JP2002153801A - Table type coating equipment - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板等板状
の被処理材(以下、基板という)上に塗布液を塗布する
テーブルコータと基板の搬送装置とからなるテーブル式
塗装設備に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a table type coating equipment comprising a table coater for applying a coating liquid on a plate-like material to be processed (hereinafter, referred to as a substrate) such as a glass substrate and a substrate transfer device. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、前記テーブルコータで基板上に塗
布液を塗布する場合、テーブル式塗装設備1は、たとえ
ば、図8に示すように、ダイ本体5を備えたテーブルコ
ータ2と、図示しない上流側の設備から基板Wを搬送す
る搬送装置TAと、この搬送装置TAで所定位置に搬送さ
れてきた基板Wを把持してテーブルコータ2のテーブル
3上に移送する移載装置TBとから構成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, when a coating liquid is applied onto a substrate by the above-mentioned table coater, a table type coating equipment 1 includes, for example, a table coater 2 having a die body 5 as shown in FIG. a transport device T a from the upstream side of the facility to transport the the substrate W, the transfer device T B for transferring and gripping the substrate W that has been conveyed to a predetermined position on the table 3 of the table coater 2 in this transfer apparatus T a It is composed of
【0003】そして、前記搬送装置TAは、基板Wを搬
送する駆動ローラ12からなり、この搬送装置TAの所
定位置には、搬送されてきた基板Wを上方に持ち上げる
4本のピン13aとシリンダ13bとからなる昇降装置
13が配設されている。The transfer device T A comprises a drive roller 12 for transferring the substrate W. At a predetermined position of the transfer device T A , four pins 13 a for lifting the transferred substrate W upward are provided. An elevating device 13 including a cylinder 13b is provided.
【0004】また、前記移載装置TBは、図示しない旋
回機構を内部に備えた支持台14と、この支持台14の
旋回機構に一端を取り付けられたアーム15と、アーム
15の他端に配設した下端部に把持手段17を備えたロ
ッド16とからなる。[0004] The transfer device T B includes a support 14 having a pivot mechanism (not shown) therein, an arm 15 attached at one end to the pivoting mechanism of the support 14, the other end of the arm 15 And a rod 16 provided with a gripping means 17 at the lower end thereof.
【0005】なお、前記把持手段17は、前記ロッド1
6の下端に取り付けた本体18と、この本体18の縁部
に対向配置した少なくとも一対のシリンダ19と、この
シリンダ19のロッド19aに一端部を取り付けられ、
他端部に下記する基板Wの側部下面を保持する爪20a
を設けた支持部材20とからなる。[0005] The gripping means 17 is mounted on the rod 1.
6, a main body 18 attached to the lower end of the main body 6, at least a pair of cylinders 19 disposed opposite to the edge of the main body 18, and one end attached to a rod 19a of the cylinder 19.
A claw 20a at the other end for holding a lower surface of a side surface of the substrate W described below.
And the supporting member 20 provided with
【0006】前記テーブルコータ2は、前記移載装置T
Bを挟んで前記搬送装置TAと反対側に配設され、基板W
を載置する所定の平面度(たとえば、2μm以下)を有
するテーブル3と、このテーブル3上に配設されたダイ
本体5とからなる。The table coater 2 is provided with the transfer device T
It is disposed on the opposite side of the transport device T A across the B, the substrate W
The table 3 has a predetermined flatness (for example, 2 μm or less) on which is mounted, and a die main body 5 disposed on the table 3.
【0007】なお、前記テーブル3には図示しない減圧
手段に連通する複数の吸引孔が設けてあるとともにレー
ル4が設けてある。The table 3 has a plurality of suction holes communicating with a pressure reducing means (not shown) and a rail 4.
【0008】前記ダイ本体5は前記レール4上に図示し
ない駆動手段により進退可能に設けた支持部材6に昇降
可能に設置したもので、図示しない塗布液供給ポンプに
てダイ本体5内のマニホールドに供給された塗布液がダ
イ本体5のリップ部からテーブル3上に載置された基板
W上に供給され、ダイ本体5の移動により基板W上に塗
布膜を形成するものである。なお、前記テーブル3およ
びダイ本体5は各々公知の構造であるため詳細な説明を
省略する。The die body 5 is mounted on the rail 4 so as to be able to move up and down on a support member 6 provided to be able to move forward and backward by driving means (not shown), and is mounted on a manifold in the die body 5 by a coating liquid supply pump (not shown). The supplied coating liquid is supplied from the lip portion of the die body 5 onto the substrate W placed on the table 3, and a coating film is formed on the substrate W by moving the die body 5. Since the table 3 and the die main body 5 each have a known structure, detailed description will be omitted.
