JP2002153801A - Table type coating equipment - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板等板状
の被処理材（以下、基板という）上に塗布液を塗布する
テーブルコータと基板の搬送装置とからなるテーブル式
塗装設備に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a table type coating equipment comprising a table coater for applying a coating liquid on a plate-like material to be processed (hereinafter, referred to as a substrate) such as a glass substrate and a substrate transfer device. is there.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、前記テーブルコータで基板上に塗
布液を塗布する場合、テーブル式塗装設備１は、たとえ
ば、図８に示すように、ダイ本体５を備えたテーブルコ
ータ２と、図示しない上流側の設備から基板Ｗを搬送す
る搬送装置ＴAと、この搬送装置ＴAで所定位置に搬送さ
れてきた基板Ｗを把持してテーブルコータ２のテーブル
３上に移送する移載装置ＴBとから構成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, when a coating liquid is applied onto a substrate by the above-mentioned table coater, a table type coating equipment 1 includes, for example, a table coater 2 having a die body 5 as shown in FIG. a transport device T a from the upstream side of the facility to transport the the substrate W, the transfer device T B for transferring and gripping the substrate W that has been conveyed to a predetermined position on the table 3 of the table coater 2 in this transfer apparatus T a It is composed of
【０００３】そして、前記搬送装置ＴAは、基板Ｗを搬
送する駆動ローラ１２からなり、この搬送装置ＴAの所
定位置には、搬送されてきた基板Ｗを上方に持ち上げる
４本のピン１３ａとシリンダ１３ｂとからなる昇降装置
１３が配設されている。The transfer device T A comprises a drive roller 12 for transferring the substrate W. At a predetermined position of the transfer device T A , four pins 13 a for lifting the transferred substrate W upward are provided. An elevating device 13 including a cylinder 13b is provided.
【０００４】また、前記移載装置ＴBは、図示しない旋
回機構を内部に備えた支持台１４と、この支持台１４の
旋回機構に一端を取り付けられたアーム１５と、アーム
１５の他端に配設した下端部に把持手段１７を備えたロ
ッド１６とからなる。[0004] The transfer device T B includes a support 14 having a pivot mechanism (not shown) therein, an arm 15 attached at one end to the pivoting mechanism of the support 14, the other end of the arm 15 And a rod 16 provided with a gripping means 17 at the lower end thereof.
【０００５】なお、前記把持手段１７は、前記ロッド１
６の下端に取り付けた本体１８と、この本体１８の縁部
に対向配置した少なくとも一対のシリンダ１９と、この
シリンダ１９のロッド１９ａに一端部を取り付けられ、
他端部に下記する基板Ｗの側部下面を保持する爪２０ａ
を設けた支持部材２０とからなる。[0005] The gripping means 17 is mounted on the rod 1.
6, a main body 18 attached to the lower end of the main body 6, at least a pair of cylinders 19 disposed opposite to the edge of the main body 18, and one end attached to a rod 19a of the cylinder 19.
A claw 20a at the other end for holding a lower surface of a side surface of the substrate W described below.
And the supporting member 20 provided with
【０００６】前記テーブルコータ２は、前記移載装置Ｔ
Bを挟んで前記搬送装置ＴAと反対側に配設され、基板Ｗ
を載置する所定の平面度（たとえば、２μｍ以下）を有
するテーブル３と、このテーブル３上に配設されたダイ
本体５とからなる。The table coater 2 is provided with the transfer device T
It is disposed on the opposite side of the transport device T A across the B, the substrate W
The table 3 has a predetermined flatness (for example, 2 μm or less) on which is mounted, and a die main body 5 disposed on the table 3.
【０００７】なお、前記テーブル３には図示しない減圧
手段に連通する複数の吸引孔が設けてあるとともにレー
ル４が設けてある。The table 3 has a plurality of suction holes communicating with a pressure reducing means (not shown) and a rail 4.
【０００８】前記ダイ本体５は前記レール４上に図示し
ない駆動手段により進退可能に設けた支持部材６に昇降
可能に設置したもので、図示しない塗布液供給ポンプに
てダイ本体５内のマニホールドに供給された塗布液がダ
イ本体５のリップ部からテーブル３上に載置された基板
Ｗ上に供給され、ダイ本体５の移動により基板Ｗ上に塗
布膜を形成するものである。なお、前記テーブル３およ
びダイ本体５は各々公知の構造であるため詳細な説明を
省略する。The die body 5 is mounted on the rail 4 so as to be able to move up and down on a support member 6 provided to be able to move forward and backward by driving means (not shown), and is mounted on a manifold in the die body 5 by a coating liquid supply pump (not shown). The supplied coating liquid is supplied from the lip portion of the die body 5 onto the substrate W placed on the table 3, and a coating film is formed on the substrate W by moving the die body 5. Since the table 3 and the die main body 5 each have a known structure, detailed description will be omitted.
