JP2002177849A - 塗工装置 - Google Patents
塗工装置Info
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- JP2002177849A JP2002177849A JP2000382219A JP2000382219A JP2002177849A JP 2002177849 A JP2002177849 A JP 2002177849A JP 2000382219 A JP2000382219 A JP 2000382219A JP 2000382219 A JP2000382219 A JP 2000382219A JP 2002177849 A JP2002177849 A JP 2002177849A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイヘッドの先端部が乾燥することを効果的
に防止することができる塗工装置を提供する。 【解決手段】 塗工装置１０は、基板Ｗに対して塗工液
を吐出する先端部１１ａを有するダイヘッド１１と、ダ
イヘッド１１の先端部１１ａ側に離接自在に設けられた
吹付ノズル１３とを有している。吹付ノズル１３は受皿
容器１２内に設けられ、受皿容器１２と吹付ノズル１３
は一体で上下方向へ移動する。吹付ノズル１３から乾燥
防止液がダイヘッド１１の先端部１１ａへ吹付けられ、
ダイヘッド１１の先端部１１ａ乾燥が防止される。
に防止することができる塗工装置を提供する。 【解決手段】 塗工装置１０は、基板Ｗに対して塗工液
を吐出する先端部１１ａを有するダイヘッド１１と、ダ
イヘッド１１の先端部１１ａ側に離接自在に設けられた
吹付ノズル１３とを有している。吹付ノズル１３は受皿
容器１２内に設けられ、受皿容器１２と吹付ノズル１３
は一体で上下方向へ移動する。吹付ノズル１３から乾燥
防止液がダイヘッド１１の先端部１１ａへ吹付けられ、
ダイヘッド１１の先端部１１ａ乾燥が防止される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に対して塗工
液を塗布する塗工装置に係り、とりわけダイヘッドの先
端部の乾燥を効果的に防止することができる塗工装置に
関する。
液を塗布する塗工装置に係り、とりわけダイヘッドの先
端部の乾燥を効果的に防止することができる塗工装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より枚葉型基板に対して塗工液を塗
布する塗工装置として、先端部から塗工液が吐出するダ
イヘッドを備えたものが知られている。
布する塗工装置として、先端部から塗工液が吐出するダ
イヘッドを備えたものが知られている。
【０００３】枚葉型基板に対して塗工液を塗布する際、
ダイヘッドの先端部から塗工液が吐出される。この場
合、一つの基板から他の基板へ塗布作業を移す際、ダイ
ヘッドの先端部が乾燥していると、塗布開始時の初期ビ
ード生成時において、塗工液がダイヘッドの先端部に沿
って拡大しにくくなる。またダイヘッドの先端部が乾燥
していると、塗工液の塗布中において、塗工液の塗布ス
ジが発生する。
ダイヘッドの先端部から塗工液が吐出される。この場
合、一つの基板から他の基板へ塗布作業を移す際、ダイ
ヘッドの先端部が乾燥していると、塗布開始時の初期ビ
ード生成時において、塗工液がダイヘッドの先端部に沿
って拡大しにくくなる。またダイヘッドの先端部が乾燥
していると、塗工液の塗布中において、塗工液の塗布ス
ジが発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のようなダイヘッ
ドの先端部の乾燥を防止するため、基板間における塗布
作業の間、次のような対策がとられている。
ドの先端部の乾燥を防止するため、基板間における塗布
作業の間、次のような対策がとられている。
【０００５】（１） ダイヘッドの先端部を乾燥防止液
中に浸しておく。
中に浸しておく。
【０００６】（２） 乾燥防止液が染み込んだ濡れウェ
スをダイヘッドの先端部に押し当てる。
スをダイヘッドの先端部に押し当てる。
【０００７】（３） ダイヘッドの先端部周辺を乾燥防
止液が蒸発した雰囲気とする。
止液が蒸発した雰囲気とする。
【０００８】しかしながら（１）の乾燥防止液中にダイ
ヘッドの先端部を浸した場合、乾燥防止液がダイヘッド
の先端部内に浸入し、塗工液の濃度が低下することがあ
り、あるいは塗布開始時に先端部内の液を廃棄する必要
がある。また乾燥防止液を頻繁に交換する必要もある。
また（２）の濡れウェスを用いる場合、ウェス中のゴ
ミ、カスがダイヘッドの先端部内に混入することも考え
られる。
ヘッドの先端部を浸した場合、乾燥防止液がダイヘッド
の先端部内に浸入し、塗工液の濃度が低下することがあ
り、あるいは塗布開始時に先端部内の液を廃棄する必要
がある。また乾燥防止液を頻繁に交換する必要もある。
また（２）の濡れウェスを用いる場合、ウェス中のゴ
ミ、カスがダイヘッドの先端部内に混入することも考え
られる。
【０００９】さらに（３）のダイヘッドの先端部周辺を
乾燥防止液の雰囲気とする場合、このような乾燥防止液
の雰囲気だけでは、ダイヘッドの先端部の乾燥を効果的
に防止することができない。
乾燥防止液の雰囲気とする場合、このような乾燥防止液
