JP2002145380A - ウエハー梱包方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ダイシングフレームからダイシングテープが剥
がれないようにする。 【解決手段】取り付けフレームであるダイシングフレー
ム２０が付いたウエハー１２を有する梱包部材２８を積
み重ねて梱包箱２４に収納するとき、この上下に積み重
ねられるウエハーとウエハーとの間に、ダイシングフレ
ームを固定し、上下のウエハーを分離するための中空円
盤状の緩衝材３０を挿入する。この緩衝材によって、上
下のダイシングフレームを隙間なく積み重ねることがで
きるから、輸送中ダイシングフレームに衝撃や振動が加
えられても、ダイシングフレームに余分な力が加わるこ
とがない。その結果、ダイシングフレームからダイシン
グテープを剥がすような余分な力が加わらないので、ダ
イシングフレームからダイシングテープの一部が不用意
に剥離することはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウエハー梱包方
法に関する。詳しくは、ウエハーが貼着されたテープを
フレームで保持すると共に、このフレームを有した梱包
部材を梱包箱内に積み重ねるとき、緩衝材を介して積み
重ねるようにすることで、輸送中の衝撃などによってフ
レームからテープが剥離するのを防止したものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの製造にあっては、生産
拠点の分散化が進み、特にウエハー（シリコンウエハー
などの半導体ウエハー）の製造拠点と、このウエハーよ
り分割した半導体チップ（ＬＳＩチップなど）を組み立
ててパッケージングする組み立て拠点とに特化する傾向
が強い。

【０００３】そのため、製造拠点で製造されたウエハー
を、組み立ておよびパッケージングする拠点に搬送する
ためにはこのウエハーを出荷できるように梱包する必要
がある。ウエハーを別のメーカに販売するようなときに
も出荷のための梱包を行う必要がある。

【０００４】ウエハー製造拠点からの出荷形態として
は、チップごとに切断しないでウエハーのまま出荷する
場合と、ウエハーをチップごとにダイシングした分割済
みウエハーとして出荷する場合とが考えられる。最近で
は分割済みウエハーとして出荷するケースが多くなって
きている。

【０００５】このように分割済みウエハーを出荷・搬送
するため、従来では次のような梱包を行っているものが
ある。分割済みウエハー１２は図４に示すように、碁盤
の目のようにダイシングされたもので、この円盤状をな
す分割済みウエハー１２は、同じく円盤状をなし、図５
のようにウエハー１２よりも径大なダイシングテープ１
４上に貼着された状態で梱包される。

【０００６】梱包に先立って、このダイシングテープ１
４は図６のように、内側リング１６と外側リング１８を
用い、その周面の一部が、その表裏面から挟み込まれ
る。このときダイシングテープ１４の面が緊張した状態
で架張されるように挟み込まれる。

【０００７】そして、さらに外側リング１８の外側に、
同じくリング状のダイシングフレーム２０が設けられ、
ダイシングフレーム２０の下面にダイシングテープ１４
の外周面が貼着されて、ダイシングテープ１４とダイシ
ングフレーム２０とが一体化される。ダイシングテープ
１４の張力によって図のような形状に保持される。この
ダイシングフレーム２０のついた分割済みウエハー１２
を以後梱包部材２８と呼ぶ。

【０００８】このように一体化された梱包部材２８を梱
包単位として箱詰めされる。その様子を図７に示す。図
７のように、複数の分割済みウエハー１２、１２、・・
・は保護シート２２を介して積み重ねられる。梱包箱２
４はダイシングフレーム２０の外径と同じ内寸をもった
箱状の樹脂成形品や段ボール箱などが使用される。この
ような内寸の梱包箱２４を使用することで、箱ずれがな
い状態で複数の分割済みウエハー１２を目的地（工場や
依頼先）まで搬送できる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図６に示す
ようにダイシングテープ１４の外周端縁部１４ａはダイ
シングフレーム２０に貼着された状態で梱包され、そし
てコンテナなどに積み込まれて目的地まで搬送される
が、梱包箱２４の輸送手段としてはトラックなどが使用
される場合が多いので、目的地に着くまでにの輸送中、
この梱包箱２４に収納された分割済みウエハー１２は様
々な衝撃や振動を受ける。

【００１０】このような衝撃や振動が梱包部材２８に加
えられると、ダイシングテープ１４がダイシングフレー
ム２０から剥離するおそれがある。それは、主には次の
ような理由による。

