JP2002151183A - Anisotropic conductive sheet - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an anisotropic conductive sheet showing conductivity when no pressure is applied or when pressure is applied by a small force in the thickness direction and showing large conductivity when pressure is applied by a large force in the thickness direction than when no pressure is applied or when pressure is applied in the thickness direction with a small force. SOLUTION: An elastic sheet substrate showing conductivity at least in the thickness direction with no pressure, contains conductive particle showing magnetism oriented in the thickness direction. The particle resistance ρ of the conductive particles is in the range of 1×105-1×109 Ω.m. Particle resistance ρ: value of (R×S)/t obtained when using a piston with a diameter of 12.5 mm and a cylinder with an internal diameter suitable for the diameter of the piston, and pressurizing 10±0.1 g of the conductive particles put in the cylinder with a force of 490 N by means of the piston; where R (Ω) is electrical resistance between the internal bottom face of the cylinder and the pressure surface of the piston, and S (m2) is the area of the pressure surface of the piston, and t (m) is the distance between the internal bottom face of the cylinder and the pressure surface of the piston.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、厚み方向に導電性
を示す異方導電性シートに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anisotropic conductive sheet having conductivity in a thickness direction.

【０００２】[0002]

【従来の技術】異方導電性エラストマーシートは、厚み
方向にのみ導電性を示すもの、または厚み方向に加圧さ
れたときに厚み方向にのみ導電性を示す加圧導電性導電
部を有するものであり、ハンダ付けあるいは機械的嵌合
などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成す
ることが可能であること、機械的な衝撃やひずみを吸収
してソフトな接続が可能であることなどの特長を有する
ため、このような特長を利用して、例えば電子計算機、
電子式デジタル時計、電子カメラ、コンピューターキー
ボードなどの分野において、回路装置、例えばプリント
回路基板とリードレスチップキャリアー、液晶パネルな
どとの相互間の電気的な接続を達成するためのコネクタ
ーとして広く用いられている。2. Description of the Related Art An anisotropic conductive elastomer sheet has conductivity only in the thickness direction, or has a pressurized conductive portion which has conductivity only in the thickness direction when pressed in the thickness direction. And it is possible to achieve a compact electrical connection without using means such as soldering or mechanical fitting, and it is possible to absorb mechanical shocks and strains and make a soft connection Because of these features, using such features, for example, computers,
In the fields of electronic digital watches, electronic cameras, computer keyboards, etc., it is widely used as a connector for achieving an electrical connection between circuit devices, for example, a printed circuit board and a leadless chip carrier, a liquid crystal panel, etc. ing.

【０００３】また、プリント回路基板や半導体集積回路
などの回路装置の電気的検査においては、検査対象であ
る回路装置の一面に形成された被検査電極と、検査用回
路基板の表面に形成された検査用電極との電気的な接続
を達成するために、回路装置の被検査電極領域と検査用
回路基板の検査用電極領域との間に異方導電性エラスト
マーシートを介在させることが行われている。In electrical inspection of a circuit device such as a printed circuit board or a semiconductor integrated circuit, an electrode to be inspected formed on one surface of a circuit device to be inspected and an electrode formed on the surface of the inspection circuit substrate. In order to achieve electrical connection with the test electrode, an anisotropic conductive elastomer sheet is interposed between the test electrode region of the circuit device and the test electrode region of the test circuit board. I have.

【０００４】従来、このような異方導電性エラストマー
シートとしては、種々の構造のものが知られている。例
えば無加圧の状態で導電性を示す異方導電性エラストマ
ーシートとしては、絶縁性ゴムよりなるシート基体中
に、導電性繊維が厚み方向に伸びるよう配向した状態で
配列されてなるもの、カーボンブラックや金属粉末が配
合されてなる導電性ゴムと絶縁性ゴムとが面方向に沿っ
て交互に積層されてなるもの（特開昭５０−９４４９５
号公報参照）などが知られている。一方、厚み方向に加
圧した状態で導電性を示す異方導電性エラストマーシー
トとしては、金属粒子をエラストマー中に均一に分散し
て得られるもの（特開昭５１−９３３９３号公報参
照）、導電性磁性体粒子をエラストマー中に不均一に分
布させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形
成部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されて
なるもの（特開昭５３−１４７７７２号公報参照）導電
路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成されてなる
もの（特開昭６１−２５０９０６号公報参照）などが知
られている。Heretofore, as such anisotropic conductive elastomer sheets, those having various structures are known. For example, as an anisotropic conductive elastomer sheet showing conductivity in the absence of pressure, a sheet base made of insulating rubber, conductive fibers arranged in a state of being oriented to extend in the thickness direction, carbon Conductive rubber containing black or metal powder and insulating rubber alternately laminated along the surface direction (Japanese Patent Laid-Open No. 50-94495)
For example, are known. On the other hand, as an anisotropic conductive elastomer sheet which exhibits conductivity when pressed in the thickness direction, a sheet obtained by uniformly dispersing metal particles in an elastomer (see JP-A-51-93393), A plurality of conductive path forming portions extending in the thickness direction and an insulating portion for insulating these from each other are formed by distributing the non-uniform magnetic material particles in the elastomer (JP-A-53-147772). Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-250906 discloses a structure in which a step is formed between the surface of a conductive path forming portion and an insulating portion.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電子部
品あるいは電子部品応用機器の分野においては、無加圧
の状態若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態で、
厚み方向にある程度の導電性（例えば体積固有抵抗が１
×１０⁷ 〜１×１０¹²Ω・ｍ）を示し、大きい力で厚み
方向に加圧した状態では、無加圧の状態若しくは小さい
力で加圧した状態よりも高い導電性（例えば体積固有抵
抗が１×１０^-2〜１×１０⁷ Ω・ｍ）を示す異方導電性
エラストマーシートが望まれているが、このような異方
導電性エラストマーシートは現在まで知られていない。However, in the field of electronic parts or electronic parts applied equipment, in the field of no pressure or in the state of being pressed in the thickness direction with a small force,
A certain degree of conductivity in the thickness direction (for example, a volume resistivity of 1
× 10 ⁷ to 1 × 10 ¹² Ω · m), and in a state of being pressed in the thickness direction with a large force, a higher conductivity (for example, volume resistivity) than a state of no pressure or a state of being pressed with a small force Is 1 × 10 ⁻² to 1 × 10 ⁷ Ω · m), but such an anisotropic conductive elastomer sheet is not known until now.

【０００６】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、無加圧の状態若しく
は小さい力で厚み方向に加圧した状態で導電性を示すと
共に大きい力で厚み方向に加圧した状態では、無加圧の
状態若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態よりも
高い導電性を示す異方導電性シートを提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to show conductivity in a state where no pressure is applied or in a state where a small force is applied in the thickness direction and to provide a large force. An object of the present invention is to provide an anisotropic conductive sheet that exhibits higher conductivity when pressed in the thickness direction with no pressure or when pressed in the thickness direction with a small force.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の異方導電性シー
トは、無加圧の状態で少なくとも厚み方向に導電性を示
す弾性を有するシート基体中に、磁性を示す導電性粒子
が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、
前記導電性粒子は、下記に示す粒子抵抗率ρが１×１０
⁵ 〜１×１０⁹ Ω・ｍの範囲にあることを特徴とする。 粒子抵抗率ρ：直径１２．５ｍｍのピストンおよびこの
ピストンの直径に適合する内径を有するシリンダーを用
意し、シリンダー内に、１０±０．１ｇの導電性粒子を
入れ、当該導電性粒子を前記ピストンによって４９０Ｎ
の力で加圧した状態において、シリンダーの内底面とピ
ストンの加圧面との間の電気抵抗を測定し、測定された
電気抵抗をＲ（Ω）、ピストンの加圧面の面積をＳ（ｍ
² ）、シリンダーの内底面とピストンの加圧面との間の
距離をｔ（ｍ）としたとき、下記式（１）により算出さ
れる値。According to the anisotropic conductive sheet of the present invention, in a sheet base having elasticity exhibiting conductivity at least in the thickness direction in a non-pressurized state, conductive particles exhibiting magnetism are provided in the thickness direction. It is contained in a state oriented to line up with,
The conductive particles have a particle resistivity ρ shown below of 1 × 10
It is characterized by being in the range of ⁵ to 1 × 10 ⁹ Ω · m. Particle resistivity ρ: A piston having a diameter of 12.5 mm and a cylinder having an inner diameter adapted to the diameter of the piston are prepared, and 10 ± 0.1 g of conductive particles are put in the cylinder. By 490N
In the state where the pressure is applied by the force of, the electric resistance between the inner bottom surface of the cylinder and the pressing surface of the piston is measured, the measured electric resistance is R (Ω), and the area of the pressing surface of the piston is S (m
² ) A value calculated by the following equation (1), where t (m) is the distance between the inner bottom surface of the cylinder and the pressing surface of the piston.

【０００８】[0008]

【数２】式（１） ρ＝（Ｒ×Ｓ）／ｔ## EQU2 ## Equation (1) ρ = (R × S) / t

【０００９】本発明の異方導電性シートにおいては、前
記シート基体は、絶縁性のエラストマー中に非磁性の導
電性付与物質が含有されてなるものであることが好まし
い。また、前記導電性付与物質は、それ自体導電性を示
す物質および吸湿することによって導電性が発現される
物質から選ばれる少なくとも１種の物質であることが好
ましい。In the anisotropic conductive sheet according to the present invention, it is preferable that the sheet base is formed of an insulating elastomer containing a nonmagnetic conductivity-imparting substance. Further, the conductivity-imparting substance is preferably at least one substance selected from a substance exhibiting conductivity by itself and a substance exhibiting conductivity by absorbing moisture.

【００１０】また、本発明の異方導電性シートにおいて
は、前記導電性粒子がシート基体の面方向に分散された
状態で含有されていてもよい。このような異方導電性シ
ートは、前記シート基体は、絶縁性のエラストマー中に
当該シート体の厚み方向に伸びるよう配列された導電性
繊維が含有されてなるものであってもよい。[0010] In the anisotropic conductive sheet of the present invention, the conductive particles may be contained in a state dispersed in the surface direction of the sheet base. In such an anisotropic conductive sheet, the sheet base may include a conductive fiber arranged in an insulating elastomer so as to extend in a thickness direction of the sheet body.

【００１１】また、本発明の異方導電性シートは、前記
シート基体の厚み方向に伸び、当該シート基体の面方向
に互いに離間した状態で形成された、導電性粒子が密に
含有されてなる多数の導電路形成部と、これらの導電路
形成部の間に介在された定常導電部とを有してなるもの
であってもよい。このような異方導電性シートにおいて
は、前記定常導電部は、少なくともその一面が導電路形
成部の表面から突出した状態に形成されていてもよい。Further, the anisotropic conductive sheet of the present invention, which extends in the thickness direction of the sheet base and is formed to be separated from each other in the surface direction of the sheet base, contains conductive particles densely. It may have a large number of conductive path forming portions and a stationary conductive portion interposed between these conductive path forming portions. In such an anisotropic conductive sheet, the stationary conductive portion may be formed so that at least one surface thereof protrudes from the surface of the conductive path forming portion.

【００１２】[0012]

【作用】本発明の異方導電性シートによれば、弾性を有
するシート基体が無加圧の状態で少なくとも厚み方向に
導電性を示すものであるため、無加圧の状態または小さ
い力で厚み方向に加圧した状態においては、当該シート
基体の電気特性に応じた導電性を示し、しかも、シート
基体中には、その厚み方向に並ぶよう配向した状態で特
定の電気特性を有する導電性粒子が含有されているた
め、大きい力で厚み方向に加圧した状態においては、導
電性粒子によってシート基体の厚み方向に伸びる導電路
が形成されるので、これにより、無加圧の状態または小
さい力で厚み方向に加圧した状態よりも高い導電性を示
す。According to the anisotropic conductive sheet of the present invention, since the sheet base having elasticity exhibits conductivity at least in the thickness direction in a non-pressurized state, the thickness is reduced in a non-pressurized state or with a small force. When pressed in the direction, the conductive particles exhibit conductivity according to the electrical characteristics of the sheet substrate, and have conductive particles having specific electrical characteristics in a state where they are aligned in the thickness direction in the sheet substrate. In a state where a large force is applied in the thickness direction, a conductive path extending in the thickness direction of the sheet substrate is formed by the conductive particles. Shows higher conductivity than in the state pressed in the thickness direction.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。 〔第１の実施の形態〕図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る異方導電性シートの構成を示す説明用断面図で
ある。この異方導電性シートは、弾性を有するシート基
体１０中に、磁性を示すと共に特定の電気特性を有する
導電性粒子Ｐが当該シート基体１０の厚み方向に並ぶよ
う配向した状態でかつ当該シート基体１０の面方向に分
散した状態で含有されて構成されている。シート基体１
０の厚みは、例えば０．０２〜２ｍｍ、好ましくは０．
０５〜０．５ｍｍである。Embodiments of the present invention will be described below in detail. [First Embodiment] FIG. 1 is an explanatory sectional view showing the structure of an anisotropic conductive sheet according to a first embodiment of the present invention. The anisotropic conductive sheet is a sheet base 10 having elasticity and in which conductive particles P having magnetism and specific electric properties are oriented so as to be arranged in the thickness direction of the sheet base 10 and the sheet base 10 10 in a dispersed state in the plane direction. Sheet base 1
The thickness of 0 is, for example, 0.02 to 2 mm, preferably 0.1 to 2 mm.
05 to 0.5 mm.

【００１４】シート基体１０は、少なくとも厚み方向に
導電性を示すものである。この例におけるシート基体１
０は、絶縁性のエラストマー中に非磁性の導電性付与物
質が含有されて構成されている。シート基体１０を構成
するための絶縁性のエラストマーとしては、架橋構造を
有する高分子物質が好ましい。架橋高分子物質を得るた
めの硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のもの
を用いることができ、その具体例としては、ポリブタジ
エンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−
ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエ
ン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの
水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共
重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体な
どのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、
クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エ
ピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プ
ロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン
共重合体ゴムなどが挙げられる。以上において、得られ
る異方導電性シートに耐候性が要求される場合には、共
役ジエン系ゴム以外のものを用いることが好ましく、特
に、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーン
ゴムを用いることが好ましい。The sheet base 10 has conductivity at least in the thickness direction. Sheet base 1 in this example
No. 0 is constituted by containing a nonmagnetic conductivity-imparting substance in an insulating elastomer. As the insulating elastomer for forming the sheet base 10, a polymer substance having a crosslinked structure is preferable. Various materials can be used as the curable polymer substance forming material for obtaining the crosslinked polymer substance, and specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, and styrene-
Conjugated diene rubbers such as butadiene copolymer rubber and acrylonitrile-butadiene copolymer rubber and hydrogenated products thereof, and block copolymers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer Rubber and their hydrogenated products,
Examples include chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer rubber. In the above, when weather resistance is required for the obtained anisotropic conductive sheet, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and particularly, from the viewpoint of moldability and electrical characteristics, use of silicone rubber Is preferred.

【００１５】シリコーンゴムとしては、液状シリコーン
ゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコ
ーンゴムは、その粘度が歪速度１０^-1ｓｅｃで１０⁵ ポ
アズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のも
の、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのい
ずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン
生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニ
ルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。[0015] The silicone rubber is preferably one obtained by crosslinking or condensing a liquid silicone rubber. The liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 ⁵ poise or less at a strain rate of 10 ⁻¹ sec, and may be any of condensation type, addition type, and those containing a vinyl group or a hydroxyl group. Good. Specifically, dimethylsilicone raw rubber, methylvinylsilicone raw rubber, methylphenylvinylsilicone raw rubber and the like can be mentioned.

【００１６】これらの中で、ビニル基を含有する液状シ
リコーンゴム（ビニル基含有ポリジメチルシロキサン）
は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジア
ルコキシシランを、ジメチルビニルクロロシランまたは
ジメチルビニルアルコキシシランの存在下において、加
水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−沈殿の
繰り返しによる分別を行うことにより得られる。また、
ビニル基を両末端に含有する液状シリコーンゴムは、オ
クタメチルシクロテトラシロキサンのような環状シロキ
サンを触媒の存在下においてアニオン重合し、重合停止
剤として例えばジメチルジビニルシロキサンを用い、そ
の他の反応条件（例えば、環状シロキサンの量および重
合停止剤の量）を適宜選択することにより得られる。こ
こで、アニオン重合の触媒としては、水酸化テトラメチ
ルアンモニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムな
どのアルカリまたはこれらのシラノレート溶液などを用
いることができ、反応温度は、例えば８０〜１３０℃で
ある。このようなビニル基含有ポリジメチルシロキサン
は、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分
子量をいう。以下同じ。）が１００００〜４００００の
ものであることが好ましい。また、得られる導電路素子
の耐熱性の観点から、分子量分布指数（標準ポリスチレ
ン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平
均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同
じ。）が２以下のものが好ましい。Among these, liquid group-containing silicone rubber (vinyl group-containing polydimethylsiloxane)
Is usually obtained by subjecting dimethyldichlorosilane or dimethyldialkoxysilane to hydrolysis and condensation reaction in the presence of dimethylvinylchlorosilane or dimethylvinylalkoxysilane, for example, followed by fractionation by repeated dissolution-precipitation. Also,
The liquid silicone rubber containing vinyl groups at both ends is anionically polymerized with a cyclic siloxane such as octamethylcyclotetrasiloxane in the presence of a catalyst, and uses, for example, dimethyldivinylsiloxane as a polymerization terminator and other reaction conditions (for example, , The amount of the cyclic siloxane and the amount of the polymerization terminator). Here, as a catalyst for anionic polymerization, alkali such as tetramethylammonium hydroxide and n-butylphosphonium hydroxide or a silanolate solution thereof can be used. The reaction temperature is, for example, 80 to 130 ° C. Such a vinyl group-containing polydimethylsiloxane preferably has a molecular weight Mw (weight average molecular weight in terms of standard polystyrene; the same applies hereinafter) of 10,000 to 40,000. In addition, from the viewpoint of heat resistance of the obtained conductive path element, the molecular weight distribution index (the value of the ratio Mw / Mn between the standard polystyrene-equivalent weight average molecular weight Mw and the standard polystyrene-equivalent number average molecular weight Mn; the same applies hereinafter) is 2. The following are preferred.