の雰囲気だけでは、ダイヘッドの先端部の乾燥を効果的
に防止することができない。
【００１０】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、ダイヘッドの先端部が乾燥することを効果
的に防止することができる塗工装置を提供することを目
的とする。
ものであり、ダイヘッドの先端部が乾燥することを効果
的に防止することができる塗工装置を提供することを目
的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板に対して
塗工液を吐出する先端部を有するダイヘッドと、ダイヘ
ッドの先端部側に離接自在に設けられ、ダイヘッドに対
して乾燥防止液を吹付ける吹付ノズルとを備えたことを
特徴とする塗工装置である。
塗工液を吐出する先端部を有するダイヘッドと、ダイヘ
ッドの先端部側に離接自在に設けられ、ダイヘッドに対
して乾燥防止液を吹付ける吹付ノズルとを備えたことを
特徴とする塗工装置である。
【００１２】本発明は、基板に対して塗工液を吐出する
先端部と、先端部から延びる傾斜面とを有するダイヘッ
ドと、ダイヘッドの傾斜面に設けられ、ダイヘッドの傾
斜面に対して乾燥防止液を供給する乾燥防止液供給部
と、を備えたことを特徴とする塗工装置である。
先端部と、先端部から延びる傾斜面とを有するダイヘッ
ドと、ダイヘッドの傾斜面に設けられ、ダイヘッドの傾
斜面に対して乾燥防止液を供給する乾燥防止液供給部
と、を備えたことを特徴とする塗工装置である。
【００１３】
【発明の実施の形態】第１の実施の形態 以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明
する。図１（ａ）（ｂ）は本発明による塗工装置の第１
の実施の形態を示す図である。
する。図１（ａ）（ｂ）は本発明による塗工装置の第１
の実施の形態を示す図である。
【００１４】図１（ａ）（ｂ）に示すように、塗工装置
１０は枚葉型基板１１に対して塗工液を吐出する先端部
１１ａを有するダイヘッド１１と、ダイヘッド１１の先
端部１１ａ側に設けられ上方が開口した受皿容器１２
と、受皿容器１２内に配置され、乾燥防止液をダイヘッ
ド１１の先端部１１ａに吹付ける複数の吹付ノズル１３
とを備えている。
１０は枚葉型基板１１に対して塗工液を吐出する先端部
１１ａを有するダイヘッド１１と、ダイヘッド１１の先
端部１１ａ側に設けられ上方が開口した受皿容器１２
と、受皿容器１２内に配置され、乾燥防止液をダイヘッ
ド１１の先端部１１ａに吹付ける複数の吹付ノズル１３
とを備えている。
【００１５】このうち受皿容器１２は上下方向に移動し
て、ダイヘッド１１の先端部１１ａに対して吹付ノズル
１３を離接させるようになっている。また受皿容器１２
には、吹付ノズル１３に連結され、この吹付ノズル１３
に乾燥防止液をエア圧送により供給する供給配管１４が
設けられている。
て、ダイヘッド１１の先端部１１ａに対して吹付ノズル
１３を離接させるようになっている。また受皿容器１２
には、吹付ノズル１３に連結され、この吹付ノズル１３
に乾燥防止液をエア圧送により供給する供給配管１４が
設けられている。
【００１６】さらに受皿容器１２の底部には、受皿容器
１２内の乾燥防止液を排出するドレン管１５が取付けら
れている。
１２内の乾燥防止液を排出するドレン管１５が取付けら
れている。
【００１７】また吹付ノズル１３は、受皿容器１２内に
６本設けられ、受皿容器１２が上昇した際、吹付ノズル
１３はダイヘッド１１の先端部１１ａを囲むようになっ
ている。そして各吹付ノズル１３から約１２０℃の扇形
に乾燥防止液が噴出するようになっており、この乾燥防
止液がダイヘッド１１の先端部１１ａに吹付けられる図
１（ｂ）。
６本設けられ、受皿容器１２が上昇した際、吹付ノズル
１３はダイヘッド１１の先端部１１ａを囲むようになっ
ている。そして各吹付ノズル１３から約１２０℃の扇形
に乾燥防止液が噴出するようになっており、この乾燥防
止液がダイヘッド１１の先端部１１ａに吹付けられる図
１（ｂ）。
【００１８】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００１９】図１において、まず枚葉型の基板（例えば
ガラス）Ｗがダイヘッド１１の先端部１１ａ側へ水平方
向に供給され、ダイヘッド１１の先端部１１ａから塗工
液（例えばＰＶＡ）が基板Ｗ上に塗布される。このとき
受皿容器１２は、ダイヘッド１１の先端部１１ａの下方
にあって、ダイヘッド１１の先端部１１ａから離れてい
る。
ガラス）Ｗがダイヘッド１１の先端部１１ａ側へ水平方
向に供給され、ダイヘッド１１の先端部１１ａから塗工
液（例えばＰＶＡ）が基板Ｗ上に塗布される。このとき
受皿容器１２は、ダイヘッド１１の先端部１１ａの下方
にあって、ダイヘッド１１の先端部１１ａから離れてい
る。
【００２０】次に塗工液の塗布が終了した基板Ｗがダイ
ヘッド１１の先端部１１ａか水平方向に移動して排出さ
れ、その後受皿容器１２、吹付ノズル１３および供給配
管１４が一体となって上昇して受皿容器１２内の吹付ノ
ズル１３がダイヘッド１１の先端部１１ａを囲む。次
に、吹付ノズル１３から乾燥防止液（例えば有機溶剤
（ＭＥＫ））がダイヘッド１１の先端部１１ａに対して
