JP2006071512A - 三次元計測方法および三次元計測装置 - Google Patents
三次元計測方法および三次元計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006071512A JP2006071512A JP2004256407A JP2004256407A JP2006071512A JP 2006071512 A JP2006071512 A JP 2006071512A JP 2004256407 A JP2004256407 A JP 2004256407A JP 2004256407 A JP2004256407 A JP 2004256407A JP 2006071512 A JP2006071512 A JP 2006071512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- inspection object
- foreign matter
- inspected
- cameras
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】透明または半透明の製品内の不良部分等の高さ位置の検出を高速で行う。
【解決手段】異なる角度で設置された2つのカメラ3、4の撮像範囲を合わせて、透明または半透明の被検査物W内の異物を同時に撮影し、各カメラ3、4の画面上の異物の重心位置をコンピュータ7の記憶装置に取込み、カメラ3、4による異物の位置情報に基づき、予め記憶された各カメラ3、4の設置角度およびカメラ5による被検査物Wの厚み情報等を用いた演算によって、被検査物W内の異物の高さ位置を算出する。
【選択図】図1
【解決手段】異なる角度で設置された2つのカメラ3、4の撮像範囲を合わせて、透明または半透明の被検査物W内の異物を同時に撮影し、各カメラ3、4の画面上の異物の重心位置をコンピュータ7の記憶装置に取込み、カメラ3、4による異物の位置情報に基づき、予め記憶された各カメラ3、4の設置角度およびカメラ5による被検査物Wの厚み情報等を用いた演算によって、被検査物W内の異物の高さ位置を算出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数の撮影手段を用いて被検査物を撮影し、例えば製品内の不良部分等の位置を測定する三次元計測方法および三次元計測装置に関するものである。
一般的に被測定物の高さ方向を測定するために使用される三次元計測方法としては、レーザー変位計による三角計測法や共焦点法、合焦法、スリット光による光切断法などが知られている。
三角計測式レーザー変位計は、高精度で位置検査ができ、その検査の応答時間も速いという特徴を持っているが、検査できる位置はレーザービームのスポットが当たっている一点でしかなく、このため、検査にあたってスポット位置を走査して断面形状を検査するようにしている(特許文献1参照)。この方法では検査時間が非常に長くなるため、実際の検査装置として、例えば製品内の不良部分等の検出を行う場合には、検査効率が悪く、使用できなかった。
また、他の方法として被測定物にスリット光を照射し、照射したスリット光のズレから検査を行う光切断法などが提案されている(特許文献2参照)。しかしながら、照射されるスリット光のライン状の光源幅の観点から、一回の取込み画像において光が照射されているライン上での高さ方向の情報しか得られないため、断面形状を検査するに当たり、光源のスリット光位置を等間隔で走査していかなければならず、やはり、製品内の不良部分の検出等には装置コストおよび検査効率上好適ではなかった。
特開平11−83453号公報
特開平5−60524号公報
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、被検査物に対して、被検査物内の不良部分等異物の高さ方向の位置を高速で計測することのできる三次元計測方法および三次元計測装置を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するため、本発明の三次元計測方法は、透明または半透明の被検査物に対して照明光を照射し、前記被検査物内の異物を同一断面内にあって同時に撮影可能な位置に複数の撮影手段を設置する工程と、各撮影手段によって前記被検査物内の前記異物を同時に撮影し、その撮影画像により前記異物の位置データを得る工程と、前記位置データと各撮影手段の設置角度に基づいて前記被検査物内の前記異物の高さ位置を演算する工程とを有することを特徴とする。
複数の撮影手段を用いて、それぞれ被検査物の内部を撮影し、デジタル処理することにより、異物の高さ方向の位置を測定する。
複数の撮影手段で同時に撮影する一回の取込み画像による画像データに基づき演算処理を行うものであるため、製品内の不良部分等を極めて高速で検出することができる。
図1に示すように、ステージ1上の被検査物Wの裏面側に光源である投影装置2の照明光を照射し、表面側から撮影手段であるカメラ3、4を用いて同時に被検査物Wを撮影し、各カメラ3、4の画像をデジタル処理する。この撮影は、被検査物W内の任意の位置に対して、各カメラ3、4の撮像範囲を合わせて行われる。
すなわち、2個のカメラ3、4を使用し、両者の撮像範囲を任意点に合わせて、両カメラ3、4が被検査物Wに対し同時に同位置を撮影し、その複数画像による被検査物W内の異物の位置情報と各カメラ3、4の設置角度に基づき、被検査物Wを側傍から撮影する厚み検出用のカメラ5による被検査物Wの厚み情報を用いて、コンピュータ7の記憶装置および演算手段である処理装置におけるパラメータの設定および画像処理を行い、被検査物W内の異物の高さ方向の情報を得る。そして、その結果を表示装置8に表示する。