【０００９】また、前記テーブル３には、図９に示すよ
うに、ストッパ８とアーム９とからなる位置決め装置７
が一対配設されていて、アーム９を、アーム９の一端に
設けた軸Ｓを中心に旋回させることによりアーム９の他
端に設けた押圧部１０でテーブル３上に載置された基板
Ｗを２つのストッパ８に圧接させて位置決めを行うよう
になっている。なお、前記ストッパ８およびアーム９等
の高さは適用される基板Ｗの高さより低くなっている。As shown in FIG. 9, a positioning device 7 comprising a stopper 8 and an arm 9 is provided on the table 3.
Are arranged in a pair, and the arm 9 is turned around an axis S provided at one end of the arm 9 so that the pressing unit 10 provided at the other end of the arm 9 places the substrate W placed on the table 3. Are pressed against the two stoppers 8 to perform positioning. The heights of the stopper 8 and the arm 9 are lower than the height of the substrate W to be applied.
【００１０】さらに、前記テーブル３の基板Ｗ載置区域
下面には、複数（図では４つ）のピン１１ａとシリンダ
１１ｂとからなる昇降装置１１が設けられ、ピン１１ａ
はテーブル３に設けた貫通孔Ｈを介して昇降可能となっ
ている。Further, an elevating device 11 comprising a plurality of (four in the figure) pins 11a and a cylinder 11b is provided on the lower surface of the substrate W mounting area of the table 3;
Can be moved up and down through a through hole H provided in the table 3.
【００１１】前記構成からなるため、前記搬送装置ＴA
で所定位置に基板Ｗが搬送されてくると、前記昇降装置
１３が作動して基板Ｗはピン１３ａで上方に持ち上げら
れ、上方に待機する移載装置ＴBの把持手段１７内に位
置する。そこで、前記シリンダ１９により各支持部材２
０を内方に移動させ、基板Ｗの側底部を爪２０ａで支持
する（図８）。その後、前記昇降装置１３のピン１３ａ
が下降し、基板Ｗは把持手段１７で把持される。続い
て、アーム１５が約１８０度旋回し、基板Ｗをテーブル
３の上方所定位置へ旋回する。[0011] Because of the above configuration, the transport device T A
In the substrate W to a predetermined position is conveyed, the substrate W the lifting device 13 is activated is lifted upward by a pin 13a, is located the gripping means within 17 of the transfer device T B to wait upwards. Therefore, each support member 2 is
0 is moved inward, and the side bottom of the substrate W is supported by the claws 20a (FIG. 8). Then, the pins 13a of the lifting device 13
Is lowered, and the substrate W is gripped by the gripping means 17. Subsequently, the arm 15 pivots by about 180 degrees, and pivots the substrate W to a predetermined position above the table 3.
【００１２】基板Ｗがテーブル３上の所定位置にくる
と、テーブル３に設けた昇降装置１１のシリンダ１１ｂ
を駆動してそのピン１１ａをテーブル３上に突出するこ
とにより基板Ｗを支持する。その後、前記把持手段１７
のシリンダ１９が作動して支持部材２０を外方に移動さ
せることにより、基板Ｗは前記昇降装置１１のピン１１
ａ上に移載される。When the substrate W reaches a predetermined position on the table 3, the cylinder 11b of the elevating device 11 provided on the table 3
To support the substrate W by projecting the pins 11a above the table 3. Then, the gripping means 17
When the cylinder 19 is operated to move the support member 20 outward, the substrate W
a.
【００１３】その後、前記ピン１１ａが下降し、前記基
板Ｗをテーブル３上に載置する。この時、前記移載装置
ＴBは、塗布工程におけるダイ本体５の作動に支障のな
い位置に旋回待避する一方、前記位置決め装置７のアー
ム９が回動して基板Ｗの隣接する２辺を押圧してストッ
パ８に圧接させ、基板Ｗを所定位置に正確に位置決めす
るとともに、図示しない減圧手段により基板をテーブル
３上に吸引保持する。Thereafter, the pins 11a are lowered, and the substrate W is placed on the table 3. At this time, the transfer device T B, while pivoted retracted to a position not interfering with the operation of the die body 5 in the coating step, the two sides of the arm 9 of the positioning device 7 is adjacent the substrate W by rotating The substrate W is pressed and pressed against the stopper 8 to accurately position the substrate W at a predetermined position, and the substrate is suction-held on the table 3 by a pressure reducing means (not shown).
【００１４】ついで、前記基板Ｗ上に塗布液を塗布する
が、それに先立ってダイ本体５を進退させ、ダイ本体５
に設けた図示しないセンサにより基板Ｗの表面の凹凸を
検出し、この凹凸に合わせてダイ本体５を昇降させなが
ら基板Ｗの表面に塗布液を供給して塗布膜を形成する。Next, the coating liquid is applied onto the substrate W. Prior to this, the die body 5 is moved forward and backward,
The unevenness on the surface of the substrate W is detected by a sensor (not shown) provided on the substrate W, and a coating liquid is supplied to the surface of the substrate W while the die body 5 is moved up and down in accordance with the unevenness to form a coating film.
