JP2002231595A - 半導体製造装置管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】あたかも、装置を熟知したエンジニアが装置の
側に居ると同じ行動がとれ、適正かつ、迅速な対応がで
きるようにすることにある。 【解決手段】複数の半導体製造装置の状態を、遠隔した
場所で、管理する方法であって、前記半導体製造装置の
正常動作時のデーターをサンプリングし、サンプリング
されたデーター群に基いて、当該装置におけるデーター
のばらつきの範囲を把握し、互いに承諾した状態で、実
運転時のデーターを遠隔した管理ステーションで、適正
なセキュリティ管理（セキュリティ管理装置）がなされ
た状態の通信ネットワークを介してモニターしながら、
テ゛ーター群との比較を行い、エラーが検出される前の状態
で、エラー発生を予告し、あるいはエラー発生を認識して、当
該半導体製造装置管理者の承諾(環境通報装置を使用し
て安全を確保するために)を得た上で、その情報の精度
を高めるために、管理ステーションから、通信ネットワークを介して
アクセスし、直接当該半導体製造装置に所要の動作をさ
せて（警報認証/遠隔操作装置を使って）、そのテ゛ーターを
管理ステーションに送信する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各所に分散設置さ
れた、半導体製造装置を、該半導体製造装置が設置され
ている場所と、距離的に隔離した場所で、集中的に管理
する、半導体製造装置管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置は、従来は当該装置にエ
ンジニアが対峙して、音や、温度、振動などを直接また
は、間接的に確認したり、テストパターンでランニング
させ、そのデーターを見て、正常か、異常かを判断して
いた。そのエンジニアは、当該装置を所有する会社の社
員の場合もあるし、前記会社と契約したエンジニアリン
グの会社の所属であったり、あるいは、該装置を製作し
た会社側に所属するサービス員と呼ばれる人たちである
等、多様である。

【０００３】多分に、この人たちの経験に基いて、それ
ぞれの現象に対して、対策や、メンテナンスがなされて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、生産する半導
体の微細化、生産性が急速に進歩し、これに対応するた
めの、半導体製造装置に発生する問題も、非常に複雑多
岐に亘るようになり、現地での対応だけでは、十分でな
くなってきている。

【０００５】従来のシステムでの問題は、ほとんどと言
って良いほどエラーが表示され（問題が発生し）て、装
置停止を余儀なくされて、生産工程に支障をきたしてい
る。また、問題が発生した原因追求のために、一般に取
られる方法は、問題に直面したエンジニアから、メーカ
ーの専門家に電話などの通信手段によって、問題が発生
したこと、予想される原因を問合せる。該専門家は、装
置が故障にいたるまでの、装置の状態をより詳しく知り
たいがために、装置に備えられた、ログデータ管理シス
テムから、ログデータをアウトプットして、送付しても
らうように依頼する。該エンジニアは、該装置から指定
されたログデータを引出して、該専門家に送付する。受
取った該専門家はログデータの解析を行い、原因の推定
を行い、取るべき処置を該エンジニアに指示する。

【０００６】送付された、ログデータだけで判断が困難
なときは、該エンジニアに追加の操作を依頼し、データ
ーを作成してもらい、そのデーターを追送してもらって
解析を加える。その手順が煩雑なために、確証が得られ
ないときも、推定の範囲を広げて、対策を指示すること
になる。

【０００７】更に、問題なのは、半導体製造装置の場合
は、エラーが発生して一旦異常動作した該半導体製造装
置を復旧し立ち上げるのは、エラーが発生する前に、計
画的に、対策する場合と比較すると、時間的にも、経済
的にもロスが大きい。

【０００８】当該装置毎に、その装置を熟知したエンジ
ニアが、それぞれの装置の近傍に待機していると、装置
管理は時間的には一番早いことになるが、装置を生産す
る数だけ、エンジニアを育てることは、現実的に無理が
ある。よしんばできたとしても、常日頃、正常な状態で
は何の役目もしない、エンジニアを装置のそばで待機さ
せておくことは、経済的に無駄である。

