JPH0620911B2 - 半導体ウェーハー包装容器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウエーハーの輸送及び保管をなすのに
好適に使用し得る包装容器に関するものである。

従来の技術及び問題点 ウエーハーのような半導体材料、装置等は極めて脆く破
損され易く、又雰囲気により汚染され易いためにその輸
送及び保管に当つての取扱いには細心の注意が必要とさ
れる。

従来、斯るウエーハーの輸送及び保管用の包装容器とし
ては、第７図及び第８図に図示するようなものが広く使
用されている。

該包装容器は、円形とされる下ケース２の底面２ａを凹
面状に形成し、大型の円形状ウエーハーＡを該底面２ａ
上に配置し、上ケース６を下ケース２に嵌合せしめると
き、複数の脚４ａを外周に有した皿状押え手段４を下ケ
ース２側へと押圧し、それにより該押え手段４にて該ウ
エーハーＡの外周部を押圧して両ケース間に該ウエーハ
ーＡを保持し包装する構成とされる。

しかしながら、斯る包装容器は円形のウエーハーの包装
は極めて好適に行ない得るが、矩形のウエーハーを包装
する場合には、ウエーハーの４隅部のみが下ケースの凹
面状の底面に接触するために該４隅に応力が集中し、４
隅が破損するか、又は押え手段４による押圧力により材
料内に内部歪が生じ、製品の品質の低下の原因となり、
問題があつた。又、小型のウエーハーの保持は不可能で
あつた。

発明の目的 本発明の目的は、種々の形状、寸法の、特に矩形のウエ
ーハーを破損したり又は内部応力を生ぜしめることなく
効率よく輸送及び保管を行ない、且つ容器内からの取出
しが容易な半導体ウエーハーのための包装容器を提供す
ることである。

問題点を解決するための手段 上記目的は本発明に係る半導体ウエーハー包装容器にて
達成される。本発明は要約すれば、半導体ウエーハーの
輸送及び保管をなすための包装容器であつて、底壁と、
この底壁の回りに形成された環状の周壁とを有した皿状
容器とされる第１ケースと、前記第１ケースの環状周壁
の内部に着脱自在に嵌合する環状突起を備え、この第１
ケースと嵌合したときには、この第１ケースと協働して
内部に半導体ウエーハーを収容するための密閉空間を形
成する第２のケースと、薄い可撓性のベースフイルムの
片面の全面に亘って粘着剤層を有し、該粘着剤層の中央
部に半導体ウエーハーを一時的に粘着せしめ得るホルダ
ーシートとを有し、前記ホルダーシートは前記第２ケー
ス側に粘着剤層が位置するようにして前記第１ケースの
環状周壁内に装入され、前記両ケースが密閉状態に嵌合
されたとき該ホルダーシートはその外周辺部が第１ケー
スの底壁部と前記第２ケースの環状突起とにより挟持さ
れ、且つ前記ホルダーシートの外周辺部の粘着剤層は前
記第２ケースの環状突起の先端部に粘着する、ことを特
徴とする半導体ウエーハー包装容器である。

実施例 次に、本発明に係る半導体ウエーハー包装容器について
図面を参照して更に詳しく説明する。

第１図及び第２図を参照すると、本発明に係る包装容器
１の一実施例が図示される。該包装容器は、第１のケー
ス、本実施例では下ケース１２と、該第１のケースに螺
合又は摩擦嵌合等により着脱自在に且つ密閉状態にて嵌
合され得る第２のケース、本実施例では上ケース１６と
を有する。更に説明すると、第１ケース１２は円形の皿
状容器とされ、底壁１２ａと、該底壁１２ａの回りに形
成された環状の周壁１２ｂとを有する。該第１ケース１
２の内径Ｄ及び深さＨは包装される物により種々に設計
し得るが、例えば１５×４０mm程度の矩形のウエーハー
を収納する場合には内径Ｄは５０〜６０mmそして深さＨ
は２〜５mmとされるのが好適であろう。

又、第２ケース１６は、前記第１ケース１２と同様の外
径を有した円筒形状とされる周壁１６ａと、該第２ケー
ス１６の前記第１ケースに面した端部に形成され、前記
第１ケース１２の周壁１２ｂの内周部に密着して嵌合す
る環状の突起１６ｂとを有する。該環状突起１６ｂの高
さｈは、第１ケース１２の深さＨと同じか僅かに高くさ
れ、又突起部の厚さｔは本実施例では０．５〜２mmとさ
れるのが好適であろう。更に、第２ケース１６は、第１
ケースと第２ケースとが、第１図に図示されるように嵌
合されたとき、内部に密閉空間Ｓを画成するべく円筒状
周壁１６ａ内に隔壁１６ｃを有する。該隔壁１６ｃは、
本実施例では球面状に形成されているが、平面形状とす
ることもできる。

