体５５の下面５５ａ上において複数枚のセラミック
グリーンシート５３ａが積層されている。ここで、１枚
のセラミックグリーンシート５３ａを切断刃５６により
切断する場合、本体５５とは独立に切断刃５６が上下方
向に移動される。That is, the cutting / lamination head 51
A plurality of ceramic green sheets 53a are laminated on the lower surface 55a of the main body 55. Here, when one ceramic green sheet 53 a is cut by the cutting blade 56, the cutting blade 56 is moved in the vertical direction independently of the main body 55.
【００１０】従って、既に積層されているセラミックグ
リーンシート５３ａの側面すなわち切断面上を、切断刃
５６の内面５６ａが上下方向に摺動することになる。そ
のため、セラミックグリーンシート屑が発生したり、積
層されているセラミックグリーンシート５３ａ間の密着
性が低下し、部分的に剥がれが生じたりすることがあっ
た。加えて、上記セラミックグリーンシート５３ａの切
断面と切断刃５６の内面５６ａとの接触による負荷によ
り、次のセラミックグリーンシート５３の切断操作が不
安定になることもあった。Therefore, the inner surface 56a of the cutting blade 56 slides vertically on the side surface, ie, the cut surface, of the ceramic green sheet 53a already laminated. As a result, ceramic green sheet debris may be generated, or the adhesion between the stacked ceramic green sheets 53a may be reduced, resulting in partial peeling. In addition, the cutting operation of the next ceramic green sheet 53 may become unstable due to the load caused by the contact between the cut surface of the ceramic green sheet 53a and the inner surface 56a of the cutting blade 56.
【００１１】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、積層体におけるセラミックグリーンシート間
における剥離を生じさせることなく、かつ複数枚のセラ
ミックグリーンシートを安定にかつ連続的に積層するこ
とを可能とするグリーンシート積層装置及びグリーンシ
ートの積層方法を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages of the prior art, and to stably and continuously laminate a plurality of ceramic green sheets without causing separation between the ceramic green sheets in the laminate. It is an object of the present invention to provide a green sheet laminating apparatus and a green sheet laminating method that enable the above.
【００１２】本発明の他の目的は、本発明にかかるグリ
ーンシート積層装置を用いてセラミックグリーンシート
を積層する工程を備え、層間剥離現象が生じ難い信頼性
に優れたセラミック焼結体を得ることができ、該セラミ
ック焼結体を備えた積層セラミック電子部品の製造方法
を提供することにある。Another object of the present invention is to obtain a highly reliable ceramic sintered body which includes a step of laminating ceramic green sheets using the green sheet laminating apparatus according to the present invention and which is less likely to cause delamination. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component including the ceramic sintered body.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明のある広い局面に
よれば、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリ
ーンシートを積層するためのグリーンシート積層装置で
あって、セラミックグリーンシートを搬送する搬送部材
と、前記搬送部材によって搬送されてきたセラミックグ
リーンシートを所定の平面形状を有するように切断する
ための切断刃を備えたカット部材と、前記カット部材に
より切断された所定の平面形状のセラミックグリーンシ
ートをキャリアフィルムから剥離し、積層する積層面を
有する積層部材とを備える装置が提供される。According to one broad aspect of the present invention, there is provided a green sheet laminating apparatus for laminating ceramic green sheets supported on a carrier film, comprising a conveying member for conveying the ceramic green sheets. A cutting member having a cutting blade for cutting the ceramic green sheet conveyed by the conveying member so as to have a predetermined planar shape, and a ceramic green sheet having a predetermined planar shape cut by the cutting member. And a laminated member having a laminated surface to be peeled off from the carrier film and laminated.
【００１４】本発明にかかるグリーンシート積層装置の
特定の局面では、積層部材が積層面に開いた吸引孔を有
し、該吸引孔に連結された吸引手段がさらに備えられ、
それによって積層面においてセラミックグリーンシート
が吸引手段からの吸引により密着された状態で確実に支
持される。In a specific aspect of the green sheet laminating apparatus according to the present invention, the laminating member has a suction hole opened on the laminating surface, and further includes a suction means connected to the suction hole,
As a result, the ceramic green sheet is securely supported on the lamination surface in a state where the ceramic green sheet is closely attached by suction from the suction means.
【００１５】本発明にかかるグリーンシート積層装置の
特定の局面では、前記セラミックグリーンシートが長尺
状セラミックグリーンシートであり、前記セラミックグ
リーンシートの搬送方向がセラミックグリーンシートの
長さ方向であり、該長さ方向と直交する方向において前
記カット部材及び前記積層部材が並べられており、前記
セラミックグリーンシートを切断するためにセラミック
グリーンシートの上方にカット部材が位置する第１の状
態と、切断されたセラミックグリーンシートを圧着・積
層するために積層部材がセラミックグリーンシートの上
方に位置する第２の状態とをとり得るように、カット部
材及び積層部材を移動させる移動部材がさらに備えられ
る。この場合には、上記第１の状態において、カット部
材によりセラミックグリーンシートの切断が行われ、移
動部材を駆動することによりカット部材及び積層部材を
移動させ第２の状態とし、第２の状態において切断され
たセラミックグリーンシートを積層部材により圧着・積
層することができる。In a specific aspect of the green sheet laminating apparatus according to the present invention, the ceramic green sheet is a long ceramic green sheet, and the conveying direction of the ceramic green sheet is a length direction of the ceramic green sheet. The cut member and the laminated member are arranged in a direction orthogonal to the length direction, and a first state in which the cut member is located above the ceramic green sheet to cut the ceramic green sheet, and a cut state is provided. A moving member for moving the cutting member and the laminating member is further provided so that the laminating member can assume a second state in which the laminating member is located above the ceramic green sheet for pressing and laminating the ceramic green sheets. In this case, in the first state, the cutting of the ceramic green sheet is performed by the cutting member, and the moving member is driven to move the cutting member and the laminated member to the second state, and in the second state, The cut ceramic green sheets can be pressed and laminated by a lamination member.