【００１５】前記のようにして塗布が完了すると、前記
昇降装置１１のピン１１ａにより、基板Ｗを上方に持ち
上げるとともに、前記移載装置ＴBを再び旋回し図８に
示す状態とする。[0015] applied in the manner described above is completed, the pin 11a of the elevating device 11, together with the lift the substrate W upward to a state shown in the transfer device T B was again turning Figure 8.
【００１６】そして、前記移載装置ＴBのシリンダ１９
を駆動して支持部材２０の爪２０ａを基板Ｗの下方に位
置させたのち、昇降装置１１のピン１１ａの下降により
基板Ｗを把持手段１７で把持し、移送装置ＴBを旋回さ
せ、前記とは逆工程にて基板Ｗを昇降装置１３を介して
搬送装置ＴA上に載置し、下流側の次工程設備に搬送す
るものである。[0016] Then, the cylinder 19 of the transfer device T B
After the claw 20a of the drive to the supporting member 20 was positioned below the substrate W and grips the substrate W by the gripping means 17 by lowering of the pin 11a of the elevator device 11, to pivot the transfer device T B, the a the substrate W by the inverse process is placed on the transport device T a via the lifting device 13 is intended to convey to the next process equipment downstream.
【００１７】[0017]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
テーブル式塗装設備１においては、基板Ｗのテーブル３
上への移送は、移載装置ＴBのアーム１５の旋回により
行うため、移動距離はテーブル３の位置如何にかかわら
ず長く、つまり移送時間が長くなって生産性が悪いばか
りかアーム１５の旋回範囲内は安全上立入禁止とせざる
を得ず、設備自体が大型化するという問題があった。As described above, in the conventional table type coating equipment 1, the table 3 of the substrate W
Transfer to above, for performing the pivoting of the arm 15 of the transfer device T B, the moving distance is long regardless located how the table 3, that the turning of only one arm 15 is poor productivity becomes longer transport time Within the range, there is no choice but to keep out of safety, and there is a problem that the equipment itself becomes large.
【００１８】すなわち、搬送装置ＴAの基板受け取り位
置からテーブルコータ２の基板受け取り位置までを直径
とする円の円周の約半分を移動するので、搬送装置ＴA
の基板受け取り位置からテーブルコータ２の基板受け取
り位置までを直線で移動する場合の約１．５倍の距離を
移動することになる。[0018] That is, since it is moving approximately half the circumference of a circle from the substrate receiving position of the transport apparatus T A to the substrate receiving position of the table coater 2 diameter, transfer apparatus T A
The distance from the substrate receiving position of the table coater 2 to the substrate receiving position of the table coater 2 is about 1.5 times as long as moving in a straight line.
【００１９】また、前記塗装設備１では、移載装置ＴB
で基板Ｗを把持するためにシリンダ１９に取り付けられ
た支持部材２０で基板Ｗの側辺を把持するため、把持で
きる基板Ｗの大きさに限界があり、さらに、把持方向を
基板Ｗの短手方向で行わなければ把持手段１７が大型化
するという制約もあった。In the coating equipment 1, the transfer device T B
Since the side of the substrate W is gripped by the support member 20 attached to the cylinder 19 in order to grip the substrate W, there is a limit in the size of the substrate W that can be gripped. If the operation is not performed in the direction, there is also a restriction that the gripping means 17 becomes large.
【００２０】したがって、本発明は移載装置として旋回
アームを使用せず、短時間で基板をテーブル上に移送、
移動でき、設備自体を小型とすることのできるテーブル
式塗装設備を提供することを目的とする。Therefore, according to the present invention, the substrate is transferred to the table in a short time without using the swivel arm as the transfer device.
It is an object of the present invention to provide a table-type coating facility which can be moved and can be reduced in size.
【００２１】[0021]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、被処理材を搬送する搬送装置と、この搬
送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通する
複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したのち吸
引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、かつ、進
退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保持され
た被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータとから
なるテーブル式塗装設備において、前記被処理材の搬送
方向が前記ダイ本体の進退方向と直交するよう前記テー
ブルコータの両側に前記搬送装置を配設するとともに、
上昇端では頂部が前記テーブルの表面より突出し、下降
端では頂部が前記テーブルの表面より下方に位置する昇
降可能な回転体を前記搬送装置の延長線上に所定間隔で
設けた移載装置を前記テーブルに配設するようにした。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a conveying device for conveying a material to be processed, and a plurality of suction devices for communicating the material to be conveyed by the conveying device with a pressure reducing means. After being placed on a flat table provided with holes, it is sucked and held, and the coating liquid is applied to the material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table, and which can move back and forth. In a table type coating equipment consisting of a table coater and, while disposing the transfer device on both sides of the table coater so that the transfer direction of the material to be processed is orthogonal to the advancing and retreating direction of the die body,
At the ascending end, the top protrudes from the surface of the table, and at the descending end, the transfer device is provided with a vertically movable rotator whose top is located below the surface of the table at predetermined intervals on an extension of the transfer device. It was arranged in.