【００１１】図６のようにダイシングテープ１４を貼り
付けているダイシングフレーム２０は、内外の保持リン
グ１６，１８に比べてその厚みが非常に薄く形成されて
いる。内外の保持リング１６，１８の厚みは６ｍｍ程度
であるのに対して、ダイシングフレーム２０の厚みは１
ｍｍ程度である。これは、図示しないがチップをリード
フレームやパッケージにボンディングするとき、ボンデ
ィング装置にはダイシングフレーム２０ごとウエハー載
置台に装着・固定されるクランプ手段が装備されている
が、このクランプ手段との関係で、ダイシングフレーム
２０の厚みが薄くなっている。

【００１２】このように保持リング１６，１８とダイシ
ングフレーム２０との厚みが相違する。この厚みの違い
に基づいて、分割済みウエハー１２，１２，・・・・を
積み重ねると、図７に示すように、上下の保持リング１
６，１８同士はほぼ密着した状態で積み重ねられるのに
対して、上下のダイシングフレーム２０，２０，・・・
との間には僅かな隙間２６が生じてしまう。

【００１３】この隙間２６があると、梱包箱２４に衝撃
や振動が加わるたびに、ダイシングフレーム２０には余
分な上下の振動が加わり、これが基でダイシングテープ
１４が剥離されるような方向の力がこのダイシングテー
プ１４に作用する。その結果、ダイシングテープ１４を
ダイシングフレーム２０に強く貼り付けておいても、ダ
イシングテープ１４が様々な方向に引っ張られるため、
図８のようにダイシングテープ１４の外周端縁部１４ａ
がダイシングフレーム２０から剥離しまうことがある。
場合によってはダイシングフレーム２０から外周端縁部
１４ａが完全に剥離してしまうこともある。

【００１４】ダイシングテープ１４の外周端縁部１４ａ
が剥離したりすると、上述したクランプ手段にうまくダ
イシングフレーム２０を載置することができなくなった
り、あるいは載置できたとしてもダイシングテープ１４
をしっかりとクランプすることができなくなるため、ボ
ンディング装置に設けられたマウントヘッドでチップを
摘み、これをリードフレームなどにボンディングできな
くなってしまうことがある。

【００１５】そこで、この発明はこのような従来の課題
を解決したものであって、特に搬送中の衝撃や振動が加
わっても、ダイシングテープがダイシングフレームから
一部でも剥離しないようにしたウエハー梱包方法および
ウエハー梱包装置を提案するものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、請求項１に記載したこの発明に係るウエハー梱包方
法では、ウエハーが取り付けられた梱包部材を積み重ね
て梱包箱内に収納するに当たり、上記梱包部材の間に緩
衝材を挟んで積み重ねるようにしたことを特徴とする。

【００１７】この発明では、取り付けフレームであるダ
イシングフレームが付いたウエハーを積み重ねて梱包す
るとき、この上下に積み重ねられるウエハーとウエハー
との間に、ダイシングフレームを固定し、上下のウエハ
ーを分離するための緩衝材を挿入する。

【００１８】この緩衝材によって、上下のダイシングフ
レームを隙間なく積み重ねることができるから、輸送中
ダイシングフレームに衝撃や振動が加えられても、ダイ
シングフレームに余分な力が加わることがない。その結
果、ダイシングフレームからダイシングテープを剥がす
ような余分な力が加わらないので、ダイシングフレーム
からダイシングテープの一部が不用意に剥離することは
ない。

【００１９】

【発明の実施の形態】続いて、この発明に係るウエハー
の梱包方法の実施の形態をウエハーの梱包装置に適用し
た場合について図面を参照して詳細に説明する。図１は
この発明を適用したウエハー梱包装置１０の使用形態を
示すが、説明の都合上、図２および図３から説明する。

【００２０】この発明ではウエハーを積み重ねて輸送す
る場合、積み重ねられるウエハーとウエハーの間に緩衝
材を挿入する。緩衝材３０は図２に示すように中空の円
盤状をなし、その大きさの一例を図３に示す。