【００１６】本発明にかかるグリーンシート積層装置の
さらに別の特定の局面では、搬送される前記セラミック
グリーンシートがある長さ寸法を有し、前記キャリアフ
ィルムに支持されたセラミックグリーンシートが載置さ
れる搬送ユニットがさらに備えられ、前記搬送ユニット
にセラミックグリーンシートが供給される供給位置と、
前記セラミックグリーンシートが切断・積層される加工
位置との間で搬送ユニットが前記搬送部材により搬送さ
れるように構成されており、前記セラミックグリーンシ
ートが切断・積層される加工位置の上方に前記カット部
材が位置する第１の状態と、前記積層部材が加工位置の
上方に位置する第２の状態とをとり得るようにカット部
材及び積層部材を移動させる移動部材がさらに備えられ
る。この場合には、上記搬送機構により、ある長さ方向
を有するセラミックグリーンシートが供給位置から加工
位置まで移動され、加工位置において、第１の状態にお
いてカット部材によりセラミックグリーンシートが切断
され、次に移動部材を駆動し、カット部材及び積層部材
を移動させ第２の状態とすることにより、該第２の状態
において切断されているセラミックグリーンシートが積
層部材により積層される。In still another specific aspect of the green sheet laminating apparatus according to the present invention, the ceramic green sheet to be conveyed has a certain length, and the ceramic green sheet supported by the carrier film is placed thereon. And a supply position at which a ceramic green sheet is supplied to the transfer unit.
A transport unit is configured to be transported by the transport member to and from a processing position where the ceramic green sheet is cut and laminated, and the cutting is performed above the processing position where the ceramic green sheet is cut and laminated. There is further provided a moving member for moving the cutting member and the laminating member so as to be able to assume a first state in which the member is located and a second state in which the laminating member is located above the processing position. In this case, the ceramic green sheet having a certain length direction is moved from the supply position to the processing position by the transport mechanism, and at the processing position, the ceramic green sheet is cut by the cutting member in the first state, By driving the moving member to move the cut member and the laminated member to the second state, the ceramic green sheets cut in the second state are laminated by the laminated member.
【００１７】本発明にかかるグリーンシートの積層方法
は、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーン
シートを用意する工程と、前記セラミックグリーンシー
ト上に電極を形成する工程と、前記電極が形成されたセ
ラミックグリーンシートを所定の平面形状を有するよう
にカット部材により切断する工程と、前記切断されたセ
ラミックグリーンシートに積層部材の積層面または積層
面に既に積層されているセラミックグリーンシートを圧
着させ、切断されたグリーンシートをキャリアフィルム
から剥離し、積層面上にて積層する工程とを備え、前記
切断工程及び積層工程が順次繰り返されて積層面上にお
いて積層体が得られる。The method for laminating green sheets according to the present invention includes the steps of preparing a ceramic green sheet supported on a carrier film, forming an electrode on the ceramic green sheet, and forming a ceramic green sheet on which the electrode is formed. A step of cutting the sheet with a cutting member so as to have a predetermined planar shape, and pressing the ceramic green sheet already laminated on the laminating surface or the laminating surface of the laminating member on the cut ceramic green sheet, and cutting. Separating the green sheet from the carrier film and laminating the green sheet on the laminating surface. The cutting step and the laminating step are sequentially repeated to obtain a laminated body on the laminating surface.
【００１８】本発明にかかる積層セラミック電子部品の
製造方法は、本発明にかかるグリーンシートの積層方法
により得られた積層体を切断して焼成し、セラミック焼
結体を得る工程と、セラミック焼結体の外表面に複数の
外部電極を形成する工程とを備えることを特徴とする。The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention comprises the steps of cutting and firing a laminate obtained by the method for laminating green sheets according to the present invention to obtain a ceramic sintered body; Forming a plurality of external electrodes on the outer surface of the body.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
説明することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention.
【００２０】図１は本発明の第１の実施例にかかるグリ
ーンシート積層装置を用いたグリーンシート積層方法を
説明するための模式的正面断面図である。まず、略図的
に示すロール１に、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムなどの合成樹脂フィルムからなる支持フィルム２に支
持されたセラミックグリーンシート３が巻回されてい
る。本実施例では、セラミックグリーンシート３は、積
層セラミックコンデンサを構成するための誘電体セラミ
ックスを主体とする材料で構成されている。FIG. 1 is a schematic front sectional view for explaining a green sheet laminating method using a green sheet laminating apparatus according to a first embodiment of the present invention. First, a ceramic green sheet 3 supported by a support film 2 made of a synthetic resin film such as a polyethylene terephthalate film is wound around a roll 1 schematically shown. In this embodiment, the ceramic green sheet 3 is made of a material mainly composed of dielectric ceramics for forming a multilayer ceramic capacitor.
【００２１】ロール１と隔てられて、ロール４が配置さ
れている。ロール４には、セラミックグリーンシート３
から後述のようにして矩形のセラミックグリーンシート
が切断・除去された後のセラミックグリーンシート残部
が支持フィルム２に積層されている長尺状部材が巻きと
られる。ロール１，４の少なくとも一方を回転駆動する
ことにより、セラミックグリーンシート３がその長さ方
向に搬送される。A roll 4 is arranged so as to be separated from the roll 1. Roll 4 has ceramic green sheet 3
After the rectangular ceramic green sheet is cut and removed as described below, the remaining ceramic green sheet is wound around a long member laminated on the support film 2. By rotating at least one of the rolls 1 and 4, the ceramic green sheet 3 is conveyed in the length direction.
【００２２】本実施例では、図１に略図的に示すように
ロール４に回転駆動源としてのモーター５が連結されて
おり、該モーター５により上記搬送部材が構成されてい
る。他方、ロール１，４間においては、カッティングス
テージ６と積層ステージ７とが配置されている。カッテ
ィングステージ６及び積層ステージ７は、いずれも、そ
の上面６ａ，７ａが平坦面とされている。カッティング
ステージ６と積層ステージ７は一体に構成されていても
よい。In the present embodiment, as schematically shown in FIG. 1, a motor 5 as a rotary drive source is connected to the roll 4, and the motor 5 constitutes the transport member. On the other hand, between the rolls 1 and 4, a cutting stage 6 and a lamination stage 7 are arranged. The upper surfaces 6a and 7a of the cutting stage 6 and the stacking stage 7 are both flat surfaces. The cutting stage 6 and the lamination stage 7 may be integrally formed.