【0009】また、前記テーブル3には、図9に示すよ
うに、ストッパ8とアーム9とからなる位置決め装置7
が一対配設されていて、アーム9を、アーム9の一端に
設けた軸Sを中心に旋回させることによりアーム9の他
端に設けた押圧部10でテーブル3上に載置された基板
Wを2つのストッパ8に圧接させて位置決めを行うよう
になっている。なお、前記ストッパ8およびアーム9等
の高さは適用される基板Wの高さより低くなっている。As shown in FIG. 9, a positioning device 7 comprising a stopper 8 and an arm 9 is provided on the table 3.
Are arranged in a pair, and the arm 9 is turned around an axis S provided at one end of the arm 9 so that the pressing unit 10 provided at the other end of the arm 9 places the substrate W placed on the table 3. Are pressed against the two stoppers 8 to perform positioning. The heights of the stopper 8 and the arm 9 are lower than the height of the substrate W to be applied.
【0010】さらに、前記テーブル3の基板W載置区域
下面には、複数(図では4つ)のピン11aとシリンダ
11bとからなる昇降装置11が設けられ、ピン11a
はテーブル3に設けた貫通孔Hを介して昇降可能となっ
ている。Further, an elevating device 11 comprising a plurality of (four in the figure) pins 11a and a cylinder 11b is provided on the lower surface of the substrate W mounting area of the table 3;
Can be moved up and down through a through hole H provided in the table 3.
【0011】前記構成からなるため、前記搬送装置TA
で所定位置に基板Wが搬送されてくると、前記昇降装置
13が作動して基板Wはピン13aで上方に持ち上げら
れ、上方に待機する移載装置TBの把持手段17内に位
置する。そこで、前記シリンダ19により各支持部材2
0を内方に移動させ、基板Wの側底部を爪20aで支持
する(図8)。その後、前記昇降装置13のピン13a
が下降し、基板Wは把持手段17で把持される。続い
て、アーム15が約180度旋回し、基板Wをテーブル
3の上方所定位置へ旋回する。[0011] Because of the above configuration, the transport device T A
In the substrate W to a predetermined position is conveyed, the substrate W the lifting device 13 is activated is lifted upward by a pin 13a, is located the gripping means within 17 of the transfer device T B to wait upwards. Therefore, each support member 2 is
0 is moved inward, and the side bottom of the substrate W is supported by the claws 20a (FIG. 8). Then, the pins 13a of the lifting device 13
Is lowered, and the substrate W is gripped by the gripping means 17. Subsequently, the arm 15 pivots by about 180 degrees, and pivots the substrate W to a predetermined position above the table 3.
【0012】基板Wがテーブル3上の所定位置にくる
と、テーブル3に設けた昇降装置11のシリンダ11b
を駆動してそのピン11aをテーブル3上に突出するこ
とにより基板Wを支持する。その後、前記把持手段17
のシリンダ19が作動して支持部材20を外方に移動さ
せることにより、基板Wは前記昇降装置11のピン11
a上に移載される。When the substrate W reaches a predetermined position on the table 3, the cylinder 11b of the elevating device 11 provided on the table 3
To support the substrate W by projecting the pins 11a above the table 3. Then, the gripping means 17
When the cylinder 19 is operated to move the support member 20 outward, the substrate W
a.
【0013】その後、前記ピン11aが下降し、前記基
板Wをテーブル3上に載置する。この時、前記移載装置
TBは、塗布工程におけるダイ本体5の作動に支障のな
い位置に旋回待避する一方、前記位置決め装置7のアー
ム9が回動して基板Wの隣接する2辺を押圧してストッ
パ8に圧接させ、基板Wを所定位置に正確に位置決めす
るとともに、図示しない減圧手段により基板をテーブル
3上に吸引保持する。Thereafter, the pins 11a are lowered, and the substrate W is placed on the table 3. At this time, the transfer device T B, while pivoted retracted to a position not interfering with the operation of the die body 5 in the coating step, the two sides of the arm 9 of the positioning device 7 is adjacent the substrate W by rotating The substrate W is pressed and pressed against the stopper 8 to accurately position the substrate W at a predetermined position, and the substrate is suction-held on the table 3 by a pressure reducing means (not shown).
【0014】ついで、前記基板W上に塗布液を塗布する
が、それに先立ってダイ本体5を進退させ、ダイ本体5
に設けた図示しないセンサにより基板Wの表面の凹凸を
検出し、この凹凸に合わせてダイ本体5を昇降させなが
ら基板Wの表面に塗布液を供給して塗布膜を形成する。Next, the coating liquid is applied onto the substrate W. Prior to this, the die body 5 is moved forward and backward,
The unevenness on the surface of the substrate W is detected by a sensor (not shown) provided on the substrate W, and a coating liquid is supplied to the surface of the substrate W while the die body 5 is moved up and down in accordance with the unevenness to form a coating film.