【００２２】また、被処理材を搬送する搬送装置と、こ
の搬送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通
する複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したの
ち吸引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、か
つ、進退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保
持された被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータ
とからなるテーブル式塗装設備において、前記テーブル
と搬送装置との上方に前記ダイ本体の進退方向に所定間
隔を有する一対のレールを配設し、この一対のレールに
前記搬送装置とテーブルコータとの間を往復移動する移
載台車を設け、一端がこの移載台車に回動可能に保持さ
れ、他端には前記回動により被処理材下面を支持する支
持部を備えた軸を前記移戴台車の所定位置に少なくとも
４本配設した移戴装置を設け、かつ、前記テーブルおよ
び搬送装置の所定位置に、被処理材を昇降させる昇降装
置を配設するようにしたものである。A transport device for transporting the workpiece and a workpiece transported by the transport device are placed on a flat table provided with a plurality of suction holes communicating with the pressure reducing means, and then suction-held. In a table type coating equipment comprising a table coater for applying a coating liquid onto a material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table and which can be moved back and forth, A pair of rails having a predetermined interval in the advance and retreat direction of the die main body are disposed above the apparatus, and a transfer carriage that reciprocates between the transfer device and the table coater is provided on the pair of rails, and one end is provided. At least four shafts, which are rotatably held by the transfer cart and have a support portion for supporting the lower surface of the material to be processed by the rotation at the other end, are arranged at predetermined positions of the transfer cart. Dress The provided and, at a predetermined position of said table and conveying device, in which so as to dispose the lifting device for raising and lowering the workpiece.
【００２３】なお、前記移載台車に設けた軸を昇降可能
にしてもよい。It is to be noted that a shaft provided on the transfer carriage may be made movable up and down.
【００２４】[0024]
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を図
にしたがって説明する。図１〜図３は、本発明の第１実
施形態を示し、大略、第１搬送装置Ｔ1と、第２搬送装
置Ｔ2およびテーブルコータ３１からなり、テーブルコ
ータ３１は第１搬送装置Ｔ1と第２搬送装置Ｔ2との間に
同一線上で、かつ、第１搬送装置Ｔ1と第２搬送装置Ｔ2
の搬送面より低い位置にそのテーブル３２の面が位置す
るように配設されている。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 show a first embodiment of the present invention, generally, a first transfer device T 1, made from the second transport device T 2 and table coater 31, the first transfer device table coater 31 is T 1 If collinear between the second transport unit T 2, and the first transfer device T 1 and the second conveying device T 2
Is arranged so that the surface of the table 32 is located at a position lower than the transfer surface of the table 32.
【００２５】そして、第１搬送装置Ｔ1と第２搬送装置
Ｔ2とは駆動ローラ３０からなるローラコンベアで構成
されている。The first transport device T 1 and the second transport device T 2 are constituted by roller conveyors comprising drive rollers 30.
【００２６】また、前記テーブル３２上には前記両搬送
装置Ｔ1，Ｔ2の搬送方向と直交するようにレール３４が
設けられ、このレール３４上にダイ本体３５が従来同
様、昇降および進退可能に設置され、かつ、テーブル３
２の基板Ｗの載置範囲には減圧手段に連通する多数の吸
引孔（いずれも図示せず）と前記従来例と同様テーブル
３２上にストッパ３８とアーム３９とからなる位置決め
装置３７が２組設けてある。A rail 34 is provided on the table 32 so as to be orthogonal to the transport direction of the two transport devices T 1 and T 2 , and the die body 35 can be moved up and down and forward and backward on this rail 34 as in the prior art. Installed on a table 3
In the mounting range of the two substrates W, two sets of positioning devices 37 each including a plurality of suction holes (both not shown) communicating with the decompression means and a stopper 38 and an arm 39 on the table 32 as in the conventional example. It is provided.
【００２７】さらに、前記テーブル３２には、前記第１
搬送装置Ｔ1により搬送されてきた基板Ｗを、テーブル
３２の所定位置に移動させ、塗布工程終了後、基板Ｗを
前記第２搬送装置Ｔ2に送り出す移載装置Ｔ3が配設され
ている。Further, the table 32 contains the first
The substrate W transported by a transport device T 1, is moved to a predetermined position of the table 32, after the completion of the coating process, the transfer device T 3 is provided for feeding the substrate W on the second transport device T 2 .
【００２８】この移載装置Ｔ3は、前記テーブル３２の
下方に配設されたもので、図２、図３に示すように、シ
リンダからなる昇降装置４０により昇降するフレーム４
１上に駆動ローラ４２を設けたものである。The transfer device T 3 is disposed below the table 32 and, as shown in FIGS. 2 and 3, a frame 4 which is raised and lowered by a lifting device 40 comprising a cylinder.
1, a driving roller 42 is provided.
