JP2002148794A - 感光層転写装置及び方法 - Google Patents

感光層転写装置及び方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 感光層をガラス基板に効率よく転写する。 【解決手段】 積層体フイルム４０を熱圧着ローラ対３
５によってガラス基板２２へ熱圧着する。熱圧着ローラ
対３５のガラス基板２２の出口側に冷却部１５を配置す
る。冷却部１５でガラス基板２２に対して冷風を吹き出
し、ガラス基板２２を冷却する。冷却後のガラス基板２
２から積層体フイルム４０のベースフイルム４０ｂを連
続して剥離する。剥離したベースフイルム４０ｂを回収
軸５６ａに巻き取る。熱圧着した後に冷却部１５でガラ
ス基板２２を冷却し、ガラス基板２２からベースフイル
ム４０ｂを連続して剥離するので、効率よく感光層４０
ａをガラス基板２２に転写することができる。積層体フ
イルム４０を切断する必要がなくなる。切断屑の発生が
なく、切断屑に起因する製品欠陥の発生が抑えられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は感光層と帯状支持体
とからなる積層体フイルムを基板に熱圧着した後に、帯
状支持体を基板から剥がして、感光層を基板に転写する
転写装置及び方法に関し、特に、液晶パネル用ガラス基
板、プラズマディスプレイ用基板、プリント配線用基板
などに感光層を転写する転写装置及び方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】感光性顔料分散液（感光層）を塗布した
透光性ベースフイルム（帯状支持体）からなる着色フイ
ルム（積層体フイルム）をガラス基板に転写（ラミネー
ト）し、フォトリソグラフィ法で各色毎に露光・現像す
ることにより、液晶パネル用のカラーフィルタなどを製
造することが行われている。この製造方法では、ガラス
基板への塗布工程が不要となり、スピナー方式における
突起欠陥、白抜け欠陥等の諸問題を解決することができ
る。
【０００３】積層体フイルムは、帯状支持体に感光層を
塗布して、これをカバーフイルムで覆って構成されてお
り、ロール状に巻き取られている。ガラス基板への転写
では積層体フイルムを引き出してカバーフイルムを剥が
した後に、感光層側を基板の一方の面に合わせて、１対
の熱圧着ローラ間に通し、この熱圧着ローラによって、
積層体フイルムを基板に熱圧着する。
【０００４】このようなドライラミネート方式では、積
層体フイルムを基板長さに応じて切断してから基板に貼
り付けるタイプと、連続的に順次搬送される基板表面
に、積層体フイルムを連続的に貼り付けた後に、隣接す
る基板後端と先端間で積層体フイルムを切断するタイプ
のものがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記いずれの場合で
も、積層体フイルムが貼り付けられた基板は基板カセッ
ト等に収納され、クリーンな環境下で自然冷却された後
に、帯状支持体を剥離する必要がある。このため、基板
を収納するバッファゾーンやベースフイルムの剥離装置
などが必要になる他に、バッファゾーンへの基板の搬送
装置も必要になる。このように、基板の搬送、ベースフ
イルムの剥離等を行う必要があり、効率低下につながっ
ていた。また、これらはクリーンな環境下で行う必要が
あるため、クリーンルームにバッファゾーンやベース剥
離装置などを設置するスペースが必要になる。したがっ
て、製造設備のコストアップになってしまう他に、クリ
ーンルーム自体が大きくなるため、そのランニングコス
トも増大する。
【０００６】また、上記のように積層体フイルムを基板
毎に切断するタイプでは、切断屑が発生して、基板等に
この切断屑が付着し製品欠陥となるおそれがある。
【０００７】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、製品欠陥となる切断屑の発生を抑えるとともに、
効率のよい生産を可能にし、また設備コスト及びランニ
ングコストを低減することができるようにした感光層転
写装置及び方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、帯状支持体上に感光層が