【0015】前記のようにして塗布が完了すると、前記
昇降装置11のピン11aにより、基板Wを上方に持ち
上げるとともに、前記移載装置TBを再び旋回し図8に
示す状態とする。[0015] applied in the manner described above is completed, the pin 11a of the elevating device 11, together with the lift the substrate W upward to a state shown in the transfer device T B was again turning Figure 8.
【0016】そして、前記移載装置TBのシリンダ19
を駆動して支持部材20の爪20aを基板Wの下方に位
置させたのち、昇降装置11のピン11aの下降により
基板Wを把持手段17で把持し、移送装置TBを旋回さ
せ、前記とは逆工程にて基板Wを昇降装置13を介して
搬送装置TA上に載置し、下流側の次工程設備に搬送す
るものである。[0016] Then, the cylinder 19 of the transfer device T B
After the claw 20a of the drive to the supporting member 20 was positioned below the substrate W and grips the substrate W by the gripping means 17 by lowering of the pin 11a of the elevator device 11, to pivot the transfer device T B, the a the substrate W by the inverse process is placed on the transport device T a via the lifting device 13 is intended to convey to the next process equipment downstream.
【0017】[0017]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
テーブル式塗装設備1においては、基板Wのテーブル3
上への移送は、移載装置TBのアーム15の旋回により
行うため、移動距離はテーブル3の位置如何にかかわら
ず長く、つまり移送時間が長くなって生産性が悪いばか
りかアーム15の旋回範囲内は安全上立入禁止とせざる
を得ず、設備自体が大型化するという問題があった。As described above, in the conventional table type coating equipment 1, the table 3 of the substrate W
Transfer to above, for performing the pivoting of the arm 15 of the transfer device T B, the moving distance is long regardless located how the table 3, that the turning of only one arm 15 is poor productivity becomes longer transport time Within the range, there is no choice but to keep out of safety, and there is a problem that the equipment itself becomes large.
【0018】すなわち、搬送装置TAの基板受け取り位
置からテーブルコータ2の基板受け取り位置までを直径
とする円の円周の約半分を移動するので、搬送装置TA
の基板受け取り位置からテーブルコータ2の基板受け取
り位置までを直線で移動する場合の約1.5倍の距離を
移動することになる。[0018] That is, since it is moving approximately half the circumference of a circle from the substrate receiving position of the transport apparatus T A to the substrate receiving position of the table coater 2 diameter, transfer apparatus T A
The distance from the substrate receiving position of the table coater 2 to the substrate receiving position of the table coater 2 is about 1.5 times as long as moving in a straight line.
【0019】また、前記塗装設備1では、移載装置TB
で基板Wを把持するためにシリンダ19に取り付けられ
た支持部材20で基板Wの側辺を把持するため、把持で
きる基板Wの大きさに限界があり、さらに、把持方向を
基板Wの短手方向で行わなければ把持手段17が大型化
するという制約もあった。In the coating equipment 1, the transfer device T B
Since the side of the substrate W is gripped by the support member 20 attached to the cylinder 19 in order to grip the substrate W, there is a limit in the size of the substrate W that can be gripped. If the operation is not performed in the direction, there is also a restriction that the gripping means 17 becomes large.
【0020】したがって、本発明は移載装置として旋回
アームを使用せず、短時間で基板をテーブル上に移送、
移動でき、設備自体を小型とすることのできるテーブル
式塗装設備を提供することを目的とする。Therefore, according to the present invention, the substrate is transferred to the table in a short time without using the swivel arm as the transfer device.
It is an object of the present invention to provide a table-type coating facility which can be moved and can be reduced in size.
【0021】[0021]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、被処理材を搬送する搬送装置と、この搬
送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通する
複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したのち吸
引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、かつ、進
退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保持され
た被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータとから
なるテーブル式塗装設備において、前記被処理材の搬送
方向が前記ダイ本体の進退方向と直交するよう前記テー
ブルコータの両側に前記搬送装置を配設するとともに、
上昇端では頂部が前記テーブルの表面より突出し、下降
端では頂部が前記テーブルの表面より下方に位置する昇
降可能な回転体を前記搬送装置の延長線上に所定間隔で
設けた移載装置を前記テーブルに配設するようにした。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a conveying device for conveying a material to be processed, and a plurality of suction devices for communicating the material to be conveyed by the conveying device with a pressure reducing means. After being placed on a flat table provided with holes, it is sucked and held, and the coating liquid is applied to the material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table, and which can move back and forth. In a table type coating equipment consisting of a table coater and, while disposing the transfer device on both sides of the table coater so that the transfer direction of the material to be processed is orthogonal to the advancing and retreating direction of the die body,
At the ascending end, the top protrudes from the surface of the table, and at the descending end, the transfer device is provided with a vertically movable rotator whose top is located below the surface of the table at predetermined intervals on an extension of the transfer device. It was arranged in.