【００２９】すなわち、図３に示すように、前記フレー
ム４１上に複数の軸受４３が所定間隔に２列（図では片
側１列のみ記載している）設けられ、各軸受４３には一
端に駆動ローラ４２を備えた軸４４が軸支され、これら
各軸４４の他端に設けられたプーリ４５は回転伝達機構
４６によりモータＭに接続され、モータＭにより各駆動
ローラ４２は一斉に回転，停止を行う構造となってい
る。That is, as shown in FIG. 3, a plurality of bearings 43 are provided on the frame 41 at predetermined intervals (only one row is shown on one side in the figure), and each bearing 43 is driven at one end. Shafts 44 having rollers 42 are supported by shafts. Pulleys 45 provided at the other ends of the shafts 44 are connected to a motor M by a rotation transmitting mechanism 46, and the drive rollers 42 are simultaneously rotated and stopped by the motor M. It is structured to perform.
【００３０】そして、前記各駆動ローラ４２の頂部は、
前記昇降装置４０の上昇により前記テーブル３２に設け
た開口３３からテーブル３２の表面より上方に突出し、
前記両搬送装置Ｔ1，Ｔ2の搬送面と同一高さとなる一
方、昇降装置４０の下降により駆動ローラ４２の頂部は
テーブル３２表面より下方に位置する。なお、前記各駆
動ローラ４２の搬送方向は第１、第２搬送装置Ｔ1，Ｔ2
の搬送方向と同一である。The top of each drive roller 42 is
As the lifting device 40 rises, it protrudes upward from the surface of the table 32 from an opening 33 provided in the table 32,
The height of the drive roller 42 is lower than the surface of the table 32 due to the lowering of the lifting / lowering device 40, while the height of the drive roller 42 is the same as the height of the transfer surfaces of the two transfer devices T 1 and T 2 . The transport direction of each drive roller 42 is the first and second transport devices T 1 , T 2
Is the same as the transfer direction.
【００３１】前記構成からなるため、第１搬送装置Ｔ1
により基板Ｗが搬送されてくると駆動モータＭが回転す
るとともに、前記昇降装置４０が作動して駆動ローラ４
２が上昇し、前記基板Ｗを受け取り、基板Ｗが所定位置
に移動すると駆動モータＭを停止する。With the above configuration, the first transport device T 1
When the substrate W is conveyed, the drive motor M rotates, and the elevating device 40 operates to drive the drive roller 4.
2 rises, receives the substrate W, and stops the drive motor M when the substrate W moves to a predetermined position.
【００３２】ついで、昇降装置４０により駆動ローラ４
２がテーブル３２の上面より下方に下降することにより
基板Ｗはテーブル３２上に載置され、その後、位置決め
装置３７により基板Ｗは正確にテーブル３２上の所定位
置に載置されるとともに、図示しない吸引手段でテーブ
ル３２上に吸引保持され、従来同様、基板Ｗ表面の凹凸
状態を検出したのちダイ本体３５により前記凹凸に合わ
せてギャップを一定に保ちながら塗布液を塗布する。な
お、前記アーム３９は基板Ｗがテーブル上に吸着すると
元の位置に戻る。Next, the drive roller 4 is moved by the lifting device 40.
The substrate W is placed on the table 32 by lowering the substrate 2 below the upper surface of the table 32. Thereafter, the substrate W is accurately placed at a predetermined position on the table 32 by the positioning device 37, and is not shown. After being held by suction on the table 32 by the suction means, the state of the irregularities on the surface of the substrate W is detected, and then the coating liquid is applied by the die body 35 while keeping the gap constant according to the irregularities. The arm 39 returns to the original position when the substrate W is attracted to the table.
【００３３】前記のようにして、塗布作業が完了する
と、基板Ｗの吸引を解除し、昇降装置４０により基板Ｗ
を駆動ローラ４２で持ち上げ、モータＭを駆動して基板
Ｗを第２搬送装置Ｔ2に送り、次工程に搬送されること
になる。なお、連続的に基板Ｗに塗布する場合、塗布済
の基板Ｗが駆動ローラ４２によりテーブル３２から搬出
されると同時に、第１搬送装置Ｔ1から駆動ローラ４２
上に次の基板Ｗが搬入されるようにすればよい。When the coating operation is completed as described above, the suction of the substrate W is released, and the substrate W is
Lifting the drive roller 42, feeding the substrate W to the second transport device T 2 by driving the motor M, to be carried to the next step. In the case of applying the continuous substrate W, and at the same time coating the already substrate W is unloaded from the table 32 by the drive roller 42, driven from the first transport device T 1 roller 42
What is necessary is just to carry in the next board | substrate W on top.
【００３４】図４〜図６は本発明の第２の実施形態を示
す。FIGS. 4 to 6 show a second embodiment of the present invention.
【００３５】第２の実施形態においては、テーブルコー
タ３１のダイ本体３５の進退方向と平行して搬送装置Ｔ
4が並設されている。なお、搬送装置Ｔ4は駆動ローラ５
０からなるローラコンベアで構成され、前記テーブルコ
ータ３１に対応する位置の下方に４本のピン５１ａとシ
リンダ５１ｂとからなる昇降装置５１を備える。In the second embodiment, the transfer device T is moved in parallel with the direction of movement of the die body 35 of the table coater 31.
