JP2002250694A - 非接触式目視検査方法及び装置 - Google Patents
非接触式目視検査方法及び装置Info
- Publication number
- JP2002250694A JP2002250694A JP2001048154A JP2001048154A JP2002250694A JP 2002250694 A JP2002250694 A JP 2002250694A JP 2001048154 A JP2001048154 A JP 2001048154A JP 2001048154 A JP2001048154 A JP 2001048154A JP 2002250694 A JP2002250694 A JP 2002250694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- visual inspection
- slit
- pattern
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的は、画像の分解能の確認が簡単に
行えると共に、欠陥の寸法測定も行える非接触式目視検
査方法および装置を提供することにある。 【解決手段】本発明は寸法が既知のパターンを有するス
リットが加工された板に向けてレーザ光２を照射し、ス
リットを透過した透過光を物体に照射する。透過光が物
体で反射することにより生ずる寸法が既知の該パターン
の像を画像取込み手段３により画像として撮影し、パタ
ーンの像を基準として、画像の分解能を求める。
行えると共に、欠陥の寸法測定も行える非接触式目視検
査方法および装置を提供することにある。 【解決手段】本発明は寸法が既知のパターンを有するス
リットが加工された板に向けてレーザ光２を照射し、ス
リットを透過した透過光を物体に照射する。透過光が物
体で反射することにより生ずる寸法が既知の該パターン
の像を画像取込み手段３により画像として撮影し、パタ
ーンの像を基準として、画像の分解能を求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検体表面の割れ
などの欠陥壊検査に係わり、特にデジタルカメラやＣＣ
Ｄカメラを用いた目視検査、目視検査装置及び目視検査
支援方法に関する。
などの欠陥壊検査に係わり、特にデジタルカメラやＣＣ
Ｄカメラを用いた目視検査、目視検査装置及び目視検査
支援方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種工業製品の品質管理や各種プラント
の予防保全のために、製造物(以下被検体)の表面の欠陥
検査が行われる。検査方法としては、被検体に損傷を与
えない非破壊検査法が用いられ、特に被検体表面の欠陥
の検査には目視検査法が用いられる。目視検査法には直
接目視検査法と間接目視検査法とがある。
の予防保全のために、製造物(以下被検体)の表面の欠陥
検査が行われる。検査方法としては、被検体に損傷を与
えない非破壊検査法が用いられ、特に被検体表面の欠陥
の検査には目視検査法が用いられる。目視検査法には直
接目視検査法と間接目視検査法とがある。
【０００３】直接目視検査法は検査員が肉眼、もしくは
鏡や拡大鏡などの光学機器を用いて直接的に被検体表面
を観察することにより行う欠陥検査方法である。一方、
間接目視検査法はビデオカメラやデジタルカメラやＣＣ
Ｄカメラなどの画像機器を用いて撮像した画像から間接
的に被検体表面の欠陥を検査する方法である。また、こ
れらの目視検査において欠陥発見率の向上のためや欠陥
の形状を把握するために、浸透探傷法や磁紛探傷法を用
いた目視検査法が行われている。
鏡や拡大鏡などの光学機器を用いて直接的に被検体表面
を観察することにより行う欠陥検査方法である。一方、
間接目視検査法はビデオカメラやデジタルカメラやＣＣ
Ｄカメラなどの画像機器を用いて撮像した画像から間接
的に被検体表面の欠陥を検査する方法である。また、こ
れらの目視検査において欠陥発見率の向上のためや欠陥
の形状を把握するために、浸透探傷法や磁紛探傷法を用
いた目視検査法が行われている。
【０００４】浸透探傷法とは、浸透液と称される赤色の
溶液を被検体の表面に塗布し、一定時間後布などでこれ
を除去する。これにより、欠陥に浸透した溶液だけが残
ることになる。その後、現像液と称される白い粉の入っ
た溶剤を被検体の表面に塗布すると、現像液により欠陥
の中に浸透していた赤い浸透液が吸い上げられ、浸透液
による赤い指示模様が現れる。従来では、この浸透探傷
法による検査も、目視で行なわれていた。
溶液を被検体の表面に塗布し、一定時間後布などでこれ
を除去する。これにより、欠陥に浸透した溶液だけが残
ることになる。その後、現像液と称される白い粉の入っ
た溶剤を被検体の表面に塗布すると、現像液により欠陥
の中に浸透していた赤い浸透液が吸い上げられ、浸透液
による赤い指示模様が現れる。従来では、この浸透探傷
法による検査も、目視で行なわれていた。
【０００５】磁粉探傷法とは、主として鉄などの磁性を
有する金属の表面もしくは表面に近い部分の欠陥を検査
する方法である。この方法では、まず、蛍光磁粉を含む