【0022】また、被処理材を搬送する搬送装置と、こ
の搬送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通
する複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したの
ち吸引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、か
つ、進退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保
持された被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータ
とからなるテーブル式塗装設備において、前記テーブル
と搬送装置との上方に前記ダイ本体の進退方向に所定間
隔を有する一対のレールを配設し、この一対のレールに
前記搬送装置とテーブルコータとの間を往復移動する移
載台車を設け、一端がこの移載台車に回動可能に保持さ
れ、他端には前記回動により被処理材下面を支持する支
持部を備えた軸を前記移戴台車の所定位置に少なくとも
4本配設した移戴装置を設け、かつ、前記テーブルおよ
び搬送装置の所定位置に、被処理材を昇降させる昇降装
置を配設するようにしたものである。A transport device for transporting the workpiece and a workpiece transported by the transport device are placed on a flat table provided with a plurality of suction holes communicating with the pressure reducing means, and then suction-held. In a table type coating equipment comprising a table coater for applying a coating liquid onto a material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table and which can be moved back and forth, A pair of rails having a predetermined interval in the advance and retreat direction of the die main body are disposed above the apparatus, and a transfer carriage that reciprocates between the transfer device and the table coater is provided on the pair of rails, and one end is provided. At least four shafts, which are rotatably held by the transfer cart and have a support portion for supporting the lower surface of the material to be processed by the rotation at the other end, are arranged at predetermined positions of the transfer cart. Dress The provided and, at a predetermined position of said table and conveying device, in which so as to dispose the lifting device for raising and lowering the workpiece.
【0023】なお、前記移載台車に設けた軸を昇降可能
にしてもよい。It is to be noted that a shaft provided on the transfer carriage may be made movable up and down.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を図
にしたがって説明する。図1〜図3は、本発明の第1実
施形態を示し、大略、第1搬送装置T1と、第2搬送装
置T2およびテーブルコータ31からなり、テーブルコ
ータ31は第1搬送装置T1と第2搬送装置T2との間に
同一線上で、かつ、第1搬送装置T1と第2搬送装置T2
の搬送面より低い位置にそのテーブル32の面が位置す
るように配設されている。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 show a first embodiment of the present invention, generally, a first transfer device T 1, made from the second transport device T 2 and table coater 31, the first transfer device table coater 31 is T 1 If collinear between the second transport unit T 2, and the first transfer device T 1 and the second conveying device T 2
Is arranged so that the surface of the table 32 is located at a position lower than the transfer surface of the table 32.
【0025】そして、第1搬送装置T1と第2搬送装置
T2とは駆動ローラ30からなるローラコンベアで構成
されている。The first transport device T 1 and the second transport device T 2 are constituted by roller conveyors comprising drive rollers 30.
【0026】また、前記テーブル32上には前記両搬送
装置T1,T2の搬送方向と直交するようにレール34が
設けられ、このレール34上にダイ本体35が従来同
様、昇降および進退可能に設置され、かつ、テーブル3
2の基板Wの載置範囲には減圧手段に連通する多数の吸
引孔(いずれも図示せず)と前記従来例と同様テーブル
32上にストッパ38とアーム39とからなる位置決め
装置37が2組設けてある。A rail 34 is provided on the table 32 so as to be orthogonal to the transport direction of the two transport devices T 1 and T 2 , and the die body 35 can be moved up and down and forward and backward on this rail 34 as in the prior art. Installed on a table 3
In the mounting range of the two substrates W, two sets of positioning devices 37 each including a plurality of suction holes (both not shown) communicating with the decompression means and a stopper 38 and an arm 39 on the table 32 as in the conventional example. It is provided.
【0027】さらに、前記テーブル32には、前記第1
搬送装置T1により搬送されてきた基板Wを、テーブル
32の所定位置に移動させ、塗布工程終了後、基板Wを
前記第2搬送装置T2に送り出す移載装置T3が配設され
ている。Further, the table 32 contains the first
The substrate W transported by a transport device T 1, is moved to a predetermined position of the table 32, after the completion of the coating process, the transfer device T 3 is provided for feeding the substrate W on the second transport device T 2 .
【0028】この移載装置T3は、前記テーブル32の
下方に配設されたもので、図2、図3に示すように、シ
リンダからなる昇降装置40により昇降するフレーム4
1上に駆動ローラ42を設けたものである。The transfer device T 3 is disposed below the table 32 and, as shown in FIGS. 2 and 3, a frame 4 which is raised and lowered by a lifting device 40 comprising a cylinder.
1, a driving roller 42 is provided.