4 are juxtaposed. The transfer device T 4 is provided with a drive roller 5.
And a lifting device 51 comprising four pins 51a and a cylinder 51b below a position corresponding to the table coater 31.
【００３６】また、テーブルコータ３１においては、前
記従来例と同様、テーブル３２上に２組の位置決め装置
３７を有するとともに、テーブル３２には吸引手段に接
続された複数の吸引孔（いずれも図示せず）と、テーブ
ル３２下方にピン５２ａがテーブル３２に設けた開口３
３から突出あるいは後退して基板Ｗをピン５２ａ上ある
いはテーブル３２上に載置するシリンダ５２ｂを有する
昇降装置５２を備えた構成となっている。The table coater 31 has two sets of positioning devices 37 on the table 32, as in the prior art, and the table 32 has a plurality of suction holes connected to suction means (all shown in the drawing). ), And a pin 52a is provided below the table 32 so that the opening 3
The lifting device 52 has a cylinder 52b that projects or retracts from the position 3 and places the substrate W on the pins 52a or the table 32.
【００３７】そして、前記搬送装置Ｔ4とテーブルコー
タ３１を跨いで、かつ、所定間隔を保って２本のレール
５６が支柱５５上端に取り付けられ、これらレール５６
上に図示しない駆動装置で走行する移載装置５７を構成
する移載台車５８が搭載されている。Then, two rails 56 are attached to the upper end of the support 55 so as to straddle the transport device T 4 and the table coater 31 and to maintain a predetermined interval.
A transfer carriage 58 that constitutes a transfer device 57 that is driven by a driving device (not shown) is mounted thereon.
【００３８】また、前記移載台車５８の両側に２本ずつ
所定間隔を介して下端にＬ字状に突出する支持部５９ａ
を備えた２本の軸５９が回動手段（図示しない）により
回動可能となっている。Support portions 59a protruding in an L-shape from the lower end of the transfer carriage 58 to the lower end thereof at predetermined intervals by two on both sides.
Are rotatable by rotating means (not shown).
【００３９】前記構成からなるため、基板Ｗが搬送装置
Ｔ4により前記テーブルコータ３１側方の所定位置に搬
送されてくると、一旦駆動ローラ５０が停止し、昇降装
置５１を駆動してそのピン５１ａにより基板Ｗを駆動ロ
ーラ５０の上方に押し上げ、上方に待機する移載台車５
８の支持部５９ａより上方に位置させる。ここで、前記
支持部５９ａが９０°回動して基板Ｗの下方に位置する
と、前記昇降装置５１のピン５１ａを後退させて基板Ｗ
を支持部５９ａ上に支持する。[0039] Since comprising the structure, when the substrate W is transported to a predetermined position of said table coater 31 side by the transfer unit T 4, once the driving roller 50 is stopped, the pin by driving the lifting device 51 The transfer carriage 5 that pushes up the substrate W above the drive roller 50 by 51a and waits above the drive roller 50
8 above the supporting portion 59a. Here, when the support portion 59a is rotated by 90 ° and positioned below the substrate W, the pins 51a of the elevating device 51 are retracted, and the substrate W
Is supported on the support portion 59a.
【００４０】その後、移載台車５８は移動してテーブル
コータ３１の所定位置上方に達すると停止するが、これ
と同時に昇降装置５２のピン５２ａが突出して基板Ｗを
ピン５２ａで若干押し上げると、前記支持部５９ａは９
０°回動し基板Ｗから退避する（図６参照）。このよう
に、基板Ｗが昇降装置５２のピン５２ａ上に支持される
とピン５２ａは後退し、基板Ｗをテーブル３２上に載置
することになる。Thereafter, the transfer carriage 58 moves and stops when it reaches a predetermined position above the table coater 31. At the same time, when the pins 52a of the elevating device 52 project and the substrate W is slightly pushed up by the pins 52a, The support part 59a is 9
It turns by 0 ° and retracts from the substrate W (see FIG. 6). As described above, when the substrate W is supported on the pins 52a of the elevating device 52, the pins 52a retreat, and the substrate W is placed on the table 32.
【００４１】その後は、前記第１実施形態と同様、基板
Ｗを位置決め装置３７で位置決めした後、テーブル３２
に吸引保持し、ダイ本体３５により塗布する。Thereafter, as in the first embodiment, after positioning the substrate W by the positioning device 37, the table 32
, And is applied by the die body 35.