本発明に従えば、薄板状の半導体ウエーハーとされる被
包装物品Ａを保持するホルダーシート２０が用意され
る。該ホルダーシート２０は、第４図に詳しく図示され
るように、ベースフイルム２２及び粘着剤層２４を有
し、使用前においては取扱いを容易とするために保護シ
ート２６が接合されている。

ベースフイルム２２は第１ケース１２の内側形状と同様
の形状とされ、本実施例では円形とされ、その外径Ｄ_０
は第１ケースの内径Ｄと大略同じとされる。又、ベース
フイルム２２は、好ましくは膜厚０．０１mm〜０．２mm
程度の薄く且つ可撓性のある材質にて作製され、例えば
ポリエチレン、塩化ビニール、ポリプロピレン、ビニー
ル、テフロン、ポリエステル、セロフアン、アセテート
等のプラスチツクフイルム、平面紙、クレープ紙等の
紙、更にはアルミ箔等を使用し得るが、本実施例では
０．０８５mm厚のポリエチレンフイルムが使用されるで
あろう。

又、粘着剤層２４としては、ウエーハーＡを一時的には
粘着はするが或る程度の力を加えることにより容易に剥
離せしめ得る性質を有するものであれば任意の材料を使
用することができ、例えばアクリル系、酸化ケイ素（シ
リコーン）系、ポリアミド系、ポリエステル系、エポキ
シ・フエノリツク系、フエノール系、ポリビニルアセタ
ール系、ポリオレフイン系、アイオノマー系粘着材料が
好適であり、本実施例では０．０８５mm厚のポリエチレ
ンフイルム２２上にアクリル系粘着材料を厚さ１０μｍ
以下で塗布した。

次に、以上の構成とされる本発明に係る包装容器の使用
方法について説明する。

先ず、ホルダーシート２０の保護シート２６が除去され
（第４図）、その粘着剤２４側中央部にウエーハーとさ
れる被包装物品Ａが一時的に粘着される（第５図）。被
包装物品Ａが粘着されたホルダーシート２０は、第２図
に図示されるように、被包装物品Ａが上に位置するよう
にして、つまりホルダーシート２０の粘着剤層側が上を
向くようにして、第１ケース１２内へと装入される。上
述したように、ホルダーシート２０の形状は第１ケース
１２の内側形状と同様とされるので、該ホルダーシート
２０は第１ケース１２の底壁１２ａ上に載置される。

次いで、第２ケース１６が第１ケース１２へと、該第２
ケース１６の環状突起１６ｂが第１ケース１２の環状周
壁１２ｂに嵌合するようにして、押入される。これによ
り両ケースは密閉状態にて係合し、同時にホルダーシー
ト２０は環状突起１６ｂと第１ケース１２の底壁１２ａ
との間に挟持される。又、ホルダーシート２０の粘着剤
層が第２ケースの環状突起１６ｂの先端部に粘着し、該
ホルダーシート２０は第１及び第２ケース内にしつかり
と保持される。従つて、例えば第３図のように包装容器
が逆さにされた場合においても、ホルダーシート２０は
被包装物品Ａの重さにより撓んでも、ホルダーシート２
０と第１ケース１２の底壁１２ａとの間に空隙ｇが生じ
ることはあつても該被包装物品Ａが第２ケース１６の隔
壁１６ｃに当ることはなく、従つて被包装物品Ａが破損
するようなことはない。又、ホルダーシート２０がこの
ように或る弾性にて撓み得るために、包装容器に衝撃が
加わつたときにも斯る衝撃力を吸収しウエーハー等のよ
うなもろい被包装物品Ａを保護する働きがある。

包装容器内の内容物を必要とする場合には、第１ケース
１２と第２ケース１６とが分離されるが、このときホル
ダーシート２０は第２ケース１６の環状突起１６ｂに粘
着した状態にて取出されることが理解されるであろう。
従つて、作業者が手又は道具にて該ホルダーシート２０
を第１ケース１２内から取出す必要はない。その後作業
者は第２ケースの環状突起１６ｂに粘着したホルダーシ
ート２０の周辺をつまんで第２ケース１６から該ホルダ
ーシート２０を剥離し、次いで被包装物品Ａを該ホルダ
ーシート２０から除去することができる。