【0029】すなわち、図3に示すように、前記フレー
ム41上に複数の軸受43が所定間隔に2列(図では片
側1列のみ記載している)設けられ、各軸受43には一
端に駆動ローラ42を備えた軸44が軸支され、これら
各軸44の他端に設けられたプーリ45は回転伝達機構
46によりモータMに接続され、モータMにより各駆動
ローラ42は一斉に回転,停止を行う構造となってい
る。That is, as shown in FIG. 3, a plurality of bearings 43 are provided on the frame 41 at predetermined intervals (only one row is shown on one side in the figure), and each bearing 43 is driven at one end. Shafts 44 having rollers 42 are supported by shafts. Pulleys 45 provided at the other ends of the shafts 44 are connected to a motor M by a rotation transmitting mechanism 46, and the drive rollers 42 are simultaneously rotated and stopped by the motor M. It is structured to perform.
【0030】そして、前記各駆動ローラ42の頂部は、
前記昇降装置40の上昇により前記テーブル32に設け
た開口33からテーブル32の表面より上方に突出し、
前記両搬送装置T1,T2の搬送面と同一高さとなる一
方、昇降装置40の下降により駆動ローラ42の頂部は
テーブル32表面より下方に位置する。なお、前記各駆
動ローラ42の搬送方向は第1、第2搬送装置T1,T2
の搬送方向と同一である。The top of each drive roller 42 is
As the lifting device 40 rises, it protrudes upward from the surface of the table 32 from an opening 33 provided in the table 32,
The height of the drive roller 42 is lower than the surface of the table 32 due to the lowering of the lifting / lowering device 40, while the height of the drive roller 42 is the same as the height of the transfer surfaces of the two transfer devices T 1 and T 2 . The transport direction of each drive roller 42 is the first and second transport devices T 1 , T 2
Is the same as the transfer direction.
【0031】前記構成からなるため、第1搬送装置T1
により基板Wが搬送されてくると駆動モータMが回転す
るとともに、前記昇降装置40が作動して駆動ローラ4
2が上昇し、前記基板Wを受け取り、基板Wが所定位置
に移動すると駆動モータMを停止する。With the above configuration, the first transport device T 1
When the substrate W is conveyed, the drive motor M rotates, and the elevating device 40 operates to drive the drive roller 4.
2 rises, receives the substrate W, and stops the drive motor M when the substrate W moves to a predetermined position.
【0032】ついで、昇降装置40により駆動ローラ4
2がテーブル32の上面より下方に下降することにより
基板Wはテーブル32上に載置され、その後、位置決め
装置37により基板Wは正確にテーブル32上の所定位
置に載置されるとともに、図示しない吸引手段でテーブ
ル32上に吸引保持され、従来同様、基板W表面の凹凸
状態を検出したのちダイ本体35により前記凹凸に合わ
せてギャップを一定に保ちながら塗布液を塗布する。な
お、前記アーム39は基板Wがテーブル上に吸着すると
元の位置に戻る。Next, the drive roller 4 is moved by the lifting device 40.
The substrate W is placed on the table 32 by lowering the substrate 2 below the upper surface of the table 32. Thereafter, the substrate W is accurately placed at a predetermined position on the table 32 by the positioning device 37, and is not shown. After being held by suction on the table 32 by the suction means, the state of the irregularities on the surface of the substrate W is detected, and then the coating liquid is applied by the die body 35 while keeping the gap constant according to the irregularities. The arm 39 returns to the original position when the substrate W is attracted to the table.
【0033】前記のようにして、塗布作業が完了する
と、基板Wの吸引を解除し、昇降装置40により基板W
を駆動ローラ42で持ち上げ、モータMを駆動して基板
Wを第2搬送装置T2に送り、次工程に搬送されること
になる。なお、連続的に基板Wに塗布する場合、塗布済
の基板Wが駆動ローラ42によりテーブル32から搬出
されると同時に、第1搬送装置T1から駆動ローラ42
上に次の基板Wが搬入されるようにすればよい。When the coating operation is completed as described above, the suction of the substrate W is released, and the substrate W is
Lifting the drive roller 42, feeding the substrate W to the second transport device T 2 by driving the motor M, to be carried to the next step. In the case of applying the continuous substrate W, and at the same time coating the already substrate W is unloaded from the table 32 by the drive roller 42, driven from the first transport device T 1 roller 42
What is necessary is just to carry in the next board | substrate W on top.
【0034】図4〜図6は本発明の第2の実施形態を示
す。FIGS. 4 to 6 show a second embodiment of the present invention.
【0035】第2の実施形態においては、テーブルコー
タ31のダイ本体35の進退方向と平行して搬送装置T
4が並設されている。なお、搬送装置T4は駆動ローラ5
0からなるローラコンベアで構成され、前記テーブルコ
ータ31に対応する位置の下方に4本のピン51aとシ
リンダ51bとからなる昇降装置51を備える。In the second embodiment, the transfer device T is moved in parallel with the direction of movement of the die body 35 of the table coater 31.
4 are juxtaposed. The transfer device T 4 is provided with a drive roller 5.