溶液を被検体の表面に散布し、その後、この被検体を磁
化する。表面に欠陥があると、その部位で磁束が集中し
欠陥部分に蛍光磁粉が集まる。そこに、紫外線を照射す
ると、蛍光体が励起されて緑色に発光し、欠陥が強調さ
れることになる。
有する金属の表面もしくは表面に近い部分の欠陥を検査
する方法である。この方法では、まず、蛍光磁粉を含む
溶液を被検体の表面に散布し、その後、この被検体を磁
化する。表面に欠陥があると、その部位で磁束が集中し
欠陥部分に蛍光磁粉が集まる。そこに、紫外線を照射す
ると、蛍光体が励起されて緑色に発光し、欠陥が強調さ
れることになる。
【０００６】日本非破壊検査協会規格NDIS3421にあるよ
うに、従来の目視検査では、透明なプラスチックの板上
に様々なサイズのラインペアとスケールが印刷された目
視基準ゲージを被検体の観察面に置き、線状群中の各線
が分離して確認できる条件(明るさ、距離)を標準として
指示模様の観察を行う。この目視基準ゲージには浸透探
傷法や磁紛探傷用などがあり、目視検査の方法により使
い分ける。
うに、従来の目視検査では、透明なプラスチックの板上
に様々なサイズのラインペアとスケールが印刷された目
視基準ゲージを被検体の観察面に置き、線状群中の各線
が分離して確認できる条件(明るさ、距離)を標準として
指示模様の観察を行う。この目視基準ゲージには浸透探
傷法や磁紛探傷用などがあり、目視検査の方法により使
い分ける。
【０００７】直接目視検査の場合は肉眼で間接目視の場
合はモニタ上で上記目視基準ゲージのラインペア（１mm
当りの線と余白のペアの本数であり、3.6LP/mmが分離し
て確認できる条件で目視検査を実施することとされてい
る）が分離して確認できることが分解能の確認方法とさ
れている。
合はモニタ上で上記目視基準ゲージのラインペア（１mm
当りの線と余白のペアの本数であり、3.6LP/mmが分離し
て確認できる条件で目視検査を実施することとされてい
る）が分離して確認できることが分解能の確認方法とさ
れている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、デ
ジタルカメラやＣＣＤカメラなどを用いた目視検査を実
施する際に、取り込んだ画像の分解能の確認や欠陥の寸
法測定を行うために、被検体の検査部位ごとにプラスチ
ック製などの目視検査基準ゲージを設置する必要があっ
た。このため、水中での目視検査の実施や被検体が高温
である場合には適用することが困難であった。
ジタルカメラやＣＣＤカメラなどを用いた目視検査を実
施する際に、取り込んだ画像の分解能の確認や欠陥の寸
法測定を行うために、被検体の検査部位ごとにプラスチ
ック製などの目視検査基準ゲージを設置する必要があっ
た。このため、水中での目視検査の実施や被検体が高温
である場合には適用することが困難であった。
【０００９】本発明の目的は、画像の分解能の確認が簡
単に行えると共に、欠陥の寸法測定も行える非接触式目
視検査方法および装置を提供することにある。
単に行えると共に、欠陥の寸法測定も行える非接触式目
視検査方法および装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、物体表面の検
査領域を目視検査する間接目視検査において、寸法が既
知のパターンを有するスリットが加工された板に向けて
光を照射し、スリットを透過した透過光を物体に照射
し、透過光が物体で反射することにより生ずる寸法が既
知の該パターンの像を画像として撮影し、パターンの像
を基準として、画像の分解能を求めることを特徴とす
る。
査領域を目視検査する間接目視検査において、寸法が既
知のパターンを有するスリットが加工された板に向けて
光を照射し、スリットを透過した透過光を物体に照射
し、透過光が物体で反射することにより生ずる寸法が既
知の該パターンの像を画像として撮影し、パターンの像
を基準として、画像の分解能を求めることを特徴とす
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
を図１から図３により説明する。
を図１から図３により説明する。
【００１２】図１は本実施形態に係る非接触式目視検査
装置による構成図である。
装置による構成図である。
【００１３】図１において、１は光学式目視基準ゲージ
発信器、３はデジタルカメラやＣＣＤカメラなどの画像
取り込み手段、４は光学式目視基準ゲージ発信器の照射
位置調整機構、９aは画像データ受信手段であるコンピ
ュータ、９bは画像表示手段であるディスプレイ、９cは
データ収録装置である。
発信器、３はデジタルカメラやＣＣＤカメラなどの画像
取り込み手段、４は光学式目視基準ゲージ発信器の照射
位置調整機構、９aは画像データ受信手段であるコンピ
ュータ、９bは画像表示手段であるディスプレイ、９cは
データ収録装置である。
【００１４】図２は本実施形態に係る非接触式目視検査
装置における線状光学式目視基準ゲージ発信器の装置の
構成図である。
装置における線状光学式目視基準ゲージ発信器の装置の
構成図である。
【００１５】図２において、１０は平行ビームのレーザ
発信器、１２はレーザ光拡大用レンズ、１３は線状光学