【０００９】本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、あ
たかも、装置を熟知したエンジニアが装置の側に居ると
同じ行動がとれ、適正かつ、迅速な対応ができるように
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の半導体
製造装置の状態を、遠隔した場所で、管理する方法であ
って、前記半導体製造装置の正常動作時のデーターをサ
ンプリングし、サンプリングされたデーター群に基い
て、当該装置におけるデーターのばらつきの範囲を把握
し、互いに承諾した状態で、実運転時のデーターを遠隔
した管理ステーションで、適正なセキュリティ管理（セ
キュリティ管理装置）がなされた状態の通信ネットワー
クを介してモニターしながら、データー群との比較を行
い、エラーが検出される前の状態で、エラー発生を予告
し、あるいはエラー発生を認識して、当該半導体製造装
置管理者の承諾(環境通報装置を使用して安全を確保す
るために)を得た上で、その情報の精度を高めるため
に、管理ステーションから、通信ネットワークを介して
アクセスし、直接当該半導体製造装置に所要の動作をさ
せて（警報認証/遠隔操作装置を使って）、そのデータ
ーを管理ステーションに送信することを特徴とする。

【００１１】本発明によれば、装置を熟知したエンジニ
アを管理ステーションに待機させて、通信ネットワーク
を通じて、複数の半導体製造装置を同時に監視し、エラ
ー予告、エラーの情報を、発信してきた、半導体製造装
置に対して、現地にいるエンジニアとの連携で、あたか
も、装置を熟知したエンジニアが装置の側に居ると同じ
行動がとれ、適正かつ、迅速な対応ができるようにし
た。

【００１２】さらに、管理センターのエンジニアだけで
は、解決できない場合は、イントラネットで技術部門と
連絡をとり、リアルタイムで的確な判断ができるように
する。技術部門とは、設計、製造、検査などの専門分野
の技術者がいる部門を言う。

【００１３】装置を熟知したエンジニアが、確認のため
に必要なデーターを得るために、現地のエンジニアを介
して、当該装置を動作させることもできるが、本発明で
は、遠隔地にいる装置を熟知したエンジニアが直接、当
該装置に指令を出し、所望の動作をさせることを許可し
た。但し、この場合、現地の状況が不明なままで動作さ
せると、派生的な事故を誘発させる危険があり、現地の
安全を確保するために、現地装置管理者の承諾を得て操
作が行えるようにした。

【００１４】更に、安全性を高めるために、装置サイト
にカメラを設置し、その画像を管理ステーションのモニ
ターに写し、管理ステーションにいる、装置を熟知した
エンジニアが、装置の動作指示を出す場合に、自分で装
置の状態を、確認できるようにすることもできる。

【００１５】エラーの状況によっては、装置を動作させ
ることが、不都合な場合もあり、その場合は、管理ステ
ーションに併設した、シミュレーターを使って、模擬エ
ラーを発生させて、装置の状態が遠隔地にいても十分に
把握できるようにした事によって、当該半導体製造装置
の不具合の状況に応じて、迅速に、適切な処置ができ
る、半導体製造装置の管理システムを構築する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図によって、本発明の実施
例を詳細に説明する。

【００１７】図１は、本発明一実施例になる半導体製造
装置管理システムの構成を示す図である。

【００１８】このシステムは、Ａ社の半導体製造装置の
一部をその製造メーカ或いはサービス会社であるＢ社が
シミュレーター装置を含む診断装置を用いて、定期的及
び診断が必要な時に適宜リモート診断するものである。

【００１９】このリモート診断システムでは、故障診断
やデータ更新の対象となるＡ社の半導体製造装置１０
（１０Ａ〜１０Ｎ）が、Ａ社の半導体製造装置制御サー
バー２０に接続されている。サーバー２０は、インター
ネットサーバー４０介してインターネット５０に接続さ
れている。インターネット５０にはＢ社のインターネッ
トサーバーを介して半導体製造装置の診断プログラムを
備えた診断装置６０に接続されている。診断装置６０に
はイントラネットを介して診断装置６０をサポートする
技術部門のコンピュータシステム７０に接続されてい
る。

【００２０】なお、半導体製造装置、各サーバー、イン
ターネット、及び診断装置の間の接続には、一般の電話
回線や専用の通信回線、光ケーブルによる通信回線等が
用いられる。また、顧客Ａと装置メーカＢ間の通信のた
めに、予め、各機器毎にＩＰアドレスや特定のＩＤ番号
等を付与しておくことは言うまでもない。

【００２１】半導体製造装置制御サーバー２０（及びＢ
社のサーバー）は、コンピュータにより構成されてお
り、入出力手段としてキーボードやマウス等の操作部や
ディスプレイが接続されている。サーバー２０は、イン
ターネットにアクセスし、Ｂ社のサーバーに接続するた
めの閲覧ソフト（ＷＷＷブラウザ）を持っている。ま
た、各半導体製造装置１０（１０Ａ〜１０Ｎ）も、夫々
パーソナルコンピュータを備えており、入出力手段とし
てのキーボードやマウス等の操作部やディスプレイが接
続されている。