【００１７】一方、ヒドロキシル基を含有する液状シリ
コーンゴム（ヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサ
ン）は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチル
ジアルコキシシランを、ジメチルヒドロクロロシランま
たはジメチルヒドロアルコキシシランの存在下におい
て、加水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−
沈殿の繰り返しによる分別を行うことにより得られる。
また、環状シロキサンを触媒の存在下においてアニオン
重合し、重合停止剤として、例えばジメチルヒドロクロ
ロシラン、メチルジヒドロクロロシランまたはジメチル
ヒドロアルコキシシランなどを用い、その他の反応条件
（例えば、環状シロキサンの量および重合停止剤の量）
を適宜選択することによっても得られる。ここで、アニ
オン重合の触媒としては、水酸化テトラメチルアンモニ
ウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムなどのアルカ
リまたはこれらのシラノレート溶液などを用いることが
でき、反応温度は、例えば８０〜１３０℃である。この
ようなヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサンは、
その分子量Ｍｗが１００００〜４００００のものである
ことが好ましい。また、得られる導電路素子の耐熱性の
観点から、分子量分布指数が２以下のものが好ましい。
本発明においては、上記のビニル基含有ポリジメチルシ
ロキサンおよびヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキ
サンのいずれか一方を用いることもでき、両者を併用す
ることもできる。On the other hand, a liquid silicone rubber containing hydroxyl groups (hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane) is usually prepared by hydrolyzing dimethyldichlorosilane or dimethyldialkoxysilane in the presence of dimethylhydrochlorosilane or dimethylhydroalkoxysilane. And condensation reaction, for example,
It is obtained by performing fractionation by repeating precipitation.
Further, cyclic siloxane is anionically polymerized in the presence of a catalyst, and dimethylhydrochlorosilane, methyldihydrochlorosilane or dimethylhydroalkoxysilane is used as a polymerization terminator, and other reaction conditions (for example, the amount of the cyclic siloxane and the polymerization termination) are used. Amount of agent)
Can also be obtained by appropriately selecting Here, as a catalyst for anionic polymerization, alkali such as tetramethylammonium hydroxide and n-butylphosphonium hydroxide or a silanolate solution thereof can be used. The reaction temperature is, for example, 80 to 130 ° C. Such hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane is,
It is preferable that the molecular weight Mw is 10,000 to 40,000. Further, from the viewpoint of heat resistance of the obtained conductive path element, those having a molecular weight distribution index of 2 or less are preferable.
In the present invention, either one of the above-mentioned vinyl group-containing polydimethylsiloxane and hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane can be used, or both can be used in combination.

【００１８】本発明においては、高分子物質形成材料を
硬化させるために適宜の硬化触媒を用いることができ
る。このような硬化触媒としては、有機過酸化物、脂肪
酸アゾ化合物、ヒドロシリル化触媒などを用いることが
できる。硬化触媒として用いられる有機過酸化物の具体
例としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ビスジシクロベ
ンゾイル、過酸化ジクミル、過酸化ジターシャリーブチ
ルなどが挙げられる。硬化触媒として用いられる脂肪酸
アゾ化合物の具体例としては、アゾビスイソブチロニト
リルなどが挙げられる。ヒドロシリル化反応の触媒とし
て使用し得るものの具体例としては、塩化白金酸および
その塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレック
ス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金
と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコン
プレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファ
イトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート白
金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなど
の公知のものが挙げられる。硬化触媒の使用量は、高分
子物質形成材料の種類、硬化触媒の種類、その他の硬化
処理条件を考慮して適宜選択されるが、通常、高分子物
質形成材料１００重量部に対して３〜１５重量部であ
る。In the present invention, an appropriate curing catalyst can be used to cure the polymer-forming material. As such a curing catalyst, an organic peroxide, a fatty acid azo compound, a hydrosilylation catalyst, or the like can be used. Specific examples of the organic peroxide used as the curing catalyst include benzoyl peroxide, bisdicyclobenzoyl peroxide, dicumyl peroxide, and ditertiary butyl peroxide. Specific examples of the fatty acid azo compound used as a curing catalyst include azobisisobutyronitrile. Specific examples of the catalyst which can be used as a catalyst for the hydrosilylation reaction include chloroplatinic acid and salts thereof, a siloxane complex containing a platinum-unsaturated group, a complex of vinylsiloxane and platinum, and platinum and 1,3-divinyltetramethyldisiloxane. And a complex of triorganophosphine or phosphite with platinum, acetylacetate platinum chelate, and a complex of cyclic diene and platinum. The amount of the curing catalyst used is appropriately selected in consideration of the type of the polymer substance-forming material, the type of the curing catalyst, and other curing treatment conditions. 15 parts by weight.

【００１９】シート基体１０を構成するための非磁性の
導電性付与物質としては、それ自体導電性を示す物質
（以下、「自己導電性物質」ともいう。）、吸湿するこ
とによって導電性が発現される物質（以下、「吸湿導電
性物質」ともいう。）などを用いることができ、これら
の自己導電性物質および吸湿導電性物質は、いずれか一
方を使用することも両者を併用することもできる。As the non-magnetic conductivity-imparting substance for forming the sheet substrate 10, a substance exhibiting conductivity by itself (hereinafter, also referred to as "self-conductive substance"), or exhibits conductivity by absorbing moisture. (Hereinafter, also referred to as “moisture-absorbing conductive material”) and the like. These self-conductive materials and moisture-absorbing conductive materials may be used alone or in combination. it can.

【００２０】自己導電性物質としては、一般的には、金
属結合における自由電子により導電性を示す物質、余剰
電子の移動によって電荷の移動が起こるもの、空孔の移
動によって電荷の移動が起こるもの、主鎖に沿ってπ結
合を有し、その相互作用により導電性を示す有機高分子
物質、側鎖にある基の相互作用によって電荷の移動を起
こす物質などから選択して用いることができる。具体的
には、白金、金、銀、銅、アルミウニム、マンガン、亜
鉛、錫、鉛、インジウム、モリブデン、ニオブ、タンタ
ル、クロムなどの非磁性金属；二酸化銅、酸化亜鉛、酸
化錫、酸化チタンなどの非磁性導電性金属酸化物；ウィ
スカ、チタン酸カリウム、カーボンなどの導電性繊維物
質；ゲルマニウム、珪素、インジウム燐、硫化亜鉛など
の半導電性物質；カーボンブラック、グラファイトなど
の炭素系物質；ポリアセチレン系ポリマー、ポリフェニ
レン系ポリマー、チオフェニレン系ポリマー等の複素環
ポリマーなどの導電性高分子物質などを用いることがで
き、これらは、単独でまたは２種以上を組み合わせて導
電性付与物質として用いることができる。As the self-conductive substance, generally, a substance exhibiting conductivity by free electrons in a metal bond, a substance in which charge transfer is caused by movement of surplus electrons, and a substance in which charge transfer is caused by movement of vacancies And an organic polymer substance having a π bond along the main chain and exhibiting conductivity by the interaction thereof, and a substance which causes charge transfer by the interaction of a group in a side chain. Specifically, non-magnetic metals such as platinum, gold, silver, copper, aluminum, manganese, zinc, tin, lead, indium, molybdenum, niobium, tantalum, chromium; copper dioxide, zinc oxide, tin oxide, titanium oxide, etc. Non-magnetic conductive metal oxides; conductive fiber materials such as whisker, potassium titanate, and carbon; semiconductive materials such as germanium, silicon, indium phosphorus, and zinc sulfide; carbon-based materials such as carbon black and graphite; polyacetylene Polymer, a conductive polymer material such as a heterocyclic polymer such as a polyphenylene-based polymer and a thiophenylene-based polymer, and these can be used alone or in combination of two or more as a conductivity-imparting substance. it can.

【００２１】吸湿導電性物質としては、イオンを生成
し、そのイオンによって電荷を運ぶ物質、水酸基やエス
テル基などの極性の大きい基を有する物質などから選択
して用いることができる。具体的には、第四級アンモニ
ウム塩、アミン系化合物などの陽イオンを生成する物
質；脂肪族スルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル
塩、高級アルコールエチレンオキサイド付加硫酸エステ
ル塩、高級アルコール燐酸エステル塩、高級アルコール
エチレンオキサイド付加燐酸エステル塩などの陰イオン
を生成する物質；ベダイン化合物などの陽イオンおよび
陰イオンの両方を生成する物質；クロルポリシロキサ
ン、アルコキシシラン、アルコキシポリシラン、アルコ
キシポリシロキサン等の珪素化合物、導電性ウレタン、
ポリビニルアルコールまたはその共重合体等の高分子物
質、高級アルコールエチレンオキサイド、ポリエチレン
グリコール脂肪酸エステル、多価アルコール脂肪酸エス
テル等のアルコール系界面活性剤、多糖類などの極性の
大きい基を有する物質などを用いることができ、これら
は、単独でまたは２種以上を組み合わせて導電性付与物
質として用いることができる。As the moisture-absorbing conductive substance, a substance that generates ions and carries a charge by the ions, a substance having a highly polar group such as a hydroxyl group or an ester group, or the like can be used. Specifically, cation-forming substances such as quaternary ammonium salts and amine compounds; aliphatic sulfonates, higher alcohol sulfates, higher alcohol ethylene oxide addition sulfates, higher alcohol phosphates, Substances which generate both anions such as higher alcohol ethylene oxide addition phosphoric acid ester salts; Substances which generate both cations and anions such as bedyne compounds; Silicon compounds such as chloropolysiloxane, alkoxysilane, alkoxypolysilane and alkoxypolysiloxane , Conductive urethane,
High molecular substances such as polyvinyl alcohol or a copolymer thereof, higher alcohols such as ethylene oxide, polyethylene glycol fatty acid esters and polyhydric alcohol fatty acid esters, and substances having large polar groups such as polysaccharides are used. These can be used alone or in combination of two or more as a conductivity-imparting substance.

【００２２】また、上記の吸湿導電性物質の中では、高
い耐熱性を有し、弾性高分子物質との相溶性が良好で、
弾性高分子物質の形成において重合阻害を引き起こさな
い点で、脂肪族スルホン酸塩が好ましい。かかる脂肪族
スルホン酸塩としては、１−デカンスルホン酸塩、１−
ウンデカンスルホン酸塩、１−ドデカンスルホン酸塩、
１−トリデカンスルホン酸塩、１−テトラデカンスルホ
ン酸塩、１−ペンタデカンスルホン酸塩、１−ヘキサデ
カンスルホン酸塩、１−ヘプタデカンスルホン酸塩、１
−オクタデカンスルホン酸塩、１−ノナデカンスルホン
酸塩、１−エイコサンデカスルホン酸塩またはこれらの
異性体などの炭素数が１０〜２０のアルキル基を有する
ものが好ましい。また、塩としては、リチウム、ナトリ
ウム、カリウムなどのアルカリ金属塩が好ましく、特
に、一層高い耐熱性を有する点で、ナトリウム塩が好ま
しい。Further, among the above-mentioned moisture-absorbing conductive substances, they have high heat resistance and good compatibility with elastic polymer substances.
Aliphatic sulfonates are preferred in that they do not cause polymerization inhibition in the formation of the elastic polymeric material. Such aliphatic sulfonates include 1-decane sulfonate and 1-decane sulfonate.
Undecane sulfonate, 1-dodecane sulfonate,
1-tridecane sulfonate, 1-tetradecane sulfonate, 1-pentadecane sulfonate, 1-hexadecane sulfonate, 1-heptadecane sulfonate, 1
Those having an alkyl group having 10 to 20 carbon atoms, such as -octadecanesulfonic acid salt, 1-nonadecanesulfonic acid salt, 1-eicosandecasulfonic acid salt, and isomers thereof are preferable. As the salt, an alkali metal salt such as lithium, sodium, and potassium is preferable, and a sodium salt is particularly preferable because it has higher heat resistance.

【００２３】シート基体１０における非磁性の導電性付
与物質の割合は、導電性付与物質の種類や目的とする導
電性の程度などに応じて適宜設定されるが、通常、導電
性付与物質として非磁性金属よりなるものを単独で用い
る場合には、１〜１０重量％、好ましくは２〜８重量
％、導電性付与物質として非磁性導電性金属酸化物より
なるものを単独で用いる場合には、１０〜４０重量％、
好ましくは２０〜３０重量％、導電性付与物質として導
電性繊維物質よりなるものを単独で用いる場合には、５
〜３０重量％、好ましくは８〜１５重量％、導電性付与
物質としてカーボンブラックよりなるものを単独で用い
る場合には、１０〜４０重量％、好ましくは２０〜３０
重量％、導電性付与物質として導電性高分子物質よりな
るものを単独で用いる場合には、１０〜３０重量％、好
ましくは１５〜２５重量％、導電性付与物質として吸湿
導電性物質を単独で用いる場合には、２〜４０重量％、
好ましくは３〜３０重量％の範囲から設定される。ま
た、上記の種々の導電性付与物質を組み合わせて用いる
場合には、その割合は上記の範囲を考慮して設定され
る。The proportion of the nonmagnetic conductivity-imparting substance in the sheet substrate 10 is appropriately set according to the type of the conductivity-imparting substance and the desired degree of conductivity. In the case of using a magnetic metal alone, 1 to 10% by weight, preferably 2 to 8% by weight, and in the case of using a nonmagnetic conductive metal oxide alone as a conductivity-imparting substance, 10-40% by weight,
Preferably, 20 to 30% by weight. When a substance made of a conductive fiber substance is used alone as the conductivity-imparting substance, 5
To 30% by weight, preferably 8 to 15% by weight, and when using a substance consisting of carbon black alone as the conductivity-imparting substance, 10 to 40% by weight, preferably 20 to 30%
% By weight, when a substance consisting of a conductive polymer substance is used alone as the conductivity-imparting substance, 10 to 30% by weight, preferably 15 to 25% by weight, and a moisture-absorbing conductive substance is used alone as the conductivity-imparting substance. If used, 2-40% by weight,
Preferably, it is set in the range of 3 to 30% by weight. In the case where the above-mentioned various conductivity-imparting substances are used in combination, the ratio is set in consideration of the above range.

【００２４】また、シート基体１０中には、必要に応じ
て、通常のシリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲルシ
リカ、アルミナなどの無機充填材を含有させることがで
きる。このような無機充填材を含有させることにより、
シート基体１０を形成するための材料のチクソトロピー
性が確保され、その粘度が高くなり、しかも、導電性粒
子の分散安定性が向上すると共に、高い強度を有するシ
ート基体１０が得られる。このような無機充填材の使用
量は、特に限定されるものではないが、多量に使用する
と、磁場による導電性粒子の配向を十分に達成すること
ができなくなるため、好ましくない。The sheet substrate 10 may contain an inorganic filler such as ordinary silica powder, colloidal silica, airgel silica, alumina, etc., if necessary. By including such an inorganic filler,
The thixotropic property of the material for forming the sheet base 10 is ensured, the viscosity thereof is increased, and the dispersion stability of the conductive particles is improved, and the sheet base 10 having high strength is obtained. The use amount of such an inorganic filler is not particularly limited, but using a large amount is not preferable because the orientation of the conductive particles cannot be sufficiently achieved by the magnetic field.