【００２３】本実施例では、セラミックグリーンシート
３の搬送方向において、上流側にカッティングステージ
６が、下流側に積層ステージ７が配置されている。そし
て、上流側においてはカッティングステージ６の上方に
カット部材８が配置されており、下流側において積層ス
テージ７の上方に積層部材９が配置されている。In this embodiment, the cutting stage 6 is arranged on the upstream side and the lamination stage 7 is arranged on the downstream side in the conveying direction of the ceramic green sheet 3. The cutting member 8 is disposed above the cutting stage 6 on the upstream side, and the laminating member 9 is disposed above the laminating stage 7 on the downstream side.
【００２４】カット部材８は、本体１０と、本体１０と
は上下方向に独立に移動し得るように構成された切断刃
１１とを備える。本体１０は、図示しないエアシリンダ
ーなどの往復駆動源により上下方向に移動可能に構成さ
れている。また、切断刃１１は、本体１０にバネなどの
付勢手段を介して（図示せず）連結されており、本体１
０とは上下方向に独立して移動し得るように構成されて
いる。切断刃１１の刃先１１ａは、本体１０の下面１０
ａよりも下方に突出されている。刃先１１ａは、矩形環
状の平面形状を有する。The cutting member 8 includes a main body 10 and a cutting blade 11 configured so that the main body 10 can move independently in the vertical direction. The main body 10 is configured to be vertically movable by a reciprocating drive source such as an air cylinder (not shown). The cutting blade 11 is connected to the main body 10 via a biasing means such as a spring (not shown).
It is configured so that it can move independently of the vertical direction. The cutting edge 11a of the cutting blade 11 is
It protrudes below a. The cutting edge 11a has a rectangular annular planar shape.
【００２５】切断刃１１は、搬送されてきたセラミック
グリーンシート３を矩形環状に切り出すために設けられ
ており、かつセラミックグリーンシート３を切断する
が、支持フィルム２は切断しないように構成されてい
る。もっとも、刃先１１ａが支持フィルム２の上面から
中間高さ位置まで至るように切断が行われてもよい。The cutting blade 11 is provided for cutting the conveyed ceramic green sheet 3 into a rectangular ring, and cuts the ceramic green sheet 3 but does not cut the support film 2. . However, the cutting may be performed so that the cutting edge 11a extends from the upper surface of the support film 2 to the intermediate height position.
【００２６】上記本体１０及び切断刃１１は、ステンレ
スなどの適宜の金属材料により構成されるが、特に本体
１０及び切断刃１１を構成する材料については限定され
るものではない。The main body 10 and the cutting blade 11 are made of an appropriate metal material such as stainless steel. However, the materials forming the main body 10 and the cutting blade 11 are not particularly limited.
【００２７】他方、下流に配置された積層部材９は、特
に限定されるわけではないが、ステンレスなどの金属材
料などの剛性材料からなるブロック状の形状を有する。
積層部材９の下面が積層面９ａを構成している。この積
層面９ａに、複数の吸引孔１２が開いている。吸引孔１
２は、積層部材９の上下方向に延び、特に図示はしない
が、上端側が、真空ポンプなどの図示しない吸引源に連
結されている。On the other hand, the laminated member 9 disposed downstream has a block-like shape made of a rigid material such as a metal material such as stainless steel, although not particularly limited.
The lower surface of the laminated member 9 constitutes the laminated surface 9a. A plurality of suction holes 12 are opened in the lamination surface 9a. Suction hole 1
Numeral 2 extends in the vertical direction of the laminated member 9, and although not shown, the upper end is connected to a suction source (not shown) such as a vacuum pump.
【００２８】積層部材９は、図示しないエアシリンダー
などの往復駆動源により上下方向に移動可能に構成され
ている。本実施例のグリーンシート積層装置を用いた積
層セラミック電子部品の製造方法を図２〜図４をも参照
して説明する。The laminating member 9 is configured to be vertically movable by a reciprocating drive source such as an air cylinder (not shown). A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component using the green sheet laminating apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
【００２９】また、モーター５を回転駆動することによ
り、支持フィルム２に支持されたセラミックグリーンシ
ート３がロール１から繰り出され、ロール４側に搬送さ
れる。この搬送を一度停止した状態で、カット部材８を
降下させることによりセラミックグリーンシート３の切
断が行われる。切断はカット部材８をセラミックグリー
ンシート３側に降下させ、切断刃１１の刃先１１ａによ
りセラミックグリーンシート３を矩形環状に打ち抜くこ
とにより行われる。切断後、カット部材８は直ちに上方
に移動される。従って、カッティングステージ６の上方
において、セラミックグリーンシート３が矩形の平面形
状を有するように切断される。もっとも、上記切断は支
持フィルム２を切断するまでには至らないように行われ
る。When the motor 5 is driven to rotate, the ceramic green sheet 3 supported by the support film 2 is unwound from the roll 1 and is conveyed to the roll 4 side. With the conveyance stopped once, the cutting of the ceramic green sheet 3 is performed by lowering the cutting member 8. Cutting is performed by lowering the cutting member 8 toward the ceramic green sheet 3 and punching out the ceramic green sheet 3 into a rectangular ring by the cutting edge 11 a of the cutting blade 11. After cutting, the cutting member 8 is immediately moved upward. Therefore, above the cutting stage 6, the ceramic green sheet 3 is cut so as to have a rectangular planar shape. However, the above cutting is performed so as not to cut the support film 2.