【００２２】サーバー２０等の各コンピュータは、外部
の機器と接続するためのインターフェースを備えてお
り、各コンピュータ内のマイクロコンピュータと外部の
機器との間で行われるデータやコマンドの通信は、この
インターフェースを介して行われる。さらに、通信イン
ターフェースを備えており、マイクロコンピュータが作
成したデータやコマンドの変調及び送信と、電話回線等
を経て送られてくるデータやコマンドの受信及び復調を
行う。

【００２３】図２は、図１のシステムにおける半導体製
造装置制御サーバー２０の構成例を示す図である。半導
体製造装置制御サーバー２０は、例えばパーソナルコン
ピュータにより構成されており、入出力手段２１として
キーボードやマウス等の操作部や、ディスプレイが接続
されている。また、外部の機器と接続するための外部接
続用インターフェース２２や、通信インターフェース２
３を備えている。さらに、内部のマイクロコンピュータ
２４が備える記憶手段には、サーバー４０を解してイン
ターネット５０にアクセスし、サーバー６０に接続する
ための閲覧ソフト（ＷＷＷブラウザ）２５が保持されて
いる。さらに、半導体製造装置１０（１０Ａ〜１０Ｎ）
を制御して半導体を製造するのに必要なプログラム２６
や各種シミュレーションプログラム２７、診断用データ
や診断のスケジュール及び診断結果を記録したデータベ
ース２８、各種シミュレーション関連の情報のデータベ
ース２９が設けられている。

【００２４】図１のシステムにおける半導体製造装置１
０（１０Ａ〜１０Ｎ）の制御構成例を図３に示す。２１
２は、全体を制御する中央制御手段であり、例えばＣＰ
Ｕである。２１３は、運転状態、運転条件の設定内容、
運転の開始指示／終了の表示を行う表示手段であり、例
えばＣＲＴである。２１４は入力手段であり、運転条件
の設定、運転の開始指示入力、プロセス処理条件、保守
やメンテナンスの操作入力等を行う、例えばキーホ゛ー
ト゛である。２１５は装置制御手段であり、上記プロセ
ス処理装置２−１〜２−４の運転有効／無効であること
を示す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセ
ス処理装置２０２−１〜２０２−４のどれかが運転不可
となっても該プロセス処理装置を使用せず、他のプロセ
ス処理装置を使って運転続行する処理手順を記憶する。
例えばＲＯＭである。２１６は、真空処理装置内でのウ
エハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段であ
り、例えばＲＡＭである。このウエハの処理順序は、運
転開始前に表示手段２１３、入力手段２１４とを使って
オペレータによって入力されたデータが記憶される。２
１７は運転情報信号記憶手段であり、プロセス処理装置
２０２−１〜２０２−３の運転有効／無効であることを
示す運転情報信号を記憶する、例えばＲＡＭである。２
０２−１〜２０２−３は、ウエハのプロセス処理を行う
プロセス処理装置である。この処理装置としては、エッ
チンク゛、後処理、成膜、スハ゜ッタ、ＣＶＤ、水処理
等ウエハのプロセス処理を行う処理であれば、何であっ
ても良い。

【００２５】２０１−１〜２０１−３は、プロセス処理
装置２０２−１〜２０２−３の運転有効／無効であるこ
とを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段
である。本実施例では、プロセス処理装置に設けている
が、どこにあっても良い。この運転情報信号を発生する
手段として、次のいずれかを用いることができる。

【００２６】１）プロセス処理装置の装置電源の遮断信
号 ２）プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運
転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ） ３）プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制
御信号として、オペレータが設定入力した入力情報