【００２５】本発明の異方導電性シートにおいて、シー
ト基体１０中に含有される導電性粒子Ｐは、下記に示す
粒子抵抗率ρが１×１０⁵ 〜１×１０⁹ Ω・ｍの範囲に
あるものである。 粒子抵抗率ρ：直径１２．５ｍｍのピストンおよびこの
ピストンの直径に適合する内径を有するシリンダーを用
意し、シリンダー内に、１０±０．１ｇの導電性粒子を
入れ、当該導電性粒子を前記ピストンによって４９０Ｎ
の力で加圧した状態において、シリンダーの内底面とピ
ストンの加圧面との間の電気抵抗を測定し、測定された
電気抵抗をＲ（Ω）、ピストンの加圧面の面積をＳ（ｍ
² ）、シリンダーの内底面とピストンの加圧面との間の
距離をｔ（ｍ）としたとき、下記式（１）により算出さ
れる値。In the anisotropic conductive sheet of the present invention, the conductive particles P contained in the sheet substrate 10 have a particle resistivity ρ shown below in the range of 1 × 10 ⁵ to 1 × 10 ⁹ Ω · m. There is something. Particle resistivity ρ: A piston having a diameter of 12.5 mm and a cylinder having an inner diameter adapted to the diameter of the piston are prepared, and 10 ± 0.1 g of conductive particles are put in the cylinder. By 490N
In the state where the pressure is applied by the force of, the electric resistance between the inner bottom surface of the cylinder and the pressing surface of the piston is measured, the measured electric resistance is R (Ω), and the area of the pressing surface of the piston is S (m
² ) A value calculated by the following equation (1), where t (m) is the distance between the inner bottom surface of the cylinder and the pressing surface of the piston.

【００２６】[0026]

【数３】式（１） ρ＝（Ｒ×Ｓ）／ｔEquation (1) ρ = (R × S) / t

【００２７】具体的には、この粒子抵抗率ρは、以下の
ようにして測定される。図２は、粒子抵抗率ρを測定す
るための装置の構成を示す説明用断面図である。この図
において、３はシリンダーであって、絶縁材料よりなる
円筒体４と、この円筒体４の下端側の開口を塞ぐよう設
けられた、金属よりなる底部材５とにより構成されてい
る。また、底部材５の上面すなわちシリンダー３の内底
面には、金メッキが施されている。６は、円板状または
円柱状の金属よりなるピストンである。また、ピストン
６の加圧面（図において下面）には、金メッキが施され
ている。７はピストン６を支持する支持棒である。８は
電気抵抗測定器であって、シリンダー３の底部材５およ
びピストン６の各々に電気的に接続されている。ピスト
ン６の直径は１２．５ｍｍとされ、一方、シリンダー３
の内径（円筒体４の内径）は、ピストン６の直径に適合
するものとされており、ピストン６は、シリンダー３内
において摺動可能とされている。Specifically, the particle resistivity ρ is measured as follows. FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a configuration of an apparatus for measuring the particle resistivity ρ. In this figure, reference numeral 3 denotes a cylinder, which comprises a cylindrical body 4 made of an insulating material and a bottom member 5 made of metal provided so as to close an opening on the lower end side of the cylindrical body 4. The upper surface of the bottom member 5, that is, the inner bottom surface of the cylinder 3 is plated with gold. Reference numeral 6 denotes a piston made of a disc-shaped or column-shaped metal. The pressing surface (lower surface in the figure) of the piston 6 is plated with gold. Reference numeral 7 denotes a support rod that supports the piston 6. Reference numeral 8 denotes an electric resistance measuring device, which is electrically connected to each of the bottom member 5 of the cylinder 3 and the piston 6. The diameter of the piston 6 is 12.5 mm while the cylinder 3
Is adapted to the diameter of the piston 6, and the piston 6 is slidable in the cylinder 3.

【００２８】そして、シリンダー３内に１０±０．１ｇ
の導電性粒子Ｐを入れ、この導電性粒子Ｐをピストン６
によって４９０Ｎ（５０ｋｇｗ）の力で加圧し、この状
態において、シリンダー３の内底面（底部材５の上面）
とピストン６の加圧面との間の電気抵抗を電気抵抗測定
器８によって測定すると共に、シリンダー３の内底面
（底部材５の上面）とピストン６の加圧面との間の距離
を測定する。そして、測定された電気抵抗をＲ（Ω）、
ピストン６の加圧面の面積をＳ（ｍ² ）、測定されたシ
リンダー３の内底面とピストン６の加圧面との間の距離
をｔ（ｍ）とし、上記式（１）により、導電性粒子Ｐに
ついての粒子抵抗率ρが測定される。Then, 10 ± 0.1 g in the cylinder 3
Of the conductive particles P, and the conductive particles P
490 N (50 kgw), and in this state, the inner bottom surface of the cylinder 3 (the upper surface of the bottom member 5)
The electrical resistance between the piston 3 and the pressurized surface of the piston 6 is measured by the electric resistance measuring device 8, and the distance between the inner bottom surface of the cylinder 3 (the upper surface of the bottom member 5) and the pressurized surface of the piston 6 is measured. Then, the measured electric resistance is R (Ω),
The area of the pressurized surface of the piston 6 is S (m ² ), and the distance between the measured inner bottom surface of the cylinder 3 and the pressurized surface of the piston 6 is t (m). The particle resistivity ρ for P is measured.

【００２９】また、シート基体１０中に含有される導電
性粒子Ｐとしては、磁場を作用させることによって容易
に異方導電性シート１０の厚み方向に並ぶよう配向させ
ることができる観点から、磁性を示す導電性粒子が用い
られる。The conductive particles P contained in the sheet substrate 10 have a magnetic property from the viewpoint that they can be easily aligned in the thickness direction of the anisotropic conductive sheet 10 by applying a magnetic field. The conductive particles shown are used.

【００３０】このような導電性粒子Ｐの具体例として
は、ニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属より
なる粒子若しくはこれらの合金よりなる粒子またはこれ
らの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子
とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウ
ムなどの酸化しにくい導電性金属のメッキを施したも
の；ＺｒＦｅ₂ 、ＦｅＢｅ₂ 、ＦｅＲｈ、ＭｎＺｎ、Ｎ
ｉ₃ Ｍｎ、ＦｅＣｏ、ＦｅＮｉ、Ｎｉ₂ Ｆｅ、ＭｎＰｔ
₃ 、ＦｅＰｄ、ＦｅＰｄ₃ 、Ｆｅ₃ Ｐｔ、ＦｅＰｔ、Ｃ
ｏＰｔ、ＣｏＰｔ₃ 、Ｎｉ₃ Ｐｔなどの強磁性金属間化
合物からなる粒子、またはこの粒子を芯粒子とし、当該
芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの酸
化しにくい導電性金属のメッキを施したもの； 化学式：Ｍ¹ Ｏ・Ｆｅ₂ Ｏ₃ （但し、Ｍ¹ は、Ｍｎ、Ｆ
ｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｃｏ、Ｌｉなどの金属を
示す。）で表されるフェライト、若しくはこれらの混合
物（例えばＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライ
ト、Ｍｇ−Ｚｎフェライトなど）、ＦｅＭｎ₂ Ｏ₄ など
のマンガナイト、化学式：Ｍ² Ｏ・Ｃｏ ₂ Ｏ₃ （但し、
Ｍ² は、Ｆｅ、Ｎｉなどの金属を示す。）で表されるコ
バルタイト、Ｎｉ_0.5 Ｚｎ_0.5 Ｆｅ₂ Ｏ₄ 、Ｎｉ_0.35Ｚ
ｎ_0.65Ｆｅ₂ Ｏ₄ 、Ｎｉ_0.7 Ｚｎ _0.2 Ｆｅ_0.1 Ｆｅ₂ Ｏ
₄ 、Ｎｉ_0.5 Ｚｎ_0.4 Ｆｅ_0.1 Ｆｅ₂ Ｏ₄ などの強磁性
金属酸化物よりなる粒子、カルボニルＦｅ、カルボニル
Ｎｉなどの強磁性金属のカルボニル錯体よりなる粒子、
またはこの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、
銀、パラジウム、ロジウムなどの酸化しにくい導電性金
属のメッキを施したもの；非磁性金属粒子、ガラスビー
ズ、カーボンなどの無機物質よりなる粒子、またはポリ
スチレン、ジビニルベンゼンによって架橋されたポリス
チレンなどのポリマーよりなる粒子を芯粒子とし、当該
芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性
体のメッキを施したもの、あるいは芯粒子に、導電性磁
性体および酸化しにくい導電性金属の両方を被覆したも
のなどが挙げられる。また、これらの導電性粒子は、そ
の導電性を調整することを目的として、表面に絶縁被膜
が形成されたものであってもよい。ここで、絶縁被膜と
しては、金属酸化物、ＳｉＯ₂ 等の酸化珪素化合物など
の無機材料、樹脂、カップリング剤などの有機材料を用
いることができる。As a specific example of such conductive particles P,
Is more magnetic than metals that exhibit magnetism, such as nickel, iron, and cobalt.
Or particles composed of these alloys or their alloys
Particles containing these metals, or these particles as core particles
Gold, silver, palladium, rhodium on the surface of the core particles.
Plated with a conductive metal such as
; ZrFe_Two, FeBe_Two, FeRh, MnZn, N
i_ThreeMn, FeCo, FeNi, Ni_TwoFe, MnPt
_Three, FePd, FePd_Three, Fe_ThreePt, FePt, C
oPt, CoPt_Three, Ni_ThreeFerromagnetic intermetallic such as Pt
Particles of the compound, or these particles as core particles,
Acids such as gold, silver, palladium and rhodium on the surface of the core particles
Plated with a conductive metal that is difficult to change; Chemical formula: M¹O ・ Fe_TwoO_Three(However, M¹Is Mn, F
e, Ni, Cu, Zn, Mg, Co, Li and other metals
Show. ) Or a mixture of these
(Eg, Mn-Zn ferrite, Ni-Zn ferrite)
, Mg-Zn ferrite, etc.), FeMn_TwoO_FourSuch
Manga Night, Chemical Formula: M^TwoO ・ Co _TwoO_Three(However,
M^TwoIndicates a metal such as Fe or Ni. )
Baltite, Ni_0.5Zn_0.5Fe_TwoO_Four, Ni_0.35Z
n_0.65Fe_TwoO_Four, Ni_0.7Zn _0.2Fe_0.1Fe_TwoO
_Four, Ni_0.5Zn_0.4Fe_0.1Fe_TwoO_FourSuch as ferromagnetic
Particles composed of metal oxide, carbonyl Fe, carbonyl
Particles comprising a carbonyl complex of a ferromagnetic metal such as Ni,
Or these particles as core particles, gold on the surface of the core particles,
Conductive gold such as silver, palladium, and rhodium that is difficult to oxidize
Species plated; non-magnetic metal particles, glass beads
Particles made of inorganic substances such as
Polystyrene crosslinked with styrene and divinylbenzene
Particles made of a polymer such as styrene are used as core particles, and
Conductive magnetism such as nickel and cobalt on the surface of core particles
Conductive magnetic material is applied to the plated body or core particles.
Coated with both conductive materials and conductive metals that are difficult to oxidize
And the like. In addition, these conductive particles are
Insulation coating on the surface for the purpose of adjusting the conductivity of
May be formed. Where the insulation coating
Metal oxide, SiO_TwoSilicon oxide compounds such as
Use organic materials such as inorganic materials, resins, and coupling agents
Can be.

【００３１】上記の導電性粒子の中では、上記の範囲の
粒子抵抗率ρが得られやすい点で、Ｍｎ−Ｚｎフェライ
ト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト、Ｍｇ−Ｚｎフェライトなど
のフェライト、或いはカルボニルＦｅ、カルボニルＮｉ
などの強磁性金属のカルボニル錯体よりなる粒子の表面
に、ＳｉＯ₂ 等の酸化珪素化合物による絶縁被膜が形成
されなる導電性粒子が好ましい。Among the above conductive particles, ferrites such as Mn-Zn ferrite, Ni-Zn ferrite, Mg-Zn ferrite, carbonyl Fe, carbonyl Ni
Conductive particles in which an insulating film made of a silicon oxide compound such as SiO ₂ is formed on the surface of particles formed of a carbonyl complex of a ferromagnetic metal such as a ferromagnetic metal.

【００３２】また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、上
記の範囲の粒子抵抗率ρが得られやすい点で、１〜１０
００μｍであることが好ましく、より好ましくは２〜５
００μｍ、さらに好ましくは５〜３００μｍ、特に好ま
しくは１０〜２００μｍである。また、得られる異方導
電性シートにおいて、導電性粒子Ｐによって厚み方向に
形成される導電路間の間隔が小さいものであること、す
なわち分解能の高い異方導電特性が要求される場合に
は、導電性粒子Ｐとして、数平均粒子径が小さいものを
用いることが好ましく、具体的には、数平均粒子径が１
〜２０μｍ、特に１〜１０μｍのものを用いることが好
ましい。また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄ
ｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましく
は１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に
好ましくは１．１〜４である。このような条件を満足す
る導電性粒子を用いることにより、得られる異方導電性
シートは、加圧変形が容易なものとなり、また、当該導
電性粒子間に十分な電気的接触が得られる。また、導電
性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高
分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点
で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集し
た２次粒子による塊状のものであることが好ましい。The number average particle diameter of the conductive particles P is 1 to 10 in that the particle resistivity ρ in the above range is easily obtained.
00 μm, more preferably 2 to 5 μm.
The thickness is 00 μm, more preferably 5 to 300 μm, and particularly preferably 10 to 200 μm. Further, in the obtained anisotropic conductive sheet, if the distance between the conductive paths formed in the thickness direction by the conductive particles P is small, that is, if high anisotropy conductive characteristics of high resolution is required, As the conductive particles P, those having a small number average particle diameter are preferably used.
It is preferable to use one having a thickness of from 20 μm to 20 μm, especially from 1 to 10 μm. Further, the particle size distribution of the conductive particles P (Dw / D
n) is preferably 1 to 10, more preferably 1.01 to 7, further preferably 1.05 to 5, and particularly preferably 1.1 to 4. By using the conductive particles satisfying such conditions, the obtained anisotropic conductive sheet can be easily deformed under pressure, and sufficient electric contact can be obtained between the conductive particles. The shape of the conductive particles P is not particularly limited. However, since the conductive particles P can be easily dispersed in the polymer substance-forming material, they have a spherical shape, a star shape, or a shape in which these are aggregated. It is preferably a lump formed by the secondary particles.

【００３３】また、導電性粒子Ｐの含水率は、５％以下
であることが好ましく、より好ましくは３％以下、さら
に好ましくは２％以下、とくに好ましくは１％以下であ
る。このような条件を満足する導電性粒子を用いること
により、高分子物質形成材料を硬化処理する際に気泡が
生ずることが防止または抑制される。The water content of the conductive particles P is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, further preferably 2% or less, and particularly preferably 1% or less. By using the conductive particles satisfying such conditions, it is possible to prevent or suppress the generation of bubbles during the curing treatment of the polymer substance forming material.

【００３４】シート基体１０中における導電性粒子Ｐの
割合は、当該異方導電性シートの使用目的および用いら
れる導電性粒子の種類に応じて適宜選択されるが、体積
分率で、通常３〜５０％、好ましくは５〜３０％となる
範囲から選択されることが好ましい。この割合が３％未
満である場合には、十分に電気抵抗の小さい導電路を形
成することが困難となることがある。一方、この割合が
５０％を超える場合には、得られる異方導電性シートは
脆弱なものとなることがある。The proportion of the conductive particles P in the sheet substrate 10 is appropriately selected according to the purpose of use of the anisotropic conductive sheet and the type of the conductive particles to be used. It is preferably selected from the range of 50%, preferably 5 to 30%. If this ratio is less than 3%, it may be difficult to form a conductive path having sufficiently small electric resistance. On the other hand, when this ratio exceeds 50%, the obtained anisotropic conductive sheet may be fragile.

【００３５】このような異方導電性シートおいては、弾
性を有するシート基体１０が無加圧の状態で導電性を示
すものであるため、当該異方導電性シートが無加圧の状
態または小さい力で厚み方向に加圧した状態では、当該
シート基体１０の電気特性に応じた導電性を示す。この
導電性の程度は、当該異方導電性シートの使用目的に応
じて適宜設定されるが、具体的には、異方導電性シート
が無加圧の状態および歪み率がＳ₀ 〔但し、Ｓ₀ は０〜
５（％）の範囲から選ばれた値〕％以下の値となるよう
厚み方向に加圧された状態においては、当該異方導電性
シートの厚み方向の体積固有抵抗Ｒ ₀ が、１×１０⁷ 〜
１×１０¹²Ω・ｍの範囲にあることが好ましく、より好
ましくは１×１０⁸ 〜１×１０¹⁰Ω・ｍの範囲である。
このような導電性を得るためには、用いられる非磁性の
導電性付与物質の種類を選択し、当該導電性付与物質の
含有割合を調整すればよい。また、異方導電性シート
を、１ｃｍ² 当たり０〜５ｇ、好ましくは０〜２ｇ荷重
で厚み方向に加圧することにより、上記の歪み率Ｓ
₀ （％）の値が得られればよい。In such an anisotropic conductive sheet, the elastic
Sheet base 10 having electrical conductivity shows conductivity in the state of no pressure
The anisotropic conductive sheet is pressed
State or when pressed in the thickness direction with a small force,
It shows conductivity according to the electrical characteristics of the sheet base 10. this
The degree of conductivity depends on the intended use of the anisotropic conductive sheet.
Although it is set appropriately, specifically, an anisotropic conductive sheet
Is not pressurized and the strain rate is S₀[However, S₀Is 0
Value selected from the range of 5 (%)]
When pressed in the thickness direction, the anisotropic conductive
Volume resistivity R in the thickness direction of the sheet ₀But 1 × 10⁷~
1 × 10¹²Ω · m is preferable, and more preferable.
Preferably 1 × 10⁸~ 1 × 10^TenΩ · m.
In order to obtain such conductivity, the non-magnetic
Select the type of conductivity-imparting substance, and
The content ratio may be adjusted. Also, anisotropic conductive sheet
To 1cm^Two0-5g, preferably 0-2g load per
By applying pressure in the thickness direction at
₀(%) May be obtained.