このように、被検査物の任意の位置に対して複数の撮像手段の撮像範囲を合わせ、異なる角度から被検査物中の異物を画像データとして取込み、取込み画像データによる異物の位置情報の違いと、撮影手段の設置角度の違いから、計測の基準位置を厚み軸方向0点としたときに、撮影手段で得られる被検査物中の異物の位置と基準位置との差の絶対値の和が、予め計測した被検査物の厚みに概略等しくなるようにプログラムのパラメータを設定して、画像処理を行うことにより被検査物内の異物の高さ位置の測定を行う。
複数のカメラの撮像範囲を任意点に合わせるためには、複数のカメラの設置角度と各カメラの撮像可能範囲の双方に配慮する必要がある。すなわち、単に、被検査物に対して撮影手段であるカメラの撮像可能範囲を合わせればよいのではなく、適合配置があることがわかった。
複数のカメラの撮像範囲について、各カメラの撮像可能範囲の位置は、カメラに撮影される被検査物の異物がすべてのカメラの被写界深度内に入る位置に設定する必要があり、また同時に、被検査物内の異物が被検査物の高さ位置に関係なく各カメラの取込み領域内に入ることが必要である。
そこで、アイリス絞りの調節ができ、被写界深度の調節が可能で、例えばその被写界深度が0.3〜0.5[mm]まで調節可能なレンズをカメラの対物レンズとして用いることにより、被検査物内の異物を画像データとして取込むことが可能になった。被写界深度については本実施の形態においては0.5[mm]としたが、被検査物の撮影が可能であれば、この数値に限定するものではない。
次に、複数のカメラの設置角度については、各カメラの撮像可能範囲位置と被写界深度との関係により決定される。なお、複数のカメラの任意点の同時撮像可能な範囲の位置と各カメラの設置角度の関係は実験的に最適値が得られる。カメラの設置角度は、1〜89°(0°と90°以外の角度)にすることができるが、好ましくは、分解能と被写界深度の関係から、15〜60°がよい。
図1の装置は、被検査物Wを支持するステージ1、投影装置2、カメラ(A)3、カメラ(B)4、カメラ(C)5、レンズ6a〜6c、記憶装置および処理装置を有するコンピュータ7、表示装置8、ステージ1の位置制御やカメラ(A)3、カメラ(B)4等の設置角度の制御を行う駆動装置9を備えた三次元計測装置である。
投影装置2による照明光が被検査物Wの内部の異物により影として投影され、2つのカメラカメラ(A)3、カメラ(B)4によって撮像される。
このときカメラ(A)3、カメラ(B)4は、それぞれ1つの任意点で光軸を交差させ、これを基準位置として撮像可能範囲を持つように配置し、撮像可能範囲の位置情報をコンピュータ7の記憶装置に設定可能な位置となるような配置にしておく。配置する角度は1〜89°まで設定できるが、分解能と被写界深度の関係から、15〜60°の範囲が望ましい。
また、撮像可能範囲の基準位置は任意点でよいが、本実施例ではレンズ6a、6bの被写界深度が被検査物Wの内部を充分にカバーできる幅とするために、被検査物W内部に設定した。なお、撮像可能範囲位置を被検査物Wの内部位置に設定可能なように、金属で作成したゲージのエッジ部を被検査物下端の位置に設定した。
また、被検査物Wの厚みを測定するためにカメラ(C)5を被検査物Wの横方向に設置する。このカメラ(C)5の設置角度は、被検査物Wの厚みを測定可能であれば特に限定するものではないが、測定分解能の観点から、本実施例においては90°に設定した。
まず、図2に示すように、表示装置8に表示されたカメラ(A)3の画面上の被検査物Wの幅(厚み)X、カメラ(B)4の画面上の被検査物Wの幅(厚み)Yと、カメラ(C)5の画面上の被検査物Wの幅(厚みの実測値)Tの間には以下の関係が成立する。
|X|=T・sinθ1 (1)
|Y|=T・sinθ2 (2)
|X|=T・sinθ1 (1)
|Y|=T・sinθ2 (2)
また、図3および図4に示すように、表示装置8に表示されたカメラ(A)3の画面上の異物Vの重心位置の位置データである光軸位置01からの離間距離x、カメラ(B)4の画面上の異物Vの重心位置の位置データである光軸位置02からの離間距離y、カメラ(C)5の画面上の基準位置0から被検査物Wの下端までの離間距離a、異物Vの基準位置0からの高さ位置t0 、異物Vの被検査物Wの下端からの高さ位置をtとすると、以下の関係が成立する。まず、上記の式(1)、式(2)と同様に、位置データx、yの高さ方向の成分をt1 、t2 とすると、
x=t1 ・sinθ1 (3)
y=t2 ・sinθ2 (4)
式(3)、(4)から、
t1 =x/sinθ1 (5)
t2 =y/sinθ2 (6)
カメラ(A)3とカメラ(B)4は同じ異物Vを撮像していることから、基準位置0からの水平方向の偏差をSとすると、以下の2式が成立する。
x=t1 ・sinθ1 (3)
y=t2 ・sinθ2 (4)
式(3)、(4)から、
t1 =x/sinθ1 (5)
t2 =y/sinθ2 (6)
カメラ(A)3とカメラ(B)4は同じ異物Vを撮像していることから、基準位置0からの水平方向の偏差をSとすると、以下の2式が成立する。
t0 =−S・tanθ1 +(x/sinθ1 ) (7)
t0 =S・tanθ2 +(y/sinθ2 ) (8)
式(7)、(8)より、
t0 =S・tanθ2 +(y/sinθ2 ) (8)
式(7)、(8)より、
t=t0 +a
(10)
式(9)、(10)より、
(10)
式(9)、(10)より、
すなわち、図4に示す画像における位置データx、yとカメラ(A)3、カメラ(B)4の設置角度θ1 、θ2 および基準位置0の高さaを用いて、式(11)の演算を行うことで、被検査物W内の異物Vの高さ位置tを求めることができる。