And a lifting device 51 comprising four pins 51a and a cylinder 51b below a position corresponding to the table coater 31.
【0036】また、テーブルコータ31においては、前
記従来例と同様、テーブル32上に2組の位置決め装置
37を有するとともに、テーブル32には吸引手段に接
続された複数の吸引孔(いずれも図示せず)と、テーブ
ル32下方にピン52aがテーブル32に設けた開口3
3から突出あるいは後退して基板Wをピン52a上ある
いはテーブル32上に載置するシリンダ52bを有する
昇降装置52を備えた構成となっている。The table coater 31 has two sets of positioning devices 37 on the table 32, as in the prior art, and the table 32 has a plurality of suction holes connected to suction means (all shown in the drawing). ), And a pin 52a is provided below the table 32 so that the opening 3
The lifting device 52 has a cylinder 52b that projects or retracts from the position 3 and places the substrate W on the pins 52a or the table 32.
【0037】そして、前記搬送装置T4とテーブルコー
タ31を跨いで、かつ、所定間隔を保って2本のレール
56が支柱55上端に取り付けられ、これらレール56
上に図示しない駆動装置で走行する移載装置57を構成
する移載台車58が搭載されている。Then, two rails 56 are attached to the upper end of the support 55 so as to straddle the transport device T 4 and the table coater 31 and to maintain a predetermined interval.
A transfer carriage 58 that constitutes a transfer device 57 that is driven by a driving device (not shown) is mounted thereon.
【0038】また、前記移載台車58の両側に2本ずつ
所定間隔を介して下端にL字状に突出する支持部59a
を備えた2本の軸59が回動手段(図示しない)により
回動可能となっている。Support portions 59a protruding in an L-shape from the lower end of the transfer carriage 58 to the lower end thereof at predetermined intervals by two on both sides.
Are rotatable by rotating means (not shown).
【0039】前記構成からなるため、基板Wが搬送装置
T4により前記テーブルコータ31側方の所定位置に搬
送されてくると、一旦駆動ローラ50が停止し、昇降装
置51を駆動してそのピン51aにより基板Wを駆動ロ
ーラ50の上方に押し上げ、上方に待機する移載台車5
8の支持部59aより上方に位置させる。ここで、前記
支持部59aが90°回動して基板Wの下方に位置する
と、前記昇降装置51のピン51aを後退させて基板W
を支持部59a上に支持する。[0039] Since comprising the structure, when the substrate W is transported to a predetermined position of said table coater 31 side by the transfer unit T 4, once the driving roller 50 is stopped, the pin by driving the lifting device 51 The transfer carriage 5 that pushes up the substrate W above the drive roller 50 by 51a and waits above the drive roller 50
8 above the supporting portion 59a. Here, when the support portion 59a is rotated by 90 ° and positioned below the substrate W, the pins 51a of the elevating device 51 are retracted, and the substrate W
Is supported on the support portion 59a.
【0040】その後、移載台車58は移動してテーブル
コータ31の所定位置上方に達すると停止するが、これ
と同時に昇降装置52のピン52aが突出して基板Wを
ピン52aで若干押し上げると、前記支持部59aは9
0°回動し基板Wから退避する(図6参照)。このよう
に、基板Wが昇降装置52のピン52a上に支持される
とピン52aは後退し、基板Wをテーブル32上に載置
することになる。Thereafter, the transfer carriage 58 moves and stops when it reaches a predetermined position above the table coater 31. At the same time, when the pins 52a of the elevating device 52 project and the substrate W is slightly pushed up by the pins 52a, The support part 59a is 9
It turns by 0 ° and retracts from the substrate W (see FIG. 6). As described above, when the substrate W is supported on the pins 52a of the elevating device 52, the pins 52a retreat, and the substrate W is placed on the table 32.
【0041】その後は、前記第1実施形態と同様、基板
Wを位置決め装置37で位置決めした後、テーブル32
に吸引保持し、ダイ本体35により塗布する。Thereafter, as in the first embodiment, after positioning the substrate W by the positioning device 37, the table 32
, And is applied by the die body 35.
【0042】基板Wへの塗布が終了すると、昇降装置5
2が作動してピン52aが突出して基板Wを上方に押し
上げ、これと同時に支持部59aが回動して基板Wを支
持したのち、再度、搬送装置T4の所定位置に至る。こ
こで昇降装置51のピン51aにより一旦基板Wを押し
上げると同時に軸59を回動し、続くピン51aの後退
により再度搬送装置T4上に基板Wを載置する。When the coating on the substrate W is completed, the lifting device 5
2 is operated push the substrate W above the pin 52a protrudes, after the same time the support portion 59a supported the substrate W rotates, again, reaches the predetermined position of the transport device T 4. Here once rotates the shaft 59 at the same time pushing up the substrate W by a pin 51a of the elevating device 51, and places the substrate W on the conveying device T 4 again by the retraction of the subsequent pin 51a.