【００３６】一方、シート基体１０中には、その厚み方
向に並ぶよう配向した状態で導電性粒子Ｐが含有されて
いるため、当該異方導電性シートが大きい力で厚み方向
に加圧した状態では、導電性粒子Ｐの連鎖によってシー
ト基体の厚み方向に伸びる導電路が形成されるので、こ
れにより、無加圧の状態または小さい力で厚方向に加圧
した状態よりも高い導電性を示す。この導電性の程度
は、当該異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設定
されるが、具体的には、異方導電性シートが歪み率がＳ
₀ ％よりもΔＳ〔但し、ΔＳは１０〜３０（％）の範囲
から選ばれた値〕％以上大きい値となるよう厚み方向に
加圧された状態においては、当該異方導電性シートの厚
み方向の体積固有抵抗Ｒ₁ に対する前記体積固有抵抗Ｒ
₀ の比（Ｒ₀ ／Ｒ₁ ）が１×１０² 〜１×１０ ¹⁰の範囲
にあることが好ましく、より好ましくは１×１０³ 〜１
×１０⁹ の範囲である。このような導電性を得るために
は、用いられる導電性粒子Ｐの種類を選択し、当該導電
性粒子の含有割合を調整すればよい。また、異方導電性
シートを、１ｃｍ² 当たり５〜１０００ｇ、好ましくは
１０〜５００ｇの荷重で厚み方向に加圧することによ
り、上記の歪み率Ｓ₀ ＋ΔＳ（％）の値が得られればよ
い。On the other hand, the sheet base 10 has
Conductive particles P are contained in a state of being aligned in
Because the anisotropic conductive sheet has a large force in the thickness direction
Under pressure, the chain of conductive particles P causes
Since a conductive path extending in the thickness direction of the substrate is formed,
Pressing in the thickness direction with no pressure or with small force
It shows higher conductivity than the state where it did. The degree of this conductivity
Is set appropriately according to the intended use of the anisotropic conductive sheet.
Specifically, the anisotropic conductive sheet has a strain rate of S
₀% Than ΔS [where ΔS is in the range of 10 to 30 (%)]
Value selected from the above]
When pressed, the thickness of the anisotropic conductive sheet
Volume specific resistance R₁The volume resistivity R
₀Ratio (R₀/ R₁) Is 1 × 10^Two~ 1 × 10 ^TenRange
And more preferably 1 × 10^Three~ 1
× 10⁹Range. To obtain such conductivity
Selects the type of the conductive particles P to be used,
The content ratio of the conductive particles may be adjusted. Also, anisotropic conductive
1cm sheet^Two5 to 1000 g, preferably
By pressing in the thickness direction with a load of 10 to 500 g
The distortion rate S₀+ ΔS (%) should be obtained
No.

【００３７】以上において、異方導電性シートの厚み方
向の体積固有抵抗は、以下のようにして測定することが
できる。 無加圧の状態の体積固有抵抗：異方導電性シートの一面
に、スパッター装置により金属膜を形成し、この金属膜
の表面に導電性接着剤により、絶縁抵抗計に接続された
配線を接着する。そして、前記絶縁抵抗計に接続された
電極径が５０ｍｍの測定用電極によって、異方導電性シ
ートの他面を加圧することにより、異方導電性シートの
他面に測定用電極の表面が充分に密着させ、その後、異
方導電性シートの他面に測定用電極の表面が接触した状
態すなわち無加圧の状態とする。そして、この状態にお
いて、適宜の電圧値または電流値の電流を測定用電極と
金属膜との間に供給し、１分間経過後、異方導電性シー
トの厚み方向の体積固有抵抗を測定する。 厚み方向に加圧された状態の体積固有抵抗：異方導電性
シートを、それぞれ絶縁抵抗計に接続された電極径が５
０ｍｍの測定用電極および加圧用電極との間に配置し、
加圧用電極によって異方導電性シートが所要の歪み率と
なるまで加圧し、この状態で、異方導電性シートの厚み
方向の体積固有抵抗を測定する。In the above, the volume resistivity in the thickness direction of the anisotropic conductive sheet can be measured as follows. Non-pressurized volume specific resistance: A metal film is formed on one surface of an anisotropic conductive sheet by a sputtering device, and the wiring connected to the insulation resistance meter is bonded to the surface of this metal film with a conductive adhesive. I do. Then, by pressing the other surface of the anisotropic conductive sheet with the measuring electrode having an electrode diameter of 50 mm connected to the insulation resistance meter, the surface of the measuring electrode is sufficiently provided on the other surface of the anisotropic conductive sheet. Then, the surface of the measurement electrode is brought into contact with the other surface of the anisotropic conductive sheet, that is, in a non-pressurized state. Then, in this state, a current having an appropriate voltage value or current value is supplied between the measurement electrode and the metal film, and after elapse of one minute, the volume resistivity in the thickness direction of the anisotropic conductive sheet is measured. Volume resistivity in the state of being pressed in the thickness direction: Anisotropic conductive sheet is connected to an insulation resistance meter, and the electrode diameter is 5
Placed between the 0 mm measuring electrode and the pressing electrode,
The anisotropic conductive sheet is pressed by the pressing electrode until a required strain rate is obtained, and in this state, the volume resistivity in the thickness direction of the anisotropic conductive sheet is measured.

【００３８】以上のような異方導電性シートは、例えば
以下の方法によって製造することができる。先ず、硬化
処理によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子
物質形成材料中に、磁性を示す導電性粒子および非磁性
の導電性付与物質が分散されてなる流動性のシート成形
材料を調製し、図３に示すように、このシート成形材料
を金型２０内に注入してシート成形材料層１０Ａを形成
する。ここで、金型２０は、それぞれ矩形の強磁性体板
よりなる上型２１およひ下型２２が、矩形の枠状のスペ
ーサー２３を介して互いに対向するよう配置されて構成
され、上型２１の下面と下型２２の上面との間にキャビ
ティが形成されている。The anisotropic conductive sheet as described above can be manufactured, for example, by the following method. First, in a liquid polymer material forming material which becomes an insulating elastomer by curing treatment, a fluid sheet forming material in which conductive particles exhibiting magnetism and a non-magnetic conductivity imparting substance are dispersed is prepared. As shown in FIG. 3, this sheet molding material is injected into a mold 20 to form a sheet molding material layer 10A. Here, the mold 20 is configured by arranging an upper mold 21 and a lower mold 22 each formed of a rectangular ferromagnetic plate so as to face each other via a rectangular frame-shaped spacer 23. A cavity is formed between the lower surface of the lower mold 21 and the upper surface of the lower mold 22.

【００３９】次いで、上型２１の上面および下型２２の
下面に、例えば電磁石または永久磁石を配置し、金型内
のシート成形材料層１０Ａにその厚み方向に平行磁場を
シート成形材料層の厚み方向に作用させる。その結果、
シート成形材料層１０Ａにおいては、当該シート成形材
料層中に分散されている導電性粒子Ｐが、図４に示すよ
うに、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向
に並ぶよう配向する。一方、シート成形材料層１０Ａ中
の導電性付与物質は、平行磁場が作用しても当該シート
成形材料層１０Ａ中に分散されたままの状態である。そ
して、この状態において、シート成形材料層１０Ａを硬
化処理することにより、絶縁性のエラストマー中に非磁
性の導電性付与物質が分散されてなるシート基体１０が
形成され、以てシート基体１０中に、導電性粒子Ｐが厚
み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる異方導
電性シートが得られる。Next, for example, an electromagnet or a permanent magnet is arranged on the upper surface of the upper die 21 and the lower surface of the lower die 22, and a parallel magnetic field is applied to the sheet molding material layer 10A in the mold in the thickness direction thereof. Act in the direction. as a result,
In the sheet forming material layer 10A, the conductive particles P dispersed in the sheet forming material layer are oriented so as to be arranged in the thickness direction while maintaining the state of being dispersed in the plane direction as shown in FIG. . On the other hand, the conductivity-imparting substance in the sheet molding material layer 10A remains dispersed in the sheet molding material layer 10A even when a parallel magnetic field acts. Then, in this state, the sheet molding material layer 10A is cured to form the sheet substrate 10 in which the nonmagnetic conductive material is dispersed in the insulating elastomer. Thus, an anisotropic conductive sheet containing the conductive particles P in a state of being aligned in the thickness direction is obtained.

【００４０】以上において、シート成形材料層１０Ａに
作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜１．５
Ｔとなる大きさが好ましい。永久磁石によってシート成
形材料層１０Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる場合
において、当該永久磁石としては、上記の範囲の平行磁
場の強度が得られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｉ
−Ｃｏ系合金）、フェライトなどよりなるものを用いる
ことが好ましい。シート成形材料層１０Ａの硬化処理
は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともでき
るが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともでき
る。シート成形材料層１０Ａの硬化処理は、使用される
材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によっ
て行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、シー
ト成形材料層１０Ａを構成する高分子物質用材料などの
種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して
適宜設定される。In the above description, the intensity of the parallel magnetic field applied to the sheet forming material layer 10A is 0.02 to 1.5 on average.
The size that becomes T is preferable. When a parallel magnetic field is applied in the thickness direction of the sheet forming material layer 10A by the permanent magnet, the permanent magnet has a parallel magnetic field strength within the above range.
-Co-based alloy), ferrite or the like. The curing treatment of the sheet forming material layer 10A can be performed in a state where the parallel magnetic field is applied, but can also be performed after the operation of the parallel magnetic field is stopped. The curing treatment of the sheet molding material layer 10A is appropriately selected depending on the material used, but is usually performed by a heat treatment. The specific heating temperature and heating time are appropriately set in consideration of the type of the material for the polymer substance constituting the sheet molding material layer 10A, the time required for the movement of the conductive particles P, and the like.

【００４１】上記の構成の異方導電性シートによれば、
シート基体１０が導電性付与物質が含有されることによ
って無加圧の状態で導電性を示すものであるため、無加
圧の状態または小さい力で厚み方向に加圧した状態にお
いては、当該シート基体１０の電気特性に応じた導電性
を示し、しかも、シート基体１０中には、その厚み方向
に並ぶよう配向した状態で導電性粒子Ｐが含有されてい
るため、大きい力で厚み方向に加圧した状態において
は、導電性粒子Ｐの連鎖によってシート基体１０の厚み
方向に伸びる導電路が形成されるので、これにより、無
加圧の状態または小さい力で厚み方向に加圧した状態よ
りも高い導電性を示す。According to the anisotropic conductive sheet having the above structure,
Since the sheet base 10 exhibits conductivity in a non-pressed state by containing the conductivity-imparting substance, the sheet is not pressurized or in a state in which the sheet is pressurized in the thickness direction with a small force. The sheet base 10 exhibits conductivity according to the electrical characteristics of the base 10, and the sheet base 10 contains the conductive particles P in a state of being aligned in the thickness direction. In the pressurized state, a conductive path extending in the thickness direction of the sheet base 10 is formed by the chain of the conductive particles P, and thus, compared to a state in which no pressure is applied or a state in which the sheet is pressurized in the thickness direction with a small force. Shows high conductivity.

【００４２】このような本発明の異方導電性シートは、
その一面に被接続体を接触させるまたは小さい力で加圧
することにより、当該被接続体の表面における静電気、
静電容量、イオン量などの電気量の微視的な面分布状態
を、当該異方導電性シートの表面に転写保持することが
でき、更に、異方導電性シートの一面に被接続体を大き
い力で加圧することにより、当該異方導電性シートの他
面に、転写保持された電気量の微視的な面分布状態を移
動させることができる。具体的には、本発明の異方導電
性シートは、例えばプリント配線基板などの静電容量方
式の電気的検査装置において、検査対象物の表面の静電
容量分布を計測部に移動するためのセンサー部として有
用であり、このような電気的検査装置によれば、検査対
象物の表面の静電容量分布を二次元画像として表現する
ことができる。また、本発明の異方導電性シートは、従
来の異方導電性シートが利用されている種々の用途、例
えば回路装置相互間の電気的な接続を達成するためのコ
ネクターとして、あるいは回路装置の電気的検査に用い
られるコネクターとして利用することができる。Such an anisotropic conductive sheet of the present invention comprises:
By bringing the connected object into contact with one side or applying pressure with a small force, static electricity on the surface of the connected object,
Capacitance, the microscopic surface distribution state of the amount of electricity such as the amount of ions can be transferred and held on the surface of the anisotropic conductive sheet. By applying pressure with a large force, the microscopic surface distribution state of the transferred and held amount of electricity can be moved to the other surface of the anisotropic conductive sheet. Specifically, the anisotropic conductive sheet of the present invention is used, for example, for moving the capacitance distribution on the surface of an inspection object to a measurement unit in a capacitance type electrical inspection device such as a printed wiring board. It is useful as a sensor unit, and according to such an electrical inspection device, the capacitance distribution on the surface of the inspection object can be expressed as a two-dimensional image. In addition, the anisotropic conductive sheet of the present invention can be used in various applications in which the conventional anisotropic conductive sheet is used, for example, as a connector for achieving electrical connection between circuit devices, or as a circuit device. It can be used as a connector used for electrical inspection.

【００４３】また、本発明の異方導電性シートは、導電
性粒子Ｐとして適宜のものを用いることにより、当該導
電性粒子Ｐによる連鎖が熱伝導路として機能するため、
放熱シートなどの熱伝導性シートとして利用することが
できる。例えば電子装置の発熱部品等の発熱体に本発明
の異方導電性シートを接触させ、当該異方導電性シート
をその厚み方向に断続的に繰り返して加圧することによ
り、発熱体から一定の熱量が異方導電性シートを介して
断続的に放熱し、その結果、発熱体の温度を一定に維持
することができる。また、本発明の異方導電性シート
は、電磁放射の吸収シートとして用いることができ、こ
れにより、例えば電子部品等から発生する電磁的ノイズ
を低減することができる。In the anisotropic conductive sheet of the present invention, by using an appropriate conductive particle P, a chain formed by the conductive particles P functions as a heat conduction path.
It can be used as a heat conductive sheet such as a heat radiating sheet. For example, by bringing the anisotropic conductive sheet of the present invention into contact with a heating element such as a heating component of an electronic device, and pressing the anisotropic conductive sheet intermittently and repeatedly in the thickness direction, a certain amount of heat is generated from the heating element. Dissipates heat intermittently through the anisotropic conductive sheet, and as a result, the temperature of the heating element can be kept constant. In addition, the anisotropic conductive sheet of the present invention can be used as an electromagnetic radiation absorbing sheet, thereby reducing, for example, electromagnetic noise generated from electronic components and the like.

【００４４】〔第２の実施の形態〕図５は、本発明の第
２の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す説
明用断面図である。この異方導電性シートにおけるシー
ト基体１０は、絶縁性のエラストマー中に、導電性繊維
Ｆが当該シート基体１０の厚み方向に伸びるよう面方向
に沿って配列されて構成され、当該導電性繊維Ｆによっ
て厚み方向に導電性を示すものである。そして、シート
基体１０中には、磁性を示すと共に特定の電気特性を有
する導電性粒子Ｐが当該シート基体１０の厚み方向に並
ぶよう配向した状態でかつ当該シート基体１０の面方向
に分散した状態で含有されている。本発明において、導
電性繊維Ｆはシート基体１０の厚み方向に伸びるよう配
列されることが必要であるが、「厚み方向に伸びるよう
配列され」とは、シート基体の厚み方向と同一の方向
（以下、この方向を「Ｚ方向」という。）乃至このＺ方
向に対して３０°以下の範囲で傾いた方向に伸びるよう
配列されることを意味する。シート基体１０を構成する
ための絶縁性のエラストマーおよび導電性粒子Ｐを構成
する材料は、前述の第１の実施の形態に係る異方導電性
シートと同様である。また、この異方導電性シートの厚
みは、前述の第１の実施の形態の異方導電性シートと同
様である。さらに、この異方導電性シートの厚み方向の
体積固有抵抗は、前述の第１の実施の形態の異方導電性
シートと同様である。[Second Embodiment] FIG. 5 is an explanatory sectional view showing the structure of an anisotropic conductive sheet according to a second embodiment of the present invention. The sheet base 10 of the anisotropic conductive sheet is formed by arranging conductive fibers F in an insulating elastomer along the surface direction so as to extend in the thickness direction of the sheet base 10. Indicates conductivity in the thickness direction. In the sheet base 10, conductive particles P having magnetism and specific electric properties are oriented so as to be arranged in the thickness direction of the sheet base 10 and dispersed in the plane direction of the sheet base 10. It is contained in. In the present invention, the conductive fibers F need to be arranged so as to extend in the thickness direction of the sheet base 10, and “arranged to extend in the thickness direction” means the same direction as the thickness direction of the sheet base ( Hereinafter, this direction is referred to as “Z direction”.) To 30 ° or less with respect to this Z direction. The materials constituting the insulating elastomer and the conductive particles P for forming the sheet base 10 are the same as those of the anisotropic conductive sheet according to the first embodiment. The thickness of the anisotropic conductive sheet is the same as that of the anisotropic conductive sheet of the first embodiment. Further, the volume resistivity of the anisotropic conductive sheet in the thickness direction is the same as that of the anisotropic conductive sheet of the first embodiment.