次に、図5に基づいて動作を説明する。ステップ1で、投影装置2は図示しない電源および制御部によって電源を供給され均一化された光量の可視光を発光する。スポットの大きさは、レンズ倍率とカメラ視野の観点からφ10mm程度とした。ステップ2で、ステージ1を移動させて、スポット光を被検査物Wの所定の部位に照射する。ステップ3で、スポット光が被検査物Wに照射されると、異物Vによって影となり、レンズ6a、6bを通過し結像し、カメラ(A)3、カメラ(B)4に画像として取込まれる。各レンズ6a、6bは、パーフォーカル光学系を用いた高解像度マクロズームレンズを使用し、アイリス絞り機能を有し光量を調節可能なものを使用し、各カメラ3、4において、像がハレーションを起こすことなく、精度よく結像できるようなものを選択した。
ステップ4で、撮像された画像はコンピュータ7の記憶装置および処理装置に電気信号で転送され、記憶装置に画像データとして収納される。その後画像データは、処理装置へ転送され、画像処理加工をほどこし、被検査物W中の異物Vによって形成された画像の位置情報(重心位置)を抽出する。その際には、各レンズ6a、6bの倍率、各カメラ3、4の設置角度θ1 、θ2 、撮像可能範囲の基準位置などの設定はあらかじめ処理装置のほうへ登録しておく。ステップ5で、横方向に設置されたカメラ(C)5は透明ないし半透明の板状物である被検査物Wの厚みTを計測し、ステップ6で、カメラ設置角度θ1 、θ2 と、カメラ3、4にて抽出された異物Vの位置情報である位置データx、yと、カメラ5による厚み情報から求められた基準位置0の高さaに基づいて、異物Vの高さ位置tを演算する。
また、駆動装置9と連動させ、設定した計測分解能に従いステージ1を制御し、検査位置を順次変えていくことで、被検査物W全体を検査することが可能である。
(具体例)
2つのカメラA、Bの設置角度をθ1 、θ2 を30.0°に設定し、計測を行った。そのときに用いた被検査物は製品内部に異物が埋没している物をサンプルとして選択した。なお、実際の欠陥部の高さ方向の位置は、従来例による三角計測式レーザー変位計より製品下端より300μmであることを確認しておく。
2つのカメラA、Bの設置角度をθ1 、θ2 を30.0°に設定し、計測を行った。そのときに用いた被検査物は製品内部に異物が埋没している物をサンプルとして選択した。なお、実際の欠陥部の高さ方向の位置は、従来例による三角計測式レーザー変位計より製品下端より300μmであることを確認しておく。
撮像可能範囲を製品下端位置に設定し、カメラA、Bによって検査した場合、異物すなわち欠陥部の高さ位置は製品下端位置より、300μmとなった。
本実施例においては、一回の取込み画像において撮像範囲1.58×1.36[mm]を測定することが可能なため、一回の取込み画像において光源が照射されているライン上での高さ方向の情報しか得られない光切断方式と比較して計測速度が向上した。
このことより、検査精度が同等で、測定に関し高速に測定することが可能であると判断できるので、一実施例における三次元計測は、従来例による計測より高速に計測が可能であることがわかる。
1 ステージ
2 投影装置
3 カメラA
4 カメラB
5 カメラC
6a〜6c レンズ
7 コンピュータ
8 表示装置
9 駆動装置
2 投影装置
3 カメラA
4 カメラB
5 カメラC
6a〜6c レンズ
7 コンピュータ
8 表示装置
9 駆動装置
Claims (2)
- 透明または半透明の被検査物に対して照明光を照射し、前記被検査物内の異物を同一断面内にあって同時に撮影可能な位置に複数の撮影手段を設置する工程と、各撮影手段によって前記被検査物内の前記異物を同時に撮影し、その撮影画像により前記異物の位置データを得る工程と、前記位置データと各撮影手段の設置角度に基づいて前記被検査物内の前記異物の高さ位置を演算する工程とを有することを特徴とする三次元計測方法。
- 透明または半透明の被検査物に照明光を照射する光源と、前記照明光の透過光によって前記被検査物内の異物を撮影するための複数の撮影手段と、各撮影手段による前記異物の画像から得られた位置データと各撮影手段の設置角度に基づいて前記異物の高さ位置を演算する演算手段とを有し、前記複数の撮影手段は、前記被検査物内の任意の位置において互いに光軸を交差させ、それぞれの撮像範囲を合わせて撮影することを特徴とする三次元計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256407A JP2006071512A (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 三次元計測方法および三次元計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256407A JP2006071512A (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 三次元計測方法および三次元計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006071512A true JP2006071512A (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=36152297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004256407A Pending JP2006071512A (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 三次元計測方法および三次元計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006071512A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013040915A (ja) * | 2011-08-18 | 2013-02-28 | Samsung Corning Precision Materials Co Ltd | ガラス基板の表面不良検査装置および検査方法 |