【００３０】次に、切断されたセラミックグリーンシー
トが、積層ステージ７上まで搬送される。積層ステージ
７上において、セラミックグリーンシート３の搬送を一
旦停止し、あるいは停止することなく積層部材９が降下
され、積層面９ａにセラミックグリーンシート３が圧着
される。この場合、積層部材９の積層面９ａが、切断さ
れた矩形の平面形状を有するセラミックグリーンシート
３ａに接触するように、積層部材９の位置決め及びセラ
ミックグリーンシート３の切断されている部分の位置決
めが行われて積層が行われる。Next, the cut ceramic green sheet is transported onto the stacking stage 7. On the stacking stage 7, the transfer of the ceramic green sheet 3 is temporarily stopped, or the stacking member 9 is lowered without stopping, and the ceramic green sheet 3 is pressed on the stacking surface 9a. In this case, positioning of the laminated member 9 and positioning of the cut portion of the ceramic green sheet 3 are performed such that the laminated surface 9a of the laminated member 9 contacts the cut ceramic green sheet 3a having a rectangular planar shape. The stacking is performed.
【００３１】積層部材９を降下させ、積層面９ａに切断
されているセラミックグリーンシート３ａを圧着し、吸
引孔１２から吸引することによりセラミックグリーンシ
ート３を積層面９ａ上に吸引・保持することができる。
しかる後積層部材９を上方に移動させることにより、積
層面９ａにセラミックグリーンシート３ａが積層され
る。The ceramic green sheet 3a cut on the laminating surface 9a is pressed down, and the ceramic green sheet 3 is suctioned and held on the laminating surface 9a by suctioning through the suction hole 12. it can.
Then, the ceramic green sheets 3a are stacked on the stacking surface 9a by moving the stacking member 9 upward.
【００３２】この操作を繰り返すことにより、積層面９
ａに、図示のように複数枚のセラミックグリーンシート
３ａが積層され、積層体１５が得られる。なお、複数枚
のセラミックグリーンシート３ａの内、一部のセラミッ
クグリーンシート３ａには、図１では示していないが、
積層セラミックコンデンサを構成するための内部電極が
印刷されている。By repeating this operation, the laminated surface 9
a, a plurality of ceramic green sheets 3a are laminated as shown in the figure, and a laminate 15 is obtained. Although not shown in FIG. 1 for some of the ceramic green sheets 3a among the plurality of ceramic green sheets 3a,
Internal electrodes for forming the multilayer ceramic capacitor are printed.
【００３３】図２は、本実施例において積層される矩形
のセラミックグリーンシートを説明するための模式的分
解斜視図である。本実施例では、多数の積層セラミック
コンデンサを構成するために、複数枚の矩形のセラミッ
クグリーンシートのうち、厚み方向中央に位置する複数
枚のセラミックグリーンシート３ａ上に多数の内部電極
１３，１４が印刷されている。内部電極１３，１４の印
刷は導電ペーストのスクリーン印刷などの適宜の方法に
より行われる。それぞれの内部電極１３，１４が厚み方
向において交互に位置するように内部電極を有する複数
枚のセラミックグリーンシート３ａが積層され、さらに
上下に無地のセラミックグリーンシート３ａが積層され
る。FIG. 2 is a schematic exploded perspective view for explaining rectangular ceramic green sheets laminated in the present embodiment. In this embodiment, in order to form a large number of multilayer ceramic capacitors, a large number of internal electrodes 13 and 14 are formed on a plurality of ceramic green sheets 3a located at the center in the thickness direction among a plurality of rectangular ceramic green sheets. Printed. Printing of the internal electrodes 13 and 14 is performed by an appropriate method such as screen printing of a conductive paste. A plurality of ceramic green sheets 3a having internal electrodes are stacked such that the internal electrodes 13 and 14 are alternately positioned in the thickness direction, and plain ceramic green sheets 3a are stacked vertically.
【００３４】すなわち、図１において、長尺状のセラミ
ックグリーンシート３には、図２に示す積層構造を有す
る積層体１５が得られるように内部電極１３，１４が印
刷されている。That is, in FIG. 1, the internal electrodes 13 and 14 are printed on the long ceramic green sheet 3 so as to obtain a laminate 15 having a laminate structure shown in FIG.
【００３５】積層体１５は、積層部材９の積層面９ａか
ら吸引孔１２による吸引を除去した状態で取り外され、
厚み方向に再度加圧される。次に、該積層体１５を切断
して、個々の積層体にして焼成することにより、図３に
示すセラミック焼結体１６が得られる。そして、図４に
示すようにセラミック焼結体１６の端面１６ａ，１６ｂ
に外部電極１７，１８を形成することにより、積層セラ
ミック部品としての積層コンデンサ１９が得られる。The laminated body 15 is removed from the laminating surface 9a of the laminated member 9 in a state where suction by the suction holes 12 is removed.
Pressure is applied again in the thickness direction. Next, the laminated body 15 is cut into individual laminated bodies and fired, whereby a ceramic sintered body 16 shown in FIG. 3 is obtained. Then, as shown in FIG. 4, the end faces 16a, 16b of the ceramic sintered body 16 are formed.
By forming the external electrodes 17 and 18 on the substrate 1, a multilayer capacitor 19 as a multilayer ceramic component is obtained.
【００３６】なお、本発明は、積層コンデンサだけでな
く、セラミック多層基板などの他の積層セラミック電子
部品の製造にも適用することができる。本実施例のグリ
ーンシート積層装置を用いた場合に、予めカット部材８
によりセラミックグリーンシート３の切断が行われ、次
に下流側に配置された積層部材９により切断されたセラ
ミックグリーンシート３ａの積層が行われる。従って、
切断後には積層面９ａ上に積層された複数枚のセラミッ
クグリーンシート３ａの切断面が切断刃１１に接触する
ことはない。よって、セラミックグリーンシート３ａ間
の密着性に優れた積層体１５を得ることができる。ま
た、切断刃１１に既に切断されたセラミックグリーンシ
ート３ａが接触しないので、切断に際してのグリーンシ
ート屑も付着し難い。The present invention can be applied not only to a multilayer capacitor, but also to the manufacture of other multilayer ceramic electronic components such as a ceramic multilayer substrate. When the green sheet laminating apparatus of this embodiment is used, the cutting member 8
Cuts the ceramic green sheet 3, and then stacks the cut ceramic green sheet 3 a by the laminating member 9 arranged on the downstream side. Therefore,
After the cutting, the cut surfaces of the plurality of ceramic green sheets 3a stacked on the stacked surface 9a do not come into contact with the cutting blade 11. Therefore, it is possible to obtain the laminate 15 having excellent adhesion between the ceramic green sheets 3a. Further, since the already cut ceramic green sheet 3a does not come into contact with the cutting blade 11, green sheet debris at the time of cutting hardly adhere.