【００４５】シート基体１０を構成するための導電性繊
維Ｆを構成する材料としては、特に限定されるものでは
なく、非磁性のものであっても磁性を示すものであって
もよいが、無加圧の状態もしくは小さい圧力で加圧した
状態において、後述する範囲の体積固有抵抗が容易に得
られる点で、非磁性の導電性繊維としては、カーボン繊
維、ポリアミド繊維などの繊維の表面に、スズ、ハン
ダ、銅などの非磁性金属よりなる導電性被覆膜が形成さ
れてなるもの、またはこの導電性被覆膜の表面に更に絶
縁性被覆膜が形成されてなるもの、リン青銅、ベリリウ
ム銅、ＳＵＳ、アルミニウムなどの非磁性金属よりなる
繊維の表面に絶縁性被覆膜が形成されてなるものなどを
好適に用いることができ、磁性を示す導電性繊維として
は、カーボン繊維、ポリアミド繊維などの繊維に、ニッ
ケル、コバルト、鉄、フェライトまたはこれらの合金な
どの導電性磁性体材料よりなる導電性被覆膜が形成され
てなるもの、またはこの導電性被覆膜の表面に更に絶縁
性被覆膜が形成されてなるもの、ニッケル、鉄などの導
電性磁性体材料よりなる繊維の表面に絶縁性被覆膜が形
成されてなるものなどを好適に用いることができる。以
上において、絶縁性被覆膜を構成する材料としては、ポ
リイミド、電着ポリイミド、ポリスチレン、ポリメチル
メタクリレート、フッ素樹脂などの有機材料、シリカな
どの無機材料を用いることができる。また、導電性繊維
Ｆにおける絶縁性被覆膜の被覆率は、目的とする異方導
電性シートの導電性に応じて適宜設定されるが、例えば
５０〜９９％であり、好ましくは７０〜９５％である。The material constituting the conductive fibers F for constituting the sheet substrate 10 is not particularly limited, and may be non-magnetic or magnetic. In the state of pressurization or in the state of pressurization with a small pressure, in that the volume specific resistance in the range described later is easily obtained, as the nonmagnetic conductive fiber, carbon fiber, on the surface of a fiber such as polyamide fiber, Tin, solder, those formed with a conductive coating film made of a non-magnetic metal such as copper, or those obtained by further forming an insulating coating film on the surface of this conductive coating film, phosphor bronze, Beryllium copper, SUS, and a fiber formed of an insulating coating film on the surface of a fiber made of a non-magnetic metal such as aluminum can be suitably used. As the conductive fiber showing magnetism, carbon fiber, Fibers such as amide fibers, on which a conductive coating film made of a conductive magnetic material such as nickel, cobalt, iron, ferrite or an alloy thereof is formed, or on the surface of the conductive coating film Those having an insulating coating film formed thereon and those having an insulating coating film formed on the surface of a fiber made of a conductive magnetic material such as nickel or iron can be suitably used. In the above, as a material constituting the insulating coating film, an organic material such as polyimide, electrodeposited polyimide, polystyrene, polymethyl methacrylate, or a fluororesin, or an inorganic material such as silica can be used. The coverage of the insulating coating film on the conductive fiber F is appropriately set according to the intended conductivity of the anisotropic conductive sheet, and is, for example, 50 to 99%, and preferably 70 to 95%. %.

【００４６】導電性繊維Ｆの径は、通常、５〜１００μ
ｍ、好ましくは１０〜５０μｍである。導電性繊維Ｆの
長さは、シート基体１０の厚みの５０〜１５０％である
ことが好ましく、より好ましくは６０〜１２０％であ
り、具体的には、０．０５〜１ｍｍ、好ましくは０．１
〜０．５ｍｍである。また、シート基体１０中における
導電性繊維Ｆの密度は、異方導電性シートの使用目的お
よび導電性繊維Ｆの種類によって適宜設定されるが、面
方向の断面において１ｃｍ² あたり１×１０³ 〜１×１
０⁶ 本含有されていることが好ましく、より好ましくは
１×１０⁴ 〜１×１０⁵ である。The diameter of the conductive fiber F is usually 5 to 100 μm.
m, preferably 10 to 50 μm. The length of the conductive fiber F is preferably 50 to 150% of the thickness of the sheet substrate 10, more preferably 60 to 120%, and specifically, 0.05 to 1 mm, preferably 0.1 to 1%. 1
０．５0.5 mm. The density of the conductive fibers F in the sheet base 10 is appropriately set according to the purpose of use of the anisotropic conductive sheet and the type of the conductive fibers F, but is 1 × 10 ³ to 1 × 10 ³ per cm ^{2 in} the cross section in the plane direction. 1x1
0 It is preferable that ^six is contained, more preferably from ^{1 × 10 4 ~1 × 10 5} .

【００４７】以上のような異方導電性シートは、例えば
以下の方法によって製造することができる。先ず、硬化
処理によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子
物質形成材料中に、導電性繊維および磁性を示す導電性
粒子が分散されてなる流動性のシート成形材料を調製
し、図６に示すように、このシート成形材料を金型２０
内に注入してシート成形材料層１０Ａを形成する。ここ
で、金型２０は、前述の第１の実施の形態における金型
２０と同様の構成である。The anisotropic conductive sheet as described above can be manufactured, for example, by the following method. First, a flowable sheet molding material in which conductive fibers and conductive particles exhibiting magnetism are dispersed in a liquid polymer material forming material which becomes an insulating elastomer by curing treatment is prepared, and shown in FIG. As described above, this sheet molding material is
To form a sheet molding material layer 10A. Here, the mold 20 has the same configuration as the mold 20 in the above-described first embodiment.

【００４８】次いで、上型２１の上面および下型２２の
下面に、例えば電磁石または永久磁石を配置し、金型内
のシート成形材料層１０Ａにその厚み方向に平行磁場を
シート成形材料層の厚み方向に作用させる。その結果、
シート成形材料層１０Ａにおいては、当該シート成形材
料層中に分散されている導電性粒子Ｐが、図７に示すよ
うに、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向
に並ぶよう配向すると共に、導電性粒子Ｐの移動に伴っ
て導電性繊維Ｆが厚み方向に伸びるよう配列される。以
上において、シート成形材料１０Ａに作用される平行磁
場の強度は、前述の第１の実施の形態と同様である。そ
して、この状態において、シート成形材料層１０Ａを硬
化処理することにより、絶縁性のエラストマー中に導電
性繊維Ｆが厚み方向に伸びるよう配列されてなるシート
基体１０と、このシート基体１０中にその厚み方向に並
ぶよう配向した状態で含有された導電性粒子Ｐとを有す
る異方導電性シートが得られる。Next, for example, an electromagnet or a permanent magnet is disposed on the upper surface of the upper die 21 and the lower surface of the lower die 22, and a parallel magnetic field is applied to the sheet molding material layer 10A in the mold in the thickness direction thereof. Act in the direction. as a result,
In the sheet forming material layer 10A, the conductive particles P dispersed in the sheet forming material layer are oriented so as to be aligned in the thickness direction while maintaining the state of being dispersed in the plane direction as shown in FIG. At the same time, the conductive fibers F are arranged so as to extend in the thickness direction as the conductive particles P move. In the above, the intensity of the parallel magnetic field applied to the sheet molding material 10A is the same as in the above-described first embodiment. In this state, by curing the sheet molding material layer 10A, the sheet base 10 in which the conductive fibers F are arranged so as to extend in the thickness direction in the insulating elastomer, and the sheet base 10 in the sheet base 10 An anisotropic conductive sheet having conductive particles P contained in a state aligned in the thickness direction is obtained.

【００４９】上記の構成の異方導電性シートによれば、
シート基体１０は、導電性繊維Ｆが厚み方向に伸びるよ
う配列されることによって無加圧の状態で厚み方向に導
電性を示すものであるため、無加圧の状態若しくは小さ
い力で厚み方向に加圧した状態においては、当該導電性
繊維Ｆの電気特性に応じた導電性を示し、しかも、シー
ト基体１０中には、その厚み方向に並ぶよう配向した状
態で導電性粒子Ｐが含有されているため、大きい力で厚
み方向に加圧した状態においては、導電性粒子Ｐの連鎖
によってシート基体１０の厚み方向に伸びる導電路が形
成されるので、これにより、無加圧の状態または小さい
力で厚み方向に加圧した状態よりも高い導電性を示す。According to the anisotropic conductive sheet having the above structure,
Since the sheet base 10 exhibits conductivity in the thickness direction in a non-pressed state when the conductive fibers F are arranged so as to extend in the thickness direction, the sheet base 10 in the thickness direction in a non-pressed state or a small force. In the pressurized state, the conductive fibers F exhibit conductivity according to the electrical characteristics, and the sheet base 10 contains the conductive particles P in a state of being aligned in the thickness direction. Therefore, in a state where a large force is applied in the thickness direction, a conductive path extending in the thickness direction of the sheet base 10 is formed by a chain of the conductive particles P. Shows higher conductivity than in the state pressed in the thickness direction.

【００５０】〔第３の実施の形態〕図８は、本発明の第
３の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す説
明用断面図である。この異方導電性シートにおいては、
導電性付与物質が含有されてなる弾性を有するシート基
体１０中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが密に含有される
ことによって、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路
形成部１１が形成され、これらの導電路形成部１１の各
々は、導電性粒子Ｐが全くあるいは殆ど存在しない定常
導電部１２を介して当該シート基体１０の面方向に例え
ば等間隔で互いに離間した状態で配置されている。導電
路形成部１１の各々においては、導電性粒子Ｐがシート
基体１０の厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有され
ている。シート基体１０を構成する材料および導電性粒
子Ｐを構成する材料は、前述の第１の実施の形態に係る
異方導電性シートと同様である。[Third Embodiment] FIG. 8 is an explanatory sectional view showing a configuration of an anisotropic conductive sheet according to a third embodiment of the present invention. In this anisotropic conductive sheet,
A plurality of conductive path forming portions 11 each extending in the thickness direction are formed by densely containing conductive particles P exhibiting magnetism in the elastic sheet base 10 containing the conductivity-imparting substance, Each of these conductive path forming portions 11 is arranged in a plane direction of the sheet base 10 via the stationary conductive portion 12 in which the conductive particles P are not or hardly present at all, for example, at equal intervals. In each of the conductive path forming portions 11, the conductive particles P are contained in a state of being oriented so as to be arranged in the thickness direction of the sheet base 10. The material forming the sheet base 10 and the material forming the conductive particles P are the same as those of the anisotropic conductive sheet according to the above-described first embodiment.

【００５１】導電路形成部１１の径および配置ピッチ
は、異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設定され
るが、例えば導電路形成部１１の径が０．０５〜１ｍ
ｍ、好ましくは０．０８〜０．５ｍｍであり、導電路形
成部１１の配置ピッチが０．１〜２．５４ｍｍ、好まし
くは０．１５〜１ｍｍである。また、この異方導電性シ
ートの厚みは、前述の第１の実施の形態の異方導電性シ
ートと同様である。さらに、この異方導電性シートの厚
み方向の体積固有抵抗は、前述の第１の実施の形態の異
方導電性シートと同様である。The diameter and arrangement pitch of the conductive path forming portion 11 are appropriately set according to the purpose of use of the anisotropic conductive sheet. For example, the diameter of the conductive path forming portion 11 is 0.05 to 1 m.
m, preferably 0.08 to 0.5 mm, and the arrangement pitch of the conductive path forming portions 11 is 0.1 to 2.54 mm, preferably 0.15 to 1 mm. The thickness of the anisotropic conductive sheet is the same as that of the anisotropic conductive sheet of the first embodiment. Further, the volume resistivity of the anisotropic conductive sheet in the thickness direction is the same as that of the anisotropic conductive sheet of the first embodiment.

【００５２】導電路形成部１１における導電性粒子Ｐの
割合は、当該異方導電性シートの使用目的および用いら
れる導電性粒子の種類に応じて適宜選択されるが、体積
分率で、通常１５〜５０％、好ましくは２０〜４０％と
なる範囲から選択されることが好ましい。この割合が１
５％未満である場合には、十分に電気抵抗の小さい導電
路を形成することが困難となることがある。一方、この
割合が５０％を超える場合には、得られる導電路形成部
１１は脆弱なものとなることがある。The proportion of the conductive particles P in the conductive path forming portion 11 is appropriately selected according to the purpose of use of the anisotropic conductive sheet and the type of the conductive particles to be used. It is preferably selected from the range of ５０50%, preferably 20-40%. This ratio is 1
If it is less than 5%, it may be difficult to form a conductive path having sufficiently small electric resistance. On the other hand, when this ratio exceeds 50%, the obtained conductive path forming portion 11 may be fragile.

【００５３】このような異方導電性シートは、例えば以
下のようにして製造することができる。図９は、第３の
実施の形態に係る異方導電性シートを製造するための金
型の一例における構成を示す説明用断面図である。この
金型３０は、上型３１およびこれと対となる下型３６
が、枠状のスペーサー３５を介して互いに対向するよう
配置されて構成されている。上型３１においては、強磁
性体基板３２の下面に、目的とする異方導電性シートの
導電路形成部１１の配置パターンに対掌なパターンに従
って強磁性体層３３が形成され、この強磁性体層３３以
外の個所には非磁性体層３４が形成されている。一方、
下型３６においては、強磁性体基板３７の上面に、目的
とする異方導電性シートの導電路形成部１１の配置パタ
ーンと同一のパターンに従って強磁性体層３８が形成さ
れ、この強磁性体層３８以外の個所には非磁性体層３９
が形成されている。上型３１および下型３６の各々にお
ける強磁性体基板３２，３７および強磁性体層３３，３
８を構成する材料としては、鉄、ニッケル、コバルトま
たはこれらの合金などを用いることができる。また、上
型３１および下型３６の各々における非磁性体部分３
４，３９を構成する材料としては、銅などの非磁性金
属、ポリイミドなどの耐熱性樹脂、放射線硬化性樹脂な
どを用いることができる。Such an anisotropic conductive sheet can be manufactured, for example, as follows. FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view illustrating a configuration of an example of a mold for manufacturing the anisotropic conductive sheet according to the third embodiment. The mold 30 is composed of an upper mold 31 and a lower mold 36 that is paired with the upper mold 31.
Are arranged to face each other with a frame-shaped spacer 35 interposed therebetween. In the upper die 31, a ferromagnetic layer 33 is formed on the lower surface of the ferromagnetic substrate 32 according to a pattern opposite to the arrangement pattern of the conductive path forming portions 11 of the target anisotropic conductive sheet. A non-magnetic layer 34 is formed at a portion other than the body layer 33. on the other hand,
In the lower mold 36, a ferromagnetic layer 38 is formed on the upper surface of the ferromagnetic substrate 37 in accordance with the same pattern as the arrangement pattern of the conductive path forming portions 11 of the target anisotropic conductive sheet. A non-magnetic layer 39 is provided at a portion other than the layer 38.
Are formed. The ferromagnetic substrates 32 and 37 and the ferromagnetic layers 33 and 3 in each of the upper die 31 and the lower die 36
As a material constituting 8, for example, iron, nickel, cobalt, or an alloy thereof can be used. The non-magnetic portion 3 in each of the upper die 31 and the lower die 36
As a material constituting 4, 39, a nonmagnetic metal such as copper, a heat-resistant resin such as polyimide, a radiation-curable resin, or the like can be used.