CN104061956A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-09-24 | 苏州科德溯源仪器有限公司 | 一种双镜头影像测量仪 |
JP5999859B1 (ja) * | 2015-09-30 | 2016-09-28 | 上野精機株式会社 | 外観検査装置 |
-
2004
- 2004-09-03 JP JP2004256407A patent/JP2006071512A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013040915A (ja) * | 2011-08-18 | 2013-02-28 | Samsung Corning Precision Materials Co Ltd | ガラス基板の表面不良検査装置および検査方法 |
CN104061956A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-09-24 | 苏州科德溯源仪器有限公司 | 一种双镜头影像测量仪 |
JP5999859B1 (ja) * | 2015-09-30 | 2016-09-28 | 上野精機株式会社 | 外観検査装置 |
JP2017067630A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 上野精機株式会社 | 外観検査装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6040930B2 (ja) | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 | |
US20080101687A1 (en) | Method and device for machine-cutting a plate-shaped workpiece | |
JP5418176B2 (ja) | パンタグラフ高さ測定装置及びそのキャリブレーション方法 | |
JP2008241643A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2006010392A (ja) | 貫通穴計測システム及び方法並びに貫通穴計測用プログラム | |
JP2005037366A (ja) | 赤外線構造物診断システム及び赤外線構造物診断方法 | |
JP2005300179A (ja) | 赤外線構造物診断システム | |
JP5042503B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
JP2009058459A (ja) | 形状測定装置 | |
JP6797638B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JP6149990B2 (ja) | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 | |
JP6781969B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
KR100926019B1 (ko) | 결함 입자 측정 장치 및 결함 입자 측정 방법 | |
JP2006071512A (ja) | 三次元計測方法および三次元計測装置 | |
JP2007033040A (ja) | 光切断法による3次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法及び装置 | |
JP2020101743A (ja) | 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 | |
JP2007003332A (ja) | 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP5367292B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2010025803A (ja) | 位置決め機能を有する検査装置、位置決め機能を有する検査装置用プログラム、位置決め機能を有する検査装置の検査方法 | |
JP2007198762A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JPWO2020121784A1 (ja) | ワーク検査装置及びワーク検査方法 | |
JP2006349351A (ja) | 3次元微細形状測定方法 | |
JP2003295066A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2006098101A (ja) | 板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP2006170953A (ja) | 板状体の歪み検出方法及び歪み検出装置 |