式目視ゲージ生成用のスリット板であり、複数のスリッ
ト１５ｂがスリットと同じ間隔の余白をもって等間隔に
加工されている。１４は光学式目視基準ゲージを任意の
向きに経典させるスリット板回転機構である。
発信器、１２はレーザ光拡大用レンズ、１３は線状光学
式目視ゲージ生成用のスリット板であり、複数のスリッ
ト１５ｂがスリットと同じ間隔の余白をもって等間隔に
加工されている。１４は光学式目視基準ゲージを任意の
向きに経典させるスリット板回転機構である。
【００１６】レーザ発信器１０は被検体上でのレーザ光
の強度により引き起こされる乱反射による影響を考慮し
て、光線の強度の調節機能を有するものとする。また、
スリット板１３は様々な寸法のスリットを加工したもの
と任意に交換可能、あるいは様々な寸法のスリットが同
一面上に加工されているものとする。
の強度により引き起こされる乱反射による影響を考慮し
て、光線の強度の調節機能を有するものとする。また、
スリット板１３は様々な寸法のスリットを加工したもの
と任意に交換可能、あるいは様々な寸法のスリットが同
一面上に加工されているものとする。
【００１７】次に、本実施形態の非接触式目視検査装置
の動作について説明する。
の動作について説明する。
【００１８】レーザ発信器１０から発信された平行ビー
ムのレーザ光１１は、レーザ光拡大用レンズ１２により
拡大され、スリット１３に入射する。良く知られている
ようにレーザ光はコヒーレントな光であるので、スリッ
ト１３を通過したとき、スリットの形状と寸法を維持し
たまま目視基準ゲージ形レーザ光２として広がること無
く直進し、被検体７の表面に照射され、被検体上に映写
された光学式目視基準ゲージの像８となる。
ムのレーザ光１１は、レーザ光拡大用レンズ１２により
拡大され、スリット１３に入射する。良く知られている
ようにレーザ光はコヒーレントな光であるので、スリッ
ト１３を通過したとき、スリットの形状と寸法を維持し
たまま目視基準ゲージ形レーザ光２として広がること無
く直進し、被検体７の表面に照射され、被検体上に映写
された光学式目視基準ゲージの像８となる。
【００１９】もし、光学式目視基準ゲージの像８が被検
体の撮像領域６内に照射されていない場合は光学式目視
基準ゲージ発信器の照射位置調整機構４により照射位置
を調整する。
体の撮像領域６内に照射されていない場合は光学式目視
基準ゲージ発信器の照射位置調整機構４により照射位置
を調整する。
【００２０】次に画像取り込み手段３により被検体の撮
像領域６と光学式目視基準ゲージの像８を同時に撮影す
る。撮像した画像中の光学式目視基準ゲージの像８のパ
ターンが認識できる場合は、スリット１３とスリット１
３間の余白部分により決定されるラインペアの値（１mm
当りの線と余白のペアの本数）より画像の分解能を求め
る。
像領域６と光学式目視基準ゲージの像８を同時に撮影す
る。撮像した画像中の光学式目視基準ゲージの像８のパ
ターンが認識できる場合は、スリット１３とスリット１
３間の余白部分により決定されるラインペアの値（１mm
当りの線と余白のペアの本数）より画像の分解能を求め
る。
【００２１】光学式目視基準ゲージの像８のパターンが
分離して認識できる最小のラインペアの値が画像の最小
分解能となる。また、撮影された画像中に欠陥５が存在
する場合にはスリット板回転機構１４を欠陥の寸法測定
がしやすい向きに回転させ、光学式目視基準ゲージの像
８のパターンの幅及び長さとの比較により、欠陥５の幅
と長さの寸法を測定する。さらに、取り込んだ画像はデ
ータ収録装置９cにより保存し、その後の閲覧ができる
ものとする。データ収録装置９cではＨＤ、ＦＤ、ＣＤ
―Ｒ、ＭＯ、ＤＶＤ−ＲＡＭなどの記憶媒体を用いる。
分離して認識できる最小のラインペアの値が画像の最小
分解能となる。また、撮影された画像中に欠陥５が存在
する場合にはスリット板回転機構１４を欠陥の寸法測定
がしやすい向きに回転させ、光学式目視基準ゲージの像
８のパターンの幅及び長さとの比較により、欠陥５の幅
と長さの寸法を測定する。さらに、取り込んだ画像はデ
ータ収録装置９cにより保存し、その後の閲覧ができる
ものとする。データ収録装置９cではＨＤ、ＦＤ、ＣＤ
―Ｒ、ＭＯ、ＤＶＤ−ＲＡＭなどの記憶媒体を用いる。
【００２２】次に、光学式目視基準ゲージ８の照射角度
によるラインペア値の補正について図６を用いて説明す
る。
によるラインペア値の補正について図６を用いて説明す
る。
【００２３】画像取り込み手段の光軸２０に対して任意
の角度θで、光学式目視基準ゲージ８生成のためのレー
ザ光２を被検体に照射した場合、画像取り込み手段３を
通してディスプレイ上９bに映し出される目視基準ゲー
ジのラインの幅は、光学式目視基準ゲージ発信器１のス
リット板１３におけるのスリットの幅をL、被検体表面
での光学式目視基準ゲージにおけるレーザ光の線幅xと
すると、
の角度θで、光学式目視基準ゲージ８生成のためのレー
ザ光２を被検体に照射した場合、画像取り込み手段３を
通してディスプレイ上９bに映し出される目視基準ゲー
ジのラインの幅は、光学式目視基準ゲージ発信器１のス
リット板１３におけるのスリットの幅をL、被検体表面