【００２７】次に、図４により、図３のプロセス処理装
置２０２−１〜２０２−４として採用される真空処理装
置の例を示す。まず、図６（Ａ）において、２０１はウ
エハ搬送を行う搬送処理装置であり、ロードロック室の
ウエハをウエハ搬送スケジュールに従ってプロセス処理
装置２０２−１〜２０２−４に搬送する。また、プロセ
ス処理装置で処理終了したウエハを次のプロセス処理装
置に搬送し、全てのプロセス処理が終了したウエハをア
ンロードロック室に搬送する。２０２−１〜２０２−４
はプロセス処理を行うプロセス処理装置である。プロセ
ス処理としてはエッチング、後処理、成膜、スパッタ、
ＣＶＤ、水洗処理等ウエハのプロセス処理全てを含む。
２０３はロードロック室であり大気搬送装置２０６にあ
るウエハを搬送処理装置に搬入する室、２０４はアンロ
ードロック室であり真空処理室にあるウエハを大気搬送
装置２０６に搬出する室、２０５は搬送処理装置内に設
置されウエハの搬送を行う真空ロボット、２０６はウエ
ハを収納したカセットを設置するための大気搬送装置、
２０７は処理するウエハを収納したカセットであり製品
用ウエハを収納したカセットやクリーニング用ウエハを
収納したカセットである。２０８は大気搬送装置上のカ
セット内のウエハをカセットから搬出し、ロードロック
室２０３に搬入し、またアンロードロック室２０４のウ
エハを元のカセットに戻す大気ロボットを示す。

【００２８】本発明による装置シミュレーションの対象
としては、次のようなものが考えられる。

【００２９】（１） 各ステッピングモーターのステッ
プずれ ステッピングモーターは、プロセス処理装置の次の各駆
動源として使用されている。カセットローダー、大気搬
送装置２０６のロボット、ロードロック室２０３やアン
ロードロック室２０４のゲート弁、真空ロボット２０
５、バッファ室と真空処理室間のゲート弁 （２）各真空ポンプ 真空ポンプは、プロセス処理装置の次の各真空源として
使用されている。ロードロック室２０３やアンロードロ
ック室２０４、バッファ室、真空処理室 （３）流量制御弁 流量制御弁は、プロセス処理装置の次の箇所で使用され
ている。 プロセスガス流量制御弁、冷却水流量制御弁、伝熱ガス
流量制御弁

【００３０】次に、装置メーカが顧客の半導体製造装置
のシミュレーション診断を行う場合の処理フローを説明
する。シミュレーション診断は、定期診断とエラー発生
時の不定期の診断とがある。

【００３１】定期診断に当たっては、顧客Ａが状態デー
タをサーバー、インターネット経由で定期診断データを
装置メーカＢに転送し、そのデータは装置メーカＢの定
期診断データベースに保持される。一方、エラー発生時
には、エラーの事象をエラーNo.等の形で特定した診断
要求がインターネット経由で顧客Ａから装置メーカＢへ
送られる。定期診断の時期については、装置メーカＢか
ら顧客Ａへ予め連絡しても良い。

【００３２】顧客Ａから定期或いは不定期の診断要求が
あると、装置メーカＢの診断装置は、その診断プログラ
ムを起動し、顧客Ａの半導体製造装置に対してリモート
診断を開始する。

【００３３】本発明のシミュレーション診断の態様を示
すとつぎのようになる。

【００３４】本発明では、複数の半導体製造装置の状態
を、遠隔した場所で、管理する方法であって、前記半導
体製造装置の正常動作時のデーターをサンプリングし、
サンプリングされたデーター群に基いて、当該装置にお
けるデーターのばらつきの範囲を把握し、互いに承諾し
た状態で、実運転時のデーターを遠隔した管理ステーシ
ョンで、適正なセキュリティ管理（セキュリティ管理装
置）がなされた状態の通信ネットワークを介してモニタ
ーしながら、データー群との比較を行い、エラーが検出
される前の状態で、エラー発生を予告し、あるいはエラ
ー発生を認識する。

【００３５】これにより、半導体製造装置管理者の承諾
(環境通報装置を使用して安全を確保するために)を得た
上で、その情報の精度を高めるために、管理ステーショ
ンから、通信ネットワークを介してアクセスし、直接当
該半導体製造装置に所要の動作をさせて（警報認証/遠
隔操作装置を使って）、そのデーターを管理ステーショ
ンに送信させる。

【００３６】そして、管理ステーションに居るエンジニ
アが、適正な装置管理者に、適正な指示が出せるように
する。

【００３７】本発明では、管理ステーション６０に、当
該半導体製造装置用のシミュレーターを配備して、送ら
れてきた当該装置のエラー予告あるいは、エラーのまえ
の、ログデーターを、該シミュレーターに入力して、ロ
グデーターと同じか、近い状態が発生する条件を、模擬
的に発生させて、遠隔地にある当該半導体装置１０の状
況を、より正確に把握して、現地に居るエンジニアに、
作業指示を発信する。