設けられた積層体フイルムを熱圧着ローラによって基板
へ熱圧着して、前記感光層を基板に転写する感光層転写
装置において、前記熱圧着ローラの基板の出口側に配置
され、前記積層体フイルムが熱圧着された基板を冷風冷
却する冷却部と、この冷却部で冷却された基板から帯状
支持体を連続して剥離する剥離部とを備えている。
【０００９】なお、前記剥離部は、帯状支持体を巻き取
ることが好ましい。さらに、前記剥離部は、帯状支持体
を基板から剥離する際にその剥離線が基板搬送方向に対
して垂直または斜めになるようにすることが好ましい。
また、前記積層体フイルムの感光層を切断するハーフカ
ッタを備え、前記基板の長さに合わせて前記感光層を熱
圧着前に切断することが好ましい。また、前記熱圧着ロ
ーラの基板送り方向の上流側と、前記剥離部の基板送り
方向の下流側とに基板搬送部を配置し、これら基板搬送
部を、上方に気体を吹き出す浮上プレートと、この浮上
プレートで浮上された基板の上面または側面または端面
または前記感光層を除いた下面の側縁部に接触して基板
を送る送り部材とから構成し、下流側の基板搬送部には
送られた基板の上面、端面、側面、前記感光層を除いた
下面の側縁部のいずれかに接触して基板を取り出す基板
取り出し部材を設けることが好ましい。
【００１０】請求項６記載の発明では、帯状支持体上に
感光層を設けた積層体フイルムを熱圧着ローラによって
基板へ熱圧着して、前記感光層を基板に転写する感光層
転写方法において、前記熱圧着ローラによって熱圧着さ
れた積層体フイルム付きの基板を冷風冷却し、この冷却
後に前記帯状支持体を基板から連続して剥離している。
なお、剥離した帯状支持体は巻き取ることが好ましく、
この場合には、シート回収のような梱包が不要になる他
に、巻取り時にトルク制御することにより、帯状支持体
の張力を一定に保ち、弛みの発生がなくなる。さらに、
帯状支持体の巻取り軸近くにエッジポジション制御機構
を設けて、帯状支持体の側縁の位置を検出し、その位置
を自動補正することにより、帯状支持体の幅方向の位置
ずれが補正される。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明の感光層転写機を示
す概略図である。感光層転写機は、基板挿入部１１、予
備加熱部１２、熱圧着部１３、積層体フイルム供給部１
４、冷却部１５、剥離部１６、基板取り出し部１７から
構成されている。
【００１２】基板挿入部１１は、多関節型のロボットハ
ンド２０から構成されており、そのハンド本体２１には
吸着パッド２１ａが設けられている。吸着パッド２１ａ
は、ガラス基板２２の裏面（感光層の非転写面）２２ａ
に吸着し、これを保持する。ロボットハンド２０は、基
板カセット２３からガラス基板２２を取り出し、１８０
度反転させて表面（感光層の被転写面）２２ｂを下側に
向けた裏返し状態にして、このガラス基板２２を予備加
熱部１２に送る。基板カセット２３は、多数枚のガラス
基板２２をほぼ水平状態で収納するものであり、ガラス
基板２２を支持する多数の支持ポスト２３ａを備えてい
る。なお、ロボットハンドの吸着パッドは、裏面及び端
部のみの接触が可能ならば他の方法でもよく、更にはエ
アー吹き出しで非接触吸引により保持する方法でもよ
い。
【００１３】予備加熱部１２は、基板搬送部２５と、ヒ
ータ２６，２７とから構成されている。図２に示すよう
に、基板搬送部２５は、エアー浮上プレート２８と送り
ローラ２９とから構成されている。エアー浮上プレート
２８は、ガラス基板２２の下面に対面するように配置さ
れており、ガラス基板２２に向けてクリーンな空気を吹
き出すことで、ガラス基板２２を浮上させる。
【００１４】送りローラ２９は、浮上したガラス基板２
２の下面の両側縁部に接触し、回転することでガラス基
板２２を熱圧着部１３へ向けて搬送する。このガラス基
板２２の下面の両側縁部には、感光層は転写されておら
ず、送りローラ２９の周面が感光層に接触することはな
い。送りローラ２９はつば付きローラから構成されてお
り、つば２９ａがガラス基板２２のガイドとして機能
し、ガラス基板２２をその幅方向で位置決めする。ま
た、送りローラ２９は、ロボットハンド２０のハンド本