での光学式目視基準ゲージにおけるレーザ光の線幅xと
すると、
【００２４】
【数１】
【００２５】で表され、これを用いてラインペアの値を
補正することができる。ただし、ここでは画像取り込み
手段３の光軸２０は被検体に対して垂直であるとしてい
る。
補正することができる。ただし、ここでは画像取り込み
手段３の光軸２０は被検体に対して垂直であるとしてい
る。
【００２６】第１の実施の形態のスリット板の代わり
に、フリンジ状のスリット板を用いた例を図１と図４を
用いて説明する。
に、フリンジ状のスリット板を用いた例を図１と図４を
用いて説明する。
【００２７】フリンジ状の光学式基準ゲージ像１６a
は、レーザ発信器１とレーザ光拡大レンズ１２とその光
軸上に設置されたフリンジ状に加工されたスリット１６
ｂにより生成される。この場合、フリンジ状の光学式基
準ゲージの像１６aを被検体７の撮像領域６に照射し、
フリンジのラインペア値から撮像領域６内の全方向にわ
たっての分解能の確認と欠陥の寸法測定を同時に行う。
は、レーザ発信器１とレーザ光拡大レンズ１２とその光
軸上に設置されたフリンジ状に加工されたスリット１６
ｂにより生成される。この場合、フリンジ状の光学式基
準ゲージの像１６aを被検体７の撮像領域６に照射し、
フリンジのラインペア値から撮像領域６内の全方向にわ
たっての分解能の確認と欠陥の寸法測定を同時に行う。
【００２８】第１の実施の形態のスリット板の代わり
に、様々なサイズのスリットを同一板上に配置した例を
図１と図５を用いて説明する。この場合、様々なサイズ
の光学式基準ゲージの像１７aが被検体上映写されるの
で、スリットを取り替える手間が無くなる。分解能の確
認と欠陥の寸法測定方法は前記と同様に行う。
に、様々なサイズのスリットを同一板上に配置した例を
図１と図５を用いて説明する。この場合、様々なサイズ
の光学式基準ゲージの像１７aが被検体上映写されるの
で、スリットを取り替える手間が無くなる。分解能の確
認と欠陥の寸法測定方法は前記と同様に行う。
【００２９】第１の実施の形態のスリット板の代わり
に、様々なサイズのスリットを一列に配置した例を図１
と図６を用いて説明する。この場合も図５の様々なサイ
ズのスリットを同一板上に配置した場合と同様に、様々
なサイズの光学式基準ゲージの像１８aが被検体上映写
されるので、スリットを取り替える手間が無くなる。
に、様々なサイズのスリットを一列に配置した例を図１
と図６を用いて説明する。この場合も図５の様々なサイ
ズのスリットを同一板上に配置した場合と同様に、様々
なサイズの光学式基準ゲージの像１８aが被検体上映写
されるので、スリットを取り替える手間が無くなる。
【００３０】第２の実施の形態を図７を用いて説明す
る。
る。
【００３１】図５では光学式目視検査ゲージレーザ発信
器１を画像取り込み手段３の中に内蔵し、反射ミラー１
９により画像取り込み手段３の光軸と光学式目視検査ゲ
ージレーザ光２を同じくするものである。この場合、光
学式目視基準ゲージ１５もしくは１７が常に画像取り込
み手段の撮像領域６の中心に位置し、光学式目視検査ゲ
ージレーザ発信器１と画像取り込み手段３の相対的位置
の補正を行う必要が無い。画像の分解能の確認方法や欠
陥の寸法測定方法については上記の実施例と同様であ
る。
器１を画像取り込み手段３の中に内蔵し、反射ミラー１
９により画像取り込み手段３の光軸と光学式目視検査ゲ
ージレーザ光２を同じくするものである。この場合、光
学式目視基準ゲージ１５もしくは１７が常に画像取り込
み手段の撮像領域６の中心に位置し、光学式目視検査ゲ
ージレーザ発信器１と画像取り込み手段３の相対的位置
の補正を行う必要が無い。画像の分解能の確認方法や欠
陥の寸法測定方法については上記の実施例と同様であ
る。
【００３２】さらに、本発明はレーザ光源の種類を替え
ることで、浸透探傷法や磁紛探傷法の場合にも適用でき
る。赤色の浸透材を用いた浸透探傷法では被検体表面で
赤色に発色するヘリウム−ネオンレーザ光源や赤色半導
体レーザ光源の連続波を用いる。また、蛍光剤を用いた
磁紛探傷法では被検体表面で緑色に発色するＹＡＧレー
ザ光源の第２高調波や緑色半導体レーザ光源の連続波を
用いる。
ることで、浸透探傷法や磁紛探傷法の場合にも適用でき
る。赤色の浸透材を用いた浸透探傷法では被検体表面で
赤色に発色するヘリウム−ネオンレーザ光源や赤色半導
体レーザ光源の連続波を用いる。また、蛍光剤を用いた
磁紛探傷法では被検体表面で緑色に発色するＹＡＧレー
ザ光源の第２高調波や緑色半導体レーザ光源の連続波を
用いる。
【００３３】以上のように本発明は次のようなことを特
徴にしている。
徴にしている。
【００３４】第１は、物体表面の検査領域を目視検査す
る間接目視検査において、寸法が既知のパターンを有す
るスリットが加工された板に向けて光を照射し、スリッ
トを透過した透過光を物体に照射し、透過光が物体で反
射することにより生ずる寸法が既知のパターンの像を画
像として撮影し、パターンの像を基準として、画像の分
解能求めることを特徴とする。
る間接目視検査において、寸法が既知のパターンを有す
るスリットが加工された板に向けて光を照射し、スリッ
トを透過した透過光を物体に照射し、透過光が物体で反