【００５４】そして、上記の金型３０を用い、次のよう
にして異方導電性シートが製造される。先ず、硬化処理
によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子物質
形成材料中に、磁性を示す導電性粒子および非磁性の導
電性付与物質が分散されてなる流動性のシート成形材料
を調製し、図１０に示すように、このシート成形材料を
金型３０内に注入してシート成形材料層１０Ａを形成す
る。次いで、上型３１における強磁性体基板３２の上面
および下型３６における強磁性体基板３７の下面に、電
磁石または永久磁石を配置し、強度分布を有する平行磁
場、すなわち上型３１の強磁性体層３３とこれに対応す
る下型３６の強磁性体層３８との間において大きい強度
を有する平行磁場をシート成形材料層１０Ａの厚み方向
に作用させる。その結果、シート成形材料層１０Ａにお
いては、図１１に示すように、当該シート成形材料層１
０Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、上型３１の強
磁性体層３３とこれに対応する下型３６の強磁性体層３
８との間に位置する部分に集合すると共に、厚み方向に
並ぶよう配向する。以上において、シート成形材料１０
Ａに作用される平行磁場の強度は、上型３１の強磁性体
層３３とこれに対応する下型３６の強磁性体層３８との
間において平均で０．０２〜１．５Ｔとなる大きさが好
ましい。Then, using the above-mentioned mold 30, an anisotropic conductive sheet is manufactured as follows. First, in a liquid polymer material forming material which becomes an insulating elastomer by curing treatment, a fluid sheet forming material in which conductive particles exhibiting magnetism and a non-magnetic conductivity imparting substance are dispersed is prepared. As shown in FIG. 10, this sheet molding material is injected into a mold 30 to form a sheet molding material layer 10A. Next, an electromagnet or a permanent magnet is arranged on the upper surface of the ferromagnetic substrate 32 in the upper die 31 and the lower surface of the ferromagnetic substrate 37 in the lower die 36, and a parallel magnetic field having an intensity distribution, that is, the ferromagnetic material of the upper die 31 A parallel magnetic field having a large intensity acts between the layer 33 and the corresponding ferromagnetic layer 38 of the lower mold 36 in the thickness direction of the sheet forming material layer 10A. As a result, in the sheet forming material layer 10A, as shown in FIG.
The conductive particles P dispersed in the ferromagnetic layer 33 of the upper die 31 and the corresponding ferromagnetic layer 3 of the lower die 36
8 and is oriented so as to line up in the thickness direction. In the above, the sheet molding material 10
The intensity of the parallel magnetic field applied to A is 0.02 to 1.5 T on average between the ferromagnetic layer 33 of the upper die 31 and the corresponding ferromagnetic layer 38 of the lower die 36. Is preferred.

【００５５】そして、この状態において、シート成形材
料層１０Ａを硬化処理することにより、上型３１の強磁
性体層３３とこれに対応する下型３６の強磁性体層３８
との間に配置された、シート基体１０中に導電性粒子Ｐ
が密に含有された導電路形成部１１と、導電性粒子Ｐが
全くあるいは殆ど存在しない定常導電部１２とよりなる
異方導電性シートが得られる。Then, in this state, the sheet forming material layer 10A is subjected to a hardening treatment, whereby the ferromagnetic layer 33 of the upper die 31 and the corresponding ferromagnetic layer 38 of the lower die 36 are formed.
And the conductive particles P in the sheet base 10 disposed between
Is densely contained, and an anisotropic conductive sheet including a stationary conductive portion 12 having no or almost no conductive particles P is obtained.

【００５６】上記の構成の異方導電性シートによれば、
シート基体１０が導電性付与物質が含有されることによ
って無加圧の状態で導電性を示すものであるため、無加
圧の状態または小さい力で厚み方向に加圧した状態にお
いては、当該シート基体１０の電気特性に応じた導電性
を示し、しかも、シート基体１０中にその厚み方向に並
ぶよう配向した状態で導電性粒子Ｐが密に含有されてな
る導電路形成部１１が形成されているため、大きい力で
厚み方向に加圧した状態においては、導電路形成部１１
に導電性粒子Ｐの連鎖によってシート基体１０の厚み方
向に伸びる導電路が形成されるので、これにより、無加
圧の状態または小さい力で厚み方向に加圧した状態より
も高い導電性を示す。According to the anisotropic conductive sheet having the above structure,
Since the sheet base 10 exhibits conductivity in a non-pressed state by containing the conductivity-imparting substance, the sheet is not pressurized or in a state in which the sheet is pressurized in the thickness direction with a small force. A conductive path forming portion 11 is formed, which exhibits conductivity according to the electrical characteristics of the substrate 10 and further contains conductive particles P densely in the sheet substrate 10 in a state of being aligned in the thickness direction. Therefore, in a state where a large force is applied in the thickness direction, the conductive path forming portion 11
A conductive path extending in the thickness direction of the sheet substrate 10 is formed by the chain of the conductive particles P, thereby exhibiting higher conductivity than in a non-pressurized state or a state in which the sheet is pressurized in the thickness direction with a small force. .

【００５７】〔第４の実施の形態〕図１２は、本発明の
第４の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す
説明用断面図であり、図１３は、図１２に示す異方導電
性シートの一部を拡大して示す説明用断面図である。こ
の異方導電性シートは、定常導電部１２の上面および下
面の各々が導電路形成部１１の上面および下面の各々か
ら突出した状態に形成されていること以外は、前述の第
３の実施の形態と同様の構成である。[Fourth Embodiment] FIG. 12 is an explanatory sectional view showing the structure of an anisotropic conductive sheet according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 13 is shown in FIG. It is sectional drawing for description which expands and shows a part of anisotropic conductive sheets. This anisotropic conductive sheet is the same as that of the third embodiment except that the upper surface and the lower surface of the stationary conductive portion 12 are formed so as to protrude from the upper surface and the lower surface of the conductive path forming portion 11, respectively. The configuration is the same as that of the embodiment.

【００５８】導電路形成部１１の上面および下面からの
定常導電部１２の突出高さｈ１，ｈ２は、異方導電性シ
ート１０の使用目的に応じて適宜設定されるが、導電路
形成部１１の上面からの突出高さｈ１と導電路形成部１
１の下面からの突出高さｈ２との合計（ｈ１＋ｈ２）
が、定常導電部１２の厚みｄの５〜５０％であることが
好ましく、より好ましくは１０〜４０％、特に好ましく
は２０〜３０％である。定常導電部１２の突出高さが過
小である場合には、被接続体によって小さい加圧力で加
圧されたときにも、当該被接続体に導電路形成部１１が
接触してしまい、所期の電気抵抗値が得られないことが
ある。一方、定常導電部１２の突出高さが過大である場
合には、被接続体によって相当に大きい加圧力で加圧さ
れても、当該被接続体に導電路形成部１１が接触せず、
所期の導電性が得られないことがある。また、定常導電
部１２の厚みは、例えば０．０２〜２ｍｍ、好ましくは
０．０５〜０．５ｍｍである。The protruding heights h1 and h2 of the stationary conductive portion 12 from the upper and lower surfaces of the conductive path forming portion 11 are appropriately set according to the intended use of the anisotropic conductive sheet 10. Height h1 from the upper surface of the conductor and conductive path forming portion 1
1 + h2 (h1 + h2)
Is preferably 5 to 50% of the thickness d of the stationary conductive portion 12, more preferably 10 to 40%, and particularly preferably 20 to 30%. If the protruding height of the stationary conductive portion 12 is too small, the conductive path forming portion 11 comes into contact with the connected body even when the connecting body is pressurized with a small pressing force. May not be obtained. On the other hand, when the protruding height of the stationary conductive portion 12 is excessively large, the conductive path forming portion 11 does not come into contact with the connected body even if the connection body is pressurized with a considerably large pressing force,
Expected conductivity may not be obtained. The thickness of the stationary conductive portion 12 is, for example, 0.02 to 2 mm, and preferably 0.05 to 0.5 mm.

【００５９】このような異方導電性シートにおいては、
定常導電部１２の体積固有抵抗が１×１０⁷ 〜１×１０
¹²Ω・ｍであることが好ましく、より好ましくは１×１
０⁸〜１×１０¹¹Ω・ｍ、特に好ましくは１×１０⁹ 〜
１×１０¹⁰Ω・ｍである。また、異方導電性シートの表
面に占める導電路形成部１１の表面の面積の割合は、当
該異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設定される
が、被接続体によって大きい力で加圧されたときに、導
電路形成部１１が当該被接続体に確実に接触される点
で、４０〜８０％、特に５０〜７０％であることが好ま
しい。In such an anisotropic conductive sheet,
The volume resistivity of the stationary conductive portion 12 is 1 × 10 ⁷ to 1 × 10
It is preferably ¹² Ω · m, more preferably 1 × 1
^{0 8 ~1 × 10 11 Ω ·} m, particularly preferably 1 × 10 ⁹ ~
It is 1 × 10 ¹⁰ Ω · m. The ratio of the area of the surface of the conductive path forming portion 11 to the surface of the anisotropic conductive sheet is appropriately set according to the intended use of the anisotropic conductive sheet. When pressed, the conductive path forming portion 11 is preferably 40 to 80%, particularly preferably 50 to 70%, in that the conductive path forming portion 11 surely contacts the connected body.

【００６０】以上のような異方導電性シートは、例えば
以下の方法によって製造することができる。図１４は、
上記の異方導電性シートを製造するための金型の一例に
おける構成を示す説明用断面図である。この金型４０
は、上型４１およびこれと対となる下型４６が、枠状の
スペーサー４５を介して互いに対向するよう配置されて
構成されている。上型４１においては、強磁性体基板４
２の下面に、目的とする異方導電性シートの導電路形成
部１１の配置パターンに対掌なパターンに従って強磁性
体層４３が形成され、この強磁性体層４３以外の個所に
は、当該強磁性体層４３より小さい厚みを有する非磁性
体層４４が形成されている。一方、下型４６において
は、強磁性体基板４７の上面に、目的とする異方導電性
シートの導電路形成部１１の配置パターンと同一のパタ
ーンに従って強磁性体層４８が形成され、この強磁性体
層４８以外の個所には、当該強磁性体層４８より小さい
厚みを有する非磁性体層４９が形成されている。上型４
１および下型４６の各々における強磁性体基板４２，４
７および強磁性体層４３，４８を構成する材料、並びに
非磁性体部分４４，４９を構成する材料は、前述の第３
の実施の形態における金型３０と同様である。The anisotropic conductive sheet as described above can be manufactured, for example, by the following method. FIG.
It is explanatory sectional drawing which shows the structure in an example of the metal mold | die for manufacturing the said anisotropic conductive sheet. This mold 40
Is configured such that an upper mold 41 and a lower mold 46 to be paired with the upper mold 41 are arranged to face each other via a frame-shaped spacer 45. In the upper die 41, the ferromagnetic substrate 4
2, a ferromagnetic layer 43 is formed according to a pattern opposite to the arrangement pattern of the conductive path forming portion 11 of the desired anisotropic conductive sheet. A non-magnetic layer 44 having a smaller thickness than the ferromagnetic layer 43 is formed. On the other hand, in the lower die 46, a ferromagnetic layer 48 is formed on the upper surface of the ferromagnetic substrate 47 in accordance with the same pattern as the arrangement pattern of the intended conductive path forming portions 11 of the anisotropic conductive sheet. A non-magnetic layer 49 having a thickness smaller than that of the ferromagnetic layer 48 is formed in a portion other than the magnetic layer 48. Upper mold 4
1 and ferromagnetic substrates 42, 4 in lower mold 46, respectively.
7 and the material forming the ferromagnetic layers 43 and 48 and the material forming the nonmagnetic portions 44 and 49 are the same as those described in the third embodiment.
This is the same as the mold 30 in the embodiment.

【００６１】そして、上記の金型４０を用い、次のよう
にして異方導電性シートが製造される。先ず、硬化処理
によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子物質
形成材料中に、磁性を示す導電性粒子および非磁性の導
電性付与物質が分散されてなる流動性のシート成形材料
を調製し、図１５に示すように、このシート成形材料を
金型４０内に注入してシート成形材料層１０Ａを形成す
る。このシート成形材料層１０Ａにおいては、導電性粒
子Ｐおよび導電性付与物質は、当該シート成形材料層１
０Ａ中に分散された状態である。次いで、上型４１にお
ける強磁性体基板４２の上面および下型４６における強
磁性体基板４７の下面に、電磁石または永久磁石を配置
し、強度分布を有する平行磁場、すなわち上型４１の強
磁性体層４３とこれに対応する下型４６の強磁性体層４
８との間において大きい強度を有する平行磁場をシート
成形材料層１０Ａの厚み方向に作用させる。その結果、
シート成形材料層１０Ａにおいては、図１６に示すよう
に、当該シート成形材料層１０Ａ中に分散されている導
電性粒子Ｐが、上型４１の強磁性体層４３とこれに対応
する下型４６の強磁性体層４８との間に位置する部分に
集合すると共に、厚み方向に並ぶよう配向する。一方、
導電性付与物質は、非磁性のものであるため、平行磁場
が作用してもシート成形材料層１０Ａ中に分散されたま
まの状態である。そして、この状態において、シート成
形材料層１０Ａを硬化処理することにより、上型４１の
強磁性体層４３とこれに対応する下型４６の強磁性体層
４８との間に配置された、シート基体１０中に導電性粒
子Ｐが密に含有された導電路形成部１１と、導電路形成
部１１の表面から突出するよう形成された、導電性粒子
Ｐが全くあるいは殆ど存在しない定常導電部１２とより
なる異方導電性シートが得られる。Then, an anisotropic conductive sheet is manufactured using the above-described mold 40 as follows. First, in a liquid polymer material forming material which becomes an insulating elastomer by curing treatment, a fluid sheet forming material in which conductive particles exhibiting magnetism and a non-magnetic conductivity imparting substance are dispersed is prepared. As shown in FIG. 15, this sheet molding material is injected into a mold 40 to form a sheet molding material layer 10A. In the sheet forming material layer 10A, the conductive particles P and the conductivity-imparting substance are contained in the sheet forming material layer 1A.
It is a state dispersed in OA. Next, an electromagnet or a permanent magnet is arranged on the upper surface of the ferromagnetic substrate 42 in the upper die 41 and the lower surface of the ferromagnetic substrate 47 in the lower die 46, and a parallel magnetic field having an intensity distribution, that is, the ferromagnetic material of the upper die 41 Layer 43 and corresponding ferromagnetic layer 4 of lower mold 46
8, a parallel magnetic field having a large intensity is applied in the thickness direction of the sheet forming material layer 10A. as a result,
In the sheet molding material layer 10A, as shown in FIG. 16, the conductive particles P dispersed in the sheet molding material layer 10A are composed of the ferromagnetic layer 43 of the upper mold 41 and the corresponding lower mold 46. Of the ferromagnetic layers 48 and are aligned along the thickness direction. on the other hand,
Since the conductivity imparting substance is non-magnetic, it remains dispersed in the sheet forming material layer 10A even when a parallel magnetic field acts. Then, in this state, the sheet forming material layer 10A is subjected to a hardening treatment, whereby the sheet disposed between the ferromagnetic layer 43 of the upper die 41 and the corresponding ferromagnetic layer 48 of the lower die 46 is formed. A conductive path forming portion 11 in which the conductive particles P are densely contained in the base 10 and a stationary conductive portion 12 formed so as to protrude from the surface of the conductive path forming portion 11 and having no or almost no conductive particles P. Is obtained.

【００６２】上記の構成の異方導電性シートによれば、
定常導電部１２の上面および下面が導電路形成部１１の
上面および下面の各々から突出した状態に形成されてい
るため、被接続体が定常導電部１２に単に接触した状態
すなわち無加圧の状態若しくは被接続体によって定常導
電部１２が小さい力で厚み方向に加圧された状態におい
ては、当該被接続体が導電路形成部１１に接触せず、そ
の結果、定常導電部１２によって当該定常導電部１２を
構成する導電性エラストマーの電気特性および非接続体
と当該定常導電部１２との接触面積に応じた導電性を示
す。しかも、被接続体によって定常導電部１２が大きい
力で厚み方向に加圧された状態においては、当該定常導
電部１２が大きく圧縮されて当該被接続体が導電路形成
部１１に接触し、更には当該導電路形成部１１が加圧さ
れ、その結果、導電路形成部１１には、導電性粒子Ｐの
連鎖によって厚み方向に伸びる導電路が形成されるの
で、定常導電部１２および導電路形成部１１に形成され
る導電路の両方により、無加圧の状態または小さい力で
厚み方向に加圧した状態よりも高い導電性を示す。According to the anisotropic conductive sheet having the above structure,
Since the upper surface and the lower surface of the stationary conductive portion 12 are formed so as to protrude from each of the upper surface and the lower surface of the conductive path forming portion 11, the connected body simply contacts the stationary conductive portion 12, that is, the non-pressurized state. Alternatively, in a state where the stationary conductive portion 12 is pressed in the thickness direction by a small force by the connected body, the connected body does not contact the conductive path forming portion 11, and as a result, the stationary conductive portion 12 causes It shows the electrical characteristics of the conductive elastomer constituting the portion 12 and the conductivity according to the contact area between the unconnected body and the stationary conductive portion 12. Moreover, in a state where the stationary conductive portion 12 is pressed in the thickness direction by a large force by the connected body, the stationary conductive portion 12 is greatly compressed, and the connected body comes into contact with the conductive path forming portion 11, and The conductive path forming portion 11 is pressurized. As a result, a conductive path extending in the thickness direction is formed in the conductive path forming portion 11 by a chain of the conductive particles P. Both of the conductive paths formed in the portion 11 exhibit higher conductivity than a state where no pressure is applied or a state where pressure is applied in the thickness direction with a small force.