体２１の挿入部分を避けて設けられており、ハンド本体
２１と干渉することがないようにされている。なお、送
りローラ２９にはガラス基板２２を挟持するためのニッ
プローラを設けてもよい。また、送りローラ２９の代わ
りに、ベルトなどにより、さらには斜め吹き出しエアー
によりガラス基板２２を搬送してもよい。また、つば付
きローラを用いる代わりに、ガラス基板２２の両側縁に
接触して回転するガイドローラを設けてもよい。さらに
は、浮上によるガラス基板２２の上面への押しつけ力が
充分ならば、ガラス基板２２の上面に接触する送りロー
ラを設け、この送りローラの回転でガラス基板２２を搬
送してもよい。
【００１５】ヒータ２６，２７は、基板搬送部２５のガ
ラス基板２２の搬送路を挟むように上下方向で配置され
ており、ガラス基板２２を５０〜１１０℃の温度に加熱
する。ヒータ２６，２７としては、遠赤外線ヒータ、ニ
クロム線ヒータ、熱風ヒータ等を利用することができ
る。予備加熱部１２で加熱されたガラス基板２２は、送
りローラ２９により熱圧着部１３に送り出される。
【００１６】熱圧着部１３は、熱圧着ローラ対３５とバ
ックアップローラ３６とから構成されている。熱圧着ロ
ーラ対３５は、上下方向で配置した熱圧着ローラ３５
ａ，３５ｂから構成されており、これら熱圧着ローラ３
５ａ，３５ｂにはヒータが内蔵されている。熱圧着ロー
ラ対３５はガラス基板２２と積層体フイルム４０とを挟
持して搬送することにより、ガラス基板２２へ積層体フ
イルム４０を熱圧着して貼り付ける。バックアップロー
ラ３６は、熱圧着ローラ３５ａ，３５ｂに接触して回転
するように構成されており、熱圧着ローラ３５ａ，３５
ｂの撓みを抑えて、均一な力による熱圧着を可能にす
る。なお、ここではバックアップローラ３６を設けた
が、このバックアップローラ３６は省略して熱圧着ロー
ラ３５ａ，３５ｂのみとしてもよい。
【００１７】図３に示すように、積層体フイルム供給部
１４は、積層体フイルムロール４１の取付軸４１ａ、ハ
ーフカッタ４２、カバーフイルム剥離部４３、バックテ
ンションローラ４５、テンションセンサ４６等から構成
されている。この積層体フイルム供給部１４は、積層体
フイルムロール４１からカバーフイルム４０ｃを剥がし
て、感光層４０ａを上に向けた状態でベースフイルム４
０ｂを熱圧着ローラ対３５に供給する。なお、取付軸４
１ａの近傍には図示しないエッジポジション制御機構が
設けられている。エッジポジション制御機構は積層体フ
イルム４０の側縁の位置を検出して、その位置を自動的
に補正する。これにより、ガラス基板２２への積層体フ
イルム４０の貼り付け幅方向の位置合わせを行う。
【００１８】積層体フイルム４０は、ベースフイルム４
０ｂに図示しない補助層、中間層などを介して感光層４
０ａが層設されており、更に感光層４０ａの上にはカバ
ーフイルム４０ｃ、ベースフイルム４０ｂの他方の面に
は帯電防止層などが層設されている。
【００１９】ハーフカッタ４２は、ガラス基板２２の長
さに合わせて、積層体フイルム４０をハーフカットす
る。このハーフカットでは、カバーフイルム４０ｃ、感
光層４０ａが切断され、ベースフイルム４０ｂは切断さ
れることがない。
【００２０】カバーフイルム剥離部４３は、ガラス基板
２２への貼付面となるハーフカットされた部分のカバー
フイルム４０ｃを積層体フイルム４０から剥離する。こ
の剥離は、粘着テープロール４３ａから引き出された粘
着テープ４３ｂを押さえローラ４３ｃによりカバーフイ
ルム４０ｃへ貼り付けて行われ、このカバーフイルム４
０ｃが貼りついた粘着テープ４３ｂはテープ巻取り軸４
３ｄに巻き取られ回収される。また、ガラス基板２２と
ガラス基板２２との間に位置することになる積層体フイ
ルム４０に対しては、そのカバーフイルム４０ｃが剥離
されず残される。
【００２１】熱圧着部１３では、ハーフカット線の通過
に合わせて基板送り込み部材が作動する。これにより、
ガラス基板２２とハーフカット線との位置合わせが行わ
れた状態で、ガラス基板２２に積層体フイルム４０の感
光層４０ａが貼り付けられる。そして、ベースフイルム
４０ｂもガラス基板２２の移動に伴い熱圧着ローラ３５
の送り方向下流側に送られる。