射することにより生ずる寸法が既知のパターンの像を画
像として撮影し、パターンの像を基準として、画像の分
解能求めることを特徴とする。
【００３５】第２は、第１において、パターンの像の寸
法を基準として、画像中の物体表面の欠陥と比較するこ
とより、欠陥の寸法測定を行うことを特徴とする。
法を基準として、画像中の物体表面の欠陥と比較するこ
とより、欠陥の寸法測定を行うことを特徴とする。
【００３６】第３は、第１と第２において、スリットを
通す光は平行光線であることを特徴とする。
通す光は平行光線であることを特徴とする。
【００３７】第４は、第１から第３において、スリット
を通す光はレーザ光であることを特徴とする。
を通す光はレーザ光であることを特徴とする。
【００３８】第５は、物体表面の検査領域を目視検査す
る間接目視検査において、寸法が既知のパターンの像を
照射する光学式目視基準ゲージ照射手段と、画像取り込
み手段を有することを特徴とする。
る間接目視検査において、寸法が既知のパターンの像を
照射する光学式目視基準ゲージ照射手段と、画像取り込
み手段を有することを特徴とする。
【００３９】第６は、第５において、光学式目視基準ゲ
ージ照射手段は、平行光線を発する光源と、平行光線を
拡大するレンズと、スリット板を有することを特徴とす
る。
ージ照射手段は、平行光線を発する光源と、平行光線を
拡大するレンズと、スリット板を有することを特徴とす
る。
【００４０】第７は、第５と第６において、スリット板
は取替え可能な構造を備えたことを特徴とする。
は取替え可能な構造を備えたことを特徴とする。
【００４１】第８は、第５から第７において、スリット
板を回転させる回転手段を備えることを特徴とする。
板を回転させる回転手段を備えることを特徴とする。
【００４２】第９は、第５において、光学式目視基準ゲ
ージ照射手段と、前記画像取り込み手段の相対的角度の
調整手段を新たに備えたことを特徴とする。
ージ照射手段と、前記画像取り込み手段の相対的角度の
調整手段を新たに備えたことを特徴とする。
【００４３】
【発明の効果】本発明は、被検体表面に平行光線による
目視基準ゲージを映し出しているので、被検体と画像取
り込み手段との距離を測定しておく必要が無く、取り込
んだ画像の分解能の確認が簡単に行える上、欠陥の寸法
測定もできる。
目視基準ゲージを映し出しているので、被検体と画像取
り込み手段との距離を測定しておく必要が無く、取り込
んだ画像の分解能の確認が簡単に行える上、欠陥の寸法
測定もできる。
【００４４】また、光学式目視基準ゲージ発信器の照射
位置調整機により、撮像領域内の適当な位置に像を映写
できる。
位置調整機により、撮像領域内の適当な位置に像を映写
できる。
【００４５】さらに、スリット板回転機構により欠陥の
向きにあわせて光学式目視基準ゲージの像を回転できる
ので、画像の全方向の分解能確認が行え、欠陥の寸法測
定もし易くなる。その上、光学式の目視基準ゲージであ
るため、気中だけでなく水中での利用が可能であり、被
検体が高温であっても使用できる。
向きにあわせて光学式目視基準ゲージの像を回転できる
ので、画像の全方向の分解能確認が行え、欠陥の寸法測
定もし易くなる。その上、光学式の目視基準ゲージであ
るため、気中だけでなく水中での利用が可能であり、被
検体が高温であっても使用できる。
【図１】本発明の非接触式目視検査装置による第1の実
施形態を示す構成図である。
施形態を示す構成図である。
【図２】本発明の非接触式目視ゲージにおけるゲージ生
成用レーザ光発信器の装置構成を示す説明図である。
成用レーザ光発信器の装置構成を示す説明図である。
【図３】本発明の非接触式目視検査装置において線状目
視基準ゲージを被検体に照射した例と線状スリット板を
示す説明図である。
視基準ゲージを被検体に照射した例と線状スリット板を
示す説明図である。
【図４】本発明の非接触式目視検査装置においてフリン
ジ状目視基準ゲージを被検体に照射した例とフリンジ状
スリット板を示す説明図である。
ジ状目視基準ゲージを被検体に照射した例とフリンジ状
スリット板を示す説明図である。
【図５】本発明の非接触式目視検査装置において様々な
サイズの目視基準ゲージを被検体に照射した例と様々な
サイズのスリット板を示す説明図である。
サイズの目視基準ゲージを被検体に照射した例と様々な
サイズのスリット板を示す説明図である。
【図６】本発明の非接触式目視検査装置において一列に
配置した様々なサイズの状目視基準ゲージを被検体に照
射した例と一直線に配置した様々なサイズのスリットを
示す説明図である。
配置した様々なサイズの状目視基準ゲージを被検体に照
射した例と一直線に配置した様々なサイズのスリットを
示す説明図である。
【図７】本発明の非接触式目視検査装置による第２の実
施形態を示す構成図である。
施形態を示す構成図である。
【図８】本発明の非接触式目視検査装置における角度補
正方法の概念図である。
正方法の概念図である。