【００４２】基板Ｗへの塗布が終了すると、昇降装置５
２が作動してピン５２ａが突出して基板Ｗを上方に押し
上げ、これと同時に支持部５９ａが回動して基板Ｗを支
持したのち、再度、搬送装置Ｔ4の所定位置に至る。こ
こで昇降装置５１のピン５１ａにより一旦基板Ｗを押し
上げると同時に軸５９を回動し、続くピン５１ａの後退
により再度搬送装置Ｔ4上に基板Ｗを載置する。When the coating on the substrate W is completed, the lifting device 5
2 is operated push the substrate W above the pin 52a protrudes, after the same time the support portion 59a supported the substrate W rotates, again, reaches the predetermined position of the transport device T 4. Here once rotates the shaft 59 at the same time pushing up the substrate W by a pin 51a of the elevating device 51, and places the substrate W on the conveying device T 4 again by the retraction of the subsequent pin 51a.
【００４３】そして、駆動ローラ５０を駆動して処理済
基板Ｗを下流側の他の設備へ送る一方、次の基板Ｗを前
記所定位置に搬送し、テーブルコータ３１へ移送するこ
とになる。Then, while driving the drive roller 50 to send the processed substrate W to another facility on the downstream side, the next substrate W is transported to the predetermined position and transported to the table coater 31.
【００４４】なお、前述の説明では、テーブルコータ３
１の片側のみに搬送装置Ｔ4を配設し、移載装置５７の
移載台車５８を往復させて基板Ｗを移載するようにした
が、図７に示すように、テーブルコータ３１を挟んで搬
送装置Ｔ4の反対側に搬送装置Ｔ5を配設し、移載装置５
７を構成するレール５６を搬送装置Ｔ4，Ｔ5およびテー
ブルコータ３１を跨ぐように配設してもよい。In the above description, the table coater 3
1 only provided a transport device T 4 on one side, but so as to transfer the substrate W by reciprocating the transfer carriage 58 of transfer device 57, as shown in FIG. 7, across the table coater 31 in disposed a transport device T 5 on the opposite side of the transport device T 4, transfer device 5
7 may be disposed so as to straddle the transport devices T 4 and T 5 and the table coater 31.
【００４５】このように構成することにより、たとえ
ば、搬送装置Ｔ4で搬送されてきた基板Ｗを移載装置５
７を構成する移載台車５８でテーブルコータ３１へ移載
し、所定の塗布作業を終了した後、前記移載台車５８で
搬送装置Ｔ5へ搬送し、塗布済みの基板を図示しない次
の工程に搬送することもできる。With this configuration, for example, the substrate W transferred by the transfer device T 4 can be transferred to the transfer device 5.
7 transferred to a table coater 31 in transfer carriage 58 constituting the, after finishing a predetermined coating operation, is transported to the transport device T 5 by the transfer carriage 58, the next step (not shown) the coated substrate Can also be transported.
【００４６】さらに、移載台車５８に設けた軸５９を昇
降可能とすることにより、テーブルコータ３１および搬
送装置Ｔ4あるいはＴ5に設けた昇降装置のピンの上昇端
高さ（基板Ｗの受け渡し高さ）を合わせる必要がなくな
り、任意の高さに設定できる。[0046] Further, by enabling lifting the shaft 59 provided on the transfer carriage 58, passing the table coater 31 and the conveying device T 4 or pin rising edge height of the lifting device provided T 5 (substrate W Height) does not need to be adjusted, and can be set to any height.
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、搬送装置から被処理材をテーブルコータへ搬
入、搬出するのは、直線上の移動であり、従来のよう
に、旋回動作で行うものでないため、実際の移動距離が
短く、塗布処理に要する時間を短縮することができる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the loading and unloading of the material to be processed from the transfer device to and from the table coater is a straight-line movement, and a conventional rotation. Since it is not performed by operation, the actual moving distance is short, and the time required for the coating process can be reduced.
【００４８】特に、請求項１の発明においては、処理済
被処理材をテーブルから第２搬送装置へ搬出するのと同
時に第１搬送装置からテーブルへ次の被処理材を搬入で
き、生産性が極めてよくなる。In particular, according to the first aspect of the present invention, a processed material to be processed is carried out from the table to the second transporting device, and at the same time, the next material to be processed can be loaded from the first transporting device to the table. Very good.
【００４９】また、移載台車５８に設けた軸５９を昇降
可能とすることにより、テーブルコータおよび搬送装置
に設けた昇降装置のピンの上昇端高さ（基板の受け渡し
高さ）を合わせる必要がなくなる。Further, since the shaft 59 provided on the transfer carriage 58 can be moved up and down, it is necessary to adjust the height of the rising end of the pins (transfer height of the substrate) of the pins of the table coater and the lifting device provided on the transfer device. Disappears.
【００５０】さらに、本発明によれば、従来のように旋
回手段を使用しないため、立入危険範囲がなく、スペー
スを有効に利用できるという利点も有する。Further, according to the present invention, since the turning means is not used unlike the prior art, there is an advantage that there is no danger area of access and the space can be effectively used.
【図１】 本発明にかかるテーブル式塗装設備の第１実
施形態を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of a table type coating facility according to the present invention.
【図２】 図１の断面図。FIG. 2 is a sectional view of FIG.
【図３】 図２の移載装置の一部詳細図。FIG. 3 is a partially detailed view of the transfer device of FIG. 2;
【図４】 本発明にかかるテーブル式塗装設備の第２実
施形態を示す平面図。FIG. 4 is a plan view showing a second embodiment of the table type coating equipment according to the present invention.
【図５】 図４の断面図。FIG. 5 is a sectional view of FIG. 4;
【図６】 図４の移載装置の支持部拡大図。FIG. 6 is an enlarged view of a support portion of the transfer device of FIG. 4;
【図７】 本発明にかかるテーブル式塗装設備の第３の
実施形態を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing a third embodiment of the table type coating equipment according to the present invention.
【図８】 従来のテーブルコータ設備の一部断面正面
図。FIG. 8 is a partial cross-sectional front view of a conventional table coater facility.
【図９】 図８の位置決め機構の平面図。FIG. 9 is a plan view of the positioning mechanism of FIG. 8;
３１〜テーブルコータ、３２〜テーブル、３３〜開口、
３５〜ダイ本体、４０〜昇降装置、４１〜フレーム、４
２〜駆動ローラ、４６〜回転伝達機構、５０〜駆動ロー
ラ、５１，５２〜昇降装置、５１ａ，５２ａ〜ピン、５
６〜レール、５７〜移載装置、５８〜移載台車、５９〜
軸、５９ａ〜支持部、Ｔ1，Ｔ2，Ｔ4，Ｔ5〜搬送装置、
Ｔ3〜移載装置、Ｗ〜被処理材（基板）。31-table coater, 32-table, 33-opening,
35 to die body, 40 to lifting device, 41 to frame, 4
2 to drive roller, 46 to rotation transmission mechanism, 50 to drive roller, 51, 52 to elevating device, 51a, 52a to pin, 5
6-rail, 57-transfer device, 58-transfer cart, 59-
Axis, 59A～ support portions, T 1, T 2, T 4, T 5 ~ conveying device,
T 3 ~ transfer device, watts to the material to be treated (substrate).
Claims (3)
送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通する
複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したのち吸
引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、かつ、進
退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保持され
た被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータとから
なるテーブル式塗装設備において、 前記被処理材の搬送方向が前記ダイ本体の進退方向と直
交するよう前記テーブルコータの両側に前記搬送装置を
配設するとともに、上昇端では頂部が前記テーブルの表
面より突出し、下降端では頂部が前記テーブルの表面よ
り下方に位置する昇降可能な回転体を前記搬送装置の延
長線上に所定間隔で設けた移載装置を前記テーブルに配
設したことを特徴とするテーブル式塗装設備。1. A transport device for transporting a material to be processed, and a material transported by the transport device is placed on a flat table provided with a plurality of suction holes communicating with a pressure reducing means, and then suction-held. A table coater for applying a coating liquid onto a material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table, and which can be moved forward and backward; The transfer device is disposed on both sides of the table coater so that the transfer direction of the die body is perpendicular to the advancing and retreating direction of the die body. At the rising end, the top protrudes from the surface of the table, and at the falling end, the top is the surface of the table. A table-type coating device, wherein a transfer device in which a vertically movable rotary member located at a lower position is provided at a predetermined interval on an extension of the transfer device is disposed on the table. Equipment.
送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通する
複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したのち吸
引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、かつ、進
退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保持され
た被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータとから
なるテーブル式塗装設備において、 前記テーブルと搬送装置との上方に前記ダイ本体の進退
方向に所定間隔を有する一対のレールを配設し、この一
対のレールに前記搬送装置とテーブルコータとの間を往
復移動する移載台車を設け、一端がこの移載台車に回動
可能に保持され、他端には前記回動により被処理材下面
を支持する支持部を備えた軸を前記移戴台車の所定位置
に少なくとも４本配設した移戴装置を設け、かつ、前記
テーブルおよび搬送装置の所定位置に、被処理材を昇降
させる昇降装置を配設したことを特徴とするテーブル式
塗装設備。2. A transport device for transporting a material to be processed, and a workpiece transported by the transport device is placed on a flat table provided with a plurality of suction holes communicating with a pressure reducing means, and then suction-held. In a table type coating equipment comprising a table coater for applying a coating liquid onto a material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table, and which can be moved back and forth, A pair of rails having a predetermined interval in the advance and retreat direction of the die main body are disposed above the apparatus, and a transfer carriage that reciprocates between the transfer device and the table coater is provided on the pair of rails, and one end is provided. At least four shafts, which are rotatably held by the transfer cart and have a support portion for supporting the lower surface of the material to be processed by the rotation at the other end, are arranged at predetermined positions of the transfer cart. Equipment Only, and, at a predetermined position of said table and conveying device, a table-type painting equipment, characterized in that arranged the lifting device for raising and lowering the workpiece.
したことを特徴とする請求項２に記載のテーブル式塗装
設備。3. The table type coating equipment according to claim 2, wherein a shaft provided on said transfer carriage is arranged so as to be able to move up and down.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000351121A JP2002153801A (en) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | Table type coating equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002153801A (en) |
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