【００２２】冷却部１５は、風速分布を均一化するため
の冷却風吹き出しボード５０と、搬送ローラ５１とから
構成されている。冷却風吹き出しボード５０は、その開
口率が８％になるように、パンチング孔が形成されてお
り、ＨＥＰＡフィルタを通過したクリーンな冷却風がガ
ラス基板２２に向けて吹き出される。ガラス基板２２の
冷却を効率よく行うために、冷却風は基板送り方向に直
交する幅方向へ外側に向けて吹き出される。これによ
り、ガラス基板２２の温度はほぼ室温（３０℃以下）に
冷やされる。また、冷却部１５をガラス基板２２が通過
する時間は１分以上に設定されており、ガラス基板２２
の冷却が確実に行われる。
【００２３】本実施形態では、熱圧着時の基板送り速度
を１．０ｍ／ｍｉｎとしたときに、冷却風の吐き出し温
度は１７℃、風速は６ｍ／ｓｅｃとされているが、これ
らはガラス基板２２の厚みやサイズ等に応じて適宜変更
してよい。搬送ローラ５１は、積層体フイルム４０のベ
ースフイルム４０ｂに接触してガラス基板２２を保持
し、これを剥離部１６に向けて送る。なお、ここでは１
つの例としての条件を示してあり、これに限定されるも
のではないが、パンチング板の開口率は３〜１５％、基
板送り速度は０．５〜１０ｍ／ｍｉｎ、冷却風温度は１
０〜２０℃、風速は３〜１２ｍ／ｓｅｃくらいの範囲が
好ましい。
【００２４】剥離部１６は剥離ローラ５５及びベースフ
イルム巻取り機構５６から構成されている。この剥離部
１６は、ガラス基板２２からベースフイルム４０ｂを剥
離し、このベースフイルム４０ｂを回収軸５６ａにロー
ル状に巻き取る。剥離ローラ５５は直径が３０mm以下が
好ましく、さらに剥離時の張力によって剥離ローラ５５
のたわみが問題とならなければ、より小さい方がよい。
この剥離ローラ５５にはベースフイルム４０ｂが９０°
以上巻き掛けられているが、巻掛角度はこれに限定され
るものではない。
【００２５】剥離ローラ５５はガラス基板２２の送り方
向と直交する水平方向に配置してもよいが、更に、剥離
をきれいに行うためには、図４に示すように、剥離ロー
ラ５５はガラス基板２２の送り方向（矢印Ａ）に対して
斜めに交差するように配置するとよい。交差角度θは任
意に設定可能だが、実用上は４５°以下が設定しやす
い。これにより、感光層４０ａとベースフイルム４０ｂ
との剥離に際して、感光層４０ａの端縁４０ｅにおい
て、その剥離部分がガラス基板２２の幅方向において１
点となり、幅方向に移動する。したがって、感光層４０
ａの端縁４０ｅが安定してきれいに剥離される。なお、
ここでは剥離ローラ５５は固定しているが、片持ちと
し、ガラス基板の送り方向に斜めに入れ垂直までスイン
グ（旋回）する、更にはその後、送り方向に平行に送っ
て剥離するという方法をとってもよい。
【００２６】図３に示すように、剥離ローラ５５の近傍
には、空気吹き出し口５９が設けられている。この空気
吹き出し口５９からは、イオン発生クリーンエアーが吹
き出されて、ベースフイルム４０ｂ及びガラス基板２２
の静電気が除去される。これにより、周囲の塵埃の付着
が抑えられ、塵埃付着に起因する画素欠け等の製品時欠
陥の発生が抑制される。この除電方法は、イオン発生ク
リーンエアー以外の方法、例えば軟Ｘ線方式などを用い
てもよい。
【００２７】ベースフイルム巻取り機構５６は、回収軸
５６ａとこれを回転駆動する巻取りモータ（図示せず）
とから構成されている。巻取りモータは図示しないコン
トローラによってトルク制御が行われる。このトルク制
御によって、熱圧着ローラ対３５以降のベースフイルム
４０ｂの張力が一定に保持され、ベースフイルム４０ｂ
に弛みが発生することがない。また、回収軸５６ａの近
傍には、図示しないエッジポジション制御機構が設けら
れている。エッジポジション制御機構は、ベースフイル
ム４０ｂの側縁の位置を検出して、その位置を自動的に
補正する。これにより、積層体フイルム４０の巻取り軸
４１ａからベースフイルム回収軸５６ａまでのフイルム
搬送において、フイルム幅方向の位置ずれが自動補正さ
れる。
【００２８】剥離部１６に対しガラス基板２２の送り方
向下流側には、基板取り出し部１７が設けられている。
基板取り出し部１７は、エアー浮上プレート６０とガラ
ス基板送り部６１とロボットハンド６２とから構成され