吹付けられ、このようにしてダイヘッド１１の先端部１
１ａの乾燥が防止される。
ヘッド１１の先端部１１ａか水平方向に移動して排出さ
れ、その後受皿容器１２、吹付ノズル１３および供給配
管１４が一体となって上昇して受皿容器１２内の吹付ノ
ズル１３がダイヘッド１１の先端部１１ａを囲む。次
に、吹付ノズル１３から乾燥防止液（例えば有機溶剤
（ＭＥＫ））がダイヘッド１１の先端部１１ａに対して
吹付けられ、このようにしてダイヘッド１１の先端部１
１ａの乾燥が防止される。
【００２１】図１（ａ）において、６本のノズル１３の
うち３本のノズル１３は、ダイヘッド１１の一側に先端
部１１ａに沿って配置され、残りの３本のノズル１３は
ダイヘッド１１の他側に先端部１１ａに沿って配置され
る。このため、吹付ノズル１３から吹付けられた乾燥防
止液によって、ダイヘッド１１の先端部１１ａの乾燥を
効果的に防止することができる。
うち３本のノズル１３は、ダイヘッド１１の一側に先端
部１１ａに沿って配置され、残りの３本のノズル１３は
ダイヘッド１１の他側に先端部１１ａに沿って配置され
る。このため、吹付ノズル１３から吹付けられた乾燥防
止液によって、ダイヘッド１１の先端部１１ａの乾燥を
効果的に防止することができる。
【００２２】次に、受皿容器１２が降下し、ダイヘッド
１１の先端部１１ａに対して次の基板Ｗが接近し、次の
基板Ｗに対してダイヘッド１１の先端部１１ａから塗工
液が塗布される。
１１の先端部１１ａに対して次の基板Ｗが接近し、次の
基板Ｗに対してダイヘッド１１の先端部１１ａから塗工
液が塗布される。
【００２３】第２の実施の形態 次に図２により本発明の第２の実施の形態について説明
する。
する。
【００２４】図２に示す第２の実施の形態は、受皿容器
１２内に吹付ノズルを設ける代わりに、ダイヘッド１１
に乾燥防止液供給部２０を設けたものであり、他は図１
に示す第１の実施の形態と略同一である。
１２内に吹付ノズルを設ける代わりに、ダイヘッド１１
に乾燥防止液供給部２０を設けたものであり、他は図１
に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００２５】図２に示すように、ダイヘッド１１は、塗
工液を塗布する先端部１１ａと、先端部１１ａから斜め
上方へ延びる一対の傾斜面１１ｂ、１１ｂとを有してい
る。ダイヘッド１１の下方に受皿容器１２が上下方向に
移動自在に設けられており、またダイヘッド１１の傾斜
面１１ｂ、１１ｂに、各々乾燥防止液供給部２０が設け
られている。
工液を塗布する先端部１１ａと、先端部１１ａから斜め
上方へ延びる一対の傾斜面１１ｂ、１１ｂとを有してい
る。ダイヘッド１１の下方に受皿容器１２が上下方向に
移動自在に設けられており、またダイヘッド１１の傾斜
面１１ｂ、１１ｂに、各々乾燥防止液供給部２０が設け
られている。
【００２６】図２において、枚葉基板Ｗ図１（ａ）参照
が順次、ダイヘッド１１の先端部１１ａ側へ供給され、
基板Ｗに対してダイヘッド１１の先端部１１ａから塗工
液が塗布される。一つの基板Ｗに対する塗布が終了する
と、受皿容器１２が上昇し、同時に乾燥防止液供給部２
０から乾燥防止液が供給される。
が順次、ダイヘッド１１の先端部１１ａ側へ供給され、
基板Ｗに対してダイヘッド１１の先端部１１ａから塗工
液が塗布される。一つの基板Ｗに対する塗布が終了する
と、受皿容器１２が上昇し、同時に乾燥防止液供給部２
０から乾燥防止液が供給される。
【００２７】乾燥防止液はダイヘッド１１の傾斜面１１
ｂを伝って先端部１１ａ側へ流れ、この先端部１１ａの
乾燥を防止する。
ｂを伝って先端部１１ａ側へ流れ、この先端部１１ａの
乾燥を防止する。
【００２８】なお、図２に示す本実施の形態において、
受皿容器１２を昇降させた例を示したが、受皿容器１２
は必ずしも昇降させなくてもよい。
受皿容器１２を昇降させた例を示したが、受皿容器１２
は必ずしも昇降させなくてもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ダイヘッ
ド内に多量の乾燥防止液を染み込ませることなく、また
ゴミやカスをダイヘッドの先端部に付着させることはな
い。さらに小量の乾燥防止液を用いて効果的にダイヘッ
ドの先端部の乾燥を防止することができる。
ド内に多量の乾燥防止液を染み込ませることなく、また
ゴミやカスをダイヘッドの先端部に付着させることはな
い。さらに小量の乾燥防止液を用いて効果的にダイヘッ
ドの先端部の乾燥を防止することができる。
【図１】本発明による塗工装置の第１の実施の形態を示
す概略図
す概略図
【図２】本発明による塗工装置の第２の実施の形態を示
す概略図
す概略図
１０ 塗工装置 １１ ダイヘッド １１ａ 先端部 １１ｂ 傾斜面 １２ 受皿容器 １３ 吹付ノズル １４ 供給配管 １５ ドレン管 ２０ 乾燥防止液供給部
Claims (4)
- 【請求項１】基板に対して塗工液を吐出する先端部を有
するダイヘッドと、 ダイヘッドの先端部側に離接自在に設けられ、ダイヘッ
ドに対して乾燥防止液を吹付ける吹付ノズルと、を備え
たことを特徴とする塗工装置。 - 【請求項２】吹付ノズルには受皿容器内に配置され、こ
の受皿容器がダイヘッドに対して離接することを特徴と
する請求項１記載の塗工装置。 - 【請求項３】受皿容器に、乾燥防止液を排出するドレン