【００２１】図３Ａ，Ｂに示すように、緩衝材３０の内
径は、ダイシングテープ１４を保持するための外側リン
グ１８の外径とほぼ等しくなされる。その外径は図３Ｃ
に示すダイシングフレーム２０の外径とほぼ等しくなる
ようにその大きさが選定される。また、緩衝材３０の厚
みＷは、ダイシングテープ１４の厚みにウエハー１２の
厚みを加えた厚みよりも厚ければ差し支えない。つまり
緩衝材３０を入れてウエハー１２を積み重ねたとき、上
側の内側リング１６が下側のウエハー１２に接触しない
程度の隙間があくような厚みに選定される。

【００２２】例えば内外の保持リング１６，１８の厚み
がそれぞれ６ｍｍで、ダイシングフレーム２０の厚みが
１ｍｍ程度であって、ダイシングテープ１４が８０〜１
００μｍ程度の厚みであったときには、緩衝材３０の厚
みＷは、６〜１０ｍｍ程度に選定すればよい。

【００２３】緩衝材３０としては、衝撃を吸収すると共
に、機械的強度がある程度あって、しかも発塵性がな
く、軽量で、非帯電性の材質のものが最適である。した
がってポリプロピレン樹脂などが緩衝材３０の材料とし
て好適である。

【００２４】さて、この発明を適用したウエハー梱包装
置１０の実施の形態を図１を参照して説明する。ここ
で、ウエハー１２はダイシングフレーム２０に取り付け
られたものが使用されるが、ウエハー１２としてはダイ
シング前の１枚のウエハーそのものの場合と、碁盤の目
のようにダイシングされた分割済みウエハーとが考えら
れる。

【００２５】この発明に適用して好適なウエハーは分割
済みウエハーである。これは、分割済みウエハーの場合
にはボンディング装置に上述した梱包部材２８を装着し
て、クランプするだけで、チップのボンディング工程に
そのまま移行できるからである。

【００２６】図１において、梱包箱２４はその内寸がダ
イシングフレーム２０の外径とほぼ同じものが使用され
る。緩衝材３０もまたこの梱包箱２４の内寸と同じ外径
を有している。梱包箱２４にはダイシングテープ１４に
貼着されたダイシングフレーム２０の付いた梱包部材２
８が収納される。

【００２７】つまり、分割済みウエハー１２がダイシン
グテープ１４に貼着され、このダイシングテープ１４が
さらに内外の保持リング１６，１８によって架張された
状態でダイシングフレーム２０に貼り付けられた梱包部
材２８が収納される。内外の保持リング１６，１８は樹
脂製でもよければ、金属製でもよい。

【００２８】このダイシングフレーム２０と分割済みウ
エハー１２とが一体化された第１の梱包部材２８Ａが梱
包箱２４内に収納される。そしてその上面には上述した
緩衝材３０および保護カバー２２をそれぞれ介して第２
の梱包部材２８Ｂが収納される。緩衝材３０は図２およ
び図３のように構成されたものを使用するため、梱包箱
２４内に収納されると、その下面がダイシングフレーム
２０と対接し、その内周面が外側保持リング１８の外周
面と対接した状態となる。もちろん梱包箱２４の内壁面
に対して緩衝材３０が隙間なく対接した状態で収納され
る。

【００２９】この状態で緩衝材３０の上面に第２の梱包
部材２８Ｂが収納されるが、緩衝材３０が介在されてい
るため、緩衝材３０の上下に位置するダイシングフレー
ム２０，２０は、この緩衝材３０を介して互いに隙間な
く密着することになる。また、緩衝材３０のために第２
の梱包部材２８Ｂが第１の梱包部材２８Ａと接触するよ
うなことはない。

【００３０】このように緩衝材３０を介しながら、複数
の梱包部材２８Ｃ、２８Ｄ、・・・が順次所定個数に達
するまで積み重ねられ、最後の梱包部材２８Ｎが収納さ
れると、カバー３２を介挿して閉じられる。カバー３２
としては、緩衝効果のあるシートであればよいが、帯電
防止機能の付いたカバーであればさらに好ましい。

【００３１】上述した緩衝材３０を使用することによっ
て、上下のダイシングフレーム２０，２０、・・・間
は、互いに密着した状態で収納されることになるから、
外部からの衝撃や振動が梱包箱２４の内部に伝わって
も、その衝撃をこの緩衝材３０で吸収することができる
と共に、ダイシングフレーム２０は緩衝材３０に密接し
て、余分な隙間が殆どないので、ダイシングフレーム２
０からダイシングテープ１４が剥離されるような余分な
力が、これらダイシングフレーム２０およびダイシング
テープ１４の双方に加わらない。