ている。エアー浮上プレート６０は、予備加熱部１２の
エアー浮上プレート２８と同様に構成されている。ガラ
ス基板送り部６１は、ガラス基板２２の下面の両側縁部
に接触する送りローラから構成されているが、ローラ搬
送の代わりに、ベルトなどによる搬送、さらには斜め吹
き出しエアー搬送としてもよい。なお、送りローラは、
つば付きのガイドローラを兼用しているが、ガイドロー
ラは別個に設けてもよい。さらに、浮上によるガラス基
板２２の上面への押しつけ力が充分ならば、ガラス基板
２２の上面に接触して搬送することも可能である。
【００２９】ロボットハンド６２は、基板挿入部１１の
ロボットハンド２０と同様に構成されている。このロボ
ットハンド６２は、剥離部１６から送り出されたガラス
基板２２の上面をハンド本体６３の吸着パッド６３ａで
吸着し、エアー浮上プレート６０上からガラス基板２２
を取り出して、このガラス基板２２を基板カセット６５
に収納する。なお、このロボットハンド６２でガラス基
板２２を吸着する際に、浮上エアー量を多く供給しガラ
ス基板２２の浮上量を増すと、ガラス基板２２の下面の
感光層４０ａがエアー浮上プレート６０に接触しにくく
なり、さらに、ガラス基板２２がロボットハンド６２の
ハンド本体６３に確実に吸着される。
【００３０】次に、本実施形態の作用を説明する。基板
挿入部１１にてロボットハンド２０によりガラス基板２
２が予備加熱部１２に送られる。ロボットハンド２０は
基板カセット２３へハンド本体２１を挿入して、ガラス
基板２２の下面を吸着してガラス基板２２を少し持ち上
げて基板カセット２３から取り出す。基板カセット２３
の収納棚には、基板支持ポスト２３ａが上方に向けて突
出されており、この基板支持ポスト２３ａによって、ガ
ラス基板２２はほぼ水平状態で支持される。ガラス基板
２２の上面は感光層貼付面とされており、この上面には
吸着パッド２１ａや支持ポスト２３ａ等が接触すること
がないようにされている。
【００３１】ロボットハンド２０は、吸着保持したガラ
ス基板２２を反転して裏返しにし、感光層貼付面が下方
を向くように、予備加熱部１２に挿入する。予備加熱部
１２では、エアー浮上プレート２８から空気が上方に向
けて吹き出されており、ガラス基板２２は浮上する。浮
上したガラス基板２２はヒータ２６，２７により予備加
熱されながら、送りローラ２９により熱圧着部１３に送
られる。
【００３２】熱圧着部１３には、積層体フイルム４０の
感光層４０ａの先端ハーフカット線が送られるタイミン
グでガラス基板２２も送られる。したがって、ガラス基
板２２に積層体フイルム４０のハーフカットされた感光
層４０ａが位置決めされた状態でこれらが貼り合わされ
る。積層体フイルム４０は、積層体フイルム供給部１４
のハーフカッタ４２により、予めガラス基板２２の貼付
面となる部分のカバーシート４０ｃ及び感光層４０ａの
みが切断され、さらに、カバーフイルム剥離部４３によ
りガラス基板２２の貼付面となる部分のカバーフイルム
４０ｃが剥離されている。また、積層体フイルム４０
は、不図示のエッジポジション制御機構によりフイルム
幅方向で位置決めされるとともに、バックテンションロ
ーラ４５により適度な張力が付与されており、積層体フ
イルム４０のガラス基板２２への貼り付け時に、しわや
気泡の発生が抑えられる。
【００３３】熱圧着部１３を通過したガラス基板２２
は、冷却部１５からのクリーンな冷却風により３０℃以
下となるように冷却される。この強制冷却によってベー
スフイルム４０ｂをガラス基板２２から安定してムラな
く剥がすことが可能になる。したがって、従来のよう
に、積層体フイルム４０が貼り付けられたガラス基板２
２を基板カセット等に収納して自然冷却を行う必要がな
く、効率よく感光層の転写が可能になる。
【００３４】剥離部１６では、ベースフイルム４０ｂが
剥離ローラ５５によりガラス基板２２から剥がされる。
このとき、剥離ローラ５５はベースフイルム４０ｂの送
り方向に対して垂直でもよいが、図４に示すように、剥
離ローラ５５をフイルム送り方向に対して斜めに交差す
る方向に引き剥がす方が更によい。この場合には、ベー
スフイルム４０ｂと感光層４０ａの端縁４０ｅとの剥離
部分が１点となって幅方向に移動し、端縁４０ｅが安定