【符号の説明】 １ 光学式目視基準ゲージ発信器 ２ 目視基準ゲージ形レーザ光 ３ 画像取り込み手段 ４ 可動式アーム機構 ５ 欠陥 ６ 画像取り込み手段の撮像領域 ７ 被検体 ８ 被検体上に映写された光学式目視基準ゲージ、 ９a 画像受信用コンピュータ ９b 画像表示用ディスプレイ、 ９c データ収録装置 １０ レーザ発信器 １１ レーザ光 １２ レーザ光拡大用レンズ １３ ラインペア生成用スリット １４ スリット回転機構 １５a 被検体上に照射された線状光学式目視基準ゲー
ジ １５b 線状光学式目視ゲージ用スリット板 １６a 被検体上に照射されたフリンジ状光学式目視基
準ゲージ １６b フリンジ状光学式目視ゲージ用スリット板 １７a 被検体上に照射された様々なサイズの光学式目
視基準ゲージ １７b 様々なサイズの光学式目視ゲージ用スリット板 １８a 被検体上に照射された一直線に配置した様々な
サイズの光学式目視基準ゲージ １８b 一直線に配置した様々なサイズの光学式目視ゲ
ージ用スリット板 １９ レーザ反射ミラー ２０ 画像取り込み手段の光軸
ジ １５b 線状光学式目視ゲージ用スリット板 １６a 被検体上に照射されたフリンジ状光学式目視基
準ゲージ １６b フリンジ状光学式目視ゲージ用スリット板 １７a 被検体上に照射された様々なサイズの光学式目
視基準ゲージ １７b 様々なサイズの光学式目視ゲージ用スリット板 １８a 被検体上に照射された一直線に配置した様々な
サイズの光学式目視基準ゲージ １８b 一直線に配置した様々なサイズの光学式目視ゲ
ージ用スリット板 １９ レーザ反射ミラー ２０ 画像取り込み手段の光軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 妹尾 誠 茨城県日立市大みか町七丁目２番１号 株 式会社日立製作所電力・電機開発研究所内 Ｆターム(参考） 2F065 AA21 FF04 GG04 GG12 GG22 HH03 HH05 HH13 JJ03 JJ12 JJ26 RR06 UU01 2G051 AB02 AC21 AC30 BA10 BB07 CA04 EA12
Claims (9)
- 【請求項１】物体表面の検査領域を目視検査する間接目
視検査において、寸法が既知のパターンを有するスリッ
トが加工された板に向けて光を照射し、前記スリットを
透過した透過光を前記物体に照射し、前記透過光が前記
物体で反射することにより生ずる寸法が既知の前記パタ
ーンの像を画像として撮影し、前記パターンの像を基準
として、前記画像の分解能を求めることを特徴とする非
接触式目視検査方法。 - 【請求項２】請求項１において、前記パターンの像の寸
法を基準として、前記画像中の前記物体表面の欠陥と比
較することより、前記欠陥の寸法測定を行うことを特徴
とする非接触式目視検査方法。 - 【請求項３】請求項１、２のいずれか１項において、前
記スリットを通す光は平行光線であることを特徴とする
非接触式目視検査方法。 - 【請求項４】請求項１、２、３のいずれか１項におい
て、前記スリットを通す光はレーザ光であることを特徴
とする非接触式目視検査方法。 - 【請求項５】物体表面の検査領域を目視検査する間接目
視検査において、寸法が既知のパターンの像を照射する
光学式目視基準ゲージ照射手段と、画像取り込み手段を
有することを特徴とする非接触式目視検査装置。 - 【請求項６】請求項５において、前記光学式目視基準ゲ
ージ照射手段は、平行光線を発する光源と、平行光線を
拡大するレンズと、スリット板を有することを特徴とす
る非接触式目視検査装置。 - 【請求項７】請求項６において、前記スリット板は取替
え可能な構造を備えたことを特徴とする非接触式目視検
査装置。 - 【請求項８】請求項６、７のいずれか１項において、前
記スリット板を回転させる回転手段を備えることを特徴
とする非接触式目視検査装置。 - 【請求項９】請求項５において、前記光学式目視基準ゲ
ージ照射手段と、前記画像取り込み手段の相対的角度の
調整手段を設けたことを特徴とする非接触式目視検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001048154A JP3671157B2 (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | 非接触式目視検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001048154A JP3671157B2 (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | 非接触式目視検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002250694A true JP2002250694A (ja) | 2002-09-06 |