【００６３】本発明の異方導電性シートは、上記の実施
の形態に限られず、種々の変更を加えることが可能であ
る。 （１）第２の実施の形態において、シート基体１０に
は、非磁性の導電性付与物質が含有されていてもよい。 （２）第４の実施の形態において、図１７および図１８
に示すように、定常導電部１２は、導電路形成部１１の
一面（図において上面）のみから突出した状態に形成さ
れていてもよい。このような構成の異方導電性シートに
おいては、導電路形成部１１の一面からの定常導電部１
２の突出高さｈが、当該定常導電部１２の厚みｄの５〜
５０％であることが好ましく、より好ましくは１０〜４
０％、特に好ましくは２０〜３０％である。The anisotropic conductive sheet of the present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made. (1) In the second embodiment, the sheet base 10 may contain a nonmagnetic conductivity-imparting substance. (2) In the fourth embodiment, FIGS.
As shown in (2), the stationary conductive portion 12 may be formed so as to protrude from only one surface (the upper surface in the drawing) of the conductive path forming portion 11. In the anisotropic conductive sheet having such a configuration, the stationary conductive portion 1 from one surface of the conductive path forming portion 11 is formed.
2 is 5 to 5 of the thickness d of the stationary conductive portion 12.
It is preferably 50%, more preferably 10-4.
0%, particularly preferably 20 to 30%.

【００６４】[0064]

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。ま
た、以下の実施例において、導電性粒子の粒子抵抗率ρ
は、電気抵抗測定器として、アジレントテクノロジー社
製の「ハイ・レジスタンスメーター４３３９Ａ」を使用
して測定したものである。EXAMPLES The present invention will now be described by way of specific examples, which should not be construed as limiting the invention thereto. In the following examples, the particle resistivity ρ of the conductive particles
Is measured using "High Resistance Meter 4339A" manufactured by Agilent Technologies, Ltd. as an electric resistance measuring instrument.

【００６５】〈実施例１〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性粒子８０重量部と、非磁性の導
電性付与物質１０重量部とを添加して混合することによ
り、シート成形材料を調製した。以上において、導電性
粒子としては、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト（戸田工業社製
「ＢＳＦ−５４７」，数平均粒子径２１．９μｍ）を用
い、非磁性の導電性付与物質として、カーボンブラック
（電気化学社製）を用いた。また、上記の導電性粒子の
粒子抵抗率ρは１×１０⁷ Ω・ｍであった。Example 1 Addition type liquid silicone rubber 1
A sheet molding material was prepared by adding and mixing 80 parts by weight of the conductive particles and 10 parts by weight of the nonmagnetic conductivity-imparting substance in 00 parts by weight. In the above, Mn-Zn-based ferrite ("BSF-547" manufactured by Toda Kogyo Co., number average particle diameter 21.9 μm) is used as the conductive particles, and carbon black (electrochemical (Manufactured by Sharp Corporation). The particle resistivity ρ of the conductive particles was 1 × 10 ⁷ Ω · m.

【００６６】それぞれ厚みが５ｍｍの矩形の鉄板よりな
る上型および下型と、厚みが０．１５ｍｍの矩形の枠状
のスペーサーとよりなる異方導電性シート成形用の金型
を用意し、この金型のキャビティ内に、調製したシート
成形材料を注入してシート成形材料層を形成した。次い
で、上型の上面および下型の下面に電磁石を配置し、シ
ート成形材料層に対し、その厚み方向に０．７Ｔの平行
磁場を作用させながら、１００℃、２時間の条件で、当
該シート成形材料層の硬化処理を行うことにより、厚み
が０．１５ｍｍのシート基体を形成して図１に示す構成
の異方導電性シートを製造した。この異方導電性シート
におけるシート基体中の導電性粒子の割合は、体積分率
で１５％であった。A mold for forming an anisotropic conductive sheet comprising upper and lower molds each made of a rectangular iron plate having a thickness of 5 mm and a rectangular frame-shaped spacer having a thickness of 0.15 mm was prepared. The prepared sheet molding material was injected into the mold cavity to form a sheet molding material layer. Next, electromagnets are arranged on the upper surface of the upper die and the lower surface of the lower die, and the sheet is formed at 100 ° C. for 2 hours while applying a parallel magnetic field of 0.7 T to the sheet forming material layer in the thickness direction. By performing a curing treatment of the molding material layer, a sheet substrate having a thickness of 0.15 mm was formed to produce an anisotropic conductive sheet having a configuration shown in FIG. The proportion of the conductive particles in the sheet substrate in this anisotropic conductive sheet was 15% by volume.

【００６７】〈実施例２〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性繊維５０重量部と、導電性粒子
８０重量部とを添加して混合することにより、シート成
形材料を調製した。以上において、導電性繊維として
は、アモルファス磁性合金短繊維（ユニチカ製「ＤＥ１
０」，平均長さ０．２ｍｍ，平均径２０μｍ）に、液状
ポリイミド樹脂材料によって８０％の被覆率で表面コー
トし、温度２００℃で硬化処理を行ったものを用い、導
電性粒子として、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト（戸田工業社
製「ＫＮＳ−５４７」，数平均粒子径２３．３μｍ）を
用いた。また、上記の導電性粒子の粒子抵抗率ρは１×
１０⁶ Ω・ｍであった。Example 2 Addition type liquid silicone rubber 1
A sheet molding material was prepared by adding and mixing 50 parts by weight of conductive fibers and 80 parts by weight of conductive particles in 00 parts by weight. In the above, as the conductive fiber, amorphous magnetic alloy short fiber (“DE1 manufactured by Unitika”) is used.
0 ", an average length of 0.2 mm, and an average diameter of 20 μm) were coated with a liquid polyimide resin material at a coverage of 80% and cured at a temperature of 200 ° C., and Mn was used as conductive particles. -Zn-based ferrite ("KNS-547" manufactured by Toda Kogyo Co., Ltd., number average particle diameter 23.3 µm) was used. The particle resistivity ρ of the conductive particles is 1 ×
It was 10 ⁶ Ω · m.

【００６８】それぞれ厚みが５ｍｍの矩形の鉄板よりな
る上型および下型と、厚みが０．２ｍｍの矩形の枠状の
スペーサーとよりなる異方導電性シート成形用の金型を
用意し、この金型のキャビティ内に、調製したシート成
形材料を注入してシート成形材料層を形成した。次い
で、上型の上面および下型の下面に電磁石を配置し、シ
ート成形材料層に対し、その厚み方向に０．７Ｔの平行
磁場を作用させながら、１００℃、２時間の条件で、当
該シート成形材料層の硬化処理を行うことにより、厚み
が０．２ｍｍのシート基体を形成して図５に示す構成の
異方導電性シートを製造した。この異方導電性シートの
シート基体中における導電性繊維の密度は１×１０⁴ 本
／ｃｍ² であり、導電性粒子の含有割合は体積分率で１
５％であった。An upper and lower molds each made of a rectangular iron plate having a thickness of 5 mm, and a mold for forming an anisotropic conductive sheet comprising a rectangular frame-shaped spacer having a thickness of 0.2 mm were prepared. The prepared sheet molding material was injected into the mold cavity to form a sheet molding material layer. Next, electromagnets are arranged on the upper surface of the upper die and the lower surface of the lower die, and the sheet is formed at 100 ° C. for 2 hours while applying a parallel magnetic field of 0.7 T to the sheet forming material layer in the thickness direction. By performing a curing treatment of the molding material layer, a sheet substrate having a thickness of 0.2 mm was formed, and an anisotropic conductive sheet having a configuration shown in FIG. 5 was manufactured. The density of the conductive fibers in the sheet substrate of the anisotropic conductive sheet is 1 × 10 ⁴ fibers / cm ² , and the content ratio of the conductive particles is 1 in volume fraction.
5%.

【００６９】〈実施例３〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性粒子８０重量部と、非磁性の導
電性付与物質１０重量部とを添加して混合することによ
り、シート成形材料を調製した。以上において、導電性
粒子としては、Ｍｇ−Ｚｎ系フェライト（ティーディー
ケー社製「ＩＲ−ＢＯ」，数平均粒子径４．２μｍ）を
用い、非磁性の導電性付与物質として、アルキル基の炭
素数が５〜１５のナトリウムアルカンスルホネート（吸
湿導電性物質）を用いた。また、上記の導電性粒子の粒
子抵抗率ρは１×１０⁵ Ω・ｍであった。Example 3 Addition type liquid silicone rubber 1
A sheet molding material was prepared by adding and mixing 80 parts by weight of the conductive particles and 10 parts by weight of the nonmagnetic conductivity-imparting substance in 00 parts by weight. In the above, Mg—Zn ferrite (“IR-BO” manufactured by TDK Corporation, number average particle diameter of 4.2 μm) is used as the conductive particles, and carbon as an alkyl group is used as the nonmagnetic conductivity-imparting substance. A sodium alkane sulfonate (hygroscopic conductive substance) having a number of 5 to 15 was used. The particle resistivity ρ of the conductive particles was 1 × 10 ⁵ Ω · m.

【００７０】図９に示す構成に従い、下記の条件によ
り、異方導電性シート成形用金型を作製した。 〔強磁性体基板〕材質：鉄，厚み：５ｍｍ 〔強磁性体層〕材質：ニッケル，厚み：０．０５ｍｍ，
径：０．０５ｍｍ，ピッチ：０．１ｍｍ 〔非磁性体層〕材質：銅，厚み：０．０５ｍｍ 〔スペーサ〕厚み：０．２ｍｍAccording to the configuration shown in FIG. 9, a mold for forming an anisotropic conductive sheet was produced under the following conditions. [Ferromagnetic substrate] Material: iron, thickness: 5 mm [Ferromagnetic layer] Material: nickel, thickness: 0.05 mm,
Diameter: 0.05mm, Pitch: 0.1mm [Nonmagnetic layer] Material: Copper, thickness: 0.05mm [Spacer] Thickness: 0.2mm

【００７１】金型のキャビティ内に、調製したシート成
形材料を注入してシート成形材料層を形成した。次い
で、上型の上面および下型の下面に電磁石を配置し、シ
ート成形材料層に対し、上型の強磁性体層と下型の強磁
性体層との間において、その厚み方向に０．５Ｔの平行
磁場を作用させながら、１００℃、２時間の条件で、当
該シート成形材料層の硬化処理を行うことにより、厚み
が０．２ｍｍのシート基体を形成して図８に示す構成の
異方導電性シートを製造した。この異方導電性シートに
おける導電路形成部の導電性粒子の割合は、体積分率で
１５％であった。The prepared sheet molding material was injected into the mold cavity to form a sheet molding material layer. Next, electromagnets are arranged on the upper surface of the upper die and the lower surface of the lower die, and the thickness of the sheet forming material layer between the upper ferromagnetic material layer and the lower ferromagnetic material layer in the thickness direction is reduced. The sheet forming material layer is cured at 100 ° C. for 2 hours while applying a 5T parallel magnetic field to form a sheet base having a thickness of 0.2 mm. An electroconductive sheet was manufactured. The proportion of the conductive particles in the conductive path forming portion in the anisotropic conductive sheet was 15% by volume.

【００７２】〈実施例４〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性粒子１３０重量部と、非磁性の
導電性付与物質３０重量部とを添加して混合することに
より、シート成形材料を調製した。以上において、導電
性粒子としては、カルボニル鉄粒子（ＢＡＳＦ社製「Ｅ
Ｎ」、数平均粒子径３．８μｍ）の表面をＳｉＯ₂ によ
って６０％の被覆率で被覆して絶縁処理したもの（絶縁
処理後の数平均粒子径４．０μｍ）を用い、非磁性の導
電性付与物質としては、酸化亜鉛粉末を用いた。また、
上記の導電性粒子の粒子抵抗率ρは１×１０⁶ Ω・ｍで
あった。Example 4 Addition type liquid silicone rubber 1
A sheet molding material was prepared by adding and mixing 130 parts by weight of the conductive particles and 30 parts by weight of the nonmagnetic conductivity-imparting substance in 00 parts by weight. In the above, carbonyl iron particles (“E” manufactured by BASF) are used as the conductive particles.
N ", a surface having a number average particle diameter of 3.8 μm) coated with SiO _{2 at} a coverage of 60% and subjected to insulation treatment (number average particle diameter after insulation treatment is 4.0 μm). Zinc oxide powder was used as the property imparting substance. Also,
The particle resistivity ρ of the conductive particles was 1 × 10 ⁶ Ω · m.

【００７３】図１４に示す構成に従い、下記の条件によ
り、異方導電性シート成形用金型を作製した。 〔強磁性体基板〕材質：鉄，厚み：５ｍｍ 〔強磁性体層〕材質：ニッケル，厚み：０．０８ｍｍ，
径：０．０８ｍｍ，ピッチ：０．１ｍｍ 〔非磁性体層〕材質：銅，厚み：０．０６ｍｍ 〔スペーサ〕厚み：０．２ｍｍAccording to the configuration shown in FIG. 14, a mold for forming an anisotropic conductive sheet was produced under the following conditions. [Ferromagnetic substrate] Material: iron, thickness: 5 mm [Ferromagnetic layer] Material: nickel, thickness: 0.08 mm,
Diameter: 0.08mm, Pitch: 0.1mm [Non-magnetic layer] Material: Copper, thickness: 0.06mm [Spacer] Thickness: 0.2mm

【００７４】金型のキャビティ内に、調製したシート成
形材料を注入してシート成形材料層を形成した。次い
で、上型の上面および下型の下面に電磁石を配置し、シ
ート成形材料層に対し、上型の強磁性体層と下型の強磁
性体層との間において、その厚み方向に１．０Ｔの平行
磁場を作用させながら、１２０℃、２時間の条件で、当
該シート成形材料層の硬化処理を行うことにより、図１
２に示す構成の異方導電性シートを製造した。この異方
導電性シートは、導電路形成部の径が０．０８ｍｍ、ピ
ッチが０．１ｍｍ、表面に占める導電路形成部の表面の
面積の割合が５０％、定常導電部の厚みが０．２ｍｍ、
その突出高さがそれぞれ０．０２ｍｍ（合計０．０４ｍ
ｍ）、定常導電部の体積固有抵抗が５×１０¹¹Ω・ｍ、
導電路形成部の導電性粒子の割合は、体積分率で１４％
であった。The prepared sheet molding material was injected into the cavity of the mold to form a sheet molding material layer. Next, electromagnets are arranged on the upper surface of the upper die and the lower surface of the lower die, and the sheet forming material layer is placed between the upper ferromagnetic material layer and the lower ferromagnetic material layer in the thickness direction. By applying a hardening treatment to the sheet molding material layer at 120 ° C. for 2 hours while applying a parallel magnetic field of 0T, FIG.
An anisotropic conductive sheet having the structure shown in FIG. 2 was produced. In this anisotropic conductive sheet, the diameter of the conductive path forming portion is 0.08 mm, the pitch is 0.1 mm, the ratio of the surface area of the conductive path forming portion to the surface is 50%, and the thickness of the stationary conductive portion is 0.1 mm. 2mm,
The protruding height is 0.02mm each (total 0.04m
m), the volume resistivity of the stationary conductive part is 5 × 10 ¹¹ Ω · m,
The ratio of the conductive particles in the conductive path forming portion is 14% by volume.
Met.

【００７５】〈比較例１〉非磁性の導電性付与物質を用
いずにシート成形材料を調製したこと以外は、実施例１
と同様にして比較用の異方導電性シートを製造した。Comparative Example 1 Example 1 was repeated except that a sheet-forming material was prepared without using a nonmagnetic conductivity-imparting substance.
An anisotropic conductive sheet for comparison was produced in the same manner as in.

【００７６】〈比較例２〉非磁性の導電性付与物質を用
いずにシート成形材料を調製したこと以外は、実施例３
と同様にして比較用の異方導電性シートを製造した。Comparative Example 2 Example 3 was repeated except that a sheet-forming material was prepared without using a nonmagnetic conductivity-imparting substance.
An anisotropic conductive sheet for comparison was produced in the same manner as in.

【００７７】〈異方導電性シートの電気特性の評価〉実
施例１〜４および比較例１〜２に係る異方導電性シート
の電気特性について、下記のようにしてその評価を行っ
た。 〔無加圧の状態における厚み方向の体積固有抵抗〕異方
導電性シートの一面に、イオンスパッター装置（Ｅ１０
１０，日立サイエンス社製）により、Ａｕ−Ｐｄをター
ゲットとして厚みが１００ｎｍの金属膜を形成した。こ
の金属膜の表面に銀を含有してなる導電性接着剤によ
り、絶縁抵抗計（ハイ・レジスタンスメーター４３３９
Ａ，アジレントテクノロジー社製）に接続された配線を
接着した。そして、前記絶縁抵抗計に接続された電極径
が５０ｍｍの測定用電極によって、異方導電性シートの
他面を加圧することにより、異方導電性シートの他面に
測定用電極の表面が充分に密着させ、その後、異方導電
性シートの他面に測定用電極の表面が接触した状態すな
わち無加圧の状態とした。そして、この状態において、
適宜の電圧値または電流値の電流を測定用電極と金属膜
との間に供給し、１分間経過後、異方導電性シートの厚
み方向の体積固有抵抗を測定した。 〔厚み方向に加圧された状態の体積固有抵抗〕異方導電
性シートを、それぞれ絶縁抵抗計（ハイ・レジスタンス
メーター４３３９Ａ，アジレントテクノロジー社製）に
接続された電極径が５０ｍｍの測定用電極および加圧用
電極の間に配置し、加圧用電極によって異方導電性シー
トを歪み率が２０％となるまで加圧し、この状態で、異
方導電性シートの厚み方向の体積固有抵抗を測定した。
以上、結果を表１に示す。<Evaluation of Electrical Properties of Anisotropic Conductive Sheet> The electrical properties of the anisotropic conductive sheets according to Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated as follows. [Volume resistivity in the thickness direction in the state of no pressurization] An ion sputtering device (E10
10, manufactured by Hitachi Science Co., Ltd.) to form a metal film having a thickness of 100 nm using Au-Pd as a target. An insulating resistance meter (high resistance meter 4339) is formed on the surface of the metal film by using a conductive adhesive containing silver.
A, manufactured by Agilent Technologies). Then, by pressing the other surface of the anisotropic conductive sheet with the measuring electrode having an electrode diameter of 50 mm connected to the insulation resistance meter, the surface of the measuring electrode is sufficiently provided on the other surface of the anisotropic conductive sheet. Then, the surface of the measurement electrode was brought into contact with the other surface of the anisotropic conductive sheet, that is, no pressure was applied. And in this state,
A current having an appropriate voltage value or current value was supplied between the measurement electrode and the metal film, and after elapse of one minute, the volume resistivity in the thickness direction of the anisotropic conductive sheet was measured. [Volume specific resistance in the state of being pressed in the thickness direction] An anisotropic conductive sheet was connected to an insulation resistance meter (High Resistance Meter 4339A, manufactured by Agilent Technologies) and a measuring electrode having an electrode diameter of 50 mm and The anisotropic conductive sheet was placed between the pressing electrodes, and the anisotropic conductive sheet was pressed by the pressing electrode until the strain rate became 20%. In this state, the volume resistivity in the thickness direction of the anisotropic conductive sheet was measured.
The results are shown in Table 1.