【００３８】また、本発明では、複数の半導体製造製造
装置１０の状態を、遠隔した場所で、管理する方法であ
って、半導体製造装置の正常動作時のデーターをサンプ
リングし、サンプリングされたデーター群に基いて、当
該装置におけるデーターのばらつきの範囲を把握し、実
運転時のデーターを遠隔した管理ステーション６０で、
適正なセキュリティ管理がなされた状態の通信ネットワ
ーク５０を介してモニターする。

【００３９】そして、データー群との比較を行い、エラ
ーが検出される前の状態で、エラー発生を予測し、ある
いはエラー発生を認識する。

【００４０】各モニター要素に対して、レシピ設定に関
して設定値、制御値、限界値の３つ値を持ち、実運転時
にモニターで集めたデーター値が、制御ライン値を超え
る頻度の許容値を決めて、限界値に到達する前に、エラ
ー発生予告を発信する。

【００４１】図５は、本発明の実施例における警報デー
ターの認識方法の例を示す図である。所定幅の設定値を
中心に所定幅の制御ライン値があり、その外側に、エラ
ー警告ラインがある。

【００４２】そして、限界値（エラー警告ライン）を超
えた場合はエラー発生を発信する。そして、それを管理
ステーションで受信した後に、当該半導体装置管理者の
承諾を得た上で、その情報の精度を高めるために、管理
ステーションから、通信ネットワークを介してアクセス
し、直接当該半導体製造装置に所要の動作をさせて、そ
のデーターを管理ステーションに送信させ、管理ステー
ションに居るエンジニアが、適正な装置管理者に、適正
な指示が出せるようする。

【００４３】また、本発明によれば、複数の半導体製造
装置の状態を、遠隔した場所で、管理する方法であっ
て、前記半導体製造装置の正常動作時のデーターをサン
プリングし、サンプリングされたデーター群に基いて、
当該装置におけるデーターのばらつきの範囲を把握し、
実運転時のデーターを遠隔した管理ステーションで、適
正なセキュリティ管理がなされた状態の通信ネットワー
クを介してモニターする。

【００４４】そして、データー群との比較を行い、エラ
ーが検出される前の状態で、エラー発生を予告し、ある
いはエラー発生を認識して、当該半導体製造装置管理者
の承諾を得た上で、その情報の精度を高めるために、管
理ステーションから、通信ネットワークを介してアクセ
スし、直接当該半導体装置に所要の動作をさせる。

【００４５】そして、そのデーターを管理ステーション
に送信させ、管理ステーションに居るエンジニアが、適
正な装置管理者に、適正な指示が出せるようにした半導
体装置のための管理システムにおいて、当該半導体製造
装置管理者の承諾を得る。

【００４６】この方法は、当該装置全域、該当部位の
み、当該動作についての、段階を有する。

【００４７】図６は、本発明の他の実施例になる半導体
製造装置管理システムを示す図である。この実施例によ
れば、複数の半導体製造装置の状態を、遠隔した場所
で、管理する方法であって、前記半導体製造装置の正常
動作時のデーターをサンプリングし、サンプリングされ
たデーター群に基いて、当該装置におけるデーターのば
らつきの範囲を把握し、実運転時のデーターを遠隔した
管理ステーションで、適正なセキュリティ管理がなされ
た状態の通信ネットワークを介してモニターする。

【００４８】そして、データー群との比較を行い、エラ
ーが検出される前の状態で、エラー発生を予告し、ある
いはエラー発生を認識して、当該半導体製造装置管理者
の承諾を得た上で、その情報の精度を高めるために、管
理ステーションから、通信ネットワークを介してアクセ
スし、直接当該半導体装置に所要の動作をさせて、その
データーを管理ステーションに送信させ、管理ステーシ
ョンに居るエンジニアが、適正な装置管理者に、適正な
指示が出せるようにする。

【００４９】この管理システムにおいて、当該半導体製
造装置側に装置及び周辺が撮影できるカメラ４０を少な
くとも一台設置し、管理ステーションには、そのカメラ
で撮影した画像が、リアルタイムで受像できる構成にし
た。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、あたかも、装置を熟知
したエンジニアが装置の側に居ると同じ行動がとれ、適
正かつ、迅速な対応ができるようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明一実施例になる半導体製造装置管理シス
テムの構成を示す図である。