【００３２】その結果、ダイシングテープ１４の特にそ
の外周端縁部１４ａがダイシングフレーム１２から剥離
したりするおそれはないので、チップの組み立て作業の
ときに使用するボンディング装置に設けられた載置台に
載せても、そのダイシングフレーム２０を正しくクラン
プすることができるようになる。これによって、チップ
のマウント不良などの作業ミスを大幅に改善できる。

【００３３】上述した実施の形態では、緩衝材３０とし
て図３Ａのようにその内面は段差のないものを使用した
が、図３Ｄのようにその内径を狭くし、外側の保持リン
グ１８に一部重なるように段差３４を有した内径として
もよい。

【００３４】そうする場合には、梱包するときこの緩衝
材３０によってダイシングフレーム２０のみならず外側
の保持リング１８までもこの緩衝材３０で固定できるか
ら、さらに安定した梱包となり輸送中の衝撃対策が万全
となる。

【００３５】また、上述した実施の形態ではウエハー１
２としては分割済みウエハーを例示したが、分割前のウ
エハーをダイシングテープに貼着した梱包部材でもこの
発明を適用できる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によるウエ
ハー梱包方法では、ウエハーと、これを接着するダイシ
ングテープと、ダイシングテープを貼り付けるダイシン
グフレームとで梱包部材を構成するとき、このダイシン
グフレームを固定できるような緩衝材を用いて梱包部材
を梱包するようにしたものである。

【００３７】これによれば、緩衝材によってダイシング
フレームをガタなく、梱包箱に安定して収納できるか
ら、ウエハーの輸送中に外部からの衝撃や振動が梱包箱
に加えられても、ダイシングフレームに貼り付けられた
ダイシングテープが剥離するようなおそれはない。その
結果、ダイシングテープ外周端縁部のめくり上がりがな
くなるため、特に、分割済みウエハーを使用するときに
は、ボンディング装置へのダイシングフレームの装着が
スムーズとなり、安定したボンディング処理を実現でき
る特徴を有する。

【００３８】したがってこの発明に係るウエハー梱包方
法は、分割済みウエハーなどを梱包して輸送する場合に
適用して極めて好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るウエハー梱包装置の実施の形態
を示す要部の断面図である。

【図２】この実施の形態による緩衝材の斜視図である。

【図３】緩衝材とリングおよびダイシングフレームとの
関係を示す断面図である。

【図４】分割済みウエハーとダイシングテープとの関係
を示す平面図である。

【図５】その断面図である。

【図６】分割済みウエハー、保持リングおよびダイシン
グフレームとの関係を示す断面図である。

【図７】梱包部材を箱に収納した状態の断面図である。

【図８】輸送中に起こり得るダイシングテープ外周端縁
部の剥離状態を示す図である。

【符号の説明】

１０・・・ウエハー梱包装置、１２・・・分割済みウエ
ハー、１４・・・ダイシングテープ、１６，１８・・・
保持リング、２０・・・ダイシングフレーム、２２・・
・保護シート、２４・・・梱包箱、２６・・・隙間、２
８Ａ，２８Ｂ，・・・梱包部材、３０・・・緩衝材

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハーが取り付けられた梱包部材を積
   み重ねて梱包箱内に収納するに当たり、 上記梱包部材の間に緩衝材を挟んで積み重ねるようにし
   たことを特徴とするウエハー梱包方法。
2. 【請求項２】 上記梱包部材は、上記ウエハーが貼着さ
   れたテープと、このテープの外周面側を固定する内外の
   保持リングと、上記テープの外周端縁部を接着固定する
   フレームとで構成されたことを特徴とする請求項１記載
   のウエハー梱包方法。
3. 【請求項３】 上記緩衝材は、中空の円盤であって、積
   み重ねられる上記フレームにそれぞれ当接したとき、上
   下のウエハーが互いに接触しないような厚みに選定され
   たことを特徴とする請求項２記載のウエハー梱包方法。
4. 【請求項４】 上記テープおよびフレームは、上記ウエ
   ハーをボンディングするときに使用するダイシングテー
   プおよびダイシングフレームであることを特徴とする請
   求項２記載のウエハー梱包方法。
5. 【請求項５】 上記ウエハーは、分割済みウエハーであ
   ることを特徴とする請求項１記載のウエハー梱包方法。