【００７８】[0078]

【表１】 [Table 1]

【００７９】〔電荷の転写性および移動性〕図１９に示
すように、アース板５０上に異方導電性シート１を配置
し、この異方導電性シート１の直上に、ウレタン樹脂製
のロール５５を配置した。このロール５５は、テスラコ
イルによって放電処理されることにより、表面に電荷が
蓄積されたものであって、その表面電位が５００±５０
Ｖ（トレックジャパン製の表面電位計「モデル５２０−
１」によって測定した値）の範囲に調整されている。そ
して、ロール５５を徐々に下降させることによって異方
導電性シート１の表面に接触させ（無加圧の状態）、こ
の状態で１分間保持した後、ロール５５を徐々に上昇さ
せ、異方導電性シート１の表面電位を、表面電位計「モ
デル５２０−１」によって測定した。次いで、ロール５
５を徐々に下降させることによって、異方導電性シート
１の表面をその歪み率が２０％となるよう加圧し、この
状態で１分間保持した後、ロール５５を徐々に上昇さ
せ、異方導電性シート１の表面電位を、表面電位計「モ
デル５２０−１」によって測定した。上記の操作を合計
で１０回行い、表面電位の平均値および値のばらつきを
求めた。以上、結果を表２に示す。[Charge Transfer and Mobility] As shown in FIG. 19, an anisotropic conductive sheet 1 is disposed on a ground plate 50, and a urethane resin roll is placed immediately above the anisotropic conductive sheet 1. 55 were arranged. The roll 55 has a surface on which electric charges are accumulated by being subjected to a discharge treatment by a Tesla coil, and has a surface potential of 500 ± 50.
V (Trek Japan surface electrometer "Model 520-
1 "). Then, the roll 55 is gradually lowered to come into contact with the surface of the anisotropic conductive sheet 1 (in a non-pressurized state). After maintaining for 1 minute in this state, the roll 55 is gradually raised and The surface potential of the conductive sheet 1 was measured by a surface potentiometer “Model 520-1”. Then roll 5
5 is gradually lowered to press the surface of the anisotropic conductive sheet 1 so that its distortion rate becomes 20%. After maintaining for 1 minute in this state, the roll 55 is gradually raised and The surface potential of the conductive sheet 1 was measured by a surface potentiometer “Model 520-1”. The above operation was performed ten times in total, and the average value of the surface potential and the variation in the value were obtained. The results are shown in Table 2 above.

【００８０】[0080]

【表２】 [Table 2]

【００８１】表２の結果から明らかなよう、実施例１〜
４に係る異方導電性シートによれば、当該異方導電性シ
ートの表面にロール５５の表面を接触させることによ
り、ロール５５の表面の電荷が異方導電性シートの表面
に高い再現性で転写されることが確認された。また、ロ
ール５５によって異方導電性シートの表面を加圧するこ
とにより、ロール５５の表面の電荷が異方導電性シート
を介してアース板に移動することが確認された。これに
対して、比較例１〜２に係る異方導電性シートにおいて
は、その表面にロール５５の表面の電荷を安定して転写
することができなかった。As is clear from the results in Table 2, Examples 1 to
According to the anisotropically conductive sheet according to No. 4, by bringing the surface of the roll 55 into contact with the surface of the anisotropically conductive sheet, the charge on the surface of the roll 55 is reproducibly transferred to the surface of the anisotropically conductive sheet. Transfer was confirmed. Further, it was confirmed that when the surface of the anisotropic conductive sheet was pressed by the roll 55, the electric charge on the surface of the roll 55 moved to the ground plate via the anisotropic conductive sheet. On the other hand, in the anisotropic conductive sheets according to Comparative Examples 1 and 2, the charge on the surface of the roll 55 could not be stably transferred to the surface.

【００８２】[0082]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
無加圧の状態若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状
態で導電性を示すと共に大きい力で厚み方向に加圧した
状態では、無加圧の状態若しくは小さい力で厚み方向に
加圧した状態よりも高い導電性を示す異方導電性シート
を提供することができる。As described above, according to the present invention,
In a state where no pressure is applied or in the state where pressure is applied in the thickness direction with a small force, conductivity is exhibited, and in a state where pressure is applied in the thickness direction with a large force, a state where pressure is applied in the thickness direction with a small force An anisotropic conductive sheet showing higher conductivity can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view illustrating a configuration of an anisotropic conductive sheet according to a first embodiment of the present invention.

【図２】粒子抵抗率ρを測定するための装置の構成を示
す説明用断面図である。FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a configuration of an apparatus for measuring a particle resistivity ρ.

【図３】金型内にシート成形材料層が形成された状態を
示す説明用断面図である。FIG. 3 is an explanatory sectional view showing a state in which a sheet molding material layer is formed in a mold.

【図４】シート成形材料層に厚み方向に平行磁場が作用
された状態を示す説明用断面図である。FIG. 4 is an explanatory sectional view showing a state in which a parallel magnetic field is applied to a sheet forming material layer in a thickness direction.

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view illustrating a configuration of an anisotropic conductive sheet according to a second embodiment of the present invention.

【図６】金型内に導電性繊維を含有するシート成形材料
層が形成された状態を示す説明用断面図である。FIG. 6 is an explanatory sectional view showing a state in which a sheet molding material layer containing conductive fibers is formed in a mold.

【図７】導電性繊維を含有するシート成形材料層に厚み
方向に平行磁場が作用された状態を示す説明用断面図で
ある。FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view showing a state where a parallel magnetic field is applied in the thickness direction to a sheet molding material layer containing conductive fibers.

【図８】本発明の第３の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。FIG. 8 is an explanatory sectional view illustrating a configuration of an anisotropic conductive sheet according to a third embodiment of the present invention.

【図９】図８に示す異方導電性シートを製造するための
金型の一例における構成を示す説明用断面図である。9 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of an example of a mold for manufacturing the anisotropic conductive sheet shown in FIG.

【図１０】図９に示す金型内にシート成形材料層が形成
された状態を示す説明用断面図である。FIG. 10 is an explanatory sectional view showing a state in which a sheet molding material layer is formed in the mold shown in FIG. 9;

【図１１】シート成形材料層に強度分布を有する平行磁
場が厚み方向に作用された状態を示す説明用断面図であ
る。FIG. 11 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a parallel magnetic field having an intensity distribution is applied to a sheet forming material layer in a thickness direction.

【図１２】本発明の第４の実施の形態に係る異方導電性
シートの構成を示す説明用断面図である。FIG. 12 is an explanatory cross-sectional view illustrating a configuration of an anisotropic conductive sheet according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１３】図１２に示す異方導電性シートの一部を拡大
して示す説明用断面図である。13 is an explanatory sectional view showing a part of the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 12 in an enlarged manner.

【図１４】図１２に示す異方導電性シートを製造するた
めの金型の一例における構成を示す説明用断面図であ
る。14 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of an example of a mold for manufacturing the anisotropic conductive sheet shown in FIG.

【図１５】図１４に示す金型内にシート成形材料層が形
成された状態を示す説明用断面図である。15 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a sheet molding material layer is formed in the mold shown in FIG.

【図１６】シート成形材料層に強度分布を有する平行磁
場が厚み方向に作用された状態を示す説明用断面図であ
る。FIG. 16 is an explanatory sectional view showing a state in which a parallel magnetic field having an intensity distribution is applied to a sheet forming material layer in a thickness direction.

【図１７】本発明の異方導電性シートの他の例における
構成を示す説明用断面図である。FIG. 17 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of another example of the anisotropic conductive sheet of the present invention.

【図１８】図１７に示す異方導電性シートの一部を拡大
して示す説明用断面図である。18 is an explanatory sectional view showing a part of the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 17 in an enlarged manner.

【図１９】実施例において、異方導電性シートの電気特
性の評価のために使用した装置を示す説明図である。FIG. 19 is an explanatory view showing an apparatus used for evaluating electric characteristics of an anisotropic conductive sheet in Examples.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 異方導電性シート ３ シリンダー ４ 円筒体 ５ 底部材 ６ ピストン ７ 支持棒 ８ 電気抵抗測定器 １０ シート基体 １０Ａ シート成形材料層 １１ 導電路形成部 １２ 定常導電部 ２０ 金型 ２１ 上型 ２２ 下型 ２３ スペーサー ３０ 金型 ３１ 上型 ３２ 強磁性体基板 ３３ 強磁性体層 ３４ 非磁性体層 ３５ スペーサー ３６ 下型 ３７ 強磁性体基板 ３８ 強磁性体層 ３９ 非磁性体層 ４０ 金型 ４１ 上型 ４２ 強磁性体基板 ４３ 強磁性体層 ４４ 非磁性体層 ４５ スペーサー ４６ 下型 ４７ 強磁性体基板 ４８ 強磁性体層 ４９ 非磁性体層 ５０ アース板 ５５ ロール Ｆ 導電性繊維 Ｐ 導電性粒子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Anisotropic conductive sheet 3 Cylinder 4 Cylindrical body 5 Bottom member 6 Piston 7 Support rod 8 Electric resistance measuring device 10 Sheet base 10A Sheet molding material layer 11 Conductive path forming part 12 Steady conductive part 20 Die 21 Upper die 22 Lower die 23 Spacer 30 Mold 31 Upper mold 32 Ferromagnetic substrate 33 Ferromagnetic layer 34 Nonmagnetic layer 35 Spacer 36 Lower mold 37 Ferromagnetic substrate 38 Ferromagnetic layer 39 Nonmagnetic layer 40 Mold 41 Upper mold 42 Ferromagnetic substrate 43 Ferromagnetic layer 44 Nonmagnetic layer 45 Spacer 46 Lower mold 47 Ferromagnetic substrate 48 Ferromagnetic layer 49 Nonmagnetic layer 50 Ground plate 55 Roll F Conductive fiber P Conductive particles

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｌ 21/00 Ｃ０８Ｌ 21/00 Ｈ０１Ｂ 5/16 Ｈ０１Ｂ 5/16 (72)発明者 瀬高 良司 東京都中央区築地２丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Ｆターム(参考） 4F071 AA02 AA67 AB03 AB18 AE15 AH12 BA03 BB01 BC01 4J002 AB002 AC011 AC031 AC061 AC071 AC081 AC091 AC111 BB151 BE022 BM002 CE002 CF001 CH041 CH052 CK021 CP012 CP031 CP082 DA016 DA026 DA036 DA076 DA096 DA116 DE096 DE106 DE136 DE186 DG026 EN006 EN136 EV256 EW046 EX006 FD112 FD116 GQ00 5G307 HA02 HB01 HB03 HB05 HB06 HC02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 21/00 C08L 21/00 H01B 5/16 H01B 5/16 (72) Inventor Ryoji Setaka Chuo-ku, Tokyo 2-11-24 Tsukiji JSR Co., Ltd. F-term (reference) 4F071 AA02 AA67 AB03 AB18 AE15 AH12 BA03 BB01 BC01 4J002 AB002 AC011 AC031 AC061 AC071 AC081 AC091 AC111 BB151 BE022 BM002 CE002 CF001 DA02 BM002 DA076 DA096 DA116 DE096 DE106 DE136 DE186 DG026 EN006 EN136 EV256 EW046 EX006 FD112 FD116 GQ00 5G307 HA02 HB01 HB03 HB05 HB06 HC02

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 無加圧の状態で少なくとも厚み方向に導
電性を示す弾性を有するシート基体中に、磁性を示す導
電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有され
てなり、 前記導電性粒子は、下記に示す粒子抵抗率ρが１×１０
⁵ 〜１×１０⁹ Ω・ｍの範囲にあることを特徴とする異
方導電性シート。粒子抵抗率ρ：直径１２．５ｍｍのピ
ストンおよびこのピストンの直径に適合する内径を有す
るシリンダーを用意し、シリンダー内に、１０±０．１
ｇの導電性粒子を入れ、当該導電性粒子を前記ピストン
によって４９０Ｎの力で加圧した状態において、シリン
ダーの内底面とピストンの加圧面との間の電気抵抗を測
定し、測定された電気抵抗をＲ（Ω）、ピストンの加圧
面の面積をＳ（ｍ² ）、シリンダーの内底面とピストン
の加圧面との間の距離をｔ（ｍ）としたとき、下記式
（１）により算出される値。 【数１】式（１） ρ＝（Ｒ×Ｓ）／ｔ1. A sheet base having elasticity exhibiting conductivity at least in a thickness direction in a non-pressurized state, wherein conductive particles exhibiting magnetism are contained in a state oriented so as to be arranged in the thickness direction. The conductive particles have a particle resistivity ρ shown below of 1 × 10
An anisotropic conductive sheet characterized by being in the range of ⁵ to 1 × 10 ⁹ Ω · m. Particle resistivity ρ: A piston having a diameter of 12.5 mm and a cylinder having an inner diameter matching the diameter of the piston are prepared.
g of the conductive particles, and in a state where the conductive particles are pressurized by the piston with a force of 490 N, the electric resistance between the inner bottom surface of the cylinder and the pressurized surface of the piston is measured. Is defined as R (Ω), the area of the piston pressurizing surface is S (m ² ), and the distance between the inner bottom surface of the cylinder and the piston pressurizing surface is t (m). Value. Equation (1) ρ = (R × S) / t 【請求項２】 シート基体は、絶縁性のエラストマー中
に非磁性の導電性付与物質が含有されてなるものである
ことを特徴とする請求項１に記載の異方導電性シート。2. The anisotropically conductive sheet according to claim 1, wherein the sheet base is made of an insulating elastomer containing a non-magnetic conductivity-imparting substance. 【請求項３】 導電性付与物質は、それ自体導電性を示
す物質および吸湿することによって導電性が発現される
物質から選ばれる少なくとも１種の物質であることを特
徴とする請求項２に記載の異方導電性シート。3. The conductivity-imparting substance according to claim 2, wherein the conductivity-imparting substance is at least one substance selected from a substance exhibiting conductivity by itself and a substance exhibiting conductivity by absorbing moisture. Anisotropic conductive sheet. 【請求項４】 導電性粒子がシート基体の面方向に分散
された状態で含有されていることを特徴とする請求項１
乃至請求項３のいずれかに記載の異方導電性シート。4. The sheet according to claim 1, wherein the conductive particles are contained in a state of being dispersed in a plane direction of the sheet substrate.
An anisotropic conductive sheet according to claim 3. 【請求項５】 シート基体は、絶縁性のエラストマー中
に当該シート体の厚み方向に伸びるよう配列された導電
性繊維が含有されてなるものであることを特徴とする請
求項４に記載の異方導電性シート。5. The sheet base according to claim 4, wherein the sheet base comprises an insulating elastomer containing conductive fibers arranged to extend in a thickness direction of the sheet body. One side conductive sheet. 【請求項６】 シート基体の厚み方向に伸び、当該シー
ト基体の面方向に互いに離間した状態で形成された、導
電性粒子が密に含有されてなる多数の導電路形成部と、
これらの導電路形成部の間に介在された定常導電部とを
有してなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のい
ずれかに記載の異方導電性シート。6. A large number of conductive path forming portions which extend in the thickness direction of the sheet base and are spaced apart from each other in the plane direction of the sheet base and which contain conductive particles densely;
The anisotropic conductive sheet according to any one of claims 1 to 3, further comprising a stationary conductive portion interposed between the conductive path forming portions. 【請求項７】 定常導電部は、少なくともその一面が導
電路形成部の表面から突出した状態に形成されているこ
とを特徴とする請求項６に記載の異方導電性シート。7. The anisotropic conductive sheet according to claim 6, wherein the stationary conductive portion is formed so that at least one surface thereof protrudes from the surface of the conductive path forming portion.