してきれいに剥離される。
【００３５】また、剥離ローラ５５の近傍で吹き出し口
５９から、イオン発生クリーンエアーが吹き出される。
この吹き出しにより、ベースフイルム４０ｂ及びガラス
基板２２の静電気が除去される。これにより、周囲の塵
埃の付着が抑えられるので、製品時の画素欠け等の欠陥
の発生が抑制される。
【００３６】剥離後のベースフイルム４０ｂは回収軸５
６ａにロール状に巻き取られて、廃棄または回収され
る。回収軸５６ａにベースフイルム４０ｂが巻き取られ
ることにより、シート回収のような梱包が不要になり、
しかも空気の巻き込みが少ないため実効体積が小さくな
る。これにより、廃棄や回収の作業が容易になる。
【００３７】剥離部１６でベースフイルム４０ｂが剥離
されたガラス基板２２は、エアー浮上プレート６０によ
り両側縁部の支持のみで、感光層４０ａに対し無接触で
支持され、図１に示すように、ロボットハンド６２によ
り基板カセット６５に収納される。このとき、ロボット
ハンド６２が反転することで、感光層貼付面を上方に向
けた水平状態で基板カセット６５にガラス基板２２が収
納される。
【００３８】このようにして例えばＲフィルタ用の感光
層４０ａが転写されたガラス基板２２は、図示しない露
光機に送られる。露光機では、フォトマスクを用いてＲ
感光層に対してＲフィルタのパターンを露光する。露光
後のガラス基板２２は現像処理機で現像処理される。現
像処理後のガラス基板２２は、基板カセット２３に収納
される。次に本実施形態の転写機を用いて、Ｇフィルタ
用の感光層がガラス基板に転写されて同様にＧフィルタ
のパターンで露光され、現像処理されてＧフィルタがガ
ラス基板に作成される。同様にして、Ｂフィルタ用の感
光層により、Ｂフィルタがガラス基板に作成される。さ
らに、ブラックマトリクス用に黒（Ｋ）フィルタ用の感
光層がガラス基板２２に転写され、露光、現像処理によ
りブラックマトリクスがガラス基板２２に作成される。
【００３９】なお、上記実施形態では剥離ローラ５５を
用いたが、剥離ローラ５５の代わりに、ガラス基板とフ
イルムとの間にエアーを吹き込む方法や、エアシリンダ
ー等の先端につけたロールやバー等により、フイルムを
剥離方向に押しつけたりする方法を用いてもよい。ま
た、剥離ローラ５５や剥離バーの一端を、回動自在に取
り付けて、ベースフイルムの移動に合わせて剥離ローラ
や剥離エッジを回動させてもよい。さらに、剥離部１６
には、ガラス基板２２を上方から吸着して搬送する搬送
ベルトや、ガラス基板２２を上方から押さえて搬送する
押さえローラ等を配置してもよく、この場合には、ガラ
ス基板の剥離時の挙動が効果的に抑えられる。
【００４０】また、積層体フイルムを自動でロール交換
し供給してもよい。この場合には、同じようにベースフ
イルムの回収軸にも回収ロール切り換え機構を設けるこ
とで、自動的に各ロールの交換を行うとよい。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、熱圧着ローラに対し基
板の出口側に冷却部と剥離部とを設け、冷却部によって
積層体フイルムが貼り付けられた基板を冷風冷却するか
ら、従来のように基板カセットに入れて自然冷却させる
必要がなくなる。このため、熱圧着した直後に剥離部に
よって帯状支持体を基板から連続して剥離することがで
き、効率よく感光層をガラス基板に転写することができ
る。また、積層体フイルムを熱圧着後に切断する必要も
なく、切断屑による製品欠陥の発生も抑えることができ
る。しかも、カセットのようなガラス基板のバッファ装
置が不要になるので、この分だけクリーンルームを小さ
くすることができ、初期導入コストやランニングコスト
が低減する。
【００４２】帯状支持体を基板搬送方向に対して斜めに
剥離する場合には、帯状支持体の幅方向で剥離部分が１
点となりしかも幅方向に移動するため、剥離が安定して
きれいに行われる。また、前記積層体フイルムの感光層
を切断するハーフカッタを備え、前記基板の長さに合わ
せて前記感光層を熱圧着前に切断することにより、熱圧
着後に切断が行われることがなく、切断屑などに起因す
る画素欠け等の製品欠陥の発生が抑えられる。また、剥
離後の帯状支持体を巻き取ることにより、シート回収の
ような梱包が不要になり、廃棄や回収の作業が容易にな
る。
【００４３】熱圧着ローラの基板送り方向の上流側と、
剥離部の基板送り方向の下流側とに基板搬送部を設け、
これら基板搬送部を、上方に気体を吹き出す浮上プレー
トと、この浮上プレートで浮上された基板の上面または
側面または端面または感光層を除いた下面の側縁部に接
触して基板を送る送り部材とから構成したから、感光層
貼付面に非接触で搬送が可能になり、接触に起因する欠
陥の発生が抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施した感光層転写装置の全体構成を
示す概略図である。
【図２】予備加熱部の基板搬送部の概略を示す正面図で
ある。
【図３】熱圧着部、冷却部、剥離部を示す概略図であ
る。
【図４】剥離部におけるベースフイルムの斜め方向への
剥離を示す底面図である。
【符号の説明】
１１ 基板挿入部 １２ 予備加熱部 １３ 熱圧着部 １４ 積層体フイルム供給部 １５ 冷却部 １６ 剥離部 １７ 基板取り出し部 ２０，６２ ロボットハンド ２１，６３ ハンド本体 ２２ ガラス基板 ２８，６０ エアー浮上プレート ３５ 熱圧着ローラ対 ４０ 積層体フイルム ４０ａ 感光層 ４０ｂ ベースフイルム ４０ｃ カバーフイルム ５０ 冷却風吹き出しボード ５５ 剥離ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植松 伸二 神奈川県南足柄市中沼210番地 富士写真 フイルム株式会社内 Ｆターム(参考） 2H025 AA16 AA17 AA18 AB13 AB14 AB15 BJ10 DA19 DA31 EA08 EA10

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 帯状支持体上に感光層が設けられた積層
    体フイルムを熱圧着ローラによって基板へ熱圧着して、
    前記感光層を基板に転写する感光層転写装置において、 前記熱圧着ローラの基板の出口側に配置され、前記積層
    体フイルムが熱圧着された基板を冷風冷却する冷却部
    と、この冷却部で冷却された基板から帯状支持体を連続
    して剥離する剥離部とを備えたことを特徴とする感光層
    転写装置。
  2. 【請求項２】 前記剥離部は、前記帯状支持体を巻き取
    ることを特徴とする請求項１記載の感光層転写装置。
  3. 【請求項３】 前記剥離部は、帯状支持体を基板から剥
    離する際にその剥離線が基板搬送方向に対して垂直また
    は斜めになるようにしたことを特徴とする請求項１また
    は２記載の感光層転写装置。
  4. 【請求項４】 前記積層体フイルムの感光層を切断する
    ハーフカッタを備え、前記基板の長さに合わせて前記感
    光層を熱圧着前に切断することを特徴とする請求項１な
    いし３いずれか１つ記載の感光層転写装置。
  5. 【請求項５】 前記熱圧着ローラの基板送り方向の上流
    側と、前記剥離部の基板送り方向の下流側とに基板搬送
    部を設け、これら基板搬送部を、上方に気体を吹き出す
    浮上プレートと、この浮上プレートで浮上された基板の
    上面または側面または端面または前記感光層を除いた下
    面の側縁部に接触して基板を送る送り部材とから構成
    し、下流側の基板搬送部には送られた基板の上面、端
    面、側面、前記感光層を除いた下面の側縁部のいずれか
    に接触して基板を取り出す基板取り出し部材を設けたこ
    とを特徴とする請求項１ないし４いずれか１つ記載の感
    光層転写装置。
  6. 【請求項６】 帯状支持体上に感光層を設けた積層体フ
    イルムを熱圧着ローラによって基板へ熱圧着して、前記
    感光層を基板に転写する感光層転写方法において、 前記熱圧着ローラによって熱圧着された積層体フイルム
    付きの基板を冷風冷却し、この冷却後に前記帯状支持体
    を基板から連続して剥離することを特徴とする感光層転
    写方法。
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