【００３７】よって、積層体１５を用いて得られた焼結
体１６における層間剥離現象を確実に抑制することがで
き、信頼性に優れた積層コンデンサ１９を得ることがで
きる。Therefore, the delamination phenomenon in the sintered body 16 obtained by using the multilayer body 15 can be surely suppressed, and the multilayer capacitor 19 having excellent reliability can be obtained.
【００３８】図１に示したグリーンシート積層装置で
は、長尺状のセラミックグリーンシート３の長さ方向に
セラミックグリーンシート３が搬送され、上流側にカッ
ト部材８が下流側に積層部材９が配置されていたが、本
発明にかかるグリーンシート積層装置は、様々に変形す
ることができる。In the green sheet laminating apparatus shown in FIG. 1, the ceramic green sheet 3 is transported in the longitudinal direction of the long ceramic green sheet 3, and the cut member 8 is arranged on the upstream side and the laminated member 9 is arranged on the downstream side. However, the green sheet laminating apparatus according to the present invention can be variously modified.
【００３９】図５は、上記実施例のグリーンシート積層
装置の第１の変形例を説明するための略図的断面図であ
る。図５に示すグリーンシート積層装置２１では、上記
実施例と同様に、一対のロール間において長尺状のセラ
ミックグリーンシート３が支持フィルム２に支持された
状態で搬送される。図５において、セラミックグリーン
シート３の長さ方向は図面の紙面−紙背方向である。図
５では、セラミックグリーンシート３及び支持フィルム
２が、カッティング・積層ステージ２２上に位置してい
る状態の断面が示されている。FIG. 5 is a schematic sectional view for explaining a first modification of the green sheet laminating apparatus of the above embodiment. In the green sheet laminating apparatus 21 shown in FIG. 5, the long ceramic green sheet 3 is conveyed between the pair of rolls while being supported by the support film 2, as in the above-described embodiment. In FIG. 5, the length direction of the ceramic green sheet 3 is the paper surface-paper back direction in the drawing. FIG. 5 shows a cross section where the ceramic green sheet 3 and the support film 2 are located on the cutting / stacking stage 22.
【００４０】他方、セラミックグリーンシート３の上方
には、カット部材８と積層部材９とが配置されている。
カット部材８及び積層部材９は第１の実施例と同様に構
成されている。異なるところは、セラミックグリーンシ
ート３の搬送方向と直交する方向にカット部材８及び積
層部材９が配置されていることにある。また、カット部
材８と積層部材９とは、移動部材２３により図示の矢印
Ａ方向、すなわちセラミックグリーンシート３の搬送方
向と直交する方向に移動されるように構成されている。
この移動部材２３は、図５に示す状態、すなわちカット
部材８がセラミックグリーンシート３を切断するために
セラミックグリーンシート３の上方に位置する第１の状
態と、積層部材９がセラミックグリーンシート３の上方
に位置し、切断されたセラミックグリーンシートを積層
するための第２の状態とをとり得るように、カット部材
８及び積層部材９を図示の矢印Ａ方向に移動させるよう
に構成されている。移動部材２３の駆動源については、
特に限定されないが、適宜の往復駆動源を用いることが
できる。On the other hand, above the ceramic green sheet 3, a cut member 8 and a laminated member 9 are arranged.
The cut member 8 and the laminated member 9 are configured in the same manner as in the first embodiment. The difference is that the cutting member 8 and the laminating member 9 are arranged in a direction orthogonal to the conveying direction of the ceramic green sheet 3. The cut member 8 and the laminated member 9 are configured to be moved by the moving member 23 in the direction of arrow A shown in the drawing, that is, in the direction orthogonal to the direction in which the ceramic green sheet 3 is conveyed.
The moving member 23 is in the state shown in FIG. 5, that is, the first state in which the cutting member 8 is located above the ceramic green sheet 3 for cutting the ceramic green sheet 3, and the laminating member 9 is in the state shown in FIG. The cutting member 8 and the laminating member 9 are configured to be moved in the direction of the arrow A shown in the drawing so that the cutting member 8 and the laminating member 9 are positioned above and can assume a second state for laminating the cut ceramic green sheets. Regarding the driving source of the moving member 23,
Although not particularly limited, an appropriate reciprocating drive source can be used.
【００４１】本実施例のグリーンシート積層装置２１を
用いた場合に、図示のカッティング・積層ステージ２２
上において、セラミックグリーンシート３の搬送が一旦
停止され、その状態でまずカット部材８によりセラミッ
クグリーンシート３の切断が行われ、次に移動部材２３
を第１の状態から第２の状態まで移動させることによ
り、積層部材９が切断されたセラミックグリーンシート
の上方に位置される。そして、第２の状態において、切
断されたセラミックグリーンシート３ａの積層が積層部
材９により行われる。このように、カット部材８及び積
層部材９は、セラミックグリーンシート３の搬送方向と
直交する方向に配置されていてもよい。When the green sheet laminating apparatus 21 of this embodiment is used, the cutting / laminating stage 22 shown in FIG.
Above, the conveyance of the ceramic green sheet 3 is temporarily stopped, and in that state, first, the cutting of the ceramic green sheet 3 is performed by the cutting member 8, and then the moving member 23 is cut.
Is moved from the first state to the second state, whereby the laminated member 9 is positioned above the cut ceramic green sheet. Then, in the second state, lamination of the cut ceramic green sheets 3 a is performed by the lamination member 9. Thus, the cut member 8 and the laminated member 9 may be arranged in a direction orthogonal to the direction in which the ceramic green sheet 3 is conveyed.