管を設けたことを特徴とする請求項２記載の塗工装置。 - 【請求項４】基板に対して塗工液を吐出する先端部と、
先端部から延びる傾斜面とを有するダイヘッドと、 ダイヘッドの傾斜面に設けられ、ダイヘッドの傾斜面に
対して乾燥防止液を供給する乾燥防止液供給部と、を備
えたことを特徴とする塗工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382219A JP5088984B2 (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 塗工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382219A JP5088984B2 (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 塗工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002177849A true JP2002177849A (ja) | 2002-06-25 |
| JP5088984B2 JP5088984B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=18850086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000382219A Expired - Fee Related JP5088984B2 (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 塗工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5088984B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006205012A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114318A (ja) * | 1991-06-07 | 1994-04-26 | Konica Corp | 塗布方法及び塗布装置 |
| JPH06339657A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | 流体塗布装置 |
| JPH07108213A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-04-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法 |
| JPH09290227A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-11-11 | Kiyoutarou Wada | 超音波洗浄装置および超音波洗浄方法 |
| JPH1174179A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ノズル洗浄装置 |
| JP2000167470A (ja) * | 1994-04-21 | 2000-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
| JP2000167469A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
-
2000
- 2000-12-15 JP JP2000382219A patent/JP5088984B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114318A (ja) * | 1991-06-07 | 1994-04-26 | Konica Corp | 塗布方法及び塗布装置 |
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| JPH09290227A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-11-11 | Kiyoutarou Wada | 超音波洗浄装置および超音波洗浄方法 |
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| JP2000167469A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006205012A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
| JP4573655B2 (ja) * | 2005-01-26 | 2010-11-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 塗布装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5088984B2 (ja) | 2012-12-05 |
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