第６図には、ホルダーシート２０の種々の形状が例示さ
れる。第６図（Ａ）、（Ｂ）にはホルダーシート２０の
外周部に耳部２０ａを１個又は２個設け、該ホルダーシ
ート２０の第１ケース１２内への装入及び第２ケース１
６からの剥離の際に該耳部２０ａをつまむことができ、
作業の便に供せんとするものである。又、第６図
（Ｃ）、（Ｄ）にはホルダーシート２０の中央部に小孔
２０ｃを穿設し、更に該小孔２０ｃから外周部へとスリ
ツト２０ｂが形成される。内部の小孔２０ｃは該ホルダ
ーシート２０からウエーハー等を剥離する場合に該ウエ
ーハーＡを吸引具にて保持するための孔である。このよ
うなホルダーシート２０を使用した場合には、吸引具に
てウエーハーの裏面部を吸引保持した状態にて耳部２０
ａを手でつまんでホルダーシート２０をスリツト２０ｂ
に沿つてウエーハーから剥離することができる。

上記説明では、包装容器は円形状のものとして説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、第１及び
第２ケース１２、１６は互いに開放部が密閉態様で係合
し内部に空間を形成するような箱型の形状とされればよ
く、全体形状は矩形であつてもよい。又、該両ケース１
２、１６は透明のプラスチツク製とされるのが好適であ
る。

又、被包装物品は矩形のものに限定されるものではな
く、円形又は種々の形状、寸法のウエーハーを効率よく
輸送及び保管することができる。

発明の効果 本発明の包装容器は、以上のように種々の寸法形状をし
た半導体ウエーハーに直接挟持力を及ぼすことなく該物
品を容器内に保持し、又、容器内から取出すことができ
るために、物品を破損したり、又は内部応力を生ぜしめ
ることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る包装容器の一実施例の断面図
で、両ケースが閉鎖状態にあるのを示す。 第２図は、第１図の包装容器の断面図で、両ケースが開
放状態にあるのを示す。 第３図は、閉鎖状態にある第１図の容器の断面図であ
り、逆さ状態にあるのを示す。 第４図は、ホルダーシートの断面図である。第５図は、
ホルダーシートの平面図である。第６図（Ａ）〜（Ｄ）
は、ホルダーシートの他の実施例の平面図である。 第７図及び第８図は、従来の包装容器の分解斜視図及び
断面図である。 １２：第１のケース １６：第２のケース １６ｂ：環状突起 ２０：ホルダーシート ２２：ベースフイルム ２４：粘着剤層 Ａ：被包装物品

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエーハーの輸送及び保管をなすた
   めの包装容器であつて、底壁と、この底壁の回りに形成
   された環状の周壁とを有した皿状容器とされる第１ケー
   スと、前記第１ケースの環状周壁の内部に着脱自在に嵌
   合する環状突起を備え、この第１ケースと嵌合したとき
   には、この第１ケースと協働して内部に半導体ウエーハ
   ーを収容するための密閉空間を形成する第２のケース
   と、薄い可撓性のベースフイルムの片面の全面に亘って
   粘着剤層を有し、該粘着剤層の中央部に半導体ウエーハ
   ーを一時的に粘着せしめ得るホルダーシートとを有し、
   前記ホルダーシートは前記第２ケース側に粘着剤層が位
   置するようにして前記第１ケースの環状周壁内に装入さ
   れ、前記両ケースが密閉状態に嵌合されたとき該ホルダ
   ーシートはその外周辺部が第１ケースの底壁部と前記第
   ２ケースの環状突起とにより挟持され、且つ前記ホルダ
   ーシートの外周辺部の粘着剤層は前記第２ケースの環状
   突起の先端部に粘着する、ことを特徴とする半導体ウエ
   ーハー包装容器。
2. 【請求項２】ベースフイルムは膜厚０．０１mm〜０．２
   mmの薄く且つ可撓性のある材質にて作製され、粘着剤層
   は被包装物品を一時的に粘着はするが或る程度の力を加
   えることにより容易に剥離せしめ得る性質を有する材料
   にて作製される特許請求の範囲第１項記載の半導体ウエ
   ーハー包装容器。
3. 【請求項３】ベースフイルムは、ポリエチレン、塩化ビ
   ニール、ポリプロピレン、ビニール、テフロン、ポリエ
   ステル、セロフアン、アセテート等のプラスチツクフイ
   ルム、平面紙、クレープ紙等の紙、更にはアルミ箔とさ
   れ、又、粘着剤層は、アクリル系、酸化ケイ素（シリコ
   ーン）系、ポリアミド系、ポリエステル系、エポキシ・
   フエノリツク系、フエノール系、ポリビニルアセタール
   系、ポリオレフイン系、アイオノマー系粘着材料とされ
   る特許請求の範囲第１項又は第２項記載の半導体ウエー
   ハー包装容器。