【図２】図１のシステムにおける半導体製造装置制御サ
ーバーの構成例を示す図である。

【図３】図１のシステムにおける半導体製造装置の制御
構成例を図３に示す。

【図４】図３のプロセス処理装置として採用される真空
処理装置の例を示す。

【図５】本発明の実施例における警報データーの認識方
法の例を示す図である。

【図６】本発明の他の実施例になる半導体製造装置管理
システムを示す図である。

【符号の説明】

１０（１０Ａ〜１０Ｎ）…半導体製造装置、２０…半導
体製造装置制御サーバー、４０…インターネットサーバ
ー、５０…インターネット、６０…診断装置、７０…コ
ンピュータシステム。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の半導体製造装置の状態を、遠隔した
   場所で、管理するものであって、前記半導体製造装置の
   正常動作時のデーターをサンプリングし、サンプリング
   されたデーター群に基いて、当該装置におけるデーター
   のばらつきの範囲を把握し、互いに承諾した状態で、実
   運転時のデーターを遠隔した管理ステーションで、適正
   なセキュリティ管理（セキュリティ管理装置）がなされ
   た状態の通信ネットワークを介してモニターしながら、
   データー群との比較を行い、エラーが検出される前の状
   態で、エラー発生を予告し、あるいはエラー発生を認識
   して、当該半導体製造装置管理者の承諾(環境通報装置
   を使用して安全を確保するために)を得た上で、その情
   報の精度を高めるために、管理ステーションから、通信
   ネットワークを介してアクセスし、直接当該半導体製造
   装置に所要の動作をさせて（警報認証/遠隔操作装置を
   使って）、そのデーターを管理ステーションに送信する
   ことを特徴とする半導体製造装置のための管理システ
   ム。
2. 【請求項２】複数の半導体製造製造装置の状態を、遠隔
   した場所で、管理するものであって、前記半導体製造装
   置の正常動作時のデーターをサンプリングし、サンプリ
   ングされたデーター群に基いて、当該装置におけるデー
   ターのばらつきの範囲を把握し、実運転時のデーターを
   遠隔した管理ステーションで、適正なセキュリティ管理
   がなされた状態の通信ネットワークを介してモニターし
   ながら、データー群との比較を行い、エラーが検出され
   る前の状態で、エラー発生を予測し、あるいはエラー発
   生を認識する者であって、 各モニター要素に対して、レシピ設定に関して設定値、
   制御値、限界値の3つ値を持ち、実運転時にモニターで
   集めたデーター値が、制御値を超える頻度の許容値を決
   めて、限界値に到達する前に、エラー発生予告を発信す
   るようにし、限界値を超えた場合はエラー発生を発信
   し、それを管理ステーションで受信した後に、当該半導
   体装置管理者の承諾を得た上で、その情報の精度を高め
   るために、管理ステーションから、通信ネットワークを
   介してアクセスし、直接当該半導体製造装置に所要の動
   作をさせて、そのデーターを管理ステーションに送信さ
   せ適正な装置管理者に、適正な指示が出せるようにした
   ことを特徴とする半導体製造装置のための管理システ
   ム。
3. 【請求項３】請求項２記載の半導体製造装置のための管
   理システムにおいて、 エラーが検出される前の状態で、エラー発生を予告し、
   あるいはエラー発生を認識して、当該半導体製造装置管
   理者の承諾を得た上で、 の情報の精度を高めるために、管理ステーションから、
   通信ネットワークを介してアクセスし、直接当該半導体
   装置に所要の動作をさせて、そのデーターを管理ステー
   ションに送信し、適正な装置管理者に適正な指示が出せ
   るようにするとともに、 当該半導体製造装置管理者の承諾を、当該装置全域、該
   当部位のみ、当該動作についての、段階を設けて取得す
   るようにしたことを特徴とする半導体製造装置のための
   管理システム。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体
   製造装置のための管理システムにおいて、 当該半導体製造装置側に装置及び周辺が撮影できるカメ
   ラを少なくとも一台設置し、管理ステーションには、そ
   のカメラで撮影した画像が、リアルタイムで受像できる
   構成にしたことを特徴とする半導体製造装置のための管
   理システム。
5. 【請求項５】請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の
   半導体製造装置のための管理システムにおいて、 管理ステーションに、当該半導体製造装置用のシミュレ
   ーターを配備して、送られてきた当該装置のエラー予告
   あるいは、エラーのまえの、ログデーターを、該シミュ
   レーターに入力して、ログデーターと同じか、近い状態
   が発生する条件を、模擬的に発生させて、遠隔地にある
   当該半導体装置の状況を、より正確に把握して、現地に
   居るエンジニアに、作業指示を発信することを特徴とす
   る半導体製造装置のための管理システム。