| JP3671157B2 JP3671157B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=18909465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001048154A Expired - Fee Related JP3671157B2 (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | 非接触式目視検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3671157B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008083482A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置、照明装置、モニタ装置およびプロジェクタ |
| JP2008176186A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置およびそれを用いたモニタ装置ならびに画像表示装置 |
| JP2008191649A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-08-21 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置、照明装置、画像表示装置、及びモニタ装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07318499A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面欠陥検出装置 |
| JPH07324923A (ja) * | 1993-06-07 | 1995-12-12 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 被験表面にテストパターンを投影する装置 |
| JPH1030918A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Tosoh Corp | フローマーク測定方法 |
| JP2000018921A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 寸法測定方法及び装置 |
| JP2001141664A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Hitachi Ltd | 表面検査における検査支援方法 |
-
2001
- 2001-02-23 JP JP2001048154A patent/JP3671157B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07324923A (ja) * | 1993-06-07 | 1995-12-12 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 被験表面にテストパターンを投影する装置 |
| JPH07318499A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面欠陥検出装置 |
| JPH1030918A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Tosoh Corp | フローマーク測定方法 |
| JP2000018921A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 寸法測定方法及び装置 |
| JP2001141664A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Hitachi Ltd | 表面検査における検査支援方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008083482A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置、照明装置、モニタ装置およびプロジェクタ |
| US7693193B2 (en) | 2006-09-28 | 2010-04-06 | Seiko Epson Corporation | Laser light source device, illumination device, monitor device, and projector |
| JP2008191649A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-08-21 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置、照明装置、画像表示装置、及びモニタ装置 |
| US7561604B2 (en) | 2007-01-12 | 2009-07-14 | Seiko Epson Corporation | Laser light source device, illumination device, image display device, and monitor device |
| US7899094B2 (en) | 2007-01-12 | 2011-03-01 | Seiko Epson Corporation | Laser light source device, illumination device, image display device, and monitor device |