【0043】そして、駆動ローラ50を駆動して処理済
基板Wを下流側の他の設備へ送る一方、次の基板Wを前
記所定位置に搬送し、テーブルコータ31へ移送するこ
とになる。Then, while driving the drive roller 50 to send the processed substrate W to another facility on the downstream side, the next substrate W is transported to the predetermined position and transported to the table coater 31.
【0044】なお、前述の説明では、テーブルコータ3
1の片側のみに搬送装置T4を配設し、移載装置57の
移載台車58を往復させて基板Wを移載するようにした
が、図7に示すように、テーブルコータ31を挟んで搬
送装置T4の反対側に搬送装置T5を配設し、移載装置5
7を構成するレール56を搬送装置T4,T5およびテー
ブルコータ31を跨ぐように配設してもよい。In the above description, the table coater 3
1 only provided a transport device T 4 on one side, but so as to transfer the substrate W by reciprocating the transfer carriage 58 of transfer device 57, as shown in FIG. 7, across the table coater 31 in disposed a transport device T 5 on the opposite side of the transport device T 4, transfer device 5
7 may be disposed so as to straddle the transport devices T 4 and T 5 and the table coater 31.
【0045】このように構成することにより、たとえ
ば、搬送装置T4で搬送されてきた基板Wを移載装置5
7を構成する移載台車58でテーブルコータ31へ移載
し、所定の塗布作業を終了した後、前記移載台車58で
搬送装置T5へ搬送し、塗布済みの基板を図示しない次
の工程に搬送することもできる。With this configuration, for example, the substrate W transferred by the transfer device T 4 can be transferred to the transfer device 5.
7 transferred to a table coater 31 in transfer carriage 58 constituting the, after finishing a predetermined coating operation, is transported to the transport device T 5 by the transfer carriage 58, the next step (not shown) the coated substrate Can also be transported.
【0046】さらに、移載台車58に設けた軸59を昇
降可能とすることにより、テーブルコータ31および搬
送装置T4あるいはT5に設けた昇降装置のピンの上昇端
高さ(基板Wの受け渡し高さ)を合わせる必要がなくな
り、任意の高さに設定できる。[0046] Further, by enabling lifting the shaft 59 provided on the transfer carriage 58, passing the table coater 31 and the conveying device T 4 or pin rising edge height of the lifting device provided T 5 (substrate W Height) does not need to be adjusted, and can be set to any height.
【0047】[0047]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、搬送装置から被処理材をテーブルコータへ搬
入、搬出するのは、直線上の移動であり、従来のよう
に、旋回動作で行うものでないため、実際の移動距離が
短く、塗布処理に要する時間を短縮することができる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the loading and unloading of the material to be processed from the transfer device to and from the table coater is a straight-line movement, and a conventional rotation. Since it is not performed by operation, the actual moving distance is short, and the time required for the coating process can be reduced.
【0048】特に、請求項1の発明においては、処理済
被処理材をテーブルから第2搬送装置へ搬出するのと同
時に第1搬送装置からテーブルへ次の被処理材を搬入で
き、生産性が極めてよくなる。In particular, according to the first aspect of the present invention, a processed material to be processed is carried out from the table to the second transporting device, and at the same time, the next material to be processed can be loaded from the first transporting device to the table. Very good.
【0049】また、移載台車58に設けた軸59を昇降
可能とすることにより、テーブルコータおよび搬送装置
に設けた昇降装置のピンの上昇端高さ(基板の受け渡し
高さ)を合わせる必要がなくなる。Further, since the shaft 59 provided on the transfer carriage 58 can be moved up and down, it is necessary to adjust the height of the rising end of the pins (transfer height of the substrate) of the pins of the table coater and the lifting device provided on the transfer device. Disappears.
【0050】さらに、本発明によれば、従来のように旋
回手段を使用しないため、立入危険範囲がなく、スペー
スを有効に利用できるという利点も有する。Further, according to the present invention, since the turning means is not used unlike the prior art, there is an advantage that there is no danger area of access and the space can be effectively used.
【図1】 本発明にかかるテーブル式塗装設備の第1実
施形態を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of a table type coating facility according to the present invention.
【図2】 図1の断面図。FIG. 2 is a sectional view of FIG.
【図3】 図2の移載装置の一部詳細図。FIG. 3 is a partially detailed view of the transfer device of FIG. 2;
【図4】 本発明にかかるテーブル式塗装設備の第2実
施形態を示す平面図。FIG. 4 is a plan view showing a second embodiment of the table type coating equipment according to the present invention.
【図5】 図4の断面図。FIG. 5 is a sectional view of FIG. 4;
【図6】 図4の移載装置の支持部拡大図。FIG. 6 is an enlarged view of a support portion of the transfer device of FIG. 4;
【図7】 本発明にかかるテーブル式塗装設備の第3の
実施形態を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing a third embodiment of the table type coating equipment according to the present invention.
【図8】 従来のテーブルコータ設備の一部断面正面
図。FIG. 8 is a partial cross-sectional front view of a conventional table coater facility.
【図9】 図8の位置決め機構の平面図。FIG. 9 is a plan view of the positioning mechanism of FIG. 8;
31〜テーブルコータ、32〜テーブル、33〜開口、
35〜ダイ本体、40〜昇降装置、41〜フレーム、4
2〜駆動ローラ、46〜回転伝達機構、50〜駆動ロー
ラ、51,52〜昇降装置、51a,52a〜ピン、5
6〜レール、57〜移載装置、58〜移載台車、59〜
軸、59a〜支持部、T1,T2,T4,T5〜搬送装置、
T3〜移載装置、W〜被処理材(基板)。31-table coater, 32-table, 33-opening,
35 to die body, 40 to lifting device, 41 to frame, 4
2 to drive roller, 46 to rotation transmission mechanism, 50 to drive roller, 51, 52 to elevating device, 51a, 52a to pin, 5
6-rail, 57-transfer device, 58-transfer cart, 59-
Axis, 59A~ support portions, T 1, T 2, T 4, T 5 ~ conveying device,
T 3 ~ transfer device, watts to the material to be treated (substrate).
Claims (3)
送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通する
複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したのち吸
引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、かつ、進
退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保持され
た被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータとから
なるテーブル式塗装設備において、 前記被処理材の搬送方向が前記ダイ本体の進退方向と直
交するよう前記テーブルコータの両側に前記搬送装置を
配設するとともに、上昇端では頂部が前記テーブルの表
面より突出し、下降端では頂部が前記テーブルの表面よ
り下方に位置する昇降可能な回転体を前記搬送装置の延
長線上に所定間隔で設けた移載装置を前記テーブルに配
設したことを特徴とするテーブル式塗装設備。1. A transport device for transporting a material to be processed, and a material transported by the transport device is placed on a flat table provided with a plurality of suction holes communicating with a pressure reducing means, and then suction-held. A table coater for applying a coating liquid onto a material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table, and which can be moved forward and backward; The transfer device is disposed on both sides of the table coater so that the transfer direction of the die body is perpendicular to the advancing and retreating direction of the die body. At the rising end, the top protrudes from the surface of the table, and at the falling end, the top is the surface of the table. A table-type coating device, wherein a transfer device in which a vertically movable rotary member located at a lower position is provided at a predetermined interval on an extension of the transfer device is disposed on the table. Equipment.
送装置により搬送される被処理材を減圧手段に連通する
複数の吸引孔を設けた平坦なテーブルに載置したのち吸
引保持し、前記テーブルに対して昇降可能で、かつ、進
退可能なダイ本体により前記テーブル上に吸引保持され
た被処理材上に塗布液を塗布するテーブルコータとから
なるテーブル式塗装設備において、 前記テーブルと搬送装置との上方に前記ダイ本体の進退
方向に所定間隔を有する一対のレールを配設し、この一
対のレールに前記搬送装置とテーブルコータとの間を往
復移動する移載台車を設け、一端がこの移載台車に回動
可能に保持され、他端には前記回動により被処理材下面
を支持する支持部を備えた軸を前記移戴台車の所定位置
に少なくとも4本配設した移戴装置を設け、かつ、前記
テーブルおよび搬送装置の所定位置に、被処理材を昇降
させる昇降装置を配設したことを特徴とするテーブル式
塗装設備。2. A transport device for transporting a material to be processed, and a workpiece transported by the transport device is placed on a flat table provided with a plurality of suction holes communicating with a pressure reducing means, and then suction-held. In a table type coating equipment comprising a table coater for applying a coating liquid onto a material to be processed sucked and held on the table by a die body which can be moved up and down with respect to the table, and which can be moved back and forth, A pair of rails having a predetermined interval in the advance and retreat direction of the die main body are disposed above the apparatus, and a transfer carriage that reciprocates between the transfer device and the table coater is provided on the pair of rails, and one end is provided. At least four shafts, which are rotatably held by the transfer cart and have a support portion for supporting the lower surface of the material to be processed by the rotation at the other end, are arranged at predetermined positions of the transfer cart. Equipment Only, and, at a predetermined position of said table and conveying device, a table-type painting equipment, characterized in that arranged the lifting device for raising and lowering the workpiece.
したことを特徴とする請求項2に記載のテーブル式塗装
設備。3. The table type coating equipment according to claim 2, wherein a shaft provided on said transfer carriage is arranged so as to be able to move up and down.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000351121A JP2002153801A (en) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | Table type coating equipment |
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