【００４２】図６は、図５に示したグリーンシート積層
装置を略図的に示す平面図である。セラミックグリーン
シート３の搬送方向に直交する方向において、カット部
材８と積層部材９とが配置されており、矢印Ａで示すよ
うに移動部材２３により上記第１の状態と第２の状態と
をとり得るようにカット部材８及び積層部材９の位置が
移動される。FIG. 6 is a plan view schematically showing the green sheet laminating apparatus shown in FIG. A cutting member 8 and a laminating member 9 are arranged in a direction orthogonal to the conveying direction of the ceramic green sheet 3, and the first state and the second state are set by the moving member 23 as shown by an arrow A. The positions of the cutting member 8 and the laminating member 9 are moved so as to obtain them.
【００４３】上記の実施例及び上記第１の変形例では、
ロールに巻回された長尺状のセラミックグリーンシート
３を用いたが、本発明にかかるグリーンシート積層装置
では、ある長さ寸法を有するセラミックグリーンシー
ト、例えば矩形の平面形状を有するセラミックグリーン
シートを用いてもよい。In the above embodiment and the first modified example,
Although a long ceramic green sheet 3 wound on a roll was used, the green sheet laminating apparatus according to the present invention uses a ceramic green sheet having a certain length dimension, for example, a ceramic green sheet having a rectangular planar shape. May be used.
【００４４】図７に示す第２の変形例では、矩形の合成
樹脂フィルムからなる支持フィルム３２上に矩形のセラ
ミックグリーンシート３１が支持されている。ここで
は、この矩形のセラミックグリーンシート３１がカット
部材８及び積層部材９を備えるグリーンシート積層装置
に供給される。図８に示すように、カット部材及び積層
部材９は、上述した実施例のカット部材８及び積層部材
９と全く同様に構成されている。In the second modification shown in FIG. 7, a rectangular ceramic green sheet 31 is supported on a support film 32 made of a rectangular synthetic resin film. Here, the rectangular ceramic green sheet 31 is supplied to a green sheet laminating apparatus including the cutting member 8 and the laminating member 9. As shown in FIG. 8, the cut member and the laminated member 9 have exactly the same configuration as the cut member 8 and the laminated member 9 of the above-described embodiment.
【００４５】第２の変形例では、上記のように、矩形の
セラミックグリーンシート３１が矩形の支持フィルム３
２上に支持された状態で、搬送ユニット３３上に載置さ
れている。搬送ユニット３３は、上面３３ａが平坦面と
されている。従って、搬送ユニット３３を移動し、カッ
ト部材８の下方に位置されることにより、その状態でセ
ラミックグリーンシート３１をカット部材８により切断
することができる。次に、搬送ユニット３３を積層部材
９の下方に移動させることにより、積層部材９により切
断されたセラミックグリーンシート３１ａを積層するこ
とができる。In the second modification, as described above, the rectangular ceramic green sheet 31 is
2 while being supported on the transfer unit 33. The upper surface 33a of the transport unit 33 is a flat surface. Therefore, the ceramic green sheet 31 can be cut by the cutting member 8 in that state by moving the transport unit 33 and being positioned below the cutting member 8. Next, by moving the transport unit 33 below the laminated member 9, the ceramic green sheets 31a cut by the laminated member 9 can be laminated.
【００４６】従って、搬送ユニット３３を、カット部材
８及び積層部材９の各下方に順次移動することにより、
前述した実施例の場合と同様に、セラミックグリーンシ
ートの切断及び積層を行うことができる。図７及び図８
に示した第１の変形例では、搬送ユニット３３による搬
送方向の上流側にカット部材８が、下流側に積層部材９
が配置されている。Therefore, by sequentially moving the transport unit 33 below each of the cutting member 8 and the laminating member 9,
As in the case of the above-described embodiment, the cutting and lamination of the ceramic green sheet can be performed. 7 and 8
In the first modification shown in FIG. 5, the cut member 8 is provided on the upstream side in the transport direction by the transport unit 33, and the laminated member 9 is provided on the downstream side.
Is arranged.
【００４７】図９は、図７及び図８に示したグリーンシ
ート積層装置のさらなる変形例を説明するための模式的
平面図である。図９に示すグリーンシート積層装置４１
では、搬送ユニット３３が、図示の矢印Ｘ及び−Ｘ方向
に移動し得るように構成されている。この搬送ユニット
３３上に、矩形のセラミックグリーンシート３１が矩形
の合成樹脂フィルムに支持された状態で載置されてい
る。搬送ユニット３３は、図９に示す供給位置と、カッ
ト部材８の下方に位置する加工位置との間で矢印Ｘ方向
及び矢印−Ｘ方向に移動し得るように構成されている。FIG. 9 is a schematic plan view for explaining a further modification of the green sheet laminating apparatus shown in FIGS. Green sheet laminating apparatus 41 shown in FIG.
Thus, the transport unit 33 is configured to be able to move in the directions indicated by the arrows X and -X. A rectangular ceramic green sheet 31 is placed on the transport unit 33 while being supported by a rectangular synthetic resin film. The transport unit 33 is configured to be movable in the arrow X direction and the arrow −X direction between a supply position shown in FIG. 9 and a processing position located below the cutting member 8.
【００４８】他方、カット部材８及び積層部材９は、図
５に示した変形例と同様に移動部材２３により連結され
ており、図９に示した第１の状態と、積層部材９が上記
加工位置の上方に位置する第２の状態とをとり得るよう
に構成されている。なお、Ｘ方向及び−Ｘ方向と、移動
部材２３によるカット部材８及び積層部材９の移動方向
は直交しているが、特に直交する関係に限定されるもの
ではない。従って、セラミックグリーンシート３１を上
記加工位置に移動した状態において、まずカット部材８
によりセラミックグリーンシート３１の切断を行い、次
に移動部材２３を第２の状態とし、積層部材９を切断さ
れたセラミックグリーンシート上の上方に位置させる。
この状態で、積層部材９によるセラミックグリーンシー
トの積層が行われる。On the other hand, the cut member 8 and the laminated member 9 are connected by the moving member 23 as in the modification shown in FIG. 5, and the first state shown in FIG. It is configured to be able to assume a second state located above the position. Note that, although the X direction and the −X direction are orthogonal to the moving directions of the cut member 8 and the laminated member 9 by the moving member 23, the relationship is not particularly limited to the orthogonal direction. Therefore, in a state where the ceramic green sheet 31 is moved to the processing position, first, the cutting member 8 is cut.
Then, the moving member 23 is set to the second state, and the laminated member 9 is positioned above the cut ceramic green sheet.
In this state, the lamination of the ceramic green sheets by the laminating member 9 is performed.
【００４９】上述した各変形例から明らかなように、本
発明におけるカット部材及び積層部材の配置形態、並び
に長尺状またはある長さ寸法を有するセラミックグリー
ンシートの搬送方向や供給方法については特に限定され
るものではない。As is apparent from the above-described modifications, the arrangement of the cut member and the laminated member in the present invention, and the conveying direction and supply method of the ceramic green sheet having a long or a certain length are not particularly limited. It is not something to be done.
【００５０】[0050]
【発明の効果】本発明にかかるグリーンシート積層装置
を用いた場合、本発明にかかるグリーンシート積層方法
に従ってグリーンシートの積層方法が行われる。すなわ
ち、カット部材と積層部材とが別部材として構成されて
おり、搬送されてきたセラミックグリーンシートがカッ
ト部材により所定の平面形状を有するように切断され、
切断されたセラミックグリーンシートが積層部材の積層
面上に積層される。When the green sheet laminating apparatus according to the present invention is used, a green sheet laminating method is performed according to the green sheet laminating method according to the present invention. That is, the cut member and the laminated member are configured as separate members, and the conveyed ceramic green sheet is cut by the cut member so as to have a predetermined planar shape,
The cut ceramic green sheets are laminated on the laminated surface of the laminated member.
【００５１】従来のカット及び積層が単一のヘッドで行
われるグリーンシート積層方法では、切断刃の内面に積
層されているセラミックグリーンシートの切断面が接触
し、切断の度に該切断面がこすられることになる。従っ
て、セラミック焼結体において層間剥離現象が生じた
り、グリーンシート屑により切断不良が生じがちであっ
たのに対し、本発明にかかるグリーンシート積層装置及
び積層方法によれば、このような層間剥離現象を確実に
抑制することができ、さらに切断及び積層を連続的にか
つ安定に行うことが可能となる。In the conventional green sheet laminating method in which cutting and laminating are performed by a single head, the cut surface of the laminated ceramic green sheet is brought into contact with the inner surface of the cutting blade, and the cut surface is rubbed every time cutting is performed. Will be done. Therefore, in the ceramic sintered body, the delamination phenomenon or the cutting failure due to the green sheet debris tends to occur. On the other hand, according to the green sheet laminating apparatus and the laminating method of the present invention, such delamination is caused. The phenomenon can be reliably suppressed, and the cutting and lamination can be performed continuously and stably.
【００５２】従って、本発明にかかるグリーンシート積
層方法を用いることにより、本発明にかかる積層セラミ
ック電子部品の製造方法に従って、デラミネーションの
少ない、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を提供
することが可能となる。Therefore, by using the green sheet laminating method according to the present invention, it is possible to provide a multilayer ceramic electronic component having less delamination and excellent reliability according to the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention. It becomes possible.
【図１】本発明の一実施例にかかるグリーンシート積層
装置及びグリーンシートの積層方法を説明するための略
図的正面断面図。FIG. 1 is a schematic front sectional view for explaining a green sheet laminating apparatus and a green sheet laminating method according to one embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例において積層されるセラミッ
クグリーンシートを説明するための分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view for explaining ceramic green sheets laminated in one embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例で得られる焼結体を説明する
ための正面断面図。FIG. 3 is a front sectional view for explaining a sintered body obtained in one embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施例で得られる積層セラミックコ
ンデンサを示す正面断面図。FIG. 4 is a front sectional view showing a multilayer ceramic capacitor obtained in one embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施例のグリーンシート積層装置の第
１の変形例を説明するための正面断面図。FIG. 5 is a front cross-sectional view for explaining a first modification of the green sheet laminating apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図６】図５に示した変形例のグリーンシート積層装置
を説明するための模式的平面図。FIG. 6 is a schematic plan view for explaining a green sheet laminating apparatus of a modified example shown in FIG.
【図７】本発明の実施例のグリーンシート積層装置の第
２の変形例を説明するための模式的平面図。FIG. 7 is a schematic plan view for explaining a second modification of the green sheet laminating apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図８】図７に示した変形例のグリーンシート積層装置
の正面断面図。FIG. 8 is a front sectional view of a green sheet laminating apparatus according to a modification shown in FIG. 7;
【図９】本発明の実施例のグリーンシート積層装置の第
３の変形例を説明するための模式的平面図。FIG. 9 is a schematic plan view for explaining a third modification of the green sheet laminating apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図１０】従来のグリーンシート積層装置を説明するた
めの正面断面図。FIG. 10 is a front sectional view for explaining a conventional green sheet laminating apparatus.
１…ロール ２…支持フィルム ３…セラミックグリーンシート ３ａ…セラミックグリーンシート ４…ロール ６…カッティングステージ ７…積層ステージ ８…カット部材 ９…積層部材 ９ａ…積層面 １０…本体 １１…切断刃 １２…吸引孔 １３，１４…内部電極 １５…積層体 １６…セラミック焼結体 １７，１８…外部電極 １９…積層セラミックコンデンサ ２１…グリーンシート積層装置 ２３…移動部材 ３１…セラミックグリーンシート ３１ａ…セラミックグリーンシート ３２…支持フィルム ３３…搬送ユニット ４１…グリーンシート積層装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Roll 2 ... Support film 3 ... Ceramic green sheet 3a ... Ceramic green sheet 4 ... Roll 6 ... Cutting stage 7 ... Lamination stage 8 ... Cutting member 9 ... Laminating member 9a ... Lamination surface 10 ... Main body 11 ... Cutting blade 12 ... Suction Holes 13, 14 Internal electrode 15 Laminated body 16 Ceramic sintered body 17, 18 External electrode 19 Multilayer ceramic capacitor 21 Green sheet laminating device 23 Moving member 31 Ceramic green sheet 31a Ceramic green sheet 32 Support film 33 ... Conveying unit 41 ... Green sheet laminating device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4G055 AA08 AC09 BA22 BB03 BB12 5E082 AB03 KK01 LL02 5E346 AA02 AA12 CC02 CC16 CC31 EE24 EE29 GG01 GG04 GG08 GG09 HH33 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4G055 AA08 AC09 BA22 BB03 BB12 5E082 AB03 KK01 LL02 5E346 AA02 AA12 CC02 CC16 CC31 EE24 EE29 GG01 GG04 GG08 GG09 HH33
Claims (6)
クグリーンシートを積層するためのグリーンシート積層
装置であって、 セラミックグリーンシートを搬送する搬送部材と、 前記搬送部材によって搬送されてきたセラミックグリー
ンシートを所定の平面形状を有するように切断するため
の切断刃を備えたカット部材と、 前記カット部材により切断された所定の平面形状のセラ
ミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離し、
積層する積層面を備える積層部材とを備えることを特徴
とするグリーンシート積層装置。1. A green sheet laminating apparatus for laminating ceramic green sheets supported by a carrier film, comprising: a conveying member for conveying the ceramic green sheets; and a ceramic green sheet conveyed by the conveying member. A cutting member provided with a cutting blade for cutting so as to have a planar shape, a ceramic green sheet having a predetermined planar shape cut by the cutting member is peeled from the carrier film,
A green sheet laminating device comprising: a laminating member having a laminating surface to be laminated.
有し、該吸引孔に連結された吸引手段をさらに備える、
請求項１に記載のグリーンシート積層装置。2. The stacking member has a suction hole opened in a stacking surface, and further includes suction means connected to the suction hole.
The green sheet laminating apparatus according to claim 1.
セラミックグリーンシートであり、前記セラミックグリ
ーンシートの搬送方向がセラミックグリーンシートの長
さ方向であり、該長さ方向と直交する方向において前記
カット部材及び前記積層部材が並べられており、 前記セラミックグリーンシートを切断するためにセラミ
ックグリーンシートの上方にカット部材が位置する第１
の状態と、切断されたセラミックグリーンシートを圧着
・積層するために積層部材がセラミックグリーンシート
の上方に位置する第２の状態とをとり得るように、カッ
ト部材及び積層部材を移動させる移動部材をさらに備え
る、請求項１または２に記載のグリーンシート積層装
置。3. The ceramic green sheet is a long ceramic green sheet, and the conveying direction of the ceramic green sheet is a length direction of the ceramic green sheet, and the cutting member and the cutting member are arranged in a direction orthogonal to the length direction. A first member in which the laminated members are arranged, and a cutting member is located above the ceramic green sheet for cutting the ceramic green sheet;
And a moving member for moving the cut member and the laminated member so that the laminated member can assume a second state in which the laminated member is located above the ceramic green sheet in order to press and laminate the cut ceramic green sheets. The green sheet laminating apparatus according to claim 1, further comprising:
トがある長さ寸法を有し、 前記キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーン
シートが載置される搬送ユニットをさらに備え、 前記搬送ユニットにセラミックグリーンシートが供給さ
れる供給位置と、前記セラミックグリーンシートが切断
・積層される加工位置との間で搬送ユニットが前記搬送
部材により搬送されるように構成されており、 前記セラミックグリーンシートが切断・積層される加工
位置の上方に前記カット部材が位置する第１の状態と、
前記積層部材が加工位置の上方に位置する第２の状態と
をとり得るようにカット部材及び積層部材を移動させる
移動部材をさらに備える、請求項１または２に記載のグ
リーンシート積層装置。4. The apparatus according to claim 1, wherein the ceramic green sheet to be conveyed has a certain length, and further includes a conveyance unit on which the ceramic green sheet supported by the carrier film is placed. The transport unit is configured to be transported by the transport member between a supply position where the ceramic green sheet is supplied and a processing position where the ceramic green sheet is cut and laminated, and the ceramic green sheet is cut and laminated. A first state in which the cutting member is located above a processing position;
3. The green sheet laminating apparatus according to claim 1, further comprising a moving member configured to move the cutting member and the laminating member so that the laminating member can be in a second state located above a processing position. 4.
クグリーンシートを用意する工程と、 前記セラミックグリーンシート上に電極を形成する工程
と、 前記電極が形成されたセラミックグリーンシートを所定
の平面形状を有するようにカット部材により切断する工
程と、 前記切断されたセラミックグリーンシートに積層部材の
積層面または積層面に既に積層されているセラミックグ
リーンシートを圧着させ、切断されたグリーンシートを
キャリアフィルムから剥離し、積層面上にて積層する工
程とを備え、 前記切断工程及び積層工程が順次繰り返されて積層面上
において積層体が得られることを特徴とする、グリーン
シートの積層方法。5. A step of preparing a ceramic green sheet supported by a carrier film; a step of forming an electrode on the ceramic green sheet; and a step of forming the ceramic green sheet on which the electrode is formed to have a predetermined planar shape. The step of cutting with a cutting member, and pressing the ceramic green sheet already laminated on the laminated surface or the laminated surface of the laminated member to the cut ceramic green sheet, peeling the cut green sheet from the carrier film, Laminating on a laminating surface, wherein the cutting step and the laminating step are sequentially repeated to obtain a laminated body on the laminating surface.
法により得られた積層体を切断して焼成し、セラミック
焼結体を得る工程と、 前記セラミック焼結体の外表面に複数の外部電極を形成
する工程とを備えることを特徴とする、積層セラミック
電子部品の製造方法。6. A step of cutting and firing a laminate obtained by the green sheet laminating method according to claim 5 to obtain a ceramic sintered body, and a plurality of external electrodes on an outer surface of the ceramic sintered body. Forming a multilayer ceramic electronic component.
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