| JP2008176186A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置およびそれを用いたモニタ装置ならびに画像表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3671157B2 (ja) | 2005-07-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10359370B2 (en) | Template substrate for use in adjusting focus offset for defect detection | |
| TW200402524A (en) | Measuring method and device for bead cut shape of electric resistance welded tube | |
| JPH06510856A (ja) | ガラスの検査方法及び装置 | |
| JP2005099028A (ja) | 粒子の高精度測定システム | |
| JP2006090740A (ja) | 配線基板の検査方法、配線基板の製造方法及び配線基板の検査装置 | |
| JP2002267416A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| WO2003044507A1 (fr) | Procede et dispositif de controle des faces d'extremite de substrats en materiau cassant | |
| JP2010276538A (ja) | 亀裂欠陥の検出方法 | |
| KR100532238B1 (ko) | 박판막 검사방법, 이에 사용되는 장치 및 검사시스템 | |
| JP7132894B2 (ja) | 磁粉探傷装置、及び磁粉探傷方法 | |
| KR100926019B1 (ko) | 결함 입자 측정 장치 및 결함 입자 측정 방법 | |
| JP2002250694A (ja) | 非接触式目視検査方法及び装置 | |
| JP2007205828A (ja) | 光学画像取得装置、パターン検査装置、光学画像取得方法、及び、パターン検査方法 | |
| JP3746433B2 (ja) | ガラス製品の製造方法及び製造装置 | |
| JP2011145160A (ja) | マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法 | |
| JP2007198761A (ja) | 欠陥検出方法および装置 | |
| JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
| JP2009229221A (ja) | 光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置 | |
| JPH1164188A (ja) | 欠陥観察装置および方法 | |
| JP5367292B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
| JP2007003332A (ja) | 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
| JP2021081222A (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| JP2002303582A (ja) | 厚板表面疵検査方法およびその装置 | |
| JP2006071512A (ja) | 三次元計測方法および三次元計測装置 | |
| CN115165915A (zh) | 一种光栅缺陷检测装置及检测方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041228 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050106 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050228 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050412 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050418 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110422 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130422 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |